JPH11267967A - 円盤状薄板のラップ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ラップ装置をコンパクトにするとともに、ベ
アリングおよび回転精度の要求を緩和し、ラップ液の清
掃作業を緩和すること。 【解決手段】 回転自在に支持された円盤状薄板１と、
該円盤状薄板１を回転駆動する回転力付与手段２と、前
記円盤状薄板１の直径より小径であって、偏心して配設
された直径のラップ面３０を備えたラップ盤３と、該ラ
ップ盤３を回転駆動して、回転する円盤状薄板の全表面
のラップ加工を可能にする主軸回転手段４とから成る円
盤状薄板のラップ装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、円盤状薄板より小
径のラップ面を備えたラップ盤の回転により、回転する
円盤状薄板の全表面のラップ加工を可能にするコンパク
トな円盤状薄板のラップ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に示されるように同心上で上下対面
して一対のラップ盤ＵＬ、ＤＬを設け、これらラップ盤
の対面空間に複数の円盤状キャリアＣを、サンギヤＳお
よびリングギヤＲの間において自転及び公転するように
設け、このキャリアＣに形成された複数の丸穴Ｈにウエ
ハＷの外周を案内し、ウエハＷのラップすべき上下面が
キャリアＣの上下面から上方および下方に突出するよう
に構成されている。

【０００３】上下方向に固定の下ラップ盤ＤＬに対し可
動の上ラップ盤ＵＬを下降させ、上下のラップ盤ＵＬ、
ＤＬによりウエハＷの上下面を加圧挾持し、同時に上下
ラップ盤ＵＬ、ＤＬとウエハＷの上下面にラップ液を介
在させた状態とする。この状態で、上下ラップ盤ＵＬ、
ＤＬを同一方向に回転させると共にキャリアＣを逆方向
に回転してウエハＷの上下面をラップするようにするバ
ッチ式ラップであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のラップ装置
は、径が２００ｍｍ以下のウエハＷの加工に使用されて
いるが、径が３００ｍｍとか４００ｍｍの大径のウエハ
の加工に適用する場合、ラップ盤ＵＬ、ＤＬの径が非常
に大径となるので、ラップ盤のラップ面の平坦度を高精
度に維持できないとともに、装置が大形となり、ベアリ
ング、回転精度その他の理由により、実用化が困難にな
るという問題があった。

【０００５】そこで本発明者らは、円盤状薄板より小径
のラップ面を備えた回転しているラップ盤により、回転
する円盤状薄板の全表面のラップ加工を可能にするとい
う本発明の技術的思想に着眼し、更に研究開発を重ねた
結果、ラップ装置をコンパクトにするとともに、ベアリ
ングおよび回転精度の要求を緩和し、ラップ液の清掃作
業を緩和するという目的を達成する本発明に到達した。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）の円盤状薄板のラップ装置は、ベース上に
設けられ、第１水平軸線上で整列してそれぞれ第１及び
第２の工具主軸を回転自在に支持すると共にこれら工具
主軸を回転駆動する主軸回転手段を含む一対の工具ヘッ
ドと、前記第１及び第２工具主軸の対向端部にそれぞれ
固定され、加工すべき円盤状薄板の径よりも小径で対向
端面にラップ面が形成された第１及び第２ラップ盤と、
前記第１水平軸線と偏心した第２水平軸線の周りで円盤
状薄板を回転可能に保持すべく前記円盤状薄板の外周を
案内する案内手段と、該案内手段により外周が案内され
た前記円盤状薄板を前記第２水平軸線の周りに回転駆動
するための回転力を該円盤状薄板に付与する回転力付与
手段と、前記第１及び第２ラップ盤の前記ラップ面間に
保持された円盤状薄板を挾持するため前記第１及び第２
工具主軸の一方を他方に対して前記第１水平軸線上で相
対移動し前記第１及び第２ラップ盤のラップ面を前記円
盤状薄板の両面に加圧する加圧力付与手段と、前記第１
及び第２ラップ盤の各ラップ面とこれに円盤状薄板との
間にラップ液を供給するラップ液供給手段とから成るも
のである。

【０００７】本発明（請求項２に記載の第２発明）の円
盤状薄板のラップ装置は、前記第１発明において、前記
第１水平軸線は、前記第２水平軸線の下方に偏心して配
置され、前記第１及び第２ラップ盤の各々の下部を除く
外周を包囲し円盤状薄板と密接して配置されたラップ液
飛散防止カバーを備えているものである。

【０００８】本発明（請求項３に記載の第３発明）の円
盤状薄板のラップ装置は、前記第１又は第２発明におい
て、前記回転力付与手段を、前記ラップ液飛散防止カバ
ーの外部で円盤状薄板の両端面を挾持する一対の截頭円
錐車を回転支持する円錐車支持機構と、前記截頭円錐車
を駆動する駆動モータとから成るものである。

【０００９】本発明（請求項４に記載の第４発明）の円
盤状薄板のラップ装置は、前記第１〜第３発明のいずれ
かにおいて、前記円錐車支持機構が、前記一方の截頭円
錐車を回転自在に支持するとともに、前記他方の截頭円
錐車に向かって移動できる可動支持部と、および前記一
方の截頭円錐車を他方の截頭円錐車に向かって押圧する
ために可動支持部を移動する加圧手段と、から成るもの
である。

【００１０】本発明（請求項５に記載の第５発明）の円
盤状薄板のラップ装置は、前記第１〜第４発明のいずれ
かにおいて、前記案内手段を、複数のローラによって構
成し、前記円盤状薄板の搬入時に上部に配置された案内
ローラを加工位置から退避させる退避機構を備えている
ものである。

【００１１】

【発明の作用および効果】上記構成より成る第１発明の
円盤状薄板のラップ装置は、前記回転力付与手段が、前
記第１水平軸線の周りに前記円盤状薄板を回転駆動し、
前記主軸回転手段が、前記円盤状薄板より小径のラップ
面を備えた前記第１および第２ラップ盤を回転駆動し
て、回転する前記円盤状薄板の両面に対して前記第１お
よび第２ラップ盤を加圧して供給されたラップ液の存在
下において前記円盤状薄板の両面のラップ加工をするの
で、前記円盤状薄板の両面の全表面のラップ加工を可能
にするとともに、ラップ装置をコンパクトにして、ベア
リングおよび回転精度の要求を緩和するという効果を奏
する。

【００１２】上記構成より成る第２発明の円盤状薄板の
ラップ装置は、前記第１発明において、前記第１及び第
２ラップ盤が、前記円盤状薄板の軸芯である前記第２水
平軸線の下方に偏心して配置され、前記第１及び第２ラ
ップ盤の各々の下部を除く外周を包囲し円盤状薄板と密
接して前記ラップ液飛散防止カバーが配置されているの
で、前記ラップ液の飛散を防止するとともに、ラップ液
の清掃作業を緩和するという効果を奏する。

【００１３】上記構成より成る第３発明の円盤状薄板の
ラップ装置は、前記第１〜第２発明のいずれかにおい
て、前記回転力付与手段を構成する前記駆動モータによ
って駆動された前記一対の截頭円錐車により、前記ラッ
プ液飛散防止カバーの外部において前記円盤状薄板の両
端面を挾持して回転が付与されるので、砥粒粉末を含む
前記ラップ液が介在させない状態で前記円盤状薄板の回
転駆動を可能にするという効果を奏する。

【００１４】上記構成より成る第４発明の円盤状薄板の
ラップ装置は、前記第１〜第３発明のいずれかにおい
て、加工時には前記可動支持部によって移動可能な回転
自在に支持された前記一方の截頭円錐車を、前記加圧手
段によって前記可動支持部を移動させて前記他方の截頭
円錐車に向かって移動させるので、加工時の前記円盤状
薄板１の加圧挾着および非加工時における前記一方の截
頭円錐車を後退させることにより、ラップ加工前後の前
記円盤状薄板の搬入・搬出を可能にするという効果を奏
する。

【００１５】上記構成より成る第５発明の円盤状薄板の
ラップ装置は、前記第１〜第４発明のいずれかにおい
て、前記案内手段を構成する複数の案内ローラのうち上
部に配置された案内ローラを、前記退避機構によって前
記円盤状薄板の搬入時に加工位置から退避させるので、
ラップ加工前後の前記円盤状薄板の搬入・搬出を可能に
するという効果を奏する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき、
図面を用いて説明する。

【００１７】（実施形態）本実施形態の円盤状薄板のラ
ップ装置は、図１ないし図３に示されるように回転自在
に支持されたワークとしての円盤状薄板１と、該円盤状
薄板１を回転駆動する回転力付与手段２と、前記円盤状
薄板１の直径より小径であって、偏心して配設された直
径のラップ面３０を備えたラップ盤３と、該ラップ盤３
を回転駆動して、回転する円盤状薄板の全表面のラップ
加工を可能にする主軸回転手段４とから成るものであ
る。

【００１８】一対の工具ヘッド４０は、図２に示される
ようにベース１００上に設けられ、第１水平軸線上で整
列するとともに対向してそれぞれ第１及び第２の工具主
軸４１、４２を複数のベアリングによって回転自在に支
持すると共に、これら工具主軸４１、４２を回転駆動す
る主軸回転手段４としての対向する２個のモータ４Ａ、
４Ｂを備えている。

【００１９】前記ラップ盤３は、図１および図２に示さ
れるように第１水平軸線上で直列に対向配置された前記
第１及び第２工具主軸４１、４２の対向端部にそれぞれ
固定され、加工すべき前記円盤状薄板１の直径よりも小
径で、前記円盤状薄板１の半径以上に設定され、略環状
に延在して軸方向に突出形成されたラップ面３０が対向
端面に形成された第１及び第２ラップ盤３１、３２とを
備えている。

【００２０】案内手段５は、図１および図２に示される
ように前記第１及び第２工具主軸４１、４２および前記
第１及び第２ラップ盤が同軸的に直列に配置された前記
第１水平軸線に対して上方に偏心した第２水平軸線に対
して垂直に配設され、該第２水平軸線の周りで前記円盤
状薄板１の外周壁に当接して該円盤状薄板１を回転可能
に支持する所定角度間隔で配置された少なくとも３個以
上の複数の案内ローラ５０によって構成され、前記円盤
状薄板１を保持すべくその外周を案内するように構成さ
れている。

【００２１】前記回転力付与手段２は、図１および図３
に示されるように前記案内手段５の前記複数のローラ５
０により外周が支持案内された前記円盤状薄板１の略中
心を含む水平面上の該円盤状薄板１の両端面を挾持する
一対の截頭円錐車２１を回転支持する円錐車支持機構２
２と、前記截頭円錐車２１を駆動する駆動モータ２３と
から成り、前記円盤状薄板１に対して前記第２水平軸線
の周りに回転駆動するための回転力を付与するように構
成されている。

【００２２】すなわち前記回転力付与手段２は、前記駆
動モータ２３の軸端に配設されたプーリ２４から、一方
の截頭円錐車２１を一方の軸端に固着した軸の他端に固
着されたプーリ２５をベルト２６を介して回転駆動する
ことにより、前記一方の截頭円錐車２１の回転により、
前記他方の截頭円錐車２１との間に挾着された前記円盤
状薄板１に回転力を付与して、回転させるものである。

【００２３】加圧力付与手段６は、前記第１及び第２ラ
ップ盤３１、３２の前記ラップ面間に保持された前記円
盤状薄板１を挾持するため前記第１及び第２工具主軸４
１、４２の一方を他方に対して前記第１水平軸線上で相
対移動させ、前記第１及び第２ラップ盤３１、３２のラ
ップ面を前記円盤状薄板１の両面に加圧するエアシリン
ダ６０によって構成される。

【００２４】すなわち前記加圧力付与手段６は、前記第
１ラップ盤３１が軸端に固着された前記第１工具主軸４
１を複数のベアリングによって回転自在に支持するスリ
ーブ６１を、ストロークベアリングを介して前記ベース
１００上に配設されたガイド部材６２上を移動可能に構
成され、前記エアシリンダ６０によって前記第１ラップ
盤３１の直線的な往復動を可能にするように構成されて
いる。

【００２５】ラップ液供給手段７は、供給通路７３、前
記第１及び第２工具主軸４１、４２内に同軸的に形成さ
れた同軸通路７４を介して、前記第１及び第２工具主軸
４１、４２の対向する軸端に形成された半径方向に開口
する分配穴７２から、前記第１及び第２ラップ盤３１、
３２の各ラップ面３０と前記円盤状薄板１の両面との間
に砥粒を含むラップ液（スラリー）を供給するものであ
る。

【００２６】ラップ液飛散防止カバー８は、図１および
図２に示されるようにブラシ状部材によって構成され、
前記第１水平軸線が、前記第２水平軸線の下方に偏心し
て配置されているので、前記第１及び第２ラップ盤３
１、３２の各々の下部を除く上方および両側方の外周を
包囲するとともに、前記円盤状薄板１と密接して略Ｕ字
状に一定間隔を隔てて複数延在並設して、前記円盤状薄
板１の両面に対向配置されている。一定間隔を隔てて複
数並設された前記ラップ液飛散防止カバー８の間に、水
が供給される水供給穴７１が開口している。

【００２７】加圧手段９は、円錐車支持機構２２の一部
を構成し、図３において下側に位置する前記他方の截頭
円錐車２１を回転自在に支持するとともに、ヒンジピン
２２１を軸として揺動可能な可動支持部２２０を前記一
方の截頭円錐車２１に向かって移動させることにより、
前記他方の截頭円錐車２１を一方の截頭円錐車２２に向
かって押圧するように構成されている。前記加圧手段９
は、開離方向に作用する図略のバネに抗して可動支持部
２２０を押圧するエアシリンダ２２２を有する。

【００２８】また、前記プーリ２５により回転される一
方の円錐車２１を回転支持しかつ前記可動支持部２２０
を揺動可能に支持する支持機構本体２２ａをガイドレー
ル２７に沿って前記円盤状薄板１の厚さ方向（図３中上
下方向）に直線的に往復動させることにより、前記円盤
状薄板１の加圧挾持位置を調節可能にするように構成さ
れている。

【００２９】退避機構９１は、前記案内手段５を構成す
る前記複数のローラ５０のうちの前記円盤状薄板１の上
部に配置された前記複数の案内ローラ５０および該ロー
ラを回転自在に支持するＬ字状断面のハウジング９２
を、エアシリンダ９３によって該ハウジング９２の後端
を支点として図１中後方に揺動して退避するように構成
され、前記円盤状薄板１の搬入時に上部に配置された前
記案内ローラ５０を加工位置から退避させるものであ
る。

【００３０】上記構成より成る本実施形態の円盤状薄板
のラップ装置は、前記回転力付与手段２が、前記駆動モ
ータ２３によって前記ベルト２６を介して回転駆動し
て、前記一方の截頭円錐車２１の回転により、前記他方
の截頭円錐車２１との間に挾着された前記円盤状薄板１
に回転力を付与して、回転させる。

【００３１】前記ラップ液供給手段７が、前記供給通路
７３および前記第１及び第２工具主軸４１、４２内に同
軸的に形成された前記同軸通路７４を介して、前記第１
及び第２工具主軸４１、４２の対向する軸端に形成した
分配穴７２から、前記第１及び第２ラップ盤３１、３２
の各ラップ面と前記円盤状薄板１の両面との間に砥粒を
含むラップ液を供給する。

【００３２】前記主軸回転手段４としての対向する前記
２個のモータ４Ａ、４Ｂによる、前記円盤状薄板１の直
径より小径であって、前記円盤状薄板１に対して下方に
偏心して配設された直径のラップ面３０を備えたラップ
盤３の回転によって、該ラップ盤３を回転駆動して、ラ
ップ液が供給され回転している前記円盤状薄板の両面の
全表面のラップ加工を行うものである。

【００３３】上記作用を奏する本実施形態の円盤状薄板
のラップ装置は、前記回転力付与手段２が、回転自在に
支持された前記円盤状薄板１を回転駆動し、前記主軸回
転手段４が、前記円盤状薄板１より小径のラップ面を備
えた前記ラップ盤３を回転駆動して、回転する前記円盤
状薄板１の全表面のラップ加工を可能にするという効果
を奏する。

【００３４】本実施形態の円盤状薄板のラップ装置は、
前記円盤状薄板１より小径のラップ面を備えた前記ラッ
プ盤３によって回転している前記円盤状薄板１の両面の
全表面のラップ加工を行うものであるので、前記ラップ
盤３をコンパクトにするとともに、ベアリングおよび回
転精度の要求を緩和するという効果を奏する。

【００３５】すなわち本実施形態の円盤状薄板のラップ
装置は、前記ラップ盤３の前記ラップ面３０の直径が、
前記円盤状薄板１の半径以上に設定されているので、コ
ンパクトな前記ラップ盤３によって前記円盤状薄板１の
全表面のラップ加工を可能にするとともに、前記ラップ
盤３およびラップ装置全体をコンパクトにして、ベアリ
ングおよび回転精度の要求を緩和し、上述した従来装置
に比べて大径の前記円盤状薄板１のラップ加工を可能に
するという効果を奏する。

【００３６】また本実施形態の円盤状薄板のラップ装置
は、前記回転力付与手段２が、前記第１水平軸線の周り
に前記円盤状薄板１を回転駆動し、前記主軸回転手段４
が、前記円盤状薄板１より小径のラップ面を備えた前記
第１および第２ラップ盤３１、３２を回転駆動して、回
転する前記円盤状薄板１の両面に対して前記第１および
第２ラップ盤３１、３２を加圧して供給された前記ラッ
プ液の存在下において前記円盤状薄板１の両面のラップ
加工をするので、前記円盤状薄板１の両面の全表面のラ
ップ加工を可能にするとともに、ラップ装置全体をコン
パクトにして、ベアリングおよび回転精度の要求を緩和
するという効果を奏する。

【００３７】さらに本実施形態の円盤状薄板のラップ装
置は、前記第１及び第２ラップ盤３１、３２が、回転自
在に垂直に配設された前記円盤状薄板１の軸芯である前
記第２水平軸線の下方に偏心して配置され、前記第１及
び第２ラップ盤３１、３２の各々の下部を除く外周を包
囲し円盤状薄板１と密接して前記ラップ液飛散防止カバ
ー８が配置されているので、前記ラップ液を下方のラッ
プ液回収トレイＴに落下させるとともに、前記ラップ液
の上方への飛散および前記円盤状薄板１の回転に伴う該
円盤状薄板１に付着した前記ラップ液の随伴をブラシ状
の前記ラップ液飛散防止カバー８によって防止するた
め、使用済ラップ液の新しいラップ液への混入の防止お
よび前記案内ローラ５０の偏摩耗の防止を実現するとと
もに、作業環境を改善して、作業終了後の前記ラップ液
の清掃作業を緩和するという効果を奏する。

【００３８】また本実施形態の円盤状薄板のラップ装置
は、前記回転力付与手段を構成する前記駆動モータ２３
によって前記ベルト２６を介して駆動された前記一対の
截頭円錐車２１により、前記ラップ液飛散防止カバー８
の外部の上方である前記円盤状薄板１の略中心を含む水
平面付近において垂直に配設された前記円盤状薄板１の
両端面を挾持して回転が付与されるので、前記ラップ液
が介在しない環境下において前記円盤状薄板１の回転駆
動を可能にするとともに、前記截頭円錐車２１の回転駆
動に伴い前記ラップ液の砥粒により前記截頭円錐車２１
の偏摩耗や前記円盤状薄板１の表面を傷つけることを防
止するという効果を奏する。

【００３９】さらに本実施形態の円盤状薄板のラップ装
置は、加工時には前記可動支持部２２０によって移動可
能な回転自在に支持された前記他方の截頭円錐車２１
を、前記加圧手段９のエアシリンダ２２２によって前記
可動支持部２２０を移動させて前記一方の截頭円錐車２
１に向かって移動させるので、加工時に前記円盤状薄板
１が加圧挾着されて回転される。非加工時にはエアシリ
ンダ２２２への減圧により図略のバネが可動支持部２２
０を後退方向に揺動する。このため、非加工時のラップ
加工済の前記円盤状薄板の取り出し、およびラップ加工
前の前記円盤状薄板の装着を可能にするという効果を奏
する。

【００４０】また本実施形態の円盤状薄板のラップ装置
は、前記案内手段５を構成する複数の案内ローラ５０の
うち上部に配置された案内ローラ５０およびハウジング
９２を、前記退避機構９１によって前記円盤状薄板１の
搬入時に加工位置から揺動退避させるので、ラップ加工
前後の前記円盤状薄板１の搬入・搬出を可能にするとい
う効果を奏する。

【００４１】さらに本実施形態の円盤状薄板のラップ装
置は、前記ラップ液供給手段７が、前記供給通路７３、
前記第１及び第２工具主軸４１、４２内に同軸的に形成
された前記同軸通路７４を介して、軸端に形成した前記
分配穴７２から、前記第１及び第２ラップ盤３１、３２
の各ラップ面３１、３２に対向する前記円盤状薄板１の
両面にラップ液を供給するので、前記円盤状薄板１の両
面の同時ラップ加工および一様なラップ加工を可能にす
るという効果を奏する。

【００４２】また本実施形態の円盤状薄板のラップ装置
は、前記円盤状薄板１を垂直に配設してラップ加工を行
うので、ラップ加工時において前記円盤状薄板に不要な
応力が作用しないとともに、ラップ液のラップ液回収ト
レイＴへの落下を促進するという効果を奏する。

【００４３】さらに本実施形態の円盤状薄板のラップ装
置は、前記加圧力付与手段６が、前記第１ラップ盤３１
のみを往復動可能に構成して、前記円盤状薄板１をラッ
プ加工に必要な加圧力を実現するようにしたので、構成
をシンプルにしてコストダウンを可能にするという効果
を奏する。

【００４４】さらに本実施形態の円盤状薄板のラップ装
置は、ラップ軸４１，４２が発熱して軸方向熱変位して
も、ラップ加圧力は前記加圧力付与手段６（シリンダ６
０）への供給圧力のみで決定され、ラップ軸の熱変位に
影響されない効果を奏する。

【００４５】また本実施形態の円盤状薄板のラップ装置
は、前記第１及び第２ラップ盤３１、３２の上方および
両側方の外周を包囲するとともに、垂直の前記円盤状薄
板１と密接して略Ｕ字状に一定間隔を隔てて複数の前記
ラップ液飛散防止カバー８を延在並設して、その間に前
記水供給穴７１を開口させ水を供給して下方に落下させ
洗い流すので、前記ラップ液の飛散防止効果を促進する
という効果を奏する。

【００４６】上述の実施形態は、説明のために例示した
もので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。

【００４７】上述の実施形態は、一例としてラップ加工
時において前記円盤状薄板に重力に基づく不要またはア
ンバランスな応力が作用しないとともに、ラップ液の落
下促進の観点より前記円盤状薄板を垂直に配設してラッ
プ加工を行う例について説明したが、本発明としてはそ
れらに限定されるものでは無く、例えば前記円盤状薄板
を水平に配設して、上下両面をラップ加工する実施形態
を採用することが出来るものである。

【００４８】上述の実施形態は、一例として前記円盤状
薄板の確実な支持の観点より前記ラップ盤の下方に案内
手段としての下方案内ロールを配置して前記円盤状薄板
を回転自在に支持する例について説明したが、本発明と
してはそれらに限定されるものでは無く、例えば図４に
示されるように前記ラップ盤を包囲して配設されたラッ
プ液飛散防止カバーの側方に案内手段としての下方の案
内ロールを配置して、全ての案内ロールがラップ液に曝
されることが無いようにする実施形態を採用することが
出来るものである。

【００４９】上述の実施形態は、一例として構成をシン
プルにしてコストダウンを可能にする観点より前記加圧
力付与手段６を、前記第１ラップ盤３１のみを往復動可
能に構成して、前記円盤状薄板１をラップ加工に必要な
加圧力を実現するようにする例について説明したが、本
発明としてはそれらに限定されるものでは無く、例えば
前記第１及び第２の工具主軸および第１および第２のラ
ップ盤の両方を軸方向に移動可能にして、前記円盤状薄
板１の両面の一様なラップ加工を可能にする実施形態を
採用することが出来るものである。

【００５０】上述の実施形態は、一例として前記円盤状
薄板１の両面の同時ラップ加工および一様なラップ加工
を可能にする観点より、前記第１及び第２工具主軸４
１、４２内に形成された前記同軸通路７４および軸端に
形成した前記分配穴７２を介して複数のラップ液供給穴
７１から、前記第１及び第２ラップ盤３１、３２の各ラ
ップ面３１、３２に対向する前記円盤状薄板１の両面に
ラップ液を供給する例について説明したが、本発明とし
てはそれらに限定されるものでは無く、例えば垂直に配
設された前記円盤状薄板１の上方その他の１か所より前
記円盤状薄板１の両面にラップ液を供給する実施形態を
採用することが出来るものである。

【００５１】上述の実施形態は、一例としてブラシ状の
前記ラップ液飛散防止カバー８を用いる例について説明
したが、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、エアーを用いて左右のラップ盤の外周にエアーを吹
きつけ、エアーカーテンを形成し、ラップ液の飛散を防
止する実施形態を採用することが出来るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の円盤状薄板のラップ装置を
示す図２中Ａ−Ａ線に沿う一部欠截断面図である。

【図２】本実施形態の円盤状薄板のラップ装置を示す正
面図である。

【図３】本実施形態の円盤状薄板のラップ装置の一部を
拡大して示す一部拡大平面図である。

【図４】本発明のその他の実施形態の円盤状薄板のラッ
プ装置の要部を示す一部欠截断面図である。

【図５】従来の円盤状薄板のラップ装置を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 円盤状薄板 ２ 回転力付与手段 ３ ラップ盤 ４ 主軸回転手段 ３０ ラップ面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 守年 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田工 機株式会社内 (72)発明者 岩井 英樹 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田工 機株式会社内 (72)発明者 稲田 豊 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田工 機株式会社内 (72)発明者 南 秀旻 群馬県安中市中野谷555番地の１ 株式会 社スーパーシリコン研究所内 (72)発明者 石川 俊文 群馬県安中市中野谷555番地の１ 株式会 社スーパーシリコン研究所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベース上に設けられ、第１水平軸線上で
   整列してそれぞれ第１及び第２の工具主軸を回転自在に
   支持すると共にこれら工具主軸を回転駆動する主軸回転
   手段を含む一対の工具ヘッドと、 前記第１及び第２工具主軸の対向端部にそれぞれ固定さ
   れ、加工すべき円盤状薄板の径よりも小径で対向端面に
   ラップ面が形成された第１及び第２ラップ盤と、 前記第１水平軸線と偏心した第２水平軸線の周りで円盤
   状薄板を回転可能に保持すべく前記円盤状薄板の外周を
   案内する案内手段と、 該案内手段により外周が案内された前記円盤状薄板を前
   記第２水平軸線の周りに回転駆動するための回転力を該
   円盤状薄板に付与する回転力付与手段と、 前記第１及び第２ラップ盤の前記ラップ面間に保持され
   た円盤状薄板を挾持するため前記第１及び第２工具主軸
   の一方を他方に対して前記第１水平軸線上で相対移動し
   前記第１及び第２ラップ盤のラップ面を前記円盤状薄板
   の両面に加圧する加圧力付与手段と、 前記第１及び第２ラップ盤の各ラップ面とこれに円盤状
   薄板との間にラップ液を供給するラップ液供給手段とか
   ら成ることを特徴とする円盤状薄板のラップ装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記第１水平軸線は、前記第２水平軸線の下方に偏心し
   て配置され、 前記第１及び第２ラップ盤の各々の下部を除く外周を包
   囲し円盤状薄板と密接して配置されたラップ液飛散防止
   カバーを備えていることを特徴とする円盤状薄板のラッ
   プ装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、 前記回転力付与手段を、前記ラップ液飛散防止カバーの
   外部で円盤状薄板の両端面を挾持する一対の截頭円錐車
   を回転支持する円錐車支持機構と、前記截頭円錐車を駆
   動する駆動モータとから成ることを特徴とする円盤状薄
   板のラップ装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、 前記円錐車支持機構が、 前記一方の截頭円錐車を回転自在に支持するとともに、
   前記他方の截頭円錐車に向かって移動できる可動支持部
   と、および前記一方の截頭円錐車を他方の截頭円錐車に
   向かって押圧するために可動支持部を移動する加圧手段
   と、から成ることを特徴とする円盤状薄板のラップ装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、 前記案内手段を、複数のローラによって構成し、 前記円盤状薄板の搬入時に上部に配置された案内ローラ
   を加工位置から退避させる退避機構を備えていることを
   特徴とする円盤状薄板のラップ装置。