JPH11271225A - 蛍光測定装置 - Google Patents
蛍光測定装置Info
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- JPH11271225A JPH11271225A JP10073698A JP7369898A JPH11271225A JP H11271225 A JPH11271225 A JP H11271225A JP 10073698 A JP10073698 A JP 10073698A JP 7369898 A JP7369898 A JP 7369898A JP H11271225 A JPH11271225 A JP H11271225A
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- sample
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Abstract
(57)【要約】
【課題】測定条件の異なる複数の測定点の蛍光測定を自
動的に実行することを目的とする。 【解決手段】測定条件の異なる複数の測定点に対応させ
て電子光学系，分光光度計に対する測定条件を予め記録
しておき、各測定点の測定時に測定条件を自動的に設定
して測定を実行する。
動的に実行することを目的とする。 【解決手段】測定条件の異なる複数の測定点に対応させ
て電子光学系，分光光度計に対する測定条件を予め記録
しておき、各測定点の測定時に測定条件を自動的に設定
して測定を実行する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、励起された試料か
ら発生する蛍光を測定する装置の測定の自動化に関す
る。
ら発生する蛍光を測定する装置の測定の自動化に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】試料に電子線やレーザー光線等の励起エ
ネルギー線を照射すると試料を構成する物質と励起エネ
ルギー線との相互作用により、反射電子，二次電子，特
性Ｘ線などとともに紫外から赤外領域にわたる蛍光、す
なわちカソードルミネッセンス（以下ＣＬという）やフ
ォトルミネッセンスが発生する。発生した蛍光を光ファ
イバー等により分光器に導きスペクトルを測定するこ
と、またある波長域の発光強度を電子線やレーザー光線
の走査と同期させて２次元配列することによりＣＬの発
光分布像（以下ＣＬ像）やフォトルミネッセンスの発光
分布像を得ることが可能である。
ネルギー線を照射すると試料を構成する物質と励起エネ
ルギー線との相互作用により、反射電子，二次電子，特
性Ｘ線などとともに紫外から赤外領域にわたる蛍光、す
なわちカソードルミネッセンス（以下ＣＬという）やフ
ォトルミネッセンスが発生する。発生した蛍光を光ファ
イバー等により分光器に導きスペクトルを測定するこ
と、またある波長域の発光強度を電子線やレーザー光線
の走査と同期させて２次元配列することによりＣＬの発
光分布像（以下ＣＬ像）やフォトルミネッセンスの発光
分布像を得ることが可能である。
【０００３】スペクトルや発光分布像を得る際には波長
をスキャンするスピードやスリット幅など分光器の測定
条件、および励起エネルギー線の照射範囲や照射エネル
ギー等の測定条件を設定する必要がある。
をスキャンするスピードやスリット幅など分光器の測定
条件、および励起エネルギー線の照射範囲や照射エネル
ギー等の測定条件を設定する必要がある。
【０００４】従来の装置では装置使用者が測定のたびに
これらの測定条件の各項目を逐一設定するか、あるいは
設定する測定条件の各項目をまとめて一旦記録媒体に記
録しておき、必要に応じて読み込むことにより設定する
など、装置使用者が手動で設定する方法が採られてい
る。
これらの測定条件の各項目を逐一設定するか、あるいは
設定する測定条件の各項目をまとめて一旦記録媒体に記
録しておき、必要に応じて読み込むことにより設定する
など、装置使用者が手動で設定する方法が採られてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置では、例え
ば測定条件の異なる複数の試料を測定する場合など測定
条件を変更しながら測定する必要がある場合には、測定
条件変更のたびに装置使用者による操作が必要となるた
め、測定を自動的に実行させることが困難であった。
ば測定条件の異なる複数の試料を測定する場合など測定
条件を変更しながら測定する必要がある場合には、測定
条件変更のたびに装置使用者による操作が必要となるた
め、測定を自動的に実行させることが困難であった。
【０００６】本発明の目的は、前記課題を解決し、測定
条件の異なる複数の測定点の蛍光測定の自動化を可能と
する装置を提供することにある。
条件の異なる複数の測定点の蛍光測定の自動化を可能と
する装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、試料を励起させるための励起エネルギー線を試料上
に照射させる手段と、励起された試料から発生する光を
分光する分光手段と、装置制御用コンピュータと、前記
装置制御用コンピュータから移動制御可能な試料ステー
ジとを備えた蛍光測定装置において次の手段を講じる。
に、試料を励起させるための励起エネルギー線を試料上
に照射させる手段と、励起された試料から発生する光を
分光する分光手段と、装置制御用コンピュータと、前記
装置制御用コンピュータから移動制御可能な試料ステー
ジとを備えた蛍光測定装置において次の手段を講じる。
【０００８】装置制御用コンピュータから、ステージ上
の複数の指定座標に励起エネルギー線が順次照射される
ようにステージを移動制御可能とするとともに各指定座
標に対応して測定条件をそれぞれ予め登録可能とする。
さらに、装置制御用コンピュータから、ステージが指定
座標に移動終了した時点で、前記指定座標に対応して登
録されている測定条件を自動的に設定する。あるいはス
テージの移動終了後に測定の開始が指示された時点で測
定条件を自動的に設定した後、測定を開始させる。
の複数の指定座標に励起エネルギー線が順次照射される
ようにステージを移動制御可能とするとともに各指定座
標に対応して測定条件をそれぞれ予め登録可能とする。
さらに、装置制御用コンピュータから、ステージが指定
座標に移動終了した時点で、前記指定座標に対応して登
録されている測定条件を自動的に設定する。あるいはス
テージの移動終了後に測定の開始が指示された時点で測
定条件を自動的に設定した後、測定を開始させる。
【０００９】この手段により測定の際に電子線を照射さ
せる位置を変えるに伴い測定条件が自動的に変更され
る。そのため、装置制御用コンピュータから指定座標へ
のステージ移動，測定の開始，測定の終了，測定データ
の記録媒体への記録等の一連の測定操作を実行するよう
に制御することにより測定条件の異なる複数の測定点を
自動的に測定することが可能となる。
せる位置を変えるに伴い測定条件が自動的に変更され
る。そのため、装置制御用コンピュータから指定座標へ
のステージ移動，測定の開始，測定の終了，測定データ
の記録媒体への記録等の一連の測定操作を実行するよう
に制御することにより測定条件の異なる複数の測定点を
自動的に測定することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例をＣＬ測定
装置を例に説明する。図１は本発明を実施する装置の構
成を示す。
装置を例に説明する。図１は本発明を実施する装置の構
成を示す。
【００１１】電子銃１から放射された電子線６は電子レ
ンズ２によって収束された後、偏向器３によって試料ス
テージ８に固定されている複数の試料７上に照射され
る。試料ステージ移動手段３５はパソコン２７の試料ス
テージ制御手段３１により制御され、指定された位置に
試料ステージ８を移動させる。試料ステージ８の移動先
位置はパソコン操作用のキーボード３３およびマウス３
４により指定される。
ンズ２によって収束された後、偏向器３によって試料ス
テージ８に固定されている複数の試料７上に照射され
る。試料ステージ移動手段３５はパソコン２７の試料ス
テージ制御手段３１により制御され、指定された位置に
試料ステージ８を移動させる。試料ステージ８の移動先
位置はパソコン操作用のキーボード３３およびマウス３
４により指定される。
【００１２】電子レンズ２，偏向器３はそれぞれレンズ
制御回路１１および偏向制御回路１２により制御され
る。電子線の走査スピード，走査範囲，加速電圧等電子
光学系は電子顕微鏡制御手段１８により制御され、その
操作はマウス１９およびキーボード２０による。また前
記電子光学系はパソコン２７から電子顕微鏡制御手段１
８を介して制御される。試料７上に電子線が照射される
と２次電子９、およびＣＬ１０が発生する。
制御回路１１および偏向制御回路１２により制御され
る。電子線の走査スピード，走査範囲，加速電圧等電子
光学系は電子顕微鏡制御手段１８により制御され、その
操作はマウス１９およびキーボード２０による。また前
記電子光学系はパソコン２７から電子顕微鏡制御手段１
８を介して制御される。試料７上に電子線が照射される
と２次電子９、およびＣＬ１０が発生する。
【００１３】発生したＣＬ１０は集光器５で集光された
後、光ファイバー２３を介して分光光度計２４に導か
れ、分光手段２５により分光される。分光光度計２４
は、パソコン２７の分光光度計制御手段２９により制御
され、ＣＬ１０のスペクトル測定を実行する。測定され
たスペクトルのデータはデータ転送手段２８によりパソ
コン２７に転送され、モニタ３２にスペクトルが表示さ
れる。
後、光ファイバー２３を介して分光光度計２４に導か
れ、分光手段２５により分光される。分光光度計２４
は、パソコン２７の分光光度計制御手段２９により制御
され、ＣＬ１０のスペクトル測定を実行する。測定され
たスペクトルのデータはデータ転送手段２８によりパソ
コン２７に転送され、モニタ３２にスペクトルが表示さ
れる。
【００１４】発生したＣＬ１０はまた、分光手段２５に
より指定された波長域のみ分離抽出され、ＣＬ受光器２
６に入射して増幅される。波長域はパソコン２７のキー
ボード３３またはマウス３４により入力し指定すること
ができる。パソコン２７は分光光度計２９を介して指定
波長域を分離抽出するよう分光手段２５を制御する。増
幅された信号は信号切り替え器１４を介してＡ／Ｄ変換
器１５によりデジタルデータに変換され、ＣＬ像として
画像メモリ１６に記憶される。記憶する際のメモリアド
レスはアドレス制御回路１３により決定される。
より指定された波長域のみ分離抽出され、ＣＬ受光器２
６に入射して増幅される。波長域はパソコン２７のキー
ボード３３またはマウス３４により入力し指定すること
ができる。パソコン２７は分光光度計２９を介して指定
波長域を分離抽出するよう分光手段２５を制御する。増
幅された信号は信号切り替え器１４を介してＡ／Ｄ変換
器１５によりデジタルデータに変換され、ＣＬ像として
画像メモリ１６に記憶される。記憶する際のメモリアド
レスはアドレス制御回路１３により決定される。
【００１５】一方、２次電子９は２次電子検出器４によ
り検出増幅された後、その信号はＣＬ１０の信号経路と
同様に信号切り替え器１４を介してＡ／Ｄ変換器１５に
よりデジタルデータに変換され、２次電子像として画像
メモリ１６に記憶される。画像メモリ１６に記録された
ＣＬ像または２次電子像はＤ／Ａ変換器２１によってア
ナログ信号に変換され、モニタ１７にリアルタイムで表
示される。また、画像メモリ１６に記録されたＣＬ像ま
たは２次電子像は画像転送手段２２によりパソコン２７
に転送され、画像表示手段３０によりモニタ３２に表示
される。
り検出増幅された後、その信号はＣＬ１０の信号経路と
同様に信号切り替え器１４を介してＡ／Ｄ変換器１５に
よりデジタルデータに変換され、２次電子像として画像
メモリ１６に記憶される。画像メモリ１６に記録された
ＣＬ像または２次電子像はＤ／Ａ変換器２１によってア
ナログ信号に変換され、モニタ１７にリアルタイムで表
示される。また、画像メモリ１６に記録されたＣＬ像ま
たは２次電子像は画像転送手段２２によりパソコン２７
に転送され、画像表示手段３０によりモニタ３２に表示
される。
【００１６】上記の構成で試料７を測定することにより
ＣＬスペクトル，ＣＬ像，２次電子像を得ることができ
る。
ＣＬスペクトル，ＣＬ像，２次電子像を得ることができ
る。
【００１７】測定は次の手順で行う。まず装置使用者は
ステージ８の移動先を順にマウス３４およびキーボード
３３により指定する。図２は試料ステージ８を上から見
た図である。測定条件の異なる複数の試料７が装着して
ある。移動先は各試料につき測定点座標を入力すること
により指定する。
ステージ８の移動先を順にマウス３４およびキーボード
３３により指定する。図２は試料ステージ８を上から見
た図である。測定条件の異なる複数の試料７が装着して
ある。移動先は各試料につき測定点座標を入力すること
により指定する。
【００１８】次に、装置使用者は指定した各測定点座標
に対して測定条件をマウス３４およびキーボード３３に
より選択設定する。測定条件として電子光学系に対して
は測定項目，加速電圧，倍率（走査範囲），走査形状，
走査スピード等を設定し、分光光度計２４に対しては、
波長スキャンスピード，ホトマル電圧，スリット幅等を
設定する。
に対して測定条件をマウス３４およびキーボード３３に
より選択設定する。測定条件として電子光学系に対して
は測定項目，加速電圧，倍率（走査範囲），走査形状，
走査スピード等を設定し、分光光度計２４に対しては、
波長スキャンスピード，ホトマル電圧，スリット幅等を
設定する。
【００１９】図３は各試料の測定点座標と測定条件の確
認のためモニタ３２に表示される画面の例である。例え
ば１番目の測定点３６対して測定点座標３９，電子光学
系に対する測定条件４０，分光高度計に対する測定条件
４１がそれぞれ表示される。使用者による設定が終了す
るとこれらの情報がパソコン２７の記録媒体に記録さ
れ、測定の際に使用される。
認のためモニタ３２に表示される画面の例である。例え
ば１番目の測定点３６対して測定点座標３９，電子光学
系に対する測定条件４０，分光高度計に対する測定条件
４１がそれぞれ表示される。使用者による設定が終了す
るとこれらの情報がパソコン２７の記録媒体に記録さ
れ、測定の際に使用される。
【００２０】次に装置使用者はパソコン２７に測定開始
を指示する。
を指示する。
【００２１】指示を受けるとパソコン２７は次のように
動作し、自動的に測定を行う。まず指定された１番目の
測定点３６に電子線６が照射されるよう試料ステージ制
御手段３５を介して試料ステージ８を移動させる。
動作し、自動的に測定を行う。まず指定された１番目の
測定点３６に電子線６が照射されるよう試料ステージ制
御手段３５を介して試料ステージ８を移動させる。
【００２２】例えば今、電子線照射中心３８が図２に示
す位置にあるとすると、１番目の測定のときには測定点
３６が電子線照射中心３８の位置に来るように試料ステ
ージ８を移動させる。
す位置にあるとすると、１番目の測定のときには測定点
３６が電子線照射中心３８の位置に来るように試料ステ
ージ８を移動させる。
【００２３】次にパソコン２７は電子顕微鏡制御手段１
８に制御コマンドを送信し、電子光学系に対する測定条
件４０を設定するとともに分光光度計制御手段２９を介
して分光光度計２４に対する測定条件４１を設定する。
８に制御コマンドを送信し、電子光学系に対する測定条
件４０を設定するとともに分光光度計制御手段２９を介
して分光光度計２４に対する測定条件４１を設定する。
【００２４】次にパソコン２７は電子顕微鏡制御手段１
８に制御コマンドを送信し、電子線６の照射を開始させ
るとともに分光光度計制御手段２９を介して分光光度計
２４に測定を開始させる。
８に制御コマンドを送信し、電子線６の照射を開始させ
るとともに分光光度計制御手段２９を介して分光光度計
２４に測定を開始させる。
【００２５】１番目の測定が終了するとパソコン２７は
上記と同様にして電子線６の照射を中断させ分光光度計
２４の動作を停止させた後、データ転送手段２８を介し
て取得したスペクトルデータあるいは画像転送手段２２
を介して取得したＣＬ像または２次電子像を記録媒体に
記録する。
上記と同様にして電子線６の照射を中断させ分光光度計
２４の動作を停止させた後、データ転送手段２８を介し
て取得したスペクトルデータあるいは画像転送手段２２
を介して取得したＣＬ像または２次電子像を記録媒体に
記録する。
【００２６】次に、測定点座標４２で指定されている２
番目の測定点３７に電子線が照射されるように試料ステ
ージ８を移動させ、前記と同様に２番目の測定点につい
て電子光学系に対する測定条件４３を設定するとともに
分光光度計４４に対する測定条件４１を設定する。
番目の測定点３７に電子線が照射されるように試料ステ
ージ８を移動させ、前記と同様に２番目の測定点につい
て電子光学系に対する測定条件４３を設定するとともに
分光光度計４４に対する測定条件４１を設定する。
【００２７】各測定点に対して以下同様の動作を繰り返
すことにより測定条件の異なる試料の蛍光測定を自動的
に実行させることができる。
すことにより測定条件の異なる試料の蛍光測定を自動的
に実行させることができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、測定条件の異なる複数
の測定点の蛍光測定を自動的に実行することができる。
の測定点の蛍光測定を自動的に実行することができる。
【図１】本発明を実施する蛍光測定装置の構成を示す構
成図。
成図。
【図２】図１の試料ステージを上側から見た平面図。
【図３】本発明の指定した座標，条件確認画面の表示例
を示す図。
を示す図。
１…電子銃、２…電子レンズ、３…偏向器、４…２次電
子検出器、５…集光器、６…電子線、７…試料、８…試
料ステージ、９…２次電子、１０…ＣＬ、１１…レンズ
制御回路、１２…偏向制御回路、１３…アドレス制御回
路、１４…信号切り替え器、１５…Ａ／Ｄ変換器、１６
…画像メモリ、１７，３２…モニタ、１８…電子顕微鏡
制御手段、２０，３３…キーボード、２１…Ｄ／Ａ変換
器、２２…画像転送手段、２３…光ファイバー、２４，
４４…分光光度計、２５…分光手段、２６…ＣＬ受光
部、２７…パソコン、２８…データ転送手段、２９…分
光光度計制御手段、３０…画像表示手段、３１…試料ス
テージ制御手段、３４…マウス、３５…試料ステージ移
動手段、３６…１番目の測定点、３７…２番目の測定
点、３８…電子線照射中心、３９…１番目の測定点座
標、４０，４３…電子光学系に対する測定条件、４１…
分光光度計に対する測定条件、４２…測定点座標。
子検出器、５…集光器、６…電子線、７…試料、８…試
料ステージ、９…２次電子、１０…ＣＬ、１１…レンズ
制御回路、１２…偏向制御回路、１３…アドレス制御回
路、１４…信号切り替え器、１５…Ａ／Ｄ変換器、１６
…画像メモリ、１７，３２…モニタ、１８…電子顕微鏡
制御手段、２０，３３…キーボード、２１…Ｄ／Ａ変換
器、２２…画像転送手段、２３…光ファイバー、２４，
４４…分光光度計、２５…分光手段、２６…ＣＬ受光
部、２７…パソコン、２８…データ転送手段、２９…分
光光度計制御手段、３０…画像表示手段、３１…試料ス
テージ制御手段、３４…マウス、３５…試料ステージ移
動手段、３６…１番目の測定点、３７…２番目の測定
点、３８…電子線照射中心、３９…１番目の測定点座
標、４０，４３…電子光学系に対する測定条件、４１…
分光光度計に対する測定条件、４２…測定点座標。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大楽 英昭 茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内 (72)発明者 黒目 雄三 茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内 (72)発明者 高須 久幸 茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内
Claims (1)
- 【請求項１】試料を励起させるための励起エネルギー線
を試料上に照射させる手段と、励起された試料から発生
する光を分光する分光手段と、装置制御用コンピュータ
と、前記装置制御用コンピュータから移動制御可能な試
料ステージとを備え、試料測定の際に、測定順または測
定位置ごとに測定条件の自動設定が可能であることを特
徴とする蛍光測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10073698A JPH11271225A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 蛍光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10073698A JPH11271225A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 蛍光測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271225A true JPH11271225A (ja) | 1999-10-05 |
Family
ID=13525703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10073698A Pending JPH11271225A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 蛍光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271225A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281170A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 視野移動方法 |
| JP2003098129A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Horiba Ltd | エネルギー分散型マイクロアナライザ |
| JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP10073698A patent/JPH11271225A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281170A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 視野移動方法 |
| JP2003098129A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Horiba Ltd | エネルギー分散型マイクロアナライザ |
| JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
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