JPH11272332A - 位置決めシリンダ装置 - Google Patents
位置決めシリンダ装置Info
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- JPH11272332A JPH11272332A JP7393298A JP7393298A JPH11272332A JP H11272332 A JPH11272332 A JP H11272332A JP 7393298 A JP7393298 A JP 7393298A JP 7393298 A JP7393298 A JP 7393298A JP H11272332 A JPH11272332 A JP H11272332A
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- piston
- cylinder body
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- ball screw
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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- Servomotors (AREA)
- Actuator (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピストンロッドの行程端の位置を容易に変更
できる位置決めシリンダ装置を提供する。 【解決手段】 ピストン2を内装したシリンダ本体1
と、ピストン2からシリンダ本体1の一端外方へ延びる
中空状のピストンロッド3と、ピストン2の移動に応じ
て回転するボールスクリュー5と、ボールスクリュー5
の回転角を検出する回転角検出器11と、シリンダ本体
1内のロッド側流体室1a及びヘッド側流体室1bへ作
動流体を供給し得る方向切換弁8と、回転角検出器11
からの回転角検出信号11s、予め設定された作動範囲
信号15s及び外部から入力される作動指令信号16s
に基づき方向切換弁8のソレノイド9a,9bを励磁す
るコントローラ10とを備え、作動範囲信号15sの設
定値を変えることにより、ピストンロッド3の行程端を
変更する。
できる位置決めシリンダ装置を提供する。 【解決手段】 ピストン2を内装したシリンダ本体1
と、ピストン2からシリンダ本体1の一端外方へ延びる
中空状のピストンロッド3と、ピストン2の移動に応じ
て回転するボールスクリュー5と、ボールスクリュー5
の回転角を検出する回転角検出器11と、シリンダ本体
1内のロッド側流体室1a及びヘッド側流体室1bへ作
動流体を供給し得る方向切換弁8と、回転角検出器11
からの回転角検出信号11s、予め設定された作動範囲
信号15s及び外部から入力される作動指令信号16s
に基づき方向切換弁8のソレノイド9a,9bを励磁す
るコントローラ10とを備え、作動範囲信号15sの設
定値を変えることにより、ピストンロッド3の行程端を
変更する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は位置決めシリンダ装
置に関する。
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、油圧シリンダなどの往復動方式の
アクチュエータを用いて、種々の機械の構成部材をアク
チュエータの行程範囲に応じた任意の数点間で往復動さ
せる場合には、アクチュエータの往復動部材、あるいは
機械の移動対象部材が、設定された往路行程端や復路行
程端に到達したか否かを、別途に設置したリミットスイ
ッチなどの検出手段で検出し、当該検出手段からの到達
検出信号に基づき、アクチュエータの作動を停止させる
ようにしている。
アクチュエータを用いて、種々の機械の構成部材をアク
チュエータの行程範囲に応じた任意の数点間で往復動さ
せる場合には、アクチュエータの往復動部材、あるいは
機械の移動対象部材が、設定された往路行程端や復路行
程端に到達したか否かを、別途に設置したリミットスイ
ッチなどの検出手段で検出し、当該検出手段からの到達
検出信号に基づき、アクチュエータの作動を停止させる
ようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなアクチュエータの停止機構では、機械の移動対
象部材が往復動すべき各行程端の位置を変える際には、
リミットスイッチなどの検出手段の設置位置を変更する
必要がある。
たようなアクチュエータの停止機構では、機械の移動対
象部材が往復動すべき各行程端の位置を変える際には、
リミットスイッチなどの検出手段の設置位置を変更する
必要がある。
【0004】また、検出手段の位置設定が適切でない
と、機械の移動対象部材を精度良く往復動させることが
できない。
と、機械の移動対象部材を精度良く往復動させることが
できない。
【0005】本発明は、上述した実情に鑑みてなしたも
ので、往復動部材であるピストンロッドの行程端の位置
を容易に変更できる位置決めシリンダ装置を提供するこ
とを目的としている。
ので、往復動部材であるピストンロッドの行程端の位置
を容易に変更できる位置決めシリンダ装置を提供するこ
とを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項1に記載した位置決めシリンダ装置
では、ピストンを内装したシリンダ本体と、ピストンか
らシリンダ本体の一端外方へ延びる中空状のピストンロ
ッドと、ピストンロッドに嵌入し得るようにピストンを
貫通し且つ周方向へ回動し得るようにシリンダ本体内に
配置されたボールスクリューと、ピストンに固着され且
つシリンダ本体に対するピストンの移動に伴いボールス
クリューを周方向へ回転させるボールナットと、ボール
スクリューの回転角を検出する回転角検出器と、ピスト
ンにより区分されたシリンダ本体内のロッド側流体室及
びヘッド側流体室へ作動流体を供給し得る電磁切換方式
の方向切換弁と、前記の回転角検出器からの回転角検出
信号、予め設定された作動範囲信号及び外部から入力さ
れる作動指令信号に基づき方向切換弁のソレノイドを励
磁するコントローラとを備えている。
め、本発明の請求項1に記載した位置決めシリンダ装置
では、ピストンを内装したシリンダ本体と、ピストンか
らシリンダ本体の一端外方へ延びる中空状のピストンロ
ッドと、ピストンロッドに嵌入し得るようにピストンを
貫通し且つ周方向へ回動し得るようにシリンダ本体内に
配置されたボールスクリューと、ピストンに固着され且
つシリンダ本体に対するピストンの移動に伴いボールス
クリューを周方向へ回転させるボールナットと、ボール
スクリューの回転角を検出する回転角検出器と、ピスト
ンにより区分されたシリンダ本体内のロッド側流体室及
びヘッド側流体室へ作動流体を供給し得る電磁切換方式
の方向切換弁と、前記の回転角検出器からの回転角検出
信号、予め設定された作動範囲信号及び外部から入力さ
れる作動指令信号に基づき方向切換弁のソレノイドを励
磁するコントローラとを備えている。
【0007】また、本発明の請求項2に記載した位置決
めシリンダ装置では、ピストンを内装したシリンダ本体
と、ピストンからシリンダ本体の一端外方へ延びる中空
状のピストンロッドと、ピストンロッドに嵌入し得るよ
うにピストンを貫通し且つシリンダ本体内に配置された
センサ支持用ロッドと、ピストンロッドの内側面に取り
付けられたシリンダ軸線方向へ延びる磁気スケールと、
ピストンロッドの内方に位置するようにセンサ支持ロッ
ドに取り付けられ且つ磁気スケールの相対位置を検出す
る磁気センサヘッドと、ピストンにより区分されたシリ
ンダ本体内のロッド側流体室及びヘッド側流体室へ作動
流体を供給し得る電磁切換方式の方向切換弁と、前記の
磁気センサヘッドからの位置検出信号、予め設定された
作動範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に基
づき方向切換弁のソレノイドを励磁するコントローラと
を備えている。
めシリンダ装置では、ピストンを内装したシリンダ本体
と、ピストンからシリンダ本体の一端外方へ延びる中空
状のピストンロッドと、ピストンロッドに嵌入し得るよ
うにピストンを貫通し且つシリンダ本体内に配置された
センサ支持用ロッドと、ピストンロッドの内側面に取り
付けられたシリンダ軸線方向へ延びる磁気スケールと、
ピストンロッドの内方に位置するようにセンサ支持ロッ
ドに取り付けられ且つ磁気スケールの相対位置を検出す
る磁気センサヘッドと、ピストンにより区分されたシリ
ンダ本体内のロッド側流体室及びヘッド側流体室へ作動
流体を供給し得る電磁切換方式の方向切換弁と、前記の
磁気センサヘッドからの位置検出信号、予め設定された
作動範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に基
づき方向切換弁のソレノイドを励磁するコントローラと
を備えている。
【0008】更に、本発明の請求項3に記載した位置決
めシリンダ装置では、ピストンを内装したシリンダ本体
と、ピストンからシリンダ本体の一端外方へ延びる中空
状のピストンロッドと、ピストンロッドに嵌入し得るよ
うにピストンを貫通し且つ周方向に回動し得るようにシ
リンダ本体内に配置されたボールスクリューと、ピスト
ンの固着され且つボールスクリューの周方向への回動に
伴いピストンを軸線方向へ移動させるボールナットと、
ボールスクリューを周方向に回転させるモータと、ボー
ルスクリューの回転角を検出する回転角検出器と、該回
転角検出器からの回転角検出信号、予め設定された作動
範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に基づき
モータを作動させるコントローラとを備えている。
めシリンダ装置では、ピストンを内装したシリンダ本体
と、ピストンからシリンダ本体の一端外方へ延びる中空
状のピストンロッドと、ピストンロッドに嵌入し得るよ
うにピストンを貫通し且つ周方向に回動し得るようにシ
リンダ本体内に配置されたボールスクリューと、ピスト
ンの固着され且つボールスクリューの周方向への回動に
伴いピストンを軸線方向へ移動させるボールナットと、
ボールスクリューを周方向に回転させるモータと、ボー
ルスクリューの回転角を検出する回転角検出器と、該回
転角検出器からの回転角検出信号、予め設定された作動
範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に基づき
モータを作動させるコントローラとを備えている。
【0009】本発明の請求項1に記載した位置決めシリ
ンダ装置においては、ピストンの直線運動をボールスク
リュー及びボールナットを介して回転運動に変換し、回
転角検出器により検出したボールスクリューの回転角に
基づき、コントローラがシリンダ本体に対するピストン
の位置を求める。
ンダ装置においては、ピストンの直線運動をボールスク
リュー及びボールナットを介して回転運動に変換し、回
転角検出器により検出したボールスクリューの回転角に
基づき、コントローラがシリンダ本体に対するピストン
の位置を求める。
【0010】更に、回転角検出器からの回転角検出信
号、予め設定された作動範囲信号及び外部から入力され
る作動指令信号に基づき、コントローラが方向切換弁の
ソレノイドを励磁し、シリンダ本体内のロッド側流体室
あるいはヘッド側流体室に作動流体を供給する。
号、予め設定された作動範囲信号及び外部から入力され
る作動指令信号に基づき、コントローラが方向切換弁の
ソレノイドを励磁し、シリンダ本体内のロッド側流体室
あるいはヘッド側流体室に作動流体を供給する。
【0011】本発明の請求項2に記載した位置決めシリ
ンダ装置においては、磁気センサヘッドにより検出した
ピストンロッド内の磁気スケールの変位に基づき、コン
トローラがシリンダ本体に対するピストンの位置を求め
る。
ンダ装置においては、磁気センサヘッドにより検出した
ピストンロッド内の磁気スケールの変位に基づき、コン
トローラがシリンダ本体に対するピストンの位置を求め
る。
【0012】更に、磁気センサヘッドからの位置検出信
号、予め設定された作動範囲信号及び外部から入力され
る作動指令信号に基づき、コントローラが方向切換弁の
ソレノイドを励磁し、シリンダ本体内のロッド側流体室
あるいはヘッド側流体室に作動流体を供給する。
号、予め設定された作動範囲信号及び外部から入力され
る作動指令信号に基づき、コントローラが方向切換弁の
ソレノイドを励磁し、シリンダ本体内のロッド側流体室
あるいはヘッド側流体室に作動流体を供給する。
【0013】本発明の請求項3に記載した位置決めシリ
ンダ装置においては、回転角検出器により検出したシリ
ンダ移動用のボールスクリューの回転角に基づき、コン
トローラがシリンダ本体に対するピストンの位置を求め
る。
ンダ装置においては、回転角検出器により検出したシリ
ンダ移動用のボールスクリューの回転角に基づき、コン
トローラがシリンダ本体に対するピストンの位置を求め
る。
【0014】更に、回転角検出器、予め設定された作動
範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に基づ
き、コントローラがモータを作動させる。
範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に基づ
き、コントローラがモータを作動させる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【0016】図1は本発明の位置決めシリンダ装置の実
施の形態の第1の例を示すものである。
施の形態の第1の例を示すものである。
【0017】この位置決めシリンダ装置は、ピストン2
を内装したシリンダ本体1と、ピストン2からシリンダ
本体1の一端外方へ延びる中空状のピストンロッド3
と、ピストン2を貫通し且つ周方向に回動し得るように
シリンダ本体1内に同軸に配置されたボールスクリュー
5と、シリンダ本体1の他端部に設けられ且つボールス
クリュー5を枢支する軸受部材6と、ピストン2に固着
され且つボールスクリュー5に螺合したボールナット7
と、シリンダ本体1の他端部に設けられ且つボールスク
リュー5の回転角を検出するロータリエンコーダなどの
回転角検出器11と、ピストン2により区分されたシリ
ンダ本体1内のロッド側流体室1a及びヘッド側流体室
1bに作動流体を供給する方向切換弁8と、コントロー
ラ10とを備えている。
を内装したシリンダ本体1と、ピストン2からシリンダ
本体1の一端外方へ延びる中空状のピストンロッド3
と、ピストン2を貫通し且つ周方向に回動し得るように
シリンダ本体1内に同軸に配置されたボールスクリュー
5と、シリンダ本体1の他端部に設けられ且つボールス
クリュー5を枢支する軸受部材6と、ピストン2に固着
され且つボールスクリュー5に螺合したボールナット7
と、シリンダ本体1の他端部に設けられ且つボールスク
リュー5の回転角を検出するロータリエンコーダなどの
回転角検出器11と、ピストン2により区分されたシリ
ンダ本体1内のロッド側流体室1a及びヘッド側流体室
1bに作動流体を供給する方向切換弁8と、コントロー
ラ10とを備えている。
【0018】ボールスクリュー5は、ピストン2の行程
に応じた長さに形成され、ピストン2の移動に応じて回
動し、またピストンロッド3の中空部4に対する嵌入長
さが変化するようになっている。
に応じた長さに形成され、ピストン2の移動に応じて回
動し、またピストンロッド3の中空部4に対する嵌入長
さが変化するようになっている。
【0019】方向切換弁8には、4ポート3位置電磁切
換弁が用いられており、一方のソレノイド9aを励磁す
ると、ポンプポートPが一方の切換ポートAに連通し且
つ他方の切換ポートBがタンクポートTに連通する切換
位置にスプールが移動し、他方のソレノイド9bを励磁
すると、ポンプポートPが他方の切換ポートBに連通し
且つ一方の切換ポートAがタンクポートTに連通する切
換位置にスプールが移動する。
換弁が用いられており、一方のソレノイド9aを励磁す
ると、ポンプポートPが一方の切換ポートAに連通し且
つ他方の切換ポートBがタンクポートTに連通する切換
位置にスプールが移動し、他方のソレノイド9bを励磁
すると、ポンプポートPが他方の切換ポートBに連通し
且つ一方の切換ポートAがタンクポートTに連通する切
換位置にスプールが移動する。
【0020】また、ソレノイド9a,9bの双方が励磁
されていないときには、ポンプポートP並びにタンクポ
ートTが切換ポートA,Bのいずれにも連通しない中立
位置にスプールが設定される。
されていないときには、ポンプポートP並びにタンクポ
ートTが切換ポートA,Bのいずれにも連通しない中立
位置にスプールが設定される。
【0021】方向切換弁8のポンプポートPには、油圧
ポンプ(図示せず)の吐出口に連通する管路81が接続
され、タンクポートTには、油タンク(図示せず)に連
通する管路82が接続されている。
ポンプ(図示せず)の吐出口に連通する管路81が接続
され、タンクポートTには、油タンク(図示せず)に連
通する管路82が接続されている。
【0022】また、一方の切換ポートAは、ロッド側流
体室1aに連通する管路83が接続され、他方の切換ポ
ートBは、ヘッド側流体室1bに連通する管路84が接
続されている。
体室1aに連通する管路83が接続され、他方の切換ポ
ートBは、ヘッド側流体室1bに連通する管路84が接
続されている。
【0023】コントローラ10は、ポジショナー部12
と、インターフェイス部13と、アンプ部14とを有し
ている。
と、インターフェイス部13と、アンプ部14とを有し
ている。
【0024】ポジショナー部12は、回転角検出器11
から出力される回転角検出信号11sに基づきシリンダ
本体1に対するピストン2の位置を求めて、ピストン位
置信号12sを出力する。
から出力される回転角検出信号11sに基づきシリンダ
本体1に対するピストン2の位置を求めて、ピストン位
置信号12sを出力する。
【0025】インターフェイス部13は、ポジショナー
部12からのピストン位置信号12s、ピストン2の作
動範囲を設定する作動範囲設定器15からの作動範囲信
号15s及び上位の制御系(図示せず)からの作動指令
信号16sに基づき、励磁指令信号13sを出力する。
部12からのピストン位置信号12s、ピストン2の作
動範囲を設定する作動範囲設定器15からの作動範囲信
号15s及び上位の制御系(図示せず)からの作動指令
信号16sに基づき、励磁指令信号13sを出力する。
【0026】アンプ部14は、インターフェイス部13
からの励磁指令信号13sに基づき、方向切換弁8のソ
レノイド9a,9bに対する励磁電流10a,10bを
出力する。
からの励磁指令信号13sに基づき、方向切換弁8のソ
レノイド9a,9bに対する励磁電流10a,10bを
出力する。
【0027】すなわち、図1に示す位置決めシリンダ装
置では、ピストン2の直線運動をボールスクリュー5及
びボールナット7を介して回転運動に変換し、回転角検
出器11で検出されたボールスクリュー5の回転角に基
づき、コントローラ10のポジショナー部12におい
て、シリンダ本体1に対するピストン2の位置が求めら
れる。
置では、ピストン2の直線運動をボールスクリュー5及
びボールナット7を介して回転運動に変換し、回転角検
出器11で検出されたボールスクリュー5の回転角に基
づき、コントローラ10のポジショナー部12におい
て、シリンダ本体1に対するピストン2の位置が求めら
れる。
【0028】次いで、上位の制御系からインターフェイ
ス部13へ作動指令信号16sが出力されると、ポジシ
ョナー部12からのピストン位置信号12s、及び作動
範囲設定器15からの作動範囲信号15sに基づき、イ
ンターフェイス部13からアンプ部14に対して励磁指
令信号13sが出力され、一方のソレノイド9aへの励
磁電流10a、あるいは他方のソレノイド9bへの励磁
電流10bがアンプ部14から出力されることになる。
ス部13へ作動指令信号16sが出力されると、ポジシ
ョナー部12からのピストン位置信号12s、及び作動
範囲設定器15からの作動範囲信号15sに基づき、イ
ンターフェイス部13からアンプ部14に対して励磁指
令信号13sが出力され、一方のソレノイド9aへの励
磁電流10a、あるいは他方のソレノイド9bへの励磁
電流10bがアンプ部14から出力されることになる。
【0029】これにより、方向切換弁8のスプールが移
動し、シリンダ本体1のロッド側流体室1aあるいはヘ
ッド側流体室1bに対して作動流体圧が付与され、前記
の作動指令信号16sに応じた方向へピストン2が移動
する。
動し、シリンダ本体1のロッド側流体室1aあるいはヘ
ッド側流体室1bに対して作動流体圧が付与され、前記
の作動指令信号16sに応じた方向へピストン2が移動
する。
【0030】また、ピストン2が作動範囲信号15sに
応じた位置まで移動すると、インターフェイス部13か
らアンプ部14へ励磁指令信号13sが出力されなくな
り、アンプ部14からソレノイド9a,9bに対する励
磁電流10a,10bの出力が中断される。
応じた位置まで移動すると、インターフェイス部13か
らアンプ部14へ励磁指令信号13sが出力されなくな
り、アンプ部14からソレノイド9a,9bに対する励
磁電流10a,10bの出力が中断される。
【0031】これにより、方向切換弁8のスプールが中
立位置に設定され、ピストン2が停止する。
立位置に設定され、ピストン2が停止する。
【0032】更に、ピストン2の作動範囲は、作動範囲
設定器15からインターフェイス部13への作動範囲信
号15sに基づいているので、当該作動範囲信号15s
の設定値を変化させることにより、ピストンロッド3の
行程端を容易に且つ正確に変更することができる。
設定器15からインターフェイス部13への作動範囲信
号15sに基づいているので、当該作動範囲信号15s
の設定値を変化させることにより、ピストンロッド3の
行程端を容易に且つ正確に変更することができる。
【0033】図2は本発明の位置決めシリンダ装置の実
施の形態の第2の例を示すものであり、図中、図1と同
一の符号を付した部分は同一物を表している。
施の形態の第2の例を示すものであり、図中、図1と同
一の符号を付した部分は同一物を表している。
【0034】この位置決めシリンダ装置は、ピストン2
を内装したシリンダ本体1と、ピストン2からシリンダ
本体1の一端外方へ延びる中空状のピストンロッド3
と、ピストン2を貫通し且つシリンダ本体1内に同軸に
配置されたセンサ支持ロッド21と、ピストンロッド3
の内側面に取り付けられたシリンダ軸線方向に延びる磁
気スケール22と、ピストンロッド3の内方に位置する
ようにセンサ支持ロッド21に取り付けられ且つ磁気ス
ケール22の相対位置を検出する磁気センサヘッド23
と、ロッド側流体室1a及びヘッド側流体室1bに作動
流体を供給する方向切換弁8と、コントローラ24とを
備えている。
を内装したシリンダ本体1と、ピストン2からシリンダ
本体1の一端外方へ延びる中空状のピストンロッド3
と、ピストン2を貫通し且つシリンダ本体1内に同軸に
配置されたセンサ支持ロッド21と、ピストンロッド3
の内側面に取り付けられたシリンダ軸線方向に延びる磁
気スケール22と、ピストンロッド3の内方に位置する
ようにセンサ支持ロッド21に取り付けられ且つ磁気ス
ケール22の相対位置を検出する磁気センサヘッド23
と、ロッド側流体室1a及びヘッド側流体室1bに作動
流体を供給する方向切換弁8と、コントローラ24とを
備えている。
【0035】コントローラ24は、ポジショナー部25
と、先に述べたインターフェイス部13及びアンプ部1
4とを有している。
と、先に述べたインターフェイス部13及びアンプ部1
4とを有している。
【0036】ポジショナー部25は、磁気センサヘッド
23から出力される位置検出信号23sに基づきシリン
ダ本体1に対するピストン2の位置を求めて、ピストン
位置信号12sを出力するように構成されている。
23から出力される位置検出信号23sに基づきシリン
ダ本体1に対するピストン2の位置を求めて、ピストン
位置信号12sを出力するように構成されている。
【0037】すなわち、図2に示す位置決めシリンダ装
置では、磁気センサヘッド23で検出された磁気スケー
ル22の変位に基づき、コントローラ24のポジショナ
ー部25において、シリンダ本体1に対するピストン2
の位置が求められる。
置では、磁気センサヘッド23で検出された磁気スケー
ル22の変位に基づき、コントローラ24のポジショナ
ー部25において、シリンダ本体1に対するピストン2
の位置が求められる。
【0038】次いで、上位の制御系からインターフェイ
ス部13へ作動指令信号16sが出力されると、ポジシ
ョナー部25からのピストン位置信号12s、及び作動
範囲設定器15からの作動範囲信号15sに基づき、イ
ンターフェイス部13からアンプ部14に対して励磁指
令信号13sが出力され、一方のソレノイド9aへの励
磁電流10a、あるいは他方のソレノイド9bへの励磁
電流10bがアンプ部14から出力されて、作動指令信
号16sに応じた方向へピストン2が移動する。
ス部13へ作動指令信号16sが出力されると、ポジシ
ョナー部25からのピストン位置信号12s、及び作動
範囲設定器15からの作動範囲信号15sに基づき、イ
ンターフェイス部13からアンプ部14に対して励磁指
令信号13sが出力され、一方のソレノイド9aへの励
磁電流10a、あるいは他方のソレノイド9bへの励磁
電流10bがアンプ部14から出力されて、作動指令信
号16sに応じた方向へピストン2が移動する。
【0039】また、ピストン2が作動範囲信号15sに
応じた位置まで移動すると、インターフェイス部13か
らアンプ部14へ励磁指令信号13sが出力されなくな
り、アンプ部14からソレノイド9a,9bに対する励
磁電流10a,10bの出力が中断されて、ピストン2
が停止する。
応じた位置まで移動すると、インターフェイス部13か
らアンプ部14へ励磁指令信号13sが出力されなくな
り、アンプ部14からソレノイド9a,9bに対する励
磁電流10a,10bの出力が中断されて、ピストン2
が停止する。
【0040】更に、ピストン2の作動範囲は、作動範囲
設定器15からインターフェイス部13への作動範囲信
号15sに基づいているので、当該作動範囲信号15s
の設定値を変化させることにより、ピストンロッド3の
行程端を容易に且つ正確に変更することができる。
設定器15からインターフェイス部13への作動範囲信
号15sに基づいているので、当該作動範囲信号15s
の設定値を変化させることにより、ピストンロッド3の
行程端を容易に且つ正確に変更することができる。
【0041】図3は本発明の位置決めシリンダ装置の実
施の形態の第3の例を示すもので、あり、図中、図1と
同一の符号を付した部分は同一物を表している。
施の形態の第3の例を示すもので、あり、図中、図1と
同一の符号を付した部分は同一物を表している。
【0042】この位置決めシリンダ装置では、図1にお
ける方向切換弁8及びコントローラ10に替えて、モー
タ31及びコントローラ32を用いている。
ける方向切換弁8及びコントローラ10に替えて、モー
タ31及びコントローラ32を用いている。
【0043】モータ31は、シリンダ本体1の他端側に
位置し、ボールスクリュー5を周方向に回動させるよう
になっている。
位置し、ボールスクリュー5を周方向に回動させるよう
になっている。
【0044】また、ボールスクリュー5の回転角は、モ
ータ31の回転軸を介して回転角検出器11により検出
されるようになっている。
ータ31の回転軸を介して回転角検出器11により検出
されるようになっている。
【0045】コントローラ32は、先に述べたポジショ
ナー部12と、インターフェイス部33及びアンプ部3
4とを有している。
ナー部12と、インターフェイス部33及びアンプ部3
4とを有している。
【0046】インターフェイス部33は、ポジショナー
部12からのピストン位置信号12s、ピストン2の作
動範囲を設定する作動範囲設定器15からの作動範囲信
号15s及び上位の制御系(図示せず)からの作動指令
信号16sに基づき、通電指令信号33sを出力するよ
うに構成されている。
部12からのピストン位置信号12s、ピストン2の作
動範囲を設定する作動範囲設定器15からの作動範囲信
号15s及び上位の制御系(図示せず)からの作動指令
信号16sに基づき、通電指令信号33sを出力するよ
うに構成されている。
【0047】アンプ部34は、インターフェイス部33
からの通電指令信号33sに基づき、モータ31へ電流
32aを通電するように構成されている。
からの通電指令信号33sに基づき、モータ31へ電流
32aを通電するように構成されている。
【0048】すなわち、図3に示す位置決めシリンダ装
置では、回転角検出器11で検出されたボールスクリュ
ー5の回転角に基づき、コントローラ32のポジショナ
ー部12において、シリンダ本体1に対するピストン2
の位置が求められる。
置では、回転角検出器11で検出されたボールスクリュ
ー5の回転角に基づき、コントローラ32のポジショナ
ー部12において、シリンダ本体1に対するピストン2
の位置が求められる。
【0049】次いで、上位の制御系からインターフェイ
ス部33へ作動指令信号16sが出力されると、ポジシ
ョナー部12からのピストン位置信号12s、及び作動
範囲設定器15からの作動範囲信号15sに基づき、イ
ンターフェイス部33からアンプ部34に対して通電指
令信号33sが出力され、アンプ部34からモータ31
へ電流32aが通電される。
ス部33へ作動指令信号16sが出力されると、ポジシ
ョナー部12からのピストン位置信号12s、及び作動
範囲設定器15からの作動範囲信号15sに基づき、イ
ンターフェイス部33からアンプ部34に対して通電指
令信号33sが出力され、アンプ部34からモータ31
へ電流32aが通電される。
【0050】これにより、ボールスクリュー5が回転
し、前記の作動指令信号16sに応じた方向へピストン
2が移動する。
し、前記の作動指令信号16sに応じた方向へピストン
2が移動する。
【0051】また、ピストン2が作動範囲信号15sに
応じた位置まで移動すると、インターフェイス部33か
らアンプ部34へ通電指令信号33sが出力されなくな
り、アンプ部34からモータ31への電流32aの通電
が中断される。
応じた位置まで移動すると、インターフェイス部33か
らアンプ部34へ通電指令信号33sが出力されなくな
り、アンプ部34からモータ31への電流32aの通電
が中断される。
【0052】これにより、ボールスクリュー5が回転し
ない状態になり、ピストン2が停止する。
ない状態になり、ピストン2が停止する。
【0053】更に、ピストン2の作動範囲は、作動範囲
設定器15からインターフェイス部33への作動範囲信
号15sに基づいているので、当該作動範囲信号15s
の設定値を変化させることにより、ピストンロッド3の
行程端を容易に且つ正確に変更することができる。
設定器15からインターフェイス部33への作動範囲信
号15sに基づいているので、当該作動範囲信号15s
の設定値を変化させることにより、ピストンロッド3の
行程端を容易に且つ正確に変更することができる。
【0054】なお、本発明の位置決めシリンダ装置は上
述した実施の形態のみに限定されるものではなく、電磁
比例弁に替えて通常の電磁弁、あるいはサーボ弁を方向
切換弁として用いた構成とすること、その他、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において変更を加え得ることは勿
論である。
述した実施の形態のみに限定されるものではなく、電磁
比例弁に替えて通常の電磁弁、あるいはサーボ弁を方向
切換弁として用いた構成とすること、その他、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において変更を加え得ることは勿
論である。
【0055】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の位置決めシ
リンダ装置においては、下記のような種々の優れた効果
を奏し得る。
リンダ装置においては、下記のような種々の優れた効果
を奏し得る。
【0056】(1)本発明の請求項1に記載した位置決
めシリンダ装置では、回転角検出器により検出したボー
ルスクリューの回転角に基づき、シリンダ本体に対する
ピストンの位置を求め、予め設定された作動範囲信号及
び外部から入力される作動指令信号に基づき、方向切換
弁のソレノイドを励磁して、シリンダ本体内のロッド側
流体室あるいはヘッド側流体室に作動流体を供給するの
で、作動範囲信号の設定値を変えることにより、ピスト
ンロッドの行程端を容易に且つ正確に変更することがで
きる。
めシリンダ装置では、回転角検出器により検出したボー
ルスクリューの回転角に基づき、シリンダ本体に対する
ピストンの位置を求め、予め設定された作動範囲信号及
び外部から入力される作動指令信号に基づき、方向切換
弁のソレノイドを励磁して、シリンダ本体内のロッド側
流体室あるいはヘッド側流体室に作動流体を供給するの
で、作動範囲信号の設定値を変えることにより、ピスト
ンロッドの行程端を容易に且つ正確に変更することがで
きる。
【0057】(2)本発明の請求項2に記載した位置決
めシリンダ装置では、磁気センサヘッドにより検出した
ピストンロッド内の磁気スケールの変位に基づき、シリ
ンダ本体に対するピストンの位置を求め、予め設定され
た作動範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に
基づき、方向切換弁のソレノイドを励磁して、シリンダ
本体内のロッド側流体室あるいはヘッド側流体室に作動
流体を供給するので、作動範囲信号の設定値を変えるこ
とにより、ピストンロッド行程端を容易に且つ正確に変
更することができる。
めシリンダ装置では、磁気センサヘッドにより検出した
ピストンロッド内の磁気スケールの変位に基づき、シリ
ンダ本体に対するピストンの位置を求め、予め設定され
た作動範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に
基づき、方向切換弁のソレノイドを励磁して、シリンダ
本体内のロッド側流体室あるいはヘッド側流体室に作動
流体を供給するので、作動範囲信号の設定値を変えるこ
とにより、ピストンロッド行程端を容易に且つ正確に変
更することができる。
【0058】(3)本発明の請求項3に記載した位置決
めシリンダ装置では、回転角検出器により検出したシリ
ンダ移動用のボールスクリューの回転角に基づき、シリ
ンダ本体に対するピストンの位置を求め、予め設定され
た作動範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に
基づき、モータを作動させるので、作動範囲信号の設定
値を変えることにより、ピストンロッドの行程端を容易
に且つ正確に変更することができる。
めシリンダ装置では、回転角検出器により検出したシリ
ンダ移動用のボールスクリューの回転角に基づき、シリ
ンダ本体に対するピストンの位置を求め、予め設定され
た作動範囲信号及び外部から入力される作動指令信号に
基づき、モータを作動させるので、作動範囲信号の設定
値を変えることにより、ピストンロッドの行程端を容易
に且つ正確に変更することができる。
【図1】本発明の位置決めシリンダ装置の実施の形態の
第1の例の概念図である。
第1の例の概念図である。
【図2】本発明の位置決めシリンダ装置の実施の形態の
第2の例の概念図である。
第2の例の概念図である。
【図3】本発明の位置決めシリンダ装置の実施の形態の
第3の例の概念図である。
第3の例の概念図である。
1 シリンダ本体 1a ロッド側流体室 1b ヘッド側流体室 2 ピストン 3 ピストンロッド 5 ボールスクリュー 7 ボールナット 8 方向切換弁 9a ソレノイド 9b ソレノイド 10 コントローラ 11 回転角検出器 11s 回転角検出信号 15s 作動範囲信号 16s 作動指令信号 21 センサ支持ロッド 22 磁気スケール 23 磁気センサヘッド 23s 位置検出信号 24 コントローラ 31 モータ 32 コントローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 薫 東京都江東区豊洲三丁目2番16号 石川島 播磨重工業株式会社豊洲総合事務所内
Claims (3)
- 【請求項1】 ピストンを内装したシリンダ本体と、ピ
ストンからシリンダ本体の一端外方へ延びる中空状のピ
ストンロッドと、ピストンロッドに嵌入し得るようにピ
ストンを貫通し且つ周方向へ回動し得るようにシリンダ
本体内に配置されたボールスクリューと、ピストンに固
着され且つシリンダ本体に対するピストンの移動に伴い
ボールスクリューを周方向へ回転させるボールナット
と、ボールスクリューの回転角を検出する回転角検出器
と、ピストンにより区分されたシリンダ本体内のロッド
側流体室及びヘッド側流体室へ作動流体を供給し得る電
磁切換方式の方向切換弁と、前記の回転角検出器からの
回転角検出信号、予め設定された作動範囲信号及び外部
から入力される作動指令信号に基づき方向切換弁のソレ
ノイドを励磁するコントローラとを備えてなることを特
徴とする位置決めシリンダ装置。 - 【請求項2】 ピストンを内装したシリンダ本体と、ピ
ストンからシリンダ本体の一端外方へ延びる中空状のピ
ストンロッドと、ピストンロッドに嵌入し得るようにピ
ストンを貫通し且つシリンダ本体内に配置されたセンサ
支持用ロッドと、ピストンロッドの内側面に取り付けら
れたシリンダ軸線方向へ延びる磁気スケールと、ピスト
ンロッドの内方に位置するようにセンサ支持ロッドに取
り付けられ且つ磁気スケールの相対位置を検出する磁気
センサヘッドと、ピストンにより区分されたシリンダ本
体内のロッド側流体室及びヘッド側流体室へ作動流体を
供給し得る電磁切換方式の方向切換弁と、前記の磁気セ
ンサヘッドからの位置検出信号、予め設定された作動範
囲信号及び外部から入力される作動指令信号に基づき方
向切換弁のソレノイドを励磁するコントローラとを備え
てなることを特徴とする位置決めシリンダ装置。 - 【請求項3】 ピストンを内装したシリンダ本体と、ピ
ストンからシリンダ本体の一端外方へ延びる中空状のピ
ストンロッドと、ピストンロッドに嵌入し得るようにピ
ストンを貫通し且つ周方向に回動し得るようにシリンダ
本体内に配置されたボールスクリューと、ピストンに固
着され且つボールスクリューの周方向への回動に伴いピ
ストンを軸線方向へ移動させるボールナットと、ボール
スクリューを周方向に回転させるモータと、ボールスク
リューの回転角を検出する回転角検出器と、該回転角検
出器からの回転角検出信号、予め設定された作動範囲信
号及び外部から入力される作動指令信号に基づきモータ
を作動させるコントローラとを備えてなることを特徴と
する位置決めシリンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7393298A JPH11272332A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 位置決めシリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7393298A JPH11272332A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 位置決めシリンダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11272332A true JPH11272332A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13532405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7393298A Pending JPH11272332A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 位置決めシリンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11272332A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7397209B2 (en) | 2005-12-08 | 2008-07-08 | Nabtesco Corporation | Actuator |
| JP2010023827A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Hamilton Sundstrand Corp | 補助動力装置用の入口ドア動作装置 |
| US20100132350A1 (en) * | 2008-12-01 | 2010-06-03 | Nabtesco Corporation | Electric actuator |
| JP2011513139A (ja) * | 2008-03-18 | 2011-04-28 | ユーロコプテール ドイチェランド ゲーエムベーハー | 緊急時にパッセンジャードアを開放するデバイス |
| JP2011525450A (ja) * | 2008-06-24 | 2011-09-22 | ウッドウォード エイチアールティー インコーポレイティド | 位置検出アセンブリ |
| KR101134007B1 (ko) * | 2009-07-21 | 2012-04-05 | 엠에스 주식회사 | 브레이크 패드 성형기의 유압실린더 압력 제어장치 |
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| CN104265735A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-01-07 | 山东同力液压装备有限公司 | 一种精密位移非接触式液压油缸 |
| JP2015014990A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | Smc株式会社 | アクチュエータの異常検出システム |
| KR102183781B1 (ko) * | 2020-02-17 | 2020-11-27 | 윤종수 | 전동식 록킹기능을 갖는 유압실린더장치 |
| JP2021047050A (ja) * | 2019-09-17 | 2021-03-25 | ナブテスコ株式会社 | リニアアクチュエータ、ロッド位置算出方法、位置算出プログラム、及び位置算出装置 |
| WO2022239943A1 (ko) * | 2021-05-11 | 2022-11-17 | 박종민 | 스크류 유체 실런더 |
| CN115475805A (zh) * | 2021-06-16 | 2022-12-16 | 朴钟民 | 利用螺杆缸体的气体处理设备用粉末去除装置 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP7393298A patent/JPH11272332A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104265735A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-01-07 | 山东同力液压装备有限公司 | 一种精密位移非接触式液压油缸 |
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| CN115475805A (zh) * | 2021-06-16 | 2022-12-16 | 朴钟民 | 利用螺杆缸体的气体处理设备用粉末去除装置 |
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