JPH11274060A5

JPH11274060A5 -

Info

Publication number: JPH11274060A5
Application number: JP1998090958A
Authority: JP
Filing date: 1998-03-19
Publication date: 2005-10-06

Claims

光束を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源からなる第１多数光源を形成するための第１オプティカルインテグレータと、該第１オプティカルインテグレータにより形成される第１多数光源からの光束に基づいてより多数の光源からなる第２多数光源を形成するための第２オプティカルインテグレータと、該第２オプティカルインテグレータにより形成される第２多数光源からの光束を集光して被照射面を照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、
前記第１オプティカルインテグレータと前記第２オプティカルインテグレータとの間の光路中には、前記第１オプティカルインテグレータにより形成される第１多数光源からの光束に基づいて、前記第２オプティカルインテグレータの入射面に関して基準光軸に対し偏心した複数の照射領域を形成するプリズム光学系が配置され、
前記プリズム光学系は、前記複数の照射領域の位置を調整可能に構成されていることを特徴とする照明光学装置。
前記プリズム光学系は、光源側から順に、第１プリズム部材および第２プリズム部材を有し、
前記第１プリズム部材は、前記被照射面側に向けて凹状に形成された屈折面を持つ射出面を有し、
前記第２プリズム部材は、前記基準光軸回りに配置されるとともに前記基準光軸に対して傾斜可能に設けられた複数の偏角プリズムを有し、
前記偏角プリズムは、前記光源側に屈折面を持つ入射面と、前記被照射面側に平面を持つ射出面とを有することを特徴とする請求項１に記載の照明光学装置。
前記第１プリズム部材の射出面は、前記基準光軸に関して対称な正四角錐の角錐面で形成される４つの屈折面を有し、
前記第２オプティカルインテグレータの入射面に前記基準光軸に対して偏心した４つの照射領域をそれぞれ所定位置に形成するために、前記第２プリズム部材中の４つの偏角プリズムが前記基準光軸に関して対称となるように傾斜可能に構成されていることを特徴とする請求項２に記載の照明光学装置。
前記第１プリズム部材の射出面は、前記基準光軸に関して対称な円錐の円錐面で形成される屈折面を有し、
前記第２オプティカルインテグレータの入射面に前記基準光軸に対して偏心した少なくとも４つの照射領域をほぼ輪帯状に整列させるために、前記第２プリズム部材中の少なくとも４つの偏角プリズムが前記基準光軸に関して対称となるように傾斜可能に構成されていることを特徴とする請求項２に記載の照明光学装置。
前記プリズム光学系と前記第２オプティカルインテグレータとの間の光路中には、前記第１オプティカルインテグレータにより形成される第１多数光源と前記第２オプティカルインテグレータにより形成される第２多数光源とを光学的に共役にするリレー光学系が配置され、
前記第１オプティカルインテグレータと前記リレー光学系とのうちの少なくとも一方は、前記第２オプティカルインテグレータの入射面に形成される前記複数の照射領域の大きさを変化させるために、焦点距離が可変に構成され、
前記プリズム光学系は、前記第１オプティカルインテグレータと前記リレー光学系とのうちの少なくとも一方の焦点距離が変化することに応じて、前記複数の照射領域の位置を調整することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の照明光学装置。
前記第２プリズム部材の前記複数の偏角プリズムをそれぞれ傾斜させるために駆動する駆動手段を備え、
前記駆動手段は、前記基準光軸に沿って延びるように配置されたロッド部材と、該ロッド部材に対して前記基準光軸の方向に沿って滑動自在に取り付けられた押さえ部材と、一端が前記押さえ部材に枢着され且つ他端が前記複数の偏角プリズムの各々に枢着された複数のアーム部材とを有し、前記押さえ部材の滑動により前記複数の偏角プリズムを前記基準光軸に関して対称となるように傾斜させることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の照明光学装置。
前記プリズム光学系と前記第２オプティカルインテグレータとの間の光路中には、焦点距離が可変なリレー光学系が配置されることを特徴とする請求項１に記載の照明光学装置。
光束を供給するための光源手段と、第１オプティカルインテグレータと、第２オプティカルインテグレータと、前記第１及び第２オプティカルインテグレータを介して形成される２次光源からの光束を集光して被照射面を照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、
前記第１オプティカルインテグレータと前記第２オプティカルインテグレータとの間の光路中には、基準光軸に対して偏心した複数の領域を持つ前記２次光源を形成するプリズム光学系が配置され、
前記プリズム光学系は、前記複数の領域の位置を調整可能に構成されていることを特徴とする照明光学装置。
前記プリズム光学系と前記第２オプティカルインテグレータとの間の光路中には、焦点距離が可変なリレー光学系が配置されることを特徴とする請求項８に記載の照明光学装置。
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の照明光学装置と、前記被照射面上に配置されたマスクのパターンを感光性基板に投影露光するための投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置。
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の照明光学装置を用いて、前記被照射面上に配置されたマスクのパターンを感光性基板上に露光する工程を含むことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。