JPH11274886A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JPH11274886A JPH11274886A JP10078827A JP7882798A JPH11274886A JP H11274886 A JPH11274886 A JP H11274886A JP 10078827 A JP10078827 A JP 10078827A JP 7882798 A JP7882798 A JP 7882798A JP H11274886 A JPH11274886 A JP H11274886A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave filter
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 claims description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 27
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 27
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02921—Measures for preventing electric discharge due to pyroelectricity
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14597—Matching SAW transducers to external electrical circuits
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、静電気印加による電極間破壊を防
止した弾性表面波フィルタを提供する。 【解決手段】 弾性表面波フィルタの櫛歯電極間にはイ
ンピーダンス整合用のコイルが並列に接続してある。そ
のため、櫛歯電極間に静電気が印加された場合において
も、静電気は、コイルを伝わりグランドに落ちる。した
がって、電極間に静電気の高電圧が発生せず、静電気印
加による電極間破壊を生じさせない。
止した弾性表面波フィルタを提供する。 【解決手段】 弾性表面波フィルタの櫛歯電極間にはイ
ンピーダンス整合用のコイルが並列に接続してある。そ
のため、櫛歯電極間に静電気が印加された場合において
も、静電気は、コイルを伝わりグランドに落ちる。した
がって、電極間に静電気の高電圧が発生せず、静電気印
加による電極間破壊を生じさせない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、静電気による電極破壊
を防止した弾性表面波フィルタに関する。
を防止した弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】弾性表面波フィルタを、図6に示す。図
6に示すように、弾性表面波フィルタは、櫛歯状の電極
10a,10bを対向させて電極10を形成し、このよ
うにして設けた電極10を更に一対対向させ、対向させ
た一方の電極10を入力側電極とし、又電極10に対向
させた他方の側の電極12を出力側電極としている。そ
して、入力側の電極10の電極10aに入力端子を接続
し、また出力側の電極12の電極12aに出力端子を接
続し、電極10bと電極12bとを接地させ、入力端子
から入力させた信号を出力端子から出力している。
6に示すように、弾性表面波フィルタは、櫛歯状の電極
10a,10bを対向させて電極10を形成し、このよ
うにして設けた電極10を更に一対対向させ、対向させ
た一方の電極10を入力側電極とし、又電極10に対向
させた他方の側の電極12を出力側電極としている。そ
して、入力側の電極10の電極10aに入力端子を接続
し、また出力側の電極12の電極12aに出力端子を接
続し、電極10bと電極12bとを接地させ、入力端子
から入力させた信号を出力端子から出力している。
【0003】このような弾性表面波フィルタは、例えば
ページャのフィルタ等に用いられている。
ページャのフィルタ等に用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、弾性表
面波フィルタの櫛波状電極は微少な間隔を設けて対向さ
せており、櫛歯電極間に高電圧の静電気等が加わえられ
ると電極10間、すなわち電極10aと電極10b間で
リークしてしまうことがある。
面波フィルタの櫛波状電極は微少な間隔を設けて対向さ
せており、櫛歯電極間に高電圧の静電気等が加わえられ
ると電極10間、すなわち電極10aと電極10b間で
リークしてしまうことがある。
【0005】このような静電気の印加は、通常の使用状
態に加え、弾性表面波フィルタを製造している製造工程
や製品として保管している時等にも静電気が帯電してい
る箇所や周囲の装置等に接触することにより生じてしま
うことがある。静電気が印加されて。電極間でリークが
発生すると、電極間の絶縁が壊れ製品不良を発生させて
しまう問題があった。
態に加え、弾性表面波フィルタを製造している製造工程
や製品として保管している時等にも静電気が帯電してい
る箇所や周囲の装置等に接触することにより生じてしま
うことがある。静電気が印加されて。電極間でリークが
発生すると、電極間の絶縁が壊れ製品不良を発生させて
しまう問題があった。
【0006】また、静電気印加による不都合を防止する
ため電極に静電防止剤を塗布することが考えられるが、
静電防止剤を塗布する以前に発生する静電気に対しては
効果はなく、また静電防止剤の塗布によって弾性表面波
フィルタの特性に変化をもたらすことがあった。
ため電極に静電防止剤を塗布することが考えられるが、
静電防止剤を塗布する以前に発生する静電気に対しては
効果はなく、また静電防止剤の塗布によって弾性表面波
フィルタの特性に変化をもたらすことがあった。
【0007】本発明は、静電気印加による不良発生を防
止した弾性表面波フィルタを提供することを目的とす
る。
止した弾性表面波フィルタを提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、弾性表面波フィルタを次のように構成し
た。
決するため、弾性表面波フィルタを次のように構成し
た。
【0009】すなわち、弾性表面波フィルタの櫛歯状に
形成されて互いに対向している電極間をコイル等によっ
て接続させた。コイルによって入力側の電極とアース電
極間が接続されていることから、静電気が電極に印加さ
れるとコイルを通ってグランドに静電気が流され、微少
な間隔で対峙している櫛歯電極間に静電気が流れること
はない。これにより、静電気印加による製品不良を製造
工程や使用中に発生させることを防止できる。
形成されて互いに対向している電極間をコイル等によっ
て接続させた。コイルによって入力側の電極とアース電
極間が接続されていることから、静電気が電極に印加さ
れるとコイルを通ってグランドに静電気が流され、微少
な間隔で対峙している櫛歯電極間に静電気が流れること
はない。これにより、静電気印加による製品不良を製造
工程や使用中に発生させることを防止できる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる弾性表面波
フィルタの一実施の形態について図を用いて説明する。
フィルタの一実施の形態について図を用いて説明する。
【0011】弾性表面波フィルタ2は、図1に示すよう
に外函30と、外函30内に収容されたチップ4と、コ
イル6、8等から構成されている。
に外函30と、外函30内に収容されたチップ4と、コ
イル6、8等から構成されている。
【0012】外函30は図3に示すように、底面の基板
32と、周囲の側壁34と、蓋部36等からなってい
る。チップ4は、図1に示すように圧電作用を有する圧
電部材14と、圧電部材14上に形成された第一電極1
0、第二電極12から構成されている。
32と、周囲の側壁34と、蓋部36等からなってい
る。チップ4は、図1に示すように圧電作用を有する圧
電部材14と、圧電部材14上に形成された第一電極1
0、第二電極12から構成されている。
【0013】第一電極10は入力側の電極で、図6に示
すように櫛歯状の第一櫛歯電極10aと出力側の第二櫛
歯電極10bからなり、第一櫛歯電極10aと第二櫛歯
電極10bは所定の間隔を保って対向している。
すように櫛歯状の第一櫛歯電極10aと出力側の第二櫛
歯電極10bからなり、第一櫛歯電極10aと第二櫛歯
電極10bは所定の間隔を保って対向している。
【0014】第二電極12は、出力側電極で、第一電極
10と同様に櫛歯状の第一櫛歯電極12aと第二櫛歯電
極12aからなり、同様に対向している。第一電極10
および第二電極12は、写真製版等によりプリント成
形、その他の方法で圧電部材14上に成形されている。
10と同様に櫛歯状の第一櫛歯電極12aと第二櫛歯電
極12aからなり、同様に対向している。第一電極10
および第二電極12は、写真製版等によりプリント成
形、その他の方法で圧電部材14上に成形されている。
【0015】第一櫛歯電極10aは、外函30の一方に
形成された入力端子20に接続し、また第一櫛歯電極1
2aは外函30の他方に形成された出力端子22に接続
している。第二櫛歯電極10bと第二櫛歯電極12b
は、それぞれグランド24に接地している。
形成された入力端子20に接続し、また第一櫛歯電極1
2aは外函30の他方に形成された出力端子22に接続
している。第二櫛歯電極10bと第二櫛歯電極12b
は、それぞれグランド24に接地している。
【0016】コイル6とコイル8は、所定のインピーダ
ンスに形成されたインピーダンス整合用のコイルであ
り、コイル6の一方の端部は第一櫛歯電極10aに、他
方の端部は第二櫛歯電極10bに接続している。又コイ
ル8の一方の端部は第一櫛歯電極12aに、他方の端部
は第二櫛歯電極12bに接続している。
ンスに形成されたインピーダンス整合用のコイルであ
り、コイル6の一方の端部は第一櫛歯電極10aに、他
方の端部は第二櫛歯電極10bに接続している。又コイ
ル8の一方の端部は第一櫛歯電極12aに、他方の端部
は第二櫛歯電極12bに接続している。
【0017】図2に上記弾性表面波フィルタ2の回路構
成を示す。つまりチップ4の前後に整合用のコイル6、
8が各々接続し、コイル6にはアンプ50が接続し、コ
イル8には、ミキサ52が接続している。
成を示す。つまりチップ4の前後に整合用のコイル6、
8が各々接続し、コイル6にはアンプ50が接続し、コ
イル8には、ミキサ52が接続している。
【0018】したがって弾性表面波フィルタ2は、仮に
アンプ50側から入力端子20に高電圧の静電気が印加
されたとしても、印加された静電気はコイル6を通りグ
ランド24に落ちる。そのため第一櫛歯電極10aと第
二櫛歯電極10bとの間に静電気による高電圧が発生せ
ず、静電気による電極間破壊を生じさせない。
アンプ50側から入力端子20に高電圧の静電気が印加
されたとしても、印加された静電気はコイル6を通りグ
ランド24に落ちる。そのため第一櫛歯電極10aと第
二櫛歯電極10bとの間に静電気による高電圧が発生せ
ず、静電気による電極間破壊を生じさせない。
【0019】同様にミキサ52側から出力端子22に静
電気が印加されても、コイル8を通って静電気がグラン
ド24に落ちるので、第一櫛歯電極12aと第二櫛歯電
極12bとの間の電極間に静電気印加による高電圧が発
生せず、静電気による電極間破壊を生じさせない。
電気が印加されても、コイル8を通って静電気がグラン
ド24に落ちるので、第一櫛歯電極12aと第二櫛歯電
極12bとの間の電極間に静電気印加による高電圧が発
生せず、静電気による電極間破壊を生じさせない。
【0020】図4に他の例を示す。
【0021】この例は、基板32の下に更に第二基板4
2を重ねている。第二基板42には基板32のコイル6
に接続するコイル46が形成してある。すなわち、図4
に示すように基板32の下に第二基板42を取付け、第
二基板42上に形成したコイル46およびコイル48を
それぞれコイル6およびコイル8と直列に接続させる。
2を重ねている。第二基板42には基板32のコイル6
に接続するコイル46が形成してある。すなわち、図4
に示すように基板32の下に第二基板42を取付け、第
二基板42上に形成したコイル46およびコイル48を
それぞれコイル6およびコイル8と直列に接続させる。
【0022】このようにすると、基板32の底面積を増
大させることなくコイル長さを延長させることができ、
コイル6等のインピーダンスが小さい場合にも、インピ
ーダンス整合用のコイルとしての必要なインピーダンス
の条件を満たすことができる。
大させることなくコイル長さを延長させることができ、
コイル6等のインピーダンスが小さい場合にも、インピ
ーダンス整合用のコイルとしての必要なインピーダンス
の条件を満たすことができる。
【0023】又、図5(a)(b)に示す回路のように
整合回路にコンデンサC1〜C6が必要な場合は、図7
に示すようにコイル6およびコイル8とともにコンデン
サ7およびコンデンサ9を基板32上に形成する。この
ように形成すれば弾性表面波フィルタにコンデンサを必
要とする場合でも対応することができる。
整合回路にコンデンサC1〜C6が必要な場合は、図7
に示すようにコイル6およびコイル8とともにコンデン
サ7およびコンデンサ9を基板32上に形成する。この
ように形成すれば弾性表面波フィルタにコンデンサを必
要とする場合でも対応することができる。
【0024】更に、図8に示すように、コイル6等の整
合回路を基板32上ではなく、圧電基板14上に形成し
てもよい。
合回路を基板32上ではなく、圧電基板14上に形成し
てもよい。
【0025】又、図9に示すように、コイルを用いずコ
ンデンサ7のみを接続させてもよい。
ンデンサ7のみを接続させてもよい。
【0026】
【発明の効果】本発明にかかる弾性表面波フィルタの効
果は、静電気が入力端子や出力端子に印加されたときで
も、電極間に接続されたコイル等の整合手段を通して静
電気をグランドに落とすことができ、静電気による電極
間破壊を発生させることがない。
果は、静電気が入力端子や出力端子に印加されたときで
も、電極間に接続されたコイル等の整合手段を通して静
電気をグランドに落とすことができ、静電気による電極
間破壊を発生させることがない。
【図1】本発明にかかる弾性表面波フィルタの一例を示
す図である。
す図である。
【図2】本発明にかかる弾性表面波フィルタの回路の一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図3】本発明にかかる弾性表面波フィルタの一例を示
す図である。
す図である。
【図4】本発明にかかる弾性表面波フィルタの他の例を
示す図である。
示す図である。
【図5】(a)本発明にかかる弾性表面波フィルタの他
の回路を示す図である。 (b)本発明にかかる弾性表面波フィルタの他の回路を
示す図である。
の回路を示す図である。 (b)本発明にかかる弾性表面波フィルタの他の回路を
示す図である。
【図6】本発明にかかる弾性表面波フィルタの電極の一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図7】本発明にかかる弾性表面波フィルタの他の例を
示す図である。
示す図である。
【図8】本発明にかかる弾性表面波フィルタの他の例を
示す図である。
示す図である。
【図9】本発明にかかる弾性表面波フィルタの他の例を
示す図である。
示す図である。
2 弾性表面波フィルタ 4 チップ 6、8 コイル 10 第一電極 10a、12a 第一櫛歯電極 10b、12b 第二櫛歯電極 12 第二電極 14 圧電部材 20 入力端子 22 出力端子 24 グランド 32 基板 34 側壁 50 アンプ 52 ミキサ
Claims (6)
- 【請求項1】 圧電体からなる基板上に櫛歯状に形成し
た櫛歯電極を所定の間隔で対向させて電極を形成し、か
つ該電極を一対それぞれ入出力側に設けてなる弾性表面
波フィルタにおいて、 前記櫛歯電極間を接続する整合手段を設けたことを特徴
とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 前記整合手段はコイルであることを特徴
とする請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項3】 前記整合手段はコイルとコンデンサから
なることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波フィ
ルタ。 - 【請求項4】 前記コイルはパターンコイルであること
を特徴とした請求項2又は3のいずれか1項に記載の弾
性表面波フィルタ。 - 【請求項5】 前記コイルを形成した基板を多層とし、
それぞれの基板に形成したコイルを直列に接続したこと
を特徴とした請求項4に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項6】前記圧電基板上に前記整合手段を形成した
ことを特徴とした請求項1〜5のいずれか1項に記載の
弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10078827A JPH11274886A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 弾性表面波フィルタ |
| US09/270,823 US6121859A (en) | 1998-03-26 | 1999-03-18 | Surface acoustic wave filter with stacked impedance matching coils for discharging static electricity |
| KR1019990010386A KR100321556B1 (ko) | 1998-03-26 | 1999-03-25 | 탄성 표면파 필터 |
| CNB991055225A CN1135697C (zh) | 1998-03-26 | 1999-03-25 | 表面声波滤波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10078827A JPH11274886A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11274886A true JPH11274886A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13672674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10078827A Pending JPH11274886A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6121859A (ja) |
| JP (1) | JPH11274886A (ja) |
| KR (1) | KR100321556B1 (ja) |
| CN (1) | CN1135697C (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6794958B2 (en) * | 2002-07-25 | 2004-09-21 | Agilent Technologies, Inc. | Method of fabricating a semiconductor device and an apparatus embodying the method |
| JP2006020285A (ja) * | 2004-06-02 | 2006-01-19 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波装置 |
| USRE45419E1 (en) | 2003-03-31 | 2015-03-17 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of fabricating the same |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6222426B1 (en) * | 1998-06-09 | 2001-04-24 | Oki Electric Industry, Co., Ltd. | Branching filter with a composite circuit of an LC circuit and a serial arm saw resonator |
| US6937113B2 (en) * | 1998-06-09 | 2005-08-30 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Branching filter package |
| US6426583B1 (en) * | 1999-06-14 | 2002-07-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave element, method for producing the same and surface acoustic wave device using the same |
| JP3435639B2 (ja) * | 2000-04-13 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置 |
| EP1429460A1 (en) * | 2002-12-09 | 2004-06-16 | Evolium S.A.S. | Circuit comprising a filter and an analog to digital converter |
| JP4419732B2 (ja) * | 2003-09-02 | 2010-02-24 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
| US20050093652A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-05 | Qing Ma | Size scaling of film bulk acoustic resonator (FBAR) filters using impedance transformer (IT) or balun |
| JP4852835B2 (ja) * | 2004-09-02 | 2012-01-11 | ソニー株式会社 | 回折格子−光変調装置集合体 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533382A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Surface wave element |
| US4297660A (en) * | 1978-12-14 | 1981-10-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electric circuit using surface acoustic wave device |
| JPS5694815A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device |
| JPS56156015A (en) * | 1981-03-26 | 1981-12-02 | Toshiba Corp | Elastic surface wave device |
| US4625184A (en) * | 1982-07-02 | 1986-11-25 | Clarion Co., Ltd. | Surface acoustic wave device with impedance matching network formed thereon |
| JPH02237211A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-19 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
| JPH0329407A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波発性装置 |
| JPH03128518A (ja) * | 1989-07-12 | 1991-05-31 | Mitsubishi Electric Corp | 表面弾性波素子 |
| JPH03220911A (ja) * | 1990-01-26 | 1991-09-30 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JPH03258010A (ja) * | 1990-03-07 | 1991-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置 |
| JPH04280112A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-06 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波デバイス |
| JPH04288720A (ja) * | 1991-03-18 | 1992-10-13 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JPH04354412A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-08 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| DE4307726C1 (de) * | 1993-03-11 | 1994-07-28 | Siemens Matsushita Components | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
| EP0648015B1 (en) * | 1993-10-08 | 2000-05-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
| DE4414160C1 (de) * | 1994-04-22 | 1995-12-21 | Siemens Matsushita Components | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement, insbesondere Oberflächenwellenfilter |
| JPH08167826A (ja) * | 1994-12-13 | 1996-06-25 | Nec Corp | 弾性表面波素子 |
-
1998
- 1998-03-26 JP JP10078827A patent/JPH11274886A/ja active Pending
-
1999
- 1999-03-18 US US09/270,823 patent/US6121859A/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-25 KR KR1019990010386A patent/KR100321556B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-25 CN CNB991055225A patent/CN1135697C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6794958B2 (en) * | 2002-07-25 | 2004-09-21 | Agilent Technologies, Inc. | Method of fabricating a semiconductor device and an apparatus embodying the method |
| USRE45419E1 (en) | 2003-03-31 | 2015-03-17 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of fabricating the same |
| JP2006020285A (ja) * | 2004-06-02 | 2006-01-19 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波装置 |
| US7190241B2 (en) | 2004-06-02 | 2007-03-13 | Fujitsu Media Devices Limited | Elastic wave apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1234651A (zh) | 1999-11-10 |
| CN1135697C (zh) | 2004-01-21 |
| US6121859A (en) | 2000-09-19 |
| KR100321556B1 (ko) | 2002-01-23 |
| KR19990078274A (ko) | 1999-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11274886A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| US3614483A (en) | Width flexural resonator and coupled mode filter | |
| JPH0119771B2 (ja) | ||
| US5574414A (en) | High-frequency ladder type piezoelectric filter and piezoelectric resonator therefor | |
| JP2002541704A (ja) | 構成素子 | |
| JPH02261210A (ja) | 水晶振動子 | |
| JP3546973B2 (ja) | 音響表面波フィルタ | |
| JP3074389B2 (ja) | 高周波用ラダー型圧電フィルタ | |
| US4149102A (en) | Piezoelectric monolithic crystal element having improved response | |
| JP2833365B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPS5994911A (ja) | 複合型セラミツク共振子の製造法 | |
| JP2001136041A (ja) | 弾性表面波フィルタのパターンおよび弾性表面波フィルタの製造方法 | |
| JPH04216208A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH03235317A (ja) | コンデンサ | |
| JPH10200363A (ja) | 弾性表面波装置及びその製造方法 | |
| JPS6244592Y2 (ja) | ||
| JPH04129314A (ja) | ディスクリミネータ | |
| JP2563654Y2 (ja) | 圧電フィルタ | |
| JPH03128518A (ja) | 表面弾性波素子 | |
| JPS6133700Y2 (ja) | ||
| JPH04287402A (ja) | 誘電体フィルタ | |
| JPH03244209A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS61253910A (ja) | 圧電共振部品 | |
| JPH0613833A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH02184103A (ja) | 水晶発振回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000208 |