JPH04354412A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH04354412A JPH04354412A JP12957991A JP12957991A JPH04354412A JP H04354412 A JPH04354412 A JP H04354412A JP 12957991 A JP12957991 A JP 12957991A JP 12957991 A JP12957991 A JP 12957991A JP H04354412 A JPH04354412 A JP H04354412A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、無線通信装置等に用い
られる弾性表面波フィルタ（Ｓｕｒｆａｃａ Ａｃｏｕ
ｓｔｉｃ Ｗａｖｅ Ｆｉｌｔｅｒ、以下ＳＡＷフィル
タという）に関するものである。
られる弾性表面波フィルタ（Ｓｕｒｆａｃａ Ａｃｏｕ
ｓｔｉｃ Ｗａｖｅ Ｆｉｌｔｅｒ、以下ＳＡＷフィル
タという）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、無線通信装置等に使用されるマイ
クロ波帯域用フィルタとしては、誘電体フィルタやＳＡ
Ｗフィルタ等が使用されている。無線通信装置等の小形
化と共に、これらの装置に使用されるフィルタ等のデバ
イスは、チップ化が進んでいる。特に、ＳＡＷフィルタ
は、小型で、かつ温度や経年変化に対して安定である上
、振幅特性と位相特性とをほとんど独立に任意に設計で
きるという大きな特徴があるため、無線通信装置等の小
形化の要求に対応するフィルタとして、今後ますます使
用されると思われる。その一構成例を図２に示す。
クロ波帯域用フィルタとしては、誘電体フィルタやＳＡ
Ｗフィルタ等が使用されている。無線通信装置等の小形
化と共に、これらの装置に使用されるフィルタ等のデバ
イスは、チップ化が進んでいる。特に、ＳＡＷフィルタ
は、小型で、かつ温度や経年変化に対して安定である上
、振幅特性と位相特性とをほとんど独立に任意に設計で
きるという大きな特徴があるため、無線通信装置等の小
形化の要求に対応するフィルタとして、今後ますます使
用されると思われる。その一構成例を図２に示す。
【０００３】図２は、従来におけるＳＡＷフィルタの基
本構造図である。
本構造図である。
【０００４】このＳＡＷフィルタは、圧電基板１を有し
、その圧電基板１上には、入力端子２−１，２−２から
入力された電気信号を弾性表面波（ＳＡＷ）に変換する
入力側櫛形電極（インターディジタルトランスジューサ
）１１と、ＳＡＷを電気信号に変換して出力端子３−１
，３−２へ出力する出力側櫛形電極１２とが、形成され
ている。
、その圧電基板１上には、入力端子２−１，２−２から
入力された電気信号を弾性表面波（ＳＡＷ）に変換する
入力側櫛形電極（インターディジタルトランスジューサ
）１１と、ＳＡＷを電気信号に変換して出力端子３−１
，３−２へ出力する出力側櫛形電極１２とが、形成され
ている。
【０００５】この種のＳＡＷフィルタでは、入力端子２
−１，２−２に高周波電圧Ｖｓを印加すると、入力側櫛
形電極１１の電極指間に生じた電界により、ＳＡＷが励
振され、該ＳＡＷが該電極指と垂直に圧電基板表面を左
右に伝播する。この入力側櫛形電極１１の電極幅は、Ｖ
ｔ／４ｆ０ にて決定される。Ｖｔは圧電基板上を伝播
するＳＡＷの伝播速度、ｆ０ はこのＳＡＷフィルタの
中心周波数である。
−１，２−２に高周波電圧Ｖｓを印加すると、入力側櫛
形電極１１の電極指間に生じた電界により、ＳＡＷが励
振され、該ＳＡＷが該電極指と垂直に圧電基板表面を左
右に伝播する。この入力側櫛形電極１１の電極幅は、Ｖ
ｔ／４ｆ０ にて決定される。Ｖｔは圧電基板上を伝播
するＳＡＷの伝播速度、ｆ０ はこのＳＡＷフィルタの
中心周波数である。
【０００６】圧電基板表面を伝播したＳＡＷが出力側櫛
形電極１２へ到達すると、その櫛形電極１２で再び電気
信号に変換され、出力端子３−１，３−２を介して負荷
ＲＬ へエネルギーが供給される。
形電極１２へ到達すると、その櫛形電極１２で再び電気
信号に変換され、出力端子３−１，３−２を介して負荷
ＲＬ へエネルギーが供給される。
【０００７】このＳＡＷフィルタの周波数特性は、次式
（１）の伝達関数Ｈ（ω）にて表わせる。
（１）の伝達関数Ｈ（ω）にて表わせる。
【０００８】
【数１】
【０００９】但し、ω０ ；フィルタ中心周波波ｆ０
の角周波数 Ｎ ；電極指の対数 図２の櫛形電極１個の周波数特性図を図３に示す。
の角周波数 Ｎ ；電極指の対数 図２の櫛形電極１個の周波数特性図を図３に示す。
【００１０】櫛形電極１個の周波数特性は、図２に示す
電極構造の場合、その櫛形電極の各隙間で励起される表
面波出力に一致する周波数ｆ０ で最大出力が得られ、
逆に不一致の時に出力が最小となり、トラップとして利
用ができる。従って、櫛形電極１個の場合、図３に示す
周波数の特性が得られることになる。
電極構造の場合、その櫛形電極の各隙間で励起される表
面波出力に一致する周波数ｆ０ で最大出力が得られ、
逆に不一致の時に出力が最小となり、トラップとして利
用ができる。従って、櫛形電極１個の場合、図３に示す
周波数の特性が得られることになる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＳＡＷフィルタでは、次のような課題があった。
ＳＡＷフィルタでは、次のような課題があった。
【００１２】図４（ａ），（ｂ）は、図２の問題点を示
すＳＡＷフィルタの構造図である。図４（ａ）に示すよ
うに、従来のＳＡＷフィルタでは、圧電基板１の表面に
櫛形電極１１，１２を設けているため、入力端子２−１
，２−２及び出力端子３−１，３−２にそれぞれ制動容
量Ｃ０ が入ることになる。そのため、ＳＡＷフィルタ
を所望の特性で動作させるためには、入出力に挿入され
ている制動容量Ｃ０ を打消す（キャンセルする）こと
が望ましい。
すＳＡＷフィルタの構造図である。図４（ａ）に示すよ
うに、従来のＳＡＷフィルタでは、圧電基板１の表面に
櫛形電極１１，１２を設けているため、入力端子２−１
，２−２及び出力端子３−１，３−２にそれぞれ制動容
量Ｃ０ が入ることになる。そのため、ＳＡＷフィルタ
を所望の特性で動作させるためには、入出力に挿入され
ている制動容量Ｃ０ を打消す（キャンセルする）こと
が望ましい。
【００１３】従来は、制動容量Ｃ０ をキャンセルする
ため、例えば図４（ｂ）に示すように、このＳＡＷフィ
ルタが使用される無線通信装置等の基板に設けられたＳ
ＡＷフィルタ用入出力端子に、インダクタＬをそれぞれ
並列に挿入し、該ＳＡＷフィルタの中心周波数ｆ０ で
制動容量Ｃ０ が見掛け上キャンセルするような該イン
ダクタＬの値を実現させていた。しかし、このようなキ
ャンセル方法では、インダクタＬが外付けのため、ＳＡ
Ｗフィルタ単体の性能を評価することが難しいという問
題があった。
ため、例えば図４（ｂ）に示すように、このＳＡＷフィ
ルタが使用される無線通信装置等の基板に設けられたＳ
ＡＷフィルタ用入出力端子に、インダクタＬをそれぞれ
並列に挿入し、該ＳＡＷフィルタの中心周波数ｆ０ で
制動容量Ｃ０ が見掛け上キャンセルするような該イン
ダクタＬの値を実現させていた。しかし、このようなキ
ャンセル方法では、インダクタＬが外付けのため、ＳＡ
Ｗフィルタ単体の性能を評価することが難しいという問
題があった。
【００１４】本発明は、前記従来技術が持っていた課題
として、ＳＡＷフィルタの入出力端子に存在する制動容
量Ｃ０ のために該ＳＡＷフィルタ単体の性能を評価す
ることが難しいという点について解決したＳＡＷフィル
タを提供するものである。
として、ＳＡＷフィルタの入出力端子に存在する制動容
量Ｃ０ のために該ＳＡＷフィルタ単体の性能を評価す
ることが難しいという点について解決したＳＡＷフィル
タを提供するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、入力端子から入力された電気信号を弾性表
面波に変換する入力側櫛形電極と、前記弾性表面波を電
気信号に変換して出力端子へ出力する出力側櫛形電極と
が、圧電基板上に形成されたＳＡＷフィルタにおいて、
前記圧電基板の誘電率に応じた線路長のストリップライ
ンからなる制動容量キャンセル用のインダクタを、前記
圧電基板上に形成して前記入力端子及び出力端子にそれ
ぞれ並列接続したものである。
するために、入力端子から入力された電気信号を弾性表
面波に変換する入力側櫛形電極と、前記弾性表面波を電
気信号に変換して出力端子へ出力する出力側櫛形電極と
が、圧電基板上に形成されたＳＡＷフィルタにおいて、
前記圧電基板の誘電率に応じた線路長のストリップライ
ンからなる制動容量キャンセル用のインダクタを、前記
圧電基板上に形成して前記入力端子及び出力端子にそれ
ぞれ並列接続したものである。
【００１６】
【作用】本発明によれば、以上のようにＳＡＷフィルタ
を構成したので、入力端子及び出力端子にそれぞれ並列
接続されたインダクタは、該入力端子及び出力端子に存
在する制動容量を、例えば該ＳＡＷフィルタの動作する
中心周波数で見掛け上キャンセルするように働く。これ
により、低挿入損失からなるＳＡＷフィルタ単体の周波
数特性等の性能を、同一チップ上で実現しうる。従って
、前記課題を解決できるのである。
を構成したので、入力端子及び出力端子にそれぞれ並列
接続されたインダクタは、該入力端子及び出力端子に存
在する制動容量を、例えば該ＳＡＷフィルタの動作する
中心周波数で見掛け上キャンセルするように働く。これ
により、低挿入損失からなるＳＡＷフィルタ単体の周波
数特性等の性能を、同一チップ上で実現しうる。従って
、前記課題を解決できるのである。
【００１７】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示すＳＡＷフィ
ルタの構造図である。
ルタの構造図である。
【００１８】このＳＡＷフィルタは、所定の誘電率を有
する圧電機板２１を有している。圧電基板２１上には、
入力端子２２−１，２２−２から入力された電気信号を
弾性表面波に変換する入力側櫛形電極３１と、弾性表面
波を電気信号に変換して出力端子２３−１，２３−２へ
出力する出力側櫛形電極３２とが、形成されている。Ｓ
ＡＷフィルタの入力端子２２−１，２２−２及び出力端
子２３−１，２３−２には、それぞれ制動容量Ｃ０ が
存在する。この制動容量Ｃ０ をキャンセルするために
、圧電基板２１上には、該圧電基板２１の誘電率に応じ
た線路長のストリップラインからなるインダクタ４１，
４２が形成され、そのインダクタ４１，４２が入力端子
２２−１，２２−２及び出力端子２３−１，２３−２に
それぞれ並列接続されている。
する圧電機板２１を有している。圧電基板２１上には、
入力端子２２−１，２２−２から入力された電気信号を
弾性表面波に変換する入力側櫛形電極３１と、弾性表面
波を電気信号に変換して出力端子２３−１，２３−２へ
出力する出力側櫛形電極３２とが、形成されている。Ｓ
ＡＷフィルタの入力端子２２−１，２２−２及び出力端
子２３−１，２３−２には、それぞれ制動容量Ｃ０ が
存在する。この制動容量Ｃ０ をキャンセルするために
、圧電基板２１上には、該圧電基板２１の誘電率に応じ
た線路長のストリップラインからなるインダクタ４１，
４２が形成され、そのインダクタ４１，４２が入力端子
２２−１，２２−２及び出力端子２３−１，２３−２に
それぞれ並列接続されている。
【００１９】なお、図１中のＶｓは入力端子２２−１，
２２−２に印加する高周波電圧、ＲＬ は出力端子２３
−１，２３−２に接続される負荷である。
２２−２に印加する高周波電圧、ＲＬ は出力端子２３
−１，２３−２に接続される負荷である。
【００２０】次に、このＳＡＷフィルタの動作を説明す
る。
る。
【００２１】高周波電圧Ｖｓが入力端子２２−１，２２
−２に印加されると、該高周波電圧Ｖｓは入力側櫛形電
極３１により、ＳＡＷに変換される。この櫛形電極３１
の電極幅はＶｔ／４ｆ０ であり、マイクロ波帯（８０
０ＭＨｚ帯）では、圧電基板２１を例えば温度特性の優
れたリチューム・タンタレート基板（ＬｉＴａＯ３ ）
を用いて構成すると、約１．２μｍの幅になる。
−２に印加されると、該高周波電圧Ｖｓは入力側櫛形電
極３１により、ＳＡＷに変換される。この櫛形電極３１
の電極幅はＶｔ／４ｆ０ であり、マイクロ波帯（８０
０ＭＨｚ帯）では、圧電基板２１を例えば温度特性の優
れたリチューム・タンタレート基板（ＬｉＴａＯ３ ）
を用いて構成すると、約１．２μｍの幅になる。
【００２２】入力側櫛形電極３１で変換されたＳＡＷは
、圧電基板２１の表面を伝播し、出力側櫛形電極３２へ
到達する。この出力側櫛形電極３２で再び電気信号に変
換され、出力端子２３−１，２３−２を介して負荷ＲＬ
へエネルギーが供給される。このＳＡＷフィルタでは
、圧電基板２１上に設けられた櫛形電極３１，３２の櫛
形の対数Ｎにより、入力端子２２−１，２２−２及び出
力端子２３−１，２３−２に、次式（２）の制動容量Ｃ
０ が生じる。
、圧電基板２１の表面を伝播し、出力側櫛形電極３２へ
到達する。この出力側櫛形電極３２で再び電気信号に変
換され、出力端子２３−１，２３−２を介して負荷ＲＬ
へエネルギーが供給される。このＳＡＷフィルタでは
、圧電基板２１上に設けられた櫛形電極３１，３２の櫛
形の対数Ｎにより、入力端子２２−１，２２−２及び出
力端子２３−１，２３−２に、次式（２）の制動容量Ｃ
０ が生じる。
【００２３】
【数２】
【００２４】但し、ω ；角周波数
Ｋ ；第１種完全楕円積分
ε０ ；真空中の誘電率
εｓ ；誘電率
Ｌ０ ；真空中のインダクタンス
Ｌｓ ；インダクタンス
この制動容量Ｃ０ をキャンセルするためには、次式（
３）を満足する必要がある。
３）を満足する必要がある。
【００２５】
【数３】
【００２６】但し、ω０ ；フィルタ中心周波数ｆ０
の角周波数 このインダクタンスＬを実現するには、誘電体からなる
圧電基板２１上に、ストリップラインからなるインダク
タ４１，４２を入力端子２２−１，２２−２及び出力端
子２３−１，２３−２に接続することにより、可能であ
る。
の角周波数 このインダクタンスＬを実現するには、誘電体からなる
圧電基板２１上に、ストリップラインからなるインダク
タ４１，４２を入力端子２２−１，２２−２及び出力端
子２３−１，２３−２に接続することにより、可能であ
る。
【００２７】図５（ａ），（ｂ）はインダクタ４１，４
２の説明図であり、同図（ａ）は線路長Ｄのストリップ
ラインを示す図、及び同図（ｂ）はその集中定数回路図
である。図中、Ｚｏ は特性インピーダンス、Ｙｏ は
アドミタンス、Ｂ／２は容量リアクタンス、Ｘは誘導リ
アクタンスである。
２の説明図であり、同図（ａ）は線路長Ｄのストリップ
ラインを示す図、及び同図（ｂ）はその集中定数回路図
である。図中、Ｚｏ は特性インピーダンス、Ｙｏ は
アドミタンス、Ｂ／２は容量リアクタンス、Ｘは誘導リ
アクタンスである。
【００２８】この集中定数回路より、ストリップライン
のインダクタンスＬは、次式（４）により求められる。
のインダクタンスＬは、次式（４）により求められる。
【００２９】
【数４】
【００３０】但し、Ｖ；電圧
（４）式の線路長Ｄは、誘電体からなる圧電基板２１が
高誘電率を有する時に、短い線路長で大きな値のインダ
クタ４１，４２が実現できる。マイクロ波帯（８００Ｍ
Ｈｚ帯）のＳＡＷフィルタで実現するインダクタンスＬ
は約１０ｎＨであり、リチューム・タンタレート基板上
で充分に実現できる値となる。
高誘電率を有する時に、短い線路長で大きな値のインダ
クタ４１，４２が実現できる。マイクロ波帯（８００Ｍ
Ｈｚ帯）のＳＡＷフィルタで実現するインダクタンスＬ
は約１０ｎＨであり、リチューム・タンタレート基板上
で充分に実現できる値となる。
【００３１】以上のように、本実施例では、ＳＡＷフィ
ルタの実現において生じる制動容量Ｃ０ をキャンセル
するための手段として、櫛形電極３１，３２が形成され
ている圧電基板２１の表面と同一平面に、ストリップラ
インからなるインダクタ４１，４２を設けたので、ＳＡ
Ｗフィルタ単体の周波数特性の性能を、同一チップ上、
つまりＳＡＷフィルタのパッケージ内で、精度よく実現
できる。そのため、ＳＡＷフィルタを利用する無線通信
装置等のメイン基板上に、制動容量キャンセル用のイン
ダクタを設ける必要がなくなる。従って、ＳＡＷフィル
タ単体の性能の評価が容易になり、該ＳＡＷフィルタを
使用する際の周波数特性の整合等といった複雑な問題を
簡単に解決できる。
ルタの実現において生じる制動容量Ｃ０ をキャンセル
するための手段として、櫛形電極３１，３２が形成され
ている圧電基板２１の表面と同一平面に、ストリップラ
インからなるインダクタ４１，４２を設けたので、ＳＡ
Ｗフィルタ単体の周波数特性の性能を、同一チップ上、
つまりＳＡＷフィルタのパッケージ内で、精度よく実現
できる。そのため、ＳＡＷフィルタを利用する無線通信
装置等のメイン基板上に、制動容量キャンセル用のイン
ダクタを設ける必要がなくなる。従って、ＳＡＷフィル
タ単体の性能の評価が容易になり、該ＳＡＷフィルタを
使用する際の周波数特性の整合等といった複雑な問題を
簡単に解決できる。
【００３２】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
種々の変形が可能である。その変形例としては、例えば
次のようなものがある。
種々の変形が可能である。その変形例としては、例えば
次のようなものがある。
【００３３】（１） 圧電基板２１は、リチューム・
タンタレート基板以外の基板で構成してもよい。例えば
、Ｚｎ Ｏ薄膜圧電体をガラス基板に付着させた多層構
造の圧電基板を用いれば、温度特性に優れ、量産性によ
る低コストのＳＡＷフィルタが提供できる。 （２） ストリップラインで形成されるインダクタ４
１，４２は、図１に示す配置や形状に限定されず、入力
端子２２−１，２２−２、出力端子２３−１，２３−２
、及び櫛形電極３１，３２等の形成位置や形状等に応じ
て種々の形に変更することが可能である。 （３） 図１に示すＳＡＷフィルタの低損失化を図る
ために、双方向性の櫛形電極３１，３２を多電極構造に
したり、あるいは該櫛形電極３１，３２を一方向性構造
にする等の構造の変更や、あるいは他の構成要素を付加
することも可能である。
タンタレート基板以外の基板で構成してもよい。例えば
、Ｚｎ Ｏ薄膜圧電体をガラス基板に付着させた多層構
造の圧電基板を用いれば、温度特性に優れ、量産性によ
る低コストのＳＡＷフィルタが提供できる。 （２） ストリップラインで形成されるインダクタ４
１，４２は、図１に示す配置や形状に限定されず、入力
端子２２−１，２２−２、出力端子２３−１，２３−２
、及び櫛形電極３１，３２等の形成位置や形状等に応じ
て種々の形に変更することが可能である。 （３） 図１に示すＳＡＷフィルタの低損失化を図る
ために、双方向性の櫛形電極３１，３２を多電極構造に
したり、あるいは該櫛形電極３１，３２を一方向性構造
にする等の構造の変更や、あるいは他の構成要素を付加
することも可能である。
【００３４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ＳＡＷフィルタの実現において生じる制動容量を
キャンセルするために、櫛形電極が形成されている圧電
基板表面と同一平面に、ストリップラインからなるイン
ダクタを設けたので、ＳＡＷフィルタ単体としての周波
数特性等の性能を、低い挿入損失で精度よく、同一チッ
プ上で、つまり該ＳＡＷフィルタのパッケージ内で、実
現できる。そのため、ＳＡＷフィルタを利用する無線通
信装置等のメイン基板に、制動容量キャンセル用のイン
ダクタを設ける必要がなくなる。従って、ＳＡＷフィル
タ単体の性能の評価も容易になり、該ＳＡＷフィルタを
使用する際の周波数特性の整合等といった複雑な問題を
簡単に解決できる。
れば、ＳＡＷフィルタの実現において生じる制動容量を
キャンセルするために、櫛形電極が形成されている圧電
基板表面と同一平面に、ストリップラインからなるイン
ダクタを設けたので、ＳＡＷフィルタ単体としての周波
数特性等の性能を、低い挿入損失で精度よく、同一チッ
プ上で、つまり該ＳＡＷフィルタのパッケージ内で、実
現できる。そのため、ＳＡＷフィルタを利用する無線通
信装置等のメイン基板に、制動容量キャンセル用のイン
ダクタを設ける必要がなくなる。従って、ＳＡＷフィル
タ単体の性能の評価も容易になり、該ＳＡＷフィルタを
使用する際の周波数特性の整合等といった複雑な問題を
簡単に解決できる。
【図１】本発明の実施例を示すＳＡＷフィルタの構造図
である。
である。
【図２】従来のＳＡＷフィルタを示す基本構造図である
。
。
【図３】図２の櫛形電極における周波数特性図である。
【図４】図２の問題点を示す図である。
【図５】図１中のストリップラインで形成されるインダ
クタの説明図である。
クタの説明図である。
２１ 圧電基板２
２−１，２２−２ 入力端子 ２３−１，２３−２ 出力端子
２−１，２２−２ 入力端子 ２３−１，２３−２ 出力端子
Claims (1)
- 【請求項１】 入力端子から入力された電気信号を弾
性表面波に変換する入力側櫛形電極と、前記弾性表面波
を電気信号に変換して出力端子へ出力する出力側櫛形電
極とが、圧電基板上に形成された弾性表面波フィルタに
おいて、前記圧電基板の誘電率に応じた線路長のストリ
ップラインからなる制動容量打消し用のインダクタを、
前記圧電基板上に形成して前記入力端子及び出力端子に
それぞれ並列接続したことを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12957991A JPH04354412A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12957991A JPH04354412A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04354412A true JPH04354412A (ja) | 1992-12-08 |
Family
ID=15012953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12957991A Pending JPH04354412A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04354412A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6121859A (en) * | 1998-03-26 | 2000-09-19 | Nec Corporation | Surface acoustic wave filter with stacked impedance matching coils for discharging static electricity |
| EP1137175A3 (en) * | 2000-03-21 | 2004-08-18 | SANYO ELECTRIC Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| JP2010010812A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電部品及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP12957991A patent/JPH04354412A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6121859A (en) * | 1998-03-26 | 2000-09-19 | Nec Corporation | Surface acoustic wave filter with stacked impedance matching coils for discharging static electricity |
| EP1137175A3 (en) * | 2000-03-21 | 2004-08-18 | SANYO ELECTRIC Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| JP2010010812A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電部品及びその製造方法 |
| US8332995B2 (en) | 2008-06-24 | 2012-12-18 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Method of manufacturing a piezoelectric component |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000919 |