JPH11276860A - フルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置 - Google Patents
フルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置Info
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- JPH11276860A JPH11276860A JP10100378A JP10037898A JPH11276860A JP H11276860 A JPH11276860 A JP H11276860A JP 10100378 A JP10100378 A JP 10100378A JP 10037898 A JP10037898 A JP 10037898A JP H11276860 A JPH11276860 A JP H11276860A
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- fluorocarbon
- gas
- abatement
- agent
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
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- Treating Waste Gases (AREA)
- Fire-Extinguishing Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フルオロカーボンを比較的低い温度で効率よ
く、しかも連続的に分解処理する方法および装置を開発
する。 【解決手段】 フルオロカーボンを含むガスを酸化アル
ミニウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度
で接触させてフルオロカーボン中の弗素を弗化アルミニ
ウムに変換して分解処理する。
く、しかも連続的に分解処理する方法および装置を開発
する。 【解決手段】 フルオロカーボンを含むガスを酸化アル
ミニウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度
で接触させてフルオロカーボン中の弗素を弗化アルミニ
ウムに変換して分解処理する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフルオロカーボン含
有ガスの分解処理方法および分解処理装置に関する。さ
らに詳細には冷媒、発泡剤、溶剤などに使用されるほ
か、半導体製造工程などで使用されたり、アルミニウム
の精練工程で副生するヒドロフルオロカーボンおよびパ
ーフルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置
に関する。
有ガスの分解処理方法および分解処理装置に関する。さ
らに詳細には冷媒、発泡剤、溶剤などに使用されるほ
か、半導体製造工程などで使用されたり、アルミニウム
の精練工程で副生するヒドロフルオロカーボンおよびパ
ーフルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】炭化水素の水素の一部が弗素に置換され
たヒドロフルオロカーボン、および水素の全てが弗素に
置換されたパーフルオロカーボンなどのフルオロカーボ
ンは冷媒、発泡剤、溶剤等として広く使用されているほ
か半導体製造工程などにおいても使用されている。
たヒドロフルオロカーボン、および水素の全てが弗素に
置換されたパーフルオロカーボンなどのフルオロカーボ
ンは冷媒、発泡剤、溶剤等として広く使用されているほ
か半導体製造工程などにおいても使用されている。
【０００３】また、フルオロカーボンのうちでもＣＦ4
およびＣ2 Ｆ6 は、シリコンウェハー表面のクリーニン
グおよびエッチング剤、プラズマＣＶＤチャンバーのク
リーニング剤や、光ファイバー用ドーピング剤、液晶Ｔ
ＦＴ製造時のエッチング剤として使用されるなど半導体
工業の発展とともにその使用量が増加している。しかし
ながら、このガスは水に対する溶解度は小さく、酸やア
ルカリともほとんど反応しないなど室温では非常に安定
であるほか、高温下においても安定である。これらのフ
ルオロカーボンは地球の温暖化をもたらす物質であるこ
とから、使用された後外気に排出する場合には、排出に
先立って分解処理する必要がある。またアルミニウムの
精練工程では大量にＣＦ4 が生成排出されることから、
このＣＦ4 も分解処理する必要がある。
およびＣ2 Ｆ6 は、シリコンウェハー表面のクリーニン
グおよびエッチング剤、プラズマＣＶＤチャンバーのク
リーニング剤や、光ファイバー用ドーピング剤、液晶Ｔ
ＦＴ製造時のエッチング剤として使用されるなど半導体
工業の発展とともにその使用量が増加している。しかし
ながら、このガスは水に対する溶解度は小さく、酸やア
ルカリともほとんど反応しないなど室温では非常に安定
であるほか、高温下においても安定である。これらのフ
ルオロカーボンは地球の温暖化をもたらす物質であるこ
とから、使用された後外気に排出する場合には、排出に
先立って分解処理する必要がある。またアルミニウムの
精練工程では大量にＣＦ4 が生成排出されることから、
このＣＦ4 も分解処理する必要がある。
【０００４】炭化水素の水素を弗素および塩素で置換し
たクロロフルオロカーボンはオゾン層を破壊する物質で
あることから、使用された後排出に先立って分解処理す
る必要がある。このためこれまでクロロフルオロカーボ
ンの分解処理に関する各種の研究がなされている。クロ
ロフルオロカーボンおよびフルオロカーボンを含めた一
般的にフロンと称されるものを分解処理する方法として
は、従来から、燃焼熱分解法、プラズマ分解法、
超臨界水分解法、試薬分解法、触媒分解法などの分
解方法が知られている。
たクロロフルオロカーボンはオゾン層を破壊する物質で
あることから、使用された後排出に先立って分解処理す
る必要がある。このためこれまでクロロフルオロカーボ
ンの分解処理に関する各種の研究がなされている。クロ
ロフルオロカーボンおよびフルオロカーボンを含めた一
般的にフロンと称されるものを分解処理する方法として
は、従来から、燃焼熱分解法、プラズマ分解法、
超臨界水分解法、試薬分解法、触媒分解法などの分
解方法が知られている。
【０００５】しかし、これらの分解処理方法には次のよ
うな問題点があった。すなわち、燃焼熱分解法では一
般的なフロンを分解することはできるものの、ＣＦ4 の
場合には高温でなければ十分な分解率が得られず、フロ
ンを十分に分解させ得るような燃焼条件では燃焼中に窒
素酸化物が大量に発生するという不都合がある。プラ
ズマ分解法は電力やプラズマガス等にかかるランニング
コストが高く経済性に問題がある。超臨界水分解法は
４００℃の温度で３２０気圧以上の高圧を必要とするこ
とから、処理装置が大型となるばかりでなく、処理費用
が高額となる不都合がある。試薬分解法はナトリウム
ナフタレニドを用いてフロンを還元的に分解する方法で
あるが、安定した分解率が得られないという不都合があ
る。また、触媒分解法は、高温下で貴金属触媒を用い
た加水分解方法であり、フロンの分解副生成物である弗
化水素により触媒が腐食されるために十分な処理能力が
得られていない。この問題を解消するために耐食性に優
れた触媒坦体の研究が行われてきたが、いまだ効果的な
ものは見出されていない。
うな問題点があった。すなわち、燃焼熱分解法では一
般的なフロンを分解することはできるものの、ＣＦ4 の
場合には高温でなければ十分な分解率が得られず、フロ
ンを十分に分解させ得るような燃焼条件では燃焼中に窒
素酸化物が大量に発生するという不都合がある。プラ
ズマ分解法は電力やプラズマガス等にかかるランニング
コストが高く経済性に問題がある。超臨界水分解法は
４００℃の温度で３２０気圧以上の高圧を必要とするこ
とから、処理装置が大型となるばかりでなく、処理費用
が高額となる不都合がある。試薬分解法はナトリウム
ナフタレニドを用いてフロンを還元的に分解する方法で
あるが、安定した分解率が得られないという不都合があ
る。また、触媒分解法は、高温下で貴金属触媒を用い
た加水分解方法であり、フロンの分解副生成物である弗
化水素により触媒が腐食されるために十分な処理能力が
得られていない。この問題を解消するために耐食性に優
れた触媒坦体の研究が行われてきたが、いまだ効果的な
ものは見出されていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上のように各種のフ
ロン分解方法が研究されているが、特に、ＣＦ4 等のよ
うなパーフルオロカーボンの場合には、熱的にも、化学
的にも極めて安定性が高く、上記の処理技術を用いても
分解処理することができない。これらのことから、フル
オロカーボンとりわけパーフルオロカーボンを比較的低
い温度で、効率良く、しかも連続的に分解処理し得る方
法の開発が強く望まれていた。
ロン分解方法が研究されているが、特に、ＣＦ4 等のよ
うなパーフルオロカーボンの場合には、熱的にも、化学
的にも極めて安定性が高く、上記の処理技術を用いても
分解処理することができない。これらのことから、フル
オロカーボンとりわけパーフルオロカーボンを比較的低
い温度で、効率良く、しかも連続的に分解処理し得る方
法の開発が強く望まれていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、これら従
来技術の欠点を解決し、地球の温暖化をもたらすフルオ
ロカーボンを分解処理する方法を得るべく鋭意研究を重
ねた結果、フルオロカーボンを含むガスを酸化アルミニ
ウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度で接
触させることによりフルオロカーボンを分解し弗化アル
ミニウムを形成させることを見出した。また、フルオロ
カーボンを含むガスに水蒸気を共存させることによりフ
ルオロカーボンの分解処理能力が増加することを見出し
た。さらに、フルオロカーボンを分解処理した後の除害
剤を水蒸気共存下に加熱することによって再生し、再使
用することができること、そしてフルオロカーボンの分
解処理と除害剤の再生操作を組み合わせることにより連
続的に効率よくフルオロカーボンを分解処理し得ること
等を見い出し本発明を完成した。
来技術の欠点を解決し、地球の温暖化をもたらすフルオ
ロカーボンを分解処理する方法を得るべく鋭意研究を重
ねた結果、フルオロカーボンを含むガスを酸化アルミニ
ウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度で接
触させることによりフルオロカーボンを分解し弗化アル
ミニウムを形成させることを見出した。また、フルオロ
カーボンを含むガスに水蒸気を共存させることによりフ
ルオロカーボンの分解処理能力が増加することを見出し
た。さらに、フルオロカーボンを分解処理した後の除害
剤を水蒸気共存下に加熱することによって再生し、再使
用することができること、そしてフルオロカーボンの分
解処理と除害剤の再生操作を組み合わせることにより連
続的に効率よくフルオロカーボンを分解処理し得ること
等を見い出し本発明を完成した。
【０００８】すなわち本発明は、フルオロカーボンを含
有するガスを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤
と４００℃以上の温度で接触させて該フルオロカーボン
を分解し弗化アルミニウムを形成させることを特徴とす
るフルオロカーボンの分解処理方法である。
有するガスを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤
と４００℃以上の温度で接触させて該フルオロカーボン
を分解し弗化アルミニウムを形成させることを特徴とす
るフルオロカーボンの分解処理方法である。
【０００９】また本発明は、フルオロカーボンを含有す
るガスを水蒸気および／または酸素の共存下に酸化アル
ミニウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度
で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニ
ウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボンの
分解処理方法である。
るガスを水蒸気および／または酸素の共存下に酸化アル
ミニウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度
で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニ
ウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボンの
分解処理方法である。
【００１０】さらに本発明は、フルオロカーボンを酸化
アルミニウムを有効成分とする除害剤で分解処理した後
の除害剤を４００℃以上の温度で水蒸気の共存下に加熱
することにより再生し、再使用することを特徴とするフ
ルオロカーボンの分解処理方法でもある。
アルミニウムを有効成分とする除害剤で分解処理した後
の除害剤を４００℃以上の温度で水蒸気の共存下に加熱
することにより再生し、再使用することを特徴とするフ
ルオロカーボンの分解処理方法でもある。
【００１１】さらにまた本発明は、酸化アルミニウムを
有効成分とする除害剤を充填した除害筒を２筒以上並列
に接続し、ガス流路を切り替えることにより少なくとも
１筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に少なく
とも１筒で除害剤の再生を行うことにより連続的にフル
オロカーボンの分解処理を行うことを特徴とするフルオ
ロカーボンの分解処理方法である。
有効成分とする除害剤を充填した除害筒を２筒以上並列
に接続し、ガス流路を切り替えることにより少なくとも
１筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に少なく
とも１筒で除害剤の再生を行うことにより連続的にフル
オロカーボンの分解処理を行うことを特徴とするフルオ
ロカーボンの分解処理方法である。
【００１２】このほか本発明は酸化アルミニウムを有効
成分とする除害剤が充填された除害筒に、フルオロカー
ボンを含有するガスを単独、もしくは水蒸気および／ま
たは酸素共存下に流通させて該除害剤と接触させて、該
フルオロカーボン中の弗素を弗化アルミニウムに変換す
ることにより分解処理した後の除害剤を、水蒸気の共存
下に加熱することにより再生し、再使用することができ
る構成としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解
処理装置である。
成分とする除害剤が充填された除害筒に、フルオロカー
ボンを含有するガスを単独、もしくは水蒸気および／ま
たは酸素共存下に流通させて該除害剤と接触させて、該
フルオロカーボン中の弗素を弗化アルミニウムに変換す
ることにより分解処理した後の除害剤を、水蒸気の共存
下に加熱することにより再生し、再使用することができ
る構成としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解
処理装置である。
【００１３】さらに加えて本発明は、酸化アルミニウム
を有効成分とする除害剤が充填された除害筒が２筒以上
並列に接続され、ガス流路を切り替えることにより少な
くとも１筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に
少なくとも１筒で除害剤の再生を行うことにより連続的
にフルオロカーボンの分解処理を行うことができる構成
としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装
置である。
を有効成分とする除害剤が充填された除害筒が２筒以上
並列に接続され、ガス流路を切り替えることにより少な
くとも１筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に
少なくとも１筒で除害剤の再生を行うことにより連続的
にフルオロカーボンの分解処理を行うことができる構成
としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装
置である。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明は、フルオロカーボンを含
有するガスの分解処理に適用される。分解処理の対象と
なるフルオロカーボンとしては、ヒドロフルオロカーボ
ン、パーフルオロカーボン類すべてに適用される。例え
ばヒドロフルオロカーボンとしてはＣＨ3 Ｆ、ＣＨ2 Ｆ
2 、ＣＨＦ3 、Ｃ2 Ｈ2 Ｆ4 、Ｃ2 Ｈ4 Ｆ2 等があり、
パーフルオロカーボンとしてはＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3
Ｆ8 、Ｃ4 Ｆ8 、およびＣ5 Ｆ12 等が挙げられる。こ
れらのフルオロカーボンを含む空気、窒素、酸素、水
素、希ガスなどの分解処理に適用される。
有するガスの分解処理に適用される。分解処理の対象と
なるフルオロカーボンとしては、ヒドロフルオロカーボ
ン、パーフルオロカーボン類すべてに適用される。例え
ばヒドロフルオロカーボンとしてはＣＨ3 Ｆ、ＣＨ2 Ｆ
2 、ＣＨＦ3 、Ｃ2 Ｈ2 Ｆ4 、Ｃ2 Ｈ4 Ｆ2 等があり、
パーフルオロカーボンとしてはＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3
Ｆ8 、Ｃ4 Ｆ8 、およびＣ5 Ｆ12 等が挙げられる。こ
れらのフルオロカーボンを含む空気、窒素、酸素、水
素、希ガスなどの分解処理に適用される。
【００１５】本発明において、除害剤は有効成分として
酸化アルミニウムを含むものであり、酸化アルミニウム
単独のほか、実質的に反応に不活性な金属酸化物が含ま
れるものであっても用いることができる。また、触媒担
体、吸着剤として酸化アルミニウムの成形品が市販され
ていることからそれらを用いることもできる。
酸化アルミニウムを含むものであり、酸化アルミニウム
単独のほか、実質的に反応に不活性な金属酸化物が含ま
れるものであっても用いることができる。また、触媒担
体、吸着剤として酸化アルミニウムの成形品が市販され
ていることからそれらを用いることもできる。
【００１６】除害剤の形状に特に制限はないが、通常は
球状、円柱状、不定形の破砕状物などが用いられる。こ
のほかハニカム状に成形されたものなども用いることが
できる。また、除害剤の大きさは除害剤の用いられる形
態によって適宜選択することができる。
球状、円柱状、不定形の破砕状物などが用いられる。こ
のほかハニカム状に成形されたものなども用いることが
できる。また、除害剤の大きさは除害剤の用いられる形
態によって適宜選択することができる。
【００１７】本発明において、除害剤は固定床として用
いられるほか、移動床、流動床として用いることもでき
る。通常は除害剤を除害筒内に充填しこの除害筒にフル
オロカーボンを含有するガスを流して除害剤と接触させ
ることにより、フルオロカーボンを分解処理する。フル
オロカーボンと除害剤とを接触させる温度は、４００℃
以上、好ましくは５００〜８００℃である。温度が４０
０℃以下ではフルオロカーボンの分解が難しく、一方８
００℃以上では除害剤の熱劣化に伴いフルオロカーボン
の分解処理能力が低下するほか、除害筒に耐熱性の高い
材料が要求される不都合がある。フルオロカーボンを分
解処理する際の圧力は通常は常圧で行われるが、減圧あ
るいは加圧下で行うこともできる。
いられるほか、移動床、流動床として用いることもでき
る。通常は除害剤を除害筒内に充填しこの除害筒にフル
オロカーボンを含有するガスを流して除害剤と接触させ
ることにより、フルオロカーボンを分解処理する。フル
オロカーボンと除害剤とを接触させる温度は、４００℃
以上、好ましくは５００〜８００℃である。温度が４０
０℃以下ではフルオロカーボンの分解が難しく、一方８
００℃以上では除害剤の熱劣化に伴いフルオロカーボン
の分解処理能力が低下するほか、除害筒に耐熱性の高い
材料が要求される不都合がある。フルオロカーボンを分
解処理する際の圧力は通常は常圧で行われるが、減圧あ
るいは加圧下で行うこともできる。
【００１８】本発明においてフルオロカーボンを含むガ
スの流速に特に制限はないが、一般にガス中に含有され
るフルオロカーボンの濃度が高いほど流速を小さくする
ことが好ましい。このため除害筒はフルオロカーボンの
濃度、処理対象ガスの量などに応じて設計されるが、フ
ルオロカーボン濃度が０．１％以下のような比較的低濃
度では空筒基準線速度（ＬＶ）が０．５〜５０ｃｍ／ｓ
ｅｃ、フルオロカーボン濃度が０．１〜１％程度では空
筒基準線速度（ＬＶ）が０．０５〜２０ｃｍ／ｓｅｃ、
フルオロカーボン濃度が１％以上のような高濃度では空
筒基準線速度（ＬＶ）が１０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範囲と
なるように設計することが好ましい。従って、半導体製
造プロセスから定常的に排出される場合のように比較的
高い濃度の場合には１０ｃｍ／ｓｅｃ以下が一般的な基
準となる。
スの流速に特に制限はないが、一般にガス中に含有され
るフルオロカーボンの濃度が高いほど流速を小さくする
ことが好ましい。このため除害筒はフルオロカーボンの
濃度、処理対象ガスの量などに応じて設計されるが、フ
ルオロカーボン濃度が０．１％以下のような比較的低濃
度では空筒基準線速度（ＬＶ）が０．５〜５０ｃｍ／ｓ
ｅｃ、フルオロカーボン濃度が０．１〜１％程度では空
筒基準線速度（ＬＶ）が０．０５〜２０ｃｍ／ｓｅｃ、
フルオロカーボン濃度が１％以上のような高濃度では空
筒基準線速度（ＬＶ）が１０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範囲と
なるように設計することが好ましい。従って、半導体製
造プロセスから定常的に排出される場合のように比較的
高い濃度の場合には１０ｃｍ／ｓｅｃ以下が一般的な基
準となる。
【００１９】このようにフルオロカーボンを含むガスを
４００℃以上の温度で酸化アルミニウムを有効成分とす
る除害剤と接触させることにより、フルオロカーボン中
のフッ素は弗化アルミニウムに変換され、炭素は二酸化
炭素として放出される。
４００℃以上の温度で酸化アルミニウムを有効成分とす
る除害剤と接触させることにより、フルオロカーボン中
のフッ素は弗化アルミニウムに変換され、炭素は二酸化
炭素として放出される。
【００２０】なお、フルオロカーボンの種類によって
は、酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と接触さ
せて分解処理する際に、除害剤表面にカーボンが析出し
たり、処理能力が低下する場合がある。また除害筒出口
ガス中に一酸化炭素が流出する場合がある。このような
フルオロカーボンを処理する場合には、分解処理する際
に酸素を共存させることによってこれらの問題点を解消
し、効率よく分解処理することができる。ここで、酸素
を共存させる方法としては、フルオロカーボンを含むガ
スに純酸素を添加することのほか、空気を添加すること
によっても行うことができる。
は、酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と接触さ
せて分解処理する際に、除害剤表面にカーボンが析出し
たり、処理能力が低下する場合がある。また除害筒出口
ガス中に一酸化炭素が流出する場合がある。このような
フルオロカーボンを処理する場合には、分解処理する際
に酸素を共存させることによってこれらの問題点を解消
し、効率よく分解処理することができる。ここで、酸素
を共存させる方法としては、フルオロカーボンを含むガ
スに純酸素を添加することのほか、空気を添加すること
によっても行うことができる。
【００２１】本発明においてフルオロカーボンを含むガ
スを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と４００
℃以上の温度で接触させて分解処理する際に、水蒸気を
共存させることによって除害剤単位重量当たりの処理能
力を増大させることができる。この方法においてはガス
中の水蒸気分圧が高くなるにしたがって処理能力が増加
する。しかし、水蒸気分圧が高すぎる場合には分解率の
低下を生じることや処理能力の低下を生じることから、
通常はガス中の水蒸気分圧として１５０ｍｍＨｇ以下、
好ましくは１００ｍｍＨｇ以下である。
スを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と４００
℃以上の温度で接触させて分解処理する際に、水蒸気を
共存させることによって除害剤単位重量当たりの処理能
力を増大させることができる。この方法においてはガス
中の水蒸気分圧が高くなるにしたがって処理能力が増加
する。しかし、水蒸気分圧が高すぎる場合には分解率の
低下を生じることや処理能力の低下を生じることから、
通常はガス中の水蒸気分圧として１５０ｍｍＨｇ以下、
好ましくは１００ｍｍＨｇ以下である。
【００２２】水蒸気を共存させる方法は、例えばフルオ
ロカーボンを含むガスを常温で水に接触させて水分を含
ませたのち加熱された除害筒に導入する方法、または水
もしくは水蒸気を除害筒の入口でフルオロカーボンを含
むガスに添加する方法等がある。フルオロカーボンに水
蒸気を共存させて分解処理する際の操作条件として、通
常は前記の水蒸気を共存させない場合の条件に準じて行
うことができる。
ロカーボンを含むガスを常温で水に接触させて水分を含
ませたのち加熱された除害筒に導入する方法、または水
もしくは水蒸気を除害筒の入口でフルオロカーボンを含
むガスに添加する方法等がある。フルオロカーボンに水
蒸気を共存させて分解処理する際の操作条件として、通
常は前記の水蒸気を共存させない場合の条件に準じて行
うことができる。
【００２３】本発明において、フルオロカーボンを含む
ガスを分解処理し浄化能力の低下した除害剤、もしくは
除害能力を失った除害剤は加熱下に水蒸気を含むガスと
接触させることによって再生することができる。さら
に、再生したのち除害剤として再使用することができ
る。この再生処理によって除害剤中に弗化アルミニウム
として固定されていた弗素は弗化水素として系外に排出
され、アルミニウムは酸化アルミニウムとして再生され
る。
ガスを分解処理し浄化能力の低下した除害剤、もしくは
除害能力を失った除害剤は加熱下に水蒸気を含むガスと
接触させることによって再生することができる。さら
に、再生したのち除害剤として再使用することができ
る。この再生処理によって除害剤中に弗化アルミニウム
として固定されていた弗素は弗化水素として系外に排出
され、アルミニウムは酸化アルミニウムとして再生され
る。
【００２４】再生方法としては、４００℃以上の温度に
加熱された除害筒に、水蒸気単独あるいは水蒸気を含む
空気、窒素、酸素、水素、希ガスなどを流通させること
によって行うことができる。再生の際の加熱温度が８０
０℃以上では除害剤の熱劣化を生じ、再生後の処理能力
が低下することから通常は４００〜８００℃、好ましく
は５００〜８００℃程度である。また水蒸気分圧、ガス
の流速などに特に制限はないが、水蒸気分圧が低い場合
には再生に長時間を要することから通常は５ｍｍＨｇ以
上、好ましくは１０ｍｍＨｇ以上、より好ましくは１５
ｍｍＨｇ以上である。
加熱された除害筒に、水蒸気単独あるいは水蒸気を含む
空気、窒素、酸素、水素、希ガスなどを流通させること
によって行うことができる。再生の際の加熱温度が８０
０℃以上では除害剤の熱劣化を生じ、再生後の処理能力
が低下することから通常は４００〜８００℃、好ましく
は５００〜８００℃程度である。また水蒸気分圧、ガス
の流速などに特に制限はないが、水蒸気分圧が低い場合
には再生に長時間を要することから通常は５ｍｍＨｇ以
上、好ましくは１０ｍｍＨｇ以上、より好ましくは１５
ｍｍＨｇ以上である。
【００２５】また、再生の際の水蒸気単独、あるいは水
蒸気を含む酸素、水素、窒素、空気、希ガスの全圧とし
ては常圧、減圧あるいは加圧状態であってもよく特に限
定されるものではない。再生操作におけるの水蒸気を含
むガスの流速に特に制限はないが、通常は空筒基準線速
度（ＬＶ）で０．５〜１５０ｃｍ／ｓｅｃ、好ましくは
２〜１００ｃｍ／ｓｅｃ程度である。
蒸気を含む酸素、水素、窒素、空気、希ガスの全圧とし
ては常圧、減圧あるいは加圧状態であってもよく特に限
定されるものではない。再生操作におけるの水蒸気を含
むガスの流速に特に制限はないが、通常は空筒基準線速
度（ＬＶ）で０．５〜１５０ｃｍ／ｓｅｃ、好ましくは
２〜１００ｃｍ／ｓｅｃ程度である。
【００２６】このように除害剤を再生、再使用すること
ができることから、除害筒を２列並列に配置し、片方の
除害筒ではフルオロカーボンの分解処理を行い、その間
に他の除害筒では除害剤の再生操作を行う方法を切り替
え弁を介して交互に行うことにより、連続的にフルオロ
カーボンを分解処理することができる。この処理方法に
おいて、除害筒を２筒とするほか３筒、４筒等の複数列
を切り替え弁を介して配置することによって処理ガス量
の変動が大の場合においても効率よく連続的に分解処理
することができる。本発明におけるフルオロカーボンの
分解処理装置を図１により除害筒を２列並列に配置した
場合の例で示した。
ができることから、除害筒を２列並列に配置し、片方の
除害筒ではフルオロカーボンの分解処理を行い、その間
に他の除害筒では除害剤の再生操作を行う方法を切り替
え弁を介して交互に行うことにより、連続的にフルオロ
カーボンを分解処理することができる。この処理方法に
おいて、除害筒を２筒とするほか３筒、４筒等の複数列
を切り替え弁を介して配置することによって処理ガス量
の変動が大の場合においても効率よく連続的に分解処理
することができる。本発明におけるフルオロカーボンの
分解処理装置を図１により除害筒を２列並列に配置した
場合の例で示した。
【００２７】本発明においてフルオロカーボンの分解処
理後の除害剤を水蒸気と接触させて再生する場合には除
害筒出口のガス中に弗化水素が流出する。弗化水素は有
害物質であり排出するに先立って処理する必要がある。
弗化水素は常温で弗素系ガスを浄化し得る浄化剤と接触
させることにより容易に除去することができる。このよ
うな浄化剤としては、酸化亜鉛を主成分とする浄化剤
（特開平５−２３７３２４号公報）および水酸化ストロ
ンチウムを主成分とする浄化剤（特開平９−９９２１号
公報）などを用いる乾式浄化方法、および公知の湿式浄
化方法がある。これらの浄化方法をフルオロカーボンの
分解処理方法と組み合わせることにより、外部に弗素化
合物の流出のない完全な処理を行うことができる。
理後の除害剤を水蒸気と接触させて再生する場合には除
害筒出口のガス中に弗化水素が流出する。弗化水素は有
害物質であり排出するに先立って処理する必要がある。
弗化水素は常温で弗素系ガスを浄化し得る浄化剤と接触
させることにより容易に除去することができる。このよ
うな浄化剤としては、酸化亜鉛を主成分とする浄化剤
（特開平５−２３７３２４号公報）および水酸化ストロ
ンチウムを主成分とする浄化剤（特開平９−９９２１号
公報）などを用いる乾式浄化方法、および公知の湿式浄
化方法がある。これらの浄化方法をフルオロカーボンの
分解処理方法と組み合わせることにより、外部に弗素化
合物の流出のない完全な処理を行うことができる。
【００２８】
【実施例】次に本発明を実施例により具体的に説明する
が、本発明はこれらにより限定されるものではない。 実施例１ 触媒坦体用アルミナ（日産ガードラー（株）製、Ｈ−２
１８Ａ）を破砕し、篩分けした１２〜１６メッシュのア
ルミナを内径２３．０ｍｍ、長さ４００ｍｍのステンレ
ス製の除害筒に２４．９ｍＬ（充填長６０ｍｍ）充填
し、窒素ガスを流通させながら電気炉で７００℃に加熱
した。これにＣＦ4 ガスを２０００ｐｐｍ含有する窒素
ガスを、常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で流通させ、出口ガス
をガスクロマトグラフ（島津製作所（株）製、ＧＣ−４
Ｃ）によりモニターし、出口ガス中のＣＦ4 濃度が２０
ｐｐｍに達した点を破過点として、破過するまでの時間
を測定した。その結果から計算により処理能力（アルミ
ナ１Ｌ当たりに対する純粋なＣＦ4の処理量（Ｌ））を
求めた。結果を表１に示した。
が、本発明はこれらにより限定されるものではない。 実施例１ 触媒坦体用アルミナ（日産ガードラー（株）製、Ｈ−２
１８Ａ）を破砕し、篩分けした１２〜１６メッシュのア
ルミナを内径２３．０ｍｍ、長さ４００ｍｍのステンレ
ス製の除害筒に２４．９ｍＬ（充填長６０ｍｍ）充填
し、窒素ガスを流通させながら電気炉で７００℃に加熱
した。これにＣＦ4 ガスを２０００ｐｐｍ含有する窒素
ガスを、常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で流通させ、出口ガス
をガスクロマトグラフ（島津製作所（株）製、ＧＣ−４
Ｃ）によりモニターし、出口ガス中のＣＦ4 濃度が２０
ｐｐｍに達した点を破過点として、破過するまでの時間
を測定した。その結果から計算により処理能力（アルミ
ナ１Ｌ当たりに対する純粋なＣＦ4の処理量（Ｌ））を
求めた。結果を表１に示した。
【００２９】
【表１】 表 １ 実施例 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） １ ２９８８ １２０．３
【００３０】実施例 ２ ＣＦ4 を含む窒素ガスを２０℃で水分飽和としたほか
は、実施例１と同様にして分解処理実験を行った。結果
を表２に示す。
は、実施例１と同様にして分解処理実験を行った。結果
を表２に示す。
【００３１】
【表２】 表 ２ 実施例 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） ２ ８９８８ ３６１．１
【００３２】実施例 ３ ＣＦ4 を含む窒素ガスをＣＦ4 を含む空気に変えたほか
は、実施例１と同様にして分解処理実験を行った。結果
を表３に示す。
は、実施例１と同様にして分解処理実験を行った。結果
を表３に示す。
【００３３】
【表３】 表 ３ 実施例 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） ３ ３５９８ １４４．５
【００３４】実施例 ４ ＣＦ4 をＣＨ2 Ｆ2 に変え、窒素を空気に変えたほか
は、実施例１と同様に分解処理実験を行った。結果を表
４に示す。
は、実施例１と同様に分解処理実験を行った。結果を表
４に示す。
【００３５】
【表４】 表 ４ 実施例 破過までの時間 ＣＨ2 Ｆ2 の除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） ４ ５９７６ ２４０．７
【００３６】実施例 ５ 実施例１で用いた分解処理後の除害剤を７００℃に加熱
し、常圧下において、２０℃で水分飽和した窒素ガスを
５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度 ＬＶ＝５ｃｍ／
ｓｅｃ）の流量で４８時間流通させた。さらにその後乾
燥窒素ガスを７００℃の加熱常圧下において１２時間流
通しアルミナを再生した。次に実施例１と同様にＣＦ4
を２０００ｐｐｍ含有する窒素ガスを、常圧下で５００
ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度 ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅ
ｃ）の流量で流通させ、破過までの時間を測定した。こ
のようにＣＦ4 分解処理、除害剤の再生操作を数回くり
返した。これらの結果を表５に示す。またＣＦ4 処理前
後において、除害筒内の入口側の除害剤をエネルギー分
散型Ｘ線分析装置（ＥＤＡＸ）により分析し弗素の含有
率を調べた。これらの結果を表６に示す。
し、常圧下において、２０℃で水分飽和した窒素ガスを
５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度 ＬＶ＝５ｃｍ／
ｓｅｃ）の流量で４８時間流通させた。さらにその後乾
燥窒素ガスを７００℃の加熱常圧下において１２時間流
通しアルミナを再生した。次に実施例１と同様にＣＦ4
を２０００ｐｐｍ含有する窒素ガスを、常圧下で５００
ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度 ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅ
ｃ）の流量で流通させ、破過までの時間を測定した。こ
のようにＣＦ4 分解処理、除害剤の再生操作を数回くり
返した。これらの結果を表５に示す。またＣＦ4 処理前
後において、除害筒内の入口側の除害剤をエネルギー分
散型Ｘ線分析装置（ＥＤＡＸ）により分析し弗素の含有
率を調べた。これらの結果を表６に示す。
【００３７】
【表５】 表 ５ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） 初回 ２９９５ １２０．３ ２ ２６１４ １０５．４ ３ ２３１５ ９３．０ ４ ２１８６ ８７．８ ５ ２１３７ ８５．９
【００３８】
【表６】 表 ６ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．５％（アルミ含有率５３％） ２回目ＣＦ4 理後 ６４％（アルミ含有率３３％） ２回目初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５３％） ３回目ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５２％）
【００３９】実施例６ 実施例２の分解処理条件で、実施例５と同様の分解処
理、除害剤の再生操作のくり返しを行った（ＣＦ4 の分
解処理を２０℃での水分飽和で行ったほかは実施例５に
同じ）。結果を表７、８に示す。
理、除害剤の再生操作のくり返しを行った（ＣＦ4 の分
解処理を２０℃での水分飽和で行ったほかは実施例５に
同じ）。結果を表７、８に示す。
【００４０】
【表７】 表 ７ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ剤） 初回 ８９９０ ３６１．１ ２ ７８７０ ３１６．１ ３ ６７５３ ２７１．２
【００４１】
【表８】 表 ８ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５２％） ２回目ＣＦ4 処理後 ６４％（アルミ含有率３２％） ２回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５３％） ３回目ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．５％（アルミ含有率５２％）
【００４２】実施例７実施例３の条件で、実施例５と同
様に分解処理と除害剤の再生のくり返しを行った（ＣＦ
4 を含むガスを窒素から空気に変えたほかは実施例６に
同じ）。結果を表９、１０に示す。
様に分解処理と除害剤の再生のくり返しを行った（ＣＦ
4 を含むガスを窒素から空気に変えたほかは実施例６に
同じ）。結果を表９、１０に示す。
【００４３】
【表９】 表 ９ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ剤） 初回 ３５９５ １４４．５ ２ ３１５０ １２６．５ ３ ２８７０ １１５．０
【００４４】
【表１０】 表 １０ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．５％（アルミ含有率５２％） ２回目ＣＦ4 処理後 ６４％（アルミ含有率３３％） ２回目初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５２％） ３回目ＣＦ4 理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５３％）
【００４５】実施例８ 実施例４の条件で、実施例５と同様にくり返し再生を行
った（ＣＨ4 をＣＨ2Ｆ2 に変え、窒素を空気に変えた
ほかは実施例５に同じ）。結果を表１１、１２に示す。
った（ＣＨ4 をＣＨ2Ｆ2 に変え、窒素を空気に変えた
ほかは実施例５に同じ）。結果を表１１、１２に示す。
【００４６】
【表１１】 表 １１ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＨ2 Ｆ2 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ剤） 初回 ５９８０ ２４０．８ ２ ５２８０ ２１２．０ ３ ４９３０ １９８．０
【００４７】
【表１２】 表 １２ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５２％） ２回目ＣＦ4 処理後 ６４％（アルミ含有率３２％） ２回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５３％） ３回目ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５２％）
【００４８】実施例９ 実施例１と同じ除害剤を内径２３．０ｍｍ、長さ１００
０ｍｍのステンレス製の除害筒に８３ｍＬ（充填長２０
０ｍｍ）充填したものを２筒製作し、これらを電気管状
炉で７００℃に加熱保持した。一方の筒に窒素ガスを流
通させながらＣＦ4 を５０００ｐｐｍ含有する窒素ガス
を、加熱常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で２４時間流通させ
た。他の一方の筒には、２５℃で水分飽和した窒素ガス
を加熱常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で２０時間流通させた。
さらに乾燥窒素ガスを７００℃の加熱常圧下において４
時間流通し、除害剤の再生を行った。
０ｍｍのステンレス製の除害筒に８３ｍＬ（充填長２０
０ｍｍ）充填したものを２筒製作し、これらを電気管状
炉で７００℃に加熱保持した。一方の筒に窒素ガスを流
通させながらＣＦ4 を５０００ｐｐｍ含有する窒素ガス
を、加熱常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で２４時間流通させ
た。他の一方の筒には、２５℃で水分飽和した窒素ガス
を加熱常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で２０時間流通させた。
さらに乾燥窒素ガスを７００℃の加熱常圧下において４
時間流通し、除害剤の再生を行った。
【００４９】これらの操作を交互に連続的に３サイクル
行い、ＣＦ4 を分解処理した。また、それらの分解処理
後のガスおよび再生排ガスを酸化亜鉛を主成分とする浄
化剤（酸化亜鉛８６％、酸化カリウム５％、アルミナ９
％）を内径１５０ｍｍ、長さ５００ｍｍのステンレス製
の筒に５．３Ｌ充填（充填長３００ｍｍ）した浄化筒に
流通させ、浄化筒出口ガスの分析を行った。ＣＦ4 を熱
伝導度型検出器付きガスクロマトグラフ（ＧＣ−４Ｃ、
島津製作所（株）製）で分析し、弗化水素を弗化水素用
検知管（（株）ガステック社製）でモニターし、窒素酸
化物を窒素酸化物用検知管（（株）ガステック社製）で
モニターした。これらの結果を表１３に示す。
行い、ＣＦ4 を分解処理した。また、それらの分解処理
後のガスおよび再生排ガスを酸化亜鉛を主成分とする浄
化剤（酸化亜鉛８６％、酸化カリウム５％、アルミナ９
％）を内径１５０ｍｍ、長さ５００ｍｍのステンレス製
の筒に５．３Ｌ充填（充填長３００ｍｍ）した浄化筒に
流通させ、浄化筒出口ガスの分析を行った。ＣＦ4 を熱
伝導度型検出器付きガスクロマトグラフ（ＧＣ−４Ｃ、
島津製作所（株）製）で分析し、弗化水素を弗化水素用
検知管（（株）ガステック社製）でモニターし、窒素酸
化物を窒素酸化物用検知管（（株）ガステック社製）で
モニターした。これらの結果を表１３に示す。
【００５０】
【表１３】 表 １３ 測定ガスの種類 ３サイクル中の浄化筒 検出下限濃度 出口ガス中の濃度 （ｐｐｍ） ＣＦ4 Ｎ．Ｄ． ５ ＨＦ（Ｆ2 ） Ｎ．Ｄ． ０．２５ ＮＯ Ｎ．Ｄ． １ ＮＯ2 Ｎ．Ｄ． ０．５
【００５１】比較例 １〜２ 除害剤をチタニアおよびジルコニアに変更した以外は実
施例１と同じ条件でＣＦ4 の分解処理を行った。その結
果、分解実験開始直後から除害筒出口ガス中にＣＦ4 が
多量に流出していることが認められた。実験開始１時間
後において除害筒出口ガスを分析し、ＣＦ4 の分解率を
測定した。これらの結果を実施例１における場合と共に
表１４に示した。
施例１と同じ条件でＣＦ4 の分解処理を行った。その結
果、分解実験開始直後から除害筒出口ガス中にＣＦ4 が
多量に流出していることが認められた。実験開始１時間
後において除害筒出口ガスを分析し、ＣＦ4 の分解率を
測定した。これらの結果を実施例１における場合と共に
表１４に示した。
【００５２】
【表１４】 表 １４ 除害剤の種類 １時間後の除害筒出口ガスのＣＦ4 濃度（ｐｐｍ） 分解率（％） 実施例１ 酸化アルミニウム ｎ．ｄ １００ 比較例１ 酸化チタン １７６０ １２ 比較例２ 酸化ジルコニウム １７００ １５
【００５３】
【発明の効果】本発明のフルオロカーボンの分解処理方
法によれば、ヒドロフルオロカーボンのほか従来分解が
困難であったパーフルオロカーボンをも極めて効率よく
分解し無害化することができるようになった。また、分
解処理後の除害剤を効率よく再生することができ、さら
に除害筒を並列に複数列配置することによって、フルオ
ロカーボンの分解処理と除害剤の再生を平行して行うこ
とできることから、フルオロカーボンを連続的に効率よ
く分解処理することができるようになった。
法によれば、ヒドロフルオロカーボンのほか従来分解が
困難であったパーフルオロカーボンをも極めて効率よく
分解し無害化することができるようになった。また、分
解処理後の除害剤を効率よく再生することができ、さら
に除害筒を並列に複数列配置することによって、フルオ
ロカーボンの分解処理と除害剤の再生を平行して行うこ
とできることから、フルオロカーボンを連続的に効率よ
く分解処理することができるようになった。
【図１】本発明における除害筒を２列並列に配置した分
解処理装置の例である。
解処理装置の例である。
１、１’ 除害筒 ２、２’ 除害剤 ３ フルオロカーボンを含むガス供給ライン ４、４’ 入口側切り替え弁 ５、５’ 出口側切り替え弁 ６ 排気ライン ７ 再生用水蒸気を含むガスの供給ライン ８、８’ 再生用ガス入り口切り替え弁 ９、９’ 再生用ガス出口切り替え弁 １０ 再生ガス排気ライン １１、１１’ ヒーター
Claims (8)
- 【請求項１】 フルオロカーボンを含有するガスを酸化
アルミニウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の
温度で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アル
ミニウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボ
ンの分解処理方法。 - 【請求項２】 フルオロカーボンを含有するガスを水蒸
気および／または酸素の共存下に酸化アルミニウムを有
効成分とする除害剤と４００℃以上の温度で接触させて
該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニウムを形成さ
せることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方
法。 - 【請求項３】 請求項１もしくは請求項２に記載の分解
処理方法によりフルオロカーボンを分解処理した後の除
害剤を、４００℃以上の温度で水蒸気の共存下で加熱す
ることにより再生し、再使用することを特徴とするフル
オロカーボンの分解処理方法。 - 【請求項４】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害
剤を充填した除害筒を２筒以上並列に接続し、ガス流路
を切り替えることにより少なくとも１筒でフルオロカー
ボンの分解を行い、その間に少なくとも１筒で除害剤の
再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解
処理を行うことを特徴とするフルオロカーボンの分解処
理方法。 - 【請求項５】 フルオロカーボンがＣＨ3 Ｆ、ＣＨ2 Ｆ
2 、ＣＨＦ3 、Ｃ2Ｈ2 Ｆ4 、Ｃ2 Ｈ4 Ｆ2 、ＣＦ4 、
Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3 Ｆ8 、Ｃ4 Ｆ8 、およびＣ5Ｆ12から選
ばれる少なくとも１種である請求項１から請求項４のい
ずれかに記載のフルオロカーボンの分解処理方法。 - 【請求項６】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害
剤が充填された除害筒に、フルオロカーボンを含有する
ガスを単独、もしくは水蒸気および／または酸素共存下
に流通させて該除害剤と接触させて、該フルオロカーボ
ン中の弗素を弗化アルミニウムに変換することにより分
解処理した後の除害剤を、水蒸気の共存下に加熱するこ
とにより再生し、再使用することができる構成としたこ
とを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装置。 - 【請求項７】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害
剤が充填された筒が２筒以上並列に接続され、ガス流路
を切り替えることにより少なくとも１筒でフルオロカー
ボンの分解を行い、その間に少なくとも１筒で除害剤の
再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解
処理を行うことができる構成としたことを特徴とするフ
ルオロカーボンの分解処理装置。 - 【請求項８】 フルオロカーボンがＣＨ3 Ｆ、ＣＨ2 Ｆ
2 、ＣＨＦ3 、Ｃ2Ｈ2 Ｆ4 、Ｃ2 Ｈ4 Ｆ2 、ＣＦ4 、
Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3 Ｆ8 、Ｃ4 Ｆ8 、およびＣ5Ｆ12から選
ばれる少なくとも１種である請求項６または請求項７に
記載のフルオロカーボンの分解処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10100378A JPH11276860A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | フルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10100378A JPH11276860A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | フルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11276860A true JPH11276860A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=14272368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10100378A Pending JPH11276860A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | フルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11276860A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG80662A1 (en) * | 1999-10-18 | 2001-05-22 | Atmi Ecosys Corp | Fluorine abatement using steam injection in oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases |
| JP2007029790A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Hitachi Ltd | 過弗化物含有排ガスの処理方法及び処理装置 |
| US7569193B2 (en) | 2003-12-19 | 2009-08-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants |
| CN116272748A (zh) * | 2023-04-25 | 2023-06-23 | 清华大学 | 超临界热降解制冷剂的系统和方法 |
| CN119259020A (zh) * | 2024-09-30 | 2025-01-07 | 中南大学 | 一种催化分解四氟化碳的氧化铝基催化剂失活再生方法 |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP10100378A patent/JPH11276860A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG80662A1 (en) * | 1999-10-18 | 2001-05-22 | Atmi Ecosys Corp | Fluorine abatement using steam injection in oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases |
| US6423284B1 (en) | 1999-10-18 | 2002-07-23 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluorine abatement using steam injection in oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases |
| US7569193B2 (en) | 2003-12-19 | 2009-08-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants |
| JP2007029790A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Hitachi Ltd | 過弗化物含有排ガスの処理方法及び処理装置 |
| CN116272748A (zh) * | 2023-04-25 | 2023-06-23 | 清华大学 | 超临界热降解制冷剂的系统和方法 |
| CN116272748B (zh) * | 2023-04-25 | 2024-02-06 | 清华大学 | 超临界热降解制冷剂的系统和方法 |
| CN119259020A (zh) * | 2024-09-30 | 2025-01-07 | 中南大学 | 一种催化分解四氟化碳的氧化铝基催化剂失活再生方法 |
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