JPH11277401A - ワイヤソーのワイヤガイドローラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転軸上に嵌合させたローラ本体によりワ
イヤの走行を案内するワイヤソーのワイヤガイドローラ
であって、ガイドローラの締付け時回転シャフト上に人
手を介して簡便に装着でき、しかも締め代嵌合により回
転ぶれもなくワイヤの破断などから保護し得ると共に、
精度を確保できるものを提供する。 【解決手段】 回転軸シャフト１１上に嵌合させたウレ
タンゴム等によるローラ本体２を有し、このローラ本体
２の外周に設けた環状凹溝３でワイヤ１０を案内して走
行させ、ローラ本体２の内周には金属製等の硬質材より
なるリング部材４を埋め込んで設け、ローラ本体２の内
周に周方向へ適当な間隔、好ましくは等間隔に複数の凸
部５が突出して設けてある。これら凸部５は、回転シャ
フト１１の外周に締め代をもって締まり嵌合させてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤソーのワイ
ヤガイドローラに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、砥粒が含まれたスラリを
流しながら、複数の加工用ローラに連続的に捲回された
複数列の走行するワイヤに被切断物を押し付けることに
より、被切断物にワイヤを摺動させ、ワイヤと被切断物
の間の砥粒によって被切断物を切削し、切断するのに用
いられており、最近ではシリコンウエハ切断用として注
目されている。

【０００３】このようなワイヤソーでは、ワイヤの走行
経路の要所要所に、ワイヤの走行を案内するガイドロー
ラが配置されている。ガイドローラは回転シャフトの外
周に嵌合して回転支持され、そのローラ外周にはワイヤ
を案内するワイヤ案内溝が設けられている。この場合、
ガイドローラと回転シャフトとの嵌合面に寸法的な隙間
や遊びがあると、ローラ回転中のガタ付きの原因ともな
り、ローラ回転が円滑性を欠いてワイヤとの間に滑りを
生じるようになる。このような滑りにより、ワイヤに付
着したスラリがガイドローラのワイヤ案内溝を切り込ん
でしまい、ワイヤの張力に変化が生じてワイヤの破断に
至る場合がある。その結果、被切断物であるワークの加
工精度を低下させたり、ローラ寿命を低下させて、ラン
ニングコストを高くしている。

【０００４】逆に、回転シャフトに対してガイドローラ
が締り嵌めにより嵌合されている場合、嵌合面を全面当
たりにすると、所要のワイヤ送り精度を得ることはでき
ても、ガイドローラの回転シャフト上への組付作業が非
常に困難なものとなる。その結果、機械的な装着に頼ら
ざるを得なくなり、段取り作業の能率を低下させる原因
ともなる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ガイ
ドローラに剛性をもたせるとともに、ガイドローラの組
付け時に回転シャフト上に人手を介して簡便に装着で
き、しかも締め代嵌合による回転ぶれもなく、ワイヤを
破断などから保護できると共に、そのワイヤの送り精度
を確保できるワイヤソーのワイヤガイドローラを提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本説明に係るワイヤソー
のワイヤガイドローラは、回転シャフトの外周に嵌合さ
せたローラ本体によりワイヤの走行を案内するためのも
のであって、リング形状に形成された前記ローラ本体の
内部に硬質材よりなるリング部材を埋め込み、またさら
に、ローラ本体の内周に周方向へ間隔をおいて複数の凸
部を突出させて設けて、これら凸部を回転シャフトの外
周に締め代をもって嵌合させている。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１は、本実施の形態による複数
のワイヤガイドローラ１が配置されたワイヤソーの一例
を概略的に示す斜視図である。複数の加工用ローラ１２
はそれらの回転軸線を平行にして配置され、その内の１
つが駆動側ローラとしてモータ１３の回転出力軸に連結
され、回転駆動を受けるようになっている。ワイヤ供給
リール１４から供給されたワイヤ１０は複数のワイヤガ
イドローラ１に案内されて走行し、これら複数の加工用
ローラ１２の外周に形成された溝に沿ってそれらの一端
側から複数列に捲回され、他端側から出て複数のワイヤ
ガイドローラ１に案内されて走行し、ワイヤ巻取リール
１５に巻取られる。その間、被切断物のワークＷは加工
用ローラ１２上で走行する複数列のワイヤ１０に押し付
けられ、ウエハ状に切断される。

【０００８】一方、図２の断面図に示すように、要所要
所に配置された本実施の形態のワイヤガイドローラ１
は、回転シャフト１１上に嵌合して回転自在に支持さ
れ、ワイヤ１０の走行を案内する。図３は、ワイヤガイ
ドローラ１単体を示す正面図、図４は回転シャフト１１
上に嵌合セット時の取合いを示す図２のＡ−Ａ線断面図
である。

【０００９】ローラ本体２には、ウレタンゴム等の材料
が用いられ、所定の外径寸法でリング形状に成形されて
いる。その外周にはワイヤ１０を捲回してワイヤ１０の
走行を案内する断面Ｖ字形状の環状凹溝３が設けられて
いる。

【００１０】ローラ本体２の内部には、金属製または樹
脂製の硬質のリング部材４が埋め込まれており、ローラ
本体２の内周は相手の回転シャフト１１の外周に嵌合さ
せている。回転シャフト１１は図示しない軸受を介し装
置フレームに固定した支軸に対して回転自在に支持され
ている。ローラ本体２の内径は、回転シャフト１１の外
径よりわずかに大きく形成され、かつ、その内周面に
は、ラジアル方向へ複数、一般には約３〜８箇所に凸部
５が適当な間隔、好ましくは等間隔で突出して設けられ
ている。従って、ローラ本体２の内周面では、それらの
凸部５を介して回転シャフト１１の外周面に例えば約１
ｍｍ程度の締め代をもって締まり嵌合している。

【００１１】ローラ本体２は、この内周面の全面当たり
で回転シャフト１１に嵌合しているのではなく、複数の
凸部５による当たりで締め代により締まり嵌合してい
る。そのため、組付けのための隙間を凸部５により埋め
て、ローラ回転時のガタつきを防止することができ、ロ
ーラ本体２の回転軸線Ｃ−Ｃからのブレもなく、極細ワ
イヤ１０のブレを抑えて、好適な送り精度を確保するこ
とができる。回転シャフト１１に対するローラ全体の嵌
合強度は複数の凸部５による当たりで保証される。

【００１２】しかも、全面当たりではない部分的嵌合の
ため、回転シャフト１１への人手による装着組立性が格
段に向上し、従来のような機械組立の必要性がなくな
る。また、これの射出成形も可能であるから、ローラ全
体の製造コストを低減できる利点もある。

【００１３】

【発明の効果】本発明のワイヤソーのワイヤガイドロー
ラは、ローラ本体の内部に硬質材よりなるリングは部材
を埋め込むことにより、ガイドローラに剛性をもたせる
ことができる。また、ローラ本体を回転シャフトとの全
面当たりによる嵌合組立を避け、嵌合面の内周に等間隔
に設けた凸部で回転シャフトの外周に嵌合させる構造と
したため、人手によるローラセット作業が簡便に行え、
しかも回転シャフトに対して所要の嵌合強度を得ること
ができる。また、複数の凸部による締め代嵌合であるか
ら、ローラ本体とワイヤのブレも抑えられ、ワイヤを破
断などから保護でき、所要の送り精度を維持することが
できる。更に、凸部がウレタン等の弾性部材で構成して
あるため、嵌合部の当たり度合のばらつきは凸部の変形
で吸収できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態の複数のワイヤガイドローラを配
置したワイヤソーを概略的に示す斜視図である。

【図２】本実施の形態のワイヤガイドローラ単体を示す
側面断面図である。

【図３】本実施の形態のワイヤガイドローラ単体の正面
図である。

【図４】本実施の形態のワイヤガイドローラを回転シャ
フト上に嵌合セットした状態の図２のＡ−Ａ線からの組
立断面図である。

【符号の説明】

１・・・ワイヤガイドローラ ２・・・ローラ本体 ３・・・ワイヤ走行案内用の環状凹溝 ４・・・リング部材 ５・・・凸部 １０・・・ワイヤ １１・・・回転シャフト

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転シャフトの外周に嵌合させたローラ
   本体によりワイヤの走行を案内するワイヤソーのワイヤ
   ガイドローラであって、リング形状に形成されたローラ
   本体の内部に硬質材よりなるリング部材を埋め込んでな
   るワイヤソーのワイヤガイドローラ。
2. 【請求項２】 ローラ本体の内周に周方向へ間隔をおい
   て複数の凸部を突出させて設け、これら凸部を回転シャ
   フトの外周に締め代をもって嵌合させている請求項１記
   載のワイヤソーのワイヤガイドローラ。
3. 【請求項３】 凸部が弾性材料で形成されている請求項
   ２記載のワイヤソーのワイヤガイドローラ。