JPH11277467A - 薄型基板搬送ロボット - Google Patents
薄型基板搬送ロボットInfo
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- JPH11277467A JPH11277467A JP7785598A JP7785598A JPH11277467A JP H11277467 A JPH11277467 A JP H11277467A JP 7785598 A JP7785598 A JP 7785598A JP 7785598 A JP7785598 A JP 7785598A JP H11277467 A JPH11277467 A JP H11277467A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 34
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 7
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 二つの第１アームの共通化及び内部構造の簡
素化等を図ること。 【解決手段】 ベースアーム２は、機台１の上方に配さ
れ、長手方向中央位置を中心として水平面上を双方向に
回転可能とされる。機台１の内部には、ベースアーム２
の長手方向中央位置に直結されるベースアーム用駆動装
置３が配設される。第１リンク体６の第１アーム４の元
部には、第１リンク体駆動時にベースアーム２の回転方
向と逆方向に二倍の回転速度で第１アーム４を回転させ
る第１アーム用駆動装置１１が直結される。第２リンク
体１０の第２アーム７の元部には、第２リンク体駆動時
にベースアーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度
で第２アーム７を回転させる第２アーム用駆動装置１２
が直結される。
素化等を図ること。 【解決手段】 ベースアーム２は、機台１の上方に配さ
れ、長手方向中央位置を中心として水平面上を双方向に
回転可能とされる。機台１の内部には、ベースアーム２
の長手方向中央位置に直結されるベースアーム用駆動装
置３が配設される。第１リンク体６の第１アーム４の元
部には、第１リンク体駆動時にベースアーム２の回転方
向と逆方向に二倍の回転速度で第１アーム４を回転させ
る第１アーム用駆動装置１１が直結される。第２リンク
体１０の第２アーム７の元部には、第２リンク体駆動時
にベースアーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度
で第２アーム７を回転させる第２アーム用駆動装置１２
が直結される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型基板搬送ロボ
ットに関する。
ットに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ等薄型基板を搬送するロボ
ットとして、図８に示すものが知られている。
ットとして、図８に示すものが知られている。
【０００３】図８に示す薄型基板搬送ロボットは、いわ
ゆるダブルアーム式の搬送ロボットであり、機台１と、
機台１の上方に並んで配された二つのリンク体５１、５
１とを備える。
ゆるダブルアーム式の搬送ロボットであり、機台１と、
機台１の上方に並んで配された二つのリンク体５１、５
１とを備える。
【０００４】各リンク体５１は、機台１の内部に配設さ
れた減速機付きモータ（駆動装置）５２によって元部５
３ａを中心に水平面上を回転する第１アーム５３と、第
１アーム５３の先端部５３ｂに延設され第１アーム５３
の回転に従い元部５４ａを中心に水平面上を回転する第
２アーム５４と、第２アーム５４の先端部５４ｂに延設
され第１、第２アーム５３、５４の回転に従い元部５５
ａを中心に水平面上を回転するハンド５５とを備える。
第２アーム５４及びハンド５５は、第１アーム５３及び
第２アーム５４の内部に配設されたプーリー（図示せ
ず）とタイミングベルト（図示せず）によって駆動され
る。各リンク体５１は、モータ５２が回転すると第１ア
ーム５３、第２アーム５４及びハンド５５が各々回転
し、ハンド５５が水平面上を直線移動できるよう構成さ
れている。また、ハンド５５には、薄型基板５６を真空
吸着するための吸着孔（図示せず）が形成されており、
この吸着孔と機台１の内部の真空装置（図示せず）とを
接続するための配管（図示せず）が第１アーム５３、第
２アーム５４及びハンド５５の内部に設けられている。
さらに、いずれか一方のリンク体５１には、薄型基板５
６との衝突を回避するための干渉防止部材としてのコ字
状部材５７が設けられている。その他、機台１の内部に
は、二つのリンク体５１、５１及び二つのモータ５２、
５２を一体として機台１の中央部を中心として水平面上
で回転（θ軸回転）させるための駆動装置５８と、二つ
のリンク体５１、５１、二つのモータ５２、５２及び駆
動装置５８を一体として上下方向（Ｚ軸方向）に移動さ
せるための駆動装置（図示せず）が配設されている。
れた減速機付きモータ（駆動装置）５２によって元部５
３ａを中心に水平面上を回転する第１アーム５３と、第
１アーム５３の先端部５３ｂに延設され第１アーム５３
の回転に従い元部５４ａを中心に水平面上を回転する第
２アーム５４と、第２アーム５４の先端部５４ｂに延設
され第１、第２アーム５３、５４の回転に従い元部５５
ａを中心に水平面上を回転するハンド５５とを備える。
第２アーム５４及びハンド５５は、第１アーム５３及び
第２アーム５４の内部に配設されたプーリー（図示せ
ず）とタイミングベルト（図示せず）によって駆動され
る。各リンク体５１は、モータ５２が回転すると第１ア
ーム５３、第２アーム５４及びハンド５５が各々回転
し、ハンド５５が水平面上を直線移動できるよう構成さ
れている。また、ハンド５５には、薄型基板５６を真空
吸着するための吸着孔（図示せず）が形成されており、
この吸着孔と機台１の内部の真空装置（図示せず）とを
接続するための配管（図示せず）が第１アーム５３、第
２アーム５４及びハンド５５の内部に設けられている。
さらに、いずれか一方のリンク体５１には、薄型基板５
６との衝突を回避するための干渉防止部材としてのコ字
状部材５７が設けられている。その他、機台１の内部に
は、二つのリンク体５１、５１及び二つのモータ５２、
５２を一体として機台１の中央部を中心として水平面上
で回転（θ軸回転）させるための駆動装置５８と、二つ
のリンク体５１、５１、二つのモータ５２、５２及び駆
動装置５８を一体として上下方向（Ｚ軸方向）に移動さ
せるための駆動装置（図示せず）が配設されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の薄型基板搬送ロボットは、機台１の内部に各リンク
体５１を駆動するための駆動装置５２を二個並べるよう
に備えているため、機台１の小型化を図る上で制約が大
きくなる。また、第１アーム５３の内部にプーリー及び
タイミングベルトを配設しており、第１アーム５３の内
部構造が比較的複雑である。
来の薄型基板搬送ロボットは、機台１の内部に各リンク
体５１を駆動するための駆動装置５２を二個並べるよう
に備えているため、機台１の小型化を図る上で制約が大
きくなる。また、第１アーム５３の内部にプーリー及び
タイミングベルトを配設しており、第１アーム５３の内
部構造が比較的複雑である。
【０００６】本発明は、上記問題点にかんがみ、機台の
小型化及びリンク体の内部構造の簡素化を達成すること
を目的とする。
小型化及びリンク体の内部構造の簡素化を達成すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の薄型基板搬送ロ
ボットは、機台と、前記機台の上方に配され、長手方向
中央位置を中心として水平面上を双方向に回転可能なベ
ースアームと、前記ベースアームの長手方向中央位置に
直結され、前記機台の内部に配設されるベースアーム用
駆動装置と、前記ベースアームの一方の先端部に延設さ
れ元部を中心として水平面上を回転可能な第１アーム
と、該第１アームの先端部に延設され元部を中心として
水平面上を回転可能な薄型基板保持用第１ハンドとから
なり、前記第１アームの回転中心位置から前記第１ハン
ドの回転中心位置までの水平距離が前記ベースアームの
回転中心位置から前記第１アームの回転中心位置までの
水平距離と一致する第１リンク体と、前記ベースアーム
の他方の先端部に延設され元部を中心として水平面上を
回転可能な第２アームと、該第２アームの先端部に延設
され元部を中心として水平面上を回転可能な薄型基板保
持用第２ハンドと、前記第１ハンドに保持される薄型基
板と当該第２リンク体との衝突を回避するための干渉防
止部材とからなり、前記第２アームの回転中心位置から
前記第２ハンドの回転中心位置までの水平距離が前記ベ
ースアームの回転中心位置から前記第２アームの回転中
心位置までの水平距離と一致する第２リンク体と、前記
第１アームの元部に直結され、第１リンク体駆動時に前
記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第１アームを
回転させる第１アーム用駆動装置と、前記第２アームの
元部に直結され、第２リンク体駆動時に前記ベースアー
ムの回転方向と逆方向に前記第２アームを回転させる第
２アーム用駆動装置と、前記第１アームの内部に配設さ
れ、第１リンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向
と同一方向に前記第１ハンドを回転させる第１ハンド用
駆動装置と、前記第２アームの内部に配設され、第２リ
ンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向と同一方向
に前記第２ハンドを回転させる第２ハンド用駆動装置と
を備えることを特徴とする。
ボットは、機台と、前記機台の上方に配され、長手方向
中央位置を中心として水平面上を双方向に回転可能なベ
ースアームと、前記ベースアームの長手方向中央位置に
直結され、前記機台の内部に配設されるベースアーム用
駆動装置と、前記ベースアームの一方の先端部に延設さ
れ元部を中心として水平面上を回転可能な第１アーム
と、該第１アームの先端部に延設され元部を中心として
水平面上を回転可能な薄型基板保持用第１ハンドとから
なり、前記第１アームの回転中心位置から前記第１ハン
ドの回転中心位置までの水平距離が前記ベースアームの
回転中心位置から前記第１アームの回転中心位置までの
水平距離と一致する第１リンク体と、前記ベースアーム
の他方の先端部に延設され元部を中心として水平面上を
回転可能な第２アームと、該第２アームの先端部に延設
され元部を中心として水平面上を回転可能な薄型基板保
持用第２ハンドと、前記第１ハンドに保持される薄型基
板と当該第２リンク体との衝突を回避するための干渉防
止部材とからなり、前記第２アームの回転中心位置から
前記第２ハンドの回転中心位置までの水平距離が前記ベ
ースアームの回転中心位置から前記第２アームの回転中
心位置までの水平距離と一致する第２リンク体と、前記
第１アームの元部に直結され、第１リンク体駆動時に前
記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第１アームを
回転させる第１アーム用駆動装置と、前記第２アームの
元部に直結され、第２リンク体駆動時に前記ベースアー
ムの回転方向と逆方向に前記第２アームを回転させる第
２アーム用駆動装置と、前記第１アームの内部に配設さ
れ、第１リンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向
と同一方向に前記第１ハンドを回転させる第１ハンド用
駆動装置と、前記第２アームの内部に配設され、第２リ
ンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向と同一方向
に前記第２ハンドを回転させる第２ハンド用駆動装置と
を備えることを特徴とする。
【０００８】ここで、例えば、前記第１アーム用駆動装
置は、前記第１アームを前記ベースアームの二倍の回転
速度で回転させ、前記第１ハンド用駆動装置は、前記ベ
ースアームの前記一方の先端部に直結される第１ベース
アーム側プーリーと、前記第１ベースアーム側プーリー
の二倍の外径寸法を有し前記第１ハンドの元部に直結さ
れる第１ハンド側プーリーと、前記第１ベースアーム側
プーリー、前記第１ハンド側プーリー間に掛け渡される
第１タイミングベルトにより構成され、前記第２アーム
用駆動装置は、前記ベースアームの二倍の回転速度で回
転させ、前記第２ハンド用駆動装置は、前記ベースアー
ムの前記他方の先端部に直結される第２ベースアーム側
プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリーの二倍の
外径寸法を有し前記第２ハンドの元部側に直結される第
２ハンド側プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリ
ー、前記第２ハンド側プーリー間に掛け渡される第２タ
イミングベルトにより構成される。
置は、前記第１アームを前記ベースアームの二倍の回転
速度で回転させ、前記第１ハンド用駆動装置は、前記ベ
ースアームの前記一方の先端部に直結される第１ベース
アーム側プーリーと、前記第１ベースアーム側プーリー
の二倍の外径寸法を有し前記第１ハンドの元部に直結さ
れる第１ハンド側プーリーと、前記第１ベースアーム側
プーリー、前記第１ハンド側プーリー間に掛け渡される
第１タイミングベルトにより構成され、前記第２アーム
用駆動装置は、前記ベースアームの二倍の回転速度で回
転させ、前記第２ハンド用駆動装置は、前記ベースアー
ムの前記他方の先端部に直結される第２ベースアーム側
プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリーの二倍の
外径寸法を有し前記第２ハンドの元部側に直結される第
２ハンド側プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリ
ー、前記第２ハンド側プーリー間に掛け渡される第２タ
イミングベルトにより構成される。
【０００９】そして、前記第１リンク体及び前記第２リ
ンク体の非駆動時の平面的姿勢の一態様としては、第１
リンク体と第２リンク体とが前記ベースアームの回転中
心位置から長手方向と直交する方向に伸ばした仮想線を
対称軸とする線対称関係を有し、かつ、第１アーム及び
第２アームと前記ベースアームとのなす角度が約６０
°、第１アームと第１ハンドとのなす角度及び第２アー
ムと第２ハンドとのなす角度がそれぞれ約６０°となる
よう設定される。
ンク体の非駆動時の平面的姿勢の一態様としては、第１
リンク体と第２リンク体とが前記ベースアームの回転中
心位置から長手方向と直交する方向に伸ばした仮想線を
対称軸とする線対称関係を有し、かつ、第１アーム及び
第２アームと前記ベースアームとのなす角度が約６０
°、第１アームと第１ハンドとのなす角度及び第２アー
ムと第２ハンドとのなす角度がそれぞれ約６０°となる
よう設定される。
【００１０】また、前記第１リンク体及び前記第２リン
ク体の非駆動時の平面的姿勢の他の態様としては、第１
リンク体と第２リンク体とが前記ベースアームの回転中
心位置を対称点とする点対称関係を有し、かつ、第１ア
ーム及び第２アームと前記ベースアームとのなす角度が
約６０°、第１アームと第１ハンドとのなす角度及び第
２アームと第２ハンドとのなす角度がそれぞれ約６０°
となるよう設定される。
ク体の非駆動時の平面的姿勢の他の態様としては、第１
リンク体と第２リンク体とが前記ベースアームの回転中
心位置を対称点とする点対称関係を有し、かつ、第１ア
ーム及び第２アームと前記ベースアームとのなす角度が
約６０°、第１アームと第１ハンドとのなす角度及び第
２アームと第２ハンドとのなす角度がそれぞれ約６０°
となるよう設定される。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１実施形態に
係る薄型基板搬送ロボットの斜視図、図２は、同搬送ロ
ボットの平面図、図３は、同搬送ロボットの要部断面図
をそれぞれ示す。
係る薄型基板搬送ロボットの斜視図、図２は、同搬送ロ
ボットの平面図、図３は、同搬送ロボットの要部断面図
をそれぞれ示す。
【００１２】図１〜図３において、第１実施形態に係る
薄型基板搬送ロボットは、機台１を備える。機台１の上
方には、長手方向中央位置２ａを中心として水平面上を
双方向に回転可能なベースアーム２が配される。ベース
アーム２の長手方向中央位置２ａはベースアーム用駆動
装置３に直結され、このベースアーム用駆動装置３は機
台１の内部に配設される。ベースアーム用駆動装置３
は、好ましくはモータと減速機とから構成され、減速機
の出力軸がベースアーム２に直結される。
薄型基板搬送ロボットは、機台１を備える。機台１の上
方には、長手方向中央位置２ａを中心として水平面上を
双方向に回転可能なベースアーム２が配される。ベース
アーム２の長手方向中央位置２ａはベースアーム用駆動
装置３に直結され、このベースアーム用駆動装置３は機
台１の内部に配設される。ベースアーム用駆動装置３
は、好ましくはモータと減速機とから構成され、減速機
の出力軸がベースアーム２に直結される。
【００１３】ベースアーム２の一方の先端部２ｂには、
第１アーム４と薄型基板保持用第１ハンド５とからなる
第１リンク体６が延設される。第１アーム４は、ベース
アーム２の一方の先端部２ｂに、元部４ａを中心として
水平面上を回転可能に延設される。第１ハンド５は、第
１アーム４の先端部４ｂに、元部５ａを中心として水平
面上を回転可能に延設される。第１アーム４の回転中心
位置４ａから第１ハンド５の回転中心位置５ａまでの水
平距離ｎ2 は、ベースアーム２の回転中心位置２ａから
第１アーム４の回転中心位置４ａまでの水平距離ｎ1 と
一致させる。
第１アーム４と薄型基板保持用第１ハンド５とからなる
第１リンク体６が延設される。第１アーム４は、ベース
アーム２の一方の先端部２ｂに、元部４ａを中心として
水平面上を回転可能に延設される。第１ハンド５は、第
１アーム４の先端部４ｂに、元部５ａを中心として水平
面上を回転可能に延設される。第１アーム４の回転中心
位置４ａから第１ハンド５の回転中心位置５ａまでの水
平距離ｎ2 は、ベースアーム２の回転中心位置２ａから
第１アーム４の回転中心位置４ａまでの水平距離ｎ1 と
一致させる。
【００１４】ベースアーム２の他方の先端部２ｃには、
第２アーム７とコ字状部材８と薄型基板保持用第２ハン
ド９とからなる第２リンク体１０が延設される。第２ア
ーム７は、ベースアーム２の他方の先端部２ｃに、元部
７ａを中心として水平面上を回転可能に延設される。コ
字状部材８は、第２アーム７の先端部７ｂに、元部８ａ
を中心として水平面上を回転可能に延設される。コ字状
部材８は、第１ハンド５に保持される薄型基板２１（図
３）と第２リンク体１０との衝突を回避するための干渉
防止部材として機能する。第２ハンド９は、コ字状部材
８の先端部８ｂに固定して延設され、第２ハンド９の元
部９ａはコ字状部材８の元部８ａの真上に位置する。従
って、第２ハンド９は、コ字状部材８と一体となって元
部９ａを中心として水平面上を回転可能とされる。第２
アーム７の回転中心位置７ａから第２ハンド９の回転中
心位置９ａまでの水平距離ｎ4 は、ベースアーム２の回
転中心位置２ａから第２アーム７の回転中心位置７ａま
での水平距離ｎ3 と一致させる。
第２アーム７とコ字状部材８と薄型基板保持用第２ハン
ド９とからなる第２リンク体１０が延設される。第２ア
ーム７は、ベースアーム２の他方の先端部２ｃに、元部
７ａを中心として水平面上を回転可能に延設される。コ
字状部材８は、第２アーム７の先端部７ｂに、元部８ａ
を中心として水平面上を回転可能に延設される。コ字状
部材８は、第１ハンド５に保持される薄型基板２１（図
３）と第２リンク体１０との衝突を回避するための干渉
防止部材として機能する。第２ハンド９は、コ字状部材
８の先端部８ｂに固定して延設され、第２ハンド９の元
部９ａはコ字状部材８の元部８ａの真上に位置する。従
って、第２ハンド９は、コ字状部材８と一体となって元
部９ａを中心として水平面上を回転可能とされる。第２
アーム７の回転中心位置７ａから第２ハンド９の回転中
心位置９ａまでの水平距離ｎ4 は、ベースアーム２の回
転中心位置２ａから第２アーム７の回転中心位置７ａま
での水平距離ｎ3 と一致させる。
【００１５】ベースアーム２の上記一方の先端部２ｂの
下方には、第１アーム４の元部４ａに直結されて第１ア
ーム用駆動装置１１が配設される。第１アーム用駆動装
置１１は、好ましくはモータと減速機とから構成され、
減速機の出力軸が第１アーム４に直結される。第１アー
ム用駆動装置１１は、第１リンク体６の駆動時にベース
アーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第１ア
ーム４を回転させる。
下方には、第１アーム４の元部４ａに直結されて第１ア
ーム用駆動装置１１が配設される。第１アーム用駆動装
置１１は、好ましくはモータと減速機とから構成され、
減速機の出力軸が第１アーム４に直結される。第１アー
ム用駆動装置１１は、第１リンク体６の駆動時にベース
アーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第１ア
ーム４を回転させる。
【００１６】ベースアーム２の上記他方の先端部２ｃの
下方には、第２アーム７の元部７ａに直結されて第２ア
ーム用駆動装置１２が配設される。第２アーム用駆動装
置１２は、好ましくはモータと減速機とから構成され、
減速機の出力軸が第２アーム７に直結される。第２アー
ム用駆動装置１２は、第２リンク体１０の駆動時にベー
スアーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第２
アーム７を回転させる。
下方には、第２アーム７の元部７ａに直結されて第２ア
ーム用駆動装置１２が配設される。第２アーム用駆動装
置１２は、好ましくはモータと減速機とから構成され、
減速機の出力軸が第２アーム７に直結される。第２アー
ム用駆動装置１２は、第２リンク体１０の駆動時にベー
スアーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第２
アーム７を回転させる。
【００１７】第１アーム４の内部には、第１ハンド用駆
動装置１３が配設される。第１ハンド用駆動装置１３
は、第１リンク体６の駆動時にベースアーム２の回転方
向と同一方向に同一回転速度で第１ハンド５を回転させ
る。第１ハンド用駆動装置１３は、好ましくは、ベース
アーム２の上記一方の先端部２ｂに直結される第１ベー
スアーム側プーリー１４と、第１ベースアーム側プーリ
ー１４の二倍の外径寸法を有し第１ハンド５の元部５ａ
に直結される第１ハンド側プーリー１５と、第１ベース
アーム側プーリー１４、第１ハンド側プーリー１５間に
掛け渡される第１タイミングベルト１６により構成され
る。
動装置１３が配設される。第１ハンド用駆動装置１３
は、第１リンク体６の駆動時にベースアーム２の回転方
向と同一方向に同一回転速度で第１ハンド５を回転させ
る。第１ハンド用駆動装置１３は、好ましくは、ベース
アーム２の上記一方の先端部２ｂに直結される第１ベー
スアーム側プーリー１４と、第１ベースアーム側プーリ
ー１４の二倍の外径寸法を有し第１ハンド５の元部５ａ
に直結される第１ハンド側プーリー１５と、第１ベース
アーム側プーリー１４、第１ハンド側プーリー１５間に
掛け渡される第１タイミングベルト１６により構成され
る。
【００１８】第２アーム７の内部には、第２ハンド用駆
動装置１７が配設される。第２ハンド用駆動装置１７
は、第２リンク体１０の駆動時にベースアーム２の回転
方向と同一方向に同一回転速度で第２ハンド９を回転さ
せる。第２ハンド用駆動装置１７は、好ましくは、ベー
スアーム２の上記他方の先端部２ｃに直結される第２ベ
ースアーム側プーリー１８と、第２ベースアーム側プー
リー１８の二倍の外径寸法を有しコ字状部材８の元部８
ａに直結される第２ハンド側プーリー１９と、第２ベー
スアーム側プーリー１８、第２ハンド側プーリー１９間
に掛け渡される第２タイミングベルト２０により構成さ
れる。
動装置１７が配設される。第２ハンド用駆動装置１７
は、第２リンク体１０の駆動時にベースアーム２の回転
方向と同一方向に同一回転速度で第２ハンド９を回転さ
せる。第２ハンド用駆動装置１７は、好ましくは、ベー
スアーム２の上記他方の先端部２ｃに直結される第２ベ
ースアーム側プーリー１８と、第２ベースアーム側プー
リー１８の二倍の外径寸法を有しコ字状部材８の元部８
ａに直結される第２ハンド側プーリー１９と、第２ベー
スアーム側プーリー１８、第２ハンド側プーリー１９間
に掛け渡される第２タイミングベルト２０により構成さ
れる。
【００１９】第１リンク体６及び第２リンク体１０の非
駆動時の平面的姿勢は、図２に示すように、第１リンク
体６と第２リンク体１０とがベースアーム２の回転中心
位置２ａから長手方向と直交する方向に伸ばした仮想線
Ｌを対称軸とする線対称関係を有し、かつ、ベースアー
ム２と第１アーム４とのなす角度θ1 及びベースアーム
２と第２アーム７とのなす角度θ2 がそれぞれ約６０
°、第１アーム４と第１ハンド５とのなす角度θ3 及び
第２アーム７と第２ハンド９とのなす角度θ4 がそれぞ
れ約６０°となるよう設定される。なお、第１ハンド５
には薄型基板２１（図３）を真空吸着するための吸着孔
２２が設けられ、また、第２ハンド９には薄型基板２３
（図３）を真空吸着するための吸着孔２４が設けられて
おり、これらの吸着孔２２、２４は、第１、第２ハンド
５、９、第１、第２アーム４、７の内部に配された図示
しない配管を介して、機台１の内部の図示しない真空装
置に接続されている。さらに、図示を省略したが、機台
１の内部には、ベースアーム用駆動装置３、ベースアー
ム２及び第１、第２リンク体６、１０全体を上下動（Ｚ
軸移動）させるための駆動装置が配設されている。
駆動時の平面的姿勢は、図２に示すように、第１リンク
体６と第２リンク体１０とがベースアーム２の回転中心
位置２ａから長手方向と直交する方向に伸ばした仮想線
Ｌを対称軸とする線対称関係を有し、かつ、ベースアー
ム２と第１アーム４とのなす角度θ1 及びベースアーム
２と第２アーム７とのなす角度θ2 がそれぞれ約６０
°、第１アーム４と第１ハンド５とのなす角度θ3 及び
第２アーム７と第２ハンド９とのなす角度θ4 がそれぞ
れ約６０°となるよう設定される。なお、第１ハンド５
には薄型基板２１（図３）を真空吸着するための吸着孔
２２が設けられ、また、第２ハンド９には薄型基板２３
（図３）を真空吸着するための吸着孔２４が設けられて
おり、これらの吸着孔２２、２４は、第１、第２ハンド
５、９、第１、第２アーム４、７の内部に配された図示
しない配管を介して、機台１の内部の図示しない真空装
置に接続されている。さらに、図示を省略したが、機台
１の内部には、ベースアーム用駆動装置３、ベースアー
ム２及び第１、第２リンク体６、１０全体を上下動（Ｚ
軸移動）させるための駆動装置が配設されている。
【００２０】次に、上記のように構成される薄型基板搬
送ロボットの動作例を、図４及び図５に基づいて説明す
る。ここで、図４は、第２リンク体１０を非駆動状態に
維持して第１リンク体６を駆動する場合におけるベース
アーム２と第１アーム４と第１ハンド５と第２アーム７
と第２ハンド９の相互の平面的位置関係を示す。また、
図５は、第１リンク体６を非駆動状態に維持して第２リ
ンク体１０を駆動する場合におけるベースアーム２と第
１アーム４と第１ハンド５と第２アーム７と第２ハンド
９の相互の平面的位置関係を示す。なお、図４及び図５
において、コ字状部材８は便宜上図示していない。
送ロボットの動作例を、図４及び図５に基づいて説明す
る。ここで、図４は、第２リンク体１０を非駆動状態に
維持して第１リンク体６を駆動する場合におけるベース
アーム２と第１アーム４と第１ハンド５と第２アーム７
と第２ハンド９の相互の平面的位置関係を示す。また、
図５は、第１リンク体６を非駆動状態に維持して第２リ
ンク体１０を駆動する場合におけるベースアーム２と第
１アーム４と第１ハンド５と第２アーム７と第２ハンド
９の相互の平面的位置関係を示す。なお、図４及び図５
において、コ字状部材８は便宜上図示していない。
【００２１】図４において、第１リンク体６の駆動開始
前、ベースアーム２と第１、第２アーム４、７と第１、
第２ハンド５、９は図示実線Ｓ0 で示す位置関係、即
ち、図１及び図２に示す初期状態にある。その後、ベー
スアーム用駆動装置３及び第１アーム用駆動装置１１が
同時に運転を開始すると、ベースアーム２と第１、第２
アーム４、７と第１、第２ハンド５、９の相互の位置関
係は、図示実線の初期状態Ｓ0 から、図示破線、一点鎖
線、二点鎖線で示す過渡状態Ｓ1 、Ｓ2 、Ｓ3 へと順に
変化し、その後、ベースアーム２と第１アーム４と第１
ハンド５とが一直線上に伸びた状態（図３図示の状態）
へと変化する。この間、ベースアーム２はベースアーム
用駆動装置３によって回転され、第１アーム４は第１ア
ーム用駆動装置１１によって回転され、第１ハンド５
は、ベースアーム２と第１アーム４の各回転に基づいて
動作する第１ハンド用駆動装置１３によって回転され
る。ベースアーム２の回転速度をαとした場合、第１ア
ーム４はベースアーム２の回転方向と逆方向に２αの回
転速度で回転し、第１ハンド５はベースアーム２の回転
方向と同一方向にαの回転速度で回転する。なお、ベー
スアーム２と第１アーム４と第１ハンド５とを一直線上
に伸びた状態から図示実線の初期状態Ｓ0 に戻すとき
は、ベースアーム用駆動装置３及び第１アーム用駆動装
置１１によりベースアーム２及び第１アーム４をそれぞ
れ上述した回転方向とは反対の方向に回転させる。
前、ベースアーム２と第１、第２アーム４、７と第１、
第２ハンド５、９は図示実線Ｓ0 で示す位置関係、即
ち、図１及び図２に示す初期状態にある。その後、ベー
スアーム用駆動装置３及び第１アーム用駆動装置１１が
同時に運転を開始すると、ベースアーム２と第１、第２
アーム４、７と第１、第２ハンド５、９の相互の位置関
係は、図示実線の初期状態Ｓ0 から、図示破線、一点鎖
線、二点鎖線で示す過渡状態Ｓ1 、Ｓ2 、Ｓ3 へと順に
変化し、その後、ベースアーム２と第１アーム４と第１
ハンド５とが一直線上に伸びた状態（図３図示の状態）
へと変化する。この間、ベースアーム２はベースアーム
用駆動装置３によって回転され、第１アーム４は第１ア
ーム用駆動装置１１によって回転され、第１ハンド５
は、ベースアーム２と第１アーム４の各回転に基づいて
動作する第１ハンド用駆動装置１３によって回転され
る。ベースアーム２の回転速度をαとした場合、第１ア
ーム４はベースアーム２の回転方向と逆方向に２αの回
転速度で回転し、第１ハンド５はベースアーム２の回転
方向と同一方向にαの回転速度で回転する。なお、ベー
スアーム２と第１アーム４と第１ハンド５とを一直線上
に伸びた状態から図示実線の初期状態Ｓ0 に戻すとき
は、ベースアーム用駆動装置３及び第１アーム用駆動装
置１１によりベースアーム２及び第１アーム４をそれぞ
れ上述した回転方向とは反対の方向に回転させる。
【００２２】図５は、図４に示す状態からベースアーム
用駆動装置３のみを運転しベースアーム２を時計方向に
約６０°回転させておき、この初期状態から第２リンク
体１０を駆動する場合に対応する。この初期状態は、第
２ハンド９の平面的位置が図４に示す第１ハンド５の平
面的位置と一致する状態に対応している。
用駆動装置３のみを運転しベースアーム２を時計方向に
約６０°回転させておき、この初期状態から第２リンク
体１０を駆動する場合に対応する。この初期状態は、第
２ハンド９の平面的位置が図４に示す第１ハンド５の平
面的位置と一致する状態に対応している。
【００２３】図５において、第２リンク体１０の駆動開
始前、ベースアーム２と第１、第２アーム４、７と第
１、第２ハンド５、９は図示実線Ｓ0 で示す位置関係、
即ち、図１及び図２に示す初期状態にある。その後、ベ
ースアーム用駆動装置３及び第２アーム用駆動装置１２
が同時に運転を開始すると、ベースアーム２と第１、第
２アーム４、７と第１、第２ハンド９の相互の位置関係
は、図示実線の初期状態Ｓ0 から、図示破線、一点鎖
線、二点鎖線で示す過渡状態Ｓ1 、Ｓ2 、Ｓ3 へと順に
変化し、その後、ベースアーム２と第２アーム７と第２
ハンド９とが一直線上に伸びた状態（図３図示の状態）
へと変化する。この間、ベースアーム２はベースアーム
用駆動装置３によって回転され、第２アーム７は第２ア
ーム用駆動装置１２によって回転され、第２ハンド９
は、ベースアーム２と第２アーム７の各回転に基づいて
動作する第２ハンド用駆動装置１７によって回転され
る。ベースアーム２の回転速度をαとした場合、第２ア
ーム７はベースアーム２の回転方向と逆方向に２αの回
転速度で回転し、第２ハンド９はベースアーム２の回転
方向と同一方向にαの回転速度で回転する。なお、ベー
スアーム２と第２アーム７と第２ハンド９とを一直線上
に伸びた状態から図示実線の初期状態Ｓ0 に戻すとき
は、ベースアーム用駆動装置３及び第２アーム用駆動装
置１２によりベースアーム２及び第２アーム７をそれぞ
れ上述した回転方向とは反対の方向に回転させる。
始前、ベースアーム２と第１、第２アーム４、７と第
１、第２ハンド５、９は図示実線Ｓ0 で示す位置関係、
即ち、図１及び図２に示す初期状態にある。その後、ベ
ースアーム用駆動装置３及び第２アーム用駆動装置１２
が同時に運転を開始すると、ベースアーム２と第１、第
２アーム４、７と第１、第２ハンド９の相互の位置関係
は、図示実線の初期状態Ｓ0 から、図示破線、一点鎖
線、二点鎖線で示す過渡状態Ｓ1 、Ｓ2 、Ｓ3 へと順に
変化し、その後、ベースアーム２と第２アーム７と第２
ハンド９とが一直線上に伸びた状態（図３図示の状態）
へと変化する。この間、ベースアーム２はベースアーム
用駆動装置３によって回転され、第２アーム７は第２ア
ーム用駆動装置１２によって回転され、第２ハンド９
は、ベースアーム２と第２アーム７の各回転に基づいて
動作する第２ハンド用駆動装置１７によって回転され
る。ベースアーム２の回転速度をαとした場合、第２ア
ーム７はベースアーム２の回転方向と逆方向に２αの回
転速度で回転し、第２ハンド９はベースアーム２の回転
方向と同一方向にαの回転速度で回転する。なお、ベー
スアーム２と第２アーム７と第２ハンド９とを一直線上
に伸びた状態から図示実線の初期状態Ｓ0 に戻すとき
は、ベースアーム用駆動装置３及び第２アーム用駆動装
置１２によりベースアーム２及び第２アーム７をそれぞ
れ上述した回転方向とは反対の方向に回転させる。
【００２４】以上説明したように、第１実施形態に係る
薄型基板搬送ロボットによると、従前のダブルアーム式
搬送ロボットの二つのリンク体の各第１アームをベース
アーム２が兼用するため、機台１の内部にはベースアー
ム２を駆動するためのベースアーム用駆動装置３を一個
配設すれば足り、このため機台１の小型化を図ることが
できる。また、従前からの搬送ロボットにおいて第１ア
ームの内部に設けられていたプーリー及びタイミングベ
ルトがベースアーム２の内部に設けられていないため、
ベースアーム２の構造の簡素化を図ることができる。
薄型基板搬送ロボットによると、従前のダブルアーム式
搬送ロボットの二つのリンク体の各第１アームをベース
アーム２が兼用するため、機台１の内部にはベースアー
ム２を駆動するためのベースアーム用駆動装置３を一個
配設すれば足り、このため機台１の小型化を図ることが
できる。また、従前からの搬送ロボットにおいて第１ア
ームの内部に設けられていたプーリー及びタイミングベ
ルトがベースアーム２の内部に設けられていないため、
ベースアーム２の構造の簡素化を図ることができる。
【００２５】図６は、本発明の第２実施形態に係る薄型
基板搬送ロボットの斜視図、図７は、同搬送ロボットの
平面図をそれぞれ示す。
基板搬送ロボットの斜視図、図７は、同搬送ロボットの
平面図をそれぞれ示す。
【００２６】第２実施形態に係る薄型基板搬送ロボット
は、ベースアーム２に対する第１リンク体６及び第２リ
ンク体１０の取り付け方を第１実施形態とは異ならしめ
ており、第１リンク体６及び第２リンク体１０の非駆動
時の平面的姿勢は、第１リンク体６と第２リンク体１０
とがベースアーム２の回転中心位置２ａを対称点とする
点対称関係を有し、かつ、ベースアーム２と第１アーム
４とのなす角度θ1 及びベースアーム２と第２アーム７
とのなす角度θ2 がそれぞれ約６０°、第１アーム４と
第１ハンド５とのなす角度θ3 及び第２アーム７と第２
ハンド９とのなす角度θ4 がそれぞれ約６０°となるよ
う設定される。その他の構成は、第１実施形態と同様で
ある。
は、ベースアーム２に対する第１リンク体６及び第２リ
ンク体１０の取り付け方を第１実施形態とは異ならしめ
ており、第１リンク体６及び第２リンク体１０の非駆動
時の平面的姿勢は、第１リンク体６と第２リンク体１０
とがベースアーム２の回転中心位置２ａを対称点とする
点対称関係を有し、かつ、ベースアーム２と第１アーム
４とのなす角度θ1 及びベースアーム２と第２アーム７
とのなす角度θ2 がそれぞれ約６０°、第１アーム４と
第１ハンド５とのなす角度θ3 及び第２アーム７と第２
ハンド９とのなす角度θ4 がそれぞれ約６０°となるよ
う設定される。その他の構成は、第１実施形態と同様で
ある。
【００２７】第２実施形態に係る搬送ロボットも、第１
実施形態に係る搬送ロボットと同様に第１、第２ハンド
５、９を直線運動させることができる。ただし、第１実
施形態と同様に第２ハンド９の直線運動の軌跡を第１ハ
ンド５の直線運動の軌跡に一致させるにあたっては、第
１実施形態ではベースアーム２を約６０°時計方向に回
転させることにより第２ハンド９の初期状態を第１ハン
ド５の初期状態に一致させているが、第２実施形態では
ベースアーム２を１８０°回転させることにより第２ハ
ンド９の初期状態を第１ハンド５の初期状態に一致させ
るようにする。
実施形態に係る搬送ロボットと同様に第１、第２ハンド
５、９を直線運動させることができる。ただし、第１実
施形態と同様に第２ハンド９の直線運動の軌跡を第１ハ
ンド５の直線運動の軌跡に一致させるにあたっては、第
１実施形態ではベースアーム２を約６０°時計方向に回
転させることにより第２ハンド９の初期状態を第１ハン
ド５の初期状態に一致させているが、第２実施形態では
ベースアーム２を１８０°回転させることにより第２ハ
ンド９の初期状態を第１ハンド５の初期状態に一致させ
るようにする。
【００２８】第２実施形態に係る薄型基板搬送ロボット
によっても、第１実施形態に係る薄型基板搬送ロボット
と同様、機台１の小型化及びベースアーム２の構造の簡
素化を図ることができる。
によっても、第１実施形態に係る薄型基板搬送ロボット
と同様、機台１の小型化及びベースアーム２の構造の簡
素化を図ることができる。
【００２９】なお、上記実施形態においては、第１アー
ム用駆動装置１１は第１アーム４をベースアーム２の二
倍の回転速度で回転させ、第２アーム用駆動装置１２は
第２アーム７をベースアーム２の二倍の回転速度で回転
させるよう構成されているが、第１アーム用駆動装置１
１及び第２アーム用駆動装置１２は第１アーム４及び第
２アーム７を上記回転速度で回転させる構成のみに限定
されるものではなく、他の回転速度で回転させる構成を
とることは自由である。
ム用駆動装置１１は第１アーム４をベースアーム２の二
倍の回転速度で回転させ、第２アーム用駆動装置１２は
第２アーム７をベースアーム２の二倍の回転速度で回転
させるよう構成されているが、第１アーム用駆動装置１
１及び第２アーム用駆動装置１２は第１アーム４及び第
２アーム７を上記回転速度で回転させる構成のみに限定
されるものではなく、他の回転速度で回転させる構成を
とることは自由である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
ベースアームによって従前の搬送ロボットにおける二つ
の第１アームの共通化が図れるようになり、機台の小型
化及びリンク体の内部構造の簡素化などを達成すること
ができる。
ベースアームによって従前の搬送ロボットにおける二つ
の第１アームの共通化が図れるようになり、機台の小型
化及びリンク体の内部構造の簡素化などを達成すること
ができる。
【図１】本発明の第１実施形態に係る薄型基板搬送ロボ
ットの斜視図である。
ットの斜視図である。
【図２】同搬送ロボットの平面図である。
【図３】同搬送ロボットの要部断面図である。
【図４】同搬送ロボットの動作を説明するための説明図
である。
である。
【図５】同じく同搬送ロボットの動作を説明するための
説明図である。
説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る薄型基板搬送ロボ
ットの斜視図である。
ットの斜視図である。
【図７】同搬送ロボットの平面図である。
【図８】従来からのダブルアーム式薄型基板搬送ロボッ
トの正面図である。
トの正面図である。
１ 機台 ２ ベースアーム ２ａ 長手方向中央位置（回転中心位置） ２ｂ 一方の先端部 ２ｃ 他方の先端部 ３ ベースアーム用駆動装置 ４ 第１アーム ４ａ 元部（回転中心位置） ４ｂ 先端部 ５ 第１ハンド ５ａ 元部（回転中心位置） ６ 第１リンク体 ７ 第２アーム ７ａ 元部（回転中心位置） ７ｂ 先端部 ８ コ字状部材（干渉防止部材） ８ａ 元部 ８ｂ 先端部 ９ 第２ハンド ９ａ 元部（回転中心位置） １０ 第２リンク体 １１ 第１アーム用駆動装置 １２ 第２アーム用駆動装置 １３ 第１ハンド用駆動装置 １４ 第１ベースアーム側プーリー １５ 第１ハンド側プーリー １６ 第１タイミングベルト １７ 第２ハンド用駆動装置 １８ 第２ベースアーム側プーリー １９ 第２ハンド側プーリー ２０ 第２タイミングベルト２０ ２３ 薄型基板 ｎ1 ベースアーム２の回転中心位置２ａから第１ア
ーム４の回転中心位置４ａまでの水平距離 ｎ2 第１アーム７の回転中心位置４ａから第１ハン
ド５の回転中心位置５ａまでの水平距離 ｎ3 ベースアーム２の回転中心位置２ａから第２ア
ーム７の回転中心位置７ａまでの水平距離 ｎ4 第２アーム７の回転中心位置７ａから第２ハン
ド９の回転中心位置９ａまでの水平距離 Ｌ 仮想線 θ1 ベースアーム２と第１アーム４とのなす角度 θ2 ベースアーム２と第２アーム７とのなす角度 θ3 第１アーム４と第１ハンド５とのなす角度 θ4 第２アーム７と第２ハンド９とのなす角度
ーム４の回転中心位置４ａまでの水平距離 ｎ2 第１アーム７の回転中心位置４ａから第１ハン
ド５の回転中心位置５ａまでの水平距離 ｎ3 ベースアーム２の回転中心位置２ａから第２ア
ーム７の回転中心位置７ａまでの水平距離 ｎ4 第２アーム７の回転中心位置７ａから第２ハン
ド９の回転中心位置９ａまでの水平距離 Ｌ 仮想線 θ1 ベースアーム２と第１アーム４とのなす角度 θ2 ベースアーム２と第２アーム７とのなす角度 θ3 第１アーム４と第１ハンド５とのなす角度 θ4 第２アーム７と第２ハンド９とのなす角度
Claims (4)
- 【請求項１】 機台と、 前記機台の上方に配され、長手方向中央位置を中心とし
て水平面上を双方向に回転可能なベースアームと、 前記ベースアームの長手方向中央位置に直結され、前記
機台の内部に配設されるベースアーム用駆動装置と、 前記ベースアームの一方の先端部に延設され元部を中心
として水平面上を回転可能な第１アームと、該第１アー
ムの先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転
可能な薄型基板保持用第１ハンドとからなり、前記第１
アームの回転中心位置から前記第１ハンドの回転中心位
置までの水平距離が前記ベースアームの回転中心位置か
ら前記第１アームの回転中心位置までの水平距離と一致
する第１リンク体と、 前記ベースアームの他方の先端部に延設され元部を中心
として水平面上を回転可能な第２アームと、該第２アー
ムの先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転
可能な薄型基板保持用第２ハンドと、前記第１ハンドに
保持される薄型基板と当該第２リンク体との衝突を回避
するための干渉防止部材とからなり、前記第２アームの
回転中心位置から前記第２ハンドの回転中心位置までの
水平距離が前記ベースアームの回転中心位置から前記第
２アームの回転中心位置までの水平距離と一致する第２
リンク体と、 前記第１アームの元部に直結され、第１リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第１アー
ムを回転させる第１アーム用駆動装置と、 前記第２アームの元部に直結され、第２リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第２アー
ムを回転させる第２アーム用駆動装置と、 前記第１アームの内部に配設され、第１リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と同一方向に前記第１ハ
ンドを回転させる第１ハンド用駆動装置と、 前記第２アームの内部に配設され、第２リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と同一方向に前記第２ハ
ンドを回転させる第２ハンド用駆動装置と、 を備えることを特徴とする薄型基板搬送ロボット。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記第１アーム用駆動装置は、前記第１アームを前記ベ
ースアームの二倍の回転速度で回転させ、 前記第１ハンド用駆動装置は、前記ベースアームの前記
一方の先端部に直結される第１ベースアーム側プーリー
と、前記第１ベースアーム側プーリーの二倍の外径寸法
を有し前記第１ハンドの元部に直結される第１ハンド側
プーリーと、前記第１ベースアーム側プーリー、前記第
１ハンド側プーリー間に掛け渡される第１タイミングベ
ルトにより構成され、 前記第２アーム用駆動装置は、前記第２アームを前記ベ
ースアームの二倍の回転速度で回転させ、 前記第２ハンド用駆動装置は、前記ベースアームの前記
他方の先端部に直結される第２ベースアーム側プーリー
と、前記第２ベースアーム側プーリーの二倍の外径寸法
を有し前記第２ハンドの元部側に直結される第２ハンド
側プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリー、前記
第２ハンド側プーリー間に掛け渡される第２タイミング
ベルトにより構成されることを特徴とする薄型基板搬送
ロボット。 - 【請求項３】 請求項２において、 前記第１リンク体及び前記第２リンク体の非駆動時の平
面的姿勢は、第１リンク体と第２リンク体とが前記ベー
スアームの回転中心位置から長手方向と直交する方向に
伸ばした仮想線を対称軸とする線対称関係を有し、か
つ、第１アーム及び第２アームと前記ベースアームとの
なす角度が約６０°、第１アームと第１ハンドとのなす
角度及び第２アームと第２ハンドとのなす角度がそれぞ
れ約６０°となるよう設定されることを特徴とする薄型
基板搬送ロボット。 - 【請求項４】 請求項２において、 前記第１リンク体及び前記第２リンク体の非駆動時の平
面的姿勢は、第１リンク体と第２リンク体とが前記ベー
スアームの回転中心位置を対称点とする点対称関係を有
し、かつ、第１アーム及び第２アームと前記ベースアー
ムとのなす角度が約６０°、第１アームと第１ハンドと
のなす角度及び第２アームと第２ハンドとのなす角度が
それぞれ約６０°となるよう設定されることを特徴とす
る薄型基板搬送ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7785598A JPH11277467A (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 薄型基板搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7785598A JPH11277467A (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 薄型基板搬送ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11277467A true JPH11277467A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13645689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7785598A Withdrawn JPH11277467A (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 薄型基板搬送ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11277467A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002172571A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
| JP2002172572A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
| JP2005014105A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Nachi Fujikoshi Corp | 産業用ロボット |
| JP2006013493A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-12 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
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| JP2012514569A (ja) * | 2009-01-11 | 2012-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットシステム、装置、および方法 |
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| WO2018021268A1 (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
| CN109476016A (zh) * | 2016-07-28 | 2019-03-15 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
| CN110505945A (zh) * | 2017-02-15 | 2019-11-26 | 柿子技术公司 | 具有多个末端执行器的物料操纵机器人 |
-
1998
- 1998-03-25 JP JP7785598A patent/JPH11277467A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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