JPH112789A - 液晶表示装置用絶縁性基板の位置決め方法および液晶表示装置用絶縁性基板移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 絶縁性基板にクラックを発生させることな
く、高精度の位置決めを行うことができる液晶表示装置
用絶縁性基板の位置決め方法および液晶表示装置用絶縁
性基板移載装置を提供する。 【解決手段】 絶縁性基板１がカセット２内に収納され
ている状態で、絶縁性基板１の取り出し方向と平行な方
向の絶縁性基板１の１辺の２箇所を非接触で検知するセ
ンサ６ａ、６ｂを取付台７ａごと移動させ、カセット設
置部３に対する絶縁性基板１の相対位置を検出する。次
に、絶縁性基板１の位置および傾きの計算結果に基づい
て、カセット設置ステージ４を移動させてカセット２の
位置補正を行い、絶縁性基板１の位置決めを精度よく行
う。このようにして絶縁性基板１の位置決めを行った
後、搬送ロボット１２で絶縁性基板１をカセット２から
１枚ずつ取り出し、処理装置側移載位置１３のリフトピ
ン１４に移載して、リフトピン１４を下降させることに
より、絶縁性基板１の処理装置側移載位置１３への移載
を終了する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用絶
縁性基板をカセットから移載位置へ移載する際の位置決
め方法および移載装置に関するもので、特に絶縁性基板
に各種の処理を施す処理装置へ移載する際の位置決め方
法および移載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６および図７に示すように、液晶表示
装置を構成するガラス等からなる絶縁性基板５１は、各
種の処理を施すための各処理装置間の搬送の際には、絶
縁性基板５１を多数枚収納可能なカセット５２に収納さ
れて搬送されている。

【０００３】このカセット５２の絶縁性基板５１を収納
する部分は、絶縁性基板５１の幅に対して両側に５ｍｍ
程度大きく形成されている。このため、カセット５２の
搬送時には、絶縁性基板５１はカセット５２内で自由に
動くことができ、各絶縁性基板５１の位置および傾きは
カセット５２内でばらついてしまう。

【０００４】絶縁性基板５１を各処理装置へ移載する際
には、各絶縁性基板５１の位置および傾きのばらつきを
なくすため、カセット５２をカセット設置部５３に搬送
し、カセット位置決めガイド５４でカセット５２の位置
決めを行った後、絶縁性基板５１がカセット５２内に収
納されている状態で、絶縁性基板位置決めガイド５５を
絶縁性基板５１に押し当てることで絶縁性基板５１の位
置決めを行っている。

【０００５】そして、搬送ロボット５６で絶縁性基板５
１をカセット５２から１枚ずつ取り出し、処理装置側移
載位置５７のリフトピン５８に移載して、リフトピン５
８を下降させることにより、絶縁性基板５１の処理装置
側移載位置５７への移載を終了する。

【０００６】絶縁性基板位置決めガイド５５は、絶縁性
基板５１の取り出し方向と平行な方向に位置する絶縁性
基板５１の２辺に押し当てることで位置決めを行うも
の、または前述の２辺に加えてこの２辺に直交する取り
出し側の１辺に対しても押し当てることで位置決めを行
うものがある。

【０００７】この絶縁性基板位置決めガイド５５による
位置決めにより、カセット５２から絶縁性基板５１を移
載する際に、絶縁性基板５１がカセット５２に当たった
り、移載先の処理装置側移載位置５７で絶縁性基板５１
の位置が大きくずれているということを防止することが
できる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、絶縁性
基板位置決めガイドを用いた接触式の絶縁性基板の位置
決め方法では、機械的に絶縁性基板位置決めガイドを絶
縁性基板に押し当てて位置決めを行うため、絶縁性基板
の絶縁性基板位置決めガイドを押し当てた部分にクラッ
クが発生する可能性がある。

【０００９】絶縁性基板に発生したクラックは、搬送を
繰り返すうちに絶縁性基板が割れる等の問題点がある。
また、絶縁性基板に接触するため、絶縁性基板位置決め
ガイドから発塵することがあり、このダストが絶縁性基
板に付着した場合には、後の絶縁性基板の処理の際に、
フォトレジスト中に入ったり、貼り合わせた絶縁性基板
間に入ったりして不良となる。つまり、これらのクラッ
クおよび発塵は、液晶表示装置の良品率を低下させる原
因となる。

【００１０】また、絶縁性基板の外形サイズが大きくな
れば絶縁性基板の撓みが大きくなり、絶縁性基板位置決
めガイドを押し当てて絶縁性基板の位置決めを行って
も、さらに絶縁性基板が撓むだけで絶縁性基板は動か
ず、位置決めが行えないことも考えられる。

【００１１】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、絶縁性基板にクラックを発生
させることなく、高精度の位置決めを行うことができる
液晶表示装置用絶縁性基板の位置決め方法および液晶表
示装置用絶縁性基板移載装置を提供することを目的とし
ている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の液晶表示装置用絶縁性
基板の位置決め方法は、カセットに収納されている液晶
表示装置用絶縁性基板を処理装置の移載位置へ移載する
際に行う液晶表示装置用絶縁性基板の位置決め方法にお
いて、前記カセットに収納されている状態で前記絶縁性
基板の位置および傾きを非接触な方法で検出し、この検
出結果に基づいて前記カセットの位置補正を行うことで
前記絶縁性基板の位置決めを行うことを特徴としてい
る。

【００１３】請求項２記載の液晶表示装置用絶縁性基板
移載装置は、液晶表示装置用絶縁性基板を収納したカセ
ットを設置するカセット設置部と、前記絶縁性基板を処
理装置に移載する搬送ロボットと、を備える液晶表示装
置用絶縁性基板移載装置において、前記カセットに収納
されている状態で前記絶縁性基板の位置および傾きを非
接触な方法で検出する検出手段と、前記検出手段からの
位置情報に基づいて前記カセットの位置補正を行うカセ
ット設置ステージと、を備えることを特徴としている。

【００１４】本発明の液晶表示装置用絶縁性基板の位置
決め方法によれば、カセットに収納されている状態で絶
縁性基板の位置および傾きを非接触な方法で検出し、こ
の検出結果に基づいてカセットの位置補正を行うことで
絶縁性基板の位置決めを行うことにより、絶縁性基板が
大型化した場合であっても容易に絶縁性基板の位置決め
を行うことができ、位置決め時に絶縁性基板にクラック
が発生することを防止することができる。また、絶縁性
基板の位置決めを非接触で行うため、発塵することがな
い。

【００１５】本発明の液晶表示装置用絶縁性基板移載装
置によれば、カセットに収納されている状態で絶縁性基
板の位置および傾きを非接触な方法で検出する検出手段
と、検出手段からの位置情報に基づいてカセットの位置
補正を行うカセット設置ステージと、を備えることによ
り、絶縁性基板が大型化した場合であっても容易に絶縁
性基板の位置決めを行うことができ、位置決め時に絶縁
性基板にクラックが発生することを防止することができ
る。また、絶縁性基板の位置決めを非接触で行うため、
発塵することがない。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１乃至図５を用いて、本発明の
実施の形態について説明する。

【００１７】（実施の形態１）図１は本発明に係わる絶
縁性基板移載時の位置決め方法を示す平面図、図２は本
発明に係わる絶縁性基板移載時の位置決め方法を示す斜
視図、図３は本発明に係わる絶縁性基板の位置および傾
きを計測する方法を示す説明図である。

【００１８】図１および図２に示すように、液晶表示装
置を構成するガラス等からなる絶縁性基板１は、各種の
処理を施すための各処理装置間の搬送の際には、絶縁性
基板１を多数枚収納可能なカセット２に収納されて搬送
されている。

【００１９】絶縁性基板１を各処理装置へ移載する際に
は、各絶縁性基板１の位置および傾きのばらつきをなく
すため、カセット２をカセット設置部３上のカセット設
置ステージ４に搬送し、カセット位置決めガイド５でカ
セット設置ステージ４に対してカセット２の位置決めを
行う。このカセット２の位置決めは、例えばエアシリン
ダにより駆動するカセット位置決めガイド５をカセット
２に押し当てることによって行う。

【００２０】そして、絶縁性基板１がカセット２内に収
納されている状態で、絶縁性基板１の取り出し方向と平
行な方向の絶縁性基板１の１辺の２箇所を非接触で検知
するセンサ６ａ、６ｂを取付台７ａごと移動させ、カセ
ット設置部３に対する絶縁性基板１の相対位置を検出す
る。このセンサ６ａ、６ｂは、絶縁性基板１の取り出し
方向に対して平行となるようにカセット設置部３に設置
されており、センサ６ａ、６ｂの移動は２つ一緒に移動
するようになっている。

【００２１】このセンサ６ａ、６ｂにより、絶縁性基板
１の位置および傾きを計測する方法を図３を用いて説明
する。

【００２２】図３（ａ）に示すように、カセット２に収
納されている絶縁性基板１に対して、カセット２の側方
からセンサ６ａ、６ｂが取り付けられた取付台７ａを近
づける。尚、Ａは絶縁性基板１の取り出し方向の中心線
を示している。

【００２３】次に、図３（ｂ）に示すように、センサ６
ａが絶縁性基板１を検知するまでの距離ｙ１、およびセ
ンサ６ａが絶縁性基板１を検知してからセンサ６ｂが絶
縁性基板１を検知するまでの距離ｙ２より、絶縁性基板
１の位置および絶縁性基板１の取り出し方向の中心線Ａ
に対する傾きθを計算する。

【００２４】次に、図３（ｃ）に示すように、絶縁性基
板１の位置および傾きθの計算結果に基づいて、カセッ
ト設置ステージを移動させてカセット２の位置補正を行
う。これにより、絶縁性基板１の取り出し方向と平行な
辺について、位置決めが行える。

【００２５】図２に示すように、カセット設置部３は、
カセット設置ステージ４を移動させてカセット２の位置
補正を行うために、カセット設置ステージ４を回転させ
るダイレクトドライブモータ８、カセット２を移動させ
るためのボールネジ９、ステッピングモータ１０および
リニアガイド１１を備えている。

【００２６】ダイレクトドライブモータ８によって絶縁
性基板１の傾きθに対するカセット２の位置補正を行
い、ボールネジ９およびステッピングモータ１０によっ
て絶縁性基板１の位置に対するカセット２の位置補正を
行う。リニアガイド１１は、直線運動化されたカセット
設置ステージ４を精度よく案内するためのものである。
これらの構成により、カセット設置ステージ４の位置補
正を精度よく行うことができ、絶縁性基板１の位置決め
を精度よく行うことができる。

【００２７】このようにして絶縁性基板１の位置決めを
行った後、搬送ロボット１２で絶縁性基板１をカセット
２から１枚ずつ取り出し、処理装置側移載位置１３のリ
フトピン１４に移載して、リフトピン１４を下降させる
ことにより、絶縁性基板１の処理装置側移載位置１３へ
の移載を終了する。

【００２８】本発明におけるカセット２の位置補正を行
うための構成は、本実施の形態で説明した構成に限定さ
れるものではない。また、センサ６ａ、６ｂは、絶縁性
基板の取り出し方向に対して完全に平行な位置に設置さ
れていなくてもよく、この場合、絶縁性基板の位置およ
び傾きθを計算する際に２箇所のセンサ６ａ、６ｂのず
れの補正を行えばよい。

【００２９】（実施の形態２）図４は本発明に係わる絶
縁性基板の位置および傾きを計測する他の方法を示す説
明図である。尚、実施の形態１と同様の部分については
説明を省略する。

【００３０】図４（ａ）に示すように、実施の形態１で
説明したセンサ６ａ、６ｂに加えて、絶縁性基板１がカ
セット２内に収納されている状態で、絶縁性基板１の取
り出し方向と直交する方向の取り出し側の１辺を非接触
で検知するセンサ６ｃを取付台７ｂごと移動できる構成
とする。

【００３１】図４（ｂ）に示すように、センサ６ａが絶
縁性基板１を検知するまでの距離ｙ１、およびセンサ６
ａが絶縁性基板１を検知してからセンサ６ｂが絶縁性基
板１を検知するまでの距離ｙ２、センサ６ｃが絶縁性基
板１を検知するまでの距離ｘ１より、絶縁性基板１の位
置および絶縁性基板１の取り出し方向の中心線Ａに対す
る傾きθを計算する。

【００３２】次に、図４（ｃ）に示すように、絶縁性基
板１の位置および傾きθの計算結果に基づいて、カセッ
ト設置ステージを移動させてカセット２の位置補正を行
う。これにより、絶縁性基板１の取り出し方向と平行な
辺およびこれと直交する辺について、位置決めが行え
る。

【００３３】本実施の形態におけるカセット設置部は、
絶縁性基板１の取り出し方向と平行な辺の位置補正を行
う機構に加えて、これと直交する辺の位置補正を行うボ
ールネジおよびステッピングモータを備える必要があ
り、この２つのボールネジ駆動のガイド構成は必ず直交
していなければならない。

【００３４】また、本実施の形態における絶縁性基板１
の位置および傾きθの検知手順は特に限定されるもので
はなく、取付台７ａ、７ｂのどちらを先に駆動させても
よく、また、絶縁性基板１の１辺の位置決めを行った
後、他の辺について位置を検知して位置決めを行っても
よい。

【００３５】（実施の形態３）図５は本発明に係わる絶
縁性基板移載時の他の位置決め方法を示す平面図であ
る。尚、実施の形態１と同様の部分については説明を省
略する。

【００３６】図５に示すように、本実施の形態は、実施
の形態１の構成にカセット位置決めガイドが設けられて
いない構成である。本実施の形態では、カセット２をカ
セット設置部３上のカセット設置ステージ４に搬送し、
カセット２の位置決めを行うことなく、絶縁性基板１が
カセット２内に収納されている状態で、絶縁性基板１の
取り出し方向と平行な方向の絶縁性基板１の１辺の２箇
所を非接触で検知するセンサ６ａ、６ｂを取付台７ａご
と移動させ、カセット設置部３に対する絶縁性基板１の
相対位置を検出する。

【００３７】このようにすれば、カセット２をカセット
設置ステージ４に設置する際の位置ずれを含んだ絶縁性
基板１の位置および傾きを計測することができ、この結
果に基づいてカセット２の位置補正を行って、絶縁性基
板１の位置決めを行うことができる。

【００３８】このようにして絶縁性基板１の位置決めを
行った後、搬送ロボット１２で絶縁性基板１をカセット
２から１枚ずつ取り出し、処理装置側移載位置１３のリ
フトピン１４に移載して、リフトピン１４を下降させる
ことにより、絶縁性基板１の処理装置側移載位置１３へ
の移載を終了する。

【００３９】本実施の形態によれば、カセット位置決め
ガイドを省略して移載装置を簡略化することができ、カ
セット位置決めガイドがカセット２に接触する際の衝撃
を絶縁性基板１に与えることがなくなる。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明のように、本発明の液晶表示
装置用絶縁性基板の位置決め方法によれば、カセットに
収納されている状態で絶縁性基板の位置および傾きを非
接触な方法で検出し、この検出結果に基づいてカセット
の位置補正を行うことで絶縁性基板の位置決めを行うこ
とにより、絶縁性基板が大型化した場合であっても容易
に絶縁性基板の位置決めを行うことができ、位置決め時
に絶縁性基板にクラックが発生することを防止すること
ができるため、位置決め時のクラックに起因する絶縁性
基板の割れを防止することができる。また、絶縁性基板
の位置決めを非接触で行うため、発塵することがなく、
異物に起因する液晶表示装置の不良を低減させることが
できる。

【００４１】本発明の液晶表示装置用絶縁性基板移載装
置によれば、カセットに収納されている状態で絶縁性基
板の位置および傾きを非接触な方法で検出する検出手段
と、検出手段からの位置情報に基づいてカセットの位置
補正を行うカセット設置ステージと、を備えることによ
り、絶縁性基板が大型化した場合であっても容易に絶縁
性基板の位置決めを行うことができ、位置決め時に絶縁
性基板にクラックが発生することを防止することができ
るため、位置決め時のクラックに起因する絶縁性基板の
割れを防止することができる。また、絶縁性基板の位置
決めを非接触で行うため、発塵することがなく、異物に
起因する液晶表示装置の不良を低減させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる絶縁性基板移載時の位置決め方
法を示す平面図である。

【図２】本発明に係わる絶縁性基板移載時の位置決め方
法を示す斜視図である。

【図３】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係わる絶縁性基板の
位置および傾きを計測する方法を示す説明図である。

【図４】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係わる絶縁性基板の
位置および傾きを計測する他の方法を示す説明図であ
る。

【図５】本発明に係わる絶縁性基板移載時の他の位置決
め方法を示す平面図である。

【図６】従来の絶縁性基板移載時の位置決め方法を示す
平面図である。

【図７】従来の絶縁性基板移載時の位置決め方法を示す
斜視図である。

【符号の説明】

１ 絶縁性基板 ２ カセット ３ カセット設置部 ４ カセット設置ステージ ５ カセット位置決めガイド ６ａ、６ｂ、６ｃ センサ ７ａ、７ｂ 取付台 ８ ダイレクトドライブモータ ９ ボールネジ １０ ステッピングモータ １１ リニアガイド １２ 搬送ロボット １３ 処理装置側移載位置 １４ リフトピン ５１ 絶縁性基板 ５２ カセット ５３ カセット設置部 ５４ カセット位置決めガイド ５５ 絶縁性基板位置決めガイド ５６ 搬送ロボット ５７ 処理装置側移載位置 ５８ リフトピン

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセットに収納されている液晶表示装置
   用絶縁性基板を処理装置の移載位置へ移載する際に行う
   液晶表示装置用絶縁性基板の位置決め方法において、 前記カセットに収納されている状態で前記絶縁性基板の
   位置および傾きを非接触な方法で検出し、この検出結果
   に基づいて前記カセットの位置補正を行うことで前記絶
   縁性基板の位置決めを行うことを特徴とする液晶表示装
   置用絶縁性基板の位置決め方法。
2. 【請求項２】 液晶表示装置用絶縁性基板を収納したカ
   セットを設置するカセット設置部と、前記絶縁性基板を
   処理装置に移載する搬送ロボットと、を備える液晶表示
   装置用絶縁性基板移載装置において、 前記カセットに収納されている状態で前記絶縁性基板の
   位置および傾きを非接触な方法で検出する検出手段と、 前記検出手段からの位置情報に基づいて前記カセットの
   位置補正を行うカセット設置ステージと、を備えること
   を特徴とする液晶表示装置用絶縁性基板移載装置。