JPH11283350A

JPH11283350A - 基板用保持部材及びこれを用いた磁気記録装置

Info

Publication number: JPH11283350A
Application number: JP10086299A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Okumura; 雅弘奥村; Hiroshi Nabeshima; 寛鍋島
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1998-03-31
Filing date: 1998-03-31
Publication date: 1999-10-15

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気記録装置などにおいて、磁気ディスク基板
や磁気ヘッド保持用基板に歪みを発生させることなく、
高精度に保持できるようにするとともに、上記磁気ディ
スク基板や磁気ヘッド保持用基板に搭載する磁気ヘッド
が帯電してもその静電気を逃がすことができ、かつ締め
付け固定時や衝撃が加わっても磁気ディスク基板上に落
下する脱粒片や研削屑等のパーティクルの発生量を大幅
に低減することができる基板用保持部材を提供する。【解決手段】単数又は複数の基板を所定の間隔に保持す
る基板用保持部材を、導電性付与材として、Ｆｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉ、Ｃｒの酸化物のうち１種以上を含み、破壊靱
性値（Ｋ_1C）が５．０ＭＰａｍ^1/2以上であるジルコニ
アセラミックスにより形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単数又は複数の磁
気ディスク基板や磁気ヘッド保持用基板を所定の間隔に
保持するためのスペーサ、シム、クランプなどの基板用
保持部材と、これを用いた磁気記録装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来より用いられている磁気記録装置
は、図４に示すように、回転軸２３に固定されたハブ２
４に、複数の磁気ディスク基板２５とスペーサ２１とを
交互に挿入し、クランプ２２で押さえるとともにネジ３
１を締めつけて固定するディスク部２０と、磁気ヘッド
２６を搭載したヘッドキャリアと呼ばれている複数の磁
気ヘッド保持用基板２７とスペーサ２８とを交互に配置
し、その両端をキャリアアームと呼ばれている固定部材
２９で挟み込んで固定したヘッド部３０とから構成され
ている。そして、回転軸２３の回転により磁気ディスク
基板２５を回転させた状態で、該磁気ディスク基板２５
上に磁気ヘッド２６を非接触の状態で浮上させつつ移動
させることで、各磁気ディスク基板２５の所定位置に情
報の書き込みや読み取りを行うようになっている。

【０００３】また、近年、磁気記録装置には情報の高密
度化、大容量化が要求され、記録密度を高めるためには
浮上した磁気ヘッド２６と磁気ディスク基板２５との距
離を小さくする必要があることから、磁気ディスク基板
２５の材質として変形が少なく平滑面が得やすい、ガラ
ス基板、サファイア基板、セラミック基板が用いられて
おり、該磁気ディスク基板２５を高精度に固定、保持す
るスペーサ２１やクランプ２２などの保持部材として、
アルミナ、ジルコニアなどのセラミックスを用いること
が提案されている（特公平５−８０７４５号公報、特開
昭６１−１４８６６７号公報参照）。一方、ヘッド部３
０を構成する磁気ヘッド保持用基板２７、固定部材２
９、スペーサ２８である保持部材はこれまで高い保持精
度が要求されておらず、アルミニウムにより形成されて
いた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、磁気ディス
ク基板２５を保持する保持部材を構成する上記セラミッ
クスは一般的に絶縁材料であることから、磁気ディスク
基板２５が帯電すると情報の読み込みや書き込みの際に
ノイズが発生し、記録内容を破壊する恐れがあった。

【０００５】そこで、本件出願人は、上記保持部材を、
導電性付与材を添加して導電性を持たせたアルミナセラ
ミックスやフォルステライトセラミックスにより形成
し、磁気ディスク基板２５に帯電する静電気を保持部材
を介して逃がすことにより記録内容の破壊を防止するこ
とを先に提案している（特開平２−２２６５６６号公
報、特開平９−２７１７７号公報参照）。

【０００６】しかしながら、近年、情報の高密度化、大
容量化に伴って磁気抵抗素子を用いたＭＲヘッドやＧＭ
Ｒヘッドと呼ばれている磁気ヘッド２６が使用されるよ
うになり、これらの磁気ヘッド２６を用いた磁気記録装
置においては次のような課題があった。

【０００７】保持部材を構成するアルミナやフォルステ
ライトにはボイドが多数存在しており、このボイド中に
付着していた研削屑等がパーティクルとして磁気ディス
ク基板２５上に落ちたり、アルミナやフォルステライト
は破壊靱性値が小さいために締め付け固定時や衝撃が加
わると脱粒を生じ易く、これがパーティクルとして磁気
ディスク基板２５上に落ちていた。そして、これらのパ
ーティクルはこれまでそれほど問題となっていなかった
がＭＲヘッドやＧＭＲヘッドの使用に伴い磁気ディスク
基板２５との距離が一段と狭くなり、その結果、上記パ
ーティクルが磁気ヘッド２６と磁気ディスク基板２５と
の間に入り込み、磁気ヘッド２６や磁気ディスク基板２
５上の磁性膜を傷付けるために高密度化、高容量化にお
いて大きな問題となっていた。

【０００８】特に近年、磁気記録装置の耐衝撃性を高め
るために、稼働時（読み込みや書き込み時）以外は、磁
気ヘッド２６と磁気ディスク基板２５の間にある一定の
距離を設けておき、稼働時のみ磁気ヘッド２６を磁気デ
ィスク基板２５との所定の距離にまで近づける機構を備
えたものも提案されているが、このような構造の場合、
従来のように磁気ヘッド２６が磁気ディスク基板２５か
ら浮上する構造と異なり、大きなパーティクルを掃き落
とすことができないために、上記パーティクルの発生は
より顕著な問題となっていた。

【０００９】また、記録密度を高めるためには磁気ヘッ
ド２６と磁気ディスク基板２５との距離をさらに小さく
する必要があるのであるが磁気ディスク基板２５側だけ
の対応では難しくなっており、磁気ヘッド２６を搭載す
る磁気ヘッド保持用基板２７の間隔を高精度に保持する
ことが要求されているが、従来のようにアルミニウムに
より形成したスペーサ２８では、精度良く磁気ヘッド２
６を保持することができず、記録密度を高めることがで
きなかった。

【００１０】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、単数又は複数の基板を所定の間隔に保持する
基板用保持部材を、導電性付与材として、Ｆｅ、Ｃｏ、
Ｎｉ、Ｃｒの酸化物のうち１種以上を含み、破壊靱性値
（Ｋ_1C）が５．０ＭＰａｍ^1/2以上であるジルコニアセ
ラミックスにより形成したものである。

【００１１】また、本発明は、上記基板用保持部材を用
いて単数又は複数の磁気ディスク基板や磁気ヘッド保持
用基板を所定の間隔で保持して磁気記録装置を構成した
ものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。

【００１３】図１は本発明の基板用保持部材の一例であ
るスペーサ１（５）を示す斜視図で、導電性を有するジ
ルコニアセラミックスからなるリング状体２（６）であ
って、上下面を磁気ディスク基板や磁気ヘッド保持用基
板との接触面２ａ（６ａ）とし、該接触面２ａ（６ａ）
を平坦度３μｍ以下、中心線平均粗さ（Ｒａ）２．０μ
ｍ以下の平滑とするとともに、平行度を３μｍ以下とし
てある。また、接触面２ａ（６ａ）における内外のエッ
ジにはテーパ状の面取り部２ｂ（６ｂ）を形成してあ
る。なお、スペーサ１（５）の寸法は使用箇所によって
異なるが、例えば、磁気ディスク基板を所定の間隔に保
持するスペーサ１では、外径が６〜４０ｍｍ、内径が３
〜３０ｍｍ、厚みが０．３〜６ｍｍのものを用いること
ができ、磁気ヘッド保持用基板を所定の間隔に保持する
スペーサ５では、外径が３〜２０ｍｍ、内径が３〜１２
ｍｍ、厚みが０．３〜３ｍｍのものを用いることができ
る。

【００１４】また、上記面取り部２ｂ（６ｂ）の形状は
テーパ状に限らず曲面状であっても構わない。

【００１５】次に、図２は本発明の基板用保持部材の他
の例であるクランプ３を示す斜視図で、導電性を有する
ジルコニアセラミックスからなる円板状体４であって、
図において上面側を磁気ディスク基板と当接する接触面
４ａとし、該接触面４ａを平坦度３μｍ以下、中心線平
均粗さ（Ｒａ）２．０μｍ以下の平滑面としてある。

【００１６】また、上記接触面４ａの中央にはハブ（不
図示）の先端が係合する凹部４ｃを設けてあり、接触面
４ａにおける内外のエッジにはテーパ状の面取り部４ｂ
を形成してある。なお、クランプ３の寸法としては外径
が６〜４０ｍｍ、内径が３〜３０ｍｍ、厚みが０．３〜
３０ｍｍのものを用いることができ、また、上記面取り
部２ｂ（６ｂ）の形状はテーパ状に限らず曲面状であっ
ても構わない。

【００１７】次に、これらのスペーサ１（５）やクラン
プ３などの保持部材を用いた磁気記録装置を図３に示
す。なお、従来例と同一部分については同一符号で示
す。

【００１８】この磁気記録装置は、回転軸２３に固定さ
れた金属製のハブ２４に、複数の磁気ディスク基板２５
とスペーサ１とを交互に挿入し、クランプ２２で押さえ
るとともにネジ３１を締めつけて固定したディスク部２
０と、磁気ヘッド２６を搭載した複数のヘッドキャリア
と呼ばれている磁気ヘッド保持用基板２７とスペーサ２
８とを交互に配置し、その両端をキャリアアームと呼ば
れている固定部材２９で固定したヘッド部３０とからな
る。なお、ディスク部２０の磁気ディスク基板５には、
ガラス基板やサファイア基板の表面上に磁性膜を備えた
ものや、アルミナなどのセラミック基板上にグレース層
を形成し、該グレース層上に磁性膜を備えたものを使用
し、ヘッド部３０の磁気ヘッド保持用基板２７や固定部
材２９はアルミニウムにより形成してある。

【００１９】そして、回転軸２３の回転により磁気ディ
スク基板２５を回転させた状態で、該磁気ディスク基板
２５上に磁気ヘッド２６を非接触の状態で浮上させつつ
移動させることにより、各磁気ディスク基板２５の所定
位置に情報の書き込みや読み取りを行うようになってい
る。

【００２０】かくして本発明によれば、スペーサ１
（５）やクランプ３などの保持部材が高強度、高靱性を
有するジルコニアセラミックスからなるため、締め付け
固定時に変形することがなく、また、その接触面２ａ
（６ａ），４ａが平坦でかつ平滑であることから、磁気
ディスク基板２５及び磁気ヘッド保持用基板２７を極め
て高精度に保持することができる。しかも、高速回転す
るディスク部２０では熱が発生する恐れがあるが、スペ
ーサ１、クランプ３、磁気ディスク基板２５はいずれも
熱膨張率が小さくかつ互いの熱膨張差が小さいことか
ら、磁気ディスク基板２５を高精度のまま保持すること
ができる。その上、ヘッド部３０のスペーサ５もセラミ
ックスにより形成してあることから、磁気ヘッド保持用
基板２７も高精度に保持することができるため、磁気ヘ
ッド２６の磁気ディスク基板２５に対する浮上量を極め
て小さくすることができ、記録密度を向上させることが
できる。

【００２１】また、スペーサ１（５）やクランプ３など
の保持部材を構成するジルコニアセラミックスは導電性
を有することから、磁気ディスク基板２５や磁気ヘッド
２６が帯電したとしても静電気を逃がすことができるた
め、記録内容が破壊されることを防ぐことができるとと
もに、ジルコニアセラミックスはセラミックスの中でも
ボイドが少なくかつ高靱性であることから、内外のエッ
ジに形成する面取り部２ｂ（６ｂ），４ｂの面取り量を
少なくできるため、磁気ディスク基板２５や磁気ヘッド
保持用基板２７との接触面積率を大きくすることがで
き、磁気ディスク基板２５や磁気ヘッド保持用基板２７
の歪みを抑制することができるとともに、締め付け固定
時や衝撃が加わった場合でも磁気ディスク基板２５への
脱粒や研削屑の落下が殆どないため、磁気ヘッド２６と
してＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなど磁気抵抗素子を用い
たものを使用しても、磁気ヘッド２６や磁気ディスク基
板２５上の磁性膜を傷付けることがなく、信頼性の高い
磁気記録装置を提供することができる。

【００２２】なお、図３の磁気記録装置においては、最
上部の磁気ディスク基板２５がクランプ３によって保持
された例を示したが、最上部の磁気ディスク基板２５が
スペーサ１を介してクランプ３によって保持されたもの
でも良く、また、図３においては、最下部の磁気ディス
ク基板２５がスペーサ１を介してハブ２４によって保持
された例を示したが、最下部の磁気ディスク基板２５を
ハブ２４によって直接保持させることもでき、この場合
はハブ２４を導電性を有するセラミックスにより形成す
れば良い。また、図３の磁気記録装置では、磁気ディス
ク基板２５を保持するスペーサ１とクランプ３、及び磁
気ヘッド保持用基板２７を保持するスペーサ３をそれぞ
れ導電性のジルコニアセラミックスにより形成した例を
示したが、例えば、磁気ディスク基板２５を保持するス
ペーサ１やクランプ３のみ、又は磁気ヘッド保持用基板
２７を保持するスペーサ３のみを導電性のジルコニアセ
ラミックスにより形成したものでも構わない。

【００２３】ところで、上記スペーサ１（５）やクラン
プ３などの保持部材を構成する導電性を有するジルコニ
アセラミックスとは、ジルコニア（ＺｒＯ₂）を主成分
とし、導電性付与材として、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒの
酸化物のうち１種以上を１０〜５０重量％の範囲で含有
したもので、ジルコニアセラミックスの破壊靱性値（Ｋ
_1C）が５．０ＭＰａｍ^1/2以上でかつ体積固有抵抗値が
１０⁹Ω・ｃｍ以下であるものが良い。

【００２４】ここで、破壊靱性値（Ｋ_1C）を５．０ＭＰ
ａｍ^1/2以上とするのは、ボイドの少ないジルコニアセ
ラミックスと言えども破壊靱性値（Ｋ_1C）が５．０ＭＰ
ａｍ^1/2未満であると、研削加工後の表面にマイクロク
ラックが多数発生し、締め付け固定時や衝撃が加わった
場合に脱粒を生じ易く、この脱粒片がパーティクルの原
因となるからである。

【００２５】また、導電性付与材の含有量を１０〜５０
重量％とするのは、含有量が１０重量％より少なくなる
と、ジルコニアセラミックスの体積固有抵抗値が１０⁹
Ω・ｃｍより大きくなって絶縁性が高くなるため、磁気
ディスク基板２５や磁気エッド保持用基板２７に帯電す
る静電気を逃がす効果が得られないからであり、含有量
が５０重量％より多くなると、ジルコニアセラミックス
の破壊靱性値（Ｋ_1C）が５．０ＭＰａｍ^1/2未満となる
からである。なお、より好ましくは導電性付与材を２０
〜３０重量％の範囲で含有したものが良い。

【００２６】一方、主成分のジルコニア（ＺｒＯ₂）
は、Ｙ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＣｅＯ₂等の安定化材
で部分安定化したものを使用する。

【００２７】具体的には、安定化材としてＹ₂Ｏ₃を用
いる時には、ＺｒＯ₂に対して３〜９ｍｏｌ％の範囲で
添加し、ＭｇＯを用いる時には、ＺｒＯ₂に対して１６
〜２６ｍｏｌ％の範囲で添加し、ＣａＯを用いる時に
は、ＺｒＯ₂に対して８〜１２ｍｏｌ％の範囲で添加
し、ＣｅＯ₂を用いる時には、ＺｒＯ₂に対して１０〜
１６ｍｏｌ％の範囲でそれぞれ添加すれば良く、これら
の範囲で安定化材を添加すれば、全ジルコニア量に対す
る単斜晶以外のジルコニア（正方晶ジルコニア及び立方
晶ジルコニア）量を９０％以上とすることができるた
め、導電性付与材を含有したことによる機械的特性の劣
化を抑え、破壊靱性値５．０ＭＰａｍ^1/2以上、曲げ強
度５８０ＭＰａ以上でかつビッカース硬度９．５ＧＰａ
以上を達成することができる。即ち、ジルコニアの結晶
状態には、立方晶、正方晶、単斜晶の３つの状態があ
り、特に、正方晶ジルコニアは外部応力に対し、応力誘
起変態を受けて単斜晶ジルコニアに相変態し、この時に
生じる体積膨張によってジルコニアの周囲に微小なマイ
クロクラックを形成して外部応力の進行を阻止できる効
果があるため、ジルコニアセラミックスの機械的特性を
高めることができるからである。

【００２８】なお、ジルコニアセラミックス中における
全ジルコニア量に対し、単斜晶以外のジルコニア量を算
出するには、Ｘ線回折により単斜晶ジルコニアのＸ線回
折強度と正方晶ジルコニア及び立方晶ジルコニアのＸ線
回折強度をそれぞれ測定し、数１により算出することが
できる。

【００２９】

【数１】

【００３０】また、ジルコニア（ＺｒＯ₂）の平均結晶
粒子径は１．０μｍ以下、好ましくは０．６μｍ以下の
ものが良い。

【００３１】さらに、原料粉末中や製造工程中におい
て、Ａｌ₂Ｏ₃、ＭｎＯ、ＳｉＯ₂、Ｎａ、Ｆｅ等が不
純物として混入する恐れがあるが、これらは２．０重量
％以下の範囲であれば含んでいても構わない。

【００３２】さらに、パーティクルの発生を抑えるため
にはジルコニアセラミックスのボイド率は３．５％以
下、平均ボイド径は５μｍ以下とすることが良く、この
ような範囲とすることにより、パーティクルとして検出
されるボイド中の研削屑の量を少なくできる。

【００３３】このような導電性を有するジルコニアセラ
ミックスを得るには、平均粒子径が０．５〜１．０μｍ
のＺｒＯ₂粉末と安定化材としてのＹ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、
ＣａＯ、ＣｅＯ₂の粉末、および導電性付与材としての
Ｆｅ₃Ｏ₄、Ｃｏ₃Ｏ₄、ＮｉＯ、Ｃｒ₂Ｏ₃のうち１
種類以上の酸化物粉末を用いるか、あるいは焼成中にこ
れらの材料に変化しうる水酸化物粉末や炭酸化粉末等を
用い、安定化材を含むＺｒＯ₂が５０〜９０重量％、導
電性付与材が５０〜１０重量％となるように調合し、こ
れらを乾式または湿式で混合する。なお、湿式の場合は
スプレードライヤー等で乾燥造粒して顆粒を製作するこ
ともできる。また、ＺｒＯ₂と安定化材の混合において
共沈法を用いても良く、共沈法を用いれば微細でかつ均
一に安定化材が分散されたＺｒＯ₂を得ることができ
る。

【００３４】そして、乾式による原料粉末や湿式による
顆粒を型に充填し、メカプレス成型法やラバープレス成
型法等の公知の成型手段により所定の形状に成型する
か、あるいは湿式による泥漿を押出成型法や射出成型
法、テープ成型法等の公知の成型手段により所定形状に
成形したのち、酸化雰囲気中にて１〜３時間程度焼成す
る。この時、焼成温度が１３６０℃未満であると完全に
焼結させることができず、１４５０℃より高くなるとシ
ンターオーバーとなるため、いずれもジルコニアセラミ
ックスの機械的特性（強度、破壊靱性値、硬度）を高め
ることができない。

【００３５】その為、１３６０℃〜１４５０℃の温度範
囲で焼成することが重要である。

【００３６】このような条件にて製作すれば、全ジルコ
ニア量に対する単斜晶以外のジルコニア量が９０％以上
であり、破壊靱性５．０ＭＰａｍ^1/2以上、曲げ強度５
８０ＭＰａ以上、ビッカース硬度（Ｈｖ）９．５ＧＰａ
以上を有するとともに、体積固有抵抗値が１０⁹Ω・ｃ
ｍ以下と導電性を持たせることができる。

【００３７】（実施例１）ここで、破壊靱性値を異なら
せた導電性ジルコニアセラミックスからなる基板用保持
部材と純度９９．５％のアルミナセラミックス及びフォ
ルステライトからなる従来の基板用保持部材とをそれぞ
れ用意し、基板用保持部材に付着しているパーティクル
量について調べる実験を行った。

【００３８】本実験では基板用保持部材を外径２４ｍ
ｍ、内径２０ｍｍ、厚み２ｍｍのリング状をしたスペー
サの形状とし、該基板用保持部材の外周面に存在する２
μｍ以上のパーティクル量についてレーザ−・パーティ
クル・カウンタで測定した。

【００３９】また、導電性を有するジルコニアセラミッ
クスとしては、導電付与材としてＦｅ₂Ｏ₃を含み破壊
靱性値が６．０ＭＰａｍ^1/2、５．５ＭＰａｍ^1/2、
４．０ＭＰａｍ^1/2のものをそれぞれ用意した。

【００４０】各材質の特性とそれぞれの結果は表１に示
す通りである。

【００４１】

【表１】

【００４２】この結果、破壊靱性値が５．０ＭＰａｍ
^1/2以上である導電性ジルコニアからなるものは、他の
セラミックスと比較して破壊靱性値が大きくかつ極めて
ボイドが少ないことから、パーティクル量を従来のアル
ミナ製と比較して１２％、従来のフォルステライト製と
比較して１０％程度にまで抑えることができた。

【００４３】（実施例２）次に、上記導電性のジルコニ
アセラミックスに含有させるＦｅ₂Ｏ₃の含有量を異な
らせた時の機械的特性（曲げ強度、破壊靱性値、ビッカ
ース硬度）及び電気的特性（体積固有抵抗値および静電
気の除去具合）を測定した。

【００４４】組成及び結果は表２に示す通りである。

【００４５】

【表２】

【００４６】この結果、Ｆｅ₂Ｏ₃の含有量が１０重量
％未満である試料Ｎｏ．１，２は、十分な機械的特性を
有していたものの、体積固有抵抗値が１０¹⁰Ω・ｃｍと
絶縁性が高いために静電気の除去効果が得られなかっ
た。

【００４７】また、Ｆｅ₂Ｏ₃の含有量が５０重量％よ
り多い試料Ｎｏ．９では、破壊靱性値が５．０ＭＰａｍ
^1/2未満であった。

【００４８】これに対し、Ｆｅ₂Ｏ₃が１０〜５０重量
％の範囲にある試料Ｎｏ．３〜８は、破壊靱性５ＭＰａ
ｍ^1/2以上、曲げ強度５８０ＭＰａ以上、、ビッカース
硬度（Ｈｖ）９．５ＧＰａ以上と十分な機械的特性を有
するとともに、体積固有抵抗値が１０⁹Ω・ｃｍ以下と
導電性を有することから、静電気を適度な速度で逃がす
ことができ、優れた静電気除去効果を有していた。

【００４９】（実施例３）次に、Ｆｅ₂Ｏ₃に代えてＮ
ｉＯ、Ｃｏ₃Ｏ₄、Ｃｒ₂Ｏ₃からなる導電性付与材を
含有させたジルコニアセラミックスを製作し、実施例２
のように機械的特性と電気的特性を測定する実験を行っ
た。

【００５０】それぞれの結果は表３に示す通りである。

【００５１】

【表３】

【００５２】この結果、導電性付与材として、ＮｉＯ、
Ｃｏ₃Ｏ₄、Ｃｒ₂Ｏ₃を用いた場合においてもその含
有量を１０〜５０重量％とすることでジルコニアの持つ
機械的特性を大きく低下させることなく、優れた静電気
除去効果が得られることが確認できた。なお、導電性付
与材として添加したＣｏ₃Ｏ₄はセラミックス中におい
てＣｏＯの状態で存在していた。

【００５３】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、単数又
は複数の基板を所定の間隔に保持する基板用保持部材
を、導電性付与材として、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒの酸
化物のうち１種以上を含み、破壊靱性値（Ｋ_1C）が５．
０ＭＰａｍ^1/2以上であるジルコニアセラミックスによ
り形成したことから、締め付け固定時に変形することが
なく、また、保持部材の接触面を平坦でかつ平滑とでき
るため、磁気ディスク基板及び磁気ヘッド保持用基板を
極めて高精度に保持することができる。また、上記ジル
コニアセラミックスは適度な導電性を有することから、
磁気ディスク基板や磁気ヘッドが帯電したとしても静電
気を逃がすことができるため、記録内容が破壊されるこ
とを防ぐことができるとともに、ジルコニアセラミック
スはセラミックスの中でもボイドが少なくかつ高靱性で
あることから、保持部材の接触面における内外のエッジ
に形成する面取り部の面取り量を少なくできるため、磁
気ディスク基板や磁気ヘッド保持用基板との接触面積率
を大きくすることができ、締め付け固定時における磁気
ディスク基板や磁気ヘッド保持用基板の歪みを抑制する
ことができるとともに、磁気ディスク基板に落下する脱
粒片や研削屑等のパーティクルの発生を大幅に抑えるこ
とができる。

【００５４】その為、上記基板用保持部材を用いて単数
又は複数の磁気ディスク基板や磁気ヘッド保持用基板を
所定の間隔で保持して磁気記録装置を構成することによ
り、磁気ヘッド間の距離、磁気ディスク基板間の距離、
及び磁気ヘッドと磁気ディスク基板との距離を高精度に
かつ極めて小さくすることができるため、情報記録密度
を高め、情報の高密度化、大容量化を実現することがで
きるとともに、上記基板用保持部材から発生するパーテ
ィクル量が少ないことから、ＭＲヘッドやＧＭＲヘッド
など高抵抗素子を用いた磁気ヘッドを使用しても、磁気
ヘッドや磁気ディスク基板上の磁性膜を傷付けることが
なく、信頼性の高い磁気記録装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の基板用保持部材の一例である
スペーサを示す斜視図、（ｂ）（ａ）のＸ−Ｘ線断面図
である。

【図２】（ａ）は本発明の基板用保持部材の他の例であ
るクランプを示す斜視図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ線断
面図である。

【図３】本発明の磁気記録装置を示す概略図である。

【図４】従来の磁気記録装置を示す概略図である。

【符号の説明】

１，５・・・スペーサ２，６・・・リング状体２
ａ，６ａ・・・接触面２ｂ，６ｂ・・・面取り部３・・・クランプ４・・
・４ａ・・・接触面４ｂ・・・面取り部４ｃ・・・凹
部２０・・・ディスク部２３・・・回転軸２４・・・
ハブ２５・・・磁気ディスク基板２６・・・磁気ヘッド２７・・・磁気ヘッド保持用基板２９・・・固定部材
３０・・・ヘッド部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】単数又は複数の基板を所定の間隔で保持す
る部材が、導電性付与材として、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃ
ｒの酸化物のうち１種以上を含み、破壊靱性値（Ｋ_1C）
が５．０ＭＰａｍ^1/2以上であるジルコニアセラミック
スからなる基板用保持部材。
【請求項２】請求項１に記載の基板用保持部材によって
単数又は複数の磁気ディスク基板及び／又は磁気ヘッド
保持用基板を所定の間隔で保持してなる磁気記録装置。