JPH11284053A - ウェハカセット搬送システム及びウェハカセット搬送方法 - Google Patents

ウェハカセット搬送システム及びウェハカセット搬送方法

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JPH11284053A
JPH11284053A JP11007866A JP786699A JPH11284053A JP H11284053 A JPH11284053 A JP H11284053A JP 11007866 A JP11007866 A JP 11007866A JP 786699 A JP786699 A JP 786699A JP H11284053 A JPH11284053 A JP H11284053A
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JP
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wafer cassette
transfer
process equipment
cassette
wafer
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JP11007866A
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Soryu Kin
相 龍 金
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Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
    • H10P72/0612—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3218—Conveying cassettes, containers or carriers

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェハカセット搬送システムの搬送能力を向
上させて搬送時間を短縮する。 【解決手段】 ウェハカセット搬送システムの自動搬送
台車システム１３０に少なくとも２台以上のロボットア
ーム１３８，１３９を設置して、複数台のロボットアー
ム１３８，１３９が個別的に自動搬送台車システム１３
０の自動搬送台車コントローラ部による命令を実行する
ようにする。これにより、自動搬送台車システム１３０
から工程設備１２０にウェハカセットがアンローディン
グされるか、工程設備１２０からウェハカセットを自動
搬送台車システム１３０にローディングする速度を向上
させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェハカセット搬送
システム(system)及びウェハカセット搬送方法に係り、
特に、ローディング／アンローディング(loading/unloa
ding) 時間を短縮させることにより生産性を向上させる
ことが可能なウェハカセット(wafer cassette)搬送シス
テム及びウェハカセット搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造ラインの自動化初期には工程
設備と測定設備自体の処理動作だけが主に自動化され、
工程設備と工程設備との間でのウェハカセット搬送は自
動化されず、設備間でのウェハカセット搬送は作業者に
より直接に行われた。
【０００３】近年、半導体素子の超高集積化に伴い、半
導体製造ラインにおいて現在まであまり問題視されなか
った作業者の身体から発生する粉塵が、半導体素子の主
要汚染源として注目された。これによって、ウェハカセ
ット搬送のための搬送システムの自動化が集中的に研
究、開発されて現在では相当な水準まで進歩した。
【０００４】図７は従来技術におけるウェハカセット搬
送システムを示す概念図である。図示されるように、ウ
ェハカセット搬送システムは、半導体製造工程を全般的
に制御するとともに膨大な量の工程データが格納されて
いるホスト(host)２と、ホスト２から工程データ及び制
御命令のダウンロードを受けて半導体工程を進行する多
数の工程設備４と、ホスト２とSECSプロトコル(protoco
l)により相互通信して工程設備４で工程が終了したウェ
ハカセットを後続工程に移送するためホスト２から発生
した搬送命令を自動搬送台車システム(Auto Guided Veh
icle System)６に中継するためのイントラシステム(int
ra system)５とで構成されている。
【０００５】ここで、ホスト２と工程設備４はSECSプロ
トコルにより相互通信して、自動搬送台車システム６と
工程設備４とはフォトカップルド(photo coupled) 並列
Ｉ／Ｏモジュール(module)により相互通信する。ここ
で、工程設備４には自動搬送台車システム６と通信する
ための第１センサ(sensor)４ａが形成されている。
【０００６】これらの中で、実際に工程設備４からウェ
ハカセットをローディング／アンローディングする自動
搬送台車システム６について、以下図８、９を参照して
説明する。
【０００７】図８は従来のウェハカセット搬送システム
をより具体的に示す概念図、図９は工程設備６と自動搬
送台車システム６を示す斜視図である。図８に示される
ように、自動搬送台車システム６にはホスト２及びイン
トラシステム５により入力された搬送命令を処理する自
動搬送台車コントローラ部７が設置されている。
【０００８】自動搬送台車コントローラ部７は、メイン
コントローラ８とフォトカップルド並列Ｉ／Ｏモジュー
ル（ＰＩ／Ｏモジュール) ９と、駆動制御モジュール１
０と、ロボット制御モジュール１１とを含んでいる。
【０００９】メインコントローラ (main controller)８
により、フォトカップルド並列Ｉ／Ｏモジュール９と、
駆動制御モジュール１０と、ロボット制御モジュール１
１の制御が行われる。フォトカップルド並列Ｉ／Ｏモジ
ュール９には工程設備４と通信するための第２センサ９
ａが接続されている。メインコントローラ８から制御信
号の入力を受け、駆動制御モジュール１０から発生した
制御信号により駆動部１２は駆動されて、自動搬送台車
システム６が指定された工程設備４に移動する。
【００１０】また、自動搬送台車システム６が駆動部１
２により指定された工程設備４に接近して第１センサ４
ａと第２センサ９ａのアラインメント(alignment) が一
致して相互通信可能な状態になると、ロボット制御モジ
ュール１１はロボットアーム(robot arm) １３を駆動し
て自動搬送台車システム６にローディングしていたウェ
ハカセットをアンローディングするか、工程設備４から
ウェハカセットを自動搬送台車システム６にローディン
グする。
【００１１】このように構成された従来技術におけるウ
ェハカセット搬送システムによるウェハカセット搬送方
法について説明すると、まず、自動搬送台車システム６
のメインコントローラ８と工程設備４のコントローラ
（図示せず）は、ホスト２とウェハカセットローディン
グ／アンローディングのためのSECS通信を実行する。
【００１２】以後、ホスト２よりイントラシステム５が
搬送命令信号を入力すると、メインコントローラ８と駆
動制御モジュール１０で処理された制御信号により、駆
動部１２はホスト２から指定された工程設備４に移動す
る。
【００１３】以後、自動搬送台車システム６の第２セン
サ９ａと工程設備４の第１センサ４ａのアラインメント
が完了されると、メインコントローラ８はウェハカセッ
トをローディング／アンローディングするためフォトカ
ップルド並列Ｉ／Ｏモジュール９により制御信号を入力
して工程設備４とフォトカップルド並列Ｉ／Ｏ通信を開
始する。
【００１４】次に、ウェハカセットがローディング／ア
ンローディング可能状態になると、自動搬送台車システ
ム６と工程設備４はフォトカップルド並列Ｉ／Ｏ通信を
継続して行いながらウェハカセットのローディング／ア
ンローディングを実行する。この時、自動搬送台車シス
テム６には単一ロボットアーム１３が設置されており、
工程設備４には大抵２個以上のカセットステージ（図示
せず）が形成されている。このため、自動搬送台車シス
テム６は、単一ロボットアーム１３により一回で一つの
ウェハカセットをグリップ（grip）して、ローディング
／アンローディングする。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術における自動搬送台車システムが工程設備にウェハカ
セットをローディングするか工程設備からウェハカセッ
トをアンローディングする場合、一つのロボットアーム
を二回以上駆動させてウェハカセットをローディング／
アンローディングしなければならなかった。このため、
ウェハカセットローディング／アンローディングに長時
間が所要され、ウェハカセットのローディング時間が長
くなって半導体製造のための時間も長くなる問題点があ
った。
【００１６】本発明はこのような従来技術の課題を解決
し、ウェハカセット搬送システムの自動搬送台車システ
ムに少なくとも２台以上のロボットアーム及び各ロボッ
トアームを駆動させるロボットアーム駆動部を設置する
ことで、ウェハカセット搬送システムの搬送能力を向上
させて搬送時間を短縮することが可能なウェハカセット
搬送システム及びウェハカセット搬送方法を提供するこ
とを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めの本発明によるウェハカセット搬送システムは、一つ
の工程設備で他の工程設備にウェハカセットを搬送する
搬送システムにおいて、ホストから複数個のウェハカセ
ット搬送命令を受信して、処理された搬送命令を送信す
る無線送受信モジュールと、ホストから受信された搬送
命令を処理して異なる複数個の制御信号を発生させるコ
ントローラと、制御信号に対応して複数個のロボットア
ームが異なるウェハカセットを同時に搬送するようにコ
ントローラと接続されている複数個のロボットアーム駆
動部と、複数個のロボットアームを装着して命令を受け
た工程設備に移動する駆動部とを含む。
【００１８】好ましくは、本発明のロボットアームとロ
ボットアーム駆動部は各各２台以上である。
【００１９】本発明によるウェハカセット搬送方法は、
ホストから複数のウェハカセット搬送命令を受信する段
階と、受信された搬送命令により搬送ロボットを該当工
程設備に移動させる段階と、複数台のロボットアームの
中のいずれの一つに複数のウェハカセットの搬送命令の
中のいずれの一つの搬送命令を行って搬送を進行する段
階と、複数台のロボットアームの中で搬送命令を受けな
かった残りのロボットアームに順次的に搬送命令を行っ
て搬送を進行する段階とを含む。
【００２０】好ましくは、搬送段階で複数台のロボット
アームは全て同時にウェハカセット搬送システムから工
程設備にウェハカセットをアンローディングする。
【００２１】また、搬送段階で複数個のロボットアーム
は全て同時に工程設備からウェハカセット搬送システム
にウェハカセットをローディングする。
【００２２】好ましくは、搬送段階でロボットアームの
中で一部はウェハカセット搬送システムから工程設備に
ウェハカセットをアンローディングして、残りのロボッ
トアームは工程設備からウェハカセット搬送システムに
ウェハカセットをローディングする。
【００２３】好ましくは、ウェハカセット搬送命令を受
信する段階後コントローラは、複数台のロボットアーム
が工程設備に形成された複数個のカセット安着部と一対
一で対応されてカセット安着部にウェハカセットをロー
ディング／アンローディングするようにカセット安着部
を指定する段階を含む。
【００２４】好ましくは、工程設備は、複数個のカセッ
ト安着部にウェハカセットの位置不良が発生したか否か
を判断して、判断した結果、ウェハカセット位置不良が
発生した場合、それ以上工程が進行しないようにインタ
ーロック(inter lock)を発生させて、エラーメッセージ
(error message) を表示(display) する段階を含む。
【００２５】また、判断結果、位置不良が発生しなかっ
た場合、工程設備はコントローラに複数個のウェハカセ
ットをローディング／アンローディングするようにウェ
ハカセットローディング／アンローディング要求信号を
発生させる段階をさらに含む。
【００２６】好ましくは、コントローラは、工程設備に
複数個のウェハカセットをローディング／アンローディ
ングする予定であることを示す搬送予定信号を発生させ
る段階をさらに含む。
【００２７】また、工程設備はコントローラに複数個の
ウェハカセットがローディング／アンローディングされ
る準備が完了したことを通知するローディング／アンロ
ーディング準備完了信号を発生させる。
【００２８】好ましくは、ロボットアームが搬送を進行
する段階以後、工程設備はコントローラにウェハカセッ
トローディング／アンローディング完了信号を発生させ
る段階をさらに含む。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
によるウェハカセット搬送システム及びウェハカセット
搬送方法について詳細に説明する。図２は本発明による
ウェハカセット搬送システムを示す概念図、図１は本発
明による複数個のロボットを装着した自動搬送台車シス
テムの実施の形態を示す斜視図、図３は図２の自動搬送
台車システムをより具体的に示すブロック図である。
【００３０】図２に示されるように、本発明によるウェ
ハカセット搬送システムは、半導体製造工程を全般的に
制御して膨大な量の工程関連データが格納されているホ
スト１１０と、ホスト１１０から工程データ及び制御命
令をダウンロードして半導体工程を進行する多数の工程
設備１２０と、工程設備１２０から入力されたウェハカ
セット関連信号をホスト１１０が処理して、処理された
搬送命令を自動搬送台車システム１３０に中継するイン
トラシステム１４０とを含んでいる。
【００３１】また、ウェハカセット搬送システムは、ホ
スト１１０の搬送命令信号をイントラシステム１４０を
通して伝達を受け、一つの工程設備１２０から他の工程
設備１２０に工程が終了したウェハカセットを搬送する
少なくとも２台以上のロボットアームを具備した自動搬
送台車システム１３０を含んでいる。
【００３２】また、ホスト１１０から工程設備１２０が
搬送命令信号をダウンロードするか、搬送進行状態を工
程設備１２０がホスト１１０に報告、またはホスト１１
０から発生した搬送命令をイントラシステム１４０が中
継する。このため、ホスト１１０から工程設備１２０に
はSECSプロトコルにより通信し、またホスト１１０から
イントラシステム１４０もSECSプロトコルにより通信す
る。ここで、自動搬送台車システム１３０は、ホスト１
１０→イントラシステム１４０→自動搬送台車１３０の
ルートを介して、ウェハカセットがローディング／アン
ローディングされる工程設備の位置、ウェハカセットの
個数、ウェハカセットのＩＤ等の情報を得る。
【００３３】また、イントラシステム１４０により自動
搬送台車システム１３０に搬送するウェハカセットの詳
細な搬送情報が入力されると、自動搬送台車システム１
３０は、ホスト１１０により指定された工程設備１２０
に移動される。そして、工程設備１２０に移動された自
動搬送台車システム１３０は指定された工程設備１２０
とフォトカップルド並列Ｉ／Ｏ通信する。
【００３４】このように、自動搬送台車システム１３０
と工程設備１２０とがフォトカップルド並列Ｉ／Ｏ通信
を実行するためには、図１に示すように、工程設備１２
０の前面所定領域に第２センサ１２２が配置され、自動
搬送台車システム１３０の工程設備１２０と対向する位
置に第１センサ１４２が形成されている。ここで、第１
センサ１４２と第２センサ１２２はセンサ部１４１を形
成している。このセンサ部１４１は、自動搬送台車シス
テム１３０と工程設備１２０が個別的にウェハカセット
の搬送を可能にするために、複数台のロボットアームと
同じ数で構成されている。
【００３５】以下、図１、図３を参照して自動搬送台車
システム１３０についてより詳細に説明する。図３に示
すように、自動搬送台車システム１３０は、自動搬送台
車コントローラ部１３１と、自動搬送台車コントローラ
部１３１により自動搬送台車システム１３０を駆動する
駆動部１３７と、自動搬送台車システム１３０に設置さ
れた複数台のロボットアーム１３８及び１３９を含んで
いる。
【００３６】ここで、自動搬送台車コントローラ部１３
１は、メインコントローラ１３４と、メインコントロー
ラ１３４と接続されているフォトカップルド並列Ｉ／Ｏ
モジュール１３２と、駆動制御モジュール１３３と、複
数個のロボット駆動制御モジュール１３５および１３６
とで構成されている。なお、図１及び図３では２個のロ
ボット駆動モジュールの場合が一実施例として示されて
いる。
【００３７】また、イントラシステム１４０からメイン
コントローラ１３４に無線入力されたホスト１１０の搬
送命令信号がメインコントローラ１３４で処理された
る。メインコントローラ１３４は、自動搬送台車システ
ム１３０を該当ウェハカセットが配置された工程設備１
２０に移動させる駆動制御モジュール１３３と接続さ
れ、駆動制御モジュール１３３は駆動部１３７と電気的
に接続されている。
【００３８】また、メインコントローラ１３４には少な
くとも２つ以上のロボット制御モジュールＩ１３５及び
ロボット制御モジュールII１３６が接続されている。各
々のロボット制御モジュールＩ１３５，II１３６には、
ロボットアームＩ１３８及びロボットアームII１３９が
それぞれ接続されいる。ロボットアームＩ１３８及びロ
ボットアームII１３９はメインコントローラ１３４の制
御により個別的に動作するようになっている。
【００３９】図１を参照すると、一実施例としてのロボ
ットアームＩ１３８、ロボットアームII１３９は、回転
運動する円筒形状の旋回リンクと、旋回リンクとヒンジ
により接続されて所定角度で折曲される接続リンクと、
接続リンク端部とヒンジにより結合されてウェハカセッ
トをグリップするための駆動リンクと、駆動リンク端部
とフランジ(flange)により接続されているグリッパーと
で構成されている。
【００４０】このように、複数個のロボットアームＩ１
３８及びロボットアームII１３９が設置されている自動
搬送台車システムによるウェハカセット搬送方法につい
て図４〜図６を用いて以下に説明する。
【００４１】図４及び図５は本発明によるウェハカセッ
ト搬送システムによる搬送方法を示す順序図であり、図
４と図５により一連の処理を示している。また、図６は
本発明による搬送方法に適用されたウェハカセットロー
ディング／アンローディングを示すタイミングチャート
である。
【００４２】以下、ウェハカセット搬送方法の一実施例
として、工程設備１２０のカセットステージ（図示せ
ず）から自動搬送台車システム１３０にウェハカセット
をローディングする過程を図３〜図６を用いて説明す
る。
【００４３】ここで、自動搬送台車システム１３０が、
工程設備１２０の２つのカセットステージで２つのウェ
ハカセットを自動搬送台車システム１３０にローディン
グする場合を説明する。好ましくは、２台以上のロボッ
トアームは独立的な作業信号を受けて実行することで、
２台以上のロボットアームの中で作業を先に終了したロ
ボットアームが新たな作業を先行して実行できる。
【００４４】工程設備１２０は工程を終了したウェハが
多数枚積載されたウェハカセットをカセットステージに
搬出すると、SECSプロトコルによりホスト１１０に搬送
するウェハカセットが発生したことを報告する。ホスト
１１０はイントラシステム１４０に搬送対象ウェハカセ
ットの搬送情報を入力させる。これによりイントラシス
テム１４０は、自動搬送台車システム１３０のメインコ
ントローラ１３４に、搬送対象ウェハカセットを後に続
く工程を進行できる工程設備１２０に搬送させる搬送命
令と搬送対象工程設備１４０の位置情報とを含む多様な
情報を無線送信する（Ｓ１０段階）。
【００４５】次に、イントラシステム１４０を介してホ
スト１１０の搬送命令データはメインコントローラ１３
４により処理される。メインコントローラ１３４は、入
力された搬送命令データを処理して制御信号を駆動制御
モジュール１３３に送る。これにより、自動搬送台車シ
ステム１３０は駆動部１３７によって、搬送対象ウェハ
カセットが位置した指定工程設備に接近する。このよう
な過程を経て自動搬送台車システム１３０は搬送対象ウ
ェハカセットが位置する工程設備１２０まで移動する
（Ｓ２０段階）。
【００４６】次に、自動搬送台車システム１３０が工程
設備１２０の前面の指定された位置まで移動して、工程
設備１２０の第２センサ１２２と自動搬送台車システム
１３０の第１センサ１４２とが整列される。これによ
り、メインコントローラ１３４は、フォトカップルド並
列Ｉ／Ｏモジュール１３２と接続された複数個のセンサ
部１４１によって、順次的に信号の送受信を行って工程
設備１２０との通信を開始する（Ｓ３０段階）。
【００４７】以後、フォトカップルド並列Ｉ／Ｏモジュ
ール１３２により工程設備１２０と自動搬送台車システ
ム１３０との通信が開始されると、メインコントローラ
１３４はロボットアームＩ１３８及びロボットアームII
１３９により搬送されるウェハカセットが位置するカセ
ットステージの番号を工程設備１２０に送信する（Ｓ４
０段階）。
【００４８】より詳細には、メインコントローラ１３４
は、自動搬送台車システム１３０のロボットアームＩ１
３８がローディングするウェハカセットが排出されるカ
セットステージを指定するハイ(high)状態の信号(CS#no
1)を、フォトカップルド並列Ｉ／Ｏモジュール１３２及
びセンサ部１４１を通して工程設備１２０に送信すると
ともに、ハイ信号(CS#no1)が有効であることを示すハイ
状態の有効信号(VALID1)を工程設備１２０に送信する。
これにより、ロボットアームＩ１３８がローディングす
るカセットステージＩが指定される。
【００４９】また、メインコントローラ１３４は、ロボ
ットアームＩ１３８がローディングするカセットステー
ジＩを指定するためのハイ状態の信号(CS#no1,VALID1)
を工程設備１２０に送信する。さらに、メインコントロ
ーラ１３４は、送信した後、継続してロボットアームII
１３９がローディングするウェハカセットが排出するカ
セットステージを指定するため、他のハイ状態の信号(C
S#no2)と有効信号(VALID2)を、フォトカップルド並列Ｉ
／Ｏモジュール１３２及びセンサ部１４１により工程設
備１２０に送信してカセットステージIIを指定する。
【００５０】継続して、工程設備１２０にカセットステ
ージ指定信号(CS#no1,CS#no2,VALID1 on,VALID2 on) が
全て入力されると、工程設備１２０は工程が終了したウ
ェハカセットを指定されたカセットステージＩ、IIに排
出するため、カセット入出力ドア（図示せず）を開放し
て、ウェハカセットを工程設備１２０に設置されたロボ
ットアーム（図示せず）によりカセットステージＩ、II
に各々排出する。
【００５１】次に、ウェハカセットがカセットステージ
Ｉ、IIに全て排出されると、工程設備１２０はカセット
ステージＩ、IIのウェハカセット感知センサ１２８によ
りウェハカセットが正確に排出されたかを感知してウェ
ハカセットの位置不良エラーが発生したか否かを判断す
る（Ｓ５０段階）。
【００５２】判断した結果、ウェハカセットがカセット
ステージＩ、IIに正確に排出されずにエラーが発生した
場合には、搬送工程がそれ以上進行しないようにインタ
ーロックを動作させるとともに（Ｓ５３段階）、エラー
メッセージを出力する（Ｓ５６段階）。
【００５３】また、判断した結果、ウェハカセットが正
確な位置に排出されてエラーが発生しなかった場合に
は、工程設備１２０はメインコントローラ１３４に工程
設備１２０のウェハカセットステージＩ、IIに排出され
たウェハカセットを、自動搬送台車システム１３０にア
ンローディングする。そして、工程設備１２０はハイ状
態のアンローディング要求信号(Up#REQ1) を送信して、
その送信が終了すると同時にメインコントローラ１３４
に他のハイ状態のアンローディング要求信号(Up#REQ2)
を送信する（Ｓ６０段階）。
【００５４】次に、メインコントローラ１３４に工程設
備１２０からハイ状態のアンローディング要求信号(Up#
REQ1、Up#REQ2)が入力されると、メインコントローラ１
３４はアンローディング可能状態であるウェハカセット
を自動搬送台車システム１３０に搬送する。そして、工
程設備１２０は、ハイ状態の搬送予定信号(TR#INF1)を
工程設備120 に送信し、送信が終了するとさらにハイ状
態の搬送予定信号(TR#INF2) を工程設備１２０に送信す
る（Ｓ７０段階）。
【００５５】工程設備１２０は自動搬送台車システム１
３０のメインコントローラ１３２からハイ状態の搬送信
号(TR#INF1、TR#INF2)の入力を受けると、メインコント
ローラ１３４にハイ状態のアンローディング準備完了信
号(READY1)を送信し、送信が終了すると他のアンローデ
ィング準備完了信号(READY2)を送信する（Ｓ８０段
階）。
【００５６】次に、メインコントローラ１３４は、工程
設備１２０からアンローディング準備完了信号(READY1
、READY2) を入力すると、工程設備１２０がウェハカ
セットをアンローディングする準備が完了したと判断
し、ロボット制御モジュールＩ１３５，II１３６に制御
信号を出力する。これによって、ロボット制御モジュー
ルＩ１３５，II１３６はロボットアームＩ１３８とロボ
ットアームII１３９に順次的に制御信号を出力してウェ
ハカセットのローディングを開始する（Ｓ９０段階）。
【００５７】一方、ウェハカセットのローディングの開
始とともにメインコントローラ１３４は、工程設備１２
０にロボットアームＩ１３８及びロボットアームII１３
９が動作中であることを知らせるハイ状態の作動信号(B
USY 1)を送信する。そして、送信が終了すると他の作動
信号(BUSY2) を工程設備１２０に連続して送信する（Ｓ
８０段階）。
【００５８】以後、ウェハカセットが工程設備１２０か
ら自動搬送台車システム１３０にローディングされた場
合、メインコントローラ１３４は工程設備１２０にロー
ディング完了信号(COM#1) を送信して次の他のローディ
ング完了信号(COM#2) を送信する（Ｓ１００段階）。
【００５９】一方、図６のＡ，ＣまたはＢ，Ｃの信号の
組み合わせは、自動搬送台車システム１３０に設置され
た２台のロボットアームにおいて、ロボットアームＩ１
３８が工程設備１２０から自動搬送台車システム１３０
にウェハカセットのローディングを実行したときと、他
のロボットアームII１３９が自動搬送台車システム１３
０から工程設備１２０にウェハカセットをアンローディ
ングしたときの信号を示したものである。
【００６０】以下、Ａ，Ｃの信号の組み合わせの場合を
実施例として説明する。まず、自動搬送台車システムは
ホスト１１０により一つの工程設備１２０から一つのウ
ェハカセットのローディングを受け、これを後続の工程
設備１２０にアンローディングするとともに、後続の工
程設備１２０から工程が終了されたウェハカセットを他
の後続の工程設備１２０に移送する命令を無線通信によ
り受ける。これによって、メインコントローラ１３４は
ホスト１１０から入力された搬送命令により指定された
工程設備１２０に移動する。
【００６１】以後、上述のように自動搬送台車システム
１３０が指定された工程設備に移動した後、メインコン
トローラ１３４はフォトカップルド並列Ｉ／Ｏモジュー
ル１３２を通して工程設備１２０のカセットステージ
Ｉ、IIを指定するハイ信号(CS#no1,CS-no3,VALID1,VALI
D3) を工程設備１２０に送信する。
【００６２】次に、カセットステージ指定信号の入力を
受けた工程設備１２０は、カセット入出力ドア１２６
（図１参照）を全て開放してカセットステージＩに工程
が終了したウェハカセットを排出する。
【００６３】工程設備１２０は、カセットステージＩ
と、カセットステージIIのウェハカセットの存在有無を
感知センサ１２８により感知した後、感知結果によって
メインコントローラ１３４にカセットステージＩにアン
ローディング可能なウェハカセットが準備されたことを
示すハイ状態のアンローディング要求信号(Up#REQ1) を
送信する。
【００６４】また、工程設備１２０はメインコントロー
ラ１３４にカセットステージIIが空いてウェハカセット
がローディングできるハイ状態のローディング要求信号
(Lo#REQ3 on)を送信する。
【００６５】次に、メインコントローラ１３２は、工程
設備１２０からアンローディング要求信号(Up#REQ1) と
ローディング要求信号(Lo#REQ3) の入力を受けた後、さ
らに工程設備１２０にカセットステージＩに位置したウ
ェハカセットを自動搬送台車システム１３０にローディ
ングすると、搬送信号(TR#INF1) を送信する。また、メ
インコントローラ１３４は、自動搬送台車システム１３
０にローディングされているウェハカセットをカセット
ステージIIにアンローディングすると、搬送信号(TR#IN
F3) を工程設備１２０に送信する。
【００６６】次に、工程設備１２０は、メインコントロ
ーラ１３４から搬送信号(TR#INF 1,TR#INF3) が送信さ
れると、ウェハカセットのローディング／アンローディ
ング準備状態を確認した後、次のメインコントローラ１
３４にハイ状態のアンローディング準備完了信号(READY
1 on) を送信するとともに、メインコントローラ１３４
からウェハカセットのローディングを受ける準備が完了
したことを示すローディング準備完了信号(READY3)を送
信する。
【００６７】次に、メインコントローラ１３４は、工程
設備１２０からアンローディング／ローディング準備完
了信号(READY1 、READY3) の入力を受けた後、ロボット
アームＩ１３８、ロボットアームII１３９に駆動信号を
出力するとともに、工程設備１２０にロボットアームＩ
１３８、ロボットアームII１３９が動作中であることを
知らせる作動信号(BUSY1) と作動信号(BUSY3) を送信す
る。
【００６８】以後、ロボットアームＩ１３８、ロボット
アームII１３９によりローディング／アンローディング
が完了されると、工程設備１２０はメインコントローラ
１３４にウェハカセットのローディング／アンローディ
ングが完了されたことを知らせる完了信号(COM#1、COM#
3)を送信する。以後、メインコントローラ１３４はハイ
状態の全ての信号をロー状態に転換して後続工程の待機
を行う。
【００６９】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明によ
ると、自動搬送台車システムに少なくとも２台以上のロ
ボットアームを設置し、２台以上のロボットアームが工
程設備からウェハカセットをアンローディングするか、
自動搬送台車システムから２個以上のウェハカセットを
ローディングするか、ウェハカセットのローディング／
アンローディングを同時に実行するようにすることによ
り、ウェハカセットの搬送待期時間を短縮させ、自動搬
送台車システムの運搬能力を向上させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による複数のロボットが装着された自動
搬送台車システムを示す斜視図である。
【図２】本発明によるウェハカセット搬送システムを示
す概念図である。
【図３】図２の自動搬送台車システムをより具体的に示
すブロック図である。
【図４】本発明によるウェハカセット搬送システムによ
る搬送方法を示すフローチャートである。
【図５】本発明によるウェハカセット搬送システムによ
る搬送方法を示すフローチャートである。
【図６】本発明による搬送方法に適用されたウェハカセ
ットローディング／アンローディングを示すタイミング
図ある。
【図７】従来のウェハカセット搬送システムを示す概念
図である。
【図８】従来のウェハカセット搬送システムをより具体
的に示す概念図である。
【図９】工程設備と自動搬送台車システムを示す斜視図
である。
【符号の説明】
１１０ ホスト １２０ 工程設備 １２２ 第２センサ １３０ 自動搬送台車システム １３１ 自動搬送台車コントローラ部 １３２ Ｉ／Ｏモジュール １３３ 駆動制御モジュール １３４ メインコントローラ １３５，１３６ ロボット駆動制御モジュール １３７ 駆動部 １３８，１３９ ロボットアーム １４０ イントラシステム １４１ センサ部 １４２ 第１センサ

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一つの工程設備から他の工程設備にウェ
    ハカセットを搬送する搬送システムにおいて、 ホストから複数個のウェハカセット搬送命令を受信し
    て、処理された搬送命令を送信する無線送受信モジュー
    ルと、 前記無線送受信モジュールから受信された搬送命令を処
    理して異なる複数個の制御信号を発生させるコントロー
    ラと、 前記制御信号に対応して複数個のロボットアームが異な
    る前記ウェハカセットを同時に搬送するように前記コン
    トローラと接続されている複数個のロボットアーム駆動
    部と、 複数個の前記ロボットアームを装着して、命令を受けた
    前記工程設備に移動する駆動部とを含むことを特徴とす
    るウェハカセット搬送システム。
  2. 【請求項２】 前記ロボットアームは、少なくとも２台
    以上であることを特徴とする請求項１記載のウェハカセ
    ット搬送システム。
  3. 【請求項３】 前記ロボットアーム駆動部は、少なくと
    も２つ以上であることを特徴とする請求項２記載のウェ
    ハカセット搬送システム。
  4. 【請求項４】 ホストから複数個のウェハカセット搬送
    命令を受信する段階と、 受信した前記搬送命令により搬送ロボットを該当工程設
    備に移動させる段階と、 複数個のロボットアームの中のいずれか一つに前記複数
    個のウェハカセットの搬送命令の中のいずれの一つの搬
    送命令を行って搬送を進行する段階と前記複数個のロボ
    ットアームの中で搬送命令を受けなかった残りのロボッ
    トアームに順次的に搬送命令を行って搬送を進行する段
    階とを含むことを特徴とするウェハカセット搬送方法。
  5. 【請求項５】 前記搬送段階で、前記複数個のロボット
    アームは全て同時に前記ウェハカセット搬送装置から前
    記工程設備に前記ウェハカセットをアンローディングす
    ることを特徴とする請求項４記載のウェハカセット搬送
    方法。
  6. 【請求項６】 前記搬送段階で、前記複数個のロボット
    アームは、全て同時に前記工程設備から前記ウェハカセ
    ット搬送装置に前記ウェハカセットをローディングする
    ことを特徴とする請求項４記載のウェハカセット搬送方
    法。
  7. 【請求項７】 前記搬送段階で、前記ロボットアームの
    中の一部は前記ウェハカセット搬送装置から前記工程設
    備に前記ウェハカセットをアンローディングし、残りの
    ロボットアームは前記工程設備から前記ウェハカセット
    搬送装置に前記ウェハカセットをローディングすること
    を特徴とする請求項４記載のウェハカセット搬送方法。
  8. 【請求項８】 前記ウェハカセット搬送命令を受信する
    段階後、コントローラは複数個の前記ロボットアームを
    前記工程設備に形成された複数個のカセット安着部と一
    対一対応させて、前記カセット安着部に前記ウェハカセ
    ットをローディング／アンローディングするようにカセ
    ット安着部を指定する段階をさらに含むことを特徴とす
    る請求項５又は請求項６記載のウェハカセット搬送方
    法。
  9. 【請求項９】 前記工程設備は、複数個の前記カセット
    安着部に前記ウェハカセットの位置不良が発生したか否
    かを判断し、判断した結果、前記ウェハカセット位置不
    良が発生した場合、それ以降の工程が進行されないよう
    にインターロックを発生させて、エラーメッセージを表
    示する段階をさらに含むことを特徴とする請求項８記載
    のウェハカセット搬送方法。
  10. 【請求項１０】 前記判断した結果、前記ウェハカセッ
    トの位置不良が発生しなかった場合、前記工程設備は、
    前記コントローラで複数個の前記ウェハカセットをロー
    ディング／アンローディングするようにウェハカセット
    ローディング／アンローディング要求信号を発生させる
    段階をさらに含むことを特徴とする請求項９記載のウェ
    ハカセット搬送方法。
  11. 【請求項１１】 前記コントローラは、前記工程設備に
    複数個の前記ウェハカセットをローディング／アンロー
    ディングする予定であることを示す搬送予定信号を発生
    させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１０記
    載のウェハカセット搬送方法。
  12. 【請求項１２】 前記工程設備は、前記コントローラで
    複数個の前記ウェハカセットがローディング／アンロー
    ディングされる準備が完了したことを知らせるローディ
    ング／アンローディング準備完了信号を発生させること
    を特徴とする請求項１１記載のウェハカセット搬送方
    法。
  13. 【請求項１３】 前記ロボットアームが搬送を進行する
    段階以後、前記工程備は前記コントローラで前記ウェハ
    カセットをローディング／アンローディングの完了信号
    を発生させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項
    ４記載のウェハカセット搬送方法。
JP11007866A 1998-03-13 1999-01-14 ウェハカセット搬送システム及びウェハカセット搬送方法 Pending JPH11284053A (ja)

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