JPH10133706A

JPH10133706A - ロボット搬送方法

Info

Publication number: JPH10133706A
Application number: JP30548196A
Authority: JP
Inventors: Riichi Sotono; 利一外野
Original assignee: Nippon Steel Semiconductor Corp
Current assignee: UMC Japan Co Ltd
Priority date: 1996-11-01
Filing date: 1996-11-01
Publication date: 1998-05-22

Abstract

(57)【要約】【課題】ホストコンピュータは製造装置から搬出要求
電文を受信してから搬送コンピュータに回収の搬送指示
電文を送信しているため、ロボットが走行してロットを
回収するまで製造装置は回収待ちの状態になり、製造装
置の稼働率が低くなっていた。【解決手段】ホストコンピュータ及び、これより下位
の搬送コンピュータによってロボットを運用し、被搬送
品を指定の製造装置へ搬入・搬出するに際し、ロボット
が被搬送品を前記製造装置へ搬入した後、当該製造装置
から処理の完了前に完了予告を送信させ、これを受けた
ホストコンピュータで次に仕掛ける被搬送品のロットを
選別し、そのロットの搬送指示を搬送コンピュータへ送
信するパターン判別処理１００を備えたロボット搬送方
法にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ロボット搬送方法
に関し、特に、複数台の製造装置を最小の待ち時間で稼
働させるためのロボット搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、製造工場においては、複数の製
造装置の各々に部品や製品を搬入・搬出し、或いは製造
装置間で部品や製品を授受するためにロボットが用いら
れ、このロボットの制御に搬送コンピュータを用いてい
る。また、製造装置と搬送コンピュータの全体を管理す
るためにホストコンピュータが用いられている。

【０００３】図９は従来のロボット搬送方法における処
理パターンを示す説明図である。

【０００４】まず、製造装置からホストコンピュータに
オンライン要求電文９０１が出されると、ホストコンピ
ュータはオンライン応答電文９０２を送信する。つい
で、複数の製造装置の各々からのロット要求電文９０３
をホストコンピュータが受信すると、応答信号電文９０
４を製造装置へ返信する。ホストコンピュータはロット
要求電文９０３を基に搬入可能の可否を知ることができ
る。

【０００５】次に、ホストコンピュータは搬送コンピュ
ータに対し、ロボットの搬送と搬入指示電文９０５を出
力する。その後、搬送コンピュータからの作業報告とし
て、搬送コンピュータからｆｒｏｍ完了信号電文９０７
とｔｏ完了信号電文９０９がホストコンピュータに出さ
れ、各々に対してホストコンピュータから搬送コンピュ
ータへ応答信号電文９０８，９１０が出力される。その
後、製造装置からのロット搬入完了信号電文９１１をホ
ストコンピュータが受信すると、ホストコンピュータは
応答電文９１２を製造装置へ返答する。この搬入完了を
受けて、ホストコンピュータは製造装置へロットが搬入
されたことを確認する。

【０００６】次に、ホストコンピュータから製造装置へ
処理開始要求電文９１３が送信される。これに対する応
答電文９１４が製造装置からホストコンピュータへ送出
される。次に、製造装置側で処理の開始準備が整うと、
製造装置からホストコンピュータに対して処理開始電文
９１５が行われる。この報告を受けたホストコンピュー
タは製造装置に対して応答電文９１６を行う。この応答
電文９１６を行ったことにより、ホストコンピュータは
該当ロットを処理中とみなす。

【０００７】ついで、製造装置は処理中のロットの処理
が終了すると、処理完了電文９１７をホストコンピュー
タへ送出する。製造装置側では、引き続き搬出の準備が
できると、ホストコンピュータへロット搬出要求電文９
１９を送出する。これに対し、ホストコンピュータから
応答電文９２０が製造装置へ返信される。この後、搬送
コンピュータは作業の完了としてＦｒｏｍ完了電文９２
３をホストコンピュータに出し、これに対してホストコ
ンピュータは応答電文９２４を搬送コンピュータに送信
する。ついで、ホストコンピュータは製造装置からのロ
ット搬出完了電文９２５を受信し、これに対する応答電
文９２６を製造装置へ送信する。この後、ホストコンピ
ュータは搬送コンピュータからＴｏ完了電文９２７を受
信２し、これに対する応答電文９２８を搬送コンピュー
タへ送信する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来では、ホストコンピュータは製造装置から搬出要求電
文を受信してから搬送コンピュータに回収の搬送指示電
文を送信しており、製造装置はロボットが走行してロッ
トを回収するまで回収待ちの状態になる。このため、製
造装置の稼働率が低くなるという問題があった。

【０００９】また、２回目以降のロットの搬入において
も、前のロットが回収されてから次のロットが搬入され
るまで、ロボットによる搬送がロット待ちになるため、
製造装置の稼働率及び生産数を或るレベルから高めるこ
とができなかった。

【００１０】本発明は上述の問題点に鑑み、ロボットに
よるロットの回収待ち時間の短縮、及び次のロットを搬
送する待ち時間短縮できるようにしたロボット搬送方法
を提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する方法は、請求項１に記載のように、ホストコ
ンピュータの下位に位置付けられた搬送コンピュータに
よってロボットを管理し、前記ロボットにより被搬送品
を製造装置等の装置へ搬入・搬出するロボット搬送方法
において、前記ロボットが前記被搬送品を前記装置へ搬
入後、前記被搬送品に対して前記装置による処理が完了
する前に完了予告を前記装置から前記ホストコンピュー
タへ送信し、これを受けた前記ホストコンピュータが次
に仕掛ける被搬送品のロットを選別し、そのロットの搬
送指示を前記搬送コンピュータへ送信するロボット搬送
方法にある。

【００１２】この方法によれば、搬入したロットに対す
る処理が完了する前に、装置からホストコンピュータへ
何時間後に処理が完了するか否かの完了予告の報告がな
される。これにより、装置に次に仕掛けるロットを選別
し、その該当ロットの搬送指示を搬送コンピュータに行
えるようになる。したがって、処理の完了前に回収、搬
入の準備がロボットに対して行えるようになり、装置は
ロボットによる回収待ちの時間を最小にすることができ
る。また、製造装置のアラーム等によって処理時間に遅
れが生じた場合でも、搬送スケジュールの誤差を少なく
することができる。

【００１３】本出願に係る発明の目的を実現する具体的
な方法は、請求項２に記載のように、前記完了予告を受
信後、前記装置が搬入口と搬出口が同一のポートである
か否かを前記ホストコンピュータで判定し、同一ポート
のときには第１のパターンによる搬送処理を実行し、前
記搬入口と搬出口のポートが異なるときには第２のパタ
ーンによる搬送処理を実行するロボット搬送方法にあ
る。

【００１４】この方法によれば、装置のポートが搬入口
と搬出口を共通にしている場合と、搬入口と搬出口を別
々のポートにしている場合とにより、ロボットの運用パ
ターンを異ならせている。これにより、被搬送品の搬送
を装置の構造（タイプ）に応じて最適なロボット運用が
でき、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にす
ることができる。

【００１５】本出願に係る発明の目的を実現する具体的
な方法は、請求項３に記載のように、前記第１のパター
ンによる搬送処理は１台のロボットで前記被搬送品の搬
入及び搬出を行い、前記第２のパターンによる搬送処理
は複数台のロボットを用いて前記被搬送品の搬入及び搬
出を行うロボット搬送方法にある。

【００１６】この方法によれば、装置が搬入口と搬出口
を同一のポートにしている場合には１台のロボットで前
記被搬送品の搬送が行われ、搬入口と搬出口を別々のポ
ートにしている装置では搬入口と搬出口の夫々にロボッ
トが割り当てられて搬送処理が実行される。この結果、
装置のタイプに応じて最適なロボットの運用が可能にな
り、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にする
ことが可能になる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００１８】図１は本発明によるロボット搬送方法の主
な処理を示すフローチャートである。更に、図２は図１
におけるパターン判別処理の詳細を示すフローチャート
であり、図３は図１におけるパターンＩ（第１のパター
ン）の処理の詳細を示すフローチャート、図４は図１に
おけるパターンＩＩ（第２のパターン）の処理の詳細を
示すフローチャートである。

【００１９】ここで、図５を参照して搬送ラインの概略
を説明する。搬送ロボット１は搬送路２に沿って往復移
動することができる。搬送路２の片側には、製造装置
３，４，５，６及び製品棚７が搬送路２に沿って連続的
に設置されている。また、搬送路２の反対側には、製造
装置８，９，１０，１１が設置されている。つまり、こ
こでは８台の製造装置が稼働しており、製造装置３，
４，５と製造装置９，１０，１１は、同一のポートで搬
入と搬出の作業が行われる。また、製造装置６，８は搬
入と搬出の作業が同時に行えるように、ポートが離れた
場所に設置されている。更に、製品棚７は、被加工品等
（ここでは、ウエハ）が入れられたキャリア（ロット）
を格納しておくための棚である。製造装置３〜６，８〜
１１にはホストコンピュータ１２が接続されている。こ
のホストコンピュータ１２には、搬送ロボット１を管理
する搬送コンピュータ１３が接続されている。

【００２０】このような構成のラインにおいて、搬送ロ
ボット１はホストコンピュータ１２の指示に応じて製品
棚７からロットを取り出し、指定された製造装置へ搬入
し、処理後のロットを他の製造装置または製品棚７へ搬
出（回収）する。

【００２１】図１に示すように、本発明によるロボット
搬送方法は、大別してパターン判別処理１００、パ
ターンＩによる処理、パターンＩＩによる処理の３ブ
ロックからなる。パターンＩによる処理２００が図５に
示した製造装置３〜５，９〜１１を対象にした処理であ
り、パターンＩＩによる処理３００が製造装置６，８を
対象にした処理である。この処理２００と処理３００の
どちらに相当するかを判定するのが、パターン判別処理
１００である。

【００２２】次に、図２のフローチャート、及び図６の
タイミングチャートを参照してパターン判別処理１００
について説明する。なお、図２〜図４において、“Ｓ”
はステップを意味している。

【００２３】まず、図６に示すように、ホストコンピュ
ータ１２が製造装置からオンライン要求電文６０１を受
けとると、これに対してオンライン応答電文６０２が製
造装置へ送信される。ついで、製造装置からロット搬入
要求電文６０３が出されると、ホストコンピュータ１２
は当該製造装置へロットの搬入が可能であるか否かを判
定する（Ｓ１０１）。搬入不可能のときには待機し、搬
入可能であれば製造装置へ要求応答電文６０４が発せら
れる。

【００２４】ついで、ホストコンピュータ１２はロット
を指定し、Ｆｒｏｍ／ｔｏの指示電文６０５（搬送指示
電文）を搬送コンピュータ１３へ送信する。搬送コンピ
ュータ１３はホストコンピュータ１２へ指示応答電文６
０６を送信する。この後、搬送コンピュータ１３は作業
報告としてのＦｒｏｍ完了電文６０７をホストコンピュ
ータ１２へ送信し、これに対する応答電文６０８がホス
トコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ送信さ
れる。また、製造装置への搬入を知らせるため、Ｔｏ完
了電文６０９が搬送コンピュータ１３からホストコンピ
ュータ１２へ送信される（Ｓ１０２）。その応答電文６
１０がホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１
３へ送られる。

【００２５】この後、製造装置からホストコンピュータ
１２に向けてロット搬入完了電文６１１が送信される。
ホストコンピュータ１２はロット搬入完了電文６１１を
受信した時点で製造装置へのロット搬入を認識する。そ
して、ホストコンピュータ１２は応答電文６１２を製造
装置へ送信する。

【００２６】次に、製造装置における処理が開始される
（Ｓ１０３）。この処理は、製造装置からロット搬入完
了電文６１１を受けたホストコンピュータ１２が処理開
始要求電文６１３を送信し、これに対して製造装置から
応答電文６１４が出されることにより開始される。製造
装置側では、開始準備が完了するとロットの処理開始報
告電文６１５をホストコンピュータ１２へ送信する。こ
れによってホストコンピュータ１２は該当ロットが処理
中であると見なし、更にホストコンピュータ１２から製
造装置へ応答電文６１６を送信し、以後、製造装置は処
理中の状態になる（Ｓ１０４）。この後、製造装置は処
理が完了段階になると、処理完了予告電文６１７をホス
トコンピュータ１２へ送信する（Ｓ１０５）。そして、
これに対する応答電文６１８がホストコンピュータ１２
から製造装置へ送信される。この後、製造装置の搬入・
搬出口が同一か否かの判定が行われる（Ｓ１０６）。こ
のＳ１０６がパターン判別に相当し、搬入口と搬出口が
同一であれば図３のパターンＩによる処理２００を実行
し、搬入・搬出口が不同一、つまり搬入口と搬出口が別
々であれば図４のパターンＩＩによる処理３００を実行
する。

【００２７】処理完了予告電文６１７は、現在処理して
いるロットがｎ時間後に完了することを予測して行われ
るため、ホストコンピュータ１２では該当する製造装置
に次に仕掛けるロットを選別し、その該当ロットの搬送
指示を搬送コンピュータ１３に行うことができる。した
がって、完了予測のｎ時間の設定を搬送ロボットの搬送
時間等を考慮して設定しておけば、実際に搬送した時の
製造装置の待ち時間を最小にすることができる。また、
製造装置のアラーム等によって処理時間に遅れが生じた
場合でも、搬送スケジュールの誤差を少なくすることが
できる。更に、処理完了予告を製造装置側で行うことに
より、ホストコンピュータ１２における時間監視の負担
が軽減される。

【００２８】次に、図３のフローチャート、及び図７の
タイミングチャートを参照してパターンＩによる処理２
００について説明する。

【００２９】このパターンＩの処理は、ホストコンピュ
ータ１２が処理完了予告を受けて搬送コンピュータ１３
に指示を行う場合は単一の搬送ロボットで次に処理する
ロットを指定の製造装置へ搬送し、処理後のロットを当
該製造装置から回収し、次に処理すべきロットを当該製
造装置へ搬入するように指示するものである。

【００３０】まず、搬送ロボットに対し、次に処理すべ
きロットの搬送指示が出される（Ｓ２０１）。この指示
は、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３
へ次ロット搬送指示電文７０１を送出することにより行
われ、搬送コンピュータ１３からは応答電文７０２がホ
ストコンピュータ１２へ返信される。この後、搬送コン
ピュータ１３からホストコンピュータ１２へＦｒｏｍ完
了電文７０２が送信され、これに対して応答７０３が返
信される。製造装置にロットが搬入され、当該製造装置
における処理が完了すると、処理完了報告７０５がホス
トコンピュータ１２へ送信される。

【００３１】ついで、搬送ロボットが次に処理すべきロ
ットを搬送し、目的の製造装置の前に到達すると、Ｔｏ
着指示待ち電文７０７が搬送コンピュータ１３からホス
トコンピュータ１２へ送信され、これに対してホストコ
ンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ応答電文７
０８が発せられると、待機状態に入る（Ｓ２０２）。更
に、Ｓ７０５を基にロット搬出が可能か否かの判定が行
われ（Ｓ２０３）、不可能の場合にはＳ２０２以降の処
理を再実行し、搬出可能であれば回収指示を実行する
（Ｓ２０４）。この回収指示は、製造装置からホストコ
ンピュータ１２へ搬出要求７０９（その応答電文が７１
０）が出され、ホストコンピュータ１２から搬送コンピ
ュータ１３へ回収指示電文７１１（その応答電文が７１
２）が出されることにより開始される。

【００３２】その後、次のロットが製造装置へ搬入可能
か否かを判定する（Ｓ２０５）。この処理は、ホストコ
ンピュータ１２が搬送コンピュータ１３から回収完了電
文７１３（その応答電文が７１４）を受信したこと、製
造装置から搬出完了報告電文７１５（その応答電文が７
１６）を受信したこと、更に、製造装置から搬入要求電
文７１７（その応答電文が７１８）があったことをもっ
て実行される。

【００３３】更に、Ｓ２０５で搬入可能の判断があった
場合、搬入指示が出される（Ｓ２０６）。この処理は、
製造装置から搬入要求電文７１７が有り、ホストコンピ
ュータ１２から搬送コンピュータ１３へ搬入指示電文７
１９が送信され、搬送コンピュータ１３から応答電文７
２０が有ったことをもって実行され、次のロットが製造
装置に搬入される。ロット搬入が完了すると、ホストコ
ンピュータ１２に対し、搬送コンピュータ１３から搬入
完了電文７２１（その応答電文が７２２）が送信され、
更に、製造装置から搬入完了電文７２３（その応答電文
が７２４）が送信される。搬入後の処理は、図６のロッ
ト搬入完了電文６１１以後の処理と同じになる。

【００３４】ついで、搬送指示が出される（Ｓ２０
７）。この搬送は回収完了電文７１３に基づいて回収し
たロットを次の場所へ搬送するものであり、ホストコン
ピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ搬送指示電文
７２５（その応答電文が７２６）が出されたことをもっ
て開始される。そして、搬送コンピュータ１３からホス
トコンピュータ１２へＴｏ完了電文７２８（その応答電
文が７２９）が出された時点で搬送が完了する。

【００３５】次に、図４のフローチャート、及び図８の
タイミングチャートを参照してパターンＩＩによる処理
３００について説明する。

【００３６】パターンＩＩの処理は複数台の搬送ロボッ
トで運用され、次に処理すべきロットの搬送指示を搬送
ロボット＃１へ送出する。そして、回収作業と回収後の
搬送作業は搬送ロボット＃２で実行するように指示がな
される。

【００３７】この処理３００は、ホストコンピュータ１
２から搬送コンピュータ１３へ次ロット搬送指示電文８
０１（その応答電文が８０２）を送信することにより開
始される（Ｓ３０１）。ここで従事するのは搬送ロボッ
ト＃１であり、次に処理すべきロットを搬送する。ま
た、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータに対
する回収指示電文８０３（その応答電文が８０４）を搬
送コンピュータ１３へ送信する。更に、搬送コンピュー
タ１３からホストコンピュータ１２に対し、搬送ロボッ
ト＃２のＴｏ着指示待ち電文８０５（その応答電文が８
０６）を送信する。ついで、搬送ロボット＃１Ｆｒｏｍ
完了電文８０７（その応答電文が８０８）を搬送コンピ
ュータ１３からホストコンピュータ１２へ送信する。こ
の電文８０７から、ホストコンピュータ１２は指定の装
置へロットが搬送されていることを確認できる。

【００３８】この後、製造装置前待機処理が実行される
（Ｓ３０２）。この処理は、搬送ロボット＃１が次に処
理すべきロットを搬送し、目的の製造装置の前に到着
し、搬入口の前で待機するものである。まず、製造装置
からホストコンピュータ１２へ処理完了報告電文８０９
（その応答電文が８１０）が送信され、搬送コンピュー
タ１３からホストコンピュータ１２へ搬送ロボット＃１
Ｔｏ着指示待ち電文８１１（その応答電文が８１２）が
送信されたことをもって実行される。

【００３９】ついで、ロットの搬入が可能か否かの判定
が行われる（Ｓ３０３）。この処理は、次ロット搬送指
示電文８０１で指定されたロットを製造装置へ搬入する
ために行うもので、製造装置からの搬入要求８２３（そ
の応答電文が８２４）を受け取ったことに基づいて行わ
れる。

【００４０】この後、搬入指示の処理が実行される（Ｓ
３０４）。この処理は、製造装置からの搬入要求８２３
を受信し、搬入可能と判断された場合、ホストコンピュ
ータ１２は搬送コンピュータ１３へ次ロット搬送指示電
文８０１で指示されたロットを搬入するように搬入指示
電文８２５（その応答電文が８２６）を送信する。な
お、搬入後の処理開始は、図６のロット搬入完了電文６
１１以後の処理と同じになる。

【００４１】次に、搬送ロボット＃２における処理３０
０について説明する。製造装置からの処理完了予告電文
６１７（図６）を受信したホストコンピュータ１２は、
搬送コンピュータ１３に対して回収指示電文８０３を送
信する。これを受信した搬送コンピュータ１３は搬送ロ
ボット＃２に回収場所まで移動して待機するように指示
する。搬送ロボット＃２の移動が完了すると、搬送コン
ピュータ１３は到着完了電文８０５をホストコンピュー
タ１２へ送信する。

【００４２】この後、ロットの搬出が可能か否かを判定
する（Ｓ３０６）。この判定は、ホストコンピュータ１
２が製造装置から処理完了電文８０９及び搬出要求電文
８１３を受信したことをもって実行される。ついで、回
収指示の処理が行われる（Ｓ３０７）。この処理は、製
造装置がロットの搬出要求８１３をホストコンピュータ
１２へ送信し、搬送ロボット＃２が製造装置前で待機し
ているときに搬送コンピュータ１３に回収指示を送信す
るものである。搬送コンピュータ１３からホストコンピ
ュータ１２へ搬送ロボット＃２回収完了電文８１７（そ
の応答電文が８１８）が送信される。その後、製造装置
からホストコンピュータ１２へ搬出完了電文８１９（そ
の応答電文が８２０）が送信される。

【００４３】更に、搬送指示の処理が行われる（Ｓ３０
８）。搬送ロボット＃２回収完了電文８１７に基づいて
回収したロットを次の場所へ搬送するため、搬送コンピ
ュータ１３に対して搬送指示電文８２１（その応答電文
が８２２）が送信され、その後、製造装置は作業完了電
文８２７（その応答電文が８２８）をホストコンピュー
タ１２へ送信する。ついで、搬送コンピュータ１３から
ホストコンピュータ１２へ搬送ロボット＃１搬入完了電
文８２９（その応答電文が８３０）が送信され、以後、
電文８０１以降の処理（８３１）が繰り返し実行され
る。

【００４４】なお、上記の説明においては、搬送ロボッ
トによって製造装置へロットを搬入・搬出するものとし
たが、本発明は製造装置に限定されるものではなく、搬
送ロボットによる搬送を必要とする装置の全てに適用す
ることができる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に示した
本発明は、ロボットが被搬送品を装置へ搬入後、前記被
搬送品に対して前記装置による処理が完了する前に完了
予告を前記装置から前記ホストコンピュータへ送信し、
これを受けた前記ホストコンピュータが次に仕掛ける被
搬送品のロットを選別し、そのロットの搬送指示を前記
搬送コンピュータへ送信するようにしたので、次に装置
に仕掛けるロットを選別し、その該当ロットの搬送指示
を搬送コンピュータに行えるようになり、装置はロボッ
トによる回収待ちの時間を最小にすることができ、装置
の稼働率を向上させることができる。また、製造装置の
アラーム等によって処理時間に遅れが生じた場合でも、
搬送スケジュールの誤差を少なくすることができる。

【００４６】請求項２に示した本発明は、装置からの完
了予告をホストコンピュータで受信後、前記装置の搬入
口と搬出口が同一であるか否かにより、第１のパターン
による搬送処理と第２のパターンによる搬送処理とを使
い分けるようにしたので、被搬送品の搬送を装置の構造
（タイプ）に応じて最適なロボット運用ができ、装置は
ロボットによる回収待ちの時間を最小にすることができ
る。

【００４７】請求項３に示した本発明は、前記第１のパ
ターンによる搬送処理は１台のロボットで前記被搬送品
の搬入及び搬出を行い、前記第２のパターンによる搬送
処理は複数台のロボットを用いて前記被搬送品の搬入及
び搬出を行うようにしたので、装置のタイプに応じて最
適なロボットの運用が可能になり、装置はロボットによ
る回収待ちの時間を最小にすることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるロボット搬送方法の主な処理を示
すフローチャートである。

【図２】図１におけるパターン判別処理の詳細を示すフ
ローチャートである。

【図３】図１におけるパターンＩの処理の詳細を示すフ
ローチャートである。

【図４】図１におけるパターンＩＩの処理の詳細を示す
フローチャートである。

【図５】本発明が適用される搬送ラインの概略を示す構
成図である。

【図６】図１のパターン判別処理におけるタイミングチ
ャートである。

【図７】図１のパターンＩの処理におけるタイミングチ
ャートである。

【図８】図１のパターンＩＩの処理におけるタイミング
チャートである。

【図９】従来のロボット搬送方法における処理パターン
を示す説明図である。

【符号の説明】

１搬送ロボット３，４，５，６，８，９，１０，１１製造装置７製品棚１２ホストコンピュータ１３搬送コンピュータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ホストコンピュータの下位に位置付けら
れた搬送コンピュータによってロボットを管理し、前記
ロボットにより被搬送品を製造装置等の装置へ搬入・搬
出するロボット搬送方法において、前記ロボットが前記被搬送品を前記装置へ搬入後、前記
被搬送品に対して前記装置による処理が完了する前に完
了予告を前記装置から前記ホストコンピュータへ送信
し、これを受けた前記ホストコンピュータが次に仕掛け
る被搬送品のロットを選別し、そのロットの搬送指示を
前記搬送コンピュータへ送信することを特徴とするロボ
ット搬送方法。
【請求項２】前記完了予告を受信後、前記装置が搬入
口と搬出口が同一のポートであるか否かを前記ホストコ
ンピュータで判定し、同一ポートのときには第１のパタ
ーンによる搬送処理を実行し、前記搬入口と搬出口のポ
ートが異なるときには第２のパターンによる搬送処理を
実行することを特徴とする請求項１記載のロボット搬送
方法。
【請求項３】前記第１のパターンによる搬送処理は１
台のロボットで前記被搬送品の搬入及び搬出を行い、前
記第２のパターンによる搬送処理は複数台のロボットを
用いて前記被搬送品の搬入及び搬出を行うことを特徴と
する請求項２記載のロボット搬送方法。