JPH1128630A - Ｘｙテーブル - Google Patents
ＸｙテーブルInfo
- Publication number
- JPH1128630A JPH1128630A JP19645397A JP19645397A JPH1128630A JP H1128630 A JPH1128630 A JP H1128630A JP 19645397 A JP19645397 A JP 19645397A JP 19645397 A JP19645397 A JP 19645397A JP H1128630 A JPH1128630 A JP H1128630A
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- Japan
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- feed screw
- nut
- guide rail
- whirling
- feed
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】クロススライドを利用した薄型で送りネジの振
れ回りを吸収し揺動のない高精度のＸＹテーブルを実現
する。 【構成】クロススライダを用いたＸＹテーブルにおい
て、テーブルの送りネジと系合するナットを、テーブル
と切り離し、テーブルの移動方向を規制するガイドレー
ル上を摺動出来るようにしたものである。すなわち、例
えばテーブルをＸ方向へ導くガイドレールをテーブル下
面に固定し、送りネジとこれを駆動するモータをテーブ
ルに搭載し、このＸ方向送りネジと系合するナットをＹ
軸方向へ導くベースに固定したＹ方向ガイドレール上を
Ｙ方向へ摺動可能に系合する。そしてベースに搭載した
モータにより回転駆動されるＹ方向送りネジに系合する
ナットをテーブル下面に固定したＸ方向ガイドレールと
Ｘ方向に摺動可能に系合する。
れ回りを吸収し揺動のない高精度のＸＹテーブルを実現
する。 【構成】クロススライダを用いたＸＹテーブルにおい
て、テーブルの送りネジと系合するナットを、テーブル
と切り離し、テーブルの移動方向を規制するガイドレー
ル上を摺動出来るようにしたものである。すなわち、例
えばテーブルをＸ方向へ導くガイドレールをテーブル下
面に固定し、送りネジとこれを駆動するモータをテーブ
ルに搭載し、このＸ方向送りネジと系合するナットをＹ
軸方向へ導くベースに固定したＹ方向ガイドレール上を
Ｙ方向へ摺動可能に系合する。そしてベースに搭載した
モータにより回転駆動されるＹ方向送りネジに系合する
ナットをテーブル下面に固定したＸ方向ガイドレールと
Ｘ方向に摺動可能に系合する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械、検査装
置あるいは産業用の機械において、工作物、または工具
あるいは被測定物をＸＹの２方向に位置決めまたは運動
させるテーブルに係わり、１層でＸＹの２方向の位置決
めが可能でかつ送りネジの振れ回りによるテーブルの揺
動を除き高精度な位置決めあるいは運動精度を実現する
テーブルに関する。
置あるいは産業用の機械において、工作物、または工具
あるいは被測定物をＸＹの２方向に位置決めまたは運動
させるテーブルに係わり、１層でＸＹの２方向の位置決
めが可能でかつ送りネジの振れ回りによるテーブルの揺
動を除き高精度な位置決めあるいは運動精度を実現する
テーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のほぼ直交する２方向へ移動可能な
ＸＹテーブルは特開平２ー１１６４４２号公報において
開示されている図４に示すようにクロススライドを利用
して、薄型化を可能としているが、送りネジと系合する
ナットはクロススライドに結合された中間テーブルやテ
ーブルに固着されている。
ＸＹテーブルは特開平２ー１１６４４２号公報において
開示されている図４に示すようにクロススライドを利用
して、薄型化を可能としているが、送りネジと系合する
ナットはクロススライドに結合された中間テーブルやテ
ーブルに固着されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】従来のＸＹテーブル
では、送りネジのナットはテーブルに固定されており、
送りネジに振れ回りがあると、送りネジの回転に伴っ
て、テーブルが微小に揺動し、位置決め精度が劣化した
り、加工機においては運動誤差となり加工面のうねりと
なり品質に悪影響を与えるなどの問題点があった。この
ため送りネジの振れ回りによるテーブルの微小な揺動を
吸収するために、従来技術として、ナットの支持を弾性
支持としたり、あるいは図５に示すように送り方向に対
する２直角方向にナットを移動自由にするなどの措置が
とられていた。この場合ナット支持構造が複雑となり高
価となることや、ナット支持部のサイズが大きくなり、
例えば従来のＸＹテーブルではベースから最上層のテー
ブルまでの高さが高くなり、剛性の低下とアッベの原理
からはずれ位置決め誤差が大きくなるなどの問題があっ
た。
では、送りネジのナットはテーブルに固定されており、
送りネジに振れ回りがあると、送りネジの回転に伴っ
て、テーブルが微小に揺動し、位置決め精度が劣化した
り、加工機においては運動誤差となり加工面のうねりと
なり品質に悪影響を与えるなどの問題点があった。この
ため送りネジの振れ回りによるテーブルの微小な揺動を
吸収するために、従来技術として、ナットの支持を弾性
支持としたり、あるいは図５に示すように送り方向に対
する２直角方向にナットを移動自由にするなどの措置が
とられていた。この場合ナット支持構造が複雑となり高
価となることや、ナット支持部のサイズが大きくなり、
例えば従来のＸＹテーブルではベースから最上層のテー
ブルまでの高さが高くなり、剛性の低下とアッベの原理
からはずれ位置決め誤差が大きくなるなどの問題があっ
た。
【問題点を解決するための手段】本発明は上記した問題
点を解決するために、送りネジの振れ回りによるテーブ
ルの揺動を吸収するとともに、テーブルを薄型化するこ
とを目的になされたもので、クロススライダを用いたＸ
Ｙテーブルにおいて、テーブルの送りネジと系合するナ
ットを、テーブルと切り離し、テーブルの移動方向を規
制するガイドレール上を摺動出来るようにしたものであ
る。すなわち、例えばテーブルをＸ方向へ導くガイドレ
ールをテーブル下面に固定し、送りネジとこれを駆動す
るモータをテーブルに搭載し、このＸ方向送りネジと系
合するナットをＹ軸方向へ導くベースに固定したＹ方向
ガイドレール上をＹ方向へ摺動可能に系合する。そして
ベースに搭載したモータにより回転駆動されるＹ方向送
りネジに系合するナットをテーブル下面に固定したＸ方
向ガイドレールとＸ方向に摺動可能に系合する。
点を解決するために、送りネジの振れ回りによるテーブ
ルの揺動を吸収するとともに、テーブルを薄型化するこ
とを目的になされたもので、クロススライダを用いたＸ
Ｙテーブルにおいて、テーブルの送りネジと系合するナ
ットを、テーブルと切り離し、テーブルの移動方向を規
制するガイドレール上を摺動出来るようにしたものであ
る。すなわち、例えばテーブルをＸ方向へ導くガイドレ
ールをテーブル下面に固定し、送りネジとこれを駆動す
るモータをテーブルに搭載し、このＸ方向送りネジと系
合するナットをＹ軸方向へ導くベースに固定したＹ方向
ガイドレール上をＹ方向へ摺動可能に系合する。そして
ベースに搭載したモータにより回転駆動されるＹ方向送
りネジに系合するナットをテーブル下面に固定したＸ方
向ガイドレールとＸ方向に摺動可能に系合する。
【０００５】
【作用】いま、Ｘ軸方向へテーブルを移動させようと、
テーブルに搭載したＸ方向の送りネジを回転させたと
き、送りネジの回転に伴う送り方向に直角なＹ方向への
振れが生ずるが、ナットはＹ方向ガイドレール上を動い
て振れを吸収するので、テーブルが揺動することがな
い。また、テーブルをＹ方向に送るために、Ｙ方向の送
りネジを回転させると、送りネジの振れまわりにより、
Ｙ方向に直角なＸ方向の振れが生ずるが、Ｙ方向送りネ
ジと系合するナットはテーブルに固定したＸ方向ガイド
レール上を摺動して、テーブルにＸ方向の揺動が伝わる
のを防ぎ、正確な位置決めあるいは、高品質の仕上げ面
を得ることができる。
テーブルに搭載したＸ方向の送りネジを回転させたと
き、送りネジの回転に伴う送り方向に直角なＹ方向への
振れが生ずるが、ナットはＹ方向ガイドレール上を動い
て振れを吸収するので、テーブルが揺動することがな
い。また、テーブルをＹ方向に送るために、Ｙ方向の送
りネジを回転させると、送りネジの振れまわりにより、
Ｙ方向に直角なＸ方向の振れが生ずるが、Ｙ方向送りネ
ジと系合するナットはテーブルに固定したＸ方向ガイド
レール上を摺動して、テーブルにＸ方向の揺動が伝わる
のを防ぎ、正確な位置決めあるいは、高品質の仕上げ面
を得ることができる。
【０００６】
【実施例】以下、図示した実施例に基づき本発明を説明
する。図１は本発明の第１実施例で、テーブル１をＸ方
向へ導くガイドレール２、２’をテーブル下面に固定
し、Ｘ方向送りネジ３とこれを駆動するモータ４をテー
ブル１に搭載し、このＸ方向送りネジ３と系合するＹ方
向スライダ付きナット５をベース６に固定したＹ軸方向
へ導くＹ方向ガイドレール７、７’上にＹ方向へ摺動可
能に系合する。そしてベース６に搭載したモータ８によ
り回転駆動されるＹ方向送りネジ９に系合するＸ方向ス
ライダ付きナット１０をテーブル１の下面に固定したＸ
方向ガイドレール２にＸ方向に摺動可能に系合する。Ｘ
方向ガイドレール２、２’及びＹ方向ガイドレール７、
７’は４個のクロススライダにより系合されている。
する。図１は本発明の第１実施例で、テーブル１をＸ方
向へ導くガイドレール２、２’をテーブル下面に固定
し、Ｘ方向送りネジ３とこれを駆動するモータ４をテー
ブル１に搭載し、このＸ方向送りネジ３と系合するＹ方
向スライダ付きナット５をベース６に固定したＹ軸方向
へ導くＹ方向ガイドレール７、７’上にＹ方向へ摺動可
能に系合する。そしてベース６に搭載したモータ８によ
り回転駆動されるＹ方向送りネジ９に系合するＸ方向ス
ライダ付きナット１０をテーブル１の下面に固定したＸ
方向ガイドレール２にＸ方向に摺動可能に系合する。Ｘ
方向ガイドレール２、２’及びＹ方向ガイドレール７、
７’は４個のクロススライダにより系合されている。
【０００７】次に本実施例の作用について説明する。い
ま、Ｘ軸方向へテーブル１を移動させようと、テーブル
１に搭載したＸ方向送りネジ３をモータ４により回転さ
せたとき、送りネジ３の回転に伴う送り方向に直角なＹ
方向への振れが生ずるが、Ｙ方向スライダ付きナット５
はＹ方向ガイドレール７上を摺動して振れを吸収するの
で、テーブル１がＹ方向へ揺動することがない。ナット
５はＸ方向には拘束されているので、テーブルが移動す
る。また、テーブル１をＹ方向に送るために、Ｙ方向送
りネジ９をモータ８により回転させると、送りネジ９の
振れまわりにより、Ｙ方向に直角なＸ方向の振れが生ず
るが、Ｙ方向送りネジ９と系合するＸ方向スライダ付き
ナット１０はテーブルに固定したＸ方向ガイドレール２
上を摺動して、テーブル１にＸ方向の揺動が伝わること
がなく、Ｙ方向には拘束されているので、テーブル１の
正確な位置決めあるいは、真直な運動精度を得ることが
できる。
ま、Ｘ軸方向へテーブル１を移動させようと、テーブル
１に搭載したＸ方向送りネジ３をモータ４により回転さ
せたとき、送りネジ３の回転に伴う送り方向に直角なＹ
方向への振れが生ずるが、Ｙ方向スライダ付きナット５
はＹ方向ガイドレール７上を摺動して振れを吸収するの
で、テーブル１がＹ方向へ揺動することがない。ナット
５はＸ方向には拘束されているので、テーブルが移動す
る。また、テーブル１をＹ方向に送るために、Ｙ方向送
りネジ９をモータ８により回転させると、送りネジ９の
振れまわりにより、Ｙ方向に直角なＸ方向の振れが生ず
るが、Ｙ方向送りネジ９と系合するＸ方向スライダ付き
ナット１０はテーブルに固定したＸ方向ガイドレール２
上を摺動して、テーブル１にＸ方向の揺動が伝わること
がなく、Ｙ方向には拘束されているので、テーブル１の
正確な位置決めあるいは、真直な運動精度を得ることが
できる。
【０００８】図２は第２の実施例のナットの支持構造を
示したものである。上記した第１実施例では、送り方向
に対する直角２方向のうちＸＹ面内の揺動については吸
収できるが、高さ方向すなわちＺ方向については、問題
にしていない。ＸＹ平面内だけの位置決め精度が必要な
場合はこれでもよいが、３次元空間で精密位置決めした
い場合は、テーブルのＸＹ平面に直角な方向の変位すな
わちＺ方向の誤差も許されなくなる。Ｘ方向送りネジ３
と系合するＸナット１５を板ばね１２、及び１３を介し
てY方向ガイドレール上を摺動可能に系合されたナット
ホルダ１６に結合している。Ｙ方向へ送るＹナットの支
持についても同様である。この場合板ばね１２、１３は
ＸＹ方向には剛であるが、Ｚ方向へは容易に撓むので、
Ｘ方向送りネジ３の振れ回りによるＹ方向への揺動はナ
ットホルダ１６がＹ方向ガイドレール上を移動して吸収
し、Ｚ方向への揺動は板ばねが撓んで吸収するので、Ｚ
方向にもテーブル１の揺動がない。
示したものである。上記した第１実施例では、送り方向
に対する直角２方向のうちＸＹ面内の揺動については吸
収できるが、高さ方向すなわちＺ方向については、問題
にしていない。ＸＹ平面内だけの位置決め精度が必要な
場合はこれでもよいが、３次元空間で精密位置決めした
い場合は、テーブルのＸＹ平面に直角な方向の変位すな
わちＺ方向の誤差も許されなくなる。Ｘ方向送りネジ３
と系合するＸナット１５を板ばね１２、及び１３を介し
てY方向ガイドレール上を摺動可能に系合されたナット
ホルダ１６に結合している。Ｙ方向へ送るＹナットの支
持についても同様である。この場合板ばね１２、１３は
ＸＹ方向には剛であるが、Ｚ方向へは容易に撓むので、
Ｘ方向送りネジ３の振れ回りによるＹ方向への揺動はナ
ットホルダ１６がＹ方向ガイドレール上を移動して吸収
し、Ｚ方向への揺動は板ばねが撓んで吸収するので、Ｚ
方向にもテーブル１の揺動がない。
【０００９】図３は第３の実施例のナットの支持構造を
示したものである。上記した第２実施例における、Ｚ方
向の揺動を吸収するためＸ方向送りネジ３と系合するＸ
ナット２５をＺ方向ガイド２１を介して、Ｙ軸ガイドレ
ール７上を摺動可能に系合されたナットホルダ２６に結
合している。Ｙ方向へ送るＹナットの支持についても同
様である。この場合Ｚ方向ガイド２５はＸＹ方向には剛
であるが、Ｚ方向へは容易に移動するので、送り方向に
直角な２方向の振れ回りを吸収するので、テーブル１が
Ｚ方向にも揺動することがない。
示したものである。上記した第２実施例における、Ｚ方
向の揺動を吸収するためＸ方向送りネジ３と系合するＸ
ナット２５をＺ方向ガイド２１を介して、Ｙ軸ガイドレ
ール７上を摺動可能に系合されたナットホルダ２６に結
合している。Ｙ方向へ送るＹナットの支持についても同
様である。この場合Ｚ方向ガイド２５はＸＹ方向には剛
であるが、Ｚ方向へは容易に移動するので、送り方向に
直角な２方向の振れ回りを吸収するので、テーブル１が
Ｚ方向にも揺動することがない。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、クロススライダを用い
ることにより、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のガイドレールが
ベースとテーブルにはさまれた空間内に置くことがで
き、それぞれＸ及びＹ方向に送る送りネジに係合するナ
ットを送り方向に対し概略直角方向のガイドレール上に
摺動可能に係合させ送りネジの振れ回りによる揺動を吸
収できるので、簡単な構造でかつテーブル全体が薄くな
り、揺動のない高精度のＸＹテーブルが実現できる。
ることにより、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のガイドレールが
ベースとテーブルにはさまれた空間内に置くことがで
き、それぞれＸ及びＹ方向に送る送りネジに係合するナ
ットを送り方向に対し概略直角方向のガイドレール上に
摺動可能に係合させ送りネジの振れ回りによる揺動を吸
収できるので、簡単な構造でかつテーブル全体が薄くな
り、揺動のない高精度のＸＹテーブルが実現できる。
【図１】本発明の第１実施例の斜視図。
【図２】本発明の第２実施例のナット支持部の斜視図。
【図３】本発明の第２実施例のナット支持部の斜視図。
【図４】従来技術のＸＹテーブルの要部斜視図。
【図５】従来技術のナット支持構造図。
１ テーブル ２，７ ガイドレー
ル ３ Ｘ方向送りネジ ４，８ モータ ５，１０ スライダ付きナット ６ ベース ９ Ｙ方向送りネジ １１ クロススライ
ダ １２，１３ 板バネ １５，２５ ナット １６，２６ ナットホルダ ２１ Ｚ方向ガイド
ル ３ Ｘ方向送りネジ ４，８ モータ ５，１０ スライダ付きナット ６ ベース ９ Ｙ方向送りネジ １１ クロススライ
ダ １２，１３ 板バネ １５，２５ ナット １６，２６ ナットホルダ ２１ Ｚ方向ガイド
Claims (1)
- 【請求項１】クロススライダを利用したＸＹの概略直角
な２方向へ移動可能なテーブルにおいて、テーブルをＸ
軸方向へ移動させる送りネジに系合するナットを、テー
ブルをＹ軸方向へ導くガイドレール上を摺動可能にし、
テーブルをＹ軸方向へ送る送りネジと系合するナットを
テーブルをＸ軸方向へ導くガイドレール上を摺動できる
ようにしたことを特徴とするＸＹテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19645397A JPH1128630A (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | Ｘｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19645397A JPH1128630A (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | Ｘｙテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1128630A true JPH1128630A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16358071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19645397A Pending JPH1128630A (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | Ｘｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1128630A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009281765A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Jasti:Kk | 衝撃試験機 |
| WO2010081325A1 (zh) * | 2008-12-30 | 2010-07-22 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 移动定位测试机构 |
| CN101920352A (zh) * | 2010-04-02 | 2010-12-22 | 无锡华联科技集团有限公司 | 三维钻上钻削头十字行走机构 |
| CN102350463A (zh) * | 2011-10-07 | 2012-02-15 | 王崇庆 | 冲床万能自动送料装置 |
| CN103009068A (zh) * | 2012-12-04 | 2013-04-03 | 缙云县高新机械制造有限公司 | 一种立式外拉床的移动回转式工作台 |
| CN104858324A (zh) * | 2015-05-23 | 2015-08-26 | 嘉兴市中达金属制品有限公司 | 一种可自动送料的钣金固定支撑装置 |
| CN107965485A (zh) * | 2016-10-20 | 2018-04-27 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种用于偏导射流伺服阀前置级调试的精确定位装置 |
| CN109681738A (zh) * | 2017-10-19 | 2019-04-26 | 北京君和信达科技有限公司 | 调节滑台及探测器臂架 |
-
1997
- 1997-07-07 JP JP19645397A patent/JPH1128630A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009281765A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Jasti:Kk | 衝撃試験機 |
| WO2010081325A1 (zh) * | 2008-12-30 | 2010-07-22 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 移动定位测试机构 |
| CN101920352A (zh) * | 2010-04-02 | 2010-12-22 | 无锡华联科技集团有限公司 | 三维钻上钻削头十字行走机构 |
| CN102350463A (zh) * | 2011-10-07 | 2012-02-15 | 王崇庆 | 冲床万能自动送料装置 |
| CN103009068A (zh) * | 2012-12-04 | 2013-04-03 | 缙云县高新机械制造有限公司 | 一种立式外拉床的移动回转式工作台 |
| CN104858324A (zh) * | 2015-05-23 | 2015-08-26 | 嘉兴市中达金属制品有限公司 | 一种可自动送料的钣金固定支撑装置 |
| CN107965485A (zh) * | 2016-10-20 | 2018-04-27 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种用于偏导射流伺服阀前置级调试的精确定位装置 |
| CN109681738A (zh) * | 2017-10-19 | 2019-04-26 | 北京君和信达科技有限公司 | 调节滑台及探测器臂架 |
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