JPH11289197A - 実装機及びその位置決め方法 - Google Patents
実装機及びその位置決め方法Info
- Publication number
- JPH11289197A JPH11289197A JP10089785A JP8978598A JPH11289197A JP H11289197 A JPH11289197 A JP H11289197A JP 10089785 A JP10089785 A JP 10089785A JP 8978598 A JP8978598 A JP 8978598A JP H11289197 A JPH11289197 A JP H11289197A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- mounting machine
- movable part
- length measuring
- measuring device
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 可動部を機械的な要因の影響を受けずに高精
度に位置決めすることができる実装機及びその位置決め
方法を提供する。 【解決手段】 実装ヘッド4などの可動部をモータ5に
て駆動しかつ可動部4の位置をエンコーダ6にて検出し
て位置制御するように構成された実装機において、可動
部4の位置を検出するレーザ測長器9a、9bを設け、
可動部4を位置決めした状態でレーザー測長器9a、9
bによりその位置を実測し、偏差分を補正するようにし
た。
度に位置決めすることができる実装機及びその位置決め
方法を提供する。 【解決手段】 実装ヘッド4などの可動部をモータ5に
て駆動しかつ可動部4の位置をエンコーダ6にて検出し
て位置制御するように構成された実装機において、可動
部4の位置を検出するレーザ測長器9a、9bを設け、
可動部4を位置決めした状態でレーザー測長器9a、9
bによりその位置を実測し、偏差分を補正するようにし
た。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は実装機に関し、特に
実装ヘッドをXY方向に移動して位置決めするXYロボ
ットや基板をXY方向に移動して位置決めするXYテー
ブルなどの可動部の位置決め方法に関するものである。
実装ヘッドをXY方向に移動して位置決めするXYロボ
ットや基板をXY方向に移動して位置決めするXYテー
ブルなどの可動部の位置決め方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の電子部品実装機として、図7に示
すように、XYロボット11にて実装ヘッド12を位置
決めし、テーブル13の所定位置に位置決めされて固定
された基板上に電子部品を実装するようにしたものが知
られている。14a、14bはXYロボット11のY軸
移動手段、15はその駆動手段としてのY軸モータ、1
5aは位置検出用エンコーダ、16はX軸移動手段、1
7はその駆動手段としてのX軸モータ、17aは位置検
出用エンコーダである。
すように、XYロボット11にて実装ヘッド12を位置
決めし、テーブル13の所定位置に位置決めされて固定
された基板上に電子部品を実装するようにしたものが知
られている。14a、14bはXYロボット11のY軸
移動手段、15はその駆動手段としてのY軸モータ、1
5aは位置検出用エンコーダ、16はX軸移動手段、1
7はその駆動手段としてのX軸モータ、17aは位置検
出用エンコーダである。
【0003】実装ヘッド12の位置決めは、図8に示す
ように、コントローラ18からの位置データに基づいて
ドライバ19を介してモータ15、17を駆動し、さら
にエンコーダ15a、17aによる検出位置に基づいて
偏差を検出し、偏差分だけ再びモータ15、17を駆動
して位置決めしている。すなわち、従来はエンコーダ1
5a、17aにより実装ヘッド12の現在位置の検出を
行っている。
ように、コントローラ18からの位置データに基づいて
ドライバ19を介してモータ15、17を駆動し、さら
にエンコーダ15a、17aによる検出位置に基づいて
偏差を検出し、偏差分だけ再びモータ15、17を駆動
して位置決めしている。すなわち、従来はエンコーダ1
5a、17aにより実装ヘッド12の現在位置の検出を
行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、エンコーダ
による位置検出はモータの回転角度をパルスに変換し、
そのパルス数を位置に変換しているので、可動部の絶対
位置を検出するものではなく、そのため動力伝達軸の角
軸部の取付けや、長時間の使用による機械的ながたつき
の発生によって位置精度が劣化すると、特にXYロボッ
トの機械的ながたつきや歪みにより位置ずれに規則性が
ないときには、容易に対処して位置精度を確保すること
ができないという問題があった。
による位置検出はモータの回転角度をパルスに変換し、
そのパルス数を位置に変換しているので、可動部の絶対
位置を検出するものではなく、そのため動力伝達軸の角
軸部の取付けや、長時間の使用による機械的ながたつき
の発生によって位置精度が劣化すると、特にXYロボッ
トの機械的ながたつきや歪みにより位置ずれに規則性が
ないときには、容易に対処して位置精度を確保すること
ができないという問題があった。
【0005】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、可動
部を機械的な要因の影響を受けずに高精度に位置決めす
ることができる実装機及びその位置決め方法を提供する
ことを目的としている。
部を機械的な要因の影響を受けずに高精度に位置決めす
ることができる実装機及びその位置決め方法を提供する
ことを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の実装機は、可動
部(例えば実装ヘッド)をモータにて駆動しかつ可動部
の位置(例えば水平面上の互いに直交するX、Y2方向
におけるそれぞれの位置)をエンコーダにて検出して位
置制御するように構成された実装機において、可動部の
位置を検出するレーザ測長器を備えたものであり、可動
部を位置決めした状態でレーザー測長器によりその位置
を実測し、偏差分を補正することにより、容易に高精度
の位置決めを実現することができ、エンコーダによる位
置決め位置とレーザ測長器による実測位置の偏差を検出
して位置補正する手段を設けると自動的に高精度の位置
決めが可能となる。
部(例えば実装ヘッド)をモータにて駆動しかつ可動部
の位置(例えば水平面上の互いに直交するX、Y2方向
におけるそれぞれの位置)をエンコーダにて検出して位
置制御するように構成された実装機において、可動部の
位置を検出するレーザ測長器を備えたものであり、可動
部を位置決めした状態でレーザー測長器によりその位置
を実測し、偏差分を補正することにより、容易に高精度
の位置決めを実現することができ、エンコーダによる位
置決め位置とレーザ測長器による実測位置の偏差を検出
して位置補正する手段を設けると自動的に高精度の位置
決めが可能となる。
【0007】また、本発明の実装機の位置決め方法は、
可動部の原点復帰後の位置をレーザ測長器で測定して原
点位置を補正するものであり、位置決めの基準となる原
点位置を絶対位置で設定できるので、高精度の位置決め
ができる。
可動部の原点復帰後の位置をレーザ測長器で測定して原
点位置を補正するものであり、位置決めの基準となる原
点位置を絶対位置で設定できるので、高精度の位置決め
ができる。
【0008】また、可動部を任意の位置に位置決めした
後可動部の位置をレーザ測長器で測定し、位置決めした
位置と測定した位置との偏差に応じて可動部の位置を補
正するものであり、各実装位置を高精度に位置決するこ
とができる。
後可動部の位置をレーザ測長器で測定し、位置決めした
位置と測定した位置との偏差に応じて可動部の位置を補
正するものであり、各実装位置を高精度に位置決するこ
とができる。
【0009】また、可動部を複数の所定位置に位置決め
した状態でそのときの可動部の位置をレーザ測長器で測
定して各所定位置における可動部の位置補正量を予め求
めておき、可動部を任意の位置に位置決めする際にその
位置における位置補正量を、複数の所定位置の位置補正
量から演算し、その位置補正量に応じて可動部の位置を
補正するものであり、適当な時期に位置補正量を求めて
おくことにより、実装時に個々の実装箇所ごとに測定す
ることなく、高速にて高精度の位置決めを行うことがで
きる。
した状態でそのときの可動部の位置をレーザ測長器で測
定して各所定位置における可動部の位置補正量を予め求
めておき、可動部を任意の位置に位置決めする際にその
位置における位置補正量を、複数の所定位置の位置補正
量から演算し、その位置補正量に応じて可動部の位置を
補正するものであり、適当な時期に位置補正量を求めて
おくことにより、実装時に個々の実装箇所ごとに測定す
ることなく、高速にて高精度の位置決めを行うことがで
きる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実装機とその位置
決め方法の一実施形態について、図1〜図6を参照して
説明する。
決め方法の一実施形態について、図1〜図6を参照して
説明する。
【0011】図1において、1はXYロボットであり、
Y軸移動テーブル2a、2b上にY軸方向に移動及び位
置決め可能にX軸移動テーブル3が配設され、X軸移動
テーブル3に実装ヘッド4がX方向に移動及び位置決め
可能に配設されている。Y軸移動テーブル2a、2b及
びX軸移動テーブル3はそれぞれ移動駆動用のモータ5
及び位置検出用のエンコーダ6を備えており、図2に示
すように、コントローラ7からの位置データに基づいて
ドライバ8を介して各モータ5を駆動し、エンコーダ6
による検出位置に基づいて偏差を検出し、偏差分だけ再
びモータ5を駆動して位置決めするように構成されてい
る。
Y軸移動テーブル2a、2b上にY軸方向に移動及び位
置決め可能にX軸移動テーブル3が配設され、X軸移動
テーブル3に実装ヘッド4がX方向に移動及び位置決め
可能に配設されている。Y軸移動テーブル2a、2b及
びX軸移動テーブル3はそれぞれ移動駆動用のモータ5
及び位置検出用のエンコーダ6を備えており、図2に示
すように、コントローラ7からの位置データに基づいて
ドライバ8を介して各モータ5を駆動し、エンコーダ6
による検出位置に基づいて偏差を検出し、偏差分だけ再
びモータ5を駆動して位置決めするように構成されてい
る。
【0012】さらに、Y軸移動テーブル2aにおけるX
軸移動テーブル3のY軸方向の位置を測定する第1のレ
ーザ測長器9aとX軸移動テーブル3における実装ヘッ
ド4のX軸方向の位置を測定する第2のレーザ測長器9
bとが設けられている。そして、上記エンコーダ6によ
る位置決め後に第1と第2のレーザ測長器9a、9bか
らの実測値を取り込み、位置決めしようとした位置と実
測値との偏差を検出し、偏差分だけ再びモータ5を駆動
して位置決めするように構成されている。
軸移動テーブル3のY軸方向の位置を測定する第1のレ
ーザ測長器9aとX軸移動テーブル3における実装ヘッ
ド4のX軸方向の位置を測定する第2のレーザ測長器9
bとが設けられている。そして、上記エンコーダ6によ
る位置決め後に第1と第2のレーザ測長器9a、9bか
らの実測値を取り込み、位置決めしようとした位置と実
測値との偏差を検出し、偏差分だけ再びモータ5を駆動
して位置決めするように構成されている。
【0013】図3に、Y軸移動テーブル2a、2bによ
るY軸移動と位置決め動作時の処理フローを示す。ステ
ップ#1でY軸移動を開始する。その際、コントローラ
7よりドライバ8を介してモータ5に移動指令が出され
る。次に、ステップ#2で指令された位置ヘY軸方向に
移動する際に、エンコーダ6からの信号により位置をカ
ウントし、その値を偏差としてさらに位置決め位置に近
づけるようにY軸移動を行う。次に、ステップ#3でそ
の偏差が規定値以下になったとき、エンコーダ6による
Y軸の位置決めが完了する。ここまでは従来例と同じで
ある。次に、ステップ#4でレーザ測長器9aによりY
軸移動の位置を実測して偏差を求め、さらに位置決め位
置に近づけるようにY軸移動を行う。そうして、ステッ
プ#5でその偏差が規定値以下になったとき最終的にY
軸の位置決めが完了する。このように、本実施形態はエ
ンコーダ6による位置決め後、さらにレーザ測長器9a
による精度の高い位置決めを行うものである。X軸移動
と位置決め動作についても同様に処理を行う。
るY軸移動と位置決め動作時の処理フローを示す。ステ
ップ#1でY軸移動を開始する。その際、コントローラ
7よりドライバ8を介してモータ5に移動指令が出され
る。次に、ステップ#2で指令された位置ヘY軸方向に
移動する際に、エンコーダ6からの信号により位置をカ
ウントし、その値を偏差としてさらに位置決め位置に近
づけるようにY軸移動を行う。次に、ステップ#3でそ
の偏差が規定値以下になったとき、エンコーダ6による
Y軸の位置決めが完了する。ここまでは従来例と同じで
ある。次に、ステップ#4でレーザ測長器9aによりY
軸移動の位置を実測して偏差を求め、さらに位置決め位
置に近づけるようにY軸移動を行う。そうして、ステッ
プ#5でその偏差が規定値以下になったとき最終的にY
軸の位置決めが完了する。このように、本実施形態はエ
ンコーダ6による位置決め後、さらにレーザ測長器9a
による精度の高い位置決めを行うものである。X軸移動
と位置決め動作についても同様に処理を行う。
【0014】また、XYロボット1の原点復帰動作時
に、Y軸移動テーブル2a、2bをエンコーダ6からの
信号との偏差により原点位置に位置決めした後、レーザ
測長器9aよりの偏差をもとに位置決めを行う。同様に
X軸移動テーブル3についてもエンコーダ6からの信号
との偏差により原点位置に位置決めした後、レーザ測長
器9bよりの偏差をもとに位置決めを行う。このように
原点位置をレーザ測長器9a、9bにて測定した絶対位
置に位置決めすることにより、原点位置の位置ずれによ
る位置決め誤差を無くすことができ、高精度の位置決め
が可能となる。
に、Y軸移動テーブル2a、2bをエンコーダ6からの
信号との偏差により原点位置に位置決めした後、レーザ
測長器9aよりの偏差をもとに位置決めを行う。同様に
X軸移動テーブル3についてもエンコーダ6からの信号
との偏差により原点位置に位置決めした後、レーザ測長
器9bよりの偏差をもとに位置決めを行う。このように
原点位置をレーザ測長器9a、9bにて測定した絶対位
置に位置決めすることにより、原点位置の位置ずれによ
る位置決め誤差を無くすことができ、高精度の位置決め
が可能となる。
【0015】次に、本発明の位置決め方法の他の実施形
態について、図4〜図6を参照して説明する。上記実施
形態では、実装ヘッド4を任意の位置に移動して位置決
めするごとに、エンコーダ6による位置決め後レーザ測
長器9a、9bによる測定結果に基づいて位置補正を行
う例を説明したが、本実施形態ではエンコーダ6による
位置決めの偏差を予めレーザ測長器9a、9bで求めて
おき、エンコーダ6による位置決め後にレーザ測長器9
a、9bによる位置検出を行うことなく、偏差による補
正量を演算して位置補正することにより位置決め誤差を
無くすものである。
態について、図4〜図6を参照して説明する。上記実施
形態では、実装ヘッド4を任意の位置に移動して位置決
めするごとに、エンコーダ6による位置決め後レーザ測
長器9a、9bによる測定結果に基づいて位置補正を行
う例を説明したが、本実施形態ではエンコーダ6による
位置決めの偏差を予めレーザ測長器9a、9bで求めて
おき、エンコーダ6による位置決め後にレーザ測長器9
a、9bによる位置検出を行うことなく、偏差による補
正量を演算して位置補正することにより位置決め誤差を
無くすものである。
【0016】まず、図4に示すように、基板を位置決め
して固定するテーブル10上の所定位置(X1,Y1)
ヘ実装ヘッド4を移動させた後、その位置をレーザ測長
器9a、9bで測定してその測定値(RX1,RY1)
を求める。この測定をテーブル10上に設定した様々な
所定位置について行う。即ち、(X1,Y1)、(X
2,Y2)、(X3,Y3)・・・(Xn,Yn)とそ
れに対応する(RX1,RY1)、(RX2,RY
2)、(RX3,RY3)・・・(RXn,RYn)を
求める。そして、移動させた位置(Xn,Yn)と実測
値(RXn,RYn)の差を各位置のオフセットとして
登録する。テーブル10上の任意の所定位置(Xn,Y
n)のオフセット量は、図5に示すように、(RXn−
Xn,RYn−Yn)=(ΔXN,ΔYN)となる。
して固定するテーブル10上の所定位置(X1,Y1)
ヘ実装ヘッド4を移動させた後、その位置をレーザ測長
器9a、9bで測定してその測定値(RX1,RY1)
を求める。この測定をテーブル10上に設定した様々な
所定位置について行う。即ち、(X1,Y1)、(X
2,Y2)、(X3,Y3)・・・(Xn,Yn)とそ
れに対応する(RX1,RY1)、(RX2,RY
2)、(RX3,RY3)・・・(RXn,RYn)を
求める。そして、移動させた位置(Xn,Yn)と実測
値(RXn,RYn)の差を各位置のオフセットとして
登録する。テーブル10上の任意の所定位置(Xn,Y
n)のオフセット量は、図5に示すように、(RXn−
Xn,RYn−Yn)=(ΔXN,ΔYN)となる。
【0017】そして、図6において、(X2,Y2)
〜(X5,Y5)の位置におけるオフセット量がそれ
ぞれ(ΔX2,ΔY2)〜(ΔX5,ΔY5)として予
め測定されて登録されているときに、例えばこれら〜
の中央のの位置に位置決めする際には、そのオフセ
ット量(ΔX1,ΔY1)を測定によって求めるのでは
なく、(ΔX1,ΔY1)=((ΔX2+ΔX3+ΔX
4+ΔX5)/4,(ΔY2+ΔY3+ΔY4+ΔY
5)/4)で求める。そして、実装ヘッド4をの位置
に位置決めするときに、このオフセット量だけ補正する
ことにより、正しい位置に高精度に位置決めすることが
できる。
〜(X5,Y5)の位置におけるオフセット量がそれ
ぞれ(ΔX2,ΔY2)〜(ΔX5,ΔY5)として予
め測定されて登録されているときに、例えばこれら〜
の中央のの位置に位置決めする際には、そのオフセ
ット量(ΔX1,ΔY1)を測定によって求めるのでは
なく、(ΔX1,ΔY1)=((ΔX2+ΔX3+ΔX
4+ΔX5)/4,(ΔY2+ΔY3+ΔY4+ΔY
5)/4)で求める。そして、実装ヘッド4をの位置
に位置決めするときに、このオフセット量だけ補正する
ことにより、正しい位置に高精度に位置決めすることが
できる。
【0018】
【発明の効果】本発明の実装機によれば、以上の説明か
ら明らかなように、エンコーダによる位置制御手段に加
えて、可動部の位置を検出するレーザ測長器を設けたの
で、可動部を位置決めした状態でレーザー測長器により
その位置を実測し、偏差分を補正することにより、容易
に高精度の位置決めを実現することができ、温度変化に
よる移動機構の伸び縮みといった変化に対しても、また
機械的なガタや部品の劣化による影響を受けずに高精度
の位置決めができる。また、エンコーダによる位置決め
位置とレーザ測長器による実測位置の偏差を検出して位
置補正する手段を設けると自動的に高精度の位置決めが
可能となる。
ら明らかなように、エンコーダによる位置制御手段に加
えて、可動部の位置を検出するレーザ測長器を設けたの
で、可動部を位置決めした状態でレーザー測長器により
その位置を実測し、偏差分を補正することにより、容易
に高精度の位置決めを実現することができ、温度変化に
よる移動機構の伸び縮みといった変化に対しても、また
機械的なガタや部品の劣化による影響を受けずに高精度
の位置決めができる。また、エンコーダによる位置決め
位置とレーザ測長器による実測位置の偏差を検出して位
置補正する手段を設けると自動的に高精度の位置決めが
可能となる。
【0019】また、本発明の実装機の位置決め方法によ
れば、可動部の原点復帰後の位置をレーザ測長器で測定
して原点位置を補正することにより、位置決めの基準と
なる原点位置を絶対位置で設定できて高精度の位置決め
ができる。
れば、可動部の原点復帰後の位置をレーザ測長器で測定
して原点位置を補正することにより、位置決めの基準と
なる原点位置を絶対位置で設定できて高精度の位置決め
ができる。
【0020】また、可動部を任意の位置に位置決めした
後可動部の位置をレーザ測長器で測定し、位置決めした
位置と測定した位置との偏差に応じて可動部の位置を補
正することにより、各実装位置を高精度に位置決めする
ことができる。
後可動部の位置をレーザ測長器で測定し、位置決めした
位置と測定した位置との偏差に応じて可動部の位置を補
正することにより、各実装位置を高精度に位置決めする
ことができる。
【0021】また、可動部を複数の所定位置に位置決め
した状態でそのときの可動部の位置をレーザ測長器で測
定して各所定位置における可動部の位置補正量を予め求
めておき、可動部を任意の位置に位置決めする際にその
位置における位置補正量を複数の所定位置の位置補正量
から演算し、その位置補正量に応じて可動部の位置を補
正することにより、実装時に個々の実装箇所ごとに測定
することなく、高速にて高精度の位置決めを行うことが
できる。
した状態でそのときの可動部の位置をレーザ測長器で測
定して各所定位置における可動部の位置補正量を予め求
めておき、可動部を任意の位置に位置決めする際にその
位置における位置補正量を複数の所定位置の位置補正量
から演算し、その位置補正量に応じて可動部の位置を補
正することにより、実装時に個々の実装箇所ごとに測定
することなく、高速にて高精度の位置決めを行うことが
できる。
【図1】本発明の一実施形態における実装機におけるレ
ーザ測長器の配置状態を示す平面図である。
ーザ測長器の配置状態を示す平面図である。
【図2】同実施形態における実装ヘッドの移動・位置決
め手段の構成図である。
め手段の構成図である。
【図3】同実施形態における移動・位置決め動作処理の
フローチャートである。
フローチャートである。
【図4】本発明の他の実施形態における位置決め位置と
測定位置の説明図である。
測定位置の説明図である。
【図5】同実施形態におけるオフセット量の説明図であ
る。
る。
【図6】同実施形態における非測定位置でのオフセット
量の説明図である。
量の説明図である。
【図7】従来例における実装機の概略構成を示す斜視図
である。
である。
【図8】従来例における実装ヘッドの移動・位置決め手
段の構成図である。
段の構成図である。
4 実装ヘッド(可動部) 5 モータ 6 エンコーダ 7 コントローラ 9a、9b レーザ測長器
Claims (6)
- 【請求項1】 可動部をモータにて駆動しかつ可動部の
位置をエンコーダにて検出して位置制御するように構成
された実装機において、可動部の位置を検出するレーザ
測長器を備えたことを特徴とする実装機。 - 【請求項2】 エンコーダによる位置決め位置とレーザ
測長器による実測位置の偏差を検出して位置補正する手
段を設けたことを特徴とする請求項1記載の実装機。 - 【請求項3】 可動部が実装ヘッドであり、水平面上の
互いに直交するX、Y2方向における実装ヘッドのそれ
ぞれの位置をエンコーダおよびレーザ測長器で検出する
ものである請求項1又は2記載の実装機。 - 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の実装機におい
て、可動部の原点復帰後の位置をレーザ測長器で測定し
て原点位置を補正することを特徴とする実装機の位置決
め方法。 - 【請求項5】 請求項1、2又は3記載の実装機におい
て、可動部を任意の位置に位置決めした後可動部の位置
をレーザ測長器で測定し、位置決めした位置と測定した
位置との偏差に応じて可動部の位置を補正することを特
徴とする実装機の位置決め方法。 - 【請求項6】 請求項1、2又は3記載の実装機におい
て、可動部を複数の所定位置に位置決めした状態でその
ときの可動部の位置をレーザ測長器で測定して各所定位
置における可動部の位置補正量を予め求めておき、可動
部を任意の位置に位置決めする際にその位置における位
置補正量を、複数の所定位置の位置補正量から比例演算
し、その位置補正量に応じて可動部の位置を補正するこ
とを特徴とする実装機の位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10089785A JPH11289197A (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | 実装機及びその位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10089785A JPH11289197A (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | 実装機及びその位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11289197A true JPH11289197A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=13980347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10089785A Pending JPH11289197A (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | 実装機及びその位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11289197A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100634722B1 (ko) | 2003-03-10 | 2006-10-17 | 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 | 이동식 갠트리 위치 측정 장치 |
| JP2007323111A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Ishikawajima Transport Machinery Co Ltd | 位置決め制御装置 |
-
1998
- 1998-04-02 JP JP10089785A patent/JPH11289197A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100634722B1 (ko) | 2003-03-10 | 2006-10-17 | 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 | 이동식 갠트리 위치 측정 장치 |
| JP2007323111A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Ishikawajima Transport Machinery Co Ltd | 位置決め制御装置 |
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