JPH11293224A

JPH11293224A - シリコンウエハー用仮着接着剤及びその精製方法

Info

Publication number: JPH11293224A
Application number: JP10094199A
Authority: JP
Inventors: Kyoichi Yamamoto; 恭一山本; Shigeto Kondo; 繁人近藤
Original assignee: Inctec Inc
Current assignee: Inctec Inc
Priority date: 1998-04-07
Filing date: 1998-04-07
Publication date: 1999-10-26

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、ロジン系仮着接着剤であって、金
属イオンや腐蝕性イオンの含有量が極めて低く、半導体
デバイスに影響を与えることの少ないシリコンウエハー
用仮着接着剤、及びその精製方法を提供することにあ
る。【解決手段】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤
は、ロジンまたはその誘導体またはロジンの二塩基酸の
変性物の単独またはその混合物からなり、そのナトリウ
ム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金
属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオ
ン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオ
ン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオ
ン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以下、
アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下であ
り、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下であ
り、また、精製方法としては、ロジン類を酸抽出処理工
程とイオン交換工程の組み合わせにより精製し、シリコ
ンウエハー用仮着接着剤とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハー
用仮着接着剤に関し、精密切断、穴開け、研磨加工や、
ウエハと定盤との間の仮着といったような種々の加工の
際の仮着に有用な接着剤に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体業界においては、コストダウン並
びに技術革新のテンポが早く、例えばコストダウンの観
点からは、２００ｍｍφから３００ｍｍφへとシリコン
ウエハーの大口径化が要請され、加工性がより困難とな
るものであり、また、ファインパターン化の観点からは
０．２５μｍから０．１８μｍへと配線パターンの微細
化とか、更に、高密度化の観点からは１６Ｍビットから
６４Ｍビットへと高集積化をそれぞれ指向した技術開発
が活発化している。

【０００３】このように、半導体デバイスの微細化が進
むにつれ、様々な汚染（パーティクル、金属イオン、腐
蝕性イオン、有機物、酸化膜等）が半導体の信頼性、製
造歩留りに大きな影響を及ぼしている。この内、金属イ
オン汚染によるデバイス特性の劣化にはｐｎ接合リーク
の問題があり、また、腐蝕性イオンによる劣化も大き
い。そのため、シリコンウエハー用仮着接着剤にあって
も、その金属イオンや腐蝕性イオン含有量を低減し、よ
り高純度のものが求められている。

【０００４】従来、シリコンウエハーとセラミック定盤
との融着に使用される仮着接着剤としては、低金属イオ
ン量の観点からエポキシ系、アクリル系等の合成樹脂系
のものが原料モノマー及び合成プロセスとして脱金属工
程を容易に組み込める観点から提案されているが、シリ
コンウエハーとの固着強度、カミソリ剥離性、洗浄性等
の性能の面でのバランスの取りやすさから、ロジン系仮
着接着剤が多用されている。

【０００５】天然ロジンは、松脂を溶剤抽出後、温浴で
固形化されたものであり、種々の樹脂酸の混合物から成
り、共役二重結合を有するアビエチン酸を主体とするも
のであるが、水添化、エステル化、重合、マレイン化等
種々の変性化が可能であり、シリコンウエハー用仮着接
着剤としての要求特性にマッチングしやい利点を有す
る。そして、松脂を溶剤抽出後、温浴で固形化された状
態の生ロジン（クルードガムロジン）は中国が最大の産
出国であり、亜鉛引きのドラム缶で輸出されているが、
このような生ロジン（クルードガムロジン）は不純物を
多量に混入しており、国内のロジンメーカーでは水蒸気
蒸留、再溶剤抽出やフィルタリング等でゴミ、砂、金属
等を除去している。このような処理を経たロジンは、一
般には、印刷インキ材料として多用されており、この分
野では金属イオン等の不純物は格別問題とはされていな
いが、数千ｐｐｂレベルの金属イオンを含有し、また、
無視できない腐蝕性イオンを含有する。このようなロジ
ン類を半導体ウエハの仮着接着剤として使用すると、特
に、Ｓｎ、ニッケル等の金属イオンのシリコンウエハー
への吸着性が強く、洗浄しきれないため、シリコンウエ
ハー用仮着接着剤として金属イオンをイオン交換法やキ
レート処理法により一部除去して使用されている。

【０００６】しかし、通常の脱金属イオン法であるイオ
ン交換法やキレート処理法によっては、カルシウムイオ
ン、鉄イオン、アルミニウムイオン等の除去率が悪く、
ロジン類に通常含有される金属イオン種の総含有量を５
０ｐｐｂ以下とすることは非常に困難であるのが現状で
ある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ロジン系仮
着接着剤であって、金属イオンや腐蝕性イオンの含有量
が極めて低く、半導体デバイスに影響を与えることの少
ないシリコンウエハー用仮着接着剤及びその精製方法を
提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく鋭意検討した結果、ロジン系仮着接着剤に
おいて、金属イオン総含有量を５０ｐｐｂ以下、かつ腐
蝕性イオン種をそれぞれ１０ｐｐｂ以下とでき、半導体
デバイスの機能に影響を及ぼさないレベルのシリコンウ
エハー用仮着接着剤及び精製方法を提供しうることを見
出した。

【０００９】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤
は、シリコンウエハーを加工処理する際に一時的に仮着
しておくために使用するアルカリ水溶液可溶性接着剤で
あって、ロジンまたはその誘導体またはロジンの二塩基
酸の変性物の単独またはその混合物からなり、そのナト
リウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウ
ム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属
イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イ
オン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イ
オン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以
下、アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下
であり、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下で
あることを特徴とする。

【００１０】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤に
は、天然シェラックまたは合成シェラックを４０％重量
％の割合でさらに含有してもよいものである。

【００１１】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤に
は、可塑剤をさらに含有してもよいものである。

【００１２】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤の
精製方法は、ロジンまたはその誘導体またはロジンの二
塩基酸の変性物の単独又はその混合物を芳香族炭化水素
溶媒に溶解した後、無機酸水溶液を添加し、酸抽出処理
法で有機相を分取し、更に、分取した有機相をイオン交
換法により精製し、ナトリウム金属イオン、カルシウム
金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオ
ン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオ
ン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、
カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞ
れの含有量を１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオン
の含有量を２０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総
含有量を５０ｐｐｂ以下とすることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】接着剤主成分であるロジン類とし
ては、ロジン、ロジンエステル、部分または水添ロジ
ン、重合ロジン、またはこれらのロジン樹脂とマレイン
酸等の二塩基酸との変性ロジンまたはそれらのエステル
誘導体等の少なくとも１種が挙げられ、その酸価が７０
ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のものであり、アルカリ水溶液可溶
性とするものである。ロジン類としては、荒川化学工業
（株）製の「白菊ロジン」、理化ハーキュレス（株）製
の「フォーラルＡＸ」、同「ポリペールロジン」、同
「ペンタリン８３０」等で市販されるものが例示され
る。

【００１４】本発明におけるロジン類は、酸抽出処理工
程−イオン交換操作の二工程からなる精製方法により精
製される。

【００１５】（１）酸抽出処理工程としては、市販ロ
ジン類をトルエン、キシレン、ベンゼン等の芳香族炭化
水素溶媒、好ましくはトルエンに溶解し、５０％溶液と
した後、５％の塩酸、硫酸、硝酸等の酸水溶液を添加し
て、金属イオンをコロイド状沈殿物とし、次いで、コロ
イド状沈殿物を有する水性相を有機相から分別除去す
る。この操作を数回繰り返したのち、超純水で洗浄し、
次いで分取した有機相を乾燥し、水分を除去する。

【００１６】この酸抽出処理工程を、液温を２０℃とし
て実施することにより、ナトリウム金属イオン、カルシ
ウム金属イオン、亜鉛金属イオン、錫金属イオン、鉛金
属イオン、カリウム金属イオンを８０％以上除去でき、
また、マグネシウム金属イオン、アルミニウム金属イオ
ン、鉄金属イオン、銅金属イオン、クロム金属イオンを
６０％〜８０％除去できる。また、液温を上昇させると
更に高い除去率とできる。ただ、酸抽出処理工程ではニ
ッケル金属イオンの除去率は２０％以下と低く、また、
塩素イオン、硫酸イオン等の腐蝕イオンは除去されな
い。

【００１７】（２）次に、酸抽出処理工程で得た有機
相をイオン交換操作に付す。イオン交換操作は、カチオ
ン交換樹脂（三菱化学社製「ダイヤイオンＰＫ２２８Ｌ
Ｕ」、強酸性樹脂でポーラス型樹脂）とアニオン交換樹
脂（三菱化学社製「ダイヤイオンＰＡ３１８」）の３／
１（重量比）混合品をカラム（２０ｍｍφ×５００ｍｍ
Ｈ）に充填し、酸抽出処理工程で得た有機相を通液
（３．３ｇ／ｍｉｎ．）する。

【００１８】このイオン交換操作により、市販ロジン類
に含有するナトリウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄
金属イオンを９５％以上、マグネシウム金属イオン、ア
ルミニウム金属イオンを９０％程度、カルシウム金属イ
オン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオ
ン、鉛金属イオン、カリウム金属イオン、クロム金属イ
オンを１００％近く除去でき、痕跡量とでき、総金属イ
オン含有量を５０ｐｐｂ以下とすることができる。ま
た、塩素イオン、硫酸イオン等の腐蝕性イオン量も９０
％程度除去できる。

【００１９】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤に
は、天然シェラックまたは合成シェラックを接着性、溶
融粘度の向上等を目的として含有させてもよい。シェラ
ック樹脂としては、天然シェラック樹脂、合成シェラッ
ク樹脂が挙げられ、市販品としては岐阜シエラック
（株）製「商品名、セラックＧＳ」、興洋化学（株）製
「商品名、セラックＨＫ」等の酸価が７０ｍｇＫＯＨ／
ｇ以上のアルカリ可溶性のものを使用するとよい。シェ
ラック樹脂は、ロジン類に対して４０重量％以下、好ま
しくは５重量％〜３５重量％の割合で添加してもよい
が、多すぎると接着性が強くなり、また、溶融粘度が高
くなるので好ましくない。

【００２０】シェラック樹脂における金属イオンの含有
量は、通常、２×１０⁴ｐｐｂのオーダーであるので、
ロジン類と同様の処理方法により脱金属イオン処理を施
し、５０ｐｐｂ以下のオーダーとしておくとよい。

【００２１】次に、可塑剤としては、トルエンスルホン
酸エチルアミド、フタル酸エステル系化合物、オキシ酸
エステル系化合物および脂肪族二塩基酸エステル系化合
物からなる群から選ばれる１種或は２種以上の混合物を
挙げることができ、好ましくはトルエンスルホン酸エチ
ルアミドである。可塑剤は、軟化点、粘度、展延性を目
的として添加されるものであり、ロジン類に対して、３
重量％〜３０重量％の割合で添加してもよいが、多すぎ
ると軟らかくなりすぎるので好ましくない。

【００２２】ロジン類、シェラック樹脂、可塑剤等の成
分は、イソプロピルアルコール、トルエン等の有機溶媒
に固型分濃度２０重量％〜５０重量％の溶液として、シ
リコンウエハー用仮着接着剤とされる。

【００２３】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤に
あっては、ロジン類を主成分とするが、接着剤全体とし
て、そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオ
ン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属
イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イ
オン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属
イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が
１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２
０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０
ｐｐｂ以下とするとよい。

【００２４】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤
は、ウエハまたは定盤上にスピンコーター法、スプレー
法等により塗布され、溶媒が除去された後、加熱圧着さ
れるか、または、溶媒を除去して固型接着剤とし、ウエ
ハまたは定盤上に溶融塗布されて加熱圧着することによ
り、ウエハは定盤上に確実に固定される。こうして固定
されたウエハに対して、アルカリ研磨液による研磨加工
等が施され、加工後にはスクレバー、ナイフ等を利用し
て定盤上から剥離される。

【００２５】接着剤はウエハと定盤との接着固定を図
り、研磨時における４０℃〜５０℃の昇温やアルカリ研
磨液に耐えて、鏡面研磨に到達することが必要であると
共に、研磨加工後には、例えばカミソリの刃先をウエハ
の接着面に挿入し、一挙に剥離しうることが求められる
が、この両者を達成するためには、接着強度が２５ｋｇ
／ｃｍ²〜３５ｋｇ／ｃｍ²程度であることが必要であ
る。剥離されたウエハに付着している接着剤は、一次洗
浄をアルカリ性の洗浄剤で、次いで仕上げリンスを純水
で行うことにより除去される。

【００２６】アルカリ性洗浄剤としては、テトラメチル
アンモニウムオキサイド、アルカノールアミン、アミノ
アルコール、水溶性アミン類等の有機アミン水溶液を使
用するとよく、金属イオンを混入させるものは避けるの
が好ましい。

【００２７】

【実施例】次に、本発明を実施例および比較例により具
体的に説明する。

【００２８】（実施例１）（酸抽出処理工程）ロジン（理化ハーキュレス（株）製
の「フォーラルＡＸ」、酸価１６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）の
５０重量％トルエン溶液１００重量部に、５％塩酸水溶
液を５重量部添加し、１時間攪拌後、静置し、コロイド
状沈殿物を分散した水性相を分液ロートで除去した。こ
の操作をコロイド状沈殿物の発生が認められなくなるま
で繰り返した後、有機相を超純水で洗浄し、静置分液法
及び遠心沈降法により層分離させ、分液法で水分を除去
した。

【００２９】（イオン交換工程）次いで、カチオン交換
樹脂（三菱化学社製「ダイヤイオンＰＫ２２８ＬＵ」）
とアニオン交換樹脂（三菱化学社製「ダイヤイオンＰＡ
３１８」）の３／１（重量比）混合品をカラム（２０ｍ
ｍφ×５００ｍｍＨ）に充填し、コンディショニング条
件を２０００ｇ／Ｌ−Ｒ（８％塩酸）で、上記の酸抽出
処理工程で得た有機相を通液（３．３ｇ／ｍｉｎ．）し
た。

【００３０】（評価法）処理前のトルエン溶液、及び酸
抽出処理工程、イオン交換工程でそれぞれ得られた処理
液の３種類を、固形分が３０重量％となるようにイソプ
ロピルアルコールで希釈して試料とし、それぞれの金属
イオン含有量、腐蝕性イオンの含有量の定量分析を実施
した。

【００３１】（分析方法）（１）Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｎｉ、Ｃ
ｕ、Ｚｎ、Ａｌの各金属イオンについて試料を白金製容器に秤取し、電気炉（５５０℃）で加熱
灰化した。これを希塩酸で処理した後、希硝酸に溶解し
て定容とした。

【００３２】得られた溶液について原子吸光分析法（日
立（株）製「偏光ゼーマン原子吸光光度計１８０−８
０」）でＮａの測定を、フレームレス原子吸光分析法
（日立（株）製「偏光ゼーマン原子吸光光度計Ｚ８２７
０」）でＫ、Ｃｕの測定を、ＩＣＰ質量分析法（セイコ
ー電子工業（株）製「ＩＣＰ質量分析装置ＳＰＱ６５０
０」）でＭｇ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ａｌの測定を、ＩＣ
Ｐ発光分光分析法（セイコー電子工業（株）製「シーケ
ンシャル型ＩＣＰ発光分光分析装置ＳＰＳ４０００」）
でＦｅ、Ｃａの測定を行い、試料中の含有量を求めた。

【００３３】（２）Ｐｂ、Ｓｎの各金属イオンについ
て試料をテフロンビーカーに秤取し、硫酸、硝酸及び過塩
素酸で加熱分解した後、希硝酸に溶解して定容とした。

【００３４】この溶液について、ＩＣＰ質量分析法（セ
イコー電子工業（株）製「ＩＣＰ質量分析装置ＳＰＱ６
５００」）でＰｂ、Ｓｎの測定を行い、試料中の含有量
を求めた。

【００３５】処理前の試料及び酸抽出処理工程後の試
料、更に、酸抽出処理工程とイオン交換工程を経た試料
における金属イオン含有量についての測定結果を下記の
表１に示す。なお、処理前の試料において、他の金属イ
オンは痕跡量である。

【００３６】

【表１】

【００３７】尚、含有量はｐｐｂである。また、各工程
の除去率は下記式より求めた。

【００３８】表１から、ロジン類におけるナトリウム金属イオン、カ
ルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金
属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属
イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオ
ン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそ
れぞれの含有量を１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イ
オンの含有量を２０ｐｐｂ以下とでき、かつ、金属イオ
ン総含有量を５０ｐｐｂ以下とできることがわかる。

【００３９】（シリコンウエハー用仮着接着剤の作製）
上記で精製したロジン５０重量％トルエン溶液６０重量
部に、トルエンスルホン酸エチルアミド（富士アミドケ
ミカル社製、トップサイザーＮｏ．３）を３重量部混合
し、更に、混合溶剤｛イソプロピルアルコール／トルエ
ン（重量比）＝２／１｝を４７重量部加えて、固形分３
０重量％の液状のシリコンウエハー用仮着接着剤を調製
した。

【００４０】（実施例２）実施例１におけるロジン（理
化ハーキュレス（株）製の「フォーラルＡＸ」、酸価１
６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）に代えて、ロジン（荒川化学工業
（株）製の「白菊ロジン」、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／
ｇ）を使用し、同様に処理したところ、ナトリウム金属
イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオ
ン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニ
ッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロ
ム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸
イオンのそれぞれの含有量を１０ｐｐｂ以下、アルミニ
ウム金属イオンの含有量を２０ｐｐｂ以下とでき、か
つ、金属イオン総含有量を５０ｐｐｂ以下とできること
を確認した。

【００４１】（比較例１）実施例１で使用したロジン
（理化ハーキュレス（株）製の「フォーラルＡＸ」、酸
価１６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）の５０重量％トルエン溶液
を、酸抽出処理工程を経ないで、実施例１と同様のカラ
ムに通液（３．３ｇ／ｍｉｎ．）した。

【００４２】（評価法）処理液を、固形分が３０重量％
となるようにトルエン／イソプロピルアルコール（７／
３）の混合溶媒で希釈し、試料とし、それぞれのＮａ、
Ａｌ、Ｆｅ、Ｚｎの各金属イオンについて、実施例１同
様に測定した。

【００４３】その結果を、表２に示す。含有量の単位は
ｐｐｂである。

【００４４】

【表２】

【００４５】イオン交換法のみであると、Ｎａ、Ａｌ、
Ｆｅ、Ｚｎの各金属イオンの含有量のみでも、依然とし
て多量に残存することがわかる。

【００４６】（比較例２）ロジン（荒川化学工業（株）
製の「白菊ロジン」、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／ｇ）の５
０重量％トルエン溶液を試料とし、カラム（２０ｍｍφ
×５００ｍｍＨ）にカチオン交換樹脂（三菱化学社製
「ダイヤイオンＰＫ２２８ＬＨ」５０ｍｌ−Ｒ）を充填
し、コンディショニング条件を２０００ｇ／Ｌ−Ｒ（８
％塩酸）で、通液Ｓ．Ｖ（１．８ｈ^-1）した。

【００４７】また、カチオン交換樹脂（三菱化学社製
「ダイヤイオンＰＫ２２８ＬＨ」５０ｍｌ−Ｒ）、イミ
ノジ酢酸型キレート樹脂（三菱化学社製「ＣＲ１１」５
０ｍｌ−Ｒ）に代えて、同様にカラム（２０ｍｍφ×５
００ｍｍＨ）に充填し、コンディショニング条件を２０
００ｇ／Ｌ−Ｒ（８％塩酸）で、通液Ｓ．Ｖ（１．８ｈ
^-1）した。

【００４８】（評価法）各処理液を、固形分が３０重量
％となるようにトルエン／イソプロピルアルコール（７
／３）の混合溶媒で希釈し、それぞれ試料とし、それぞ
れのＮａ、Ａｌの各金属イオン含有量を実施例１同様に
測定した。

【００４９】それぞれの結果を、表３に示す。含有量の
単位はｐｐｂである。

【００５０】

【表３】

【００５１】なお、上記の表で、例えば「 0-5 L/L-R
」の記載は、処理条件として、試料を通液しはじめ
（ 0 L/L-R ）てから、５倍量流れた（５ L/L-R）通液
をサンプリングしたことを示す。

【００５２】表３から、イオン交換樹脂を変えたり、ま
た、キレート剤に変えても、比較例２同様にＮａ、Ａｌ
の各金属イオンの含有量のみでも、依然として多量に残
存することがわかる。

【００５３】

【発明の効果】本発明のシリコンウエハー用仮着接着剤
は、その金属含有量、腐蝕性イオン含有量が極めて低
く、半導体デバイスの微細化に対応した接着剤、及びそ
の精製方法である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリコンウエハーを加工処理する際に一
時的に仮着しておくために使用するアルカリ水溶液可溶
性接着剤であって、ロジンまたはその誘導体またはロジ
ンの二塩基酸の変性物の単独またはその混合物からな
り、そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオ
ン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属
イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イ
オン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属
イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が
１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２
０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０
ｐｐｂ以下であることを特徴とするシリコンウエハー用
仮着接着剤。
【請求項２】天然シェラックまたは合成シェラックを
４０重量％以下の割合でさらに含有することを特徴とす
る請求項１記載のシリコンウエハー用仮着接着剤。
【請求項３】可塑剤をさらに含有することを特徴とす
る請求項１または請求項２記載のシリコンウエハー用仮
着接着剤。
【請求項４】ロジンまたはその誘導体またはロジンの
二塩基酸の変性物の単独またはその混合物を芳香族炭化
水素溶媒に溶解した後、無機酸水溶液を添加し、酸抽出
処理法で有機相を分取し、更に、分取した有機相をカチ
オン交換樹脂とアニオン交換樹脂との混合樹脂を使用し
たイオン交換法により精製し、そのナトリウム金属イオ
ン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、
亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケ
ル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金
属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオ
ンのそれぞれの含有量を１０ｐｐｂ以下、アルミニウム
金属イオンの含有量を２０ｐｐｂ以下とし、かつ、金属
イオン総含有量を５０ｐｐｂ以下とすることを特徴とす
るシリコンウエハー用仮着接着剤の精製方法。