JPH11296845A - 磁気ディスク媒体および磁気記録装置 - Google Patents
磁気ディスク媒体および磁気記録装置Info
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- JPH11296845A JPH11296845A JP10120079A JP12007998A JPH11296845A JP H11296845 A JPH11296845 A JP H11296845A JP 10120079 A JP10120079 A JP 10120079A JP 12007998 A JP12007998 A JP 12007998A JP H11296845 A JPH11296845 A JP H11296845A
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- Y10S977/932—Specified use of nanostructure for electronic or optoelectronic application
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パターンメディア構造を採用し、フリンジン
グの問題がなく、しかもデータの高転送レート化も可能
な磁気ディスク媒体および磁気記録装置を提供する。 【解決手段】 本発明の磁気ディスク媒体は、ディスク
状の基板、この基板上に情報を磁気的に記録する磁性部
材で形成され、同心円状またはスパイラル状に、周方向
および半径方向に間隔を置かれて配置された多数の単位
微小記録部と、前記基板上であって、各単位微小記録部
間を埋める非磁性材料で形成された非記録部とを備え、
前記単位微小記録部が、長軸と短軸とを有する形状を備
え、その長軸方向が基板の半径方向に配置されているこ
とを特徴とする。
グの問題がなく、しかもデータの高転送レート化も可能
な磁気ディスク媒体および磁気記録装置を提供する。 【解決手段】 本発明の磁気ディスク媒体は、ディスク
状の基板、この基板上に情報を磁気的に記録する磁性部
材で形成され、同心円状またはスパイラル状に、周方向
および半径方向に間隔を置かれて配置された多数の単位
微小記録部と、前記基板上であって、各単位微小記録部
間を埋める非磁性材料で形成された非記録部とを備え、
前記単位微小記録部が、長軸と短軸とを有する形状を備
え、その長軸方向が基板の半径方向に配置されているこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク媒体およ
び磁気記録装置に関し、さらに詳細には、主に計算機周
辺記録装置に使用される磁気ディスク媒体および磁気記
録装置に関する。
び磁気記録装置に関し、さらに詳細には、主に計算機周
辺記録装置に使用される磁気ディスク媒体および磁気記
録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】計算機の記録容量の増大に伴って、磁気
記録装置の記録容量はますます大容量化される傾向にあ
る。面記録密度を向上する上では、磁気ヘッドから発生
する信号磁界によって形成される磁気ディスク媒体の磁
気記録層中の記録磁区列をいかに微細化できるかがポイ
ントである。
記録装置の記録容量はますます大容量化される傾向にあ
る。面記録密度を向上する上では、磁気ヘッドから発生
する信号磁界によって形成される磁気ディスク媒体の磁
気記録層中の記録磁区列をいかに微細化できるかがポイ
ントである。
【０００３】記録磁区を微細化する上では、磁気記録層
に最近接する磁気ヘッドの先端部と磁気記録層との間隔
を狭くすること、磁気ヘッド先端部から空間的に発散す
る磁界によるにじみ（フリンジング）を極力低減するこ
となどが重要である。
に最近接する磁気ヘッドの先端部と磁気記録層との間隔
を狭くすること、磁気ヘッド先端部から空間的に発散す
る磁界によるにじみ（フリンジング）を極力低減するこ
となどが重要である。
【０００４】また、磁気記録層を含む磁気ディスク媒体
としては、低ノイズ化のため、薄膜の結晶微細化と低Ｂ
ｒ化、そして結晶粒間の交換相互作用の低減が行なわれ
てきた。
としては、低ノイズ化のため、薄膜の結晶微細化と低Ｂ
ｒ化、そして結晶粒間の交換相互作用の低減が行なわれ
てきた。
【０００５】媒体の結晶粒・異方性エネルギーの分散の
制御、配向性の制御、交換結合の低減、そして磁化安定
構造の採用により、媒体ノイズを抑制することによっ
て、磁化転移幅の低減化や記録にじみの低減を図った
り、記録磁区のサイドフリンジ低減を目的として互いに
隣接する記録トラック部間に非磁性の材料で作られたガ
ードバンド部材を具備した薄膜磁気ディスクの提案もな
されている（特開平９−９７４１９号公報参照）。
制御、配向性の制御、交換結合の低減、そして磁化安定
構造の採用により、媒体ノイズを抑制することによっ
て、磁化転移幅の低減化や記録にじみの低減を図った
り、記録磁区のサイドフリンジ低減を目的として互いに
隣接する記録トラック部間に非磁性の材料で作られたガ
ードバンド部材を具備した薄膜磁気ディスクの提案もな
されている（特開平９−９７４１９号公報参照）。
【０００６】高面記録密度化においては、記録層の垂直
方向に磁化容易軸を持つ垂直磁気記録や膜面内のトラッ
ク方向に磁化容易軸を有する横手磁気記録などがあり、
通常の長手記録と比べ反磁界による減磁が小さいため、
より高密度な記録が期待されている。また、基板上の有
機膜やＳｉ系膜である非磁性膜面上に物理的な凹凸を設
け、凹部内に磁性薄膜を埋め込み単位微小記録部とした
パターンメディアを用いた磁気ディスク媒体も提案され
ているが、その具体的な磁気ヘッドや記録方式の提案は
未だなされていない。
方向に磁化容易軸を持つ垂直磁気記録や膜面内のトラッ
ク方向に磁化容易軸を有する横手磁気記録などがあり、
通常の長手記録と比べ反磁界による減磁が小さいため、
より高密度な記録が期待されている。また、基板上の有
機膜やＳｉ系膜である非磁性膜面上に物理的な凹凸を設
け、凹部内に磁性薄膜を埋め込み単位微小記録部とした
パターンメディアを用いた磁気ディスク媒体も提案され
ているが、その具体的な磁気ヘッドや記録方式の提案は
未だなされていない。
【０００７】上記のようなパターンメディアを用いた磁
気ディスク媒体（符号１００で示した）としては、図３
および図４に示したように、ディスク状の基板１０２、
この基板１０２上に情報を磁気的に記録する磁性部材で
形成され、同心円状に、周方向および半径方向に間隔を
置かれて配置された多数の単位微小記録部１０４と、前
記基板上であって、各単位微小記録部間を埋める非磁性
材料で形成された非記録部１０６とを備える。図３に示
されたものにあっては、前記単位微小記録部１０４が、
長軸と短軸とを有する長方体形状であり、その長軸方向
が基板の円周方向に配置されており、図４に示されたも
のにあっては、前記単位微小記録部１０４がほぼ立方体
形状のものである。このような単位微小記録部を有する
磁気ディスク媒体においては、各単位微小記録部が非磁
性材料によって隔てられ、個々に独立しているため、隣
合う単位微小記録部同士のフリンジングは解消された
が、図３に示された構造のものでは、データ転送レート
の向上が必ずしも満足の行くものではなく、一方、図４
に示された構造のものでは、記録磁極として垂直磁気記
録を行なうためにリターンパスや媒体軟磁性下地層を設
けて記録磁界をエンハンスするなどの工夫が必要という
問題がある。
気ディスク媒体（符号１００で示した）としては、図３
および図４に示したように、ディスク状の基板１０２、
この基板１０２上に情報を磁気的に記録する磁性部材で
形成され、同心円状に、周方向および半径方向に間隔を
置かれて配置された多数の単位微小記録部１０４と、前
記基板上であって、各単位微小記録部間を埋める非磁性
材料で形成された非記録部１０６とを備える。図３に示
されたものにあっては、前記単位微小記録部１０４が、
長軸と短軸とを有する長方体形状であり、その長軸方向
が基板の円周方向に配置されており、図４に示されたも
のにあっては、前記単位微小記録部１０４がほぼ立方体
形状のものである。このような単位微小記録部を有する
磁気ディスク媒体においては、各単位微小記録部が非磁
性材料によって隔てられ、個々に独立しているため、隣
合う単位微小記録部同士のフリンジングは解消された
が、図３に示された構造のものでは、データ転送レート
の向上が必ずしも満足の行くものではなく、一方、図４
に示された構造のものでは、記録磁極として垂直磁気記
録を行なうためにリターンパスや媒体軟磁性下地層を設
けて記録磁界をエンハンスするなどの工夫が必要という
問題がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、上
記と同様パターンメディア構造を採用し、フリンジング
の問題がなく、しかもデータの高転送レート化も可能な
磁気ディスク媒体および磁気記録装置を提供することを
目的とするものである。
記と同様パターンメディア構造を採用し、フリンジング
の問題がなく、しかもデータの高転送レート化も可能な
磁気ディスク媒体および磁気記録装置を提供することを
目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、下記の本
発明（１）〜（５）により達成される。 （１） ディスク状の基板と、この基板上に情報を磁気
的に記録する磁性部材で形成され、同心円状またはスパ
イラル状に、周方向および半径方向に間隔を置かれて配
置された多数の単位微小記録部と、前記基板上であっ
て、各単位微小記録部間を埋める非磁性材料で形成され
た非記録部とを備え、前記単位微小記録部が、長軸と短
軸とを有する形状を備え、その長軸方向が基板の半径方
向に配置された磁気ディスク媒体。 （２） 前記単位微小記録部は、単磁区構造からなり、
その磁化容易軸がその長軸方向に配置されている上記
（１）の磁気ディスク媒体。 （３） 上記（１）または（２）の磁気ディスク媒体に
対して情報の書込みおよび／または読出しを行なう磁気
ヘッドを備える磁気ディスク装置であって、前記磁気ヘ
ッドは、磁気ギャップを挟んで磁気回路を形成する上部
磁性薄膜および下部磁性薄膜と、前記磁気回路と交差す
る導体コイルとを備え、前記磁気ギャップ線の方向が前
記磁気ディスク媒体の円周方向に配置されている磁気記
録装置。 （４） 前記磁気ヘッドが、磁極の幅方向に成膜・積層
することにより、狭磁極幅を有する薄膜磁気ヘッドであ
る上記（３）の磁気記録装置。 （５） 前記上部磁性薄膜および下部磁性薄膜によって
形成された上部および下部磁極の媒体半径方向の長さが
媒体側の端部において徐々に小さくされている上記
（３）または（４）の磁気記録装置。
発明（１）〜（５）により達成される。 （１） ディスク状の基板と、この基板上に情報を磁気
的に記録する磁性部材で形成され、同心円状またはスパ
イラル状に、周方向および半径方向に間隔を置かれて配
置された多数の単位微小記録部と、前記基板上であっ
て、各単位微小記録部間を埋める非磁性材料で形成され
た非記録部とを備え、前記単位微小記録部が、長軸と短
軸とを有する形状を備え、その長軸方向が基板の半径方
向に配置された磁気ディスク媒体。 （２） 前記単位微小記録部は、単磁区構造からなり、
その磁化容易軸がその長軸方向に配置されている上記
（１）の磁気ディスク媒体。 （３） 上記（１）または（２）の磁気ディスク媒体に
対して情報の書込みおよび／または読出しを行なう磁気
ヘッドを備える磁気ディスク装置であって、前記磁気ヘ
ッドは、磁気ギャップを挟んで磁気回路を形成する上部
磁性薄膜および下部磁性薄膜と、前記磁気回路と交差す
る導体コイルとを備え、前記磁気ギャップ線の方向が前
記磁気ディスク媒体の円周方向に配置されている磁気記
録装置。 （４） 前記磁気ヘッドが、磁極の幅方向に成膜・積層
することにより、狭磁極幅を有する薄膜磁気ヘッドであ
る上記（３）の磁気記録装置。 （５） 前記上部磁性薄膜および下部磁性薄膜によって
形成された上部および下部磁極の媒体半径方向の長さが
媒体側の端部において徐々に小さくされている上記
（３）または（４）の磁気記録装置。
【００１０】
【発明の作用・効果】本発明によれば、パターンメディ
ア構造を採用し、これにより隣合う単位微小記録部同士
のフリンジングを防止し、しかも、この単位微小記録部
の形状を長軸と短軸を有する形状とするとともに、長軸
方向を磁気ディスク媒体の半径方向に配置し、短軸方向
を周方向に配置したので、周方向の記録密度を向上させ
ることができるため、データの高転送レート化が図れ
る。
ア構造を採用し、これにより隣合う単位微小記録部同士
のフリンジングを防止し、しかも、この単位微小記録部
の形状を長軸と短軸を有する形状とするとともに、長軸
方向を磁気ディスク媒体の半径方向に配置し、短軸方向
を周方向に配置したので、周方向の記録密度を向上させ
ることができるため、データの高転送レート化が図れ
る。
【００１１】また、磁気ディスク媒体に単磁区構造（磁
化容易軸は単位微小記録部の長軸方向すなわち媒体の半
径方向に配置）のパターンメディアを用いることによ
り、同じ面記録密度の場合においてもディスク一面連続
記録層（例えば上記特開平９−９７４１９号公報に開示
のもの）を有する媒体に比べ、結晶粒径を大きくするこ
とができるため、熱擾乱による磁化の劣化を抑えること
ができ、単磁区構造のため磁化のスイッチング速度も高
速化することができる。しかも、上記のパターンメディ
アの構造では、線記録密度が向上するほど、隣合う磁区
からの反磁界の影響は低減され、安定な磁区構造をとる
ことができる。
化容易軸は単位微小記録部の長軸方向すなわち媒体の半
径方向に配置）のパターンメディアを用いることによ
り、同じ面記録密度の場合においてもディスク一面連続
記録層（例えば上記特開平９−９７４１９号公報に開示
のもの）を有する媒体に比べ、結晶粒径を大きくするこ
とができるため、熱擾乱による磁化の劣化を抑えること
ができ、単磁区構造のため磁化のスイッチング速度も高
速化することができる。しかも、上記のパターンメディ
アの構造では、線記録密度が向上するほど、隣合う磁区
からの反磁界の影響は低減され、安定な磁区構造をとる
ことができる。
【００１２】本発明に用いられる磁気ヘッドにおいて
は、磁気ギャップ線の方向を磁気ディスク媒体の周方向
に配置することで、上記のパターンメディアの単位微小
記録部の長軸方向に記録することができる。また、磁気
ヘッドは、磁極の幅方向に成膜・積層することにより、
磁極幅の狭い磁気ヘッドが作製でき、線記録密度を向上
させることができる。さらに、上部磁性薄膜および下部
磁性薄膜によって形成された上部および下部磁極の媒体
半径方向の長さを媒体側の端部すなわち先端において徐
々に小さくすることにより、隣合うトラックからのクロ
ストーク抑制にも有効である。
は、磁気ギャップ線の方向を磁気ディスク媒体の周方向
に配置することで、上記のパターンメディアの単位微小
記録部の長軸方向に記録することができる。また、磁気
ヘッドは、磁極の幅方向に成膜・積層することにより、
磁極幅の狭い磁気ヘッドが作製でき、線記録密度を向上
させることができる。さらに、上部磁性薄膜および下部
磁性薄膜によって形成された上部および下部磁極の媒体
半径方向の長さを媒体側の端部すなわち先端において徐
々に小さくすることにより、隣合うトラックからのクロ
ストーク抑制にも有効である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的構成につい
て詳細に説明する。図１に本発明の好ましい構造の磁気
ディスク媒体の構造の一部を概略斜視図で示す。
て詳細に説明する。図１に本発明の好ましい構造の磁気
ディスク媒体の構造の一部を概略斜視図で示す。
【００１４】この図において、磁気ディスク媒体１０
は、ディスク状の基板１２、この基板上に情報を磁気的
に記録する磁性部材で形成され、同心円状またはスパイ
ラル状に、周方向および半径方向に間隔を置かれて配置
された多数の単位微小記録部１４と、上記基板１２上で
あって、各単位微小記録部１４間を埋める非磁性材料で
形成された非記録部１６とを備えている。以上の構造に
より、各単位微小記録部１４は、それぞれほぼ完全に磁
気的に孤立した状態となり、上記の隣合う単位微小記録
部同士のフリンジングを防止することができる。
は、ディスク状の基板１２、この基板上に情報を磁気的
に記録する磁性部材で形成され、同心円状またはスパイ
ラル状に、周方向および半径方向に間隔を置かれて配置
された多数の単位微小記録部１４と、上記基板１２上で
あって、各単位微小記録部１４間を埋める非磁性材料で
形成された非記録部１６とを備えている。以上の構造に
より、各単位微小記録部１４は、それぞれほぼ完全に磁
気的に孤立した状態となり、上記の隣合う単位微小記録
部同士のフリンジングを防止することができる。
【００１５】上記各単位微小記録部１４は、長軸と短軸
とを有する形状を備え、例えば図に示したような直方体
状や楕円回転体をほぼ半分に切断した形状が好ましく、
その長軸方向が磁気ディスク半径方向に配置され、その
短軸方向が磁気ディスク円周方向に配置されている。こ
の単位微小記録部の配置構造により媒体周方向（トラッ
ク方向）線記録密度が向上し、データの転送レートが向
上する。
とを有する形状を備え、例えば図に示したような直方体
状や楕円回転体をほぼ半分に切断した形状が好ましく、
その長軸方向が磁気ディスク半径方向に配置され、その
短軸方向が磁気ディスク円周方向に配置されている。こ
の単位微小記録部の配置構造により媒体周方向（トラッ
ク方向）線記録密度が向上し、データの転送レートが向
上する。
【００１６】各単位微小記録部１４は、単磁区構造のも
のであることが好ましい。これにより、単位微小記録部
を構成する結晶粒径を大きくすることができるので、熱
擾乱による磁化の劣化を抑えることができ、また、単磁
区構造のため磁化のスイッチング速度も高速化すること
ができる。このように、単位微小記録部を単磁区構造の
ものとした場合、その磁化容易軸は該単位微小記録部の
長軸方向に配置される。単位微小記録部の形状磁気異方
性を利用して磁化容易軸を長軸方向に誘起させることが
できるためである。
のであることが好ましい。これにより、単位微小記録部
を構成する結晶粒径を大きくすることができるので、熱
擾乱による磁化の劣化を抑えることができ、また、単磁
区構造のため磁化のスイッチング速度も高速化すること
ができる。このように、単位微小記録部を単磁区構造の
ものとした場合、その磁化容易軸は該単位微小記録部の
長軸方向に配置される。単位微小記録部の形状磁気異方
性を利用して磁化容易軸を長軸方向に誘起させることが
できるためである。
【００１７】上記単位微小記録部１４は、その長軸の長
さが０．０２〜０．２μｍ、短軸の長さが０．０１〜
０．１μｍ、厚さが５〜５０ｎｍ程度に設定され、Ｃ
ｏ、Ｎｉ、Ｆｅまたはその合金である磁性材料で形成さ
れることが好ましく、この磁性材料としては、具体的に
は、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、ＣｏＣｒ、ＮｉＦｅ等が挙げら
れる。
さが０．０２〜０．２μｍ、短軸の長さが０．０１〜
０．１μｍ、厚さが５〜５０ｎｍ程度に設定され、Ｃ
ｏ、Ｎｉ、Ｆｅまたはその合金である磁性材料で形成さ
れることが好ましく、この磁性材料としては、具体的に
は、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、ＣｏＣｒ、ＮｉＦｅ等が挙げら
れる。
【００１８】上記基板１２は、アルミ合金、ガラスまた
はシリコン等で、１００〜１０００μｍ程度の厚さに形
成される。
はシリコン等で、１００〜１０００μｍ程度の厚さに形
成される。
【００１９】上記非記録部１６は、上記基板１２の表面
の上記単位微小記録部１４以外の全表面部分を被うもの
であり、該単位微小記録部１４と同一厚みとされる。換
言すれば、磁気ディスク媒体１０は、上記基板１２の全
面に設けられた非記録部１６の層に形成された所定パタ
ーンの多数の凹部に上記単位微小記録部１４が配置され
た構造となっている。
の上記単位微小記録部１４以外の全表面部分を被うもの
であり、該単位微小記録部１４と同一厚みとされる。換
言すれば、磁気ディスク媒体１０は、上記基板１２の全
面に設けられた非記録部１６の層に形成された所定パタ
ーンの多数の凹部に上記単位微小記録部１４が配置され
た構造となっている。
【００２０】上記非記録部１６を構成する非磁性材料と
しては、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 等の酸化物、
Ｓｉ3 Ｎ4 、ＡｌＮ、ＴｉＮ等の窒化物、ＴｉＣ等の炭
化物、ＢＮ等の硼化物、およびＣ系、ＣＨ系、ＣＦ系の
うちいずれかの重合化合物等が用いられる。
しては、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 等の酸化物、
Ｓｉ3 Ｎ4 、ＡｌＮ、ＴｉＮ等の窒化物、ＴｉＣ等の炭
化物、ＢＮ等の硼化物、およびＣ系、ＣＨ系、ＣＦ系の
うちいずれかの重合化合物等が用いられる。
【００２１】本発明の磁気ディスク媒体においては、下
地層として、ＮｉＰ、Ｃｒ等の配向制御膜が設けられて
いてもよい。また、必要に応じて保護層や潤滑材を備え
ていてもよい。
地層として、ＮｉＰ、Ｃｒ等の配向制御膜が設けられて
いてもよい。また、必要に応じて保護層や潤滑材を備え
ていてもよい。
【００２２】以下、図２を参照して上記の構造の磁気デ
ィスク媒体１０の製造方法を説明する。
ィスク媒体１０の製造方法を説明する。
【００２３】まず、図２（ａ）に示したように、シリコ
ン等の基板１２上に、下地層としてＡｕ、Ｔｉ、Ｃｒ等
の薄い金属層２０、最終的に非記録部１６となるＳｉＯ
2 層２２、非記録部をエッチングする際のマスクとなる
クロム層２４、およびフォトレジストであるＰＭＭＡ
（ポリメタルメタアクリエート）層２６を形成する。
ン等の基板１２上に、下地層としてＡｕ、Ｔｉ、Ｃｒ等
の薄い金属層２０、最終的に非記録部１６となるＳｉＯ
2 層２２、非記録部をエッチングする際のマスクとなる
クロム層２４、およびフォトレジストであるＰＭＭＡ
（ポリメタルメタアクリエート）層２６を形成する。
【００２４】次に、図２（ｂ）に示したように、電子ビ
ームリソグラフィ法を用いて、上記ＰＭＭＡ層２６を、
単位微小記録部１４の形成配置パターンとなるようにド
ット状に露光する。
ームリソグラフィ法を用いて、上記ＰＭＭＡ層２６を、
単位微小記録部１４の形成配置パターンとなるようにド
ット状に露光する。
【００２５】次に、図２（ｃ）に示したように、上記の
ドット状露光部分のクロム層２４を湿式エッチングす
る。このとき、エッチング溶液としては、イソプロピル
アルコール（ＩＰＡ）とメタイゾブチルケトンの混合溶
剤等を用いることが好ましい。
ドット状露光部分のクロム層２４を湿式エッチングす
る。このとき、エッチング溶液としては、イソプロピル
アルコール（ＩＰＡ）とメタイゾブチルケトンの混合溶
剤等を用いることが好ましい。
【００２６】次に、図２（ｄ）に示したように、反応性
イオンエッチングを用いて、ＳｉＯ2 層２２を上記の単
位微小記録部１４の形成配置パターンで凹部３０を形成
する。この凹部３０の形成部分においては、金属メッキ
層２０が露出するようにする。続いて、図２（ｅ）に示
したように、上記金属メッキ層２０を利用し、電気メッ
キ法を用いて、Ｃｏ等の磁性材料３２で上記の凹部３０
を埋める。このとき、上記磁性材料３２が上記凹部３０
よりオーバーする程度までメッキを行なう。
イオンエッチングを用いて、ＳｉＯ2 層２２を上記の単
位微小記録部１４の形成配置パターンで凹部３０を形成
する。この凹部３０の形成部分においては、金属メッキ
層２０が露出するようにする。続いて、図２（ｅ）に示
したように、上記金属メッキ層２０を利用し、電気メッ
キ法を用いて、Ｃｏ等の磁性材料３２で上記の凹部３０
を埋める。このとき、上記磁性材料３２が上記凹部３０
よりオーバーする程度までメッキを行なう。
【００２７】最後に、図２（ｆ）に示したように、機械
的化学的研磨により、上記磁性材料３２のオーバー部分
を研磨し、単位微小記録部１４を形成するとともに、全
表面を極めて平坦な表面となして磁気ディスク媒体１０
を完成する。
的化学的研磨により、上記磁性材料３２のオーバー部分
を研磨し、単位微小記録部１４を形成するとともに、全
表面を極めて平坦な表面となして磁気ディスク媒体１０
を完成する。
【００２８】上記機械的化学的研磨等は、例えば粒径２
０〜６０nmのＳｉＯ2を用いてｐＨ９〜１２で行えばよ
い。
０〜６０nmのＳｉＯ2を用いてｐＨ９〜１２で行えばよ
い。
【００２９】本発明の磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッド４０は、例えば、図１に示されているように、
磁気ギャップ４２を挟んで磁気回路を形成する上部磁性
薄膜４４および下部磁性薄膜４６と、上記磁気回路と交
差する導体コイル（図示せず）とを備え、上記磁気ギャ
ップ線４２ａの方向が上記磁気ディスク媒体の円周方向
に配置されている。
気ヘッド４０は、例えば、図１に示されているように、
磁気ギャップ４２を挟んで磁気回路を形成する上部磁性
薄膜４４および下部磁性薄膜４６と、上記磁気回路と交
差する導体コイル（図示せず）とを備え、上記磁気ギャ
ップ線４２ａの方向が上記磁気ディスク媒体の円周方向
に配置されている。
【００３０】上記上部磁性薄膜４４および下部磁性薄膜
４６は、ＦｅＮ、ＮｉＦｅ、ＣｏＺｒ等を用いてスパッ
タリング等により形成される。成膜は、磁極幅方向に行
い、狭磁極幅とされていることが好ましく、その厚さ
は、０．０１〜０．１μｍ程度とすることが好ましい。
また、上記磁気ギャップ４２の長さは、上記磁気ディス
ク媒体１０の単位微小記録部１４の長軸長さとほぼ同程
度に設定され、具体的には０．０２〜０．２μｍ程度で
あることが好ましい。
４６は、ＦｅＮ、ＮｉＦｅ、ＣｏＺｒ等を用いてスパッ
タリング等により形成される。成膜は、磁極幅方向に行
い、狭磁極幅とされていることが好ましく、その厚さ
は、０．０１〜０．１μｍ程度とすることが好ましい。
また、上記磁気ギャップ４２の長さは、上記磁気ディス
ク媒体１０の単位微小記録部１４の長軸長さとほぼ同程
度に設定され、具体的には０．０２〜０．２μｍ程度で
あることが好ましい。
【００３１】また、上記磁気ヘッド４０においては、図
１に示した上記上部磁性薄膜４４および下部磁性薄膜４
６の媒体半径方向の長さが媒体側の端部すなわち先端４
４ａ、４６ａにおいて徐々に小さくされ、先細りの形状
とされていることが好ましい。これにより、磁気ヘッド
から発生する磁界の収束が強くなり、しかも隣合うトラ
ックからのクロストークも有効に抑制することができ
る。
１に示した上記上部磁性薄膜４４および下部磁性薄膜４
６の媒体半径方向の長さが媒体側の端部すなわち先端４
４ａ、４６ａにおいて徐々に小さくされ、先細りの形状
とされていることが好ましい。これにより、磁気ヘッド
から発生する磁界の収束が強くなり、しかも隣合うトラ
ックからのクロストークも有効に抑制することができ
る。
【００３２】本発明に用いる磁気ヘッドは、上記した構
成を除いては、従来の磁気ヘッドの構成を用いることが
できる。
成を除いては、従来の磁気ヘッドの構成を用いることが
できる。
【００３３】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。上部および下部磁性膜４４お
よび４６をＮｉＦｅを用いてスパッタリング法により磁
極幅方向に成膜することにより作成し、図１に示した構
造の磁気ヘッド４０を準備した。磁極の幅は０．１μ
ｍ、磁気ギャップ４２の長さは、０．２μｍである。
をさらに詳細に説明する。上部および下部磁性膜４４お
よび４６をＮｉＦｅを用いてスパッタリング法により磁
極幅方向に成膜することにより作成し、図１に示した構
造の磁気ヘッド４０を準備した。磁極の幅は０．１μ
ｍ、磁気ギャップ４２の長さは、０．２μｍである。
【００３４】また、磁気ディスク媒体１０は、図２に示
した工程で、非磁性材料で形成された非記録部１６に所
定パターン状に形成された凹部に、Ｃｏ（単体）を埋め
込んで形成した単位微小記録部１４を有している。上記
単位微小記録部１４および非記録部１６の厚さは２０ｎ
ｍである。単位微小記録部１４は、磁気ディスク媒体面
内において長軸と短軸を有する長方形（全体では直方
体）をなしており、その長軸方向は磁気ディスク媒体１
０の半径方向に配置されている。その単位微小記録部１
４のサイズは、長軸０．２μｍ、短軸０．１μｍで、単
位微小記録部１４と非記録部１６を合わせたその周期
は、媒体半径方向（この半径方向の隣合う単位微小記録
部同士の間隔は０．１６μｍ）で０．３６μｍ（７０ｋ
ＴＰＩ）、円周方向（この円周方向の隣合う単位微小記
録部同士の間隔は０．０８μｍ）で０．１８μｍ（１４
１ＢＰＩ）である。この記録密度は１０Ｇｂ／ｉｎ2 に
相当する。磁気ディスク媒体の各単位微小記録部１４の
保磁力（Ｈｃ）は７５０Oeで、単磁区構造をなし、その
磁化容易軸は磁気ディスク媒体面内の長軸方向を向いて
いた。
した工程で、非磁性材料で形成された非記録部１６に所
定パターン状に形成された凹部に、Ｃｏ（単体）を埋め
込んで形成した単位微小記録部１４を有している。上記
単位微小記録部１４および非記録部１６の厚さは２０ｎ
ｍである。単位微小記録部１４は、磁気ディスク媒体面
内において長軸と短軸を有する長方形（全体では直方
体）をなしており、その長軸方向は磁気ディスク媒体１
０の半径方向に配置されている。その単位微小記録部１
４のサイズは、長軸０．２μｍ、短軸０．１μｍで、単
位微小記録部１４と非記録部１６を合わせたその周期
は、媒体半径方向（この半径方向の隣合う単位微小記録
部同士の間隔は０．１６μｍ）で０．３６μｍ（７０ｋ
ＴＰＩ）、円周方向（この円周方向の隣合う単位微小記
録部同士の間隔は０．０８μｍ）で０．１８μｍ（１４
１ＢＰＩ）である。この記録密度は１０Ｇｂ／ｉｎ2 に
相当する。磁気ディスク媒体の各単位微小記録部１４の
保磁力（Ｈｃ）は７５０Oeで、単磁区構造をなし、その
磁化容易軸は磁気ディスク媒体面内の長軸方向を向いて
いた。
【００３５】実際に、図１に示したように、準備した磁
気ヘッド４０の磁気ギャップ線４２ａを磁気ディスク媒
体１０の円周方向に配置し、この磁気ヘッド４０で上記
磁気ディスク媒体１０の各単位微小記録部１４に記録し
た。この記録後の磁気ディスク媒体１０の記録磁化状態
を磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）を用いて観察したところ、記
録信号（周期）に相当な磁化状態をなしていることを確
認した。
気ヘッド４０の磁気ギャップ線４２ａを磁気ディスク媒
体１０の円周方向に配置し、この磁気ヘッド４０で上記
磁気ディスク媒体１０の各単位微小記録部１４に記録し
た。この記録後の磁気ディスク媒体１０の記録磁化状態
を磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）を用いて観察したところ、記
録信号（周期）に相当な磁化状態をなしていることを確
認した。
【００３６】以上の実施例により、本発明の構成の磁気
ディスク媒体および磁気ディスク装置により、磁気記録
が可能であり、しかもその磁気記録の線密度を、フリン
ジング等の影響なく従来に比べて高くすることができる
ことがわかる。
ディスク媒体および磁気ディスク装置により、磁気記録
が可能であり、しかもその磁気記録の線密度を、フリン
ジング等の影響なく従来に比べて高くすることができる
ことがわかる。
【図１】本発明の磁気ディスク媒体と磁気ディスク装置
の一例の概要を示す拡大斜視図である。
の一例の概要を示す拡大斜視図である。
【図２】図１に示した磁気ディスク媒体の製造方法を一
例を説明する説明図である。
例を説明する説明図である。
【図３】磁気ヘッドと、長手記録の円周方向に磁化容易
軸を持つ単位微小記録部を備えるパターンメディアの一
部の拡大斜視図である。
軸を持つ単位微小記録部を備えるパターンメディアの一
部の拡大斜視図である。
【図４】磁気ヘッドと、垂直磁気記録用の単位微小記録
部を備えるパターンメディアの一部の拡大斜視図であ
る。
部を備えるパターンメディアの一部の拡大斜視図であ
る。
１０ 磁気ディスク媒体 １２ 基板 １４ 単位微小記録部 １６ 非記録部 ４０ 磁気ヘッド ４２ 磁気ギャップ ４２ａ 磁気ギャップ線 ４４ 上部磁性薄膜 ４６ 下部磁性薄膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 勇武 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 ディスク状の基板と、この基板上に情報
を磁気的に記録する磁性部材で形成され、同心円状また
はスパイラル状に、周方向および半径方向に間隔を置か
れて配置された多数の単位微小記録部と、前記基板上で
あって、各単位微小記録部間を埋める非磁性材料で形成
された非記録部とを備え、前記単位微小記録部が、長軸
と短軸とを有する形状を備え、その長軸方向が基板の半
径方向に配置された磁気ディスク媒体。 - 【請求項２】 前記単位微小記録部は、単磁区構造であ
り、その磁化容易軸がその長軸方向に配置されている請
求項１の磁気ディスク媒体。 - 【請求項３】 請求項１または２の磁気ディスク媒体に
対して情報の書込みおよび／または読出しを行なう磁気
ヘッドを備える磁気ディスク装置であって、前記磁気ヘ
ッドは、磁気ギャップを挟んで磁気回路を形成する上部
磁性薄膜および下部磁性薄膜と、前記磁気回路と交差す
る導体コイルとを備え、前記磁気ギャップ線の方向が前
記磁気ディスク媒体の円周方向に配置されている磁気記
録装置。 - 【請求項４】 前記磁気ヘッドが、磁極の幅方向に成膜
・積層することにより、狭磁極幅を有する薄膜磁気ヘッ
ドである請求項３の磁気記録装置。 - 【請求項５】 前記上部磁性薄膜および下部磁性薄膜に
よって形成された上部および下部磁極の媒体半径方向の
長さが媒体側の端部において徐々に小さくされている請
求項３または４の磁気記録装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10120079A JPH11296845A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 磁気ディスク媒体および磁気記録装置 |
| US09/285,758 US6313969B1 (en) | 1998-04-14 | 1999-04-05 | Magnetic disk medium and magnetic recording system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10120079A JPH11296845A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 磁気ディスク媒体および磁気記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11296845A true JPH11296845A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14777393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10120079A Pending JPH11296845A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 磁気ディスク媒体および磁気記録装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6313969B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11296845A (ja) |
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| JP4533854B2 (ja) * | 2006-03-06 | 2010-09-01 | 株式会社東芝 | 磁気記録再生装置、磁気記録方法、及び磁気記録再生方法 |
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