JPH11297612A - 投影光学系および投影露光装置 - Google Patents
投影光学系および投影露光装置Info
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- JPH11297612A JPH11297612A JP10111507A JP11150798A JPH11297612A JP H11297612 A JPH11297612 A JP H11297612A JP 10111507 A JP10111507 A JP 10111507A JP 11150798 A JP11150798 A JP 11150798A JP H11297612 A JPH11297612 A JP H11297612A
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- lens group
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Lenses (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】広い投影領域を確保しつつ収差が良好に補正さ
れ、しかも大きな開口数を確保することができる投影光
学系を提供する。 【解決手段】少なくとも２種類以上のガラス材を使用
し、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群
と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を
有する第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ
群と、正の屈折力を有する第５レンズ群と、正の屈折力
を有する第６レンズ群とを有する投影光学系において、
該投影光学系は、非球面レンズ面＊を少なくとも１面有
し、且つ、第ｉ（ｉ＝１〜６）レンズ群の焦点距離をｆ
iとし、物体面から像面までの距離をＬとするとき、ｆ1
／Ｌ＜０．７、０． １＜ｆ6／Ｌ＜０．７、０．１５＜
ｆ2／ｆ4＜４、及び０．０５＜ｆ3／ｆ5＜１２なる条件
を満足する。
れ、しかも大きな開口数を確保することができる投影光
学系を提供する。 【解決手段】少なくとも２種類以上のガラス材を使用
し、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群
と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を
有する第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ
群と、正の屈折力を有する第５レンズ群と、正の屈折力
を有する第６レンズ群とを有する投影光学系において、
該投影光学系は、非球面レンズ面＊を少なくとも１面有
し、且つ、第ｉ（ｉ＝１〜６）レンズ群の焦点距離をｆ
iとし、物体面から像面までの距離をＬとするとき、ｆ1
／Ｌ＜０．７、０． １＜ｆ6／Ｌ＜０．７、０．１５＜
ｆ2／ｆ4＜４、及び０．０５＜ｆ3／ｆ5＜１２なる条件
を満足する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体の像を像面上
に投影する投影光学系に関し、特に、半導体素子や液晶
表示素子を製造する工程で使用するに好適な投影光学系
に関するものである。
に投影する投影光学系に関し、特に、半導体素子や液晶
表示素子を製造する工程で使用するに好適な投影光学系
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子や液晶表示素子は多数の工程
を経て製造されるが、そのうちの主要な工程にフォトリ
ソグラフィー工程がある。同工程では、レチクル、マス
クなどの投影原版上のパターンを、ウエハ、ガラスプレ
ートなどの感光基板上に転写するために、投影光学系が
使用される。このフォトリソグラフィー工程では、複数
回にわたって、レチクルパターンをウエハ上に転写して
いる。ここで、従来のミドルレイヤー露光機は、比較的
広い露光領域を確保しつつ収差を良好に補正するため
に、像側ＮＡ（開口数）が比較的小さくなっていた。ま
た、セミクリティカルなパターンを転写するときには、
比較的広い露光領域を確保しつつ収差を良好に補正し、
しかも大きなＮＡを確保するために、走査型露光装置が
使用されている。
を経て製造されるが、そのうちの主要な工程にフォトリ
ソグラフィー工程がある。同工程では、レチクル、マス
クなどの投影原版上のパターンを、ウエハ、ガラスプレ
ートなどの感光基板上に転写するために、投影光学系が
使用される。このフォトリソグラフィー工程では、複数
回にわたって、レチクルパターンをウエハ上に転写して
いる。ここで、従来のミドルレイヤー露光機は、比較的
広い露光領域を確保しつつ収差を良好に補正するため
に、像側ＮＡ（開口数）が比較的小さくなっていた。ま
た、セミクリティカルなパターンを転写するときには、
比較的広い露光領域を確保しつつ収差を良好に補正し、
しかも大きなＮＡを確保するために、走査型露光装置が
使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年の転写パターンの
微細化に伴い、ミドルレイヤー露光機にも、広い露光領
域を確保しつつ、高いＮＡをも確保することが要求され
るようになってきた。この要求を満たすには、走査型露
光装置を使用すれば良い。しかし走査型露光装置では、
一時に露光される実際の露光領域は狭く、レチクルとウ
エハとを同期走査することにより、見かけ上広い露光領
域を確保するものであるから、装置全体の構成が複雑に
ならざるをえない。したがって、走査型露光装置で露光
してきた広い露光領域を、一括型露光装置によって焼き
付けるための、コンパクトで高性能な投影レンズ系が望
まれるところとなっている。本発明は、広い投影領域を
確保しつつ収差が良好に補正され、しかも大きな開口数
を確保することができる投影光学系と、これを備えた投
影露光装置を提供することを課題とする。
微細化に伴い、ミドルレイヤー露光機にも、広い露光領
域を確保しつつ、高いＮＡをも確保することが要求され
るようになってきた。この要求を満たすには、走査型露
光装置を使用すれば良い。しかし走査型露光装置では、
一時に露光される実際の露光領域は狭く、レチクルとウ
エハとを同期走査することにより、見かけ上広い露光領
域を確保するものであるから、装置全体の構成が複雑に
ならざるをえない。したがって、走査型露光装置で露光
してきた広い露光領域を、一括型露光装置によって焼き
付けるための、コンパクトで高性能な投影レンズ系が望
まれるところとなっている。本発明は、広い投影領域を
確保しつつ収差が良好に補正され、しかも大きな開口数
を確保することができる投影光学系と、これを備えた投
影露光装置を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するためになされたものであり、すなわち、少なくと
も２種類以上のガラス材を使用し、物体側から順に、正
の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する
第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群と、
負の屈折力を有する第４レンズ群と、正の屈折力を有す
る第５レンズ群と、正の屈折力を有する第６レンズ群と
を有する投影光学系において、該投影光学系は、非球面
レンズ面を少なくとも１面有し、且つ、 ｆi：第ｉレンズ群の焦点距離（ｉ＝１〜６） Ｌ：物体面から像面までの距離 としたときに、 ｆ1／Ｌ＜０．７ ‥‥（１） ０． １＜ｆ6／Ｌ＜０．７ ‥‥（２） ０．１５＜ｆ2／ｆ4＜４ ‥‥（３） ０．０５＜ｆ3／ｆ5＜１２ ‥‥（４） なる条件を満足することを特徴とする投影光学系であ
る。本発明はまた、この投影光学系を備えた投影露光装
置である。
決するためになされたものであり、すなわち、少なくと
も２種類以上のガラス材を使用し、物体側から順に、正
の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する
第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群と、
負の屈折力を有する第４レンズ群と、正の屈折力を有す
る第５レンズ群と、正の屈折力を有する第６レンズ群と
を有する投影光学系において、該投影光学系は、非球面
レンズ面を少なくとも１面有し、且つ、 ｆi：第ｉレンズ群の焦点距離（ｉ＝１〜６） Ｌ：物体面から像面までの距離 としたときに、 ｆ1／Ｌ＜０．７ ‥‥（１） ０． １＜ｆ6／Ｌ＜０．７ ‥‥（２） ０．１５＜ｆ2／ｆ4＜４ ‥‥（３） ０．０５＜ｆ3／ｆ5＜１２ ‥‥（４） なる条件を満足することを特徴とする投影光学系であ
る。本発明はまた、この投影光学系を備えた投影露光装
置である。
【０００５】正の屈折力を持つ第１レンズ群は、テレセ
ントリック性を維持しながら、主に歪曲収差の補正に寄
与している。すなわち第１レンズ群で正の歪曲収差を発
生させることにより、第２レンズ群以降のレンズ群にて
発生する負の歪曲収差をバランス良く補正している。負
の屈折力を持つ第２レンズ群及び正の屈折力を持つ第３
レンズ群は、この２つの群において逆望遠系を形成し、
投影光学系の全長を短くすることに寄与している。ま
た、負の屈折力を持つ第２レンズ群及び第４レンズ群
は、主にペッツバール和の補正に寄与し、像面の平坦化
を図っている。それぞれ正の屈折力を持つ第５レンズ群
及び第６レンズ群は、負の歪曲収差の発生を抑えつつ、
像面側での高ＮＡ化に対応するために、特に球面収差の
発生を極力抑えることに寄与している。ガラス材は少な
くとも２種類使用する。これは、色収差を良好に補正す
るためである。尚、色収差を更に良好に補正しつつ、か
つ、コンパクトな投影光学系を得るためには、ガラス材
を３種類以上使用することが好ましい。
ントリック性を維持しながら、主に歪曲収差の補正に寄
与している。すなわち第１レンズ群で正の歪曲収差を発
生させることにより、第２レンズ群以降のレンズ群にて
発生する負の歪曲収差をバランス良く補正している。負
の屈折力を持つ第２レンズ群及び正の屈折力を持つ第３
レンズ群は、この２つの群において逆望遠系を形成し、
投影光学系の全長を短くすることに寄与している。ま
た、負の屈折力を持つ第２レンズ群及び第４レンズ群
は、主にペッツバール和の補正に寄与し、像面の平坦化
を図っている。それぞれ正の屈折力を持つ第５レンズ群
及び第６レンズ群は、負の歪曲収差の発生を抑えつつ、
像面側での高ＮＡ化に対応するために、特に球面収差の
発生を極力抑えることに寄与している。ガラス材は少な
くとも２種類使用する。これは、色収差を良好に補正す
るためである。尚、色収差を更に良好に補正しつつ、か
つ、コンパクトな投影光学系を得るためには、ガラス材
を３種類以上使用することが好ましい。
【０００６】条件式（１）は、主に歪曲収差をバランス
よく補正するためのものである。条件式（１）の上限を
超えると、負の歪曲収差が大きく発生するため、好まし
くない。条件式（２）は、コンパクトな光学系におい
て、広ＮＡかつ広露光領域を実現するための第６レンズ
群の屈折力を規定するものである。条件式（２）の下限
を超えると、負の歪曲収差及びコマ収差の発生が大きく
なり、像の悪化を招くため、好ましくない。また、第５
レンズ群に負担がかかり、結果として球面収差の悪化を
招き、全体の良好な収差バランスを悪化させるため、好
ましくない。一方、条件式（２）の上限を超えると、第
６レンズ群全体の正屈折力が弱くなりすぎ、結果的に投
影レンズ全系の長大化を招くため、好ましくない。
よく補正するためのものである。条件式（１）の上限を
超えると、負の歪曲収差が大きく発生するため、好まし
くない。条件式（２）は、コンパクトな光学系におい
て、広ＮＡかつ広露光領域を実現するための第６レンズ
群の屈折力を規定するものである。条件式（２）の下限
を超えると、負の歪曲収差及びコマ収差の発生が大きく
なり、像の悪化を招くため、好ましくない。また、第５
レンズ群に負担がかかり、結果として球面収差の悪化を
招き、全体の良好な収差バランスを悪化させるため、好
ましくない。一方、条件式（２）の上限を超えると、第
６レンズ群全体の正屈折力が弱くなりすぎ、結果的に投
影レンズ全系の長大化を招くため、好ましくない。
【０００７】条件式（３）は、主にペッツバール和を小
さく（０に近く）して、広い露光領域を確保しつつ、像
面湾曲を良好に補正するためのものである。条件式
（３）の下限を越えると、第４レンズ群の屈折力が第２
レンズ群の屈折力に対して相対的に弱くなるため、正の
ぺッツバール和が大きく発生する。逆に、条件式（３）
の上限を越えると、第２レンズ群の屈折力が第４レンズ
群の屈折力に対して相対的に弱くなるため、同様に正の
ペッツバール和が大きく発生し、いずれも好ましくな
い。条件式（４）は、バランスよく球面収差とコマ収差
を補正しつつコンパクトな投影光学系を実現するための
条件を規定するものである。条件式（４）の上限を超え
ると、負の球面収差が大きく発生する結果、全体の良好
な収差バランスを維持できない。逆に、条件式（４）の
下限を超えると、コマ収差が大きく発生する結果、全体
の良好な収差バランスを維持できない。
さく（０に近く）して、広い露光領域を確保しつつ、像
面湾曲を良好に補正するためのものである。条件式
（３）の下限を越えると、第４レンズ群の屈折力が第２
レンズ群の屈折力に対して相対的に弱くなるため、正の
ぺッツバール和が大きく発生する。逆に、条件式（３）
の上限を越えると、第２レンズ群の屈折力が第４レンズ
群の屈折力に対して相対的に弱くなるため、同様に正の
ペッツバール和が大きく発生し、いずれも好ましくな
い。条件式（４）は、バランスよく球面収差とコマ収差
を補正しつつコンパクトな投影光学系を実現するための
条件を規定するものである。条件式（４）の上限を超え
ると、負の球面収差が大きく発生する結果、全体の良好
な収差バランスを維持できない。逆に、条件式（４）の
下限を超えると、コマ収差が大きく発生する結果、全体
の良好な収差バランスを維持できない。
【０００８】上記の各効果を得るためには、第１レンズ
群は、少なくとも３枚の正レンズを有し、第５レンズ群
は、少なくとも５枚の正レンズと少なくとも１枚の負レ
ンズとを有し、第６レンズ群は、互いにアッベ数が異な
り且つ物体側から順に正レンズＬCPと負レンズＬCNとか
らなる組み合わせレンズを少なくとも１組有することが
好ましい。更には、第２レンズ群は、少なくとも２枚の
負レンズと少なくとも１枚の正レンズとを有し、第３レ
ンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを有し、第４レン
ズ群は、少なくとも２枚の負レンズを有することが好ま
しい。
群は、少なくとも３枚の正レンズを有し、第５レンズ群
は、少なくとも５枚の正レンズと少なくとも１枚の負レ
ンズとを有し、第６レンズ群は、互いにアッベ数が異な
り且つ物体側から順に正レンズＬCPと負レンズＬCNとか
らなる組み合わせレンズを少なくとも１組有することが
好ましい。更には、第２レンズ群は、少なくとも２枚の
負レンズと少なくとも１枚の正レンズとを有し、第３レ
ンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを有し、第４レン
ズ群は、少なくとも２枚の負レンズを有することが好ま
しい。
【０００９】次に、本発明においては、少なくとも１面
の非球面レンズ面が用いられているが、この非球面は、
第４レンズ群又は第５レンズ群に配置することが好まし
い。すなわち第４レンズ群中に非球面を配置することに
よって、球面レンズのみで構成された明るい光学系で残
存しがちな画角に関する収差、特にサジタル方向のコマ
収差を抑えることが可能となる。この場合、非球面とし
ては凹面を用い、レンズ周辺で屈折力を弱める形状とす
ることが好ましい。
の非球面レンズ面が用いられているが、この非球面は、
第４レンズ群又は第５レンズ群に配置することが好まし
い。すなわち第４レンズ群中に非球面を配置することに
よって、球面レンズのみで構成された明るい光学系で残
存しがちな画角に関する収差、特にサジタル方向のコマ
収差を抑えることが可能となる。この場合、非球面とし
ては凹面を用い、レンズ周辺で屈折力を弱める形状とす
ることが好ましい。
【００１０】また、第５レンズ群中に非球面を配置する
ことによって、高ＮＡに関する収差、特に高次の球面収
差を補正することが可能となる。この場合、凸面の非球
面を用いるときには、レンズ周辺で屈折力を弱める形状
にすることが好ましく、凹面の非球面を用いるときに
は、レンズ周辺で屈折力を強める形状にすることが好ま
しい。なお、第４レンズ群中のレンズ面であっても、よ
り像側のレンズ面を非球面とすれば、同じ効果を得るこ
とができる。つまり高ＮＡで広い露光領域の投影光学系
を構成するには、少なくとも第４レンズ群中又は第５レ
ンズ群中に非球面形状のレンズ面を配置することが収差
補正上好ましい。
ことによって、高ＮＡに関する収差、特に高次の球面収
差を補正することが可能となる。この場合、凸面の非球
面を用いるときには、レンズ周辺で屈折力を弱める形状
にすることが好ましく、凹面の非球面を用いるときに
は、レンズ周辺で屈折力を強める形状にすることが好ま
しい。なお、第４レンズ群中のレンズ面であっても、よ
り像側のレンズ面を非球面とすれば、同じ効果を得るこ
とができる。つまり高ＮＡで広い露光領域の投影光学系
を構成するには、少なくとも第４レンズ群中又は第５レ
ンズ群中に非球面形状のレンズ面を配置することが収差
補正上好ましい。
【００１１】また、第４レンズ群又は第５レンズ群以外
のレンズ群に非球面を採用しても、収差補正に有効であ
る。例えば、第１レンズ群に非球面を用いると、主に歪
曲収差を補正することができる。第２レンズ群に非球面
を用いると、主に入射瞳の収差（物体高に対応する入射
瞳位置のずれ）を小さくすることができる。第３レンズ
群又は第６レンズ群に非球面を用いると、主にコマ収差
を補正することができる。なお、上記各群の光学要素の
一部が平行平面板のように屈折力を持たない光学要素で
あっても、その平行平面板を非球面形状にすれば同様の
効果を得ることができる。
のレンズ群に非球面を採用しても、収差補正に有効であ
る。例えば、第１レンズ群に非球面を用いると、主に歪
曲収差を補正することができる。第２レンズ群に非球面
を用いると、主に入射瞳の収差（物体高に対応する入射
瞳位置のずれ）を小さくすることができる。第３レンズ
群又は第６レンズ群に非球面を用いると、主にコマ収差
を補正することができる。なお、上記各群の光学要素の
一部が平行平面板のように屈折力を持たない光学要素で
あっても、その平行平面板を非球面形状にすれば同様の
効果を得ることができる。
【００１２】次に、本発明の第６レンズ群は、互いにア
ッベ数が異なり且つ物体側から順に正レンズＬCPと負レ
ンズＬCNとからなる組み合わせレンズを少なくとも１組
有することが好ましいが、その際、 νCP：正レンズＬCPのアッベ数 νCN：負レンズＬCNのアッベ数 としたとき、 ０．１＜νCN／νCP＜０．９５ ‥‥（５） なる条件を満たすことが好ましい。
ッベ数が異なり且つ物体側から順に正レンズＬCPと負レ
ンズＬCNとからなる組み合わせレンズを少なくとも１組
有することが好ましいが、その際、 νCP：正レンズＬCPのアッベ数 νCN：負レンズＬCNのアッベ数 としたとき、 ０．１＜νCN／νCP＜０．９５ ‥‥（５） なる条件を満たすことが好ましい。
【００１３】また、第６レンズ群は、前記組み合わせレ
ンズを２組有し、いずれの組み合わせレンズも条件式
（５）を満たすことが一層好ましい。条件式（５）は、
大きなＮＡと広い露光領域の全体について、色収差を良
好に補正するものである。また、第６レンズ群の構成
は、歪曲収差及びコマ収差の補正にも大きく寄与してい
る。
ンズを２組有し、いずれの組み合わせレンズも条件式
（５）を満たすことが一層好ましい。条件式（５）は、
大きなＮＡと広い露光領域の全体について、色収差を良
好に補正するものである。また、第６レンズ群の構成
は、歪曲収差及びコマ収差の補正にも大きく寄与してい
る。
【００１４】次に、本発明の第１レンズ群は、物体側か
ら順に像側に凹面を向けた負レンズＬANと物体側に凸面
を向けた正レンズＬAPとからなる負正組み合わせレンズ
を有し、この負正組み合わせレンズの前記負レンズＬAN
と正レンズＬAPは互いに隣接して配置され、この負正組
み合わせレンズは第１レンズ群内の物体側に近い側に配
置され（より正確には、両レンズＬAN、ＬAPによって構
成される空気レンズは第１レンズ群の中央に位置するレ
ンズ又は空気レンズよりも物体側に位置し）、且つ、 ｒAN2：負レンズＬANの第２面の曲率半径 ｒAP1：正レンズＬAPの第１面の曲率半径 νAN：負レンズＬANのアッベ数 νAP：正レンズＬAPのアッベ数 としたとき、 ｜ｒAN2／ｒAP1｜＜６ ‥‥（６） ０．１＜νAN／νAP＜０．９５ ‥‥（７） なる条件を満たすことが好ましい。
ら順に像側に凹面を向けた負レンズＬANと物体側に凸面
を向けた正レンズＬAPとからなる負正組み合わせレンズ
を有し、この負正組み合わせレンズの前記負レンズＬAN
と正レンズＬAPは互いに隣接して配置され、この負正組
み合わせレンズは第１レンズ群内の物体側に近い側に配
置され（より正確には、両レンズＬAN、ＬAPによって構
成される空気レンズは第１レンズ群の中央に位置するレ
ンズ又は空気レンズよりも物体側に位置し）、且つ、 ｒAN2：負レンズＬANの第２面の曲率半径 ｒAP1：正レンズＬAPの第１面の曲率半径 νAN：負レンズＬANのアッベ数 νAP：正レンズＬAPのアッベ数 としたとき、 ｜ｒAN2／ｒAP1｜＜６ ‥‥（６） ０．１＜νAN／νAP＜０．９５ ‥‥（７） なる条件を満たすことが好ましい。
【００１５】また、本発明の第１レンズ群は、物体側か
ら順に物体側に凸面を向けた正レンズＬBPと像側に凹面
を向けた負レンズＬBNとからなる正負組み合わせレンズ
を有し、この正負組み合わせレンズの前記正レンズＬBP
と負レンズＬBNは互いに隣接して配置され、この正負組
み合わせレンズは第１レンズ群内の像側に近い側に配置
され（より正確には、両レンズＬBP、ＬBNによって構成
される空気レンズは第１レンズ群の中央に位置するレン
ズ又は空気レンズよりも像側に位置し）、且つ、 但し、ｒBP2：正レンズＬBPの第２面の曲率半径 ｒBN1：負レンズＬBNの第１面の曲率半径 νBP：正レンズＬBPのアッベ数 νBN：負レンズＬBNのアッベ数 としたとき、 （｜ｒBP2｜−｜ｒBN1｜）／（｜ｒBP2｜＋｜ｒBN1｜）＜１．０ ‥‥（８） ０．１＜νBN／νBP＜０．９５ ‥‥（９） なる条件を満たすことが好ましい。条件式（６）〜
（９）は、物体に近い側において、広い露光領域内の全
域で倍率色収差を良好に補正しうる現実的な解を与える
ための条件であり、したがってこれらの条件式の範囲を
逸脱すると、倍率色収差を良好に補正できなくなる。
ら順に物体側に凸面を向けた正レンズＬBPと像側に凹面
を向けた負レンズＬBNとからなる正負組み合わせレンズ
を有し、この正負組み合わせレンズの前記正レンズＬBP
と負レンズＬBNは互いに隣接して配置され、この正負組
み合わせレンズは第１レンズ群内の像側に近い側に配置
され（より正確には、両レンズＬBP、ＬBNによって構成
される空気レンズは第１レンズ群の中央に位置するレン
ズ又は空気レンズよりも像側に位置し）、且つ、 但し、ｒBP2：正レンズＬBPの第２面の曲率半径 ｒBN1：負レンズＬBNの第１面の曲率半径 νBP：正レンズＬBPのアッベ数 νBN：負レンズＬBNのアッベ数 としたとき、 （｜ｒBP2｜−｜ｒBN1｜）／（｜ｒBP2｜＋｜ｒBN1｜）＜１．０ ‥‥（８） ０．１＜νBN／νBP＜０．９５ ‥‥（９） なる条件を満たすことが好ましい。条件式（６）〜
（９）は、物体に近い側において、広い露光領域内の全
域で倍率色収差を良好に補正しうる現実的な解を与える
ための条件であり、したがってこれらの条件式の範囲を
逸脱すると、倍率色収差を良好に補正できなくなる。
【００１６】次に、本発明においては、 ｎ3Pm：第３レンズ群に含まれる少なくとも１枚の正レ
ンズの屈折率 ｎ5P：第５レンズ群に含まれる全ての正レンズの屈折率
の平均値 とするとき、 ｎ3Pm＞ｎ5P ‥‥（１０） なる条件を満たすことが好ましい。一般に、軸上色収差
を補正するために異常分散性をもつ光学材料が使用され
るが、軸上色収差を効率よく補正するためには、その光
学材料は光線高の高いところに配置するのが好ましい。
そのため、これらの光学材料は主に凸レンズとして第５
レンズ群に配置されるが、これらの光学材料は屈折率が
低いため、これらの光学材料を多用すると、ペッツバー
ル和が０から離れて像面補正が困難となり、また光学系
コンパクト化の観点からも好ましくない。条件式（１
０）は、第３レンズ群においては、これらの光学材料を
含む低屈折率光学材料の使用を極力避けることを意味す
る。したがって条件式（１０）を満たさないと、コンパ
クトな光学系を得ることが困難になる。
ンズの屈折率 ｎ5P：第５レンズ群に含まれる全ての正レンズの屈折率
の平均値 とするとき、 ｎ3Pm＞ｎ5P ‥‥（１０） なる条件を満たすことが好ましい。一般に、軸上色収差
を補正するために異常分散性をもつ光学材料が使用され
るが、軸上色収差を効率よく補正するためには、その光
学材料は光線高の高いところに配置するのが好ましい。
そのため、これらの光学材料は主に凸レンズとして第５
レンズ群に配置されるが、これらの光学材料は屈折率が
低いため、これらの光学材料を多用すると、ペッツバー
ル和が０から離れて像面補正が困難となり、また光学系
コンパクト化の観点からも好ましくない。条件式（１
０）は、第３レンズ群においては、これらの光学材料を
含む低屈折率光学材料の使用を極力避けることを意味す
る。したがって条件式（１０）を満たさないと、コンパ
クトな光学系を得ることが困難になる。
【００１７】次に、本発明においては、 ｎ34P：第３レンズ群と第４レンズ群に含まれる全ての
正レンズの屈折率の平均値 ｎ34N：第３レンズ群と第４レンズ群に含まれる全ての
負レンズの屈折率の平均値 とするとき、 ｎ34P＞ｎ34N ‥‥（１１） なる条件を満たすことが好ましい。条件式（１１）を満
たすことにより、コンパクトな光学系において、ペッツ
バール像面をさらに良好かつ効果的に補正することがで
きる。
正レンズの屈折率の平均値 ｎ34N：第３レンズ群と第４レンズ群に含まれる全ての
負レンズの屈折率の平均値 とするとき、 ｎ34P＞ｎ34N ‥‥（１１） なる条件を満たすことが好ましい。条件式（１１）を満
たすことにより、コンパクトな光学系において、ペッツ
バール像面をさらに良好かつ効果的に補正することがで
きる。
【００１８】次に、本発明においては、 ＮＡ2：投影光学系の像側開口数 Ｙ：最大像高 Ｌ：物体面から像面までの距離 とするとき、 ０．００３＜ＮＡ2×Ｙ／Ｌ＜０．１ ‥‥（１２） なる条件を満たすことが好ましい。
【００１９】条件式（１２）は、物理的に可能かつ現実
に製造上コスト優位性のある投影光学系の条件を規定す
るものである。条件式（１２）の上限を超えると、良好
な収差を保つことが要求される露光領域全体において、
全体の良好な収差バランスを維持できない。また、条件
式（１２）の下限を超えると、投影光学系が長大化し、
現実的な解ではない。なお、投影光学系内に非球面を用
いたことによる効果を充分活かして、よりコンパクトな
投影光学系を実現するためには、条件式（１２）の下限
は０．００８８とすることが好ましい。
に製造上コスト優位性のある投影光学系の条件を規定す
るものである。条件式（１２）の上限を超えると、良好
な収差を保つことが要求される露光領域全体において、
全体の良好な収差バランスを維持できない。また、条件
式（１２）の下限を超えると、投影光学系が長大化し、
現実的な解ではない。なお、投影光学系内に非球面を用
いたことによる効果を充分活かして、よりコンパクトな
投影光学系を実現するためには、条件式（１２）の下限
は０．００８８とすることが好ましい。
【００２０】次に、本発明においては、第１レンズ群の
第１レンズの第１面は物体側に凹に形成され、第１レン
ズ群の第２レンズは負レンズによって形成され、且つ、 ｆ11：第１レンズ群の第１レンズの焦点距離 ｆ1：第１レンズ群の焦点距離 とするとき、 ｜ｆ11／ｆ1｜＞０．２５ ‥‥（１３） なる条件を満たすことが好ましい。条件式（１３）は、
倍率色収差の補正に極力影響を与えることなく、主に歪
曲収差を良好に補正するための現実的な解を与える範囲
を規定する。また、第１レンズ第１面の凹面によって、
射出瞳位置を像位置からより遠くすることができる。
第１レンズの第１面は物体側に凹に形成され、第１レン
ズ群の第２レンズは負レンズによって形成され、且つ、 ｆ11：第１レンズ群の第１レンズの焦点距離 ｆ1：第１レンズ群の焦点距離 とするとき、 ｜ｆ11／ｆ1｜＞０．２５ ‥‥（１３） なる条件を満たすことが好ましい。条件式（１３）は、
倍率色収差の補正に極力影響を与えることなく、主に歪
曲収差を良好に補正するための現実的な解を与える範囲
を規定する。また、第１レンズ第１面の凹面によって、
射出瞳位置を像位置からより遠くすることができる。
【００２１】他方、第１レンズ群の第１レンズの第１面
は物体側に凹に形成され、第１レンズ群の第２レンズは
正レンズによって形成され、且つ、 ｒ1：第１レンズ群の第１レンズの第１面の曲率半径 ｆ1：第１レンズ群の焦点距離 ｆ2：第２レンズ群の焦点距離 とするとき、 ｒ1／ｆ1＜−０．４ ‥‥（１４） ｒ1／ｆ2＞０．７ ‥‥（１５） なる条件を満たす構成とすることもできる。
は物体側に凹に形成され、第１レンズ群の第２レンズは
正レンズによって形成され、且つ、 ｒ1：第１レンズ群の第１レンズの第１面の曲率半径 ｆ1：第１レンズ群の焦点距離 ｆ2：第２レンズ群の焦点距離 とするとき、 ｒ1／ｆ1＜−０．４ ‥‥（１４） ｒ1／ｆ2＞０．７ ‥‥（１５） なる条件を満たす構成とすることもできる。
【００２２】条件式（１３）の場合には、第２レンズが
条件式（６）、（７）における負レンズＬANに対応し、
すなわち倍率色収差補正の役割を担っていたから、第１
レンズは専ら歪曲収差の補正と射出瞳位置の調整の役割
を担うことができた。しかし、条件式（１４）、（１
５）の場合には、第１レンズと第２レンズが、それぞれ
条件式（６）、（７）における負レンズＬANと正レンズ
ＬAPに対応し、すなわち倍率色収差補正の役割を担う。
したがって歪曲収差の補正や射出瞳位置の調整は、第１
レンズ群内の他のレンズや、第２レンズ群によって行う
ことになる。条件式（１４）、（１５）は、そのために
必要な条件を規定するものであり、同条件を満たさない
と、歪曲収差の補正や射出瞳位置の調整が困難となる。
条件式（６）、（７）における負レンズＬANに対応し、
すなわち倍率色収差補正の役割を担っていたから、第１
レンズは専ら歪曲収差の補正と射出瞳位置の調整の役割
を担うことができた。しかし、条件式（１４）、（１
５）の場合には、第１レンズと第２レンズが、それぞれ
条件式（６）、（７）における負レンズＬANと正レンズ
ＬAPに対応し、すなわち倍率色収差補正の役割を担う。
したがって歪曲収差の補正や射出瞳位置の調整は、第１
レンズ群内の他のレンズや、第２レンズ群によって行う
ことになる。条件式（１４）、（１５）は、そのために
必要な条件を規定するものであり、同条件を満たさない
と、歪曲収差の補正や射出瞳位置の調整が困難となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面によっ
て説明する。図１は本発明による投影光学系を用いた投
影露光装置の一実施例を示す。照明光学系１より発した
露光光は、レチクルステージ２上に載置されたレチクル
Ｒを均一に照明する。レチクルＲのパターン面ＰＡを透
過した露光光は、投影光学系３によって、ウエハステー
ジ４上に載置されたウエハＷの感光面に、パターンＰＡ
の像を結像する。こうしてレチクル上のパターンＰＡが
ウエハＷの感光面に転写される。
て説明する。図１は本発明による投影光学系を用いた投
影露光装置の一実施例を示す。照明光学系１より発した
露光光は、レチクルステージ２上に載置されたレチクル
Ｒを均一に照明する。レチクルＲのパターン面ＰＡを透
過した露光光は、投影光学系３によって、ウエハステー
ジ４上に載置されたウエハＷの感光面に、パターンＰＡ
の像を結像する。こうしてレチクル上のパターンＰＡが
ウエハＷの感光面に転写される。
【００２４】図２、図５、図８及び図１１は、それぞれ
本発明による投影光学系の第１、第２、第３及び第４実
施例のレンズ構成図を示している。各実施例の投影光学
系とも、レチクルＲ上のパターンをウエハＷの感光面に
投影するものであり、その主要諸元は、 ＮＡ2（像側開口数）：０．５７ β（投影倍率）：１／４ Ｙ（最大像高）：２１ｍｍ（露光領域の直径は４２ｍ
ｍ） λ（基準波長）：３６５．０ｎｍ Δλ（波長幅）：±３ｎｍ である。
本発明による投影光学系の第１、第２、第３及び第４実
施例のレンズ構成図を示している。各実施例の投影光学
系とも、レチクルＲ上のパターンをウエハＷの感光面に
投影するものであり、その主要諸元は、 ＮＡ2（像側開口数）：０．５７ β（投影倍率）：１／４ Ｙ（最大像高）：２１ｍｍ（露光領域の直径は４２ｍ
ｍ） λ（基準波長）：３６５．０ｎｍ Δλ（波長幅）：±３ｎｍ である。
【００２５】各実施例の投影光学系とも、レチクルＲ側
から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈
折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３
レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群と、正の
屈折力を有する第５レンズ群と、正の屈折力を有する第
６レンズ群とからなる。また開口絞りＡＳは、第４レン
ズ群と第５レンズ群の間に設けられている。また、各実
施例とも、複数種類のガラス材を使用しており、１面の
非球面レンズ面（図中、＊印を付した面）を第４レンズ
群に持っている。
から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈
折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３
レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群と、正の
屈折力を有する第５レンズ群と、正の屈折力を有する第
６レンズ群とからなる。また開口絞りＡＳは、第４レン
ズ群と第５レンズ群の間に設けられている。また、各実
施例とも、複数種類のガラス材を使用しており、１面の
非球面レンズ面（図中、＊印を付した面）を第４レンズ
群に持っている。
【００２６】第１実施例の第１レンズ群は、レチクルＲ
側に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ11、ウエハＷ側
に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ12、３枚の両凸レ
ンズＬ13、Ｌ14、Ｌ15、及びウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス負レンズＬ16からなる。第２レンズ群は、両
凸レンズＬ21、２枚の両凹レンズＬ22、Ｌ23、及びレチ
クルＲ側に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ24からな
る。第３レンズ群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニ
スカス正レンズＬ31、レチクルＲ側に凹面を向けたメニ
スカス負レンズＬ32、レチクルＲ側に凹面を向けたメニ
スカス正レンズＬ33、及び２枚の両凸レンズＬ34、Ｌ35
からなる。第４レンズ群は、両凸レンズＬ41、ウエハＷ
側に凹面を向けた２枚のメニスカス負レンズＬ42、
Ｌ43、２枚の両凹レンズＬ44、Ｌ45、及びレチクルＲ側
に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ46からなる。第５
レンズ群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス正
レンズＬ51、両凸レンズＬ52、レチクルＲ側に凹面を向
けたメニスカス負レンズＬ53、ウエハＷ側に凹面を向け
たメニスカス負レンズＬ54、２枚の両凸レンズＬ55、Ｌ
56、及びウエハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズ
Ｌ57からなる。第６レンズ群は、ウエハＷ側に凹面を向
けたメニスカス正レンズＬ61、ウエハＷ側に凹面を向け
たメニスカス負レンズＬ62、ウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス正レンズＬ63、及びウエハＷ側に凹面を向け
たメニスカス負レンズＬ64からなる。
側に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ11、ウエハＷ側
に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ12、３枚の両凸レ
ンズＬ13、Ｌ14、Ｌ15、及びウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス負レンズＬ16からなる。第２レンズ群は、両
凸レンズＬ21、２枚の両凹レンズＬ22、Ｌ23、及びレチ
クルＲ側に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ24からな
る。第３レンズ群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニ
スカス正レンズＬ31、レチクルＲ側に凹面を向けたメニ
スカス負レンズＬ32、レチクルＲ側に凹面を向けたメニ
スカス正レンズＬ33、及び２枚の両凸レンズＬ34、Ｌ35
からなる。第４レンズ群は、両凸レンズＬ41、ウエハＷ
側に凹面を向けた２枚のメニスカス負レンズＬ42、
Ｌ43、２枚の両凹レンズＬ44、Ｌ45、及びレチクルＲ側
に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ46からなる。第５
レンズ群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス正
レンズＬ51、両凸レンズＬ52、レチクルＲ側に凹面を向
けたメニスカス負レンズＬ53、ウエハＷ側に凹面を向け
たメニスカス負レンズＬ54、２枚の両凸レンズＬ55、Ｌ
56、及びウエハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズ
Ｌ57からなる。第６レンズ群は、ウエハＷ側に凹面を向
けたメニスカス正レンズＬ61、ウエハＷ側に凹面を向け
たメニスカス負レンズＬ62、ウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス正レンズＬ63、及びウエハＷ側に凹面を向け
たメニスカス負レンズＬ64からなる。
【００２７】第２実施例は、第１レンズ群第１レンズが
レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ11に
よって形成され、第１レンズ群第２レンズが両凹レンズ
Ｌ12によって形成され、第４レンズ群第１レンズがウエ
ハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ41によって
形成されている点を除き、第１実施例と同じである。
レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ11に
よって形成され、第１レンズ群第２レンズが両凹レンズ
Ｌ12によって形成され、第４レンズ群第１レンズがウエ
ハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ41によって
形成されている点を除き、第１実施例と同じである。
【００２８】第３実施例の第１レンズ群は、両凹レンズ
Ｌ11、２枚の両凸レンズＬ12、Ｌ13、ウエハＷ側に凹面
を向けた２枚のメニスカス正レンズＬ14、Ｌ15、及びウ
エハＷ側に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ16からな
る。第２レンズ群は、両凸レンズＬ21、３枚の両凹レン
ズＬ22、Ｌ23、Ｌ24、及び両凸レンズＬ25からなる。第
３レンズ群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス
正レンズＬ31、２枚の両凸レンズＬ32、Ｌ33、及びウエ
ハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ34からな
る。第４レンズ群は、ウエハＷ側に凹面を向けた２枚の
メニスカス負レンズＬ41、Ｌ42、２枚の両凹レンズ
Ｌ43、Ｌ44、及び両凸レンズＬ45からなる。第５レンズ
群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス正レンズ
Ｌ51、２枚の両凸レンズＬ52、Ｌ53、レチクルＲ側に凹
面を向けたメニスカス負レンズＬ54、両凸レンズＬ55、
及びウエハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ56
からなる。第６レンズ群は、ウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス正レンズＬ61、両凹レンズＬ62、両凸レンズ
Ｌ63、両凹レンズＬ64、及びウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス正レンズＬ65からなる。第４実施例は、第３
実施例と同様に形成されている。
Ｌ11、２枚の両凸レンズＬ12、Ｌ13、ウエハＷ側に凹面
を向けた２枚のメニスカス正レンズＬ14、Ｌ15、及びウ
エハＷ側に凹面を向けたメニスカス負レンズＬ16からな
る。第２レンズ群は、両凸レンズＬ21、３枚の両凹レン
ズＬ22、Ｌ23、Ｌ24、及び両凸レンズＬ25からなる。第
３レンズ群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス
正レンズＬ31、２枚の両凸レンズＬ32、Ｌ33、及びウエ
ハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ34からな
る。第４レンズ群は、ウエハＷ側に凹面を向けた２枚の
メニスカス負レンズＬ41、Ｌ42、２枚の両凹レンズ
Ｌ43、Ｌ44、及び両凸レンズＬ45からなる。第５レンズ
群は、レチクルＲ側に凹面を向けたメニスカス正レンズ
Ｌ51、２枚の両凸レンズＬ52、Ｌ53、レチクルＲ側に凹
面を向けたメニスカス負レンズＬ54、両凸レンズＬ55、
及びウエハＷ側に凹面を向けたメニスカス正レンズＬ56
からなる。第６レンズ群は、ウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス正レンズＬ61、両凹レンズＬ62、両凸レンズ
Ｌ63、両凹レンズＬ64、及びウエハＷ側に凹面を向けた
メニスカス正レンズＬ65からなる。第４実施例は、第３
実施例と同様に形成されている。
【００２９】このうち、各実施例とも、レンズＬ61が前
記した正レンズＬCPに対応し、レンズＬ62が負レンズＬ
CNに対応する。更に、レンズＬ63も正レンズＬCPに対応
し、レンズＬ64も負レンズＬCNに対応する。すなわち第
６レンズ群は、前記した組み合わせレンズを２組有す
る。また、第１実施例と第２実施例では、レンズＬ12と
Ｌ13がそれぞれ前記した負レンズＬANと正レンズＬAPに
対応し、第３実施例と第４実施例では、レンズＬ11とＬ
12がそれぞれ負レンズＬANと正レンズＬAPに対応する。
また、各実施例とも、レンズＬ15とＬ16がそれぞれ前記
した正レンズＬBPと負レンズＬBNに対応する。
記した正レンズＬCPに対応し、レンズＬ62が負レンズＬ
CNに対応する。更に、レンズＬ63も正レンズＬCPに対応
し、レンズＬ64も負レンズＬCNに対応する。すなわち第
６レンズ群は、前記した組み合わせレンズを２組有す
る。また、第１実施例と第２実施例では、レンズＬ12と
Ｌ13がそれぞれ前記した負レンズＬANと正レンズＬAPに
対応し、第３実施例と第４実施例では、レンズＬ11とＬ
12がそれぞれ負レンズＬANと正レンズＬAPに対応する。
また、各実施例とも、レンズＬ15とＬ16がそれぞれ前記
した正レンズＬBPと負レンズＬBNに対応する。
【００３０】以下の表１〜４に、それぞれ第１〜第４実
施例の諸元と、前記各条件式（１）〜（１５）における
パラメータの値を示す。各表の［レンズ諸元］中、第１
欄ＮｏはレチクルＲ側からの各レンズ面の番号、第２欄
ｒは各レンズ面の曲率半径、第３欄ｄは各レンズ面から
次のレンズ面までの光軸上の距離、第４欄ｎは基準波長
λにおける各レンズの屈折率、第５欄νは波長幅±Δλ
における各レンズのアッベ数、第６欄は各レンズの番号
を示す。レンズ番号に付した記号は、Ｐは正レンズを示
し、Ｎは負レンズを示す。また、アッベ数νは、 ν＝（ｎ−１）／（ｎ-−ｎ+） ｎ-：λ−Δλにおける屈折率 ｎ+：λ＋Δλにおける屈折率 によって定義している。
施例の諸元と、前記各条件式（１）〜（１５）における
パラメータの値を示す。各表の［レンズ諸元］中、第１
欄ＮｏはレチクルＲ側からの各レンズ面の番号、第２欄
ｒは各レンズ面の曲率半径、第３欄ｄは各レンズ面から
次のレンズ面までの光軸上の距離、第４欄ｎは基準波長
λにおける各レンズの屈折率、第５欄νは波長幅±Δλ
における各レンズのアッベ数、第６欄は各レンズの番号
を示す。レンズ番号に付した記号は、Ｐは正レンズを示
し、Ｎは負レンズを示す。また、アッベ数νは、 ν＝（ｎ−１）／（ｎ-−ｎ+） ｎ-：λ−Δλにおける屈折率 ｎ+：λ＋Δλにおける屈折率 によって定義している。
【００３１】また第１欄Ｎｏ中＊印を付したレンズ面は
非球面を示し、非球面レンズ面についての第２欄ｒは、
頂点曲率半径である。非球面の形状は、 ｙ：光軸からの高さ ｚ：接平面から非球面までの光軸方向の距離 ｒ：頂点曲率半径 κ：円錐係数 Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ：非球面係数 によって表わしており、［非球面データ］に円錐係数κ
と非球面係数Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを示した。
非球面を示し、非球面レンズ面についての第２欄ｒは、
頂点曲率半径である。非球面の形状は、 ｙ：光軸からの高さ ｚ：接平面から非球面までの光軸方向の距離 ｒ：頂点曲率半径 κ：円錐係数 Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ：非球面係数 によって表わしており、［非球面データ］に円錐係数κ
と非球面係数Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを示した。
【００３２】
【表１】 Ｎｏ ｒ ｄ ｎ ν 0 ∞ 75.711588 Ｒ 1 -560.52361 22.646845 1.51183 631.11 Ｌ11(N) 2 -597.19192 1.109233 3 2796.88016 13.865415 1.61265 277.85 Ｌ12(N) ＬAN 4 303.67789 13.175357 5 443.18647 36.686155 1.46393 717.04 Ｌ13(P) ＬAP 6 -289.81658 0.462181 7 245.01051 35.773192 1.51183 631.11 Ｌ14(P) 8 -935.07502 0.462181 9 215.77051 32.283789 1.51183 631.11 Ｌ15(P) ＬBP 10 -1411.49344 0.924361 11 6281.07629 10.500000 1.61265 277.85 Ｌ16(N) ＬBN 12 125.70265 21.708595 13 359.36002 24.033590 1.61548 458.63 Ｌ21(P) 14 -318.42861 0.462181 15 -836.77257 12.941054 1.50442 554.31 Ｌ22(N) 16 136.44453 35.210251 17 -231.85488 12.941054 1.51183 631.11 Ｌ23(N) 18 274.68052 25.126079 19 -169.35603 16.213110 1.46393 717.04 Ｌ24(N) 20 -1029.96916 23.092857 21 -1850.11314 46.576550 1.61548 458.63 Ｌ31(P) 22 -253.98164 26.940813 23 -141.36237 18.487220 1.47458 539.97 Ｌ32(N) 24 -237.45747 1.217593 25 -2117.42903 24.957747 1.61548 458.63 Ｌ33(P) 26 -336.57384 0.462181 27 1255.96000 28.219456 1.61548 458.63 Ｌ34(P) 28 -415.96245 0.462181 29 333.63763 29.500000 1.61548 458.63 Ｌ35(P) 3O -1908.14787 2.660876 31 248.79832 31.063871 1.61548 458.63 Ｌ41(P) 32 -23479.61750 1.087555 33 6559.57756 16.280979 1.50442 554.31 Ｌ42(N) 34 436.94786 6.344350 35 882.99247 14.789776 1.47458 539.97 Ｌ43(N) 36 138.75391 32.413514 37 -225.06862 11.092332 1.61265 277.85 Ｌ44(N) 38 242.61373 29.472767 ＊39 -140.21068 10.367598 1.61265 277.85 Ｌ45(N) 40 1350.73328 7.263517 41 -873.17180 24.553932 1.51183 631.11 Ｌ46(P) 42 -266.17433 1.734113 43 − 25.152725 ＡＳ 44 -940.80486 23.317417 1.61548 458.63 Ｌ51(P) 45 -215.08725 0.483043 46 455.49713 43.775022 1.46393 717.04 Ｌ52(P) 47 -326.23770 10.473409 48 -261.92042 20.798123 1.61265 277.85 Ｌ53(N) 49 -394.04567 7.000000 50 691.74753 21.075431 1.61265 277.85 Ｌ54(N) 51 320.53860 5.546166 52 369.74440 41.596245 1.46393 717.04 Ｌ55(P) 53 -647.05271 0.462181 54 622.43484 29.579552 1.46393 717.04 Ｌ56(P) 55 -694.21526 1.000000 56 184.87220 31.355648 1.46393 717.04 Ｌ57(P) 57 389.67979 4.688174 58 129.95615 41.424851 1.51183 631.11 Ｌ61(P) ＬCP 59 277.75711 4.621805 60 306.56586 24.722637 1.61265 277.85 Ｌ62(N) ＬCN 61 89.39697 24.833212 62 96.38614 45.042703 1.51183 631.11 Ｌ63(P) ＬCP 63 1848.72202 1.000000 64 1007.48113 42.472466 1.50442 554.31 Ｌ64(N) ＬCN 65 353.70429 3.924362 66 ∞ 13.621805 Ｗ ［非球面データ］ Ｎｏ＝39 κ＝0.0 Ａ＝-0.779527×10-9 Ｂ＝ 0.232875×10-12 Ｃ＝ 0.695185×10-17 Ｄ＝ 0.671026×10-20 ［条件式対応値］ （１）ｆ1／Ｌ＝0.327 （２）ｆ6／Ｌ＝0.363 （３）ｆ2／ｆ4＝1.35 （４）ｆ3／ｆ5＝1.01 （５）νCN／νCP＝0.440；0.878 （６）｜ｒAN2／ｒAP1｜＝0.685 （７）νAN／νAP＝0.387 （８）（｜ｒBP2｜−｜ｒBN1｜）／（｜ｒBP2｜＋｜ｒBN1｜）＝-0.633 （９）νBN／νBP＝0.440 （１０）ｎ3Pm＝1.61548，ｎ5P＝1.494 （１１）ｎ34P＝1.598，ｎ34N＝1.536 （１２）ＮＡ2×Ｙ／Ｌ＝0.00961 （１３）｜ｆ11／ｆ1｜＝55.19 （１４）適用なし （１５）適用なし
【００３３】
【表２】 Ｎｏ ｒ ｄ ｎ ν 0 ∞ 75.331260 Ｒ 1 -827.98436 22.646845 1.51183 631.11 Ｌ11(P) 2 -629.12537 1.109233 3 -49672.13540 13.865415 1.61265 277.85 Ｌ12(N) ＬAN 4 302.00000 16.631831 5 417.99165 38.404161 1.46393 717.04 Ｌ13(P) ＬAP 6 -286.20535 0.462181 7 270.00000 32.577871 1.51183 631.11 Ｌ14(P) 8 -1071.80362 0.462181 9 206.49981 34.018987 1.51183 631.11 Ｌ15(P) ＬBP 10 -1406.69909 0.924361 11 3165.27594 10.500000 1.61265 277.85 Ｌ16(N) ＬBN 12 126.56023 22.496462 13 391.93241 23.832057 1.61548 458.63 Ｌ21(P) 14 -307.37150 0.462181 15 -793.13448 12.941054 1.50442 554.31 Ｌ22(N) 16 137.75349 34.944724 17 -215.00000 12.941054 1.51183 631.11 Ｌ23(N) 18 293.50015 25.109121 19 -167.96525 15.820899 1.46393 717.04 Ｌ24(N) 20 -997.19101 21.883907 21 -1858.44272 46.642524 1.61548 458.63 Ｌ31(P) 22 -244.83458 24.289258 23 -138.91200 18.487220 1.47458 539.97 Ｌ32(N) 24 -233.56678 1.046877 25 -2082.11272 24.957747 1.61548 458.63 Ｌ33(P) 26 -333.34638 0.462181 27 1269.69072 28.849751 1.61548 458.63 Ｌ34(P) 28 -415.96245 0.462181 29 334.91585 29.368446 1.61548 458.63 Ｌ35(P) 3O -1687.44880 2.993737 31 249.21212 31.357225 1.61548 458.63 Ｌ41(P) 32 20105.74792 1.000000 33 4047.72901 16.511582 1.50442 554.31 Ｌ42(N) 34 423.15524 5.865626 35 812.61591 14.789776 1.47458 539.97 Ｌ43(N) 36 137.82869 33.079053 37 -210.00000 11.092332 1.61265 277.85 Ｌ44(N) 38 249.70870 28.207701 ＊39 -141.03159 10.760543 1.61265 277.85 Ｌ45(N) 40 1293.04110 7.256599 41 -893.51707 24.806692 1.51183 631.11 Ｌ46(P) 42 -268.94121 1.849245 43 − 25.107582 ＡＳ 44 -918.86927 23.355686 1.61548 458.63 Ｌ51(P) 45 -213.06690 0.483043 46 468.74844 43.569113 1.46393 717.04 Ｌ52(P) 47 -322.72600 7.467766 48 -261.87745 20.798123 1.61265 277.85 Ｌ53(N) 49 -392.77333 6.657594 50 689.43962 21.075431 1.61265 277.85 Ｌ54(N) 51 320.57911 5.546166 52 369.74440 41.596245 1.46393 717.04 Ｌ55(P) 53 -647.05271 0.462181 54 619.51094 29.579552 1.46393 717.04 Ｌ56(P) 55 -692.62236 1.000000 56 184.87220 31.249270 1.46393 717.04 Ｌ57(P) 57 396.86067 4.362319 58 130.04891 41.345178 1.51183 631.11 Ｌ61(P) ＬCP 59 280.55580 4.621805 60 309.41136 24.506037 1.61265 277.85 Ｌ62(N) ＬCN 61 89.25621 25.480490 62 96.20383 45.146535 1.51183 631.11 Ｌ63(P) ＬCP 63 1848.72202 1.000000 64 892.07419 42.465562 1.50442 554.31 Ｌ64(N) ＬCN 65 352.06713 3.924362 66 ∞ 13.621805 Ｗ ［非球面データ］ Ｎｏ＝39 κ＝0.0 Ａ＝-0.227291×10-9 Ｂ＝ 0.346806×10-12 Ｃ＝ 0.156434×10-16 Ｄ＝ 0.906171×10-20 ［条件式対応値］ （１）ｆ1／Ｌ＝0.321 （２）ｆ6／Ｌ＝0.356 （３）ｆ2／ｆ4＝1.33 （４）ｆ3／ｆ5＝1.00 （５）νCN／νCP＝0.440；0.878 （６）｜ｒAN2／ｒAP1｜＝0.723 （７）νAN／νAP＝0.387 （８）（｜ｒBP2｜−｜ｒBN1｜）／（｜ｒBP2｜＋｜ｒBN1｜）＝-0.370 （９）νBN／νBP＝0.440 （１０）ｎ3Pm＝1.61548，ｎ5P＝1.494 （１１）ｎ34P＝1.598，ｎ34N＝1.213 （１２）ＮＡ2×Ｙ／Ｌ＝0.00961 （１３）｜ｆ11／ｆ1｜＝12.34 （１４）適用なし （１５）適用なし
【００３４】
【表３】 Ｎｏ ｒ ｄ ｎ ν 0 ∞ 85.006400 Ｒ 1 -1848.31943 21.000000 1.61299 277.50 Ｌ11(N) ＬAN 2 371.84209 11.776824 3 892.31150 34.000000 1.50442 554.31 Ｌ12(P) ＬAP 4 -1401.04452 0.960063 5 1376.44231 47.540022 1.61551 458.31 Ｌ13(P) 6 -311.54263 0.960063 7 192.07975 34.700292 1.61551 458.31 Ｌ14(P) 8 1226.05340 0.960063 9 251.63935 26.933098 1.61551 458.31 Ｌ15(P) ＬBP 10 3192.83151 1.000000 11 3000.00000 20.378976 1.61299 277.50 Ｌ16(N) ＬBN 12 110.11451 23.433801 13 293.89072 32.696222 1.48746 675.15 Ｌ21(P) 14 -287.28092 0.960063 15 -2880.52371 16.377244 1.61551 458.31 Ｌ22(N) 16 127.60010 33.086367 17 -161.20539 14.148950 1.61551 458.31 Ｌ23(N) 18 502.78381 30.784330 19 -105.17786 13.852945 1.61551 458.31 Ｌ24(N) 20 6399.89522 5.138838 21 6223.14094 36.181903 1.48746 675.15 Ｌ25(P) 22 -161.10995 0.480032 23 -323.64830 25.921709 1.61551 458.31 Ｌ31(P) 24 -190.80278 0.480032 25 3966.92072 33.602216 1.61551 458.31 Ｌ32(P) 26 -363.22615 0.480032 27 429.03811 46.900000 1.61551 458.31 Ｌ33(P) 28 -1583.03005 0.480032 29 226.47272 32.883639 1.61551 458.31 Ｌ34(P) 3O 1256.86213 0.480032 31 222.53085 27.828033 1.61551 458.31 Ｌ41(N) 32 138.51455 0.960063 33 138.06181 22.362652 1.61299 277.50 Ｌ42(N) 34 118.45479 36.250355 35 -290.16789 12.960855 1.61299 277.50 Ｌ43(N) 36 250.54330 31.040748 ＊37 -140.92049 12.960855 1.61299 277.50 Ｌ44(N) 38 1400.00000 1.000000 39 823.67505 22.081456 1.48746 675.15 Ｌ45(P) 40 -757.22146 8.488440 41 − 21.110024 ＡＳ 42 -421.69106 23.041519 1.48746 675.15 Ｌ51(P) 43 -212.25342 0.480032 44 1360.01767 29.759708 1.48746 675.15 Ｌ52(P) 45 -265.46122 0.480032 46 768.05064 26.881772 1.61551 458.31 Ｌ53(P) 47 -576.03798 20.447527 48 -217.87602 22.081456 1.61299 277.50 Ｌ54(N) 49 -402.32048 0.480032 50 609.15717 53.000000 1.61551 458.31 Ｌ55(P) 51 -482.86923 0.480032 52 198.79561 34.632296 1.48746 675.15 Ｌ56(P) 53 730.40073 0.480032 54 150.65377 52.914637 1.48746 675.15 Ｌ61(P) ＬCP 55 6961.50010 2.886589 56 -4502.08206 15.361013 1.61299 277.50 Ｌ62(N) ＬCN 57 111.23674 11.137576 58 174.57007 28.734981 1.48746 675.15 Ｌ63(P) ＬCP 59 -580.00000 0.960063 60 -1439.21059 17.675644 1.61299 277.50 Ｌ64(N) ＬCN 61 185.76015 7.765253 62 85.01034 46.117068 1.48746 675.15 Ｌ65(P) 63 364.60024 1.701328 64 ∞ 16.030397 Ｗ ［非球面データ］ Ｎｏ＝37 κ＝0.0 Ａ＝ 0.111669×10-8 Ｂ＝ 0.224930×10-12 Ｃ＝ 0.228194×10-17 Ｄ＝ 0.490033×10-20 ［条件式対応値］ （１）ｆ1／Ｌ＝0.298 （２）ｆ6／Ｌ＝0.355 （３）ｆ2／ｆ4＝1.29 （４）ｆ3／ｆ5＝0.966 （５）νCN／νCP＝0.411；0.411 （６）｜ｒAN2／ｒAP1｜＝0.417 （７）νAN／νAP＝0.501 （８）（｜ｒBP2｜−｜ｒBN1｜）／（｜ｒBP2｜＋｜ｒBN1｜）＝0.0311 （９）νBN／νBP＝0.605 （１０）ｎ3Pm＝1.61551，ｎ5P＝1.539 （１１）ｎ34P＝1.590，ｎ34N＝1.614 （１２）ＮＡ2×Ｙ／Ｌ＝0.00962 （１３）適用なし （１４）ｒ1／ｆ1＝-4.99 （１５）ｒ1／ｆ2＝15.28
【００３５】
【表４】 Ｎｏ ｒ ｄ ｎ ν 0 ∞ 83.672944 Ｒ 1 -2405.43872 17.501714 1.61299 277.50 Ｌ11(N) ＬAN 2 408.08291 11.908440 3 1155.38955 33.523971 1.50442 554.31 Ｌ12(P) ＬAP 4 -1202.08870 0.960063 5 1160.03840 53.000000 1.61551 458.31 Ｌ13(P) 6 -329.89077 0.960063 7 210.00000 41.935873 1.61551 458.31 Ｌ14(P) 8 2531.35786 0.960063 9 281.03668 29.718289 1.61551 458.31 Ｌ15(P) ＬBP 10 1425.62013 1.000000 11 1229.18375 20.484681 1.61299 277.50 Ｌ16(N) ＬBN 12 111.80247 21.740735 13 317.44048 29.174399 1.48746 675.15 Ｌ21(P) 14 -278.69677 0.960063 15 -1472.45926 14.500000 1.61551 458.31 Ｌ22(N) 16 135.66008 33.042382 17 -152.00000 12.755868 1.61551 458.31 Ｌ23(N) 18 561.59661 30.013413 19 -105.32590 13.852945 1.61551 458.31 Ｌ24(N) 20 6146.78624 4.587657 21 6724.64787 36.244896 1.48746 675.15 Ｌ25(P) 22 -160.10170 0.480032 23 -319.21153 25.921709 1.61551 458.31 Ｌ31(P) 24 -187.80552 0.480032 25 4658.21717 33.602216 1.61551 458.31 Ｌ32(P) 26 -360.91321 0.480032 27 429.03811 46.030346 1.61551 458.31 Ｌ33(P) 28 -1516.86698 0.480032 29 226.47272 32.847588 1.61551 458.31 Ｌ34(P) 3O 1295.56272 0.480032 31 215.76647 27.820278 1.61551 458.31 Ｌ41(N) 32 154.37979 0.960063 33 155.31496 22.357471 1.61299 277.50 Ｌ42(N) 34 117.62878 36.361393 35 -279.64217 12.960855 1.61299 277.50 Ｌ43(N) 36 259.13984 30.698432 ＊37 -141.61496 12.960855 1.61299 277.50 Ｌ44(N) 38 1796.11970 1.061541 39 953.14656 22.081456 1.48746 675.15 Ｌ45(P) 40 -744.12126 8.189495 41 − 20.811079 ＡＳ 42 -396.98290 23.041519 1.48746 675.15 Ｌ51(P) 43 -208.41263 0.480032 44 1360.01767 29.742381 1.48746 675.15 Ｌ52(P) 45 -262.75635 0.480032 46 768.05064 26.881772 1.61551 458.31 Ｌ53(P) 47 -576.03798 20.486147 48 -218.52323 22.081456 1.61299 277.50 Ｌ54(N) 49 -410.10155 0.480032 50 595.21024 48.206288 1.61551 458.31 Ｌ55(P) 51 -484.98835 0.480032 52 205.00000 34.546835 1.48746 675.15 Ｌ56(P) 53 722.28041 0.480032 54 152.17595 52.783505 1.48746 675.15 Ｌ61(P) ＬCP 55 5815.60214 2.919968 56 -5571.47687 15.361013 1.61299 277.50 Ｌ62(N) ＬCN 57 117.93960 11.206261 58 192.41333 28.372969 1.48746 675.15 Ｌ63(P) ＬCP 59 -720.89206 0.960063 60 -3102.47583 17.892281 1.61299 277.50 Ｌ64(N) ＬCN 61 198.47493 7.947277 62 87.92087 46.541528 1.48746 675.15 Ｌ65(P) 63 372.68087 1.701328 64 ∞ 16.803495 Ｗ ［非球面データ］ Ｎｏ＝37 κ＝0.0 Ａ＝ 0.126757×10-8 Ｂ＝ 0.224476×10-12 Ｃ＝-0.131816×10-17 Ｄ＝ 0.521760×10-20 ［条件式対応値］ （１）ｆ1／Ｌ＝0.299 （２）ｆ6／Ｌ＝0.343 （３）ｆ2／ｆ4＝1.24 （４）ｆ3／ｆ5＝0.959 （５）νCN／νCP＝0.411；0.411 （６）｜ｒAN2／ｒAP1｜＝0.353 （７）νAN／νAP＝0.501 （８）（｜ｒBP2｜−｜ｒBN1｜）／（｜ｒBP2｜＋｜ｒBN1｜）＝0.0739 （９）νBN／νBP＝0.605 （１０）ｎ3Pm＝1.61551，ｎ5P＝1.539 （１１）ｎ34P＝1.590，ｎ34N＝1.614 （１２）ＮＡ2×Ｙ／Ｌ＝0.00966 （１３）適用なし （１４）ｒ1／ｆ1＝-6.49 （１５）ｒ1／ｆ2＝20.38
【００３６】図３に第１実施例の球面収差、非点収差、
及び歪曲収差を示し、図４に同実施例の横収差を示す。
非点収差図中、点線Ｍはメリジオナル像面を表し、実線
Ｓはサジタル像面を表す。同様に、図６と図７に第２実
施例の諸収差を示し、図９と図１０に第３実施例の諸収
差を示し、図１２と図１３に第４実施例の諸収差を示
す。各収差図より明らかなように、各実施例とも優れた
結像性能を有することが分かる。
及び歪曲収差を示し、図４に同実施例の横収差を示す。
非点収差図中、点線Ｍはメリジオナル像面を表し、実線
Ｓはサジタル像面を表す。同様に、図６と図７に第２実
施例の諸収差を示し、図９と図１０に第３実施例の諸収
差を示し、図１２と図１３に第４実施例の諸収差を示
す。各収差図より明らかなように、各実施例とも優れた
結像性能を有することが分かる。
【００３７】なお、上述の各実施例では、ｉ線（３６５
ｎｍ）の露光光を供給する水銀ランプを光源として用い
た例を示したが、これに限ることなく、例えばｇ線（４
３５ｎｍ）の露光光を供給する水銀ランプ、１９３ｎ
ｍ，２４８ｎｍの光を供給するエキシマレーザー等の極
紫外光源を用いたものに適用しうる。さらに、上述の各
実施例の投影光学系は、図１に示すように一括露光方式
の露光装置に用いられるものとして示したが、本発明の
投影光学系は、これに限ることなく、例えば、レチクル
ＲのパターンをウエハＷ上に走査露光する走査型露光装
置に適用することもできる。一括露光型を採用するか、
又は走査露光型を採用するかは、全体のシステムコンセ
プトによって決まるものであり、本発明は、投影露光シ
ステム系においての選択肢を大幅に広げることを意味す
る。
ｎｍ）の露光光を供給する水銀ランプを光源として用い
た例を示したが、これに限ることなく、例えばｇ線（４
３５ｎｍ）の露光光を供給する水銀ランプ、１９３ｎ
ｍ，２４８ｎｍの光を供給するエキシマレーザー等の極
紫外光源を用いたものに適用しうる。さらに、上述の各
実施例の投影光学系は、図１に示すように一括露光方式
の露光装置に用いられるものとして示したが、本発明の
投影光学系は、これに限ることなく、例えば、レチクル
ＲのパターンをウエハＷ上に走査露光する走査型露光装
置に適用することもできる。一括露光型を採用するか、
又は走査露光型を採用するかは、全体のシステムコンセ
プトによって決まるものであり、本発明は、投影露光シ
ステム系においての選択肢を大幅に広げることを意味す
る。
【００３８】
【発明の効果】以上のように本発明により、広い投影領
域を確保しつつ収差が良好に補正され、しかも大きな開
口数を確保することができる投影光学系と、これを備え
た投影露光装置が提供された。
域を確保しつつ収差が良好に補正され、しかも大きな開
口数を確保することができる投影光学系と、これを備え
た投影露光装置が提供された。
【図１】本発明による投影光学系を適用する投影露光装
置の一実施例を示す概略構成図
置の一実施例を示す概略構成図
【図２】本発明による投影光学系の第１実施例を示す断
面図
面図
【図３】第１実施例の球面収差、非点収差、及び歪曲収
差図
差図
【図４】第１実施例の横収差図
【図５】第２実施例を示す断面図
【図６】第２実施例の球面収差、非点収差、及び歪曲収
差図
差図
【図７】第２実施例の横収差図
【図８】第３実施例を示す断面図
【図９】第３実施例の球面収差、非点収差、及び歪曲収
差図
差図
【図１０】第３実施例の横収差図
【図１１】第４実施例を示す断面図
【図１２】第４実施例の球面収差、非点収差、及び歪曲
収差図
収差図
【図１３】第４実施例の横収差図
１…照明光学系 ２…レチクルステー
ジ ３…投影光学系 ４…ウエハステージ Ｒ…レチクル ＰＡ…パターン面 Ｗ…ウエハ Ｌ11〜Ｌ65…レンズ
ジ ３…投影光学系 ４…ウエハステージ Ｒ…レチクル ＰＡ…パターン面 Ｗ…ウエハ Ｌ11〜Ｌ65…レンズ
Claims (14)
- 【請求項１】少なくとも２種類以上のガラス材を使用
し、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群
と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を
有する第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ
群と、正の屈折力を有する第５レンズ群と、正の屈折力
を有する第６レンズ群とを有する投影光学系において、 該投影光学系は、非球面レンズ面を少なくとも１面有
し、且つ、以下の条件を満足することを特徴とする投影
光学系。 ｆ1／Ｌ＜０．７ ０． １＜ｆ6／Ｌ＜０．７ ０．１５＜ｆ2／ｆ4＜４ ０．０５＜ｆ3／ｆ5＜１２ 但し、ｆ1：前記第１レンズ群の焦点距離 ｆ2：前記第２レンズ群の焦点距離 ｆ3：前記第３レンズ群の焦点距離 ｆ4：前記第４レンズ群の焦点距離 ｆ5：前記第５レンズ群の焦点距離 ｆ6：前記第６レンズ群の焦点距離 Ｌ：物体面から像面までの距離 である。 - 【請求項２】前記非球面レンズ面は、前記第４レンズ群
又は第５レンズ群に配置されたことを特徴とする請求項
１記載の投影光学系。 - 【請求項３】前記第１レンズ群は、少なくとも３枚の正
レンズを有し、 前記第５レンズ群は、少なくとも５枚の正レンズと、少
なくとも１枚の負レンズとを有し、 前記第６レンズ群は、互いにアッベ数が異なり且つ物体
側から順に正レンズＬCPと負レンズＬCNとからなる組み
合わせレンズを少なくとも１組有することを特徴とする
請求項１又は２記載の投影光学系。 - 【請求項４】前記第２レンズ群は、少なくとも２枚の負
レンズと、少なくとも１枚の正レンズとを有し、 前記第３レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを有
し、 前記第４レンズ群は、少なくとも２枚の負レンズを有す
ることを特徴とする請求項３記載の投影光学系。 - 【請求項５】以下の条件を満足する請求項３又は４記載
の投影光学系。 ０．１＜νCN／νCP＜０．９５ 但し、νCP：前記正レンズＬCPのアッベ数 νCN：前記負レンズＬCNのアッベ数 である。 - 【請求項６】前記第６レンズ群は、前記組み合わせレン
ズを２組有し、いずれの組み合わせレンズも前記（５）
式を満足することを特徴とする請求項５記載の投影光学
系。 - 【請求項７】前記第１レンズ群は、物体側から順に像側
に凹面を向けた負レンズＬANと物体側に凸面を向けた正
レンズＬAPとからなる負正組み合わせレンズを有し、該
負正組み合わせレンズの前記負レンズＬANと正レンズＬ
APは互いに隣接して配置され、両レンズＬAN、ＬAPによ
って構成される空気レンズは第１レンズ群の中央に位置
するレンズ又は空気レンズよりも物体側に位置し、且
つ、 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１〜６の
いずれか１項記載の投影光学系。 ｜ｒAN2／ｒAP1｜＜６ ０．１＜νAN／νAP＜０．９５ 但し、ｒAN2：前記負レンズＬANの第２面の曲率半径 ｒAP1：前記正レンズＬAPの第１面の曲率半径 νAN：前記負レンズＬANのアッベ数 νAP：前記正レンズＬAPのアッベ数 である。 - 【請求項８】前記第１レンズ群は、物体側から順に物体
側に凸面を向けた正レンズＬBPと像側に凹面を向けた負
レンズＬBNとからなる正負組み合わせレンズを有し、該
正負組み合わせレンズの前記正レンズＬBPと負レンズＬ
BNは互いに隣接して配置され、両レンズＬBP、ＬBNによ
って構成される空気レンズは第１レンズ群の中央に位置
するレンズ又は空気レンズよりも像側に位置し、且つ、 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１〜７の
いずれか１項記載の投影光学系。 （｜ｒBP2｜−｜ｒBN1｜）／（｜ｒBP2｜＋｜ｒBN1｜）
＜１．０ ０．１＜νBN／νBP＜０．９５ 但し、ｒBP2：前記正レンズＬBPの第２面の曲率半径 ｒBN1：前記負レンズＬBNの第１面の曲率半径 νBP：前記正レンズＬBPのアッベ数 νBN：前記負レンズＬBNのアッベ数 である。 - 【請求項９】以下の条件を満足する請求項１〜８のいず
れか１項記載の投影光学系。 ｎ3Pm＞ｎ5P ‥‥（１０） 但し、ｎ3Pm：前記第３レンズ群に含まれる少なくとも
１枚の正レンズの屈折率 ｎ5P：前記第５レンズ群に含まれる全ての正レンズの屈
折率の平均値 である。 - 【請求項１０】以下の条件を満足する請求項１〜９のい
ずれか１項記載の投影光学系。 ｎ34P＞ｎ34N ‥‥（１１） 但し、ｎ34P：前記第３レンズ群と第４レンズ群に含ま
れる全ての正レンズの屈折率の平均値 ｎ34N：前記第３レンズ群と第４レンズ群に含まれる全
ての負レンズの屈折率の平均値 である。 - 【請求項１１】以下の条件を満足する請求項１〜１０の
いずれか１項記載の投影光学系。 ０．００３＜ＮＡ2×Ｙ／Ｌ＜０．１ 但し、ＮＡ2：投影光学系の像側開口数 Ｙ：最大像高 Ｌ：物体面から像面までの距離 である。 - 【請求項１２】前記第１レンズ群の第１レンズの第１面
は物体側に凹に形成され、第１レンズ群の第２レンズは
負レンズによって形成され、且つ、以下の条件を満足す
る請求項１〜１１のいずれか１項記載の投影光学系。 ｜ｆ11／ｆ1｜＞０．２５ 但し、ｆ11：前記第１レンズ群の第１レンズの焦点距離 ｆ1：前記第１レンズ群の焦点距離 である。 - 【請求項１３】前記第１レンズ群の第１レンズの第１面
は物体側に凹に形成され、第１レンズ群の第２レンズは
正レンズによって形成され、且つ、以下の条件を満足す
る請求項１〜１１のいずれか１項記載の投影光学系。 ｒ1／ｆ1＜−０．４ ｒ1／ｆ2＞０．７ 但し、ｒ1：前記第１レンズ群の第１レンズの第１面の
曲率半径 ｆ1：前記第１レンズ群の焦点距離 ｆ2：前記第２レンズ群の焦点距離 である。 - 【請求項１４】投影原版上のパターンを照明する照明光
学系と、 少なくとも２種類以上のガラス材を使用し、前記投影原
版側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負
の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する
第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群と、
正の屈折力を有する第５レンズ群と、正の屈折力を有す
る第６レンズ群とを有し、前記パターンを感光基板の感
光面上に転写する投影光学系とを有する投影露光装置に
おいて、 前記投影光学系は、非球面レンズ面を少なくとも１面有
し、且つ、以下の条件を満足することを特徴とする投影
露光装置。 ｆ1／Ｌ＜０．７ ０． １＜ｆ6／Ｌ＜０．７ ０．１５＜ｆ2／ｆ4＜４ ０．０５＜ｆ3／ｆ5＜１２ 但し、ｆ1：前記第１レンズ群の焦点距離 ｆ2：前記第２レンズ群の焦点距離 ｆ3：前記第３レンズ群の焦点距離 ｆ4：前記第４レンズ群の焦点距離 ｆ5：前記第５レンズ群の焦点距離 ｆ6：前記第６レンズ群の焦点距離 Ｌ：前記パターン面から感光面までの距離 である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10111507A JPH11297612A (ja) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | 投影光学系および投影露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10111507A JPH11297612A (ja) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | 投影光学系および投影露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11297612A true JPH11297612A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14563068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10111507A Pending JPH11297612A (ja) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | 投影光学系および投影露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11297612A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6556353B2 (en) | 2001-02-23 | 2003-04-29 | Nikon Corporation | Projection optical system, projection exposure apparatus, and projection exposure method |
| US6862078B2 (en) | 2001-02-21 | 2005-03-01 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus with the same |
| CN114563866A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-05-31 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 投影物镜系统 |
| CN114594659A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-06-07 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 投影物镜系统 |
-
1998
- 1998-04-07 JP JP10111507A patent/JPH11297612A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6862078B2 (en) | 2001-02-21 | 2005-03-01 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus with the same |
| US6556353B2 (en) | 2001-02-23 | 2003-04-29 | Nikon Corporation | Projection optical system, projection exposure apparatus, and projection exposure method |
| CN114563866A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-05-31 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 投影物镜系统 |
| CN114594659A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-06-07 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 投影物镜系统 |
| CN114563866B (zh) * | 2022-03-14 | 2024-02-20 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 投影物镜系统 |
| CN114594659B (zh) * | 2022-03-14 | 2025-05-27 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 投影物镜系统 |
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