JPH11299273A - 圧電変換素子及び圧電変換素子を使用したアクチエ−タ - Google Patents

圧電変換素子及び圧電変換素子を使用したアクチエ−タ

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JPH11299273A
JPH11299273A JP10119901A JP11990198A JPH11299273A JP H11299273 A JPH11299273 A JP H11299273A JP 10119901 A JP10119901 A JP 10119901A JP 11990198 A JP11990198 A JP 11990198A JP H11299273 A JPH11299273 A JP H11299273A
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piezoelectric
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shaped
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Masayuki Kamiyama
雅之 上山
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Minolta Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 製作が容易で、十分な機械的強度を得ること
ができる圧電変換素子を提供する。 【解決手段】 ２枚の薄板状の圧電素子１１及び１２の
表面にそれぞれ電極１１ａ及び１２ａを形成し、第１の
圧電素子１１の表面電極１１ａの上に第２の圧電素子１
２を積層して貼り合わせ、この積層体を巻き取つて円筒
状に構成する。貼り合わせ巻き取つて円筒状に構成され
た圧電素子を焼成し、電極１１ａ及び１２ａにリ−ド線
を接続して所定の直流高電圧を印加して分極させると、
圧電変換素子１０が完成する。積層体を巻き取つて円筒
状に構成する構成の他、折り畳んで構成することもでき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、圧電変換素子の
構造及びその圧電変換素子を使用したアクチエ−タに関
する。
【０００２】
【従来の技術】圧電変換素子を使用したアクチエ−タ
は、供給される電気エネルギを駆動力に変換する変換効
率が高く、小型軽量でありながら発生する駆動力が大き
く、また、駆動力を容易に制御できるため、カメラ、計
測機器、その他の精密機械の被駆動部材の駆動や位置決
めに利用されるようになつてきた。
【０００３】このようなアクチエ−タで使用される駆動
源である圧電変換素子には、単位の圧電素子を複数枚積
層して構成したものがある。これは、単位の圧電素子に
発生する厚み方向の変位をできるだけ大きくして取り出
すためである。
【０００４】図２０の（ａ）は、前記した単位の圧電素
子を複数枚積層して構成した圧電変換素子の構成の外観
を示す斜視図で、圧電変換素子１００は、厚さが１００
μｍ程度の単位の圧電素子１０１の表面に電極１０２を
設けてこれを複数枚積層して接着し、各単位圧電素子１
０１の間の電極１０２を１枚置きに図２０（ｂ）に示す
ように結線１０３、１０４して正極及び負極としたもの
である。正極及び負極に電圧を印加するときは厚み方向
に伸縮して変位が発生するから、発生した変位を適宜の
手段で被駆動部材に伝達することで被駆動部材の駆動や
位置決めを行うことができる。
【０００５】図２１は、前記した単位の圧電素子を複数
枚積層して構成した圧電変換素子を使用したアクチエ−
タの一例を示す断面図、図２２はその摩擦結合部の構成
を示す断面図である。
【０００６】図２１において、１１１はフレ−ム、１１
２、１１３、１１４は支持ブロツク、１１５は駆動軸
で、駆動軸１１５は支持ブロツク１１３と支持ブロツク
１１４により軸方向に移動自在に支持されている。１０
０は前記した圧電変換素子で、その一端は支持ブロツク
１１２に接着固定され、他端は駆動軸１１５の一端に接
着固定される。駆動軸１１５は圧電変換素子１００の厚
み方向の変位により軸方向（矢印ａ方向、及びこれと反
対方向）に変位可能に支持されている。
【０００７】１１６はスライダブロツクで、横方向に駆
動軸１１５が貫通している。スライダブロツク１１６の
駆動軸１１５が貫通している下部には、図２２に示すよ
うに、開口部１１６ａが形成され、駆動軸１１５の下半
分が露出している。また、この開口部１１６ａには駆動
軸１１５の下半分に当接するパツド１１７が嵌挿され、
パツド１１７には下部に突起１１７ａ（図２２参照）が
設けられており、パツド１１７の突起１１７ａが板ばね
１１８により押し上げられ、パツド１１７には駆動軸１
１５に当接する上向きの付勢力Ｆが与えられている。
【０００８】１２０は物品を載置するテ−ブルで、スラ
イダブロツク１１６に小ねじ１２１で固定されている。
【０００９】以上の構成により、パツド１１７を含むス
ライダブロツク１１６と駆動軸１１５とは板ばね１１８
の付勢力Ｆにより圧接され、摩擦結合している。
【００１０】次に、その動作を説明する。まず、圧電変
換素子１００に緩やかな立上り部分と急速な立下り部分
を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆動パルスの
緩やかな立上り部分では、圧電変換素子１００が緩やか
に厚み方向に伸び変位し、圧電素子１００に結合する駆
動軸１１５も矢印ａ方向に緩やかに変位する。このと
き、駆動軸１１５に摩擦結合したスライダブロツク１１
６は摩擦結合力により駆動軸１１５と共に矢印ａ方向に
移動する。
【００１１】次に、駆動パルスの急速な立下り部分で
は、圧電変換素子１００が急速に厚み方向に縮み変位
し、圧電変換素子１００に結合する駆動軸１１５も矢印
ａと反対方向に急速に変位する。このとき、駆動軸１１
５に摩擦結合したスライダブロツク１１６は慣性力によ
り摩擦結合力に打ち勝つて実質的にその位置に留まり、
移動しない。圧電変換素子１００に駆動パルスを連続的
に印加することにより、スライダブロツク１１６、及び
スライダブロツク１１６に固着されているテ−ブル１２
０を連続的に矢印ａ方向に移動させることができる。
【００１２】スライダブロツク１１６、及びテ−ブル１
２０を先と反対方向（矢印ａと反対方向）に移動させる
には、圧電変換素子１００に印加する鋸歯状波駆動パル
スの波形を変え、急速な立上り部分と緩やかな立下り部
分からなる駆動パルスを印加すれば達成できる。
【００１３】なお、ここでいう実質的とは、矢印ａ方向
と、これと反対方向のいずれにおいてもスライダブロツ
ク１１６と駆動軸１１５との間の摩擦結合面に滑りを生
じつつ追動し、駆動時間の差によつて全体として矢印ａ
方向に移動するものも含まれる。
【００１４】その他の形状の圧電変換素子としては、単
層の中空円筒状に形成した圧電変換素子がある。図２３
は単層の中空円筒状の圧電変換素子の構成の一例を示す
断面図で、単層の中空円筒状の圧電変換素子１３４の表
面には電極１３６及び電極１３７が形成されており、中
空円筒の内面には電極１３８が形成されている。
【００１５】中空円筒状の圧電変換素子１３４は、基台
１３１の左右に設けた支持部材１３２、１３３により支
持されており、中空円筒状の圧電変換素子１３４にはス
ライダ１３５が適当な摩擦力で摩擦結合している。な
お、１３３ａは圧電変換素子１３４の一端に嵌合する嵌
合部を備えたプラグで、プラグ１３３ａを支持部材１３
３にねじ込むことで、圧電変換素子１３４を基台１３１
に固定支持することができる。
【００１６】この構成において、電極１３６と電極１３
８で構成される第１電極部、電極１３７と電極１３８で
構成される第２電極部を、共に予め半径方向に同方向に
分極させておき、この状態で第１電極部及び第２電極部
に互いに逆極性の鋸歯状波パルスを印加すると、鋸歯状
波パルスの緩やかな立上り部分では、第１電極部では伸
び変位が、第２電極部では縮み変位が発生し、スライダ
１３５を矢印ａ方向に移動することができる。また、鋸
歯状波パルスの急速な立下り部分では、第１電極部では
急速な縮み変位が、第２電極部では急速な伸び変位が発
生するが、スライダ１３５は慣性により中空円筒状の圧
電素子１３４との間の摩擦結合に打ち勝つてその表面を
滑り移動しない。スライダ１３５の移動を適宜の手段で
被駆動部材に伝達することで被駆動部材の駆動や位置決
めを行うことができる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】前記した、従来の単位
の圧電素子を複数枚積層して構成した圧電変換素子は、
単位の圧電素子それぞれの表面に電極を設ける工程、積
層して接着する工程、各層の電極を結線する工程という
繁雑な作業を経て構成されるので、製造コストの高いも
のであつた。
【００１８】また、単層の中空円筒状の圧電変換素子
は、比較的機械的強度が高いという特徴はあるにして
も、発生する変位を大きくするには電界強度を高める必
要がある。従つて、圧電素子に印加する電圧に制約があ
る場合には、圧電変換素子の厚みを薄くして電界強度を
高めなければならない。即ち、発生する変位を大きくし
ようとすると圧電変換素子の機械的強度が低下するとい
う不都合があつた。
【００１９】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するもので、請求項１の発明は、電極が形成された薄
板状の第１の圧電素子と電極が形成された薄板状の第２
の圧電素子とを積層して構成した積層体を、筒状に巻き
取ることにより形成されたことを特徴とする圧電変換素
子である。
【００２０】そして、前記第１の圧電素子は片面に第１
の電極が形成され、前記第２の圧電素子は片面に第２の
電極が形成されたものとし、前記積層体は前記第１の圧
電素子の電極非形成面が第２の圧電素子の電極形成面に
対向するように積層し、この積層体を１又は複数層積層
して構成するとよい。
【００２１】また、前記第１の圧電素子の第１の電極は
複数の領域に分割され、分割された複数の電極領域のそ
れぞれと前記第２の圧電素子の第２の電極とで複数の電
極部を構成するようにしてもよい。
【００２２】請求項４の発明は、電極が形成された薄板
状の第１の圧電素子と電極が形成された薄板状の第２の
圧電素子とを積層して構成した積層体を、積層体の表面
が交互に内外に位置するように連続して折り畳むことに
より形成されたことを特徴とする圧電変換素子である。
【００２３】そして、前記第１の圧電素子は片面に第１
の電極が形成され、前記第２の圧電素子は片面に第２の
電極及び第３の電極が形成されたものとし、前記積層体
は前記第１の圧電素子の電極非形成面が第２の圧電素子
の第２の電極形成面に対向するように積層し、この積層
体を１又は複数層積層して構成し、前記第１の圧電素子
の第１の電極と第２の圧電素子の第３の電極とを電気的
に接続して構成するとよい。
【００２４】また、前記第１の圧電素子の第１の電極及
び第２の圧電素子の第３の電極とは複数の領域に分割さ
れ、分割された複数の電極領域のそれぞれと前記第２の
圧電素子の第２の電極とで複数の電極部を構成するよう
にしてもよい。
【００２５】さらに、前記複数の電極部にそれぞれ位相
の異なる交流電圧を印加するときは、圧電変換素子に楕
円振動を発生させることができる。
【００２６】請求項８の発明は、電極が形成された薄板
状の第１の圧電素子と電極が形成された薄板状の第２の
圧電素子とを積層して構成した積層体を筒状に巻き取る
ことにより形成された圧電変換素子と、前記圧電変換素
子に固定結合された駆動軸と、前記駆動軸に摩擦結合さ
れた被駆動部材とを備え、前記圧電変換素子に駆動パル
スを印加することで発生する速度の異なる往復振動によ
り駆動軸に摩擦結合された被駆動部材を駆動することを
特徴とする圧電変換素子を使用したアクチエ−タであ
る。
【００２７】請求項９の発明は、電極が形成された薄板
状の第１の圧電素子と電極が形成された薄板状の第２の
圧電素子とを積層して構成した積層体を、積層体の表面
が交互に内外に位置するように連続して折り畳むことに
より形成された圧電変換素子と、前記圧電変換素子に固
定結合された駆動軸と、前記駆動軸に摩擦結合された被
駆動部材とを備え、前記圧電変換素子に駆動パルスを印
加することで発生する速度の異なる往復振動により駆動
軸に摩擦結合された被駆動部材を駆動することを特徴と
する圧電変換素子を使用したアクチエ−タである。
【００２８】請求項１０の発明は、複数の領域に分割さ
れた第１の電極が形成された薄板状の第１の圧電素子
と、第２の電極が形成された薄板状の第２の圧電素子と
を積層して筒状に形成し、前記第１の圧電素子の分割さ
れた第１電極の複数の電極領域のそれぞれと前記第２の
圧電素子の第２の電極とで複数の電極部を構成した圧電
変換素子と、前記圧電変換素子に摩擦結合された被駆動
部材とを備え、前記複数の電極部にそれぞれ位相の異な
る交流電圧を印加することで圧電変換素子に楕円振動を
発生させ、前記圧電変換素子に摩擦結合された被駆動部
材を駆動することを特徴とする圧電変換素子を使用した
アクチエ−タである。
【００２９】請求項１１の発明は、複数の領域に分割さ
れた第１の電極が形成された薄板状の第１の圧電素子
と、第２の電極が形成された薄板状の第２の圧電素子と
を積層し、積層体の表面が交互に内外に位置するように
連続して折り畳み形成し、前記第１の圧電素子の分割さ
れた第１の電極の複数の電極領域のそれぞれと第２の圧
電素子の第２の電極とで複数の電極部を構成した圧電変
換素子と、前記圧電変換素子に摩擦結合された被駆動部
材とを備え、前記複数の電極部にそれぞれ位相の異なる
交流電圧を印加することで圧電変換素子に楕円振動を発
生させ、前記圧電変換素子に摩擦結合された被駆動部材
を駆動することを特徴とする圧電変換素子を使用したア
クチエ−タである。
【００３０】請求項１２の発明は、表裏両面に電極を形
成した薄板状の圧電素子単体を巻き取り或いは折り畳む
ことで複数層の積層構造に形成したことを特徴とする圧
電変換素子である。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を説
明する。
【００３２】［第１の実施の形態］図１乃至図３は、こ
の発明の第１の実施の形態の圧電変換素子を説明する図
で、図１は圧電変換素子の外観を示す斜視図、図２は図
１に示す圧電変換素子の断面図、図３は図１に示す圧電
変換素子の製作過程を示す斜視図である。
【００３３】図３に示すように、圧電変換素子は、ま
ず、２枚の薄板状の圧電素子１１及び１２の表面にそれ
ぞれ電極１１ａ及び１２ａを形成し、次に、第１の圧電
素子１１の表面電極１１ａの上に第２の圧電素子１２の
電極非形成面を対向させて積層して貼り合わせ、巻き取
つて図１及び図２に示すように円筒状に構成する。
【００３４】図１に示すように、貼り合わせた時に上側
に位置する第２の圧電素子１２には、下側に位置する第
１の圧電素子１１の素子の電極１１ａの端部を露出させ
るために端部に切り欠き部１２ｂが形成されており、下
側の素子１１の電極１１ａにリ−ド線を接続することが
できる。
【００３５】貼り合わせ巻き取つて円筒状に構成された
圧電素子を焼成し、電極１１ａ及び１２ａにリ−ド線を
接続して所定の直流高電圧を印加して分極させると、圧
電変換素子１０が完成する。
【００３６】圧電素子１１及び１２の材料としては、Ｐ
ＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3）を主成分とする圧
電セラミックスを使用することができる。このようなセ
ラミックス粉体を溶剤、分散剤、バインダ、可塑剤等と
混合し、ブレ−ド等を使用して均一な平面に作成して一
定の厚さに引き伸ばす。溶剤を蒸発させて乾燥すると、
グリ−ンシ−トと呼ばれる柔軟性のある素材を得ること
ができる。このグリ−ンシ−トの表面に電極を印刷等の
手段で形成し、所望の形状に形成して所定の温度で焼成
すると、前記した圧電素子を得ることができる。
【００３７】図４は、第１の実施の形態の圧電変換素子
を使用したアクチエ−タの構成を示す断面図である。図
４において、１４は基台、１５、１６、１７は支持ブロ
ツク、１８は駆動軸で、駆動軸１８は、圧電変換素子１
０に発生する軸方向の変位により軸方向（矢印ａ方向、
及びこれと反対方向）に変位可能に支持ブロツク１６と
支持ブロツク１７により移動自在に支持されている。
【００３８】１０は、前記した２枚の薄板状の圧電素子
を積層して円筒状に構成した圧電変換素子である。圧電
変換素子１０の一端は支持ブロツク１５に接着固定さ
れ、他端は駆動軸１８の一端に接着固定される。
【００３９】１９はスライダブロツクで、スライダブロ
ツク１９と駆動軸１８とは適当な摩擦力で摩擦結合して
いる。摩擦結合部の構成は、先に従来例として図２２に
より説明したと同様の構成を備えている。即ち、スライ
ダブロツク１９には駆動軸１８が貫通しており、スライ
ダブロツク１９の駆動軸１８が貫通している下部には、
開口部１９ａが形成され、駆動軸１８の下半分が露出し
ている。また、この開口部１９ａには駆動軸１８の下半
分に当接するパツド２０が嵌挿され、パツド２０は図示
しない板ばねにより押し上げられていて、駆動軸１８と
スライダブロツク１９及びパツド２０は板ばねの付勢力
により圧接され、適当な摩擦力で摩擦結合している。ま
た、スライダブロツク１９には、図示しないテ−ブル等
の被駆動部材が結合される。
【００４０】その動作は、先に従来例として図２１によ
り説明したアクチエ−タと同様であるが、圧電変換素子
１０の電極１１ａと１２ａの間に数１０ｋＨｚの鋸歯状
波パルスを印加すると、圧電変換素子１０には速度の異
なる軸方向の往復振動が発生し、駆動軸１８も同じく往
復振動する。これにより駆動軸１８に摩擦結合したスラ
イダブロツク１９は、駆動軸上を滑りながら駆動軸の往
復振動の非対称性により速度の遅い振動方向に移動し、
スライダブロツクに結合されたテ−ブル等の被駆動部材
を移動させることができる。
【００４１】［第２の実施の形態］第２の実施の形態の
圧電変換素子は、先に従来例として図２３に示した中空
円筒状の圧電変換素子に置換できる構成と機能をもつ圧
電変換素子である。
【００４２】図５は、第２の実施の形態の圧電変換素子
の構成を示す斜視図で、変換素子を構成する２枚の薄板
状の圧電素子３１及び３２を積層し、その一部を巻き取
つた状態を示したものである。仕上がつた形状は完全に
巻き上げられて複数の捲回層からなる中空円筒状に構成
される。
【００４３】第１の薄板状の圧電素子３１の表面には共
通電極３１ａを全面に設け、第２の薄板状の圧電素子３
２の表面には第１電極３２ａ及び第２電極３２ｂを所定
の間隔Ｄを隔てて形成し、次に、第１の圧電素子３１の
共通電極３１ａの上に第２の圧電素子３２の電極非形成
面を対向させて積層して貼り合わせ、これを巻き上げて
複数の捲回層からなる中空円筒状の圧電変換素子３０に
構成される。
【００４４】図５に示すように、貼り合わせた時に上側
に位置する第２の圧電素子３２には、下側に位置する第
１の圧電素子３１の共通電極３１ａの端部を露出させる
ために端部に切り欠き部３２ｃが形成されており、下側
の圧電素子３１の共通電極３１ａにリ−ド線を接続する
ことができる。
【００４５】巻き上げられて円筒状に構成された圧電素
子を焼成し、第１電極３２ａ、第２電極３２ｂ及び共通
電極３１ａにリ−ド線を接続し、第１電極３２ａと共通
電極３１ａとの間及び第２電極３２ｂと共通電極３１ａ
との間て所定の直流高電圧を印加して分極させると、圧
電変換素子３０が完成する。
【００４６】圧電素子３１及び３２の材料及び製法は、
第１の実施の形態で説明したものと同様であるから、説
明を省略する。
【００４７】図６は、第２の実施の形態の圧電変換素子
を使用したアクチエ−タの構成を示す断面図である。図
６において、３４は基台、３５、３６は支持ブロツク
で、前記した中空円筒状に構成された圧電変換素子３０
の両端が支持ブロツク３５及び３６により固定支持され
る。なお、圧電変換素子３０を支持ブロツク３５、３６
に固定支持する手段は、先に従来例として図２３に示し
たように、圧電変換素子３０の端部にプラグを嵌合さ
せ、プラグを支持部材にねじ込むなどの手段、その他適
宜の手段を採用することができる。中空円筒状の圧電変
換素子３０の上にはスライダ３７が適当な摩擦力で摩擦
結合している。
【００４８】この構成において、第１の圧電素子３１の
表面の共通電極３１ａと第２の圧電素子３２の第１電極
３２ａで構成される第１電極部、第１の圧電素子３１の
共通電極３１ａと第２の圧電素子３２の電極３２ｂで構
成される第２電極部に互いに逆極性の鋸歯状波パルスを
印加すると、鋸歯状波パルスの緩やかな立上り部分で
は、第１電極部では伸び変位が、第２電極部では縮み変
位が発生し、スライダ３７を矢印ａ方向に移動すること
ができる。
【００４９】また、鋸歯状波パルスの急速な立下り部分
では、第１電極部では急速な縮み変位が、第２電極部で
は急速な伸び変位が発生するが、スライダ３７は慣性に
より中空円筒状の圧電素子３０との間の摩擦結合に打ち
勝つてその表面を滑り移動しない。スライダ３７の移動
を適宜の手段で被駆動部材に伝達することで被駆動部材
の駆動や位置決めを行うことができる。
【００５０】この構成では、圧電変換素子と駆動軸との
接着接合が不要で、組み立てが容易であるほか、圧電変
換素子の両端を固定支持するので機械的強度が大きく、
また、軸に垂直な方向の振動が発生しにくい利点があ
る。また、圧電変換素子が積層構造で各素子の厚みが薄
いから電界強度を高めることが容易であり、大きな変位
を容易に発生させることができる。
【００５１】［第３の実施の形態］第３の実施の形態の
圧電変換素子は、先に説明した第２の実施の形態のもの
に類似した構成を備えているが、より大きな軸方向変位
を発生することができる構成としたものである。
【００５２】図７は、第３の実施の形態の圧電変換素子
の構成を示す斜視図で、変換素子を構成する２枚の薄板
状の圧電素子４１及び４２を積層し、その一部を巻き取
つた状態を示したものである。仕上がつた形状は完全に
巻き上げられて複数の捲回層からなる中空円筒状に構成
される。
【００５３】第１の薄板状の圧電素子４１の表面には共
通電極４１ａを全面に設け、第２の薄板状の圧電素子４
２の表面には第１電極４２ａ及び第２電極４２ｂを所定
の間隔Ｄ隔てて形成し、次に、第１の圧電素子４１の共
通電極４１ａの上に第２の圧電素子４２の電極非形成面
を対向させて積層して貼り合わせ、これを巻き上げて複
数の捲回層からなる中空円筒状の圧電変換素子４０に構
成される。
【００５４】図７に示すように、貼り合わせた時に上側
に位置する第２の圧電素子４２には、下側に位置する第
１の圧電素子４１の共通電極４１ａの端部を露出させる
ために端部に切り欠き部４２ｃが形成されており、下側
の圧電素子４１の共通電極４１ａにリ−ド線を接続する
ことができる。
【００５５】また、第２の薄板状の圧電素子４２の表面
の第１電極４２ａ及び第２電極４２ｂの幅ｈ1 は、圧電
素子４１及び４２を積層して巻き上げて中空円筒状に構
成したときの第１及び第２の電極４２ａ、４２ｂの円筒
軸方向の長さになるもので、この幅ｈ1 を前記した第２
の実施の形態の電極幅よりも大きく構成する。また、第
２の圧電素子４２の電極４２ａ及び４２ｂが形成されて
いない中央部分４２ｄに延長部４２ｅを形成しておき、
圧電素子を巻き上げて中空円筒状に構成したとき、圧電
変換素子４０の中央部分に太径の摩擦結合部４２ｆを構
成する（図８参照）。なお、摩擦結合部４２ｆはスライ
ダ４７と摩擦結合する部分である。
【００５６】巻き上げられて円筒状に構成された圧電素
子を焼成し、電極４１ａ、４２ａ及び４２ｂにリ−ド線
を接続して所定の直流高電圧を印加して分極させると、
圧電変換素子４０が完成する。
【００５７】圧電素子４１及び４２の材料及び製法は、
第１の実施の形態で説明したものと同様であるから、説
明を省略する。
【００５８】図８は、第３の実施の形態の圧電変換素子
を使用したアクチエ−タの構成を示す断面図である。図
８において、４４は基台、４５、４６は支持ブロツク
で、前記した中空円筒状に構成された圧電変換素子４０
の両端が支持ブロツク４５及び４６により固定支持され
る。なお、圧電変換素子４０を支持ブロツク４５、４６
に固定支持する手段は、先に従来例として図２２に示し
たように、圧電変換素子４０の端部にプラグを嵌合さ
せ、プラグを支持部材にねじ込むなどの手段、その他適
宜の手段を採用することができる。圧電変換素子４０の
中央部分に形成された太径の摩擦結合部４２ｆには、ス
ライダ４７が適当な摩擦力で摩擦結合している。
【００５９】この構成において、第１の圧電素子４１の
表面の共通電極４１ａと第２の圧電素子４２の第１電極
４２ａで構成される第１電極部、第１の圧電素子４１の
共通電極４１ａと第２の圧電素子４２の第２電極４２ｂ
で構成される第２電極部に互いに逆極性の鋸歯状波パル
スを印加すると、鋸歯状波パルスの緩やかな立上り部分
では第１電極部では伸び変位が、第２電極部では縮み変
位が発生し、圧電素子４０の摩擦結合部４２ｆに摩擦結
合しているスライダ４７を矢印ａ方向に移動することが
できる。
【００６０】また、鋸歯状波パルスの急速な立下り部分
では、第１電極部では急速な縮み変位が、第２電極部で
は急速な伸び変位が発生するが、スライダ４７は慣性に
より圧電素子４０の摩擦結合部４２ｆとの間の摩擦結合
に打ち勝つてその表面を滑り移動しない。スライダ４７
の移動を適宜の手段で被駆動部材に伝達することで被駆
動部材の駆動や位置決めを行うことができる。
【００６１】この構成では、前記した第２の実施の形態
のものと同様に、圧電変換素子と駆動軸との接着接合が
不要で、組み立てが容易であるほか、圧電変換素子の両
端を固定支持するので機械的強度が大きく、軸に垂直な
方向の振動が発生しにくい利点がある。また、圧電変換
素子が積層構造で各素子の厚みが薄いから電界強度を高
めることが容易であり、大きな変位を容易に発生させる
ことができる。
【００６２】さらに、この構成では、第２の実施の形態
のものよりも電極４２ａ及び４２ｂの幅ｈ1 を広く取る
ことができるので、印加する駆動パルス電圧に対する発
生変位が大きいため、より高速で駆動することができ
る。
【００６３】［第４の実施の形態］第４の実施の形態の
圧電変換素子は、先に説明した第２の実施の形態のもの
において説明した中空円筒状の圧電変換素子を中央で折
り曲げた構成のもので、折り曲げ部分に楕円振動を発生
させることができるものである。
【００６４】図９は、第４の実施の形態の圧電変換素子
の構成を示す斜視図で、変換素子は先に第２の実施の形
態で説明したものと同じく、第１の薄板状の圧電素子５
１の表面には共通電極５１ａを全面に設け、第２の薄板
状の圧電素子５２の表面には第１電極５２ａ及び第２電
極５２ｂを所定の間隔を隔てて形成し、次に、第１の圧
電素子５１の共通電極５１ａの上に第２の圧電素子５２
の電極非形成面を対向させて積層して貼り合わせ、これ
を巻き上げて複数捲回層の中空円筒状の素子に構成す
る。
【００６５】図９に示すように、貼り合わせた時に上側
に位置する第２の圧電素子５２には、下側に位置する第
１の圧電素子５１の共通電極５１ａの端部を露出させる
ために端部に切り欠き部５２ｃが形成されており、下側
の圧電素子５１の共通電極５１ａにリ−ド線を接続する
ことができる。
【００６６】次に、この素子を中央附近の折り曲げ部５
３で折り曲げて図９に示すような形状に形成し、これを
焼成し、共通電極５１ａ、第１電極５２ａ及び第２電極
５２ｂにリ−ド線を接続して所定の直流高電圧を印加し
て分極させると、圧電変換素子５０が完成する。折り曲
げ部５３には図示しない圧接などの適宜の手段で被駆動
部材５７（図１０参照）を摩擦結合させる。
【００６７】圧電素子５１及び５２の材料及び製法は、
第１の実施の形態で説明したものと同様であるから、説
明を省略する。
【００６８】図１０は、第４の実施の形態の圧電変換素
子を使用したアクチエ−タの構成を示す断面図である。
図１０において、５４は基台で左右の支持ブロツク５
５、５６により圧電変換素子５０の両端を固定支持す
る。
【００６９】この構成において、第１の薄板状の圧電素
子５１の表面の共通電極５１ａと第２の圧電素子５２の
第１電極５２ａで構成される第１電極部、第１の圧電素
子５１の共通電極５１ａと第２の圧電素子５２の第２電
極５２ｂで構成される第２電極部に互いに位相の異なる
正弦波電圧を印加すると、圧電変換素子５０の折り曲げ
部５３に楕円振動が発生するので、折り曲げ部５３に摩
擦結合された被駆動部材５７を駆動することができる。
【００７０】第４の実施の形態のものは、先に説明した
第２の実施の形態のものと同様に、圧電変換素子と駆動
軸との接着接合が不要で、組み立てが容易であるほか、
圧電変換素子の両端を固定支持するので機械的強度が大
きく、また、軸に垂直な方向の振動が発生しにくい利点
がある。また、圧電変換素子が積層構造で各素子の厚み
が薄いから電界強度を高めることが比較的容易であり、
大きな変位を容易に発生させることができる。
【００７１】［第５の実施の形態］第５の実施の形態の
圧電変換素子は、先に説明した第４の実施の形態のもの
を２次元化したものである。
【００７２】図１１は、第５の実施の形態の圧電変換素
子の製作過程を示す斜視図で、略正方形の第１の薄板状
の圧電素子６１の表面には共通電極６１ａを全面に設
け、第２の薄板状の圧電素子６２の表面には、９０°ず
つ向きを変えた４個の第１電極６２ａ、第２電極６２
ｂ、第３電極６２ｃ及び第４電極６２ｄを相互に所定の
間隔を隔てて形成する。
【００７３】次に、第１の薄板状の圧電素子６１の共通
電極６１ａの上に第２の薄板状の圧電素子６２の電極非
形成面を対向させて積層して貼り合わせ、第１電極６２
ａ乃至第４電極６２ｄの形成された各要素６３ａ、６３
ｂ、６３ｃ及び６３ｄの間に切り込みを入れ、各要素６
３ａ、６３ｂ、６３ｃ及び６３ｄをそれぞれ巻き上げ、
同一平面上で９０°ずつ角度の異なる４個の中空円筒状
の圧電素子６３ａ、６３ｂ、６３ｃ及び６３ｄを構成す
る。４個の中空円筒状の圧電素子６３ａ乃至６３ｄは、
圧電素子の中央部分６３ｅで結合されている。
【００７４】次に、上記した中央部分６３ｅで結合され
た４個の中空円筒状の圧電素子６３ａ乃至６３ｄの各圧
電素子を中央部分６３ｅから所定の角度で折り曲げて図
１２に示すような形状に形成し、これを焼成し、共通電
極６１ａ、及び第１電極６２ａ乃至第４電極６２ｄにリ
−ド線を接続して所定の直流高電圧を印加して分極させ
ると、圧電変換素子６０が完成する。中央部分６３ｅに
は図示しない圧接などの適宜の手段で被駆動部材６７
（図１３参照）を摩擦結合させる。
【００７５】圧電素子６１及び６２の材料及び製法は、
第１の実施の形態で説明したものと同様であるから、説
明を省略する。
【００７６】この構成においては、４個の中空円筒状の
圧電素子６３ａ、６３ｂ、６３ｃ及び６３ｄは同一平面
上で９０°間隔で配置される。即ち、圧電素子６３ａと
６３ｃとはＸ軸方向の平面上に配置され、圧電素子６３
ｂと６３ｄとはＹ軸方向の平面上に配置されるから、Ｘ
Ｙ軸アクチエ−タを構成することができる。
【００７７】図１３は、第５の実施の形態の圧電変換素
子を使用したＸＹ軸アクチエ−タの構成を示す断面図
で、図１３ではそのＸ軸方向の断面図を示す。Ｙ軸方向
についても全く同様の構成となる。図１３において、６
４は基台で、そのＸ軸方向端部に支持ブロツク６５、６
６が設けられており、支持ブロツク６５、６６により圧
電変換素子６０の圧電素子６３ａと６３ｃの端部が固定
支持される。また、基台６４には、図示されていないが
Ｙ軸方向端部にも支持ブロツク６５、６６が設けられて
おり、支持ブロツク６５、６６により圧電変換素子６０
の圧電素子６３ｂと６３ｄの端部が固定支持される。
【００７８】Ｘ軸方向の移動では圧電素子６３ａと６３
ｃとを駆動すればよく、圧電素子６３ａの共通電極６１
ａと第１電極６２ａで構成される第１電極部、圧電素子
６３ｃの共通電極６１ａと第３電極６２ｃで構成される
第３電極部に位相の異なる正弦波電圧を印加すると、圧
電変換素子６０の中央部分６３ｅにＸ軸方向の振動が発
生するので、中央部分６３ｅに摩擦結合された被駆動部
材６７をＸ軸方向に駆動することができる。
【００７９】また、Ｙ軸方向の移動では圧電素子６３ｂ
と６３ｄとを駆動すればよく、圧電素子６３ｂの共通電
極６１ａと第２電極６２ｂで構成される第２電極部、圧
電素子６３ｄの共通電極６１ａと第４電極６２ｄで構成
される第４電極部に位相の異なる正弦波電圧を印加する
と、圧電変換素子６０の中央部分６３ｅにＹ軸方向の振
動が発生するので、中央部分６３ｅに摩擦結合された被
駆動部材６７をＹ軸方向に駆動することができる。
【００８０】第５の実施の形態のものも、先に説明した
第２の実施の形態のものと同様に、圧電変換素子と駆動
軸との接着接合が不要で、組み立てが容易であるほか、
圧電変換素子の両端を固定支持するので機械的強度が大
きく、また、軸に垂直な方向の振動が発生しにくい利点
がある。また、圧電変換素子が積層構造で各素子の厚み
が薄いから電界強度を高めることが比較的容易であり、
大きな変位を容易に発生させることができる。
【００８１】［第６の実施の形態］先に説明した第１乃
至第５の実施の形態のものが第１の薄板状の圧電素子と
第２の薄板状の圧電素子とを積層したものを巻き上げて
構成されているのに対し、第６の実施の形態の圧電変換
素子は、第１の薄板状の圧電素子と第２の薄板状の圧電
素子とを積層した素子を折り畳んで構成したものであ
る。
【００８２】即ち、図１４は第１の薄板状の圧電素子と
第２の薄板状の圧電素子とを積層した素子の構成を示す
斜視図で、図１４において、第１の薄板状の圧電素子７
１にはその上面に共通電極７１ａが形成され、また、圧
電素子７１の下面にも電極７１ｂが形成されており、第
２の薄板状の圧電素子７２にはその上面に電極７２ａが
形成されており、圧電素子７１の共通電極７１ａの上に
圧電素子７２の電極非形成面を対向させて積層して接着
したものである。
【００８３】図１５は上記した積層した素子を折り畳ん
で構成した圧電変換素子７０を示す斜視図で、上記した
積層した素子を、その積層体に表面が交互に内外に位置
するように連続して折り畳み形成する。そして、圧電素
子７２の上面電極７２ａと圧電素子７１の下面電極７１
ｂとを電気的に結合して第１電極７３（＝７２ａ＋７１
ｂ）を構成する。この圧電素子を焼成し、第１電極７３
と共通電極７１ａとにリ−ド線を接続して所定の直流高
電圧を印加して分極させると、図１５に示す形状の圧電
変換素子７０が完成する。
【００８４】圧電素子７１及び７２の材料及び製法は、
第１の実施の形態で説明したものと同様であるから、説
明を省略する。
【００８５】図１５に示す形状の圧電変換素子７０は、
先に説明した第１の実施の形態の圧電変換素子１０に置
換して使用することができる。
【００８６】即ち、圧電変換素子７０の第１電極７３
（＝７２ａ＋７１ｂ）と共通電極７１ａとの間に数１０
ｋＨｚの鋸歯状波パルスを印加すると、圧電変換素子７
０には速度も異なる軸方向の往復振動が発生し、先に説
明した第１の実施の形態と同様に、圧電変換素子７０に
固定結合された図示しない駆動軸を振動させ、駆動軸に
摩擦結合したスライダブロツクを駆動軸の往復振動の非
対称性により速度の遅い振動方向に移動させ、スライダ
ブロツクに結合されたテ−ブル等の被駆動部材を移動さ
せることができる。
【００８７】図１６も、第１の薄板状の圧電素子と第２
の薄板状の圧電素子とを積層したものを折り畳んで構成
した圧電変換素子７５の構成を示す斜視図である。
【００８８】この構成では、圧電素子の積層構造の断面
を示す図１７に示すように、第１の薄板状の圧電素子７
６の上面に共通電極７６ａが形成され、圧電素子７６の
下面にも電極７６ｃと電極７６ｄが所定の間隔を隔てて
形成されている。また、第２の薄板状の圧電素子７７に
はその上面に電極７７ａと電極７７ｂが所定の間隔Ｄを
隔てて形成されている。
【００８９】上記した第１の圧電素子７６の共通電極７
６ａの上に第２の圧電素子７７の電極非形成面を対向さ
せて積層して接着し（図１７参照）、その積層体の表面
が交互に内外に位置するように連続して折り畳み形成す
る（図１６参照）。そして、第２の圧電素子７７の上面
の電極７７ａと第１の圧電素子７６の下面の電極７６ｃ
とを電気的に結合して第１電極７８（＝７７ａ＋７６
ｃ）を構成し、第２の圧電素子７７の電極７７ｂと圧電
素子７６の下面の電極７６ｄとを電気的に結合して第２
電極７９（＝７７ｂ＋７６ｄ）を構成する。
【００９０】この圧電素子を焼成し、第１電極７８と共
通電極７６ａ、第２電極７９と共通電極７６ａとにリ−
ド線を接続して所定の直流高電圧を印加して分極させる
と、図１６に示す形状の圧電変換素子７５が完成する。
【００９１】図１６に示す形状の圧電変換素子７５は、
先に説明した第２の実施の形態の圧電変換素子３０に置
換して使用することができる。その動作や用途は、第２
の実施の形態のものと変わらないので説明を省略する。
【００９２】図１８も、第１の薄板状の圧電素子と第２
の薄板状の圧電素子とを積層したものを折り畳んで構成
した圧電変換素子８０の構成を示す斜視図で、図１６、
図１７に示す構成に類似した構成を備えている。
【００９３】この構成では、第１の薄板状の圧電素子７
６の上面に共通電極７６ａが形成され、圧電素子７６の
下面にも電極７６ｃと電極７６ｄが所定の間隔を隔てて
形成されている。また、第２の薄板状の圧電素子７７に
はその上面に電極７７ａと電極７７ｂが所定の間隔Ｄを
隔てて形成されている点では、図１６、図１７に示す構
成と同じである。
【００９４】しかし、図１８に示す構成では、第１の圧
電素子７６の下面の所定の間隔Ｄを隔てて形成されてい
る電極７６ｃと電極７６ｄの幅ｈ1 、及び第２の圧電素
子７７の上面の所定の間隔を隔てて形成されている電極
７７ａと電極７７ｂの幅ｈ1が図１６に示す構成の電極
幅よりも広く形成され、また、第２の圧電素子７７の中
央部分７７ｄに延長部７７ｅが形成され、圧電素子を折
り畳んだとき、圧電変換素子８０の中央部分に厚みの大
きい摩擦結合部７７ｆが形成されるように構成されてい
る点で、図１６、図１７に示す構成と相違している。摩
擦結合部７７ｆは図示しないスライダと摩擦結合する部
分である。
【００９５】図１８に示す形状の圧電変換素子８０は、
先に説明した第３の実施の形態の圧電変換素子４０に置
換して使用することができる。図１８では図示されてい
ないが、摩擦結合部７７ｆには図８（第３の実施の形
態）で符号４７で示すようなスライダが適当な摩擦力で
摩擦結合しており、圧電変換素子８０の伸縮変位により
摩擦結合部７７ｆに摩擦結合しているスライダを所定方
向に移動させることができる。その動作や用途は、第３
の実施の形態のものと変わらないので説明を省略する。
【００９６】図１９は、図１４に示す第１の薄板状の圧
電素子と第２の薄板状の圧電素子とを積層した素子の構
成の他の例を示す斜視図で、一枚の薄板状の圧電素子を
２つに折り畳んで構成したものである。図１９におい
て、一枚の薄板状の圧電素子９１にはその上面に電極９
１ａが形成され、その裏面にも電極９１ｂが形成され、
これを部分９２で２つに折り畳んで構成する。この構成
によれば、先に説明した図１５に示す構成のものにおい
て、圧電素子７２の上面電極７２ａと圧電素子７１の下
面電極７１ｂと電気的に結合する工程を必要としない。
【００９７】また、図１９に示す圧電素子の構成は、図
１６、図１８に示す圧電素子の構成にも適用できること
は言うまでもなく、また、図１、図５等に示す圧電素子
の構成にも適用することができる。
【００９８】
【発明の効果】以上説明したとおり、この発明の圧電変
換素子は、薄板状の圧電素子を複数枚積層して構成した
素子を円筒状に巻き上げ、或いは折り畳んで圧電変換素
子に構成したものであるから、単位素子それぞれの表面
に電極を設ける工程、積層して接着する工程、各層の電
極を結線する工程という繁雑な作業を大幅に削減するこ
とができ、コストを引き下げることができるばかりでな
く、電界強度を高めるために単位素子の厚みを薄くして
も、十分な機械的強度を得ることができる等の顕著な効
果を得ることができる。
【００９９】また、この発明の圧電変換素子を使用した
アクチエ−タは、上記したその特徴ある圧電変換素子を
使用することにより低電圧で大きな駆動力が得られ、し
かも機械的強度の高いアクチエ−タを提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態の圧電変換素子の外観を示す
斜視図。
【図２】図１に示す圧電変換素子の断面図。
【図３】図１に示す圧電変換素子の製作過程を示す斜視
図。
【図４】図１に示す圧電変換素子を使用したアクチエ−
タの構成を示す断面図。
【図５】第２の実施の形態の圧電変換素子の構成を示す
斜視図。
【図６】図５に示す圧電変換素子を使用したアクチエ−
タの構成を示す断面図。
【図７】第３の実施の形態の圧電変換素子の構成を示す
斜視図。
【図８】図７に示す圧電変換素子を使用したアクチエ−
タの構成を示す断面図。
【図９】第４の実施の形態の圧電変換素子の構成を示す
斜視図。
【図１０】図９に示す圧電変換素子を使用したアクチエ
−タの構成を示す断面図。
【図１１】第５の実施の形態の圧電変換素子の製作過程
を示す斜視図。
【図１２】図１１に示す圧電変換素子の構成を示す斜視
図。
【図１３】図１２に示す圧電変換素子を使用したアクチ
エ−タの構成を示す断面図。
【図１４】第６の実施の形態の積層した圧電素子の構成
を示す斜視図。
【図１５】図１４に示す圧電素子で構成した圧電変換素
子の構成を示す斜視図。
【図１６】圧電素子を折り畳んで構成した圧電変換素子
の構成の他の例を示す斜視図。
【図１７】図１６に示す圧電素子の積層構造を説明する
断面図。
【図１８】圧電素子を折り畳んで構成した圧電変換素子
の構成の他の例を示す斜視図。
【図１９】積層した圧電素子の構成の他の例を示す斜視
図。
【図２０】従来の単位素子を複数枚積層した圧電変換素
子の構成を説明する図。
【図２１】従来の単位素子を複数枚積層した圧電変換素
子を使用したアクチエ−タの構成を示す断面図。
【図２２】図２１に示す従来のアクチエ−タの摩擦結合
部の構成を示す断面図。
【図２３】従来の単層の中空円筒状の圧電変換素子の構
成の一例を示す断面図。
【符号の説明】
１０、３０、４０ 圧電変換素子 １１、１２、３１、３２、４１、４２、 薄板状の圧電
素子 １１ａ、１２ａ 電極 ３１ａ、４１ａ 共通電極 ３２ａ、４２ａ 第１電極 ３２ｂ、４２ｂ 第２電極 １４、３４、４４ 基台 １５、１６、１７、３５、３６、４５、４６ 支持ブロ
ツク １８ 駆動軸 １９、３７、４７、 スライダブロツク ５０、６０ 圧電変換素子 ５１、５２、６１、６２ 薄板状の圧電素子 ５１ａ、６１ａ 共通電極 ５２ａ、６２ａ 第１電極 ５２ｂ、６２ｂ 第２電極 ６２ｃ 第３電極 ６２ｄ 第４電極 ６３ａ、６３ｂ、６３ｃ、６３ｄ 圧電素子 ５７、６７ 被駆動部材 ７０、７５、８０ 圧電変換素子 ７１、７２、７６、７７、９１ 圧電素子 ７１ａ、７６ａ 共通電極 ７３、７８ 第１電極 ７９ 第２電極 ９１ａ、９１ｂ 電極

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電極が形成された薄板状の第１の圧電素
    子と電極が形成された薄板状の第２の圧電素子とを積層
    して構成した積層体を、筒状に巻き取ることにより形成
    されたことを特徴とする圧電変換素子。
  2. 【請求項２】 前記第１の圧電素子は片面に第１の電極
    が形成され、前記第２の圧電素子は片面に第２の電極が
    形成されており、前記積層体は前記第１の圧電素子の電
    極非形成面が第２の圧電素子の電極形成面に対向するよ
    うに積層され、この積層体が１又は複数層積層されて構
    成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電変換
    素子。
  3. 【請求項３】 前記第１の圧電素子の第１の電極は複数
    の領域に分割され、分割された複数の電極領域のそれぞ
    れと前記第２の圧電素子の第２の電極とで複数の電極部
    が構成されていることを特徴とする請求項２記載の圧電
    変換素子。
  4. 【請求項４】 電極が形成された薄板状の第１の圧電素
    子と電極が形成された薄板状の第２の圧電素子とを積層
    して構成した積層体を、積層体の表面が交互に内外に位
    置するように連続して折り畳むことにより形成されたこ
    とを特徴とする圧電変換素子。
  5. 【請求項５】 前記第１の圧電素子は片面に第１の電極
    が形成され、前記第２の圧電素子は片面に第２の電極及
    び第３の電極が形成されており、前記積層体は前記第１
    の圧電素子の電極非形成面が第２の圧電素子の第２の電
    極形成面に対向するように積層され、この積層体が１又
    は複数層積層されて構成され、前記第１の圧電素子の第
    １の電極と第２の圧電素子の第３の電極とが電気的に接
    続されていることを特徴とする請求項４記載の圧電変換
    素子。
  6. 【請求項６】 前記第１の圧電素子の第１の電極及び第
    ２の圧電素子の第３の電極とは複数の領域に分割され、
    分割された複数の電極領域のそれぞれと前記第２の圧電
    素子の第２の電極とで複数の電極部が構成されているこ
    とを特徴とする請求項５記載の圧電変換素子。
  7. 【請求項７】 前記複数の電極部にそれぞれ位相の異な
    る交流電圧を印加することで圧電変換素子に楕円振動を
    発生させることを特徴とする請求項３又は請求項６のい
    ずれかに記載の圧電変換素子。
  8. 【請求項８】 電極が形成された薄板状の第１の圧電素
    子と電極が形成された薄板状の第２の圧電素子とを積層
    して構成した積層体を筒状に巻き取ることにより形成さ
    れた圧電変換素子と、 前記圧電変換素子に固定結合された駆動軸と、 前記駆動軸に摩擦結合された被駆動部材とを備え、 前記圧電変換素子に駆動パルスを印加することで発生す
    る速度の異なる往復振動により駆動軸に摩擦結合された
    被駆動部材を駆動することを特徴とする圧電変換素子を
    使用したアクチエ−タ。
  9. 【請求項９】 電極が形成された薄板状の第１の圧電素
    子と電極が形成された薄板状の第２の圧電素子とを積層
    して構成した積層体を、積層体の表面が交互に内外に位
    置するように連続して折り畳むことにより形成された圧
    電変換素子と、 前記圧電変換素子に固定結合された駆動軸と、 前記駆動軸に摩擦結合された被駆動部材とを備え、 前記圧電変換素子に駆動パルスを印加することで発生す
    る速度の異なる往復振動により駆動軸に摩擦結合された
    被駆動部材を駆動することを特徴とする圧電変換素子を
    使用したアクチエ−タ。
  10. 【請求項１０】 複数の領域に分割された第１の電極が
    形成された薄板状の第１の圧電素子と、第２の電極が形
    成された薄板状の第２の圧電素子とを積層して筒状に形
    成し、前記第１の圧電素子の分割された第１電極の複数
    の電極領域のそれぞれと前記第２の圧電素子の第２の電
    極とで複数の電極部を構成した圧電変換素子と、 前記圧電変換素子に摩擦結合された被駆動部材とを備
    え、 前記複数の電極部にそれぞれ位相の異なる交流電圧を印
    加することで圧電変換素子に楕円振動を発生させ、前記
    圧電変換素子に摩擦結合された被駆動部材を駆動するこ
    とを特徴とする圧電変換素子を使用したアクチエ−タ。
  11. 【請求項１１】 複数の領域に分割された第１の電極が
    形成された薄板状の第１の圧電素子と、第２の電極が形
    成された薄板状の第２の圧電素子とを積層し、積層体の
    表面が交互に内外に位置するように連続して折り畳み形
    成し、前記第１の圧電素子の分割された第１の電極の複
    数の電極領域のそれぞれと第２の圧電素子の第２の電極
    とで複数の電極部を構成した圧電変換素子と、 前記圧電変換素子に摩擦結合された被駆動部材とを備
    え、 前記複数の電極部にそれぞれ位相の異なる交流電圧を印
    加することで圧電変換素子に楕円振動を発生させ、前記
    圧電変換素子に摩擦結合された被駆動部材を駆動するこ
    とを特徴とする圧電変換素子を使用したアクチエ−タ。
  12. 【請求項１２】表裏両面に電極を形成した薄板状の圧電
    素子単体を巻き取り或いは折り畳むことで複数層の積層
    構造に形成したことを特徴とする圧電変換素子。
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