JPH11304868A - プリント基板検査装置 - Google Patents
プリント基板検査装置Info
- Publication number
- JPH11304868A JPH11304868A JP10115361A JP11536198A JPH11304868A JP H11304868 A JPH11304868 A JP H11304868A JP 10115361 A JP10115361 A JP 10115361A JP 11536198 A JP11536198 A JP 11536198A JP H11304868 A JPH11304868 A JP H11304868A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリント基板検査装置の昇降台に載せたプリ
ント基板と検査用電極との相対的な位置あわせを行う微
調整機構を備えたプリント基板検査装置の操作性を向上
させること。 【解決手段】 垂直方向に微調整する垂直操作ダイアル
３１はプリント基板検査装置の前面の下部に配設されて
いる。水平方向に微調整するＸＹθテーブル４の、Ｙ軸
微調整用のＹ軸操作ダイアルＡ１と、Ｘ軸微調整用のＸ
軸操作ダイアルＢ１と、θ軸微調整用のθ軸操作ダイア
ルＣ１は、ＸＹθテーブル４の前面側、即ちプリント基
板検査装置の前面に並べて配設されている。
ント基板と検査用電極との相対的な位置あわせを行う微
調整機構を備えたプリント基板検査装置の操作性を向上
させること。 【解決手段】 垂直方向に微調整する垂直操作ダイアル
３１はプリント基板検査装置の前面の下部に配設されて
いる。水平方向に微調整するＸＹθテーブル４の、Ｙ軸
微調整用のＹ軸操作ダイアルＡ１と、Ｘ軸微調整用のＸ
軸操作ダイアルＢ１と、θ軸微調整用のθ軸操作ダイア
ルＣ１は、ＸＹθテーブル４の前面側、即ちプリント基
板検査装置の前面に並べて配設されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、昇降台に載せたプリン
ト基板に、検査用電極を正確に押し当てるために平面内
の相対的な位置あわせを行うＸＹθテーブルを備えたプ
リント基板検査装置の、操作性の向上に関するものであ
る。
ト基板に、検査用電極を正確に押し当てるために平面内
の相対的な位置あわせを行うＸＹθテーブルを備えたプ
リント基板検査装置の、操作性の向上に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、プリント基板検査装置におい
ては、検査対象とするプリント基板を昇降台に載せ、そ
のプリント基板のプリントパターン面（片面の場合も、
両面の場合もある。）に多数の検査用電極を接触させ、
あるいは近接させて、各電極間の電気的特性を測定し
て、当該プリント基板が所定の規格を満足しているか否
かを検査することが行われている。そのとき、プリント
基板と電極との垂直方向の位置関係を調整するために昇
降台には高さ調整機構が備えられている。また、各電極
がプリント基板の所定の部位に正確に当接するために、
プリント基板と電極との水平方向の位置関係を調整する
ためのＸＹθテーブルが備えられている。特に近年のプ
リント基板のパターンは微細なパターンが使用されるよ
うになっているので、電極とプリント基板との僅かな水
平方向のずれがあっても、所定の検査はできなくなって
しまう。そのため、ＸＹθテーブルには、Ｘ軸用の微調
整機構と、Ｙ軸用の微調整機構と、θ用の微調整機構と
が備えられ、それぞれの操作ダイアルが備えられてい
る。
ては、検査対象とするプリント基板を昇降台に載せ、そ
のプリント基板のプリントパターン面（片面の場合も、
両面の場合もある。）に多数の検査用電極を接触させ、
あるいは近接させて、各電極間の電気的特性を測定し
て、当該プリント基板が所定の規格を満足しているか否
かを検査することが行われている。そのとき、プリント
基板と電極との垂直方向の位置関係を調整するために昇
降台には高さ調整機構が備えられている。また、各電極
がプリント基板の所定の部位に正確に当接するために、
プリント基板と電極との水平方向の位置関係を調整する
ためのＸＹθテーブルが備えられている。特に近年のプ
リント基板のパターンは微細なパターンが使用されるよ
うになっているので、電極とプリント基板との僅かな水
平方向のずれがあっても、所定の検査はできなくなって
しまう。そのため、ＸＹθテーブルには、Ｘ軸用の微調
整機構と、Ｙ軸用の微調整機構と、θ用の微調整機構と
が備えられ、それぞれの操作ダイアルが備えられてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うな従来のプリント基板検査装置に備えられているＸＹ
θテーブルの各操作ダイアルは、ＸＹθテーブルの右面
や左面等にバラバラに配設されているので、実際の微調
整作業においては、右面の操作ダイアルを操作したり、
左面の操作ダイアルを操作したりしなければならないの
で、作業効率が良くないという問題があった。それは、
各操作ダイアルは、操作性を重視するよりも、構造的に
最も配置しやすい面に配置されていたからである。昇降
台の垂直操作ダイアルに関しても同様に、昇降台の基部
に配置されていたので、しゃがみこんで、手を奥まで差
し込んで操作しなければならなかった。
うな従来のプリント基板検査装置に備えられているＸＹ
θテーブルの各操作ダイアルは、ＸＹθテーブルの右面
や左面等にバラバラに配設されているので、実際の微調
整作業においては、右面の操作ダイアルを操作したり、
左面の操作ダイアルを操作したりしなければならないの
で、作業効率が良くないという問題があった。それは、
各操作ダイアルは、操作性を重視するよりも、構造的に
最も配置しやすい面に配置されていたからである。昇降
台の垂直操作ダイアルに関しても同様に、昇降台の基部
に配置されていたので、しゃがみこんで、手を奥まで差
し込んで操作しなければならなかった。
【０００４】そこで、本発明は、プリント基板検査装置
の各操作ダイアルを、当該プリント基板検査装置の操作
面（通常は前面である。）に配設して、操作性の優れた
プリント基板検査装置を提供することを目的としてなさ
れたものである。
の各操作ダイアルを、当該プリント基板検査装置の操作
面（通常は前面である。）に配設して、操作性の優れた
プリント基板検査装置を提供することを目的としてなさ
れたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１では、
昇降台に載せたプリント基板に、検査用電極を正確に押
し当てるため、あるいは近接させるために、平面内の相
対的な位置あわせを行う水平移動テーブルを備えたプリ
ント基板検査装置において、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸
方向の少なくとも何れかの方向に移動可能な水平移動テ
ーブルを、その移動可能な方向の少なくとも何れかの方
向に移動させて、位置を微調整する水平微調整手段、も
しくは、前記昇降台の高さを微調整する垂直微調整手段
の、少なくとも何れか一方の微調整手段を備え、その微
調整手段を操作する操作ダイアルの少なくともひとつ
を、当該プリント基板装置の操作側前面に配設したこと
を特徴とするものである。
昇降台に載せたプリント基板に、検査用電極を正確に押
し当てるため、あるいは近接させるために、平面内の相
対的な位置あわせを行う水平移動テーブルを備えたプリ
ント基板検査装置において、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸
方向の少なくとも何れかの方向に移動可能な水平移動テ
ーブルを、その移動可能な方向の少なくとも何れかの方
向に移動させて、位置を微調整する水平微調整手段、も
しくは、前記昇降台の高さを微調整する垂直微調整手段
の、少なくとも何れか一方の微調整手段を備え、その微
調整手段を操作する操作ダイアルの少なくともひとつ
を、当該プリント基板装置の操作側前面に配設したこと
を特徴とするものである。
【０００６】請求項２では、昇降台の垂直方向の移動量
と、ＸＹθテーブルの水平方向の移動量の少なくとも何
れかひとつを表示する表示手段を、当該プリント基板装
置の操作側前面に配設したことを特徴とするものであ
る。なお、検査用電極とプリント基板とは直接接触させ
る方式でも非接触で検査する方式であっても、本発明の
技術を適用できる。また、前記微調整手段と操作ダイア
ルとの間には駆動軸の角度や位置を変えつつ操作を伝達
する連結機構を適宜備えるとよい。水平移動テーブル
は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸方向の少なくとも何れか
の方向に移動可能であればよく、それに合わせて操作ダ
イアルも備えられている。
と、ＸＹθテーブルの水平方向の移動量の少なくとも何
れかひとつを表示する表示手段を、当該プリント基板装
置の操作側前面に配設したことを特徴とするものであ
る。なお、検査用電極とプリント基板とは直接接触させ
る方式でも非接触で検査する方式であっても、本発明の
技術を適用できる。また、前記微調整手段と操作ダイア
ルとの間には駆動軸の角度や位置を変えつつ操作を伝達
する連結機構を適宜備えるとよい。水平移動テーブル
は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸方向の少なくとも何れか
の方向に移動可能であればよく、それに合わせて操作ダ
イアルも備えられている。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明のプリント基板検
査装置の実施の形態を示した図面に基づいて詳細に説明
する。
査装置の実施の形態を示した図面に基づいて詳細に説明
する。
【０００８】図１はプリント基板検査装置１０の全体構
成図であり、検査対象の板状体であるプリント基板Ｐ
は、受入れ部１１において積載台１４上の最上位から一
枚ずつ順次検査部１２へ搬送される。検査部において
は、昇降台上に載せられたプリント基板Ｐを、電極が配
設された治具で挟みこみ、ＸＹθテーブルを操作するこ
とによって、プリント基板と治具との水平位置を正確に
合わせてから、マイクロコンピュータを内蔵した検査装
置を用いて電気的な検査を行う。そして、検査済みのプ
リント基板はストック部１３において検査結果に応じて
分類してストックされるのである。
成図であり、検査対象の板状体であるプリント基板Ｐ
は、受入れ部１１において積載台１４上の最上位から一
枚ずつ順次検査部１２へ搬送される。検査部において
は、昇降台上に載せられたプリント基板Ｐを、電極が配
設された治具で挟みこみ、ＸＹθテーブルを操作するこ
とによって、プリント基板と治具との水平位置を正確に
合わせてから、マイクロコンピュータを内蔵した検査装
置を用いて電気的な検査を行う。そして、検査済みのプ
リント基板はストック部１３において検査結果に応じて
分類してストックされるのである。
【０００９】図２は前記検査部１２の昇降台まわりを示
した側面図である。図において、２は昇降台であり、そ
の基部には垂直微調整手段２１が配設されている。この
垂直微調整手段２１は、昇降台２の垂直シャフト２２の
側面に刻まれたネジと螺合する内ネジが刻まれた水平歯
車２３と、この水平歯車２３の外周に刻まれたネジと螺
合する水平歯車２４と、この水平歯車２４の垂直軸２５
の上端に配設された傘歯車２６と、この傘歯車２６と直
角に螺合する傘歯車２７と、この傘歯車２７の水平軸２
８が、プリント基板検査装置の前面の下部まで延設され
て構成されている。そして、前記水平軸２８の先端で、
当該プリント基板検査装置の前面の下部には、垂直操作
ダイアル３と表示器３１が配設されている。
した側面図である。図において、２は昇降台であり、そ
の基部には垂直微調整手段２１が配設されている。この
垂直微調整手段２１は、昇降台２の垂直シャフト２２の
側面に刻まれたネジと螺合する内ネジが刻まれた水平歯
車２３と、この水平歯車２３の外周に刻まれたネジと螺
合する水平歯車２４と、この水平歯車２４の垂直軸２５
の上端に配設された傘歯車２６と、この傘歯車２６と直
角に螺合する傘歯車２７と、この傘歯車２７の水平軸２
８が、プリント基板検査装置の前面の下部まで延設され
て構成されている。そして、前記水平軸２８の先端で、
当該プリント基板検査装置の前面の下部には、垂直操作
ダイアル３と表示器３１が配設されている。
【００１０】図３は前記検査部１２のＸＹθテーブルま
わりを示した分解斜視図である。図において、ＸＹθテ
ーブル４の第１面Ｄは前記昇降台２に固定されたベース
板４１の上面に固定されている。ＸＹθテーブル４の第
２面Ｃは前記第１面Ｄに対して回動軸４２を中心として
回転可能に配設されている。ＸＹθテーブル４の第３面
Ｂは前記第２面Ｃに対してＸ軸方向に微動可能に配設さ
れている。ＸＹθテーブル４の第４面Ａは前記第３面Ｂ
に対してＹ軸方向に微動可能に配設されている。前記第
４面Ａには検査治具保持板４３を介して検査治具（図示
せず。）が取りつけられている。以上の構成によって、
ＸＹθテーブルの各面の微動によって、前記検査治具保
持板４３に位置決めされた検査治具は、水平方向に微動
するのである。
わりを示した分解斜視図である。図において、ＸＹθテ
ーブル４の第１面Ｄは前記昇降台２に固定されたベース
板４１の上面に固定されている。ＸＹθテーブル４の第
２面Ｃは前記第１面Ｄに対して回動軸４２を中心として
回転可能に配設されている。ＸＹθテーブル４の第３面
Ｂは前記第２面Ｃに対してＸ軸方向に微動可能に配設さ
れている。ＸＹθテーブル４の第４面Ａは前記第３面Ｂ
に対してＹ軸方向に微動可能に配設されている。前記第
４面Ａには検査治具保持板４３を介して検査治具（図示
せず。）が取りつけられている。以上の構成によって、
ＸＹθテーブルの各面の微動によって、前記検査治具保
持板４３に位置決めされた検査治具は、水平方向に微動
するのである。
【００１１】なお、ＸＹθテーブル４の詳細な機構を以
下に説明する。Ｙ軸微調整用のＹ軸操作ダイアルＡ１と
Ｘ軸微調整用のＸ軸操作ダイアルＢ１とθ軸微調整用の
θ軸操作ダイアルＣ１は、ＸＹθテーブル４の前面側に
並べて配設されている。
下に説明する。Ｙ軸微調整用のＹ軸操作ダイアルＡ１と
Ｘ軸微調整用のＸ軸操作ダイアルＢ１とθ軸微調整用の
θ軸操作ダイアルＣ１は、ＸＹθテーブル４の前面側に
並べて配設されている。
【００１２】前記Ｙ軸操作ダイアルＡ１の軸Ａ２には外
ネジが形成され、その外ネジと螺合する内ネジが形成さ
れたスティＡ３は第２面Ｂに固定されている。従って、
前記Ｙ軸操作ダイアルＡ１を回すと、スティＡ３がＹ軸
方向に微動し、第４面Ａは第３面Ｂに対してＹ軸方向に
微動するのである。
ネジが形成され、その外ネジと螺合する内ネジが形成さ
れたスティＡ３は第２面Ｂに固定されている。従って、
前記Ｙ軸操作ダイアルＡ１を回すと、スティＡ３がＹ軸
方向に微動し、第４面Ａは第３面Ｂに対してＹ軸方向に
微動するのである。
【００１３】前記Ｘ軸操作ダイアルＡ１の軸Ｂ２には１
対の傘歯車による連結機構が備えられ、前記Ｘ軸操作ダ
イアルＢ１の回転操作による軸Ｂ２の回転は、直交する
軸Ｂ３に伝達される。この軸Ｂ３には外ネジが形成さ
れ、その外ネジと螺合する内ネジが形成されたスティＢ
４は第２面Ｃに固定されている。従って、前記Ｘ軸操作
ダイアルＢ１を回すと、スティＢ４がＸ軸方向に微動
し、第３面Ｂは第２面Ｃに対してＸ軸方向に微動するの
である。
対の傘歯車による連結機構が備えられ、前記Ｘ軸操作ダ
イアルＢ１の回転操作による軸Ｂ２の回転は、直交する
軸Ｂ３に伝達される。この軸Ｂ３には外ネジが形成さ
れ、その外ネジと螺合する内ネジが形成されたスティＢ
４は第２面Ｃに固定されている。従って、前記Ｘ軸操作
ダイアルＢ１を回すと、スティＢ４がＸ軸方向に微動
し、第３面Ｂは第２面Ｃに対してＸ軸方向に微動するの
である。
【００１４】前記θ軸操作ダイアルＣ１の軸Ｃ２には外
ネジが形成され、その外ネジと螺合する内ネジが形成さ
れたスティＣ３は第４面Ｄに連結されている。従って、
前記θ軸操作ダイアルＣ１を回すと、スティＣ３がＹ軸
方向に微動する。そして、スティＣ３に連結された第１
面Ｄは、前記回動軸４２を中心として僅かに回転し、θ
軸の位置が微調整されるのである。
ネジが形成され、その外ネジと螺合する内ネジが形成さ
れたスティＣ３は第４面Ｄに連結されている。従って、
前記θ軸操作ダイアルＣ１を回すと、スティＣ３がＹ軸
方向に微動する。そして、スティＣ３に連結された第１
面Ｄは、前記回動軸４２を中心として僅かに回転し、θ
軸の位置が微調整されるのである。
【００１５】前記各面の移動量は、前面に配設されたマ
イクロゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３によって計測され表示さ
れる。なお、ＸＹθテーブル４の内部の構成は、以上の
構成に限定されるものではなく、３軸の位置調整が可能
な構成であればよいのである。また、ＸＹθテーブル４
によって電極の治具側を微動させる構成としたが、プリ
ント基板と電極との相対的な位置を微調整するものであ
れば、プリント基板をＸＹθテーブルによって微調整す
る構成も可能である。また、以上の説明においては、プ
リント基板の下側にＸＹθテーブル４を配設した構成を
例示したが、プリント基板の上側にＸＹθテーブル４と
垂直微調整手段を配設する構成も可能である。
イクロゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３によって計測され表示さ
れる。なお、ＸＹθテーブル４の内部の構成は、以上の
構成に限定されるものではなく、３軸の位置調整が可能
な構成であればよいのである。また、ＸＹθテーブル４
によって電極の治具側を微動させる構成としたが、プリ
ント基板と電極との相対的な位置を微調整するものであ
れば、プリント基板をＸＹθテーブルによって微調整す
る構成も可能である。また、以上の説明においては、プ
リント基板の下側にＸＹθテーブル４を配設した構成を
例示したが、プリント基板の上側にＸＹθテーブル４と
垂直微調整手段を配設する構成も可能である。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、垂直微調整手段を操作
する垂直操作ダイアルと、水平微調整手段を操作する水
平操作ダイアルとの、少なくとも何れか一つの操作ダイ
アルを、当該プリント基板装置の操作側前面に配設した
ので、プリント基板と電極との相対的な位置合わせ作業
が、当該プリント基板検査装置の操作側前面でできるの
で、作業効率が大幅に向上するという効果が得られる。
また、各移動量を表示する表示手段を備えたので、再現
性のある位置合わせができる。
する垂直操作ダイアルと、水平微調整手段を操作する水
平操作ダイアルとの、少なくとも何れか一つの操作ダイ
アルを、当該プリント基板装置の操作側前面に配設した
ので、プリント基板と電極との相対的な位置合わせ作業
が、当該プリント基板検査装置の操作側前面でできるの
で、作業効率が大幅に向上するという効果が得られる。
また、各移動量を表示する表示手段を備えたので、再現
性のある位置合わせができる。
【図１】本発明のプリント基板検査装置の全体の概略図
である。
である。
【図２】本発明のプリント基板検査装置の要部の側面図
である。
である。
【図３】本発明のプリント基板検査装置の要部の分解斜
視図である。
視図である。
Ｐ プリント基板 １０ プリント基板検査装置 １２ 検査部 ２ 昇降台 ２１ 垂直微調整手段 ３ 垂直操作ダイアル ４ ＸＹθテーブル ４２ 回動軸 Ａ 第４面 Ｂ 第３面 Ｃ 第２面 Ｄ 第１面 Ａ１ Ｘ軸操作ダイアル Ｂ１ Ｙ軸操作ダイアル Ｃ１ θ軸操作ダイアル
Claims (2)
- 【請求項１】昇降台に載せたプリント基板に、検査用電
極を正確に押し当てるため、あるいは近接させるため
に、平面内の相対的な位置あわせを行う水平移動テーブ
ルを備えたプリント基板検査装置において、 Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸方向の少なくとも何れかの方
向に移動可能な水平移動テーブルを、その移動可能な方
向の少なくとも何れかの方向に移動させて、位置を微調
整する水平微調整手段、もしくは、前記昇降台の高さを
微調整する垂直微調整手段の、少なくとも何れか一方の
微調整手段を備え、 その微調整手段を操作する操作ダイアルの少なくともひ
とつを、当該プリント基板装置の操作側前面に配設した
ことを特徴とするプリント基板検査装置。 - 【請求項２】 昇降台の垂直方向の移動量と、ＸＹθテ
ーブルの水平方向の移動量の少なくとも何れかひとつを
表示する表示手段を、当該プリント基板装置の操作側前
面に配設したことを特徴とする請求項１に記載のプリン
ト基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10115361A JPH11304868A (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | プリント基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10115361A JPH11304868A (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | プリント基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11304868A true JPH11304868A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14660632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10115361A Pending JPH11304868A (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | プリント基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11304868A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG118124A1 (en) * | 2001-09-27 | 2006-01-27 | Agilent Technologies Inc | Positioning mechanism providing precision 2-axis rotation 1-axis translation adjustment |
-
1998
- 1998-04-24 JP JP10115361A patent/JPH11304868A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG118124A1 (en) * | 2001-09-27 | 2006-01-27 | Agilent Technologies Inc | Positioning mechanism providing precision 2-axis rotation 1-axis translation adjustment |
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