JPH11317336A - 集積回路デバイス製造のための装置と方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 動作効率を高め且つ再加工の必要性、並びに
廃棄の必要性を軽減する、集積回路デバイス製造プロセ
スを提供する。 【解決手段】 本発明によれば、制御システムは可視ゲ
ートデバイスを組み入れ、この中に一連のネスト（21
2、242、272）が提供される。バーコードリーダ（220、
250）がネストの幾つかに共働するように与えられ、動
作に際しては、制御システムによって制御される一連の
表示（214、244）に従ってネスト位置を介してウエハロ
ットボックス（226、256、286）が前進する。各ネスト
に結合されているバーコードリーダは、ネスト内に収容
されているウエハロットボックス上のバーコード標識
（232）を読み取り、各ロットボックスに対応するロッ
ト番号を決定する。このロット番号は、様々なプロセス
操作（20、100）に対するセットアップパラメータを与
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、概して集積回路
の製造に関し、より詳細には集積回路の製造の効率と信
頼性の改善に関する。

【０００２】

【従来の技術】代表的な集積回路デバイスは、多重のプ
リント回路層を含む。各層は、層間の接続が選択的にな
される場合を除き、その隣接の層から絶縁されている。
集積回路デバイスの個々の回路層は、典型的には、フォ
トリソグラフィ処理で作られる。各層は、フォトリソグ
ラフィ製造領域を別々に通り抜ける間に集積回路デバイ
ス上に形成される。それぞれの通り抜けの後、エッチン
グ及び付着（デポジション）のような、付加的なプロセ
スステップが実施されるその他の製造領域へ集積回路デ
バイスが搬送される。その後、さらに別の回路層を付加
できるように、集積回路デバイスはフォトリソグラフィ
プロセス製造領域へ戻される。次いで、所望数の回路層
が形成され終わるまで、このプロセスが繰り返される。

【０００３】典型的には、その製造プロセス中に、同工
業界で通常"ウエハ"と呼ばれている単結晶シリコン基板
上に複数の集積回路が形成される。例えば、単結晶ウエ
ハが、約100の集積回路デバイスを含むこともある。ウ
エハ上での集積回路の製造が完了すると、ウエハ上に載
っている集積回路が個々のユニットに分離されるように
そのウエハが切り離される。

【０００４】集積回路ウエハは、一般に"ロット"で処理
される。各ロットは、例えば24枚のウエハを含む。各ロ
ットは、特定の集積回路製品を表し、従って一定のロッ
ト内の各ウエハは同じものになる。上記より明らかなよ
うに、集積回路の製造プロセス中、ウエハの各ロット
は、個々の回路層が付加されるようフォトリソグラフィ
プロセスへ何回も戻されることになる。各回路層は、"
マスクレベル"と呼ばれることもある。

【０００５】１ロットのウエハがフォトリソグラフィ製
造領域に到着すると、典型的にはそのウエハはカセット
内に収納され、そのカセットは次にロットボックス内に
収納される。"ランシート(run sheet)"と呼ばれる情報
シートが、一般にロットボックスに付けられていて、そ
のロットボックス内に収められている特定ロットが識別
される。

【０００６】フォトリソグラフィプロセスは、典型的に
は同工業界で"レジストスピントラック"装置として一般
に知られている装置で開始される。レジストスピントラ
ック装置は、ここでは"コーティング装置"とも呼ばれ
る。レジストスピントラック装置では、ウエハが感光性
フォトレジストコートをスピンコートされる。使われる
フォトレジストコートの"レシピ（処方）"は、各ロット
及びマスクレベルで異なる。フォトリソグラフィプロセ
スを開始するには、操作者はロットボックスからカセッ
トを取り出し、それをレジストスピントラック装置に取
付けられたインデクサ(indexer)上に置く。また操作者
は、そのロット用のレジストスピントラックレシピを手
動で選択しなければならない。これを行うには、典型的
にはオペレータは、そのロット用の要求されるレジスト
スピントラックレシピを決定するように、ロット番号と
マスクレベルの両方とも（その両方ともランシートに掲
載される）をコンピュータのデータベースに入力する。
次いでオペレータは、レシピ情報をレジストスピントラ
ック装置インデクサに結合された制御パネルに入力し、
そしてこれもまたインデクサの制御パネルに配置され
る、スタートボタンを押す。

【０００７】レジストスピントラック装置でウエハにフ
ォトレジスト材料をコートし終わった後、ウエハは"ウ
エハステッパ"装置へ搬送される。ウエハステッパ装置
は、各ウエハに設けられた集積回路を所望の回路層に対
応するパターンで露光する機能がある。この機能を実行
するために、ウエハステッパは、これも通常は同工業界
で単に"レチクル（reticle）"と呼ばれて、付加される
回路層の像が含まれているいる結像レチクルを使う。

【０００８】しかし、ウエハステッパがこのタスクを実
行可能となる以前に、これもまた操作者によってプログ
ラムされなければならない。このプログラムを達成する
には、オペレータは、レチクル番号を決めるべく中央制
御システムに照会しなければならない。次いでオペレー
タは、ロット番号とマスクレベルの両方ともを別のコン
ピュータデータベースに入力して、その他の必要なウエ
ハステッパパラメータを決めるようにする。このような
パラメータの例には、フォーカス情報と露光時間情報が
含まれる。明らかなようにこれらのパラメータの各々
は、特定ロット及びそのロットのマスクレベルによって
変化する。

【０００９】ウエハがウエハステッパを出た後、同工業
界で通常"デベロッパ"と呼ばれる現像装置に入り、ここ
でウエハステッパで露光されたフォトレジストの薬品が
固定又は現像される。デベロッパは、一般的に、レジス
トスピントラック装置と同じハウジング内に配置され
る。ウエハがデベロッパにおいて現像され終わった後、
通常は次いで、その元のカセットに戻される。ロット内
の全てのウエハが現像され且つそれらのカセットに戻さ
れてしまうと、マスクレベルについてのフォトリソグラ
フィプロセスが完了され、その後そのカセットは別の処
理段階へ、例えば上述のエッチングプロセスへ移動され
る。

【００１０】上記システムは、幾つかの好ましくない動
作特性に帰着することになった。このような好ましくな
い動作特性の１つは、情報のミス入力である。特に、操
作者が、データ（例えば、レジストスピントラック装置
用のレシピ名及びウエハステッパ装置用のレチクル、フ
ォーカス及び露光時間のデータ）を手動で調べて入力し
なければならないため、適当なデータを得る際の、その
適当なデータを適切な装置に伝送する際の、又はその両
方に際してのエラーによって、通常はミス処理を生じ
る。こうしたミス処理は、結果的に、さらに材料を再加
工し及び／又は製品を廃棄しなければならないことにな
る。

【００１１】上述のシステムに関わる別の好ましくない
特性は、それが非同期プロセスであるという事実に関連
している。特に、そのプロセスを維持するために操作者
インタフェースが不規則な時間に必要となる。例えば、
ウエハステッパがあるロットの処理を完了した後、ウエ
ハステッパ装置によってロット終了信号が生成される。
このロット終了信号は、次にアラームを起動させる。こ
のアラームに応答して、人間の入力が必要となり、その
後でウエハステッパが次のロットを開始できるのであ
る。上述のように、操作者は、例えば次のロットのパラ
メータを調べ、これらのパラメータをウエハステッパ装
置のコントローラに入力しなければならない。ウエハス
テッパのあるロットの終了時に、操作者が操作を行えな
い場合には、操作者が操作できるようになって、データ
入力タスクを完了するまで、ウエハステッパ装置は遊休
状態に置かれる。これは、装置の望ましからざる中断時
間となり、従ってフォトリソグラフィ処理に関する生産
効率の損失となる。この問題を倍加するのは、代表的フ
ォトリソグラフィ製造設備が複数（例えば、12）セット
のレジストスピントラック／ウエハステッパ装置の組合
せを含むことがあるという事実である。こうした複数セ
ットの使用によって、特定のウエハステッパがロット処
理を完了したときに、操作者又はオペレータ達は余分な
ことに従事させられることになる可能性が増大する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従って上述の諸問題を
克服して、それによって動作効率を高め且つ再加工の必
要性並びに廃棄の必要性を軽減する、製造プロセスを提
供することが望まれている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願発明は、フォトリソ
グラフィ集積回路製造プロセスの制御システムに向けら
れる。制御システムは、一連のネスト(nest)がそこにお
いて形成される可視ゲート装置(visual gating device)
を包含する。バーコードリーダが各ネストに連結して設
けられる。動作に際して、操作者が、制御システムによ
って制御される一連のディスプレイに従ってネスト位置
を通してウエハロットボックスを前進させる。各ネスト
と組合せたバーコードリーダは、ネスト内に収納された
ウエハロットボックス上のバーコード標識を読み取って
そのロットボックスに対応するロット番号を決める。次
いで制御システムによってこのロット番号が使用され、
種々のフォトリソグラフィ製造プロセス操作に対するセ
ットアップパラメータを得る。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１〜21は、全般に製造方法を図
解するものである。該方法は、少なくとも１つの製造プ
ロセス20、100をそこに含む製造システム10を設けるス
テップと、その製造システム10と効果的に接続されたヒ
ューマンインタフェース装置200を設けるステップとを
包含する。ヒューマンインタフェース装置200は、少な
くとも、ヒューマンインタフェース装置と組み合わされ
ている第一ステーション210と；少なくとも、ヒューマ
ンインタフェース装置と組み合わされている第二ステー
ション240と；少なくとも、ヒューマンインタフェース
装置と組み合わされている第一表示装置214とを包含す
る。さらに該方法は、少なくとも１つのオブジェクト22
6と、その少なくとも１つのオブジェクトに対応する少
なくとも１つのアーティクルとを与えるステップと；そ
の少なくとも１つのアーティクルを製造システム10に導
入するステップと；少なくとも１つのオブジェクト226
をヒューマンインタフェース装置の第一ステーション21
0上に置くステップと；その後、第一表示装置214に応答
してヒューマンインタフェース装置200の第二ステーシ
ョン240の方へオブジェクト226を進めるステップとを包
含する。

【００１５】また図１〜21は、全般に少なくとも１つの
製造プロセス20、100をそこに含む製造システム10を設
けるステップと；その製造システム10と効果的に接続さ
れたヒューマンインタフェース装置200を設けるステッ
プと；ヒューマンインタフェース装置200に配置された
少なくとも１つのオブジェクト226を設けるステップ
と；少なくとも１つのオブジェクト226の少なくとも部
分を走査することによって第一の情報アイテムを決める
ステップと；その第一の情報アイテムに依存する少なく
とも１つのパラメータを獲得するステップと；そしてそ
の少なくとも１つのパラメータに従って少なくとも１つ
のプロセス20、100を調節するステップとを包含する製
造方法を図解する。

【００１６】また図１〜21は、全般に集積回路装置を製
造するための製造システム10を図解する。該製造システ
ムは、少なくとも第一製造装置20、100と；ヒューマン
インタフェース装置200と、少なくとも、このヒューマ
ンインタフェース装置と結合される第一ステーション21
0、少なくとも、その第一ステーション210に隣接してい
て配置されている第一表示装置214を含むことと；少な
くとも、第一ステーション210に隣接して配置されてい
る第一走査装置220と；第一表示装置214と第一走査装置
220の両方に効果的に接続されている第一コントローラ3
60と；第一製造装置20、100に効果的に接続されている
第二コントローラ170、370と；第一コントローラ360と
第二コントローラ370とを接続するデータリンク176、37
2とを包含する。

【００１７】以上当該装置と方法を全般的に説明した
が、以後それらをさらに詳細に説明する。

【００１８】図１は、フォトリソグラフィ集積回路製造
システム10を図解する。製造システム10は、参照番号20
を付して概略示される、在来のレジストスピントラック
装置を包含する。例えばレジストスピントラック装置20
としては、日本国京都のDainippon Screen Manufacturi
ng Companyから市販され、Model 80-B Spin Trackとし
て販売されているタイプのものが挙げられる。

【００１９】レジストスピントラック装置20は、個別イ
ンデクサ24、26、28及び30のような、複数のインデクサ
22を包含する。インデクサ22は、個々のアーティクルす
なわちウエハを処理するためにそれらのカセットから自
動的に取出し、且つ処理後個々のウエハを前述の方法で
カセットに再収納するのに適している。インデクサ22の
各々は、従来の方法で、制御パネルとスタートボタンを
含んでいる。

【００２０】さらに図１を参照して説明すると、製造シ
ステム10は、さらに参照番号100で略図表示されるウエ
ハステッパ装置を包含する。幾つかの改良点を除き、以
下に詳細が説明されるように、ウエハステッパ装置100
は、例えば日本国熊谷のNikonから市販され、NSR Model
12 Wafer Stepperとして販売されているタイプの在来
型ウエハステッパ装置が挙げられる。

【００２１】図示するように、在来型の緩衝保管装置32
が、レジストスピントラック装置20の下流で且つウエハ
ステッパ装置100の上流に配置される。緩衝保管装置32
は、在来型の搬送装置34を介してレジストスピントラッ
ク装置20に、及び在来型の搬送装置36を介してウエハス
テッパ装置100に接続される。別の在来型の搬送装置38
は、ウエハステッパ装置100とレジストスピントラック
装置のハウジング20内に配置されたデベロッパとを図示
したように接続する。

【００２２】さらに製造システム10は、以下により詳細
に説明するところの改良型の作業進行台(work-in-progr
ess table)200を包含する。作業進行台200は、レジスト
スピントラック装置20に隣接して配置される。また作業
進行台200は、ここで"WIPテーブル"とも呼ばれる。

【００２３】製造システム10を介しての全般的な製品の
流れを以下に説明する。先に指摘したように、ウエハの
各ロットは、一般にカセットに収納され、このカセット
は、次に図３のオブジェクトすなわちロットボックス22
6のような、ロットボックス内に収納される。処理用の
新しいロットボックスが製造システム10に到着すると、
その新しいロットボックスはWIPテーブル200上に置かれ
る。次いでその新しいロットボックスが開けられ、その
中に収容されているカセットがボックスから取り出され
てレジストスピントラック装置20のインデクサ22の１つ
の上に置かれる。レジストスピントラック装置20が新し
いロットの処理を開始する準備が整うと、新しいロット
のカセットを保持しているインデクサが、カセットから
ウエハを取り出して、従来の方法でフォトレジスト材料
を塗布するべくそれらをレジストスピントラック装置20
に移し始める。

【００２４】レジストスピントラック装置20における処
理が完了すると、次いでウエハは、搬送装置34によって
レジストスピントラック装置20の外へ搬送される。その
後ウエハステッパ装置がウエハを受け容れる準備を整え
ていれば、ウエハはウエハステッパ装置100の中に搬送
される。しかしウエハステッパ装置がウエハを受け容れ
る準備を整えていなければ、その時はウエハは従来の方
法で緩衝保管装置32へ配送される。

【００２５】ウエハがウエハステッパ100内で処理され
終わった後、次に搬送装置38を介してデベロッパ内へ搬
送される。前述のようにデベロッパは、レジストスピン
トラック装置20と同じハウジング内に配置される。デベ
ロッパでの処理が完了した後、ウエハはインデクサによ
って元のカセットに戻される。特定ロットのウエハ全て
がロットカセットに戻された後、既に説明したような方
法で、その他の製造場所での後続の処理ができるよう、
ロットカセットはそのロットボックスへ戻される。

【００２６】改良型ウエハステッパレチクルライブラリ 前述のように、以前のフォトリソグラフィ集積回路製造
システムに関する１つの問題は、各ライブラリスロット
に配された特定レチクルの識別について、ウエハステッ
パに対して手動で通知しなければならないということで
ある。この問題を処理するため、次に改良型のウエハス
テッパライブラリの構成配置を詳細に説明する。

【００２７】図２は、その外側から見た改良型ウエハス
テッパ装置100を図解したものである。ウエハステッパ
装置100は、従来の方法で、例えばヒンジを介して、ウ
エハステッパハウジング106に取付けることができる、
一対のライブラリアクセスドア102、104（開放位置で図
示）を包含する。一対のレチクルライブラリ110、120
は、ハウジング106の内部に配置される。レチクルライ
ブラリの各々は、従来の方法で複数のスロットを含む。
例えばレチクルライブラリ110は、個別スロット114、11
6、118のような、スロット112を含む。同様に、例えば
レチクルライブラリ120は、個別スロット124、126、128
のような、スロット122を含む。

【００２８】前述のように、ライブラリスロット112、1
22は、スロット116内に収納されたレチクルボックス130
及びスロット128内に収納されたレチクルボックス140に
関して図２に図解したように、その中にレチクルボック
スを収納できるように適合される。注目されることは、
従来の方法で様々なサイズのレチクルボックス内に収納
される様々なサイズのレチクルに適応するように、２つ
の別々のライブラリが設けられるということである。図
２を参照して説明すると、例えばライブラリ120のスロ
ット122とそこに配置されたレチクルボックス140は、ラ
イブラリ110のスロット112とレチクルボックス130より
高さが高いことが分かる。

【００２９】動作中、操作者は、ライブラリ110、120に
アクセスするために、それぞれドア102、104を開けるこ
とができる。適当なドアを開放後、オペレータは、必要
であればライブラリにレチクルボックスを挿入し、又は
そこからレチクルボックスを取出すことができる。レチ
クルボックスがライブラリスロットに挿入されてしまう
と、ウエハステッパ内部の在来型のロボット装置（非図
示）が、レチクルボックスを開けて、そこからレチクル
を取出すことができる。次いでロボット装置は、適当な
パターンで集積回路層を露光できるようにそのレチクル
をウエハステッパの投影装置内に入れる。ウエハの特定
ロットが完全に処理され終わった後、次いでロボット式
ピッカ(picker)装置が、レチクルをそのボックスへ戻
し、また従来の方法でウエハの次のロット用のライブラ
リから次のレチクルを選択することができる。

【００３０】上述のように、ライブラリ110、120の設備
によって、レチクルライブラリは幾つかのレチクルを好
都合に予め詰め込むことができ、そのため対応するウエ
ハロットがウエハステッパに到着すると適切なレチクル
を使うことが可能となる。しかし上述のように、従来の
ウエハステッパ装置では、操作者が所望のレチクルが配
されているライブラリスロットを識別し且つこの情報を
ウエハステッパのコントローラへ伝えることが必要であ
る。この識別処理は間違いを生じさせ易い。十分理解さ
れるように、そのような間違いは、結果として使用中の
レチクルを不良とし、従って廃棄及び／又は再加工の一
因となる。

【００３１】この問題を克服するため、ウエハステッパ
装置100は、以下に詳細に説明されるうな方法で改造さ
れた。再度図２を参照して、ウエハステッパ100と共働
して用いられる各レチクルボックスは、その中に収納さ
れたレチクルの識別番号を表す、バーコード標識のよう
な表示を与えられる。例えば図２に示すように、レチク
ルボックス130はバーコード標識132を付され、そしてレ
チクルボックス140はバーコード標識142を付される。

【００３２】ウエハステッパ装置100のアクセスドア102
は、ライブラリ110のスロット112の各々に対して１つの
表示読取り装置が与えられるように、表示読取り装置、
例えばバーコードリーダを与えられる。例えばアクセス
ドア102は、個別のバーコードリーダ154、156及び158の
ような、バーコードリーダ152を与えられる。同様にウ
エハステッパ装置100のアクセスドア104は、ライブラリ
120のスロット122の各々に対して１つの表示読取り装置
が与えられるように、表示読取り装置、例えばバーコー
ドリーダを与えられる。例えばアクセスドア104は、個
別のバーコードリーダ164、166及び168のようなバーコ
ードリーダ162を与えられる。

【００３３】アクセスドア102、104が閉じられると、バ
ーコードリーダ152、162が、それぞれスロット112、122
内に収容されたレチクルボックス上のバーコード標識と
整列するように、バーコードリーダ152、162は各アクセ
スドア102、104に位置決めされる。特に、例えばアクセ
スドア102が閉じられると、バーコードリーダ156は、ラ
イブラリ110のスロット116に配置されているレチクルボ
ックス130上のバーコード標識132と整列する。同様に、
アクセスドア104が閉じられると、バーコードリーダ168
は、ライブラリ120のスロット128に配置されているレチ
クルボックス140上のバーコード標識142と整列する。

【００３４】上述のように、表示及び表示読取り装置の
使用によって、ウエハステッパ装置100が必要なレチク
ルに対する正しいスロット位置を決めることが可能とな
り、従って操作者がこの情報を与える必要性は排除され
る。例えば図５を参照して、ウエハステッパコントロー
ラ170は、データリンク172を介して表示読取り装置152
へ、そしてデータリンク174を介して表示読取り装置162
へ取付けられる。ウエハの新しいロットに対してウエハ
ステッパ装置100が設定される度に、所望のレチクルボ
ックス番号を走査できるように、コントローラ170は表
示読取り装置152、162を作動させる。十分に理解される
ように、コントローラ170は、所望のレチクルボックス
番号を捜し出した特定表示読取り装置によって、所望の
レチクルボックスがそこに入れられているスロットを決
めることができる。再度図２を参照して、例えばレチク
ルボックス130が所望のレチクルを収容しているのであ
れば、ライブラリ110の第二のスロット、即ちスロット1
16が所望のレチクルを収容していることを、コントロー
ラは決定可能である。さらにコントローラは、次のウエ
ハロットを設定するよう、ロボット式ピッカにスロット
116にあるレチクルボックスからレチクルを取出させ
る。

【００３５】読取り装置152、162が、所望のレチクルボ
ックスを明らかにすることができないならば、このこと
は必要なレチクルがライブラリに加えられていないとい
うことを示す。この場合には、装置の動作は停止され、
その問題について操作者に警告すべく警報を発生させ
る。上述の動作を図21のフローチャートで説明する。

【００３６】表示読取り装置152、162は、在来型の任意
の表示読取り装置であってよく、例えばMicroscan Syst
ems,Inc (Renton, Washington)から市販され、Series 7
10Barcode Scannerとして販売されている方式のバーコ
ード読取り装置を挙げることができる。

【００３７】図２の標識132、142のような表示は、在来
型の任意の表示であってよく、例えば従来のバーコード
標識である。

【００３８】表示読取り装置152、162、（標識132、142
のような）表示及び上記図５に関連して説明した制御シ
ステムの追加以外に、ウエハステッパ装置100も、前述
のように、在来型のウエハステッパ装置である。

【００３９】図２は、各ライブラリスロットと連結して
用いられる表示読取り装置を図解していることが注目さ
れる。しかし、特殊な動作環境のためそれほど多くのス
ロットを必要としない場合には、ライブラリスロットの
幾つかを不作動に指定して、それらが使用されないよう
物理的に閉鎖することができる。これらの不作動スロッ
トに対して表示読取り装置は省略される。この方法にお
いて、各作動スロットに対して表示読取り装置は従来通
り設けられる；但し、必要とされる表示読取り装置の総
数は減らすことができる。例えば好ましい実施例におい
ては、ライブラリ110、120の各々は、３個のスロット以
外は全て不作動と指定される。

【００４０】改良型製造システムの制御 前述のように、従来型のフォトリソグラフィ製造システ
ムの操作と制御は、幾つかの好ましくない動作特性に帰
着した。このような好ましくない動作特性の１つは情報
のミス入力である。特に操作者が、データ（例えば、レ
ジストスピントラック装置用のレシピ番号及びウエハス
テッパ装置用のレチクル、フォーカス及び露光時間のデ
ータ）を手動で調べて入力する必要性が、適当なデータ
を得る際の、もしくはその適当なデータを適切な装置に
伝送する際のどちらかの、又はその両方に際してのエラ
ーによって、通常は結果としてミス処理を生じる。こう
したミス処理は、結果的に次に材料を再加工し及び／又
は製品を廃棄しなければならないということを生じる。

【００４１】従来のシステムに関わる別の好ましくない
特性は、それが非同期プロセスであるという事実に関連
している。特に操作に当たりそのプロセスを維持するた
めに操作者インタフェースが不規則な時間に必要とされ
る。図１を参照して説明すると、例えばウエハステッパ
装置100があるロットの処理を完了した後、ウエハステ
ッパ装置100によってロット終了信号が生成される。こ
のロット終了信号は、次にアラームを起動させる。この
アラームに応答して、オペレータの入力が必要となり、
その後でウエハステッパが次のロットのプロセスを開始
できるのである。上述のように、操作者は、次のロット
のパラメータを調べ、これらのパラメータをウエハステ
ッパ装置の制御システムに入力しなければならない。ウ
エハステッパ装置100があるロットを終了した際に操作
者が操作を行えないとするならば、操作者が操作するこ
とができるようになって、データ入力タスクを完了する
まで、ウエハステッパ装置は遊休状態に置かれる。これ
は、結果として装置の望ましからざる中断時間を生じ、
従ってフォトリソグラフィ処理に関する生産効率の損失
となる。この問題を倍加するのは、代表的フォトリソグ
ラフィ製造設備が複数（例えば、12）セットのレジスト
スピントラック／ウエハステッパ装置の組合せを包含す
ることがあるという事実である。このような複数セット
の使用は、特定のウエハステッパがロット処理を完了す
ると、操作者又はオペレータが余分なことに従事させら
れることになるという可能性を増大させる。

【００４２】図５は、上述の諸問題を克服するフォトリ
ソグラフィ製造システム10の改良型コントローラを略図
で図解するものである。改良型制御システム350は、さ
らに詳細に説明されているような方法で、図１、３及び
４の改良型WIPテーブル200と連係して動作する。

【００４３】図３を参照して、WIPテーブル200は、従来
の方法で支え脚204、206のような複数の、例えば４本の
支え脚で支持されている上部テーブル部分202を含んで
いる。上部テーブル部分202は、図示のように上面208と
前面209を含む。

【００４４】図３及び４を参照して、WIPテーブル200
は、複数のステーション、詳細にはレジストスピントラ
ックステーション210、ウエハステッパステーション240
及びデベロッパステーション270を包含する。本明細書
においてこれより後により詳細に説明するように、シス
テム制御を目的として、レジストスピントラックステー
ション210はレジストスピントラック装置20（図１）に
相当し、ウエハステッパステーション240はウエハステ
ッパ装置100に相当し、さらにデベロッパステーション2
70は前述のようなデベロッパに相当する。

【００４５】レジストスピントラックステーション210
は、一般にロットボックスネスト212と表示装置214とを
含み、その両方とも図４のWIPテーブル上部202の上面20
8に装着される。またレジストスピントラックステーシ
ョン210は、図３及び４のバーコードリーダ220とペーパ
ワークビン（paperwor bin）222を含み、その両方ともW
IPテーブル上部202の前面209に装着される。またレジス
トスピントラックステーション210は、図３及び４に示
すように、WIPテーブル上部の上面208から上方へ延びる
バックストップ部材224を含む。

【００４６】ウエハステッパステーション240は、一般
にロットボックスネスト242と表示装置244とを含み、そ
の両方とも図４のWIPテーブル上部202の上面208に装着
される。またウエハステッパステーション240は、図３
及び４のバーコードリーダ250とペーパワークビン252
（図３及び４）を含み、その両方ともWIPテーブル上部2
02の前面209に装着される。

【００４７】デベロッパステーション270は、一般に図
４のWIPテーブル上部202の上面208に装着される、ロッ
トボックスネスト272を含む。またデベロッパステーシ
ョン270は、図３及び４のWIPテーブル上部202の前面209
に装着される、ペーパワークビン282を含む。またデベ
ロッパステーション270は、図３及び４に示すように、W
IPテーブル上部の上面208から上方へ延びるバックスト
ップ部材284を含む。

【００４８】バーコードリーダ220及び250は、在来型の
任意のバーコード読取り装置とすることができ、且つ例
えばSymbol (Bohemia, New York)からModel LS1220 Bar
codeScannerとして市販されている型式である。

【００４９】表示装置214及び244は、各々第一組及び第
二組のライト、例えば表示装置214に関して図４に示さ
れている第一組及び第二組のライト246、248を含む。例
えば第一組のライト246は赤色ライトから成り、一方第
二組のライト248は緑色ライトから成る。このことから
十分理解されるように、表示装置214、244は、一般に赤
色表示、緑色表示又は全く表示無しの何れかを発するこ
とができる。図５を参照して、表示装置214、244は、各
々接続線234、264を介して、WIPテーブルコントローラ3
60に接続される。

【００５０】表示装置214及び244は、在来型の任意の表
示装置、例えば在来型のLED表示装置とすることができ
る。

【００５１】再度図３と４を参照して、さらにWIPテー
ブル200は、"後位(next)ロット"ステーションとして指
定される第四のステーション300を含む。後位ロットス
テーション300は、水平に延びる皿状の部材（パン）302
を含み、この皿状の部材は、上部テーブル部分202に取
付けられる一対の上方部材304、306で支持され、且つ横
断部材308に接続される。

【００５２】図３と４を参照して、図４のWIPテーブル
ネスト212、242及び272の各々は、在来のウエハロット
ボックスを受容し且つ配置できるように適応される。該
ウエハロットボックスは、前述のような方法で、ウエハ
カセットを収容するのに使われる。図３は、ネスト212
の内部に受容されているロットボックス226と、ネスト2
42の内部に受容されているロットボックス256と、ネス
ト272の内部に受容されているロットボックス286とを示
す。ロットボックスの各々は、ロットボックス226の底
部分228と蓋部材230のような、底部分と蓋部材を含む。
ロットボックス226と286の蓋が開けられると、レジスト
スピントラックステーション210とデベロッパステーシ
ョン270に関して前述した、バックストップ224と284は
それぞれ蓋を支持して、ロットボックスが後方へ倒れる
のを防ぐ。ロットボックス256の蓋が開けられると、上
方部材304、306及び横断部材308はロットボックス256の
蓋を支える。

【００５３】図５のマイクロスイッチ236が、図４のネ
スト212の下に配置され、それによってネスト212のロッ
トボックスの重量によってマイクロスイッチが閉位置ま
で動かされ、さらにロットボックスがネスト212の内部
に無い時にはマイクロスイッチが開位置をとる。同様に
マイクロスイッチ266及び296が、それぞれネスト242及
び272の下に配置される。図５に示したように、マイク
ロスイッチ236、266、296各々は、それぞれ接続線238、
268、298を介して、WIPテーブルコントローラ360に接続
される。この方法でWIPテーブルコントローラ360は、ロ
ットボックスがネスト212、242、272の各々に存在する
かどうかを検知することができる。

【００５４】図３のロットボックス226の底部分228に配
されているバーコード標識のように、バーコード標識が
各ロットボックスの底部分に配される。各ロットボック
ス上のバーコード標識は、そのボックス内に収容されて
いるウエハロットを識別する番号を含む。図３を参照し
て十分に理解されるように、ロットボックスがネスト21
2、242の１つの内部に配置されると、ロットボックス上
に配されたバーコード標識は、ぞれぞれ対応するバーコ
ードリーダ220、250と整列し、従ってそれらによって読
取られる。この方法で、図５のWIPテーブルコントロー
ラ360は、どのロットボックスがWIPテーブルネスト21
2、242の各々に存在するかをモニタすることができる。
特に引き続き図５を参照して、コントローラ360は、バ
ーコードリーダ220とデータリンク362を介して、ネスト
212に置かれたロットボックスのロット番号を決めるこ
とができる。またコントローラ360は、バーコードリー
ダ250とデータリンク364を介して、ネスト242に置かれ
たロットボックスのロット番号を決めることができる。

【００５５】図４を参照して説明すると、さらにWIPテ
ーブル200は、情報を操作者に与えることができ且つオ
ペレータがプロセスを制御可能とする、オペレータイン
タフェースパネル330を含む。インタフェースパネル330
は、エラー状態が発生すると、オペレータに警報を発す
べく種々の光及び／又は可聴アラームを含む。このよう
なエラー状態の例としては、バーコードリーダ220、250
の１つによる読取りミスが挙げられる。またインタフェ
ースパネル330は、操作者によって起動できる種々のボ
タン類又はスイッチ類を含む。このようなボタン類又は
スイッチ類により起動される動作の例としては、電源の
オンオフ、システムからのロットの放出、システムから
のロットの消去及びシステムリセットが挙げられる。図
５を参照して、インタフェースパネル330は、データリ
ンク332を介して、WIPテーブルコントローラ360に接続
される。

【００５６】再度、図５を参照して、WIPテーブルコン
トローラ360は、データリンク372を介してレジストスピ
ントラック装置コントローラ370に接続される。一般に
レジストスピントラック装置コントローラ370は、図１
の（前述のようにデベロッパを含む）レジストスピント
ラック装置20と隣接のインデクサ22を制御する。レジス
トスピントラック装置コントローラは、次にデータリン
ク192を介して主製造システムコントローラ190に接続さ
れる。主製造システムコントローラ190は、集積回路製
造環境全体を制御し、さらに例えば各ウエハロットの現
在のマスクレベルを探知する。またレジストスピントラ
ック装置コントローラ370は、データリンク182を介し
て、レジストスピントラックパラメータのデータベース
180に接続される。

【００５７】WIPテーブルコントローラ360は、データリ
ンク176を介してウエハステッパ装置コントローラ170に
接続される。次にウエハステッパ装置コントローラ170
は、データリンク194を介して主製造システムコントロ
ーラ190に接続される。またウエハステッパ装置コント
ローラ170は、データリンク188を介してウエハステッパ
パラメータのデータベース186に接続される。

【００５８】WIPテーブル200は、WIPテーブルコントロ
ーラ360と共働して、製造システム10の全動作を制御す
るための可視ゲートシステム(visual gating system)を
与える。ここにさらに詳細に説明するように、WIPテー
ブル200のステーション群は、対応する製造システム装
置におけるパラメータを設定するのに使用される。特に
製造プロセスが進行する際、操作者は、図３で見られる
ように、１つのネストから次のネストへ、ロットボック
スを左から右へ移動させることができる。例えばロット
ボックス286がテーブルから外され、ロットボックス256
がネスト272へ、ロットボックス226がネスト242へ、新
しいロットボックスがネスト212へ、等々、次から次に
移動される。表示装置214、244は、ロットボックスを何
時進めてよいかについて操作者に伝えるべく作用する。
特に緑ライトが示される時は、操作者はロットボックス
をその位置から移動することができる。しかし赤ライト
が示される時は、その位置にあるロットボックスは移動
することができない。

【００５９】再度図３と４を参照して、次のロットステ
ーション300が可視ゲート制御システムの一部を成さな
い、ということが注目される。むしろ次のロットステー
ション300は、次のウエハロットがシステムに入るため
の便利な保持場所を単に表しているに過ぎない。図３の
ロットボックス316のような、新しいウエハロットボッ
クスがフォトリソグラフィー製造システムに到着する
と、それは搬送部(tote)318内に収納される。搬送部318
は、例えば図３のネスト320内に収納されたロットボッ
クス316に関して図示したように、ロットボックスを収
納するべく適応される図４のロットボックスネスト320
を含む。また搬送部318は、搬送部の輸送を容易にする
ために一対のハンドル322、324を含む。ロットボックス
に加えて、搬送部によって運ばれるロット用のウエハス
テッパ装置で使用されるレチクル及びそのロットに関す
るペーパワークのようなその他のアイテムも搬送部は運
ぶ。新しいロットボックスを収納している搬送部がWIP
テーブル200に到着すると、それは前述の皿状の部材302
の内部に置かれる。この時前述のような方法で、レチク
ルは搬送部から取り出されてウエハステッパライブラリ
110、120の１つの内部に置かれ、その結果ウエハがロッ
トから最終的にウエハステッパ装置に到達すると、レチ
クルがウエハステッパ装置100で使用可能となる。この
時ペーパワーク及びその他のアイテムも、同様に搬送部
から取出してよい。

【００６０】WIPテーブルネスト212が使用可能となった
ら、ロットボックス316は搬送部からネスト212へ移動さ
れる。次いで搬送部318はWIPテーブルの皿状の部材302
から取り出され、リサイクルされる。

【００６１】システムの動作 前述のように、WIPテーブル200は、ロット番号入力をレ
ジストスピントラック装置20及びウエハステッパ装置10
0の両方へ供給し、一方操作者に対し可視ゲートシステ
ムをもたらす。さらにこのシステムの機能は、WIPテー
ブルレジストスピントラックステーション210、WIPテー
ブルウエハステッパステーション240、レジストスピン
トラックコントローラ370及びウエハステッパコントロ
ーラ170の相関関係から説明される。

【００６２】WIPテーブルレジストスピントラックステ
ーション210に関しては、ロットボックスがネスト212に
入れられると、WIPテーブルプロセスが始まる。前述の
ようにネスト212の下に置かれたマイクロスイッチ236を
介してWIPテーブルコントローラ360によって、ロットボ
ックスの存在が検出される。ネスト212におけるロット
ボックスの存在が検出されると、ネスト212における新
しいロットボックスのロット番号を決めるべく、WIPテ
ーブルコントローラ360が走査装置220を起動する。次い
でこの新しいロット番号は、WIPテーブル200の現在の状
態を探知するために維持され且つ絶えず更新される履歴
ファイルに格納される。特にネスト212におけるロット
ボックスの新しいロット番号は、履歴ファイルのレジス
トスピントラック領域に格納されることになる。

【００６３】さらにWIPテーブルコントローラ360は、表
示装置214を赤色に設定して、レジストスピントラック
装置コントローラ370からの照会を受けるべく待機す
る。照会を受けると、WIPテーブルコントローラ360は、
新しいレジストスピントラックロット番号を（履歴ファ
イルのレジストスピントラック領域から）レジストスピ
ントラックコントローラ370へ送る。その後WIPテーブル
コントローラ360は、レジストスピントラックインデク
サ上のスタートボタンが操作者によって既に押されたこ
とを示すレジストスピントラック装置コントローラ370
からの信号を受けるべく待機する。この信号を受ける
と、WIPステーションコントローラ360は表示装置214を
緑色に設定する。

【００６４】図18は、上記で概説してように、レジスト
スピントラックステーション210に関するWIPテーブルコ
ントローラ360の動作をフローチャートの形で説明する
ものである。図18に示されるように、走査された新しい
ロット番号が実際に新しいロット番号であるかどうか、
又はそれがレジストスピントラック装置において既にセ
ットアップされたロット番号であるかを決めるようにコ
ントローラ360が最初に確認する、ということが注目さ
れる。ロットボックスが時としてWIPテーブル200にぶつ
かるか又は接触して、マイクロスイッチの瞬間的開閉を
引き起こすことがあるために、この確認が実施される。
その確認によって、新しいロットボックスが追加された
のか又は以前に存在していたロットボックスが単にぶつ
けられたのかどうかが確かめられる。図18ではこの手順
はプロセスの開始に際してのみ説明されているが、これ
は動作の全局面で実行されるものと理解すべきである。

【００６５】WIPテーブルウエハステッパステーション2
40に関しては、ロットボックスがネスト242に入れられ
ると、WIPテーブルプロセスが始まる。前述のようにネ
スト242の下に置かれたマイクロスイッチ266を介して、
WIPテーブルコントローラ360によってロットボックスの
存在が検出される。ネスト242におけるロットボックス
の存在が検出されると、新しいロットボックスのロット
番号を決めるべく、WIPテーブルコントローラ360が走査
装置250を起動する。次いでこの新しいロット番号は、
レジストスピントラックステーション210に関して上記
で説明したように、履歴ファイルに格納される。特にネ
スト242におけるロットボックスの新しいロット番号
は、履歴ファイルのウエハステッパ領域に格納されるこ
とになる。次いでWIPテーブルコントローラ360は、表示
装置244を赤色に設定する。またWIPテーブルコントロー
ラ360は、直ちにその新しいロット番号をウエハステッ
パコントローラ170へ送る。新しいロット番号が送られ
る際に、ウエハステッパ装置100が遊休状態であるなら
ば、その時はウエハステッパコントローラは、ここにお
いてさらに詳細に説明されるような方法で、新しいロッ
ト番号を使ってウエハステッパ装置をセットアップする
ことを受入れて開始する。しかし新しいロット番号がWI
Pテーブルコントローラ360から到着した時にウエハステ
ッパ装置が稼働中（即ち、ウエハの別のロットを処理
中）ならば、その時は新しいロット番号は、ウエハステ
ッパコントローラによって無視されることになる。

【００６６】新しいロット番号がウエハステッパコント
ローラ170によって無視されるならば（即ち、新しいロ
ット番号が送られた際にウエハステッパ装置100が稼働
中であったために）、WIPテーブルコントローラ360は、
ウエハステッパ装置100がその現在のロットの処理を完
了したことを示すロット終了信号を受けるべく待機す
る。典型的に在来型のウエハステッパ装置は、ロットの
処理がウエハステッパ装置内で完了し終わると信号を発
生する。以前はこの信号は、例えば警報装置を介して、
１つのロットが処理を完了したことを操作者に伝えるの
に用いられた。このアラームに応答して、操作者は、ウ
エハステッパ装置内で次のロットの処理を始める前に、
ウエハステッパ設定パラメータデータを入力する必要が
あった。

【００６７】ウエハステッパコントローラ170は、ウエ
ハステッパ装置で発生された信号を検知して、ロット終
了信号をWIPテーブルコントローラ360に送る。しかし代
替的にはそして好ましくは、WIPテーブルコントローラ3
60がウエハステッパ装置100で発生された信号を直接検
知してロット終了信号を誘導する。

【００６８】ロット終了信号がWIPテーブルコントロー
ラ360に到着すると、そのWIPテーブルコントローラは、
新しいウエハステッパロット番号を（履歴ファイルのウ
エハステッパ領域から）ウエハステッパコントローラ17
0に送信する。その後WIPテーブルコントローラ360は、
新しいロットからの最初のウエハがウエハステッパ装置
100で首尾よく処理されたことを表すウエハステッパ装
置コントローラ170からの信号を受けるべく待機する。
この信号を受けると、WIPテーブルコントローラ360は、
表示装置244を緑色に設定する。

【００６９】図19は、上記で概説したように、ウエハス
テッパステーション240に関してWIPテーブルコントロー
ラ360の動作を、フローチャートの形で示す。図18に関
して上述した方法と同様の方法で、図19においてコント
ローラ360は、走査された新しいロット番号が実際に新
しいロット番号であるかどうか、又はそれがレジストス
ピントラック装置で既に設定されたロット番号であるか
どうかを決めるべく最初に確認する。この手順は、図19
におけるプロセスの開始時点でのみ示されているが、こ
れは動作の全局面で実行されると理解されるべきであ
る。

【００７０】例えば図４のデベロッパステーション270
が、バーコードリーダを包含せず、前述したように、図
５のマイクロスイッチ296を包含していることに注目さ
れる。従ってWIPテーブルコントローラ360は、デベロッ
パネスト272内のロットボックスの存在を検知すること
ができる。ステーション270に連結されたバーコード走
査装置が無いので、WIPテーブルコントローラ360は、ネ
スト272に到着するロットボックスが予めネスト242にあ
ったものと同じロットボックスであると想定する。

【００７１】レジストスピントラックコントローラ370
に関して、新しいロットカセットがインデクサ22の１つ
に入れられるとプロセスが始まる。新しいロットカセッ
トの存在が検出されると、レジストスピントラックコン
トローラ370は、（履歴ファイルのレジストスピントラ
ック領域に格納されている時に）新しいロットのロット
番号を決めるためにWIPテーブルコントローラ360に照会
することになる。新しいロット番号を得た後、レジスト
スピントラックコントローラ370は、次いで新しいロッ
トのマスクレベルを決めるべく主システムコントローラ
190に照会し、そして次いで新しいロットとマスクレベ
ルに必要とされるレシピ番号を決めるべくレジストスピ
ントラックパラメータベータベース180に照会する。さ
らにレジストスピントラックコントローラ370は、新し
いカセットを保持しているインデクサに対する適切なレ
シピ番号を選択する。レジストスピントラック装置100
が新しいロットの処理を始めるべく準備されると、イン
デクサは、レジストスピントラック装置20をセットアッ
プして、選択されたレシピを実行する。

【００７２】操作者がインデクサ上のスタートボタンを
押すと、レジストスピントラックコントローラ370がWIP
テーブルコントローラ360に信号を送る。この信号に応
答して、WIPテーブルコントローラは、ここで一層詳し
く説明した方法で、表示装置を赤色から緑色に設定す
る。図20は、上記で概説したように、レジストスピント
ラックコントローラの動作をフローチャートで説明する
ものである。

【００７３】ウエハステッパコントローラ170に関し
て、ウエハステッパ装置100でロット処理が完了する
と、ロット終了信号が、WIPテーブルコントローラ360
へ、上述のような方法で、ウエハステッパコントローラ
170から、又はウエハステッパ装置100自体から直接送ら
れる。その後ウエハステッパコントローラ170は、WIPテ
ーブルコントローラ360からの新しいウエハステッパロ
ット番号を待つ。新しいロット番号が（履歴ファイルの
ウエハステッパ領域から）到着すると、次いでウエハス
テッパコントローラ170は、新しいロットのマスクレベ
ルと所要のレチクル識別番号を決めるべく主システムコ
ントローラ190に照会し、そして次いで新しいロット及
びマスクレベルについてのフォーカスと露光データのよ
うな、その他のセットアップパラメータを決めるべくウ
エハステッパパラメータデータベース186に照会する。

【００７４】さらにウエハステッパコントローラ170
は、前述のような方法で、読取り装置152、162を使用し
て特定のレチクル番号についてウエハステッパライブラ
リ110、120の走査を実行する。その走査によって特定の
レチクル番号が見出せないならば、所要のレチクルがラ
イブラリに無いということを操作者に伝えるべく警報音
が発せられる。特定レチクルが見出されるならば、ウエ
ハステッパコントローラ170は、そのレチクルが配置さ
れているライブラリスロット番号を確認する。次いでウ
エハステッパコントローラは、そのレチクルスロット番
号をその他の確認されたウエハステッパパラメータと共
に用いて、ウエハステッパ装置100をセットアップす
る。

【００７５】ウエハステッパ装置がセットアップされた
後、ウエハの新しいロットの処理が自動的に始められ
る。最初のウエハが首尾よく処理された後、ウエハステ
ッパコントローラ170は、この事実を表す信号をWIPテー
ブルコントローラ360へ送る。図21は、上記で概説した
ウエハステッパコントローラ170の動作を、フローチャ
ートの形で、説明するものである。

【００７６】またウエハステッパコントローラ170は、
同工業界で"パーティクルオンチャック(particle on ch
uck)"試験として知られている試験を自動的に実行す
る、ということに注目されなければならない。典型的に
はパーティクルオンチャック試験は、処理中ウエハを保
持するチャックが清浄であることを保証するためにウエ
ハステッパ装置100におけるロットとロットの間で実施
されるものである。以前のウエハステッパ装置では、こ
の試験は操作者が手動で始める必要があった。しかし本
システムでは、ウエハステッパコントローラ170は、例
えばウエハステッパ装置での３ロットの処理完了毎に、
自動的にその試験を実行させることができる。

【００７７】次に特定の動作シーケンスに関してWIPテ
ーブル200の動作を詳細に説明する。説明される動作シ
ーケンスは、例としてのみ説明されることに注意され；
WIPテーブル200の動作では、その他の動作シーケンスも
可能である。

【００７８】図６〜17は、WIPテーブル200に関する一連
の操作ステップを説明するものである。図６〜17は、第
一、第二及び第三ステーションのロットボックスネス
ト、それぞれ212、242及び272と、第一ステーションの
表示装置214と第二ステーションの表示装置244とを含
む、WIPテーブル200を略図で説明する。またレジストス
ピントラック装置20、緩衝保管装置32、ウエハステッパ
装置100、（先に説明したように、レジストスピントラ
ック装置20と同じハウジング内に収容されることがあ
る）デベロッパ及びインデクサ群22も略図で説明する。

【００７９】図６〜17における図解を容易にするため、
レジストスピントラックステーション（ネスト212と表
示装置214）を"RST"と表示し、ウエハステッパステーシ
ョン（ネスト242と表示装置244）を"WS"と表示し、デベ
ロッパステーション（ネスト272）を"DEVELOPER"と表示
し、レジストスピントラック装置20を"RESIST SPIN TRA
CK MACHINE"と表示し、ウエハステッパ装置100を"WAFER
STEPPER"と表示しそしてデベロッパを"DEVELOPER MACH
INE"と表示する。

【００８０】説明上の目的のため、動作シーケンスは、
WIPテーブル200上にロットボックスが無く且つレジスト
スピントラック装置20、ウエハステッパ装置100又はデ
ベロッパによって処理中のウエハが無い状態で始めるも
のとして説明する。この遊休配置構成が図６に示され
る。図６を参照して、両表示装置214、244とも"オフ"状
態にあることが分かる。表示装置214、244は、ロットボ
ックスが対応するネスト内に配置されていない時に、こ
のようなオフ状態を表示する。

【００８１】図７において、"１"と指定されたロットボ
ックスが、操作者によってWIPテーブルネスト212に置か
れる。ネスト212の下にあるマイクロスイッチを介し
て、ロットボックス１の存在を検知すると、WIPテーブ
ルコントローラ360は、ロットボックス１のロット番号
を決めるためにバーコードリーダ220を使って走査を始
める。次いでこのロット番号は上述のように履歴ファイ
ルのレジストスピントラック領域に格納される。このロ
ットは、以前に該システムにおいてセットアップされて
いなかったので、コントローラ360は、図示したように
表示装置214を赤色に点灯させる。この赤色のディスプ
レイは、ロットボックス１がネスト212から取り出せな
いことをオペレータに示すものである。ネスト212にロ
ットボックス１を置くと、オペレータは、ロットボック
スを開け、そこからウエハのカセットを取り出し、そし
て図７のインデクサボックス22で"１"と示されるよう
に、カセットをインデクサの１つに入れる。レジストス
ピントラック装置コントローラ370は、カセットがイン
デクサ22の１つに設置されていることを認識する。この
認識に応答して、レジストスピントラックコントローラ
370は、データリンク372を介してWIPテーブルコントロ
ーラ360に照会し、履歴ファイルのレジストスピントラ
ック領域に現在格納されているロット番号を決める。理
解できるように、このロット番号は、インデクサ22に現
在位置するウエハロットを表すものである。

【００８２】ロット１に対するロット番号を得た後、さ
らにレジストスピントラックコントローラ370は、デー
タリンク192を介して主コントローラ190に照会し、現在
のロットのマスクレベルを決める。マスクレベルを決め
た後、レジストスピントラック装置コントローラ370
は、データリンク182を介してレジストスピントラック
データベース180に照会し、特定のロット番号とロット
１に対応するマスクレベルに基づくレジストスピントラ
ックレシピを決める。次いでレジストスピントラック装
置コントローラ370は、このレシピ情報を使って、ロッ
ト１カセットを包含するインデクサをセットアップす
る。さらにレジストスピントラック装置コントローラ37
0は、操作者がレジストスピントラック装置インデクサ
上のスタートボタンを手動で起動するのを待つ。スター
トボタンが起動された後、レジストスピントラック装置
20は現在遊休状態であるので、インデクサがレジストス
ピントラック装置においてロット１のウエハ処理を開始
させる。

【００８３】図８は、操作者によってスタートボタンが
起動され終わった直後の配置構成を示す。ボックス20中
の１で図８に示されたように、ロット１からの最初のウ
エハが、レジストスピントラック装置20において、今、
処理を始められたことが分かる。ロット１に残っている
ウエハは、そのままインデクサ22上にある。レジストス
ピントラック装置コントローラ370が、スタートボタン
が既に押されたことをWIPテーブルコントローラ360に知
らせると、WIPステーションコントローラ360は、図８に
示すように、表示装置214を緑色に変える。

【００８４】図８に示すように、表示装置214上の緑色
ライトは、ロットボックス１を次の位置へ、例えばネス
ト242へ、今、移動させてよいと云うことを操作者に知
らせる。図９は、ロットボックス１がネスト242へ移動
された後の状態を示す。図から分かるように、表示装置
244が今度は赤色に変わり、ロットボックス１がさらに
移動できないことを示す。ネスト212にはもはやロット
ボックスが存在しないため、表示装置214はオフに切り
換えられる。

【００８５】ネスト242の下に配置されたマイクロスイ
ッチ266を介して、ネスト242におけるロットボックスを
検知すれば、WIPテーブルコントローラ360は、バーコー
ドリーダ250を使って走査を実行して、ボックス１のロ
ット番号を決める。次いでこのロット番号が、前述の方
法で履歴ファイルのウエハステッパ領域に格納される。
またロット番号は、ウエハステッパ装置コントローラ17
0へも直ちに送信される。

【００８６】この点において、ウエハステッパ装置100
が現在遊休状態であるため、ウエハステッパコントロー
ラ170は、WIPテーブルコントローラ360から新しいロッ
ト番号を受けることになる。理解されるように、ネスト
242におけるロットボックスのロット番号は、ウエハス
テップ装置100によって次に処理されるウエハロット、
即ち本例ではロット１を表すことになる。

【００８７】さらにウエハステッパ装置コントローラ17
0は、データリンク194を介して主コントローラ190に照
会して、現在のロットが基づいているのはどんなマスク
レベルであるかを決め且つレチクル識別番号を決める。
マスクレベルとレチクル識別番号を識別した後、ウエハ
ステッパ装置コントローラ170は、データリンク188を介
してウエハステッパパラメータデータベース186に照会
して、現在のロットの特定のロット番号とマスクレベル
に基づくその他のウエハステッパ装置セットアップパラ
メータを決める。次いでウエハステッパ装置コントロー
ラ170は、このパラメータ情報を使って、ロット（本例
ではロット１）を処理すべくウエハステッパ装置100を
セットアップする。

【００８８】パラメータ検索シーケンスが完了した後、
ウエハステッパ装置コントローラ170は、識別パラメー
タを使って実際にウエハステッパ装置100をセットアッ
プするように動作を続行する。この点で、ウエハステッ
パ装置はロット１の処理開始の準備が整う。

【００８９】上記のプロセス中に決定されるパラメータ
の１つは、ロットを処理するのに必要となるレチクル番
号である。上述のセットアップ操作を実行する時、ウエ
ハステッパ装置コントローラ170は、どちらのライブラ
リスロットが所望のレチクルを含んでいるかを決めるた
めに、図２のバーコードリーダ152、162による走査を実
行する。適切なスロットが捜し出されると、ウエハステ
ッパ装置100内のロボット式ピッカは、上述したような
方法でその被使用スロットのレチクルがロットを処理す
ることを可能とする。

【００９０】図10は、ロット"２"と指定された新しいロ
ットがシステムに入り、且つロットボックス２がレジス
トスピントラックネスト212に置かれた後の状態を示
す。ネスト212の下にあるマイクロスイッチを介して、
ロットボックス２の存在を検知すると、WIPテーブルコ
ントローラ360は、ロットボックス２のロット番号を決
めるためにバーコードリーダ220を使って走査を始め
る。次いでこのロット番号は、上述のように履歴ファイ
ルのレジストスピントラック領域に格納される。このロ
ットは、以前に該システムにおいてセットアップされて
いなかったので、コントローラ360は、図示するように
表示装置214を赤色に変える。この赤色のディスプレイ
は、ロットボックス２がネスト212から取り出せないこ
とをオペレータに示すものである。ネスト212にロット
ボックス２を置くと、オペレータは、ロットボックスを
開き、そこからウエハのカセットを取り出し、そして図
10のインデクサボックス22で"２"と示されたように、カ
セットをインデクサの１つに入れる。レジストスピント
ラック装置コントローラ370は、カセットがインデクサ2
2の１つに設置されていることを認識する。この認識に
応答して、レジストスピントラックコントローラ370
は、データリンク372を介してWIPテーブルコントローラ
360に照会して、履歴ファイルのレジストスピントラッ
ク領域に現在格納されているロット番号を決める。理解
されるように、このロット番号は、インデクサ22に現在
位置するウエハロットを表すものである。

【００９１】ロット２に対するロット番号を得た後、さ
らにレジストスピントラックコントローラ370は、デー
タリンク192を介して主コントローラ190に照会して、現
在のロットが基づいているマスクレベルが何であるかを
決める。マスクレベルを決めた後、レジストスピントラ
ック装置コントローラ370は、データリンク182を介して
レジストスピントラックデータベース180に照会して、
特定のロット番号とロット２に対応するマスクレベルに
基づくレジストスピントラックレシピを決める。

【００９２】ロット２に対して識別されるレシピは、ロ
ット２のカセットを包含しているインデクサに基づいて
選択される。ロット２のパラメータ識別手続きが完了し
た後も、レジストスピントラック装置の（ロット２のカ
セットを包含しているインデクサ上の）スタートボタン
が操作者によって押されるまでは、表示装置214は赤色
のままである。

【００９３】図11は、操作者によって、ロット２のカセ
ットを包含しているインデクサ上のスタートボタンが起
動され終わった直後の配置構成を示すものである。この
点で、図11に示すように、表示装置214は緑色に変わ
る。表示装置214が緑色であるが、次の位置、即ちネス
ト242はロットボックス１で依然として占められている
ため、ロットボックス２はネスト212から取り出すこと
ができない。

【００９４】図12では、ロット１からのウエハは、今、
（図12のボックス32中の１で示されるように）緩衝器32
に入っていて、且つ最初のロット１のウエハが、（図12
のボックス100中の１で示されるように）ウエハステッ
パ装置100において丁度処理を完了したところである。
図12に示されるように、ウエハステッパで処理中のロッ
ト１からの最初のウエハに応答して、ウエハステッパコ
ントローラ170は、ロット１からの最初のウエハが首尾
よく処理され終わったことを表す信号を、データリンク
176を介して、WIPテーブルコントローラ360へ送信済み
である。この信号に応答して、WIPテーブルコントロー
ラ360は、図12に表すように、表示装置244を緑色に変え
る。この緑色表示は、今度はロットボックス１がネスト
242から取り出されて、次のネスト、即ちネスト272へ進
められる、ということを操作者に示す。

【００９５】図13は、操作者がロットボックス１をネス
ト242からネスト272へ移動し終わった後の状態を示す。
表示装置244は、今、ロットボックスがネスト242に存在
しないため、オフに切り換えられている。しかしデベロ
ッパにはセットアップが必要ないので、この動きに応答
して、WIPテーブルコントローラ360による何らアクショ
ンは起こされない。ロット１からのウエハは、図13のデ
ベロッパボックス中の１で示されるように、今、デベロ
ッパに入っている。

【００９６】図14では、操作者が、ロットボックス２を
ネスト212からネスト242へ移動し終えている。図示する
ように、表示装置244は赤色に変わり、以降ロットボッ
クス２が取り出せないことを表示し、そして表示装置21
4は、ロットボックスがネスト212内に無いのでオフに切
り換えられている。新しいロットボックスがステッパネ
スト242に入れられたことを認識して、WIPテーブルコン
トローラ360は、ロット２の番号を走査し、そしてロッ
ト１に関して前述したような方法で、それを履歴ファイ
ルのレジストスピントラック領域に格納する。またコン
トローラ360は、直ちにロット２のロット番号をウエハ
ステッパコントローラ170へ送る。しかしウエハステッ
パ装置は、現在も、ロット１からのウエハを処理中であ
るため、該コントローラは新しいロット番号を受け容れ
ない。

【００９７】図15では、図15のボックス212中の"３"で
示されるように、操作者が、新しいロットボックスをレ
ジストスピントラックネスト212へ入れ終わっている。W
IPテーブルコントローラ360は、表示装置214を赤色に変
え、ロットボックス３がそれ以上移動できないことを示
している。また操作者は、図15のボックス22中の３で示
されるように、ロットボックス３からのウエハのカセッ
トをレジストスピントラックインデクサ22に既に入れて
いる。

【００９８】図15では、ロット１からのウエハがレジス
トスピントラック装置20における処理を完了しているこ
とに注目される。ロット１のウエハが完了すると、ロッ
ト２のカセットを包含しているインデクサは、以前に得
られたロット２セットアップレシピを使ってレジストス
ピントラック装置を自動的にセットアップし、且つその
後で自動的にレジストスピントラック装置にロット２の
ウエハの処理を始めさせる。図15は、ロット２からの最
初のウエハがレジストスピントラック装置20内で処理さ
れ始めた情況を示すものである。

【００９９】その間、レジストスピントラック装置コン
トローラ370は、新しいカセット（即ちロット３のカセ
ット）がインデクサ22の１つに入れられていることを認
識する。この認識に応答して、レジストスピントラック
装置コントローラは、データリンク372を介してWIPテー
ブルコントローラ360に照会して、どのロット番号がネ
スト212にあるかを見付け、そしてロット１と２に関し
て上述したような方法でロット３に対するレジストスピ
ントラックレシピを得る。先の例のように、ロット３の
識別手続きが完了した後も、レジストスピントラック装
置インデクサのスタートボタンが操作者によって押され
るまでは、表示装置214は赤色のままである。

【０１００】図16は、操作者によって、スタートボタン
が起動されてしまった直後の配置構成を示すものであ
る。この点で、図16に示されるように、表示装置214は
緑色に変わる。表示装置214は緑色であるが、次の位
置、即ちネスト242がロットボックス２で依然として占
められているため、ロットボックス３はネスト212から
取り出すことができない。

【０１０１】また図16は、ロット１がウエハステッパ装
置100内で処理を完了した直後の配置構成も示す。図16
から分かるように、ロット１のウエハは依然としてデベ
ロッパ内部にあるが、ウエハステッパ装置100の内部に
はウエハは無い。この点で、前述のように、ロット１の
最後のウエハが処理し終わっているので、ロット終了信
号がWIPテーブルコントローラ360に送信される。このロ
ット終了信号に応答して、WIPテーブルコントローラ
は、履歴ファイルのウエハステッパ領域からウエハステ
ッパコントローラ170へ新しいロット番号（即ちこの例
ではロット２に対する）を送る。さらにウエハステッパ
コントローラ170は、ロット１に関して前述したような
方法で次のロット（即ちロット２）のためにウエハステ
ッパ装置100のセットアップを始める。ウエハステッパ
装置のセットアップが完了すると、ウエハステッパコン
トローラ170は、ロット２のウエハの処理を始めるよう
にウエハステッパ装置100に指示する。

【０１０２】図17では、最初のロット２のウエハが、
（図12のボックス100中の２で示されるように）ウエハ
ステッパ100において丁度処理を完了したところであ
る。従って図17では、ウエハステッパコントローラ170
は、ロット２からの最初のウエハが首尾よく処理され終
わったことを表す信号を、データリンク176を介して、W
IPテーフ゛ルコントローラ360へ送信済みである。この信号に応答し
て、WIPテーブルコントローラ360は、図17に示すよう
に、表示装置244を緑色に変える。この緑色表示は、次
にロットボックス２がネスト242から取り出されて、次
のネスト、即ちネスト272へ進めてよい、ということを
操作者に示す。

【０１０３】また図17は、ウエハロット１がシステムを
完全に出た状態も示す。詳細には、ロット１からのウエ
ハ全てがデベロッパを出て、インデクサ22によってロッ
ト１カセットへ戻されている。操作者は、ロット１カセ
ットをインデクサから取出して、そしてまだネスト272
に留まっているそのロットボックスへそのカセットを戻
している。それに続いて、操作者は、ロット１ボックス
をネスト272から取出し、そしてそれをその他の処理領
域へ進め、従って図17に画かれた配置構成を生じる。

【０１０４】次にロットボックス２と３が次のネスト位
置、即ちそれぞれネスト位置272、242へ進められ、そし
て新しいロットをネスト212へ導入する。その後、後続
のウエハロットに対して上述のプロセスが繰り返され
る。理解されるように、上述のプロセスは、WIPテーブ
ル200及び制御システム350と共働して、操作者によるリ
アルタイムの介入を必要とせずに、新しいウエハロット
に対するセットアップパラメータを自動的に得ることが
可能となる。例えば以前の構成においては、ロットがウ
エハステッパ装置100において処理を完了するそのたび
に、操作者によるリアルタイムの注意が必要とされた。
特に新しいウエハロットがウエハステッパ装置内で処理
し始めることを可能とする前には、操作者は、ウエハス
テッパのセットアップパラメータデータを検索して入力
する必要があった。ロットがウエハステッパ装置内での
処理を完了した際に、オペレータが操作を行うことがで
きなかったとすると、システムは、操作者が操作を行う
ことができるようになるのを待機する遊休状態になり、
従って結果的に装置の中断時間を生じる。

【０１０５】しかし本システムの下では、操作者は、例
えば前のロットの最初のウエハがウエハステッパ装置に
おける処理を完了し終わった後は何時でもWIPテーブル
ウエハステッパネスト242上の位置に新しいロットボッ
クスを移動させることができる。新しいロットボックス
がネスト242内の位置にあると、該システムは、新しい
ロットに対するウエハステッパのセットアップパラメー
タを自動的に得る。本システムの下では、操作者は、例
えば（表示装置244が緑色に変わる時間から新しいセッ
トアップパラメータがウエハステッパ装置で必要とされ
る時間までに）新しいロットボックスをネスト242の中
へ移動させるのに（24ウエハロットと仮定して）約30分
あればよい。従って本方法と装置は、前述のような、リ
アルタイムのオペレータ介入に関わる諸問題を回避す
る。

【０１０６】上記に説明された装置と方法は、集積回路
のフォトリソグラフィ処理に関して記述されているが、
この装置と方法は、信頼性と効率を高めるために、他の
任意の型式の製造プロセスに容易に利用することができ
る。

【０１０７】本発明の例証となり且つ現に好ましい実施
例を本明細書において詳細に説明してきたが、本発明の
概念は別のやり方で様々に具現され且つ採用されるこ
と、並びに添付の請求の範囲は従来技術によって限定さ
れる限りを除き、このような変更を含むことを意味する
ことを意図することが理解される。

【０１０８】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。

【０１０９】１． 少なくとも１つの製造プロセス(2
0、100)を含む製造システム(10)を与えるステップと；
前記製造システム(10)に効果的に接続されているヒュー
マンインタフェース装置(200)を与えるステップと；該
ヒューマンインタフェース装置が：少なくとも、該ヒュ
ーマンインタフェース装置と結合されている第一ステー
ション(210)と；少なくとも、該ヒューマンインタフェ
ース装置と結合されている第二ステーション(240)と；
少なくとも、該ヒューマンインタフェース装置と結合さ
れている第一表示装置(214)とを含み、少なくとも１つ
のオブジェクト(226)と、該少なくとも１つのオブジェ
クト(226)に対応する少なくとも１つのアーティクルと
を与えるステップと；前記の少なくとも１つのアーティ
クルを前記製造システム(10)に導入するステップと；前
記の少なくとも１つのオブジェクト(226)を前記ヒュー
マンインタフェース装置(200)の前記第一ステーション
(210)上に置くステップと；その後前記オブジェクト(22
6)を前記第一表示装置(214)に応答して前記ヒューマン
インタフェース装置(200)の前記第二ステーション(240)
の方へ進めるステップとからなる製造方法。

【０１１０】２． 前記の少なくとも１つの製造プロセ
スが、レジストスピントラック装置(20)とウエハステッ
パ装置(100)の両方を含む、１項記載の製造方法。

【０１１１】３． 前記第一ステーション(210)が前記
レジストスピントラック装置(20)に対応し、且つ前記第
二ステーション(240)が前記ウエハステッパ装置(100)に
対応する、２項記載の製造方法。

【０１１２】４． 少なくとも、前記ヒューマンインタ
フェース装置(200)と結合されている第三ステーション
(270)を与えるステップと；少なくとも、前記ヒューマ
ンインタフェース装置(200)と結合されている第二表示
装置(244)を与えるステップと；前記オブジェクト(226)
を前記第二表示装置(244)に応答して前記ヒューマンイ
ンタフェース装置(200)の前記第三ステーション(270)の
方へ進めるステップとをさらに含む、１項記載の製造方
法。

【０１１３】５． 少なくとも１つの製造プロセス(2
0、100)を含む製造システム(10)を与えるステップと；
前記製造システム(10)と効果的に接続されているヒュー
マンインタフェース装置(200)を与えるステップと；前
記ヒューマンインタフェース装置(200)に配置された少
なくとも１つのオブジェクト(226)を設定するステップ
と；前記の少なくとも１つのオブジェクト(226)の少な
くとも一部分を走査することによって第一の情報アイテ
ムを決めるステップと；前記の第一の情報アイテムに依
存する少なくとも１つのパラメータを得るステップと；
そして前記少なくとも１つのパラメータに従って前記少
なくとも１つのプロセス(20、100)を調節するステップ
とからなる製造方法。

【０１１４】６． 前記少なくとも１つのオブジェクト
(226)の少なくとも一部分を走査することによって第一
の情報アイテムを決める前記ステップが、前記少なくと
も１つのオブジェクト(226)の前記少なくとも一部分上
のバーコード標識(232)をバーコード走査装置(220)を使
って走査するステップを含む、５項記載の製造方法。

【０１１５】７． 前記少なくとも１つの製造プロセス
が、レジストスピントラック装置(20)とウエハステッパ
装置(100)の両方を含む、５項記載の製造方法。

【０１１６】８． 集積回路デバイスを製造するための
製造システム(10)であって：少なくとも第一製造装置(2
0、100)と；ヒューマンインタフェース装置(200)と：該
ヒューマンインタフェース装置が少なくとも、該ヒュー
マンインタフェース装置と結合されている第一ステーシ
ョン(210)と；少なくとも、前記第一ステーション(210)
に隣接して配置されている第一表 示装置(214)と；
少なくとも、前記第一ステーション(210)に隣接して配
置されている第一走 査装置(220)と；を含み、前記
第一表示装置(214)と前記第一走査装置(220)の両方に効
果的に接続されている第一コントローラ(360)と；前記
第一製造装置(20、100)に効果的に接続されている第二
コントローラ(370、170)と；前記第一コントローラ(36
0)と前記第二コントローラ(370、170)を接続するデータ
リンク(372、176)とからなることを特徴とする製造シス
テム。

【０１１７】９． 少なくとも、前記ヒューマンインタ
フェース装置(200)と結合されている第二ステーション
(240)と；少なくとも、前記第二ステーション(240)に隣
接して配置されている第二表示装置(244)と；少なくと
も、前記第二ステーション(240)に隣接して配置されて
いる第二走査装置(250)とをさらに含み、前記第一コン
トローラ(360)が、前記第二表示装置(244)と前記第二走
査装置(250)の両方に効果的に取付けられている、８項
記載の製造システム。

【０１１８】１０． 少なくとも第二製造装置(20、10
0)装置と；前記第二製造装置(20、100)に効果的に接続
されている第三コントローラ(370、170)と；前記第一コ
ントローラ(370、170)と前記第三コントローラ(370、17
0)を接続するデータリンク(372、176)とをさらに含む、
９項記載の製造システム。

【０１１９】

【発明の効果】本発明は、フォトリソグラフィ集積回路
製造プロセス（10）に対する制御システムを開示する。
この制御システムは可視ゲートデバイスを組み入れ、こ
の可視ゲートデバイスの中に一連のネスト（212、242、
272）が提供される。バーコードリーダ（220、250）が
ネスト（212、242、272）の幾つかに共働するように与
えられる。動作に際して、操作者は、制御システムによ
って制御される一連の表示（214、244）に従ってネスト
位置（212、242、272）を介してウエハロットボックス
（226、256、286）を前進させる。各ネスト（212、24
2）に結合されているバーコードリーダ（220、250）
は、ネスト（212、242）内に収容されているウエハロッ
トボックス（226、256）上のバーコード標識（232）を
読み取り、ロットボックス（226、256）に対応するロッ
ト番号を決定する。さらにこのロット番号は、制御シス
テムによって利用され、様々なフォトリソグラフィ製造
プロセス操作（20、100）に対するセットアップパラメ
ータが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】集積回路のフォトリソグラフィ製造システムの
略平面図である。

【図２】図１の製造システムで使用されるウエハステッ
パ装置の斜視図である。

【図３】ロットボックスを配置した状態の、図１の製造
システムで使用される作業進行台の正面立面図である。

【図４】ロットボックスが省略された状態の、図３の台
の平面図である。

【図５】図１の製造システムの制御システムを画いた略
線図である。

【図６】動作の最初の段階における図１の製造システム
を画いた略図である。

【図７】図６の動作段階に続く動作段階の図１の製造シ
ステムを画いた略図である。

【図８】図７の動作段階に続く動作段階の図１の製造シ
ステムを画いた略図である。

【図９】図８の動作段階に続く動作段階の図１の製造シ
ステムを画いた略図である。

【図１０】図９の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１１】図10の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１２】図11の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１３】図12の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１４】図13の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１５】図14の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１６】図15の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１７】図16の動作段階に続く動作段階の図１の製造
システムを画いた略図である。

【図１８】図３と４の作業進行台のレジストスピントラ
ックステーションの配景から、図１の製造システムの動
作を説明するフローチャートである。

【図１９】図３と４の作業進行台のウエハステッパステ
ーションの配景から、図１の製造システムの動作を説明
するフローチャートである。

【図２０】レジストスピントラック装置のコントローラ
の配景から、図１の製造システムの動作を説明するフロ
ーチャートである。

【図２１】ウエハステッパ装置のコントローラの配景か
ら、図１の製造システムの動作を説明するフローチャー
トである。

【符号の説明】

10 製造システム 200 ヒューマンインタフェース装置 210 第一ステーション 214 第一表示装置 226 オブジェクト 240 第二ステーション

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１つの製造プロセス(20、10
   0)を含む製造システム(10)を与えるステップと；前記製
   造システム(10)に効果的に接続されているヒューマンイ
   ンタフェース装置(200)を与えるステップと；該ヒュー
   マンインタフェース装置が：少なくとも、該ヒューマン
   インタフェース装置と結合されている第一ステーション
   (210)と；少なくとも、該ヒューマンインタフェース装
   置と結合されている第二ステーション(240)と；少なく
   とも、該ヒューマンインタフェース装置と結合されてい
   る第一表示装置(214)とを含み、 少なくとも１つのオブジェクト(226)と、該少なくとも
   １つのオブジェクト(226)に対応する少なくとも１つの
   アーティクルとを与えるステップと；前記の少なくとも
   １つのアーティクルを前記製造システム(10)に導入する
   ステップと；前記の少なくとも１つのオブジェクト(22
   6)を前記ヒューマンインタフェース装置(200)の前記第
   一ステーション(210)上に置くステップと；その後前記
   オブジェクト(226)を前記第一表示装置(214)に応答して
   前記ヒューマンインタフェース装置(200)の前記第二ス
   テーション(240)の方へ進めるステップとからなる製造
   方法。