JPH11320380A - ワイヤソー及びその加工用ローラの着脱方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工用ローラを一対の軸受ユニット間に着脱
する場合に、軸受ユニットを拗れが生じることなく軸線
方向へ円滑に移動させることができるワイヤソーを提供
する。 【解決手段】 加工用ローラ１５〜１７を両端にて一対
の軸受ユニット２５，２６により回転可能に支持する。
一方の軸受ユニット２５の軸端部には、その軸受ユニッ
ト２５の軸心付近に対してその軸線方向へ移動力を付与
するための移動装置４５を設ける。移動装置４５により
軸受ユニット２５を加工用ローラ１５〜１７と接離する
方向に向かって軸線方向へ移動させて、加工用ローラ１
５〜１７を両軸受ユニット２５，２６間に着脱する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークに対し、切断等の加工を施すようにしたワ
イヤソー、及びその加工用ローラの着脱方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のワイヤソーとしては、例
えば図１０に示すような構成のものが知られている。す
なわち、この従来構成においては、加工用ローラ８１が
両端にて一対の軸受ユニット８２，８３を介して支持フ
レーム８４に回転可能に支持されている。一方の軸受ユ
ニット８２は支持フレーム８４の軸支筒８４ａ内に軸線
方向へ移動可能に嵌合され、軸受ハウジング８５と、そ
の軸受ハウジング８５内に回転可能に支持されたシャフ
ト８６とから構成されている。

【０００３】前記加工用ローラ８１の両端面にはテーパ
状凹部８１ａ，８１ｂが形成され、そのテーパ状凹部８
１ａ，８１ｂは両軸受ユニット８２，８３のシャフト８
６，８７の対向端部に形成されたテーパ状凸部８６ａ，
８７ａに係合されている。一方の軸受ユニット８２の軸
端部から、シャフト８６及び加工用ローラ８１の中心の
挿通孔８８を介して、他方の軸受ユニット８３のシャフ
ト８７のねじ孔８９に通しボルト９０が螺合されてい
る。これにより、加工用ローラ８１が両軸受ユニット８
２，８３のシャフト８６，８７間に締め付け固定されて
いる。

【０００４】前記軸受ハウジング８５の端面には環状の
端面板９１が固定され、その外端には通しボルト９０の
頭部を覆う蓋体９２が着脱可能に取り付けられている。
端面板９１の外周縁には一対のガイド孔９３が形成され
ている。一方のガイド孔９３に係合するように、軸支筒
８４ａの端面にはガイドボルト９４が螺着されている。
他方のガイド孔９３に係合するように、軸支筒８４ａの
端面には移動用ボルト９５が回転操作可能に螺合され、
その頭部と端面板９１との間にはばね９６が介装されて
いる。

【０００５】そして、加工用ローラ８１の外周に形成さ
れたワイヤ掛装用の溝８１ｃが摩耗して、加工用ローラ
８１を新しいものと交換する必要がある場合には、蓋体
９２を取り外して、通しボルト９０を抜き取る。この状
態で、移動用ボルト９５を回転させると、その中間大径
部９５ａが端面板９１に係合して、軸受ユニット８２全
体が加工用ローラ８１から離間する方向へ移動される。

【０００６】これにより、一方のシャフト８６のテーパ
状凸部８６ａが加工用ローラ８１の一方のテーパ状凹部
８１ａから離脱される。その後、加工用ローラ８１を他
方の軸受ユニット８３から離間する方向に向かって軸線
方向へ移動させれば、他方のテーパ状凹部８１ｂが他方
のシャフト８７のテーパ状凸部８７ａから離脱される。
これにより、加工用ローラ８１を両軸受ユニット８２，
８３間から取り外すことができる。また、新しい加工用
ローラ８１を両軸受ユニット８２，８３間に取り付ける
場合には、前記の取り外し時とほぼ逆順に操作すればよ
い。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
ワイヤソーでは、移動用ボルト９５が軸受ユニット８２
の軸線から離間した片側の位置において、端面板９１の
ガイド孔９３を介して軸支筒８４ａの端面に螺合されて
いる。そして、この移動用ボルト９５の回転操作によ
り、端面板９１を介して軸受ユニット８２全体が加工用
ローラ８１と接離する方向へ移動されるようになってい
る。

【０００８】このため、移動用ボルト９５の回転操作時
には、軸受ユニット８２に対し軸線から離間した片側の
位置に対し移動力が付与されて他方の側はフリーである
ため拗れが発生し、軸受ユニット８２を軸線方向へ円滑
に移動させることができないという問題があった。

【０００９】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、加工用ローラを一対の軸受ユニット間に
着脱する場合に、軸受ユニットを拗れが生じることなく
軸受ユニットの軸線方向へ円滑に移動させることができ
るワイヤソー及びその加工用ローラの着脱方法を提供す
ることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載のワイヤソーの発明では、加工用
ローラを軸受ユニットにより回転可能に支持し、軸受ユ
ニットの軸端部には、その軸受ユニットの軸線上におい
て軸受ユニットの軸線方向へ移動力を付与するための移
動装置を設け、その移動装置により軸受ユニットを加工
用ローラと接離する方向に移動させて、加工用ローラを
両軸受ユニット間に着脱するようにしたものである。

【００１１】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、前記移動装置は軸受ユニット
の軸端部に着脱可能に構成したものである。請求項３に
記載の発明では、請求項１または請求項２に記載のワイ
ヤソーにおいて、前記移動装置は、軸受ユニットの軸線
上に配設されたねじと、そのねじに相対回転可能に螺合
されたナットと、ナットまたはねじを回転させる回転部
材とからなるものである。

【００１２】請求項４に記載の加工用ローラの着脱方法
の発明では、加工用ローラを軸受ユニットにより回転可
能に支持したワイヤソーにおいて、軸受ユニットの軸線
上において軸受ユニットの軸線方向への移動力を付与す
ることにより、軸受ユニットを加工用ローラと接離する
方向に移動させて、加工用ローラを軸受ユニットに着脱
するものである。

【００１３】請求項５に記載の発明では、請求項４に記
載の加工用ローラの着脱方法において、前記軸受ユニッ
トを加工用ローラの両端に設け、両軸受ユニットをその
軸線方向へ共に移動させて、加工用ローラを両軸受ユニ
ット間に着脱するようにしたものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下に、この
発明の第１の実施形態を、図１〜図５に基づいて説明す
る。

【００１５】図１及び図２に示すように、この実施形態
のワイヤソーの基台１１上には切断機構１３が一対の支
持フレーム１４を介して装設されている。この切断機構
１３は平行に延びる３本の加工用ローラ１５，１６，１
７を備え、それらの外周には多数のワイヤ掛装用の環状
溝１５ａ，１６ａ，１７ａが形成されている。

【００１６】前記加工用ローラ１５，１６，１７の環状
溝１５ａ，１６ａ，１７ａには、１本のワイヤ１８が順
に巻回されている。支持フレーム１４の前部には複数の
ガイドローラ２０よりなるワイヤガイド機構１９が装設
されている。そして、図示しないワイヤ走行用モータに
て、加工用ローラ１５，１６，１７が回転されることに
より、ワイヤ１８がワイヤガイド機構１９を介して加工
用ローラ１５，１６，１７上に給送されて走行される。
前記切断機構１３の上方にはワーク支持機構２３が昇降
可能に配設され、その下部には硬脆材料よりなるワーク
２４が着脱自在にセットされる。

【００１７】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１８が切断機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２３が図示しな
い昇降用モータにより切断機構１３に向かって下降され
る。このとき、スラリ供給機構２１からワイヤ１８上へ
遊離砥粒を含むスラリが供給されるとともに、そのワイ
ヤ１８に対しワーク２４が押し付け接触され、ラッピン
グ作用によってワーク２４がウエハ状に切断加工され
る。

【００１８】次に、前記加工用ローラ１５，１６，１７
の軸受構成について説明する。図３に示すように、加工
用ローラ１５〜１７は両端にて一対の軸受ユニット２
５，２６を介して支持フレーム１４に回転可能に支持さ
れている。一方の軸受ユニット２５は支持フレーム１４
の軸支筒２７内に軸線方向へ移動可能に嵌合されてい
る。また、この軸受ユニット２５は、円筒状の軸受ハウ
ジング２８と、その軸受ハウジング２８内に複数のベア
リング２９を介して回転可能に支持されたシャフト３０
とから構成されている。

【００１９】前記一方の軸受ユニット２５におけるシャ
フト３０の内端にはテーパ状凸部３１が形成され、これ
と対応するように他方の軸受ユニット２６におけるシャ
フト３２の内端にもテーパ状凸部３３が形成されてい
る。加工用ローラ１５〜１７の両端面にはテーパ状凹部
３４，３５が形成され、これらのテーパ状凹部３４，３
５に両シャフト３０，３２のテーパ状凸部３１，３３が
係合されるようになっている。

【００２０】前記一方の軸受ユニット２５のシャフト３
０及び加工用ローラ１５〜１７の中心には挿通孔３６，
３７が形成され、これらと対応するように他方の軸受ユ
ニット２６のシャフト３２の内端にはねじ孔３８が形成
されている。そして、一方の軸受ユニット２５の軸端部
から、挿通孔３６，３７を介してねじ孔３８に通しボル
ト３９が螺合され、これによって加工用ローラ１５〜１
７が両軸受ユニット２５，２６のシャフト３０，３２間
に締め付け固定されている。

【００２１】前記一方の軸受ユニット２５における軸受
ハウジング２８の端面には環状の端面板４０が固定され
ている。端面板４０の外端には蓋体４１が複数のねじ４
２により着脱可能に取り付けられ、この蓋体４１により
通しボルト３９の頭部が覆われている。端面板４０の外
周縁には一対のガイド孔４３が形成され、これらのガイ
ド孔４３に係合するように、軸支筒２７の端面には一対
のガイドボルト４４が螺着されている。

【００２２】次に、一方の軸受ユニット２５を軸線方向
へ移動させるための移動装置について説明する。図４及
び図５に示すように、この移動装置４５は、端面板４０
上から蓋体４１を取り外すとともに、通しボルト３９を
抜き取った状態で、軸受ユニット２５の軸端部に着脱可
能に装着される。

【００２３】すなわち、移動装置４５は取付板４６を備
え、その外周縁には一対のほぼ達磨形の係合孔４７が形
成されるとともに、外面中央には送り用のねじ４８が突
設されている。そして、端面板４０上の各ねじ４２の頭
部を各係合孔４７の大径部４７ａに挿通した後、取付板
４６を図５の時計方向へ回動させることにより、各ねじ
４２が係合孔４７の小径部４７ｂに係合して、取付板４
６が端面板４０の外端に取り付けられる。これによっ
て、ねじ４８が軸受ユニット２５と同一軸線上に延長配
置されるようになっている。

【００２４】また、前記移動装置４５はほぼ門形の取付
枠４９を備え、取付枠４９の両端には側方に開口する係
合凹部５０が形成されている。そして、これらの係合凹
部５０をガイドボルト４４に係合されることにより、取
付枠４９が軸支筒２７の端部に取り付けられるようにな
っている。取付枠４９の中央部には送り用のナット５１
が回転可能に支持され、ねじ４８に螺合されている。

【００２５】前記ナット５１の外面には回転部材として
の回転円板５２が取り付けられ、その外面には操作ハン
ドル５３が突設されている。そして、この操作ハンドル
５３により回転円板５２を介してナット５１を回転させ
たとき、ねじ４８を介して軸受ユニット２５の軸線に対
し同軸受ユニット２５の軸線方向への移動力が付与され
る。これにより、軸受ユニット２５全体が加工用ローラ
１５〜１７と接離する方向に移動されて、加工用ローラ
１５〜１７が両軸受ユニット２５，２６間に着脱される
ようになっている。

【００２６】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。ワーク２４の切断加工に伴って、加
工用ローラ１５〜１７上の環状溝１５ａ〜１７ａが摩耗
した場合には、加工用ローラ１５〜１７を新しいものと
交換する必要がある。このような場合には、まず端面板
４０上から蓋体４１を取り外すとともに、通しボルト３
９を抜き取って、両軸受ユニット２５，２６のシャフト
３０，３２と加工用ローラ１５〜１７との締め付け固定
を解放する。

【００２７】その後、図４及び図５に示すように、移動
装置４５の取付板４６を端面板４０上のねじ４２に止着
するとともに、取付枠４９を軸支筒２７上のガイドボル
ト４４に止着して、移動装置４５を軸受ユニット２５の
軸端部に装着する。この状態で、操作ハンドル５３によ
り回転円板５２を回転させると、ナット５１及びねじ４
８の係合を介して軸受ユニット２５の軸線に対し同軸受
ユニット２５の軸線方向への引張り力が付与され、軸受
ユニット２５全体が加工用ローラ１５〜１７と離間する
方向に移動される。

【００２８】これにより、一方のシャフト３０のテーパ
状凸部３１が加工用ローラ１５〜１７の一方のテーパ状
凹部３４から離脱される。その後、加工用ローラ１５〜
１７を他方の軸受ユニット２６から離間する方向に向か
って軸線方向へ移動させれば、他方のテーパ状凹部３５
が他方のシャフト３２のテーパ状凸部３３から離脱され
る。これにより、加工用ローラ１５〜１７を両軸受ユニ
ット２５，２６間から取り外すことができる。

【００２９】また、新しい加工用ローラ１５〜１７を両
軸受ユニット２５，２６間に取り付ける場合には、前記
の取り外し時とほぼ逆順に、加工用ローラ１５〜１７を
他方の軸受ユニット２６のシャフト３２に係合配置させ
た後、操作ハンドル５３により回転円板５２を前記と逆
方向に回転させる。すると、軸受ユニット２５の軸線に
対しその軸線方向への押付け力が付与され、軸受ユニッ
ト２５全体が加工用ローラ１５〜１７と接近する方向に
移動される。

【００３０】これにより、シャフト３０のテーパ状凸部
３１が加工用ローラ１５〜１７のテーパ状凹部３４に係
合されて、加工用ローラ１５〜１７が両軸受ユニット２
５，２６のシャフト３０，３２間に挟持される。その
後、図３に示すように、軸受ユニット２５の軸端部から
移動装置４５を取り外すとともに、挿通孔３６，３７を
介してねじ孔３８に通しボルト３９を螺合させると、加
工用ローラ１５〜１７が両シャフト３０，３２間に締め
付け固定される。この状態で、端面板４０の外面に蓋体
４１を取り付ければ、加工用ローラ１５〜１７の交換作
業が終了する。

【００３１】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。・ この実施形態のワイヤソ
ーにおいては、加工用ローラ１５〜１７が両端にて一対
の軸受ユニット２５，２６により回転可能に支持されて
いる。一方の軸受ユニット２５の軸端部には、その軸受
ユニット２５の軸線上においてその軸線方向へ移動力を
付与するための移動装置４５が設けられている。そし
て、この移動装置４５により軸受ユニット２５を加工用
ローラ１５〜１７と接離する方向に向かって軸線方向へ
移動させて、加工用ローラ１５〜１７を両軸受ユニット
２５，２６間に着脱するようになっている。

【００３２】このため、加工用ローラ１５〜１７を一対
の軸受ユニット２５，２６間に着脱する場合に、軸受ユ
ニット２５を拗れが生じることなく軸受ユニット２５の
軸線方向へ円滑に移動させることができる。よって、加
工用ローラ１５〜１７の着脱作業を容易に行うことがで
きる。

【００３３】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、移動装置４５が軸受ユニット２５の軸端部に着脱可
能に構成されている。このため、ワイヤソーを小型にす
ることができるとともに、軸受ユニット２５，２６間へ
の加工用ローラ１５〜１７の着脱時には、移動装置４５
を軸受ユニット２５の軸端部に装着して、軸受ユニット
２５を容易かつ円滑に移動させることができる。

【００３４】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、移動装置４５が、軸受ユニット２５の軸線上に配設
されたねじ４８と、そのねじ４８に相対回転可能に螺合
されたナット５１と、ナット５１またはねじ４８を回転
させる回転部材としての回転円板５２とから構成されて
いる。このため、移動装置４５の構造が簡単であるにも
拘らず、軸受ユニット２５を容易かつ円滑に移動させる
ことができる。

【００３５】・ この実施形態のワイヤソーにおける加
工用ローラの着脱方法では、一方の軸受ユニット２５の
軸線上においてその軸線方向への移動力を付与すること
により、加工用ローラ１５〜１７を加工用ローラ１５〜
１７と接離する方向に移動させて両軸受ユニット２５，
２６間に着脱するようになっている。このため、加工用
ローラ１５〜１７を一対の軸受ユニット２５，２６間に
着脱する際に、軸受ユニット２５を拗れが生じることな
く軸受ユニット２５の軸線方向へ円滑に移動させること
ができる。

【００３６】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００３７】さて、この第２の実施形態では、図６〜図
８に示すように、一方の軸受ユニット２５における端面
板４０の内周面に係止溝５６が形成され、係止溝５６の
外側部には一対の挿入用切欠部５７が形成されている。
また、この実施形態の移動装置４５においては、取付枠
４９の中央部に送り用のねじ４８が回転可能に支持さ
れ、取付枠４９が軸支筒２７の端面に取り付けられたと
き、このねじ４８が軸受ユニット２５と同一軸線上に延
長配置されるようになっている。

【００３８】前記ねじ４８には送り用のナット５１が螺
合され、取付枠４９の内面に突設された回り止めピン５
８との係合により回り止めされている。ナット５１の外
周縁には一対の係止突起５９が突設され、これらの係止
突起５９が挿入用切欠部５７から係止溝５６に挿入係止
されることにより、ナット５１が端面板４０に係止され
るようになっている。

【００３９】前記ねじ４８の外端には連結軸６０が突設
され、この連結軸６０に回転部材としての操作レバー６
１が着脱可能に連結されるようになっている。そして、
この操作レバー６１にてねじ４８を回転させたとき、ナ
ット５１を介して軸受ユニット２５の軸線に対しその軸
線方向への移動力が付与される。これにより、軸受ユニ
ット２５全体が加工用ローラ１５〜１７と接離する方向
に移動されて、加工用ローラ１５〜１７が両軸受ユニッ
ト２５，２６間に着脱されるようになっている。よっ
て、この第２の実施形態においても、前述した第１の実
施形態とほぼ同様の効果を奏する。

【００４０】（第３の実施形態）次に、この発明の第３
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００４１】さて、この第３の実施形態では、図９に示
すように、加工用ローラ１５，１６，１７の両端を支持
する各軸受ユニット２５，２６は、支持フレーム１４の
軸支筒２７内に軸線方向へ移動可能に嵌合されている。
また、各軸受ユニット２５，２６のシャフト３０，３２
は、軸支筒２７に内嵌された軸受ハウジング２８内に複
数のベアリング６４を介して回転可能に支持されてい
る。各シャフト３０，３２の内端部外周にはフランジ部
３０ａ，３２ａが突設されており、このフランジ部３０
ａ，３２ａの一端は軸受ハウジングの内端面に対設され
ている。また、各シャフト３０，３２の外端には環状の
係合溝６７がそれぞれ形成されている。

【００４２】前記各軸受ユニット２５，２６の軸端部に
は一対の移動装置６９が対向配置されている。各移動装
置６９は、シャフト３０，３２の係合溝６７に着脱可能
に係合する係合部材７０と、その係合部材７０をシャフ
ト３０，３２の軸線方向に移動させるシリンダ７１とか
ら構成されている。各移動装置６９は、図示しない搬送
装置により図９の紙面に直交する方向へ移動可能となっ
ている。すなわち、移動装置６９は、係合溝６７に係合
部材７０が係合される係合位置と、係合溝６７に対する
係合部材７０の係合が解除される待機位置との間を移動
するようになっている。

【００４３】そして、常時は両移動装置６９が待機位置
に待機した状態にあり、加工用ローラ１５〜１７を新し
いものと交換或いはメンテナンスする必要がある場合に
は、まず、通しボルト３９を抜き取る。その後、両移動
装置６９が待機位置から係合位置に移動されることによ
り、係合部材７０が係合溝６７に係合される。この状態
で、シリンダ７１のロッド７１ａが後退すると、両軸受
ユニット２５，２６のシャフト３０，３２に対し軸線方
向への移動力が付与され、ベアリング６４及びフランジ
部３０ａ，３２ａを介して軸受ハウジング２８も一体に
軸支筒２７から引き出され、軸受ユニット２５，２６が
互いに離間する方向へ同時に移動される。

【００４４】よって、この第３の実施形態においても、
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を奏する。ま
た、この第３の実施形態においては、両軸受ユニット２
５，２６のシャフト３０，３２を共に軸線方向へ移動さ
せて、加工用ローラ１５〜１７を両軸受ユニット２５，
２６間に着脱するようになっている。このため、軸受ユ
ニット２５，２６間への加工用ローラ１５〜１７の着脱
時には、加工用ローラ１５〜１７を軸線方向へ移動させ
ることなく、各軸受ユニット２５，２６をそれぞれ加工
用ローラ１５〜１７の係合距離分だけ軸線方向へ移動さ
せるのみで、加工用ローラ１５〜１７の着脱を行うこと
ができて、その着脱作業を簡略化することができる。

【００４５】なお、この実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。・ 前記第１、第２実
施形態において、移動装置４５を軸受ユニット２５の軸
端部に着脱することなく、定位置に対向配置するように
構成すること。

【００４６】・ 第１、第２実施形態において、移動装
置４５を他方の軸受ユニット２６のみ、または両軸受ユ
ニット２５，２６に設けること。

【００４７】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１及び請求項
４に記載の発明によれば、加工用ローラを一対の軸受ユ
ニット間に着脱する場合に、軸受ユニットを拗れが生じ
ることなく同軸受ユニットの軸線方向へ円滑に移動させ
ることができる。

【００４８】請求項２に記載の発明によれば、ワイヤソ
ーを小型にすることができるとともに、軸受ユニット間
への加工用ローラの着脱時には、移動装置を軸受ユニッ
トの軸端部に装着して、軸受ユニットを容易かつ円滑に
移動させることができる。

【００４９】請求項３に記載の発明によれば、移動装置
の構造が簡単であるにも拘らず、軸受ユニットを容易か
つ円滑に移動させることができる。請求項５に記載の発
明によれば、軸受ユニット間への加工用ローラの着脱時
に、加工用ローラを軸線方向へ移動させることなく、両
軸受ユニットを軸線方向へ移動させるのみで、加工用ロ
ーラの着脱を行うことができて、その着脱作業を簡略化
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のワイヤソーの第１の実施形態を示
す要部側断面図。

【図２】 ワイヤソーの切断機構を示す斜視図。

【図３】 加工用ローラの軸受構成を拡大して示す要部
断面図。

【図４】 その加工用ローラの移動装置を拡大して示す
要部断面図。

【図５】 図４の５−５線における断面図。

【図６】 加工用ローラの軸受構成の第２の実施形態を
示す要部断面図。

【図７】 その加工用ローラの移動装置を示す要部断面
図。

【図８】 図７の８−８線における断面図。

【図９】 加工用ローラの移動装置の第３の実施形態を
示す要部断面図。

【図１０】 従来の加工用ローラの移動装置を示す要部
断面図。

【符号の説明】

１３…切断機構、１５，１６，１７…加工用ローラ、１
５ａ，１６ａ，１７ａ…環状溝、１８…ワイヤ、２４…
ワーク、２５，２６…軸受ユニット、２７…軸支筒、２
８…軸受ハウジング、３０，３２…シャフト、４０…端
面板、４４…ガイドボルト、４５…移動装置、４６…取
付円板、４８…ねじ、４９…取付枠、５１…ナット、５
２…回転部材としての回転円板、６１…回転部材として
の操作レバー、６９…別の移動装置。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工用ローラを軸受ユニットにより回転
   可能に支持し、軸受ユニットの軸端部には、その軸受ユ
   ニットの軸線上において同軸受ユニットの軸線方向へ移
   動力を付与するための移動装置を設け、その移動装置に
   より軸受ユニットを加工用ローラと接離する方向に移動
   させて、加工用ローラを両軸受ユニット間に着脱するよ
   うにしたワイヤソー。
2. 【請求項２】 前記移動装置は軸受ユニットの軸端部に
   着脱可能に構成した請求項１に記載のワイヤソー。
3. 【請求項３】 前記移動装置は、軸受ユニットの軸線上
   に配設されたねじと、そのねじに相対回転可能に螺合さ
   れたナットと、ナットまたはねじを回転させる回転部材
   とからなる請求項１または請求項２に記載のワイヤソ
   ー。
4. 【請求項４】 加工用ローラを軸受ユニットにより回転
   可能に支持したワイヤソーにおいて、軸受ユニットの軸
   線上において軸受ユニットの軸線方向への移動力を付与
   することにより、軸受ユニットを加工用ローラと接離す
   る方向に移動させて、加工用ローラを軸受ユニットに着
   脱するワイヤソーにおける加工用ローラの着脱方法。
5. 【請求項５】 前記軸受ユニットを加工用ローラの両端
   に設け、両軸受ユニットをその軸線方向へ共に移動させ
   て、加工用ローラを両軸受ユニット間に着脱するように
   した請求項４に記載のワイヤソーにおける加工用ローラ
   の着脱方法。