JPH11326450A - Ｉｃ測定用ハンドラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 取り扱うＩＣのサイズ変更に伴って、いちい
ち爪を交換する必要があるため段取りに時間がかかって
いた。 【解決手段】 上下方向に移動可能に支持された吸着ノ
ズル５と、この吸着ノズル５の先端部に装着され、吸着
ノズル５を通した真空引きによりＩＣを吸着する吸着リ
ング７と、この吸着リング７に吸着されたＩＣを位置決
めすべく開閉動作する４つの爪１２とを備えたＩＣ測定
用ハンドラにおいて、４つの爪１２の開閉動作範囲を、
取り扱う各種サイズのＩＣのうち、最小サイズのＩＣの
位置決め基準幅と最大サイズのＩＣの位置決め基準幅と
に対応して設定した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、組立の完了したＩ
Ｃを測定用のソケット等に供給するＩＣ測定用ハンドラ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、組立の完了したＩＣの電気的な
測定に際しては、被測定デバイスとなるＩＣとテスト回
路とを電気的に接続するためにソケットが用いられてい
る。また、測定用のソケットへのＩＣの供給や、ソケッ
トからのＩＣの取り出しにはハンドラが用いられてい
る。

【０００３】図１０及び図１１は従来におけるＩＣ測定
用ハンドラの構造を説明する図であり、このうち、図１
０（ａ）はその正面図、１０（ｂ）はその底面図、図１
１はその側面図を示している。図において、チャックベ
ース５１は平板状をなすもので、その上面中間部にはフ
レーム５２が取り付けられている。フレーム５２の両サ
イドには、それぞれチャッキング機構が設けられてい
る。なお、左右のチャッキング機構は同様の構成である
ため、ここでは一方のチャッキング機構の構成について
のみ説明する。

【０００４】先ず、フレーム５２の側部には直動ガイド
ユニット５３及びスライダベース５４を介して吸着ノズ
ル５５が配設されている。この吸着ノズル５５は、測定
対象物となるＩＣを真空吸着するためのもので、そのノ
ズル下端部はチャックベース５１の下方に突出して配置
されている。

【０００５】吸着ノズル５５の下端部には、図１２
（ａ）に示すストッパーリング５６と吸着リング５７が
装着される。具体的な取付構造としては、図１２（ｂ）
に示すように、吸着ノズル５５の先端にストッパーリン
グ５６と吸着リング５７を嵌め込んで、それぞれネジ
（セットスクリュー）５８により固定する。また、スラ
イダベース５４にはノズル上下用シリンダ５９の出力ロ
ッドが接続され、このノズル上下用シリンダ５９の駆動
により、スライダベース５４と共に吸着ノズル５５が上
下動する構成となっている。

【０００６】一方、チャックベース５１の下面側には、
ＩＣを位置決めするための４つの爪６０が配設されてい
る。各々の爪６０は、相対向する２つの爪６０同士が開
閉動作（接離動作）するよう、それぞれ爪取付板６１を
介して直動ガイドユニット６２に取り付けられている。
これに対して、チャックベース５１の上面側には２枚の
リンク板６３が設けられている。各々のリンク板６３
は、爪開閉用シリンダ６４のロッド先端に装着されたプ
ッシャー６５に図示せぬバネの力をもって圧接状態に保
持されている。さらに、各々のリンク板６３は、図示せ
ぬスタッドピンを介して上記爪取付板６１に連結されて
いる。

【０００７】この構成では、爪開閉用シリンダ６４の駆
動により、その出力ロッドを押し出すようにすると、２
枚のリンク板６３がプッシャー６５に押されて回転す
る。このとき、各々のリンク板６３は、吸着ノズル５５
の軸心位置を中心に回転する。これにより、チャックベ
ース５１下面側の４つの爪６０は、それぞれ直動ガイド
ユニット６２に案内されて移動する。このときの移動方
向は、相対向する爪６０同士が接近する方向、つまり閉
じる方向となる。

【０００８】これに対して、爪開閉用シリンダ６４の駆
動を停止（または先程と逆方向に駆動）すると、図示せ
ぬバネ力によりプッシャー６５が押し戻され、これに連
動して２枚のリンク板６３が先程と逆方向に回転する。
これにより、４つの爪６０はそれぞれ直動ガイドユニッ
ト６２に案内されて、先程と反対方向に移動（戻る）す
る。このときの移動方向は、相対向する爪６０同士が離
間する方向、つまり開く方向となる。

【０００９】次に、上記構成からなるＩＣ測定用ハンド
ラの動作について説明する。先ず、図示せぬ供給トレイ
に収納されたＩＣに対しては、その直上位置に吸着ノズ
ル５５が配置され、この状態からノズル上下用シリンダ
５９の駆動により吸着ノズル５５が下方に移動する。こ
のとき、吸着ノズル５５の先端部に取り付けられた吸着
リング５７（図１２参照）がＩＣに近接して配置され、
この状態で真空引きを行うことにより、吸着リング５７
にＩＣが真空吸着される。

【００１０】次に、ノズル上下用シリンダ５９の駆動に
より吸着ノズル５５が上方に移動し、これに連動してＩ
Ｃが供給トレイ（不図示）から引き上げられる。このと
き、ＩＣのモールド部分の４辺から延出しているリード
端子は、それぞれ爪６０と対向した状態となる。

【００１１】続いて、爪開閉用シリンダ６４の駆動によ
り４つの爪６０が閉じ動作する。これにより、図１３に
示すように、吸着リング５７にて真空吸着されたＩＣ６
６のリード端子６６ａに各々の爪６０が接近する。この
とき、各々の爪６０は、ノズル先端部に取り付けられた
ストッパーリング５６の外周面に突き当たる。ここで、
ストッパーリング５６の直径は、左右のリード端子６６
ａを含めたＩＣ６６の全幅よりも僅かに（数μｍ程度）
小さく設定されている。よって、ＩＣ６６の位置が正規
の位置からずれていても、４つの爪６０がそれぞれに対
応するリード端子６６ａの先端に適宜当接することで、
ＩＣ６６の位置決めがなされる。

【００１２】その後、ＩＣ測定用ハンドラは図示せぬ水
平搬送装置によりＩＣ測定部へと移動する。このとき、
吸着リング５７にて保持されているＩＣ６６は、上記Ｉ
Ｃ測定部に設けられたソケットの直上位置に配置され
る。そうすると、爪開閉用シリンダ６４により４つの爪
６０が開いたのち、ノズル上下用シリンダ５９の駆動に
より吸着ノズル５５が下方に移動する。これにより、Ｉ
Ｃ６６がソケット（不図示）に近接して配置され、この
状態で真空引きを解除することにより、ＩＣ６６がソケ
ットに供給される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところで従来において
は、測定対象となるＩＣ６６のサイズが変更になった場
合は、これに伴って４つの爪６０を交換する必要があ
る。例えば、取り扱うＩＣ６６のサイズが大きくなる場
合は、その分だけ爪６０の開き幅を大きく確保する必要
がある。そのため、図１４に示すように、共通の取付位
置（図中二点鎖線で示す）に対して爪６０ａから爪６０
ｂに交換することにより、交換前の爪６０ａの開き幅Ｗ
１に対して、交換後の爪６０ｂの開き幅Ｗ２がそれより
も大きくなるように変更する。また、ストッパーリング
５６は爪６０の閉じ位置を規制してリード端子６６ａの
ダメージを最小限に抑え、吸着リング５７はＩＣ６６の
サイズに応じて適切な吸着力を発生させることから、こ
れらの部品についてもＩＣ６６のサイズ変更に合わせて
交換する必要がある。

【００１４】このように従来のＩＣ測定用ハンドラにお
いては、取り扱うＩＣ６６のサイズ変更に伴ってて４つ
の爪６０を交換する必要があるため、段取り替えに時間
がかかるという問題があった。また、ストッパーリング
５６と吸着リング５７の交換に際しても、その構造上、
いちいちネジ５８を緩めたり締めつけたりする必要があ
るため、交換作業に時間がかかるという問題があった。

【００１５】さらに従来では、ノズル上下用シリンダ５
９の最大ストローク量をもって吸着ノズル５５の上限位
置及び下限位置を規制する方式を採用しているため、シ
リンダ自体のヘタリによって吸着ノズル５５の動作位置
（上限、下限）が経時的に変化してしまうという問題も
あった。特に、吸着ノズル５５の下限位置が変化した場
合は、ＩＣ６６をソケットに落とし込む際の高さが高く
なってリード曲がりが発生したり、吸着リング５７でＩ
Ｃ６６を吸着できずにエラーが発生するなどの不具合を
招くことになる。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上下方向に移
動可能に支持された吸着ノズルと、この吸着ノズルの先
端部に装着され、吸着ノズルを通した真空引きによりＩ
Ｃを吸着する吸着リングと、この吸着リングに吸着され
たＩＣを位置決めすべく開閉動作する複数の爪とを備え
たＩＣ測定用ハンドラにおいて、複数の爪の開閉動作範
囲を、取り扱う各種サイズのＩＣのうち、最小サイズの
ＩＣの位置決め基準幅と最大サイズのＩＣの位置決め基
準幅とに対応して設定したものである。

【００１７】このＩＣ測定用ハンドラにおいては、吸着
リングに吸着されたＩＣを位置決めする複数の爪の開閉
動作範囲が、取り扱う各種サイズのＩＣのうち、最小サ
イズのＩＣの位置決め基準幅と最大サイズのＩＣの位置
決め基準幅とに対応して設定されているため、取り扱う
ＩＣが如何なるサイズに変更になっても、共通の爪で対
応できるようになる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図１及び図２は本
発明に係るＩＣ測定用ハンドラの一実施形態を説明する
図であり、このうち、図１（ａ）はその正面図、図１
（ｂ）はその底面図、図２はその側面図を示している。

【００１９】図において、チャックベース１は平板状を
なすもので、その上面中間部にはフレーム２が取り付け
られている。フレーム２の両サイドには、それぞれチャ
ッキング機構が設けられている。なお、左右のチャッキ
ング機構は同様の構成であるため、ここでは一方のチャ
ッキング機構の構成についてのみ説明する。

【００２０】先ず、フレーム２の側部には直動ガイドユ
ニット３及びスライダベース４を介して吸着ノズル５が
配設されている。直動ガイドユニット３は、固定のガイ
ドレール３ａと該ガイドレール３ａに移動自在に組付け
られた可動部材３ｂから成るものである。このうち、ガ
イドレール３ａはフレーム２の側面に垂直に固定されて
いる。また、可動部材３ｂにはスライダベース４が固定
され、このスライダベース４に支持ブラケット６を介し
て吸着ノズル５が支持されている。吸着ノズル５は、測
定対象となるＩＣを真空吸着するためのもので、そのノ
ズル先端部はチャックベース１の下方に突出して配置さ
れている。

【００２１】吸着ノズル５の下端部には吸着リング７が
装着されている。吸着リング７は、吸着ノズル５を通し
た真空引きにより実際にＩＣを吸着するものである。吸
着リング７の中心には、図３（ａ）に示すように、その
軸心に沿って嵌合孔７ａが貫通して設けられている。こ
の嵌合孔７ａの孔径は吸着ノズル５の外径よりも僅かに
大きく設定されている。また、吸着リング７にはつば部
７ｂが一体に形成され、さらにつば部７ｂには上記取付
孔７ａに連通する３つのネジ孔７ｃ，７ｃ，７ｄが設け
られている。このうち、２つのネジ孔７ｃ，７ｃは吸着
リング７の高さ方向（軸心方向）において互いに同じ位
置に設けられ、もう一つのネジ孔７ｄだだけが若干下方
にずれた状態で設けられている。

【００２２】これに対して、吸着ノズル５の先端（吸着
リング７の取付位置）には、図３（ｂ）に示すように、
その外周面上に縦溝５ａと横溝５ｂが形成されている。
また、吸着リング７のつば部７ｂに設けられた３つのネ
ジ孔７ｃ，７ｃ，７ｄにはそれぞれボールプランジャ８
ａ，８ａ，８ｂが組み込まれている。これらのボールプ
ランジャ８ａ，８ａ，８ｂはそれぞれの先端部に小径の
ボールを有し、このボールが常にプランジャ先端から突
出するように付勢されている。そして、ネジ孔７ｃ，７
ｃに組み込まれたボールプランジャ８ａ，８ａのボール
は上記付勢力によりそれぞれ吸着ノズル５の横溝５ｂに
係合し、ネジ孔７ｄに組み込まれたボールプランジャ８
ｂのボール部は上記付勢力により吸着ノズル５の縦溝５
ａに係合している。さらに、吸着ノズル５の先端部は段
付状に外径が変化しており、これに対応して吸着リング
７の嵌合孔７ａも段付状に内径が変化している。そし
て、互いの段付部を突き合わせるようにして吸着ノズル
５の先端部に吸着リング７が装着されている。

【００２３】こうした構成により、吸着ノズル５に吸着
リング７を取り付ける場合は、つば部７ｂの３つのネジ
孔７ｃ，７ｃ，７ｄに組み込まれたボールプランジャ８
ａ，８ａ，８ｂの各ボールを、吸着ノズル５の縦溝５ａ
及び横溝５ｂにそれぞれ係合させるだけで取り付け完了
となる。また、吸着ノズル５から吸着リング７を取り外
す場合は、ボールプランジャ８ａ，８ａ，８ｂの各ボー
ルの付勢力に抗して吸着リング７を下方に引き込むだけ
で取り外し完了となる。つまり、吸着リング７の取り付
け作業と取り外し作業をそれぞれワンタッチで行えるよ
うになっている。

【００２４】一方、フレーム２の背面側にはブラケット
９を用いてノズル上下用シリンダ１０が取り付けられて
いる（図２参照）。ノズル上下用シリンダ１０の出力ロ
ッドの先端部は先述したスライダベース４に連結され、
このノズル上下用シリンダ１０の駆動により、スライダ
ベース４と共に吸着ノズル５が上下動する構成となって
いる。

【００２５】また、チャックベース１の下面側には、Ｉ
Ｃを位置決めするための４つの爪１２が配設されてい
る。各々の爪１２は、相対向する２つの爪１２同士が開
閉動作（接離動作）するよう、それぞれ爪取付板１３を
介して直動ガイドユニット１４に取り付けられている。
直動ガイドユニット１４は、固定のガイドレール１４ａ
と該ガイドレール１４ａに移動自在に組付けられた可動
部材１４ｂから成るものである。このうち、ガイドレー
ル１４ａはチャックベース１の下面に固定されている。
また、可動部材１４ｂには、爪取付板１３を介してＩＣ
位置決め用の爪１２が取り付けられている。

【００２６】これに対して、チャックベース１の上面側
には、２枚のリンク板１５ａ，１５ｂが上・下に重ねて
設けられている。各々のリンク板１５ａ，１５ｂは、爪
開閉用シリンダ１６のロッド先端に装着されたプッシャ
ー１７に図示せぬバネの力をもって圧接状態に保持され
ている。さらに図４を用いて詳述すると、上側のリンク
板１５ａは平面視略Ｉ字形に成形され、下側のリンク板
１５ｂは平面視略Ｔ字形に成形されている。また、これ
ら２枚のリンク板１５ａ，１５ｂは平面視略十字形をな
すように上，下に重ねられ、且つ抜け止め用のリング部
材１８により上下方向（吸着ノズル５の軸方向）への動
きが規制されている。上側のリンク板１５ａの両端部
は、それぞれ連結アーム１９とスタッド２０を介して爪
取付板１３に連結されている。また、下側のリンク板１
５ｂの両端部も、それぞれ連結アーム１９とスタッド２
０を介して爪取付板１３に連結されている。

【００２７】この構成では、爪開閉用シリンダ１６の駆
動により、その出力ロッドを押し出すようにすると、２
枚のリンク板１５ａ，１５ｂがプッシャー１７により同
時に押されて回転する。このとき、各々のリンク板１５
ａ，１５ｂは、吸着ノズル５の軸心位置を中心にして回
転する。これにより、チャックベース１下面側の４つの
爪１２は、それぞれ直動ガイドユニット１４に案内され
て移動する。このときの移動方向は、相対向する２つの
爪１２同士が接近する方向、つまり閉じる方向となる。

【００２８】これに対して、爪開閉用シリンダ１６の駆
動を停止（または先程と逆方向に駆動）すると、図示せ
ぬバネの力をもってプッシャー１７がリンク板１５ａ，
１５ｂにより押し戻される。このとき、２枚のリンク板
１５ａ，１５ｂは先程と反対方向に回転しながらプッシ
ャー１７を押し戻す。これにより、４つの爪１２はそれ
ぞれ直動ガイド１４に案内されて、先程と反対方向に移
動（戻る）する。このときの移動方向は、相対向する２
つの爪１２同士が離間する方向、つまり開く方向とな
る。

【００２９】このように爪開閉用シリンダ１６の駆動に
よって４つの爪１２が開閉動作するメカ機構において、
本実施形態では、４つの爪１２の開閉動作範囲を、取り
扱う各種サイズのＩＣのうち、最小サイズのＩＣの位置
決め基準幅と最大サイズのＩＣの位置決め基準幅とに対
応して設定している。

【００３０】さらに詳述すると、ＩＣを位置決めする際
の基準がリード端子（リード基準）である場合は、その
リード端子を含むＩＣの全幅が位置決め基準幅となる。
そこで、上述のように４つの爪１２を開閉動作させたと
きに、相対向する２つの爪１２同士が最も接近した状態
の最小閉じ幅については、取り扱う各種サイズのＩＣの
中で、最小サイズのＩＣの位置決め基準幅と同一若しく
はそれよりも僅かに（数μｍほど）小さくなるように設
定している。これに対して、４つの爪１２を開閉動作さ
せたときに、相対向する２つの爪１２同士が最も離間し
た状態の最大開き幅については、取り扱う各種サイズの
ＩＣの中で、最大サイズのＩＣの位置決め基準幅よりも
数ｍｍ程度大きくなるように設定している。

【００３１】ちなみに、４つの爪１２の開閉動作範囲
（最小閉じ幅，最大開き幅）については、各々の爪１２
に対応する直動ガイドユニット１４のガイドレール１４
ａの長さや、爪開閉用シリンダ１６のストローク量など
をパラメータとして任意に設定可能である。

【００３２】これに加えて、本実施形態のＩＣ測定用ハ
ンドラにおいては、吸着ノズル５の上下方向の移動範囲
を規制する突き当てストッパーが設けられている。具体
的には、図５に示すように、フレーム２の上端部に上限
ストッパー２１が取り付けられ、同下端部に下限ストッ
パー２２が取り付けられている。なお、フレーム２の側
面には、上限ストッパー２１と下限ストッパー２２の間
に位置して２つのネジ孔２３，２３が設けられ、これら
のネジ孔２３，２３を用いて直動ガイドユニット３のガ
イドレール３ａがフレーム２に固定されるようになって
いる。また、ノズル上下用シリンダ１０とスライダベー
ス４とは、ノズル上下用シリンダ１０側に設けられた連
結リング２４の周溝にスライダベース４側の連結片２５
の切欠を嵌め込むことで、互いに連結されるようになっ
ている。

【００３３】ここで、上限ストッパー２１は、棒状の雄
ネジ（例えば、セットスクリュー）２１ａを有してい
る。そして、ノズル上下用シリンダ１０の駆動によって
吸着ノズル５を上方に移動させた際には、上記雄ネジ２
１ａの下端部にスライダベース４の上端面が突き当たる
ことで、吸着ノズル５の上限位置が規制される構成とな
っている。これに対して、下限ストッパー２２は、Ｌ字
形のプレート構造をなしている。そして、ノズル上下用
シリンダ１０の駆動によって吸着ノズル５を下方に移動
させた際には、スライダベース４に設けられた突き当て
ネジ２６の下端部が下限ストッパー２２の上面に突き当
たることで、吸着ノズル５の下限位置が規制される構成
となっている。

【００３４】さらに、吸着ノズル５の上限位置について
は、上限ストッパー２１の雄ネジ２１ａを回転操作する
ことで容易に調整可能となっており、また吸着ノズル５
の下限位置については、スライダベース４の突き当てネ
ジ２６を回転操作することで容易に調整可能となってい
る。

【００３５】続いて、本実施形態におけるＩＣ測定用ハ
ンドラの動作について説明する。先ず、図示せぬ供給ト
レイに収納されたＩＣに対しては、その直上位置に吸着
ノズル５が配置され、この状態からノズル上下用シリン
ダ１０の駆動により吸着ノズル５が下方に移動する。そ
の際、ノズル上下用シリンダ５９の駆動中に突き当てネ
ジ２６が下限ストッパー２２に突き当たり、これによっ
て吸着ノズル５の下限位置が規制される。このとき、吸
着ノズル５の先端部に装着された吸着リング７がＩＣに
近接して配置され、この状態で吸着ノズル５を通した真
空引きを行うことにより、図６（ａ）に示すように吸着
リング７にＩＣ２７が真空吸着される。

【００３６】次に、ノズル上下用シリンダ１０の駆動に
より吸着ノズル５が上方に移動し、これに連動してＩＣ
が供給トレイ（不図示）から引き上げられる。そして、
ノズル上下用シリンダ１０の駆動中にスライダベース４
が上限ストッパー２１（雄ネジ２１ａ）に突き当たり、
これによって吸着ノズル５の上限位置が規制される。こ
のとき、ＩＣのモールド部分の４辺から延出しているリ
ード端子は、それぞれ爪１２と対向した状態となる。

【００３７】続いて、爪開閉用シリンダ１６の駆動によ
り、図６（ｂ）に示すように各々の爪１２が直動ガイド
ユニット１４に案内されて矢印方向に同時に移動し、こ
れによって４つの爪１２が閉じ動作する。これにより、
図７に示すように、吸着リング７にて真空吸着されたＩ
Ｃ２７に各々の爪１２が接近する。このとき、４つの爪
１２は、図８（ａ）に示すようにノズル先端部に装着さ
れた吸着リング７のつば部７ｂの外周面に突き当たる。
ここで、つば部７ｂの直径は、左右のリード端子２７ａ
を含めたＩＣ２７の全幅、即ち位置決め基準幅よりも僅
かに（数μｍ程度）小さく設定されている。よって、Ｉ
Ｃ２７の位置が正規の位置からずれていても、４つの爪
１２がそれぞれに対応するリード端子２７ａの先端に適
宜当接することで、ＩＣ２７の位置決めがなされる。

【００３８】その後、ＩＣ測定用ハンドラは図示せぬ水
平搬送装置によりＩＣ測定部へと移動する。このとき、
吸着リング７にて保持されているＩＣ２７は、上記ＩＣ
測定部に設けられたソケットの直上位置に配置される。
そうすると、爪開閉用シリンダ１６の駆動により４つの
爪１２が開いたのち、ノズル上下用シリンダ１０の駆動
により吸着ノズル５が下方に移動する。これにより、図
８（ｂ）に示すようにＩＣ２７がソケット２８に近接し
て配置され、この状態で真空引きを解除することによ
り、ＩＣ２７がソケット２８に供給される。

【００３９】以降は、上記同様の手順によって次のＩＣ
２７がソケット２８に供給されることになる。ちなみ
に、フレーム２の両サイドに同様のチャッキング機構を
備えている理由は、次のＩＣ２７をソケット２８に供給
する際に、測定済（前回供給）のＩＣ２７をソケット２
８からピックアップするためである。

【００４０】ここで、取り扱うＩＣのサイズが変更にな
る場合、従来では変更後のＩＣサイズに合わせて爪交換
を行う必要があったが、本実施形態においては、ＩＣ２
７を位置決めする４つの爪１２の開閉動作範囲が、取り
扱う各種サイズのＩＣのうち、最小サイズのＩＣの位置
決め基準幅と最大サイズのＩＣの位置決め基準幅とに対
応して設定されているため、取り扱うＩＣ２７が如何な
るサイズに変更になっても、共通の爪１２をもって対応
できるようになる。これにより、取り扱うＩＣのサイズ
が変更になっても、いちいち爪交換を行う必要がなくな
るため、ＩＣのサイズ変更に伴う段取り時間を大幅に短
縮することが可能となる。

【００４１】また、吸着ノズル５に対する吸着リング７
の取付構造としても、先の図３に示したように、吸着ノ
ズル５側に縦溝５ａ及び横溝５ｂを設け、これに係合す
るプランジャ８ａ，８ｂを吸着リング７に設けた構成を
採用したことで、吸着リング７の交換に伴う取り付け及
び取り外し作業をそれぞれワンタッチで行うことができ
る。これにより、ＩＣのサイズ変更に伴う段取り時間
を、より一層短縮することが可能となる。

【００４２】さらに、吸着ノズル５の上下方向の移動範
囲を上限ストッパー２１と下限ストッパー２２によるメ
カ的な突き当てで規制する構成を採用しているため、吸
着ノズル５の動作位置（上限、下限）が経時的に変化す
ることがなくなる。これにより、上下方向に対する吸着
ノズル５の移動動作が長期にわたって安定的に行われる
ようになる。その結果、ノズル下限位置の経時変化に起
因したリード曲がりや吸着エラーの発生を確実に防止す
ることが可能となる。また、上限ストッパー２１と下限
ストッパー２２の追加により、吸着ノズル５の上限位置
及び下限位置の調整を容易に行えるようにしたので、ノ
ズル交換やシリンダ交換に伴う調整時間を短縮すること
ができる。

【００４３】ところで、上述のようにリード端子２７ａ
を基準にＩＣ２７を位置決めする方式では、リード端子
２７ａに爪１２が接触することでリード曲がりが発生す
る虞れがある。また、ＩＣ２７を製造するうえでは、リ
ード端子２７ａの寸法にバラツキが生じやすく、またモ
ールド部分との相対的なセンターズレも生じるため、リ
ード端子２７ａを基準にＩＣ２７を位置決めしても、高
い位置決め精度をもってＩＣ２７をソケット２８に供給
できないという不具合がある。

【００４４】この対策としては、図９（ａ）に示すよう
に、ＩＣ２７のモールド部分２７ｂを位置決め基準とし
て、そのモールド部分の各辺部に４つの爪１２をそれぞ
れ突き当ててＩＣ２７を位置決めする方式を採用すれば
よい。この方式では、ＩＣ位置決め用の爪１２がリード
端子２７ａに接触しないため、リード曲がりの発生を確
実に回避することができる。また、ＩＣ２７の製造上、
モールド部分２７ｂの寸法精度はリード端子２７ａのそ
れよりも高いため、図９（ｂ）のようにＩＣ２７をソケ
ット２８に供給する際には、高い位置決め精度をもって
ＩＣ２７を供給できるようになる。

【００４５】ちなみに、ＩＣ２７の位置決め基準をリー
ド端子２７ａからモールド部分２７ｂに変更するに際し
ては、各々の爪１２の高さ寸法を短くしたり、或いは吸
着ノズル５の下限位置を突き当てネジ２６（図５参照）
にて調整したりすることで容易に対応できる。また、Ｉ
Ｃ２７のモールド部分２７ｂを位置決め基準に設定した
場合は、そのモールド部分２７ｂの幅が位置決め基準幅
となる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように本発明のＩＣ測定用
ハンドラによれば、吸着リングに吸着されたＩＣを位置
決めする複数の爪の開閉動作範囲を、取り扱う各種サイ
ズのＩＣのうち、最小サイズのＩＣの位置決め基準幅と
最大サイズのＩＣの位置決め基準幅とに対応して設定し
たことで、ＩＣのサイズ変更に伴う爪交換が不要となる
ため、段取り時間を大幅に短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＩＣ測定用ハンドラの一実施形態
を説明する図（その１）である。

【図２】本発明に係るＩＣ測定用ハンドラの一実施形態
を説明する図（その２）である。

【図３】実施形態におけるＩＣ測定用ハンドラの部分的
な構造説明図である。

【図４】爪を開閉動作させるためのメカ機構を説明する
図である。

【図５】突き当てストッパーの具体的な構造説明図であ
る。

【図６】実施形態におけるＩＣ測定用ハンドラの動作説
明図（その１）である。

【図７】実施形態におけるＩＣ測定用ハンドラの動作説
明図（その２）である。

【図８】実施形態におけるＩＣ測定用ハンドラの動作説
明図（その３）である。

【図９】ＩＣのモールド部分を位置決め基準とした場合
の動作を示す図である。

【図１０】従来のＩＣ測定用ハンドラを説明する図（そ
の１）である。

【図１１】従来のＩＣ測定用ハンドラを説明する図（そ
の２）である。

【図１２】従来のＩＣ測定用ハンドラの部分的な構造説
明図である。

【図１３】従来のＩＣ測定用ハンドラの動作説明図であ
る。

【図１４】爪交換前後における開き幅の違いを説明する
図である。

【符号の説明】

５…吸着ノズル、５ａ…縦溝、５ｂ…横溝、７…吸着リ
ング、８ａ，８ｂ…ボールプランジャ、１２…爪、２１
…上限ストッパー、２２…下限ストッパー

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向に移動可能に支持された吸着ノ
   ズルと、 前記吸着ノズルの先端部に装着され、前記吸着ノズルを
   通した真空引きによりＩＣを吸着する吸着リングと、 前記吸着リングに吸着されたＩＣを位置決めすべく開閉
   動作する複数の爪とを備えたＩＣ測定用ハンドラにおい
   て、 前記複数の爪の開閉動作範囲を、取り扱う各種サイズの
   ＩＣのうち、最小サイズのＩＣの位置決め基準幅と最大
   サイズのＩＣの位置決め基準幅とに対応して設定してな
   ることを特徴とするＩＣ測定用ハンドラ。
2. 【請求項２】 前記吸着ノズルの先端部に係合溝を設け
   るとともに、 前記係合溝に係脱自在な係合部材を前記吸着リングに設
   けてなることを特徴とする請求項１記載のＩＣ測定用ハ
   ンドラ。
3. 【請求項３】 前記吸着ノズルの上下方向の移動範囲を
   規制する突き当てストッパーを設けてなることを特徴と
   する請求項１記載のＩＣ測定用ハンドラ。
4. 【請求項４】 前記ＩＣのモールド部分を位置決め基準
   に設定してなることを特徴とする請求項１記載のＩＣ測
   定用ハンドラ。