JPH11340447A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置の製造方法Info
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- JPH11340447A JPH11340447A JP10144046A JP14404698A JPH11340447A JP H11340447 A JPH11340447 A JP H11340447A JP 10144046 A JP10144046 A JP 10144046A JP 14404698 A JP14404698 A JP 14404698A JP H11340447 A JPH11340447 A JP H11340447A
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 良好な画質を有し、耐熱性、耐湿性に優れた
固体撮像装置を効率よく製造する方法を提供する。 【解決手段】 半導体基板10上に配列された所定の受光
部11上に特定色のカラーフィルター層31を選択的に形成
した後、カラーフィルター層31が形成されていない領域
にカラーフィルター層31の表面と略同一の表面高さとな
るように段差低減層60を選択的に形成する。その後、別
の色のカラーフィルター層32、中間層40、及びマイクロ
レンズアレイ層50を順に形成する。
固体撮像装置を効率よく製造する方法を提供する。 【解決手段】 半導体基板10上に配列された所定の受光
部11上に特定色のカラーフィルター層31を選択的に形成
した後、カラーフィルター層31が形成されていない領域
にカラーフィルター層31の表面と略同一の表面高さとな
るように段差低減層60を選択的に形成する。その後、別
の色のカラーフィルター層32、中間層40、及びマイクロ
レンズアレイ層50を順に形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の受光部が配
列された半導体基板上に複数のカラーフィルター層を形
成してなる固体撮像装置の製造方法に関するものであ
る。より詳しくは、フィールド色差順次方式の固体撮像
装置の製造に好適な固体撮像装置の製造方法に関するも
のである。
列された半導体基板上に複数のカラーフィルター層を形
成してなる固体撮像装置の製造方法に関するものであ
る。より詳しくは、フィールド色差順次方式の固体撮像
装置の製造に好適な固体撮像装置の製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】複数の受光部が配列された半導体基板上
に、複数色のカラーフィルター層を形成してなる固体撮
像装置において、フィールド色差順次方式の固体撮像装
置が知られている（例えば、『フィールド蓄積モードＣ
ＣＤの単板カラー化方式』テレビ誌，３７，１０，８５
５頁〜８６２頁（１９８３−１０））。
に、複数色のカラーフィルター層を形成してなる固体撮
像装置において、フィールド色差順次方式の固体撮像装
置が知られている（例えば、『フィールド蓄積モードＣ
ＣＤの単板カラー化方式』テレビ誌，３７，１０，８５
５頁〜８６２頁（１９８３−１０））。
【０００３】図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に、フィールド
色差順次方式に使用されるカラーフィルターアレイのフ
ィルタ配列の一例を示す。図中、「Ｙｅ」はイエロー
を、「Ｃｙ」はシアンを、「Ｍｇ」はマゼンタを、また
「Ｇｒ」はグリーンをそれぞれ示し、各画素のフィルタ
が補色フィルタを構成する。各フィルタの下部には受光
部がフィルタと一対一に対応するように形成される。図
６（Ａ），図６（Ｂ）のいずれも、図示した配置を一単
位として、上下左右に連続して繰り返して配列すること
によりカラーフィルタアレイが構成される。
色差順次方式に使用されるカラーフィルターアレイのフ
ィルタ配列の一例を示す。図中、「Ｙｅ」はイエロー
を、「Ｃｙ」はシアンを、「Ｍｇ」はマゼンタを、また
「Ｇｒ」はグリーンをそれぞれ示し、各画素のフィルタ
が補色フィルタを構成する。各フィルタの下部には受光
部がフィルタと一対一に対応するように形成される。図
６（Ａ），図６（Ｂ）のいずれも、図示した配置を一単
位として、上下左右に連続して繰り返して配列すること
によりカラーフィルタアレイが構成される。
【０００４】このようなカラーフィルタアレイを有する
固体撮像装置の従来の製造方法を以下に説明する。
固体撮像装置の従来の製造方法を以下に説明する。
【０００５】図７及び図８は、図６（Ａ）に示したカラ
ーフィルタアレイを有する固体撮像装置の従来の製造方
法を工程順に示した概略図であり、図７は図６（Ａ）の
Ｉ−Ｉ線での矢印方向から見た断面図、図８は図６
（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た断面図である。
ーフィルタアレイを有する固体撮像装置の従来の製造方
法を工程順に示した概略図であり、図７は図６（Ａ）の
Ｉ−Ｉ線での矢印方向から見た断面図、図８は図６
（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た断面図である。
【０００６】シリコンからなる半導体基板１０の表面上
に、受光部１１及び遮光部１２を周知の方法で配列して
形成する。その後、表面の平坦化のために、透明高分子
樹脂を塗布し、硬化させて平坦化層２０を形成する。次
いで、イエローフィルター層３１を所定の受光部上に選
択的に形成する（図７（Ａ）、図８（Ａ））。イエロー
フィルター層３１は、感光性を有するゼラチン、カゼイ
ン、グリュー、ＰＶＡ等の樹脂材料を平坦化層２０上に
塗布し、露光、現像を行いパターニングした後、所定の
染色液に浸漬して染色し、その後、タンニン酸水溶液と
酒石酸水溶液とで定着処理を施して形成される。
に、受光部１１及び遮光部１２を周知の方法で配列して
形成する。その後、表面の平坦化のために、透明高分子
樹脂を塗布し、硬化させて平坦化層２０を形成する。次
いで、イエローフィルター層３１を所定の受光部上に選
択的に形成する（図７（Ａ）、図８（Ａ））。イエロー
フィルター層３１は、感光性を有するゼラチン、カゼイ
ン、グリュー、ＰＶＡ等の樹脂材料を平坦化層２０上に
塗布し、露光、現像を行いパターニングした後、所定の
染色液に浸漬して染色し、その後、タンニン酸水溶液と
酒石酸水溶液とで定着処理を施して形成される。
【０００７】次に、同様にして、シアンフィルター層３
２を所定の受光部上に選択的に形成する（図７（Ｂ）、
図８（Ｂ））。
２を所定の受光部上に選択的に形成する（図７（Ｂ）、
図８（Ｂ））。
【０００８】さらに、同様にして、マゼンタフィルター
層３３を所定の受光部上に選択的に形成する（図７
（Ｃ）、図８（Ｃ））。
層３３を所定の受光部上に選択的に形成する（図７
（Ｃ）、図８（Ｃ））。
【０００９】その後、表面を平坦化するために透明高分
子樹脂を塗布し硬化させて中間層４０を形成し、その上
に、各受光部１１に対応するようにマイクロレンズアレ
イ層５０を形成して、図６（Ａ）に示したカラーフィル
タアレイを有する固体撮像装置を得る（図７（Ｄ）、図
８（Ｄ））。
子樹脂を塗布し硬化させて中間層４０を形成し、その上
に、各受光部１１に対応するようにマイクロレンズアレ
イ層５０を形成して、図６（Ａ）に示したカラーフィル
タアレイを有する固体撮像装置を得る（図７（Ｄ）、図
８（Ｄ））。
【００１０】得られた図６（Ａ）のフィルタ配置を有す
る固体撮像装置のIII−III線での矢印方向から見た断面
図を図９に示す。イエローフィルター層３１とシアンフ
ィルター層３２とが積層されることにより、全体として
グリーンフィルター層３４が形成される。図中、８１は
固体撮像装置に垂直に入射する入射光を示す。
る固体撮像装置のIII−III線での矢印方向から見た断面
図を図９に示す。イエローフィルター層３１とシアンフ
ィルター層３２とが積層されることにより、全体として
グリーンフィルター層３４が形成される。図中、８１は
固体撮像装置に垂直に入射する入射光を示す。
【００１１】しかしながら、上記図７〜図９に示した方
法によって得られたカラーフィルタアレイを有する固体
撮像装置は以下のような問題を有している。
法によって得られたカラーフィルタアレイを有する固体
撮像装置は以下のような問題を有している。
【００１２】即ち、イエローフィルター層３１のパター
ン形成をして素子表面に段差が生じ、その後、イエロー
フィルター層３１の非形成領域である素子段差の凹部に
シアンフィルター層３２を形成するために、イエローフ
ィルター層３１の非形成領域に形成するシアンフィルタ
ー層３２を均一の厚みで形成することが困難である。つ
まり、図７（Ｂ）のイエローフィルター層３１の非形成
領域に形成されたシアンフィルタ層３２の厚みＤ１は、
図８（Ｂ）のイエローフィルター層３１の非形成領域に
形成されたシアンフィルタ層３２の厚みＤ２より厚く形
成される傾向がある。これは、図７（Ｂ）のイエローフ
ィルター層３１の非形成領域の幅が一画素分であり、図
８（Ｂ）のイエローフィルター層３１の非形成領域の幅
（三画素分）より狭いことに起因する。シアンフィルタ
ー層３２の膜厚が厚くなると、これを透過する光の透過
率が減少する。従って、膜厚が厚く形成された領域と薄
く形成された領域とで分光差を生じてしまう。この結
果、図６（Ａ）のｎラインとｎ＋１ラインとで感度差が
生じ、画像にはこれがライン濃淡として現れて、画質の
劣化を招く。
ン形成をして素子表面に段差が生じ、その後、イエロー
フィルター層３１の非形成領域である素子段差の凹部に
シアンフィルター層３２を形成するために、イエローフ
ィルター層３１の非形成領域に形成するシアンフィルタ
ー層３２を均一の厚みで形成することが困難である。つ
まり、図７（Ｂ）のイエローフィルター層３１の非形成
領域に形成されたシアンフィルタ層３２の厚みＤ１は、
図８（Ｂ）のイエローフィルター層３１の非形成領域に
形成されたシアンフィルタ層３２の厚みＤ２より厚く形
成される傾向がある。これは、図７（Ｂ）のイエローフ
ィルター層３１の非形成領域の幅が一画素分であり、図
８（Ｂ）のイエローフィルター層３１の非形成領域の幅
（三画素分）より狭いことに起因する。シアンフィルタ
ー層３２の膜厚が厚くなると、これを透過する光の透過
率が減少する。従って、膜厚が厚く形成された領域と薄
く形成された領域とで分光差を生じてしまう。この結
果、図６（Ａ）のｎラインとｎ＋１ラインとで感度差が
生じ、画像にはこれがライン濃淡として現れて、画質の
劣化を招く。
【００１３】カラーフィルター層の膜厚を均一化して上
記問題を解決する方法として、図１０に示す積層構成の
カラーフィルタアレイ層を有する固体撮像装置が考案さ
れている。図１０は、図６（Ａ）の配置を有するカラー
フィルタアレイを備えた固体撮像装置の概略断面図であ
り、図１０（Ａ）は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向
から見た断面図、（Ｂ）は図６（Ａ）のII−II線での矢
印方向から見た断面図である。図１０において、図７〜
図９と同様の機能を有する構成要素には同一の符号を付
して詳細な説明を省略する。
記問題を解決する方法として、図１０に示す積層構成の
カラーフィルタアレイ層を有する固体撮像装置が考案さ
れている。図１０は、図６（Ａ）の配置を有するカラー
フィルタアレイを備えた固体撮像装置の概略断面図であ
り、図１０（Ａ）は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向
から見た断面図、（Ｂ）は図６（Ａ）のII−II線での矢
印方向から見た断面図である。図１０において、図７〜
図９と同様の機能を有する構成要素には同一の符号を付
して詳細な説明を省略する。
【００１４】図１０に示す固体撮像装置は、図７〜図９
に示した固体撮像装置と同様に、受光部１１及び遮光部
１２が形成された半導体基板１０の表面上に平坦化層２
０が形成され、その上にイエローフィルター層３１が選
択的に形成されている。図１０の固体撮像装置では、図
７〜図９と異なり、イエローフィルター層３１上に、表
面を平坦化するために、透明高分子樹脂からなる第２平
坦化層２１を塗布して形成し、この第２平坦化層２１上
にシアンフィルター層３２及びマゼンタフィルター層３
３を選択的に形成している。そして、図７〜図９と同様
に中間層４０及びマイクロレンズアレイ層５０を積層し
て固体撮像装置を得ている。
に示した固体撮像装置と同様に、受光部１１及び遮光部
１２が形成された半導体基板１０の表面上に平坦化層２
０が形成され、その上にイエローフィルター層３１が選
択的に形成されている。図１０の固体撮像装置では、図
７〜図９と異なり、イエローフィルター層３１上に、表
面を平坦化するために、透明高分子樹脂からなる第２平
坦化層２１を塗布して形成し、この第２平坦化層２１上
にシアンフィルター層３２及びマゼンタフィルター層３
３を選択的に形成している。そして、図７〜図９と同様
に中間層４０及びマイクロレンズアレイ層５０を積層し
て固体撮像装置を得ている。
【００１５】図１０の固体撮像装置によれば、各カラー
フィルタ層３１，３２，３３はいずれも平坦面上に形成
するため、ほぼ均一な厚さに形成することができ、図７
〜図９の固体撮像装置が有していたライン感度差に起因
する画質の劣化を防止することが可能である。
フィルタ層３１，３２，３３はいずれも平坦面上に形成
するため、ほぼ均一な厚さに形成することができ、図７
〜図９の固体撮像装置が有していたライン感度差に起因
する画質の劣化を防止することが可能である。
【００１６】しかしながら、第２平坦化層２１の表面を
凹凸のない良好な平面に形成するためには、第２平坦化
層２１の積層厚さを厚くする必要がある。この結果、図
１１、図１２に示す問題が生じる。
凹凸のない良好な平面に形成するためには、第２平坦化
層２１の積層厚さを厚くする必要がある。この結果、図
１１、図１２に示す問題が生じる。
【００１７】図１１は、図１０の固体撮像装置に垂直光
が入射したときの状態を示した、図６（Ａ）のIII−III
線での矢印方向から見た断面図である。図１１に示した
ように、第２平坦化層２１の積層厚さを厚く形成するこ
とにより、マイクロレンズアレイ層５０と受光部１１と
の距離が変化し、固体撮像装置に垂直に入射する入射光
８１が受光部１１上に良好に結像せず、マイクロレンズ
アレイ層５０による集光効果が得られなくなる。
が入射したときの状態を示した、図６（Ａ）のIII−III
線での矢印方向から見た断面図である。図１１に示した
ように、第２平坦化層２１の積層厚さを厚く形成するこ
とにより、マイクロレンズアレイ層５０と受光部１１と
の距離が変化し、固体撮像装置に垂直に入射する入射光
８１が受光部１１上に良好に結像せず、マイクロレンズ
アレイ層５０による集光効果が得られなくなる。
【００１８】また、図１２は、図１０の固体撮像装置に
斜めに光が入射したときの状態を示した、図６（Ａ）の
III−III線での矢印方向から見た断面図である。図１２
に示したように、第２平坦化層２１の積層厚さを厚く形
成することにより、固体撮像装置に斜めに入射する入射
光８２が受光部１１内に良好に結像せず、輝度が低下し
て、いわゆる輝度シェーディングを生じてしまう。ま
た、斜めに入射した光の一部が隣の受光部に入射して、
混色を生じる場合もある。このため固体撮像装置の中央
部と周辺部とで光の入射角が大きく異なるような条件で
使用すると、中央部と周辺部とで色再現性が異なり、画
像には色シェーディングとして現れて、画質の劣化を招
く。特に、小型化され焦点距離が短いレンズを装着した
カメラにこのような固体撮像装置が使用されると、固体
撮像装置の中央部と周辺部とで光の入射角が大きく異な
るので、この現象は顕著になる。
斜めに光が入射したときの状態を示した、図６（Ａ）の
III−III線での矢印方向から見た断面図である。図１２
に示したように、第２平坦化層２１の積層厚さを厚く形
成することにより、固体撮像装置に斜めに入射する入射
光８２が受光部１１内に良好に結像せず、輝度が低下し
て、いわゆる輝度シェーディングを生じてしまう。ま
た、斜めに入射した光の一部が隣の受光部に入射して、
混色を生じる場合もある。このため固体撮像装置の中央
部と周辺部とで光の入射角が大きく異なるような条件で
使用すると、中央部と周辺部とで色再現性が異なり、画
像には色シェーディングとして現れて、画質の劣化を招
く。特に、小型化され焦点距離が短いレンズを装着した
カメラにこのような固体撮像装置が使用されると、固体
撮像装置の中央部と周辺部とで光の入射角が大きく異な
るので、この現象は顕著になる。
【００１９】また、図７〜図９に示した固体撮像装置が
有するイエローフィルター層３１による段差を解消する
別の方法として、平坦化層上に、まず中間層を選択的に
形成し、その後中間層の非形成領域にカラーフィルター
層を中間層と同一高さになるように形成する方法が知ら
れている（例えば、特公平７−７１２８号公報）。図１
３は、このようにして得られた図６（Ａ）の配置を有す
るカラーフィルタアレイを備えた固体撮像装置の概略断
面図であり、図１３（Ａ）は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での
矢印方向から見た断面図、（Ｂ）は図６（Ａ）のII−II
線での矢印方向から見た断面図である。図１３におい
て、図７〜図９と同様の機能を有する構成要素には同一
の符号を付して詳細な説明を省略する。
有するイエローフィルター層３１による段差を解消する
別の方法として、平坦化層上に、まず中間層を選択的に
形成し、その後中間層の非形成領域にカラーフィルター
層を中間層と同一高さになるように形成する方法が知ら
れている（例えば、特公平７−７１２８号公報）。図１
３は、このようにして得られた図６（Ａ）の配置を有す
るカラーフィルタアレイを備えた固体撮像装置の概略断
面図であり、図１３（Ａ）は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での
矢印方向から見た断面図、（Ｂ）は図６（Ａ）のII−II
線での矢印方向から見た断面図である。図１３におい
て、図７〜図９と同様の機能を有する構成要素には同一
の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００２０】図１３に示されたように、平坦化層２０上
にゼラチン等からなる無色透明な中間層２２を選択的に
形成し、次いで着色されたアクリル樹脂を全面に塗布
し、硬化させた後、アクリル樹脂層を中間層２２が露出
するまで表面からドライエッチングしていくことによ
り、中間層の非形成領域にイエローフィルター層３１
を、中間層２２と同一厚さで形成する。その後、図１０
と同様に、シアンフィルター層３２及びマゼンタフィル
ター層３３を選択的に形成し、中間層４０及びマイクロ
レンズアレイ層５０を積層して固体撮像装置を得る。
にゼラチン等からなる無色透明な中間層２２を選択的に
形成し、次いで着色されたアクリル樹脂を全面に塗布
し、硬化させた後、アクリル樹脂層を中間層２２が露出
するまで表面からドライエッチングしていくことによ
り、中間層の非形成領域にイエローフィルター層３１
を、中間層２２と同一厚さで形成する。その後、図１０
と同様に、シアンフィルター層３２及びマゼンタフィル
ター層３３を選択的に形成し、中間層４０及びマイクロ
レンズアレイ層５０を積層して固体撮像装置を得る。
【００２１】しかしながら、上記の方法は、ドライエッ
チングという特殊な工程を必要とするために、製造工程
が複雑となり、製造コストが上昇する。また、平坦化層
２０上に形成された中間層２２とイエローフィルター層
３１とは異なる種類の樹脂材料で形成されているため
に、両者の熱膨張係数や吸湿率が異なり、その結果、耐
熱性や耐湿性に劣る。ひどい場合には、中間層２２とイ
エローフィルター層３１との接続界面９１で剥離やクラ
ックを生じる場合がある。従って、信頼性の高い固体撮
像装置は得られない。
チングという特殊な工程を必要とするために、製造工程
が複雑となり、製造コストが上昇する。また、平坦化層
２０上に形成された中間層２２とイエローフィルター層
３１とは異なる種類の樹脂材料で形成されているため
に、両者の熱膨張係数や吸湿率が異なり、その結果、耐
熱性や耐湿性に劣る。ひどい場合には、中間層２２とイ
エローフィルター層３１との接続界面９１で剥離やクラ
ックを生じる場合がある。従って、信頼性の高い固体撮
像装置は得られない。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
固体撮像装置の製造方法では、良好な画質を有し、耐熱
性、耐湿性等に優れた固体撮像装置を効率よく製造する
ことは困難であった。
固体撮像装置の製造方法では、良好な画質を有し、耐熱
性、耐湿性等に優れた固体撮像装置を効率よく製造する
ことは困難であった。
【００２３】本発明は、上記の従来の製造方法がそれぞ
れ有していた問題を解決し、良好な画質を有し、耐熱
性、耐湿性等に優れ、信頼性の高い固体撮像装置を効率
よく製造する方法を提供することを目的とする。
れ有していた問題を解決し、良好な画質を有し、耐熱
性、耐湿性等に優れ、信頼性の高い固体撮像装置を効率
よく製造する方法を提供することを目的とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために以下の構成とする。
達成するために以下の構成とする。
【００２５】即ち、本発明にかかる固体撮像装置の製造
方法は、半導体基板上に配列された受光部上に複数の色
群よりなるカラーフィルタ層を形成して固体撮像装置を
製造する方法であって、所定の受光部上に特定色のカラ
ーフィルター層を選択的に形成した後、前記特定色のカ
ラーフィルター層が形成されていない領域に段差低減層
を選択的に形成する工程を含むことを特徴とする。
方法は、半導体基板上に配列された受光部上に複数の色
群よりなるカラーフィルタ層を形成して固体撮像装置を
製造する方法であって、所定の受光部上に特定色のカラ
ーフィルター層を選択的に形成した後、前記特定色のカ
ラーフィルター層が形成されていない領域に段差低減層
を選択的に形成する工程を含むことを特徴とする。
【００２６】本発明の構成によれば、特定色のカラーフ
ィルター層を選択的に形成した後、前記カラーフィルタ
ー層が形成されていない領域に段差低減層を選択的に形
成するので、これらの上にさらに別色のカラーフィルタ
ー層を選択的に形成したとき、厚みが均一なカラーフィ
ルター層を容易に形成することができる。その結果、カ
ラーフィルター層の厚み差に起因するライン分光差を抑
えることができる。したがって、ライン濃淡のない固体
撮像装置を得ることができる。
ィルター層を選択的に形成した後、前記カラーフィルタ
ー層が形成されていない領域に段差低減層を選択的に形
成するので、これらの上にさらに別色のカラーフィルタ
ー層を選択的に形成したとき、厚みが均一なカラーフィ
ルター層を容易に形成することができる。その結果、カ
ラーフィルター層の厚み差に起因するライン分光差を抑
えることができる。したがって、ライン濃淡のない固体
撮像装置を得ることができる。
【００２７】上記構成において、前記段差低減層を、前
記特定色のカラーフィルター層の表面と略同一の表面高
さを有するように形成するのが好ましい。かかる好まし
い構成によれば、選択的に形成されたカラーフィルター
層の表面と、該カラーフィルター層の非形成領域に形成
された段差低減層の表面とが略同一高さになるから、前
記図１０の固体撮像装置のように、マイクロレンズアレ
イ層と受光部との距離を大きくしなくても、凹凸の少な
い平面を形成できる。その結果、マイクロレンズアレイ
層による集光効果を十分に得ることができ、集光率の大
きな固体撮像装置が得られる。特に単位画素サイズが小
さな固体撮像装置の場合に特にこの効果が大きい。ま
た、斜め入射光に対しても、輝度シェーディングや色シ
ェーディングが生じないため、画面全領域にわたって均
一で良好な画質を有する固体撮像装置が得られる。
記特定色のカラーフィルター層の表面と略同一の表面高
さを有するように形成するのが好ましい。かかる好まし
い構成によれば、選択的に形成されたカラーフィルター
層の表面と、該カラーフィルター層の非形成領域に形成
された段差低減層の表面とが略同一高さになるから、前
記図１０の固体撮像装置のように、マイクロレンズアレ
イ層と受光部との距離を大きくしなくても、凹凸の少な
い平面を形成できる。その結果、マイクロレンズアレイ
層による集光効果を十分に得ることができ、集光率の大
きな固体撮像装置が得られる。特に単位画素サイズが小
さな固体撮像装置の場合に特にこの効果が大きい。ま
た、斜め入射光に対しても、輝度シェーディングや色シ
ェーディングが生じないため、画面全領域にわたって均
一で良好な画質を有する固体撮像装置が得られる。
【００２８】また、上記構成において、前記段差低減層
が、段差低減層形成材料を塗布する工程と、前記塗布さ
れた段差低減層形成材料を露光する工程と、現像する工
程とを経て形成されるのが好ましい。かかる好ましい構
成によれば、段差低減層をカラーフィルター層と同様の
形成プロセスで製造できるため、従来のカラーフィルタ
アレイ層の形成工程を大幅に変更する必要がない。その
結果、従来の製造装置を用いて、工程が複雑となること
なく、上記の優れた効果を有する固体撮像装置を効率的
に製造することができる。
が、段差低減層形成材料を塗布する工程と、前記塗布さ
れた段差低減層形成材料を露光する工程と、現像する工
程とを経て形成されるのが好ましい。かかる好ましい構
成によれば、段差低減層をカラーフィルター層と同様の
形成プロセスで製造できるため、従来のカラーフィルタ
アレイ層の形成工程を大幅に変更する必要がない。その
結果、従来の製造装置を用いて、工程が複雑となること
なく、上記の優れた効果を有する固体撮像装置を効率的
に製造することができる。
【００２９】この場合において、前記段差低減層形成材
料の塗布を前記特定色のカラーフィルター層の反転マス
クを用いて行うことが好ましい。かかる好ましい構成に
よれば、段差低減層を、カラーフィルター層の非形成領
域のみに選択的に、カラーフィルター層と同一表面高さ
となるように、容易に形成することができる。
料の塗布を前記特定色のカラーフィルター層の反転マス
クを用いて行うことが好ましい。かかる好ましい構成に
よれば、段差低減層を、カラーフィルター層の非形成領
域のみに選択的に、カラーフィルター層と同一表面高さ
となるように、容易に形成することができる。
【００３０】また、上記の構成において、前記段差低減
層が、前記カラーフィルター層と同一種類の材料を用い
て形成されるのが好ましい。かかる好ましい構成によれ
ば、段差低減層の形成のために、従来のカラーフィルタ
層の形成のために使用していた材料の他に新たな材料を
準備する必要がない。その結果、段差低減層をカラーフ
ィルター層と同様の形成プロセスで製造することがより
一層容易になる。また、段差低減層とカラーフィルター
層との熱膨張係数や吸湿率等の物性を同一にすることが
できるので、耐熱性や耐湿性に優れ、両者の境界面に剥
離やクラック等を生じることがなく、信頼性の高い固体
撮像装置が得られる。なお、本発明において、「同一種
類の材料」とは、上記趣旨より、同一の製造プロセスで
製造でき、かつ、熱膨張係数や吸湿率等においてほぼ同
一の物性値を有すると認められる材料をいう。したがっ
て、化学的組成がわずかに相違する場合であっても、同
一種類と認められる場合がある。例えば、段差低減層と
カラーフィルター層とがいずれもアクリル系樹脂からな
り、前者には後者に含有される着色成分が含有されてい
ない場合、両者は同一種類の材料と判断される。
層が、前記カラーフィルター層と同一種類の材料を用い
て形成されるのが好ましい。かかる好ましい構成によれ
ば、段差低減層の形成のために、従来のカラーフィルタ
層の形成のために使用していた材料の他に新たな材料を
準備する必要がない。その結果、段差低減層をカラーフ
ィルター層と同様の形成プロセスで製造することがより
一層容易になる。また、段差低減層とカラーフィルター
層との熱膨張係数や吸湿率等の物性を同一にすることが
できるので、耐熱性や耐湿性に優れ、両者の境界面に剥
離やクラック等を生じることがなく、信頼性の高い固体
撮像装置が得られる。なお、本発明において、「同一種
類の材料」とは、上記趣旨より、同一の製造プロセスで
製造でき、かつ、熱膨張係数や吸湿率等においてほぼ同
一の物性値を有すると認められる材料をいう。したがっ
て、化学的組成がわずかに相違する場合であっても、同
一種類と認められる場合がある。例えば、段差低減層と
カラーフィルター層とがいずれもアクリル系樹脂からな
り、前者には後者に含有される着色成分が含有されてい
ない場合、両者は同一種類の材料と判断される。
【００３１】また、上記の構成において、前記段差低減
層がネガ型感光性アクリル系樹脂よりなることが好まし
い。かかる好ましい構成によれば、段差低減層を、カラ
ーフィルター層の形成プロセスと同様に、塗布・露光・
現像の各工程を経て形成することができるので、固体撮
像装置を効率よく製造することができる。
層がネガ型感光性アクリル系樹脂よりなることが好まし
い。かかる好ましい構成によれば、段差低減層を、カラ
ーフィルター層の形成プロセスと同様に、塗布・露光・
現像の各工程を経て形成することができるので、固体撮
像装置を効率よく製造することができる。
【００３２】さらに、上記の構成において、前記固体撮
像装置が、フィールド色差順次方式の固体撮像装置であ
ることが好ましい。フィールド色差順次方式とは、色信
号が色差信号の形で走査線ごとに線順次で得られる方式
をいう。この方式の固体撮像装置に本発明を適用するこ
とにより、ｎ番目の走査線とｎ＋１番目の走査線とで感
度差が生じない固体撮像装置を得ることができるから、
本発明の効果がより顕著に発現し、ライン濃淡のない良
好な画質の固体撮像装置を得ることができる。
像装置が、フィールド色差順次方式の固体撮像装置であ
ることが好ましい。フィールド色差順次方式とは、色信
号が色差信号の形で走査線ごとに線順次で得られる方式
をいう。この方式の固体撮像装置に本発明を適用するこ
とにより、ｎ番目の走査線とｎ＋１番目の走査線とで感
度差が生じない固体撮像装置を得ることができるから、
本発明の効果がより顕著に発現し、ライン濃淡のない良
好な画質の固体撮像装置を得ることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下に、図面を用いて本発明を詳
細に説明する。但し、本発明は、以下に具体的に示され
た実施の形態に限定されるものではない。
細に説明する。但し、本発明は、以下に具体的に示され
た実施の形態に限定されるものではない。
【００３４】（実施の形態１）図６（Ａ）に示したフィ
ルタ配置を有するカラーフィルタアレイを有する固体撮
像装置の製造方法を以下に示す。
ルタ配置を有するカラーフィルタアレイを有する固体撮
像装置の製造方法を以下に示す。
【００３５】図１及び図２は、本実施の形態にかかる固
体撮像装置の製造方法を工程順に示した概略図であり、
図１は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た断面
図、図２は図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た
断面図である。
体撮像装置の製造方法を工程順に示した概略図であり、
図１は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た断面
図、図２は図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た
断面図である。
【００３６】シリコンからなる半導体基板１０の表面上
に、受光部１１及び遮光部１２を周知の方法で配列して
形成する。その後、表面の平坦化のために、透明高分子
樹脂をスピンコート法により塗布し、硬化させて平坦化
層２０を形成する。次いで、イエローフィルター層３１
を所定の受光部上に選択的に形成する。イエローフィル
ター層３１は、ネガ型感光性アクリル系樹脂を平坦化層
２０上にスピンコート法により塗布し、露光、現像を行
いパターニングした後、所定の染色液に浸漬して染色
し、その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶液とで定着
処理を施して形成する。ここまでの工程は、従来の技術
の欄で説明した図７（Ａ），図８（Ａ）と同様である。
に、受光部１１及び遮光部１２を周知の方法で配列して
形成する。その後、表面の平坦化のために、透明高分子
樹脂をスピンコート法により塗布し、硬化させて平坦化
層２０を形成する。次いで、イエローフィルター層３１
を所定の受光部上に選択的に形成する。イエローフィル
ター層３１は、ネガ型感光性アクリル系樹脂を平坦化層
２０上にスピンコート法により塗布し、露光、現像を行
いパターニングした後、所定の染色液に浸漬して染色
し、その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶液とで定着
処理を施して形成する。ここまでの工程は、従来の技術
の欄で説明した図７（Ａ），図８（Ａ）と同様である。
【００３７】次いで、イエローフィルター層３１が形成
されていない領域に、段差低減層６０を形成する。ま
ず、フィルター層形成材料と同一種類の材料を塗布し、
イエローフィルター層３１の反転マスクを用いて露光
し、次いでイエローフィルター層３１の非形成領域にパ
ターンを形成する。ここで、マスクとは、露光工程で用
いる回路パターンの原板であり、その回路パターン部分
の露光領域と非露光領域を反転させたものを反転マスク
とよぶ。このとき、段差低減層６０の厚みがイエローフ
ィルター層３１と同じになるように、形成材料の塗布膜
厚を調整する。その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶
液とで定着処理（混色防止処理）を施して段差低減層６
０を形成する（図１（Ａ）、図２（Ａ））。
されていない領域に、段差低減層６０を形成する。ま
ず、フィルター層形成材料と同一種類の材料を塗布し、
イエローフィルター層３１の反転マスクを用いて露光
し、次いでイエローフィルター層３１の非形成領域にパ
ターンを形成する。ここで、マスクとは、露光工程で用
いる回路パターンの原板であり、その回路パターン部分
の露光領域と非露光領域を反転させたものを反転マスク
とよぶ。このとき、段差低減層６０の厚みがイエローフ
ィルター層３１と同じになるように、形成材料の塗布膜
厚を調整する。その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶
液とで定着処理（混色防止処理）を施して段差低減層６
０を形成する（図１（Ａ）、図２（Ａ））。
【００３８】次に、シアンフィルター層３２を、イエロ
ーフィルター層３１及び段差低減層６０の表面上の、所
定の受光部上の領域に選択的に形成する。シアンフィル
ター層３２の形成材料及び形成方法は、染色材料が異な
る点を除いてイエローフィルター層３１と同様である
（図１（Ｂ）、図２（Ｂ））。
ーフィルター層３１及び段差低減層６０の表面上の、所
定の受光部上の領域に選択的に形成する。シアンフィル
ター層３２の形成材料及び形成方法は、染色材料が異な
る点を除いてイエローフィルター層３１と同様である
（図１（Ｂ）、図２（Ｂ））。
【００３９】さらに、同様にして、マゼンタフィルター
層３３を所定の受光部上の領域に選択的に形成する（図
１（Ｃ）、図２（Ｃ））。
層３３を所定の受光部上の領域に選択的に形成する（図
１（Ｃ）、図２（Ｃ））。
【００４０】その後、表面を平坦化するために透明高分
子樹脂をスピンコート法により塗布し硬化させて中間層
４０を形成し、その上に、各受光部１１に対応するよう
にマイクロレンズアレイ層５０を形成して、図６（Ａ）
に示したカラーフィルタアレイを有する固体撮像装置を
得る（図１（Ｄ）、図２（Ｄ））。
子樹脂をスピンコート法により塗布し硬化させて中間層
４０を形成し、その上に、各受光部１１に対応するよう
にマイクロレンズアレイ層５０を形成して、図６（Ａ）
に示したカラーフィルタアレイを有する固体撮像装置を
得る（図１（Ｄ）、図２（Ｄ））。
【００４１】得られた図６（Ａ）のフィルタ配置を有す
る固体撮像装置のIII−III線での矢印方向から見た断面
図を図３に示す。イエローフィルター層３１とシアンフ
ィルター層３２とが積層されることにより、全体として
グリーンフィルター層３４が形成される。図中、８１は
固体撮像装置に垂直に入射する入射光を示す。
る固体撮像装置のIII−III線での矢印方向から見た断面
図を図３に示す。イエローフィルター層３１とシアンフ
ィルター層３２とが積層されることにより、全体として
グリーンフィルター層３４が形成される。図中、８１は
固体撮像装置に垂直に入射する入射光を示す。
【００４２】（実施の形態２）図６（Ａ）に示したフィ
ルタ配置を有するカラーフィルタアレイを有する固体撮
像装置の製造方法を以下に示す。
ルタ配置を有するカラーフィルタアレイを有する固体撮
像装置の製造方法を以下に示す。
【００４３】図４及び図５は、本実施の形態にかかる固
体撮像装置の製造方法を工程順に示した概略図であり、
図４は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た断面
図、図５は図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た
断面図である。
体撮像装置の製造方法を工程順に示した概略図であり、
図４は図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た断面
図、図５は図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た
断面図である。
【００４４】本実施の形態は、カラーフィルター層を、
マゼンタフィルター層３３，イエローフィルター層３
１，段差低減層６０，シアンフィルター層３２の順に形
成していく点で実施の形態１と相違する。以下にその詳
細を説明する。
マゼンタフィルター層３３，イエローフィルター層３
１，段差低減層６０，シアンフィルター層３２の順に形
成していく点で実施の形態１と相違する。以下にその詳
細を説明する。
【００４５】シリコンからなる半導体基板１０の表面上
に、受光部１１及び遮光部１２を周知の方法で配列して
形成する。その後、表面の平坦化のために、透明高分子
樹脂をスピンコート法により塗布し、硬化させて平坦化
層２０を形成する。次いで、マゼンタフィルター層３３
を所定の受光部上の領域に選択的に形成する。マゼンタ
フィルター層３３は、ネガ型感光性アクリル系樹脂を平
坦化層２０上にスピンコート法により塗布し、露光、現
像を行いパターニングした後、所定の染色液に浸漬して
染色し、その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶液とで
定着処理を施して形成する（図４（Ａ），図５
（Ａ））。
に、受光部１１及び遮光部１２を周知の方法で配列して
形成する。その後、表面の平坦化のために、透明高分子
樹脂をスピンコート法により塗布し、硬化させて平坦化
層２０を形成する。次いで、マゼンタフィルター層３３
を所定の受光部上の領域に選択的に形成する。マゼンタ
フィルター層３３は、ネガ型感光性アクリル系樹脂を平
坦化層２０上にスピンコート法により塗布し、露光、現
像を行いパターニングした後、所定の染色液に浸漬して
染色し、その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶液とで
定着処理を施して形成する（図４（Ａ），図５
（Ａ））。
【００４６】次いで、イエローフィルター層３１を、マ
ゼンタフィルター層３３が形成されていない領域の所定
の受光部上の領域に選択的に形成する。イエローフィル
ター層３１の形成材料及び形成方法は、染色材料が異な
る点を除いてマゼンタフィルター層３３と同様である。
このとき、イエローフィルター層３１の厚さはマゼンタ
フィルター層３３より厚く形成するのが好ましい。この
ようにすれば、この後の段差低減層材料の塗布を、イエ
ローフィルター層３１の反転マスクを用いることによ
り、選択的に行うことができる（図４（Ｂ），図５
（Ｂ））。
ゼンタフィルター層３３が形成されていない領域の所定
の受光部上の領域に選択的に形成する。イエローフィル
ター層３１の形成材料及び形成方法は、染色材料が異な
る点を除いてマゼンタフィルター層３３と同様である。
このとき、イエローフィルター層３１の厚さはマゼンタ
フィルター層３３より厚く形成するのが好ましい。この
ようにすれば、この後の段差低減層材料の塗布を、イエ
ローフィルター層３１の反転マスクを用いることによ
り、選択的に行うことができる（図４（Ｂ），図５
（Ｂ））。
【００４７】次いで、イエローフィルター層３１が形成
されていない領域に、段差低減層６０を形成する。ま
ず、フィルター層形成材料と同一種類の材料を、イエロ
ーフィルター層３１の反転マスクを用いてイエローフィ
ルター層３１の非形成領域に塗布し、露光、現像を行
う。このとき、段差低減層６０の厚みがイエローフィル
ター層３１と同じになるように、形成材料の塗布膜厚を
調整する。その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶液と
で定着処理（混色防止処理）を施して段差低減層６０を
形成する（図４（Ｃ）、図５（Ｃ））。
されていない領域に、段差低減層６０を形成する。ま
ず、フィルター層形成材料と同一種類の材料を、イエロ
ーフィルター層３１の反転マスクを用いてイエローフィ
ルター層３１の非形成領域に塗布し、露光、現像を行
う。このとき、段差低減層６０の厚みがイエローフィル
ター層３１と同じになるように、形成材料の塗布膜厚を
調整する。その後、タンニン酸水溶液と酒石酸水溶液と
で定着処理（混色防止処理）を施して段差低減層６０を
形成する（図４（Ｃ）、図５（Ｃ））。
【００４８】次に、シアンフィルター層３２を、イエロ
ーフィルター層３１及び段差低減層６０の表面上の、所
定の受光部上の領域に選択的に形成する。シアンフィル
ター層３２の形成材料及び形成方法は、染色材料が異な
る点を除いて他のフィルター層３１，３３と同様である
（図４（Ｄ）、図５（Ｄ））。
ーフィルター層３１及び段差低減層６０の表面上の、所
定の受光部上の領域に選択的に形成する。シアンフィル
ター層３２の形成材料及び形成方法は、染色材料が異な
る点を除いて他のフィルター層３１，３３と同様である
（図４（Ｄ）、図５（Ｄ））。
【００４９】その後、表面を平坦化するために透明高分
子樹脂をスピンコート法により塗布し硬化させて中間層
４０を形成し、その上に、各受光部１１に対応するよう
にマイクロレンズアレイ層５０を形成して、図６（Ａ）
に示したカラーフィルタアレイを有する固体撮像装置を
得る（図４（Ｅ）、図５（Ｅ））。
子樹脂をスピンコート法により塗布し硬化させて中間層
４０を形成し、その上に、各受光部１１に対応するよう
にマイクロレンズアレイ層５０を形成して、図６（Ａ）
に示したカラーフィルタアレイを有する固体撮像装置を
得る（図４（Ｅ）、図５（Ｅ））。
【００５０】上記の実施の形態１及び２で得られた固体
撮像装置は、イエローフィルター層３１が形成されてい
ない領域に、イエローフィルター層３１の表面と略同一
の表面高さを有する段差低減層６０を形成するので、こ
れらの表面上に形成されたシアンフィルター層３２の厚
みを均一に形成することができる。また、段差低減層６
０はイエローフィルター層３１上には形成しないから、
マイクロレンズアレイ層５０と受光部１１との距離が大
きくなることがない。
撮像装置は、イエローフィルター層３１が形成されてい
ない領域に、イエローフィルター層３１の表面と略同一
の表面高さを有する段差低減層６０を形成するので、こ
れらの表面上に形成されたシアンフィルター層３２の厚
みを均一に形成することができる。また、段差低減層６
０はイエローフィルター層３１上には形成しないから、
マイクロレンズアレイ層５０と受光部１１との距離が大
きくなることがない。
【００５１】また、段差低減層６０は、段差低減層形成
材料の塗布、露光、及び現像というカラーフィルター層
３１，３２，３３と同様の形成プロセスで製造できる。
材料の塗布、露光、及び現像というカラーフィルター層
３１，３２，３３と同様の形成プロセスで製造できる。
【００５２】さらに、段差低減層６０は、カラーフィル
ター層３１，３２，３３と同一種類の材料を用いて形成
することも可能である。
ター層３１，３２，３３と同一種類の材料を用いて形成
することも可能である。
【００５３】したがって、上記の実施の形態によれば、
良好な画質を有し、耐熱性、耐湿性に優れ、信頼性の高
い固体撮像装置を効率よく製造することができる。
良好な画質を有し、耐熱性、耐湿性に優れ、信頼性の高
い固体撮像装置を効率よく製造することができる。
【００５４】なお、上記の実施の形態では、カラーフィ
ルター層３１，３２，３３の着色は染色にて行う方法を
示したが、これに代えて周知の色素含有レジスト樹脂を
用いる方法であってもよい。
ルター層３１，３２，３３の着色は染色にて行う方法を
示したが、これに代えて周知の色素含有レジスト樹脂を
用いる方法であってもよい。
【００５５】また、上記の実施の形態では、カラーフィ
ルター層３１，３２，３３及び段差低減層６０はいずれ
もネガ型感光性アクリル系樹脂を用いたが、これに代え
て周知のカラーフィルター層形成材料、例えば、感光性
を有するゼラチン、カゼイン、グリュー、ＰＶＡ等の樹
脂材料を用いてもよい。
ルター層３１，３２，３３及び段差低減層６０はいずれ
もネガ型感光性アクリル系樹脂を用いたが、これに代え
て周知のカラーフィルター層形成材料、例えば、感光性
を有するゼラチン、カゼイン、グリュー、ＰＶＡ等の樹
脂材料を用いてもよい。
【００５６】
【発明の効果】以上より明らかな通り、本発明によれば
良好な画質を有し、耐熱性、耐湿性に優れ、信頼性の高
い固体撮像装置を効率よく製造することができる。
良好な画質を有し、耐熱性、耐湿性に優れ、信頼性の高
い固体撮像装置を効率よく製造することができる。
【００５７】即ち、特定色のカラーフィルター層を選択
的に形成した後、前記カラーフィルター層が形成されて
いない領域に段差低減層を選択的に形成することによ
り、これらの上にさらに別色のカラーフィルター層を選
択的に形成したとき、厚みが均一なカラーフィルター層
を容易に形成することができる。その結果、カラーフィ
ルター層の厚み差に起因するライン分光差を抑えること
ができる。したがって、ライン濃淡のない固体撮像装置
を得ることができる。
的に形成した後、前記カラーフィルター層が形成されて
いない領域に段差低減層を選択的に形成することによ
り、これらの上にさらに別色のカラーフィルター層を選
択的に形成したとき、厚みが均一なカラーフィルター層
を容易に形成することができる。その結果、カラーフィ
ルター層の厚み差に起因するライン分光差を抑えること
ができる。したがって、ライン濃淡のない固体撮像装置
を得ることができる。
【００５８】また、前記段差低減層を、前記特定色のカ
ラーフィルター層の表面と略同一の表面高さを有するよ
うに形成することにより、マイクロレンズアレイ層と受
光部との距離が大きくする必要がなく、その結果、マイ
クロレンズアレイ層による集光効果を十分に得ることが
でき、集光率の大きな固体撮像装置が得られる。
ラーフィルター層の表面と略同一の表面高さを有するよ
うに形成することにより、マイクロレンズアレイ層と受
光部との距離が大きくする必要がなく、その結果、マイ
クロレンズアレイ層による集光効果を十分に得ることが
でき、集光率の大きな固体撮像装置が得られる。
【００５９】また、前記段差低減層を、段差低減層形成
材料を塗布する工程と、前記塗布された段差低減層形成
材料を露光する工程と、現像する工程とを経て形成する
ことにより、段差低減層をカラーフィルター層と同様の
形成プロセスで効率よく製造することができる。
材料を塗布する工程と、前記塗布された段差低減層形成
材料を露光する工程と、現像する工程とを経て形成する
ことにより、段差低減層をカラーフィルター層と同様の
形成プロセスで効率よく製造することができる。
【００６０】この場合において、前記段差低減層形成材
料の塗布を前記特定色のカラーフィルター層の反転マス
クを用いて行うことにより、段差低減層を、カラーフィ
ルター層の非形成領域のみに、カラーフィルター層と同
一表面高さとなるように容易に形成することができる。
料の塗布を前記特定色のカラーフィルター層の反転マス
クを用いて行うことにより、段差低減層を、カラーフィ
ルター層の非形成領域のみに、カラーフィルター層と同
一表面高さとなるように容易に形成することができる。
【００６１】また、前記段差低減層を、前記カラーフィ
ルター層と同一種類の材料を用いて形成することによ
り、段差低減層をカラーフィルター層と同様の形成プロ
セスで製造することがより一層容易になる。また、段差
低減層とカラーフィルター層との熱膨張係数や吸湿率等
の物性を同一にすることができるので、耐熱性や耐湿性
に優れ、信頼性の高い固体撮像装置が得られる。
ルター層と同一種類の材料を用いて形成することによ
り、段差低減層をカラーフィルター層と同様の形成プロ
セスで製造することがより一層容易になる。また、段差
低減層とカラーフィルター層との熱膨張係数や吸湿率等
の物性を同一にすることができるので、耐熱性や耐湿性
に優れ、信頼性の高い固体撮像装置が得られる。
【００６２】また、前記段差低減層をネガ型感光性アク
リル系樹脂を用いて形成することにより、段差低減層
を、カラーフィルター層の形成プロセスと同様に、塗布
・露光・現像の各工程を経て効率よく製造することがで
きる。
リル系樹脂を用いて形成することにより、段差低減層
を、カラーフィルター層の形成プロセスと同様に、塗布
・露光・現像の各工程を経て効率よく製造することがで
きる。
【００６３】さらに、本発明をフィールド色差順次方式
の固体撮像装置の製造に適用することにより、ライン濃
淡のない良好な画質の固体撮像装置を得ることができ
る。
の固体撮像装置の製造に適用することにより、ライン濃
淡のない良好な画質の固体撮像装置を得ることができ
る。
【図１】 実施の形態１にかかる固体撮像装置の製造方
法を、図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
法を、図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
【図２】 実施の形態１にかかる固体撮像装置の製造方
法を、図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
法を、図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
【図３】 実施の形態１で得られた固体撮像装置の図６
（Ａ）のIII−III線での矢印方向から見た概略断面図で
ある。
（Ａ）のIII−III線での矢印方向から見た概略断面図で
ある。
【図４】 実施の形態２にかかる固体撮像装置の製造方
法を、図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
法を、図６（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
【図５】 実施の形態２にかかる固体撮像装置の製造方
法を、図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
法を、図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略
断面図として工程順に示した図である。
【図６】 フィールド色差順次方式に使用されるカラー
フィルターアレイのフィルタ配列の一例を示した模式的
平面図である。
フィルターアレイのフィルタ配列の一例を示した模式的
平面図である。
【図７】 従来の固体撮像装置の製造方法を、図６
（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略断面図とし
て工程順に示した図である。
（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略断面図とし
て工程順に示した図である。
【図８】 従来の固体撮像装置の製造方法を、図６
（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略断面図とし
て工程順に示した図である。
（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略断面図とし
て工程順に示した図である。
【図９】 従来の製造方法により得られた固体撮像装置
の図６（Ａ）のIII−III線での矢印方向から見た概略断
面図である。
の図６（Ａ）のIII−III線での矢印方向から見た概略断
面図である。
【図１０】 従来の別の製造方法により得られた固体撮
像装置の構成を示した図であって、（Ａ）は図６（Ａ）
のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略断面図、（Ｂ）は
図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略断面図
である。
像装置の構成を示した図であって、（Ａ）は図６（Ａ）
のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略断面図、（Ｂ）は
図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概略断面図
である。
【図１１】 図１０の固体撮像装置に垂直光が入射した
ときの状態を示した、図６（Ａ）のIII−III線での矢印
方向から見た断面図である。
ときの状態を示した、図６（Ａ）のIII−III線での矢印
方向から見た断面図である。
【図１２】 図１０の固体撮像装置に斜めに光が入射し
たときの状態を示した、図６（Ａ）のIII−III線での矢
印方向から見た断面図である。
たときの状態を示した、図６（Ａ）のIII−III線での矢
印方向から見た断面図である。
【図１３】 従来のさらに別の製造方法により得られた
固体撮像装置の構成を示した図であって、（Ａ）は図６
（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略断面図、
（Ｂ）は図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概
略断面図である。
固体撮像装置の構成を示した図であって、（Ａ）は図６
（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向から見た概略断面図、
（Ｂ）は図６（Ａ）のII−II線での矢印方向から見た概
略断面図である。
１０ 半導体基板 １１ 受光部 １２ 遮光部 ２０，２１ 平坦化層 ２２ 中間層 ３１ イエローフィルター層 ３２ シアンフィルター層 ３３ マゼンタフィルター層 ３４ グリーンフィルター層 ４０ 中間層 ５０ マイクロレンズアレイ層 ６０ 段差低減層 ８１ 垂直入射光 ８２ 斜め入射光 ９１ 接続界面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年４月１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】即ち、本発明の第１の構成にかかる固体撮
像装置の製造方法は、半導体基板上に配列された受光部
上に複数の色群よりなるカラーフィルター層を形成する
固体撮像装置の製造方法であって、所定の受光部上に特
定色のカラーフィルター層を選択的に形成した後、段差
低減層形成材料を塗布し、次いで、前記塗布された段差
低減層形成材料を露光し、現像することにより、前記特
定色のカラーフィルター層が形成されていない領域に段
差低減層を選択的に形成することを特徴とする。
像装置の製造方法は、半導体基板上に配列された受光部
上に複数の色群よりなるカラーフィルター層を形成する
固体撮像装置の製造方法であって、所定の受光部上に特
定色のカラーフィルター層を選択的に形成した後、段差
低減層形成材料を塗布し、次いで、前記塗布された段差
低減層形成材料を露光し、現像することにより、前記特
定色のカラーフィルター層が形成されていない領域に段
差低減層を選択的に形成することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】本発明の第１の構成によれば、特定色のカ
ラーフィルター層を選択的に形成した後、前記カラーフ
ィルター層が形成されていない領域に段差低減層を選択
的に形成するので、これらの上にさらに別色のカラーフ
ィルター層を選択的に形成したとき、厚みが均一なカラ
ーフィルター層を容易に形成することができる。その結
果、カラーフィルター層の厚み差に起因するライン分光
差を抑えることができる。したがって、ライン濃淡のな
い固体撮像装置を得ることができる。また、前記段差低
減層は、段差低減層形成材料を塗布する工程と、前記塗
布された段差低減層形成材料を露光する工程と、現像す
る工程とを経て形成される。これによれば、段差低減層
をカラーフィルター層と同様の形成プロセスで製造でき
るため、従来のカラーフィルタアレイ層の形成工程を大
幅に変更する必要がない。その結果、従来の製造装置を
用いて、工程が複雑となることなく、上記の優れた効果
を有する固体撮像装置を効率的に製造することができ
る。
ラーフィルター層を選択的に形成した後、前記カラーフ
ィルター層が形成されていない領域に段差低減層を選択
的に形成するので、これらの上にさらに別色のカラーフ
ィルター層を選択的に形成したとき、厚みが均一なカラ
ーフィルター層を容易に形成することができる。その結
果、カラーフィルター層の厚み差に起因するライン分光
差を抑えることができる。したがって、ライン濃淡のな
い固体撮像装置を得ることができる。また、前記段差低
減層は、段差低減層形成材料を塗布する工程と、前記塗
布された段差低減層形成材料を露光する工程と、現像す
る工程とを経て形成される。これによれば、段差低減層
をカラーフィルター層と同様の形成プロセスで製造でき
るため、従来のカラーフィルタアレイ層の形成工程を大
幅に変更する必要がない。その結果、従来の製造装置を
用いて、工程が複雑となることなく、上記の優れた効果
を有する固体撮像装置を効率的に製造することができ
る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】この場合において、前記段差低減層形成材
料を塗布した後に、前記特定色のカラーフィルター層の
反転マスクを用いて露光することにより前記段差低減層
を形成することが好ましい。かかる好ましい構成によれ
ば、段差低減層を、カラーフィルター層の非形成領域の
みに選択的に、カラーフィルター層と同一表面高さとな
るように、容易に形成することができる。
料を塗布した後に、前記特定色のカラーフィルター層の
反転マスクを用いて露光することにより前記段差低減層
を形成することが好ましい。かかる好ましい構成によれ
ば、段差低減層を、カラーフィルター層の非形成領域の
みに選択的に、カラーフィルター層と同一表面高さとな
るように、容易に形成することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３２】本発明の第２の構成にかかる固体撮像装置
の製造方法は、半導体基板上に配列された受光部上に複
数の色群よりなるカラーフィルター層を形成する固体撮
像装置の製造方法であって、所定の受光部上に特定色の
カラーフィルター層を選択的に形成した後、前記特定色
のカラーフィルター層が形成されていない領域にネガ型
感光性アクリル系樹脂よりなる段差低減層を選択的に形
成することを特徴とする。さらに、上記の第１及び第２
の構成において、前記固体撮像装置が、フィールド色差
順次方式の固体撮像装置であることが好ましい。フィー
ルド色差順次方式とは、色信号が色差信号の形で走査線
ごとに線順次で得られる方式をいう。この方式の固体撮
像装置に本発明を適用することにより、ｎ番目の走査線
とｎ＋１番目の走査線とで感度差が生じない固体撮像装
置を得ることができるから、本発明の効果がより顕著に
発現し、ライン濃淡のない良好な画質の固体撮像装置を
得ることができる。
の製造方法は、半導体基板上に配列された受光部上に複
数の色群よりなるカラーフィルター層を形成する固体撮
像装置の製造方法であって、所定の受光部上に特定色の
カラーフィルター層を選択的に形成した後、前記特定色
のカラーフィルター層が形成されていない領域にネガ型
感光性アクリル系樹脂よりなる段差低減層を選択的に形
成することを特徴とする。さらに、上記の第１及び第２
の構成において、前記固体撮像装置が、フィールド色差
順次方式の固体撮像装置であることが好ましい。フィー
ルド色差順次方式とは、色信号が色差信号の形で走査線
ごとに線順次で得られる方式をいう。この方式の固体撮
像装置に本発明を適用することにより、ｎ番目の走査線
とｎ＋１番目の走査線とで感度差が生じない固体撮像装
置を得ることができるから、本発明の効果がより顕著に
発現し、ライン濃淡のない良好な画質の固体撮像装置を
得ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００６０】この場合において、前記段差低減層形成材
料を塗布した後に、前記特定色のカラーフィルター層の
反転マスクを用いて露光することにより前記段差低減層
を形成することにより、段差低減層を、カラーフィルタ
ー層の非形成領域のみに、カラーフィルター層と同一表
面高さとなるように容易に形成することができる。
料を塗布した後に、前記特定色のカラーフィルター層の
反転マスクを用いて露光することにより前記段差低減層
を形成することにより、段差低減層を、カラーフィルタ
ー層の非形成領域のみに、カラーフィルター層と同一表
面高さとなるように容易に形成することができる。
Claims (7)
- 【請求項１】 半導体基板上に配列された受光部上に複
数の色群よりなるカラーフィルタ層を形成して固体撮像
装置を製造する方法であって、所定の受光部上に特定色
のカラーフィルター層を選択的に形成した後、前記特定
色のカラーフィルター層が形成されていない領域に段差
低減層を選択的に形成する工程を含むことを特徴とする
固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項２】 前記段差低減層を、前記特定色のカラー
フィルター層の表面と略同一の表面高さを有するように
形成する請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項３】 前記段差低減層が、段差低減層形成材料
を塗布する工程と、前記塗布された段差低減層形成材料
を露光する工程と、現像する工程とを経て形成される請
求項１又は２に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項４】 前記段差低減層形成材料の塗布を前記特
定色のカラーフィルター層の反転マスクを用いて行う請
求項３に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項５】 前記段差低減層が、前記カラーフィルタ
ー層と同一種類の材料を用いて形成される請求項１〜４
のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項６】 前記段差低減層がネガ型感光性アクリル
系樹脂よりなる請求項１〜５のいずれかに記載の固体撮
像装置の製造方法。 - 【請求項７】 前記固体撮像装置が、フィールド色差順
次方式の固体撮像装置である請求項１〜６のいずれかに
記載の固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10144046A JP2951942B1 (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10144046A JP2951942B1 (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2951942B1 JP2951942B1 (ja) | 1999-09-20 |
| JPH11340447A true JPH11340447A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15353073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10144046A Expired - Fee Related JP2951942B1 (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2951942B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100390824B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2003-07-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 이중 필터를 구비하는 이미지 센서 |
| WO2013018559A1 (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | ソニー株式会社 | 撮像素子およびその製造方法 |
| JP2016058749A (ja) * | 2015-11-27 | 2016-04-21 | ソニー株式会社 | 撮像素子 |
-
1998
- 1998-05-26 JP JP10144046A patent/JP2951942B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100390824B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2003-07-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 이중 필터를 구비하는 이미지 센서 |
| WO2013018559A1 (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | ソニー株式会社 | 撮像素子およびその製造方法 |
| CN103650143A (zh) * | 2011-07-29 | 2014-03-19 | 索尼公司 | 成像元件及其制造方法 |
| US9380277B2 (en) | 2011-07-29 | 2016-06-28 | Sony Corporation | Imaging device with reduced color mixing and method of manufacturing the same |
| CN103650143B (zh) * | 2011-07-29 | 2016-10-26 | 索尼半导体解决方案公司 | 成像元件及其制造方法 |
| JP2016058749A (ja) * | 2015-11-27 | 2016-04-21 | ソニー株式会社 | 撮像素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2951942B1 (ja) | 1999-09-20 |
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