JPH11350188A - 電気・電子部品用材料とその製造方法、およびその材料を用いた電気・電子部品 - Google Patents

電気・電子部品用材料とその製造方法、およびその材料を用いた電気・電子部品

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JPH11350188A
JPH11350188A JP10155058A JP15505898A JPH11350188A JP H11350188 A JPH11350188 A JP H11350188A JP 10155058 A JP10155058 A JP 10155058A JP 15505898 A JP15505898 A JP 15505898A JP H11350188 A JPH11350188 A JP H11350188A
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electric
plating
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Toshio Tani
俊夫 谷
Morimasa Tanimoto
守正 谷本
Hitoshi Tanaka
仁志 田中
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Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱性に優れ、はんだと接合したときにその
接合部における接合強度の劣化が少なく、また表面酸化
・変色も起こしづらい電気・電子部品用材料、とりわけ
リード材料やコンタクト材料として有用な材料とその製
造方法、およびそれを用いた電気・電子部品を提供す
る。 【解決手段】 この材料は、少なくとも表面がCuまた
はCu合金から成る基体1の表面に、Cu層,Niもし
くはNi合金層,Ag層を少なくとも1層有する中間層
2を介して、いずれもCu含有量が0.1〜3重量%で
あり、厚みが0.5〜20μmであるSn層またはSn
合金層から成る表面層3が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電気・電子部品用材
料とその製造方法、およびその材料を用いた電気・電子
部品に関し、更に詳しくは、各種半導体装置用のリード
材料や、端子,コネクタ,スイッチなどのコンタクト材
料として用いて好適な材料とそれを製造する方法、およ
びその材料を用いた電気・電子部品に関する。
【0002】
【従来の技術】各種の電気・電子機器に組み込まれる部
品の材料としては、従来から、CuまたはCu合金が広
く用いられている。すなわち、その用途は個別半導体や
ICパッケージのリード線やリードピン、またはリード
フレームなどのリード材料を代表例とし、更にはソケッ
ト類やコネクタ,スイッチの端子や接点ばねなどのコン
タクト材料にも及んでいる。これらの用途は、Cuまた
はCu合金が、導電性,熱伝導性が優れているととも
に、機械的な強度や加工性の点でも優れ、また経済的に
も有利であるという性質を利用したものである。
【0003】とりわけ、ICパッケージのリード材料に
関しては、各種合金設計のCu合金が開発されている。
そして、それらは、端子や接点ばねなどのコンタクト材
料の分野でも応用されるようになっている。
【0004】上記したリード材料としては、従来から、
コバール合金や42アロイに代表されるFe−Ni系合
金,Fe−C系合金などのFe系材料も使用されてい
る。このFe系材料は、前記したCu合金に比べると、
熱伝導性や導電性は劣るものの、機械的な強度が高く、
また熱膨張率がSiチップやパッケージの封止樹脂のそ
れに近似しているので、その表面に厚み数十μm程度の
Cuめっきを施して導電性とはんだ濡れ性を高めた状態
にしてダイオードやコンデンサなどのリード線として用
いられている。
【0005】また、従来、Cu系材料はその機械的な強
度の点で問題を有していたが、最近では強度特性も向上
したCu合金が開発されている。例えば、NiとSiを
少量含有せしめて、それらをNi2Siなどの形態で析
出させた析出強化型のCu合金が知られている。そし
て、このCu合金は、スタンピング性や応力緩和特性が
優れているので、リード材料,端子やコネクタのコンタ
クト材料として使用されはじめている。
【0006】そして、上記した部品材料の場合、その表
面には、めっきに代表される表面処理を施すことにより
材料機能の信頼性を高めて実使用するということが行わ
れている。
【0007】例えば、はんだ付けによってプリント基板
に部品を実装するときに用いるリード材料の場合、その
表面にSnめっきまたはSn合金めっきを施してはんだ
付け性を高めるという処置が採られている。具体的に
は、ICパッケージを組み立てたのちリードフレームの
アウターリード部に例えばSn−Pb合金を用いて外装
はんだめっきを施したり、個別半導体やコンデンサのリ
ード線にも予めSnめっきやSn−Pb合金めっきを施
し、更に加熱してリフロー処理を行うこともある。
【0008】更には、基体がCuまたはCu合金から成
る材料の場合、その表面にSnまたはSn合金のめっき
を施すと、得られた材料は前記した特性の外に耐食性,
耐摩耗性も優れ、しかも経済的に有利であるということ
から、リード材料の外に各種端子やコネクタなどの材料
としても多用されている。そして、表面光沢が必要とさ
れる用途分野では、SnまたはSn合金の光沢めっきを
施したものや、更にはリフロー処理を施したものが使用
され、とくにリフロー処理を施したものは、耐ウイスカ
ー性や耐熱性も優れているので、厳しい温度環境で使用
される部品の材料として賞用されはじめている。
【0009】例えば、電装品が広く搭載されるようにな
ってきている自動車関連分野の場合、組み込まれる端子
やコネクタなどのコンタクト材料は、エンジンルーム内
をはじめとして、温度100〜170℃程度の高温環境
に曝されることになる。従来、このような分野では、黄
銅やリン青銅の基体の表面にSnめっきやはんだなどの
Sn合金めっきを施した材料が主として使用されてきて
いるが、厳しい使用環境に対しては必ずしも満足すべき
性能ではないということで、強度特性の向上と応力緩和
特性の改善を目的として前記したNiとSiを含有する
Cu合金にSnめっきを施したのちリフロー処理を行っ
た材料が使用されはじめている。
【0010】ところで、CuまたはCu合金の表面にS
nめっきを施した材料の場合には次のような問題があ
る。
【0011】まず、形成されたSnめっき層にはSnの
ウイスカーが発生しやすく、部品実装したときに短絡事
故を引き起こすことの可能性があるということである。
また、Snの融点は232℃であるため、例えばその材
料部品をプリント基板にはんだ付けして実装する場合、
基板材料(樹脂)はそれ以上の耐熱性を備えることが必
要になると同時に、そのときにSnそれ自体が酸化され
てはんだ付け性の劣化が起こりやすくなるということで
ある。
【0012】また、コンタクト材料の場合には、例えば
リードフレームのアウターリード部の外装はんだ皮膜の
場合とは異なって、通常、表面層であるSnまたはSn
合金層の厚みが1〜1.5μmと薄いために、前記した
ような高温環境下では基体表面のCu成分が前記表面層
まで早期の段階で熱拡散し、その結果、表面層の表層部
の変色や酸化が起こり、相手材との接触抵抗が高くなる
という問題が起こってくる。
【0013】更に、コンデンサ用リード線の場合は、溶
接対象の例えばアルミ線との溶接部の肉盛りを行うた
め、めっき層の厚みを厚肉化しているが、そのようなリ
ード線に前記リフロー処理を行うと、処理後に凝固して
形成されたSnめっき層の偏肉が大きくなるという問題
がある。
【0014】上記したウイスカーの発生という問題はリ
フロー処理を施すことによって略防止することができ、
まためっき層の材料としてSn合金を用いればかなり抑
制することが可能である。このようなSn合金の代表例
ははんだ(Sn−Pb合金)であり、従来から広く用い
られている。
【0015】しかしながら、はんだに含まれているPb
は人体に悪影響を与える虞があるとのことから、今後
は、その優れた性質を備えているにもかかわらず使用が
敬遠されようとしている。そして、Pbを含有しないS
n合金、具体的には、Sn−Ag系,Sn−Bi系,S
n−In系,Sn−Zn系のものへの移行が検討されて
いる。
【0016】しかしながら、これらのSn合金でめっき
層を形成した材料には次のような問題がある。
【0017】まず、これら合金の融点がSn−Pb共晶
はんだに比べて比較的低温であったり、高温であったり
する点であり、あるいは、例えばICパッケージの組み
立て時における加熱工程の熱で、基体表面の構成材料で
あるCuなどがこのSn合金めっき層の表層部に熱拡散
してきて、当該Sn合金めっき層のはんだ付け性が劣化
するという問題である。
【0018】更には、例えば前記したコンデンサリード
の場合、アルミ線と溶接する際に、溶接部の温度は瞬間
的には2000℃近辺の温度になるため、当該溶接部の
近傍では、Sn合金めっき層内のZn,Bi,Inなど
の元素が瞬時にして気化し、その結果、溶接部にはブロ
ーホールが発生し、その溶接強度が低下するという問題
も発生する。しかも、溶接部では、基体表面からCuな
どが熱拡散してリード材の表面にCu−Sn系化合物層
などが形成されることにより、表面の変色とはんだ付け
性の劣化も起こり得る。
【0019】なお、Pbを含まないSn合金として例示
した前記した合金のうち、Sn−Ag系,Sn−In系
のものは上記の問題に加えて高価であるという問題があ
る。
【0020】そして、Sn−Bi系のものは、耐熱性に
劣り、基体表面へのBiの熱拡散を起こしやすく、また
曲げ加工性にも劣るのでめっき層にクラックが発生しや
すく、更には、はんだ付け後に形成された接合部ではそ
の接合強度が経時的に低下するという問題がある。また
Sn−Zn系のものは、表面酸化を起こしやすく、大気
中におけるはんだ濡れ性が悪いということに加えて、Z
nは熱拡散を起こしやすいので、Sn−Bi系のものと
同じように、やはりはんだ付け後の接合部の接合強度は
経時的に低下する。このように、PbフリーのSn合金
にも多くの課題がある。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】ところで最近、電気・
電子機器の小型化,軽量化,多機能化の進展に伴い、そ
れらに組み込まれるプリント基板への半導体素子の実装
密度も高まっている。この高密度実装化は不可避的に実
装基板からの放熱量を増大させ、また電気・電子機器の
放熱量を増加させることになる。
【0022】そのため、前記したリード材料やコンタク
ト材料などに対しては、従来にもましてその耐熱性を高
めることが必要とされるようになっている。しかしなが
ら、最近では、前記したように、CuまたはCu合金の
基体にSnまたはSn合金のめっきを施した材料は、上
記した要求に充分対処し得ていないという指摘がなされ
ている。
【0023】すなわち、リード材料の場合、部品実装後
における部品リードとはんだとの接合部の高温エージン
グ、または部品リードと実装基板の電極との間でヒート
サイクル状態において接合信頼性が低下するという問題
である。換言すれば、最近の高密度実装基板が組み込ま
れている電子機器では、放熱量と前記機器の温度上昇が
大きいので、前記したSnまたはSn合金めっきを施し
たリード材料では、充分な接合信頼性が得られないとい
うケースが多発している。
【0024】また、コンタクト材料の場合、高温環境下
で使用したときに、基体表面のCu成分と表面層のSn
成分との相互熱拡散による合金化やCu成分が表面層の
表層部に拡散して酸化することに基づく接触抵抗の上昇
が起こり、もって相手材との接続信頼性が低下するとい
う問題が指摘されている。
【0025】本発明は、CuまたはCu合金を基体と
し、その表面にSnまたはSn合金めっきが施されてい
る従来の材料における上記した問題を解決し、Pbの悪
影響が排除されていることは勿論のこと、表面層はSn
より低融点であり、はんだ付け性に優れ、またウイスカ
ーの発生もなく、はんだ付け後に形成された接合部の接
合強度が高いと同時に、その接合強度の高温下における
経時的な低下も起こりづらいのでリード材料として好適
であり、また高温環境下で使用したときでも接触抵抗の
上昇が抑制され、相手材との間で接続信頼性の低下を招
くこともないのでコンタクト材料としても好適な電気・
電子部品用材料とその製造方法、およびその材料を用い
た電気・電子部品の提供を目的とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、少なくとも表面がCuまた
はCu合金から成る基体の前記表面に、Cu層,Niも
しくはNi合金層またはAg層を少なくとも1層有する
中間層を介して、Cu含有量が0.1〜3重量%である
厚み0.5〜20μmのSn層またはSn合金層から成
る表面層が形成されていることを特徴とする電気・電子
部品用材料、とくに、前記基体の表面に、厚み0.1〜
1μmのNiもしくはNi合金層と厚み0.003〜0.
5μm相当のAg層とがこの順序で積層され、前記Ag
層の上には前記表面層が形成されており、また、前記表
面層のSn合金が、Sn−Ag系合金またはSn−Bi
系合金であり、更には、前記表面層が加熱処理またはリ
フロー処理された層である電気・電子部品用材料が提供
される。
【0027】また、本発明においては、上記した材料を
用いた電気・電子部品が提供される。
【0028】更に、本発明においては、Cuめっき浴,
Niめっき浴,Ni合金めっき浴,Agめっき浴、およ
びBiめっき浴の群から選ばれる少なくとも1種を用い
て、少なくとも表面がCuまたはCu合金から成る基体
に電気めっきを行ったのち、更に、いずれもCuイオン
を0.2〜50ppm含有するSnめっき浴またはSn合金
めっき浴を用いて電気めっきを行うことを特徴とする電
気・電子部品用材料の製造方法が提供され、とくに、前
記2回目の電気めっきを行ったのちに、得られた材料
に、加熱処理またはリフロー処理を施す電気・電子部品
用材料の製造方法が提供される。
【0029】
【発明の実施の形態】図1は本発明の材料の基本構造例
Aを示す断面図である。この材料Aは、基体1の表面
に、後述する中間層2を介して、後述するSn層または
Sn合金層が表面層3として形成された層構造になって
いる。
【0030】ここで、材料Aにおける基体1としては、
少なくともその表面がCuまたはCu合金で形成されて
いるものであれば何であってもよい。例えば、Cuまた
はCu合金材そのものや、炭素鋼,Fe−Ni系合金、
Fe−Ni−Co系合金,ステンレス鋼などのFe系材
料を芯材とし、その表面をCuまたはCu合金で被覆し
たものなどをあげることができる。後者の基体の場合、
目的とする部品の用途に求められる機械的な強度や導電
性との関係を勘案して芯材とその表面に形成するCuま
たはCu合金、とりわけCu合金の種類が適宜に選定さ
れる。
【0031】また、基体1の形状も、部品としての用途
目的や後述する表面層形成方法に対応して、線状,板
状、条など適宜に選定される。
【0032】材料Aは、上記した基体1の表面に中間層
2が形成され、更にその上に表面層3が形成された材料
である。
【0033】ここで表面層3は、Cuの含有量が0.1
〜3重量%であるSn層(含CuSn層という)または
Cuの含有量が同じく0.1〜3重量%であるSn合金
層(含CuSn合金層という)で構成されている。
【0034】含CuSn層,含CuSn合金層のいずれ
においても、Cuが0.1〜3重量%含有されているこ
とが必要であり、そのことによって、例えば製造した部
品材料をプリント基板にはんだを用いて実装したとき
に、Cuを含有しないSn層またはSn合金層で表面層
が形成されている部品材料の場合に比べて、はんだ接合
部における接合強度は高くなり、その接合信頼性の向上
がもたらされる。
【0035】また、表面層に高導電率のCuが含有され
ていることにより、この材料をコンタクト材料として用
いた場合には、このCuが相手材との接触抵抗を低くす
ることに寄与し、更にははんだ付けを行ったときに、は
んだ食われの減少とはんだ接合部の耐熱性の向上に寄与
して、接合信頼性の向上が実現される。また、この材料
をICパッケージのリード材料として用いた場合には、
はんだ接合部の耐熱性は同様に向上して、高温環境下で
も実使用することが可能になる。
【0036】これは、SnまたはSn合金にCuが含有
されることにより、表面層3のクリープ特性を含む耐熱
特性や耐ウイスカー性が向上し、またその表面層3の主
成分であるSnと基体1の表面成分であるCuや表面層
の他の元素との相互拡散速度が低下して両者の合金化が
抑制されるため、はんだ接合部における接合強度の経時
的な低下は小さくなり、その結果、接合信頼性が向上し
た現象であると考えられる。
【0037】しかしながら、Cu含有量が0.1重量%
より少なくなると、上に列記した効果は発現しなくな
り、また3重量%より多くなると、表面層3の構成材料
の液相線が過度に高くなり、例えば、均一リフロー性の
低下をはじめ、表面層3ではCu酸化の進展に基づくは
んだ濡れ性の低下や耐食性の低下が起こりやすくなるの
でCu含有量は0.1〜3重量%に設定すべきである。
【0038】この表面層3が含CuSn合金層で形成さ
れる場合、母相であるSn合金としては、前記したSn
−Ag系,Sn−Bi系,Sn−In系,Sn−Zn系
などを用いることができる。その場合、Sn−Zn系は
低価格ではあるが、Znの拡散速度は大きく、はんだ接
合部における接合強度の経時低下が大きくなるので高い
接合信頼性が得にくいということや、また耐食性も劣る
という点で難があり、Sn−In系は高価であり、用途
は限定されてしまうという問題がある。このようなこと
から、含CuSn合金層の母相であるSn合金として
は、Sn−Ag系,Sn−Bi系であることが好まし
い。
【0039】Sn−Ag系の場合、Agが3.5重量%
程度で共晶組織となり、その融点は221℃を示し、こ
の合金で形成した表面層は金属Snで形成した場合の融
点より11℃程度低くなるに止まり、耐熱性に関しては
不都合を生じない。
【0040】また、Sn−Bi系は経済性の点で有利で
ある。このSn−Bi系の場合、Bi含有量が57重量
%の共晶点139℃まではBi含有量の増加に応じて液
相線温度は低下していく。しかしながら、このことは、
同時に耐熱性の低下も意味している。また、この合金で
表面層を形成した場合には、Bi含有量が5重量%程度
で曲げ加工性の悪化や割れなどが入りやすくなり、更に
は、Bi含有量が多くなると、はんだで接合したとき
に、そのはんだ接合部の耐熱性は低下し、接合部におけ
る接合強度の経時低下も起こって接合信頼性が低くな
る。
【0041】このようなことから、表面層3をSn−A
g系で形成する場合には、その合金組成はSn−1〜4
%Ag合金であることが好ましく、またSn−Bi系で
形成する場合には、その合金組成はSn−1〜5%Bi
合金であることが好ましい。
【0042】この表面層3の厚みは、材料の使用分野と
必要とされる耐熱性、更には製造コストとの関係でも決
められる。例えば、半導体やICパッケージのアウター
リード部の外装はんだ処理において、はんだによるフロ
ーまたはリフロー処理による部品実装状態の確実性を実
現し、またはんだ接合部の接合信頼性を確保するために
は、その厚みは少なくとも5μmになっていることが必
要である。また、コンタクト材料の場合、そのリフロー
処理品においては、表面層の厚みが0.5μmより薄く
なると、リフロー処理時に基体表面のCuと表面層のS
nとの相互拡散による合金化が進んで、はんだ濡れ性の
確保や接触抵抗を低水準に確保することが困難になり、
また厚い場合には、均一リフロー処理の実現や製造コス
トの点から表面層の厚みは1.5〜2.0μm程度、また
光沢めっき品においては製造コストの点から表面層の厚
みは2.0μm程度が好適である。更に、アウターリー
ドの外装はんだのような場合には、表面層の厚みをあま
り厚くしても、性能は飽和に達し、徒に製造コストの上
昇を招くので、その厚みの上限は20μmに設定され
る。このようなことから、本発明の材料における表面層
の厚みは、0.5〜20μmに設定される。
【0043】上記した表面層3と基体1の間に介在する
中間層2としては、次のようなものが選定される。
【0044】まず、Cu層2Aであり、この場合の材料
A1の層構造を図2に示す。
【0045】このCu層2Aは、基体1の表面が黄銅や
丹銅のようなCu−Zn系合金である場合に、この基体
1の表面と表面層3との密着性を確保できるという点で
好適である。また、このCu層2Aが介装されている
と、基体1の表面が粗面であったり、表面に酸化物層が
介在して当該表面にSn層またはSn合金層から成る表
面層を形成したのちにリフロー処理を施したときに観察
される現象、すなわち、表面層が白く曇って鏡面光沢が
得られない現象、いわゆる“Snのはじき”現象を防止
することができる。
【0046】いずれの場合においても、Cu層2Aの厚
みが薄すぎると上記したような効果が得られず、また厚
すぎると、上記効果は飽和に達するのみならず、表面層
3へのCuの拡散も起こりはじめて表面層のはんだ濡れ
性の低下,酸化,変色,相手材との接触抵抗の上昇など
を引き起こすようになるので、その厚みは0.1〜1μ
mに設定することが好ましい。
【0047】第2の中間層としては、NiまたはNi合
金層2Bであり、その場合の材料A2の層構造を図3に
示す。
【0048】このNiまたはNi合金層2Bは、基体1
と表面層3との密着性の確保に資するとともに、前記し
た“Snのはじき”を防止し、更には基体1の表面のC
uが表面層3に熱拡散してSnと合金化することを抑制
するためのバリアとして機能する。
【0049】この中間層2BをNi合金で形成する場
合、Ni合金としては上記したバリア効果を発揮するも
のが好ましく、例えば、Ni−Co系,Ni−P系,N
i−B系などをあげることができるが、材料の生産性と
製造コストの問題や基体1と表面層との密着性確保の点
からいうと電気めっきが可能な合金であることが好まし
い。この点から考えると、Ni−P系は電気めっき時に
合金化するための電流密度は小さく、Ni−B系もそれ
ほど高くなく、またNi−Co系は電気めっきは可能で
あるが高価であるという点で難がある。しかしながら、
無電解めっきで表面層を形成することが有利であるよう
な材料の場合には、上記したNi−P系,Ni−B系を
用いることが好適である。このようなことを考えると、
工業的には、中間層2Bの形成においては、Ni単体を
電気めっきすることが好適である。
【0050】中間層2BをNiまたはNi合金で形成し
た場合、Niもまた表面層へ熱拡散してSnと合金化
し、Ni3Sn4をはじめとする化合物層を形成する。し
かしながら、200℃以下の温度におけるその拡散速度
はCuの場合に比べて小さく、しかも、仮に表面層3の
表層部にまで拡散したとしても酸化して表面変色を引き
起こすことはない。
【0051】したがって、この層構造では、Niまたは
Ni合金から成る中間層2BとSnまたはSn合金から
成る表面層3の界面にNi−Sn化合物の層が介在して
いる場合が多く、その介在物層の厚みは加熱処理やリフ
ロー処理などの熱履歴によって決まり、更には、基体表
面からのCuの拡散によりCu−Sn化合物の層が含ま
れていることもある。
【0052】このNiまたはNi合金から成る中間層2
Bの厚みが薄すぎると、前記したバリア効果が発揮され
なくなり、また厚すぎると、曲げ加工性が低下して割れ
の発生も多くなるだけではなく製造コストの上昇も招く
ので、その厚みは0.1〜1μmに設定することが好ま
しい。
【0053】第3の中間層はAg層2Cであり、この場
合の材料A3の層構造を図4に示す。
【0054】この中間層2CがAg層である場合、この
Ag層2Cが介装されている材料A3は、材料が高温環
境下に長期間曝されていても表面層の酸化に基づく不都
合も起こらず、接触抵抗の上昇という問題も起こらな
い。むしろ逆に、Agが表面層3へ拡散することによ
り、接触抵抗が安定化するだけではなく、低下する場合
が多くなるという効果が得られる。
【0055】また、基体1の表面がリン青銅で形成され
ていて、そしてその材料A3が高温環境下に曝された場
合であっても、Ag層2Cが介在していると、基体1と
表面層3との剥離が起こらなくなる。すなわち、このA
g層2Cは基体1と表面層3との密着性の確保にも大い
に貢献する層である。
【0056】したがって、この材料A3は、自動車関連
分野における電装品のように、高い耐熱性が要求される
分野で使用されるコンタクト材料として好適である。
【0057】このAg層2Cの厚みが薄すぎると上記し
た効果が得にくくなり、また厚すぎると、効果は飽和に
達するのみならず製造コストの上昇を招くようになるの
で、その厚みは0.1〜1μmに設定することが好まし
い。
【0058】第4の中間層2Dは、図5で示したよう
に、基体1の表面に形成されたNiまたはNi合金層2
Bとその上に形成されたAg層2Cとから成る2層構造
である。
【0059】この中間層2Dを有する材料A4は、材料
A2に関して説明した前記NiまたはNi合金層2Bの
効果と、材料A3に関して説明した前記Ag層2Cの効
果とが同時に発揮されることになり、はんだ接合部の接
合信頼性の向上、高温環境下における接触抵抗の上昇の
抑制、表面酸化や変色の抑制という点で一層優れた効果
を発揮し、リード材料やコンタクト材料のいずれに用い
ても有用な材料になる。
【0060】上記した2層構造において、基体1側に位
置するNiまたはNi合金層2Bの厚みは、そのバリア
効果を発揮させ、またその曲げ加工性などを確保するた
めに0.1〜1μmに設定することが好ましく、この上
に形成されているAg層2Cの厚みは、材料A3の場合
におけるほどの厚みでなくてもよく、0.003〜0.5
μmの範囲内にあれば上記した効果を充分に得ることが
できる。
【0061】このようにして製造された材料A1,A
2,A3,A4に対してリフロー処理を施すと、例えば
表面層が含CuSn層で形成される場合に発生すること
もあるウイスカーの存在を解消することができるだけで
はなく、表面層3と基体1の表面間におけるSnとCu
の拡散速度が低下して耐熱性に優れた材料に転化し、結
局、はんだ接合部における接合信頼性を高め、また接触
抵抗の上昇を抑制することができるので好適である。
【0062】なお、前記した中間層の中にはCuが含有
されていても不都合はないが、これら中間層の構成材料
はいずれもSnまたはSn合金のように融点が低くない
ため、材料としての耐熱性の向上に寄与することは少な
く、むしろ、Cuが含有されていることによって耐食性
の低下が引き起こされることもある。
【0063】本発明の材料は電気めっきで製造すること
ができる。
【0064】例えば、材料A1を製造する場合、Cuめ
っき浴を用いて電気めっきを行い基体1に所望厚みのC
uめっき層2Aを形成し、更にその上に、Snめっき浴
またはSn合金めっき浴を用いて電気めっきを行い所望
厚みの表面層を形成すればよい。
【0065】このとき、表面層3にCuを0.1〜3重
量%含有せしめるために、用いるSnめっき浴またはS
n合金めっき浴には、Cuイオンを0.2〜50ppm含有
せしめることが必要である。Cuイオンの含有量が上記
した範囲を外れていると、表面層3であるSnめっき層
またはSn合金めっき層におけるCu含有量は、電流密
度,めっき浴の温度などのめっき条件によっては、0.
1〜3重量%にならないからである。
【0066】なお、Cuめっき浴としては、Cuめっき
の分野で常用されている硫酸銅主体のめっき浴やシアン
化銅主体のめっき浴などをあげることができる。また、
Snめっき浴やSn合金めっき浴としては、従来から公
知の例えば硫酸すず主体のものや有機酸すず主体のもの
をあげることができる。
【0067】材料A2を製造する場合には、Niめっき
浴またはNi合金めっき浴を用いて電気めっきを行い基
体1に所望厚みのNiめっき層またはNi合金めっき層
2Bを形成し、更にその上に、前記したSnめっき浴ま
たはSn合金めっき浴を用いて電気めっきを行い所望厚
みの表面層3を形成すればよい。
【0068】なお、Niめっき浴またはNi合金めっき
浴としては、従来から公知の例えば硫酸ニッケルや塩化
ニッケル主体のもの、スルファミン酸ニッケル主体のも
のなどをあげることができる。
【0069】材料A3を製造する場合には、Agめっき
浴を用いて電気めっきを行い基体1に所望厚みのAgめ
っき層2Cを形成し、更にその上に、前記したSnめっ
き浴またはSn合金めっき浴を用いて電気めっきを行い
表面層3を形成すればよい。
【0070】なお、Agめっき浴としては、従来から公
知のシアン化銀やシアン化銀カリウム主体のもの、また
は市販のノーシアン浴などをあげることができる。
【0071】材料A4を製造する場合には、前記したN
iめっき浴またはNi合金めっき浴を用いて電気めっき
を行い基体1に所望厚みのNiめっき層またはNi合金
めっき層2Bを形成し、その上に、前記したAgめっき
浴を用いて電気めっきを行ってAgめっき層2Cを形成
し、更にその上に、前記したSnめっき浴またはSn合
金めっき浴を用いて電気めっきを行い表面層3を形成す
ればよい。
【0072】なお、Sn合金層で表面層3を形成する場
合、上記したように、Sn合金めっき浴を用いて形成す
る方法の外に、次のような方法を採用することもでき
る。
【0073】例えば、Sn−Ag合金層の形成に際して
は、最初にAgめっきを行い、ついでSnめっきを行う
方法がある。また、Sn−Bi合金層の形成に際して
は、最初にBiめっきを行い、ついでSnめっきを行う
方法がある。更に、加熱処理を施し、これら各層の成分
の拡散合金化を促進させることもできる。このとき、最
初にSnめっきから進める方法もあるが、その上に析出
電位が貴なAgやBiをめっきすると表面ムラを発生す
ることがあるので、この方法はあまり好ましい方法では
ない。
【0074】このようにして製造された材料A1,A
2,A3,A4に対してリフロー処理を施すと、例えば
表面層が含CuSn層で形成される場合に発生すること
もあるウイスカーの存在を解消することができるだけで
はなく、表面層3と基体1の表面間におけるSnとCu
の拡散速度が低下して、結局、はんだ接合部における接
合信頼性を高め、また接触抵抗の上昇を抑制することが
できるので好適である。
【0075】この加熱処理またはリフロー処理は、通
常、例えばN2雰囲気のような非酸化性雰囲気やCOや
2を含有する雰囲気のような還元性雰囲気中で行われ
る。材料の形状が線状または条であり、それに連続的な
処理を施す場合には、熱風吹き付け炉を用いることが好
適である。
【0076】
【実施例】実施例1〜21,比較例1〜9 表面が表1〜4で示した組成の合金で構成されている板
材に、アルカリカソード脱脂,10%硫酸による酸洗を
順次施したのち、第1のめっき浴、第2のめっき浴、第
3のめっき浴を収容するめっき槽に順次走行せしめて、
表1〜4で示しためっき層が表面層3として形成されて
いる材料A1,材料A2,材料A3,材料A4をそれぞ
れ製造した。
【0077】なお、Cuめっき浴としては硫酸銅めっき
浴,Niめっき浴としてはスルファミン酸ニッケルめっ
き浴,Agめっき浴としてはダインシルバーAG−PL
3O(商品名、大和化成(株)製)を用いた。また、S
nめっき浴としては有機酸すずめっき浴を用いた。
【0078】得られた各材料表面層の厚みは、アノード
溶解法を適用してそのときの溶解電位と溶解電気量から
算出し、その組成は電子線マイクロアナライザのZAF
補正法で定量分析した。以上の結果を表1〜4に示し
た。
【0079】
【表1】
【0080】
【表2】
【0081】
【表3】
【0082】
【表4】
【0083】各材料の表面を目視観察し、また各材料を
50℃の大気中で2500時間保持したのち顕微鏡観察
してウイスカーの有無を調べ、更には、各材料に90°
の折り曲げ試験を行ってそのときの曲げ加工性を評価し
た。
【0084】また、各材料の10個につき、Agプロー
ブを100g荷重で押し付けた状態で10mAを通電して
低温下における接触抵抗を測定した。ついで、各材料を
大気中において温度150℃で100時間保持する熱処
理を施したのちの接触抵抗を同様にして測定した。
【0085】以上の結果を一括して表5に示した。
【0086】
【表5】
【0087】実施例22〜31,比較例10〜19 表面が表6,表7で示した組成の合金で構成されている
板材に、アルカリカソード脱脂,10%硫酸による酸洗
を順次施したのち、表6,表7に示しためっき浴を収容
するめっき槽を順次走行せしめて表6,表7で示しため
っき層が表面層3として形成されている材料を製造し
た。
【0088】なお、Cuめっき浴,Niめっき浴,Ag
めっき浴、Snめっき浴はいずれも実施例1〜21と同
じものを用いた。また、Sn合金めっき浴としては、ダ
インTINSIL−SBB浴(商品名、大和化成(株)
製のSn−Agめっき浴)と、PF浴(商品名、石原薬
品(株)製のSn−Biめっき浴)をそれぞれ用いた。
【0089】各材料の表面層の厚みと組成を実施例1〜
21と同様にして測定した。
【0090】得られた材料を25mm角に切り出し、その
試片に、直径3mmの銅被覆鋼線をはんだで接合した。は
んだとしては、Sn−37%Pbの共晶はんだと、Sn
−3.5%Agの共晶はんだの2種類をそれぞれ用い
た。また、はんだ接合部の大きさは直径6mmと一定にし
た。
【0091】ついで、室温下において、各試料と銅被覆
鋼線とのプル強度(T0)を測定した。そして、はんだ
接合材料を大気中において温度150℃で500時間の
エージングを行って劣化促進処理を施し、そのときの各
試料と銅被覆鋼線とのプル強度(T1)を測定し、(T0
−T1)×100/T0を算出してはんだ接合部における
接合強度の劣化率(%)とした。
【0092】以上の結果を一括して表6,表7に示し
た。
【0093】
【表6】
【0094】
【表7】
【0095】実施例32〜35,比較例20,21 直径0.5mmの銅被覆鋼線をカソード脱脂槽,酸洗槽,
めっき槽に順次走行せしめて表8で示した表面層を形成
した。
【0096】ついで、直径1.2mmのスルーホールの周
囲に外径3mmのCuパッドが形成されているプリント回
路基板の前記スルーホールに各リード線を挿入し、フラ
ックスを塗布したのち、温度250℃のディップ式はん
だ槽にプリント回路基板を3秒間浸漬してから引き上
げ、そのまま自然放冷した。
【0097】なお、はんだとしては、実施例22〜31
と同じ2種類のものを用いた。
【0098】この材料におけるCuパッドと銅被覆鋼線
との接合強度の劣化率を実施例22〜31と同様に算出
した。その結果を表8に示した。
【0099】
【表8】
【0100】以上の結果から次のことが明らかである。
【0101】(1)表1〜5から明らかなように、本発
明の材料はいずれも耐熱性が優れていて、熱処理後にあ
っても接触抵抗の上昇が抑制されている。
【0102】例えば、表面層が含CuSnめっき層で構
成されている実施例1と表面層にはCuが含有されてい
ない比較例2を対比して明らかなように、両者は同じよ
うに中間層を備えているにもかかわらず、前者は接触抵
抗の上昇が抑制されているが、後者の接触抵抗は大きく
上昇している。これは、表面層を含Snめっき層で形成
したことの効果を立証するものである。
【0103】また、実施例10と比較例6を対比して明
らかなように、両者はいずれも基体と表面層が同じであ
るにもかかわらず、中間層が介在している実施例10は
表面状態は良好でかつ接触抵抗の上昇が抑制された材料
になっているが、中間層を備えていない比較例6は、S
nはじきが強く起こり、曇りも生じていて製品化が困難
な状態になっている。このようなことから、基体と表面
層の中間には中間層を介在させるべきであることがわか
る。
【0104】(2)また、表面層が含CuSn層であっ
ても、Cu含有量が3重量%よりも多くなると、比較例
5の場合のように、Snはじきや曇りが生じるようにな
るので、Cu含有量は3重量%までと規制すべきであ
る。そのためには、めっき浴におけるCuイオン濃度を
50ppm以下にすべきである。
【0105】そして、Cu含有量が3重量%以下であっ
ても、その厚みが0.4μmになると、比較例8の場合
のように、接触抵抗は上昇してしまう。このようなこと
から、含CuSn層から成る表面層の厚みは0.5μm
以上にすべきであることがわかる。
【0106】(3)表6,表7から明らかなように、本
発明の材料はいずれもはんだ接合部における接合強度の
劣化率が小さく、接合信頼性の高い材料になっている。
【0107】とくに、表面層をSn−Ag系やSn−B
i系で構成したもの(実施例26,28)や表面層と基
体との間にNiめっき層を下層としその上にAg層を積
層して成る中間層を介在させたもの(実施例29)は、
他の実施例の材料に比べて接合強度の劣化率が一段と小
さくなっていて好適である。
【0108】(4)また表8から明らかなように、表面
層を含CuSn層とSn−Ag系またはSn−Bi系の
含CuSn合金層の2層構造にし、かつ全体に加熱処理
を施すと、実施例32,34の場合のように、はんだ接
合部における接合強度の劣化は一層小さくなって好適で
ある。
【0109】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
材料は、SnまたはSn合金層にPbを含まないので環
境に悪影響を及ぼすことはなく、また、はんだ付けした
ときの接合部における接合強度の劣化は小さく、耐熱性
に優れた材料になっている。したがって、この材料は、
各種の電気・電子部品用の材料とりわけ半導体装置に用
いるリード材料や、端子,コネクタ,スイッチなどのコ
ンタクト材料として、それを用いた各部品もまたその工
業的価値は大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の材料Aの層構造を示す断面図である。
【図2】本発明の別の材料A1の層構造を示す断面図で
ある。
【図3】本発明の別の材料A2の層構造を示す断面図で
ある。
【図4】本発明の別の材料A3の層構造を示す断面図で
ある。
【図5】本発明の別の材料A4の層構造を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
1 基体 2 中間層 2A Cu層 2B Ni層またはNi合金層 2C Ag層 3 表面層(含CuSn層または含CuSn合金層)

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも表面がCuまたはCu合金か
    ら成る基体の前記表面に、Cu層,NiもしくはNi合
    金層またはAg層を少なくとも1層有する中間層を介し
    て、Cu含有量が0.1〜3重量%である厚み0.5〜2
    0μmのSn層またはSn合金層から成る表面層が形成
    されていることを特徴とする電気・電子部品用材料。
  2. 【請求項2】 前記基体の表面に、厚み0.1〜1μm
    のNiもしくはNi合金層と厚み0.003〜0.5μm
    相当のAg層とがこの順序で積層され、前記Ag層の上
    には前記表面層が形成されている請求項1の電気・電子
    部品用材料。
  3. 【請求項3】 前記表面層のSn合金が、Sn−Ag系
    合金またはSn−Bi系合金である請求項1または2の
    電気・電子部品用材料。
  4. 【請求項4】 前記表面層が加熱処理またはリフロー処
    理された層である請求項1から3のいずれかの電気・電
    子部品用材料。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかの電気・電子部
    品用材料を用いたことを特徴とする電気・電子部品。
  6. 【請求項6】 Cuめっき浴,Niめっき浴,Ni合金
    めっき浴,Agめっき浴、およびBiめっき浴の群から
    選ばれる少なくとも1種を用いて、少なくとも表面がC
    uまたはCu合金から成る基体に電気めっきを行ったの
    ち、更に、いずれもCuイオンを0.2〜50ppm含有す
    るSnめっき浴またはSn合金めっき浴を用いて電気め
    っきを行うことを特徴とする電気・電子部品用材料の製
    造方法。
  7. 【請求項7】 前記2回目の電気めっきを行ったのち
    に、得られた材料に、加熱処理またはリフロー処理を施
    す請求項6の電気・電子部品用材料の製造方法。
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