JPH11351806A - ブリッジ構造の座標測定装置 - Google Patents
ブリッジ構造の座標測定装置Info
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- JPH11351806A JPH11351806A JP11131174A JP13117499A JPH11351806A JP H11351806 A JPH11351806 A JP H11351806A JP 11131174 A JP11131174 A JP 11131174A JP 13117499 A JP13117499 A JP 13117499A JP H11351806 A JPH11351806 A JP H11351806A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度変動が大きいときに、ブリッジを移動自
在に支承する側面部分が異なる率で膨張し、ガイド部が
正確に水平方向にアライメントされなくなってしまうと
いう従来の欠点を防止した、測定台の上に掛け渡された
ブリッジが測定台の両側にある２つのガイド部に沿って
案内されるブリッジ構造の座標測定装置を提供する。 【解決手段】 座標測定装置の温度の上がり方に相違が
あるために起こる測定誤差を回避するために、本発明に
よれば、熱膨張率の小さい支持部材（１７ａ〜ｄ）の上
にガイド部（７，８）を載せ且つ支持部材を支持体
（５，１１，１２）に埋め込む。
在に支承する側面部分が異なる率で膨張し、ガイド部が
正確に水平方向にアライメントされなくなってしまうと
いう従来の欠点を防止した、測定台の上に掛け渡された
ブリッジが測定台の両側にある２つのガイド部に沿って
案内されるブリッジ構造の座標測定装置を提供する。 【解決手段】 座標測定装置の温度の上がり方に相違が
あるために起こる測定誤差を回避するために、本発明に
よれば、熱膨張率の小さい支持部材（１７ａ〜ｄ）の上
にガイド部（７，８）を載せ且つ支持部材を支持体
（５，１１，１２）に埋め込む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定台の上に掛け
渡されたブリッジが測定台の両側にある２つのガイド部
に沿って案内されるブリッジ構造の座標測定装置に関す
る。
渡されたブリッジが測定台の両側にある２つのガイド部
に沿って案内されるブリッジ構造の座標測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】この種の座標測定装置は既に以前から知
られている。座標測定装置は、通常、測定台の両側に、
測定台より背の高い側面部分をそれぞれ有し、測定台の
上に掛け渡されたブリッジはそれらの側面部分に沿って
水平方向に移動自在に案内される。さらに、ブリッジに
沿って、いわゆる横方向キャリッジが第２の水平座標方
向に移動自在に案内され、横方向キャリッジ自体は支柱
を第３の座標方向に垂直に移動自在に案内する。支柱の
下端部には、測定台の上に固定された工作物を測定する
ことができるスキャナがある。
られている。座標測定装置は、通常、測定台の両側に、
測定台より背の高い側面部分をそれぞれ有し、測定台の
上に掛け渡されたブリッジはそれらの側面部分に沿って
水平方向に移動自在に案内される。さらに、ブリッジに
沿って、いわゆる横方向キャリッジが第２の水平座標方
向に移動自在に案内され、横方向キャリッジ自体は支柱
を第３の座標方向に垂直に移動自在に案内する。支柱の
下端部には、測定台の上に固定された工作物を測定する
ことができるスキャナがある。
【０００３】このようなブリッジ形測定装置は、他の、
良く使用されている座標測定装置、たとえば、門形測定
装置又はスタンド形測定装置とは異なり、ガイド部が明
らかに測定台の上方に位置しているために、ガイド部が
相対的に汚れにくいという特別の利点を有する。ブリッ
ジ構造の座標測定装置は、このような特性を備えている
ため、構成上、たとえば、仕上げ作業の場合のような加
工の条件であるときに特に利用されるように構想されて
いる。
良く使用されている座標測定装置、たとえば、門形測定
装置又はスタンド形測定装置とは異なり、ガイド部が明
らかに測定台の上方に位置しているために、ガイド部が
相対的に汚れにくいという特別の利点を有する。ブリッ
ジ構造の座標測定装置は、このような特性を備えている
ため、構成上、たとえば、仕上げ作業の場合のような加
工の条件であるときに特に利用されるように構想されて
いる。
【０００４】しかし、このような特別の利点があるにも
かかわらず、ブリッジ構造の座標測定装置はほとんど使
用されていない。それは、温度変動が大きいときに、ブ
リッジを移動自在に支承する側面部分が異なる率で膨張
し、その結果、ガイド部が正確に水平方向にアライメン
トされなくなってしまうことが実際に判明しているから
である。それが、著しく大きな測定誤差をもたらす可能
性もある。
かかわらず、ブリッジ構造の座標測定装置はほとんど使
用されていない。それは、温度変動が大きいときに、ブ
リッジを移動自在に支承する側面部分が異なる率で膨張
し、その結果、ガイド部が正確に水平方向にアライメン
トされなくなってしまうことが実際に判明しているから
である。それが、著しく大きな測定誤差をもたらす可能
性もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、先に指摘した測定誤差を回避することができるブリ
ッジ構造の座標測定装置を提供することである。
は、先に指摘した測定誤差を回避することができるブリ
ッジ構造の座標測定装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、測定台の上に
掛け渡されたブリッジが測定台の両側にある２つのガイ
ド部に沿って案内されるブリッジ構造の座標測定装置で
あって、ガイド部は、小さな熱膨張率を有する支持部材
の上に載っており、支持部材は少なくとも１つの熱絶縁
性支持体内に配設されていることを特徴とする。
掛け渡されたブリッジが測定台の両側にある２つのガイ
ド部に沿って案内されるブリッジ構造の座標測定装置で
あって、ガイド部は、小さな熱膨張率を有する支持部材
の上に載っており、支持部材は少なくとも１つの熱絶縁
性支持体内に配設されていることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明を実施形態に基づいて
説明するが、本実施形態の基礎となる考えは、ブリッジ
を案内するためのガイド部が熱膨張率の小さい支持部材
の上に載っており、且つその支持部材は少なくとも１つ
の熱絶縁性支持体に配設されていることの中に認められ
るべきである。
説明するが、本実施形態の基礎となる考えは、ブリッジ
を案内するためのガイド部が熱膨張率の小さい支持部材
の上に載っており、且つその支持部材は少なくとも１つ
の熱絶縁性支持体に配設されていることの中に認められ
るべきである。
【０００８】熱膨張率の小さい支持部材を使用すること
により、座標測定装置が設置されている室内の温度差が
大きい場合であっても、各々の支持部材の線膨張の差は
ごく小さく抑えられるので、ガイド部は常にほぼ水平に
アライメントされたままである。支持部材を熱絶縁され
た支持体内に配置すれば、支持部材は支持体によってさ
らに熱絶縁されることになるため、特に座標測定装置が
相対的にゆっくりと加熱又は冷却され、従って、支持部
材の温度差が小さいときには、測定誤差も同様に著しく
大きく減少させることができる。
により、座標測定装置が設置されている室内の温度差が
大きい場合であっても、各々の支持部材の線膨張の差は
ごく小さく抑えられるので、ガイド部は常にほぼ水平に
アライメントされたままである。支持部材を熱絶縁され
た支持体内に配置すれば、支持部材は支持体によってさ
らに熱絶縁されることになるため、特に座標測定装置が
相対的にゆっくりと加熱又は冷却され、従って、支持部
材の温度差が小さいときには、測定誤差も同様に著しく
大きく減少させることができる。
【０００９】この場合、熱絶縁性支持体は一連の異なる
材料から製造できる。たとえば、花崗岩のブロックを使
用することができるが、たとえば、コンクリート又は特
にポリマーコンクリートのような鉱物型枠成形物で支持
体を製造すると特に有利である。鉱物型枠成形物は、熱
絶縁特性の他に、さらに付加的に利用される特に有利な
一連の特性を有する。たとえば、鉱物型枠成形物では、
家内工業の場合と同じように、支持体を製造するときに
内部に中空の管を成形し、その内部に電気導線や圧縮空
気導管を簡単に通すことができる。それに加えて、鉱物
型枠成形物や、特にポリマーコンクリートは、言うまで
もなく測定精度及び測定速度に有利な効果をもたらすす
ぐれた振動緩衝特性を有する。
材料から製造できる。たとえば、花崗岩のブロックを使
用することができるが、たとえば、コンクリート又は特
にポリマーコンクリートのような鉱物型枠成形物で支持
体を製造すると特に有利である。鉱物型枠成形物は、熱
絶縁特性の他に、さらに付加的に利用される特に有利な
一連の特性を有する。たとえば、鉱物型枠成形物では、
家内工業の場合と同じように、支持体を製造するときに
内部に中空の管を成形し、その内部に電気導線や圧縮空
気導管を簡単に通すことができる。それに加えて、鉱物
型枠成形物や、特にポリマーコンクリートは、言うまで
もなく測定精度及び測定速度に有利な効果をもたらすす
ぐれた振動緩衝特性を有する。
【００１０】支持部材の材料としては、基本的に、一連
の様々な材料が考えられる。たとえば、ＣＦＫ管から成
る支持部材が考えられるであろうが、今日の技術によれ
ば、このＣＦＫ管は０μｍ／（℃ｍ）の熱線膨張係数を
有することがわかっている。あるいは、支持部材を、た
とえば、同様に非常に小さな熱線膨張係数を有するＺｅ
ｒｏｄｕｒから製造しても良い。しかし、少なくとも支
持部材の一部については、材料として、たとえば、約
１．５μｍ／（℃ｍ）の熱線膨張係数を有するインバー
鋼を使用すると特に有利であることがわかっている。
の様々な材料が考えられる。たとえば、ＣＦＫ管から成
る支持部材が考えられるであろうが、今日の技術によれ
ば、このＣＦＫ管は０μｍ／（℃ｍ）の熱線膨張係数を
有することがわかっている。あるいは、支持部材を、た
とえば、同様に非常に小さな熱線膨張係数を有するＺｅ
ｒｏｄｕｒから製造しても良い。しかし、少なくとも支
持部材の一部については、材料として、たとえば、約
１．５μｍ／（℃ｍ）の熱線膨張係数を有するインバー
鋼を使用すると特に有利であることがわかっている。
【００１１】支持体は支持部材より著しく高い熱線膨張
係数を有しているので、支持部材は支持体に対して垂直
方向に移動自在とすべきであろう。これは、たとえば、
支持体である花崗岩ブロックに適切な孔を形成し、それ
らの孔の中にそれぞれ支持部材を配置することにより実
現できる。特に有利な鉱物型枠成形物を使用すると、支
持部材を直接に鉱物型枠成形物の中に埋め込むのではな
く、まず、たとえば、円形又は方形の横断面を有する管
を鉱物型枠成形物の中に埋め込み、その後、硬化した鉱
物型枠成形物、すなわち、支持体の中に入った各々の管
の中に支持部材を配置することにより、垂直方向の可動
性を確保できる。
係数を有しているので、支持部材は支持体に対して垂直
方向に移動自在とすべきであろう。これは、たとえば、
支持体である花崗岩ブロックに適切な孔を形成し、それ
らの孔の中にそれぞれ支持部材を配置することにより実
現できる。特に有利な鉱物型枠成形物を使用すると、支
持部材を直接に鉱物型枠成形物の中に埋め込むのではな
く、まず、たとえば、円形又は方形の横断面を有する管
を鉱物型枠成形物の中に埋め込み、その後、硬化した鉱
物型枠成形物、すなわち、支持体の中に入った各々の管
の中に支持部材を配置することにより、垂直方向の可動
性を確保できる。
【００１２】ブリッジ機構を稼動させるときには横方向
の力とモーメントも発生する。たとえば、横方向キャリ
ッジをブリッジに沿って加速すると、その結果、横方向
の力が発生する。ブリッジの全体を加速すれば、その結
果、モーメントが発生する。それは、駆動装置が座標測
定装置の一方の側にだけ装着されているからである。こ
のような横方向の力とモーメントは支持部材によって吸
収されなければならないと考えられるのであるが、実際
には、支持部材の直径が小さく、細長い構造であるため
に、横方向の力とモーメントは支持部材を非常に大きく
弾性変形させ、それに伴って、大きな測定誤差を生じさ
せてしまいかねない。
の力とモーメントも発生する。たとえば、横方向キャリ
ッジをブリッジに沿って加速すると、その結果、横方向
の力が発生する。ブリッジの全体を加速すれば、その結
果、モーメントが発生する。それは、駆動装置が座標測
定装置の一方の側にだけ装着されているからである。こ
のような横方向の力とモーメントは支持部材によって吸
収されなければならないと考えられるのであるが、実際
には、支持部材の直径が小さく、細長い構造であるため
に、横方向の力とモーメントは支持部材を非常に大きく
弾性変形させ、それに伴って、大きな測定誤差を生じさ
せてしまいかねない。
【００１３】従って、本実施形態による座標測定装置の
特に有利な発展形態においては、ガイド部の領域で少な
くとも１つの支持部材をコネクタを介して支持部材と結
合する。コネクタは、支持部材を垂直方向に支持体に対
し移動自在に結合すると共に、少なくとも１つの水平方
向には支持体に対し不動であるように結合する。これに
より、支持部材は垂直方向には支持体に対し移動自在の
ままであるが、支持体の横方向の力とモーメントを少な
くとも１つの水平座標方向で吸収することができる。こ
の場合、使用できるコネクタとして、いくつかの異なる
手段が考えられる。たとえば、支持部材に、支持体に設
けた対応する垂直にアライメントされた溝穴に係合する
ピンを固定することが可能であろう。このピンは垂直方
向に溝穴に沿って移動自在であるが、水平の長手方向に
は支持部材は支持体と固定結合されているであろう。し
かし、以下に添付の図面を参照して説明するように、コ
ネクタを金属板を押し抜き又は酸素アセチレンガス切断
し、必要に応じて屈曲させた部材として構成すると、特
に有利である。
特に有利な発展形態においては、ガイド部の領域で少な
くとも１つの支持部材をコネクタを介して支持部材と結
合する。コネクタは、支持部材を垂直方向に支持体に対
し移動自在に結合すると共に、少なくとも１つの水平方
向には支持体に対し不動であるように結合する。これに
より、支持部材は垂直方向には支持体に対し移動自在の
ままであるが、支持体の横方向の力とモーメントを少な
くとも１つの水平座標方向で吸収することができる。こ
の場合、使用できるコネクタとして、いくつかの異なる
手段が考えられる。たとえば、支持部材に、支持体に設
けた対応する垂直にアライメントされた溝穴に係合する
ピンを固定することが可能であろう。このピンは垂直方
向に溝穴に沿って移動自在であるが、水平の長手方向に
は支持部材は支持体と固定結合されているであろう。し
かし、以下に添付の図面を参照して説明するように、コ
ネクタを金属板を押し抜き又は酸素アセチレンガス切断
し、必要に応じて屈曲させた部材として構成すると、特
に有利である。
【００１４】座標測定装置に高い剛性を与えるために、
支持部材をフレーム上に載せると特に有利である。この
場合、相対的に高い剛性を有するべきではあるが、フレ
ームを異なる材料から構成できる。さらに、個々の支持
部材の温度差を相対的に迅速に補償することができるよ
うに、フレームは高い熱伝導率を有していると特に有利
である。これらの特性を実現するために、フレームを金
属から製造すると有利である。この目的のために、フレ
ームは互いに溶接された二重Ｔ字鋼支持体であると特に
有利である。
支持部材をフレーム上に載せると特に有利である。この
場合、相対的に高い剛性を有するべきではあるが、フレ
ームを異なる材料から構成できる。さらに、個々の支持
部材の温度差を相対的に迅速に補償することができるよ
うに、フレームは高い熱伝導率を有していると特に有利
である。これらの特性を実現するために、フレームを金
属から製造すると有利である。この目的のために、フレ
ームは互いに溶接された二重Ｔ字鋼支持体であると特に
有利である。
【００１５】本発明のその他の利点及び発展形態を、図
１から図８を参照して以下にさらに説明する。図１は、
単なる一例として、ブリッジ構造の本発明による座標測
定装置の実施形態を示す。この実施形態では、座標測定
装置１は下部構造４２を有する。下部構造４２の外面
は、一般に、３つの領域、すなわち、側面部分１１、１
２と、土台部分５とを含む、たとえば、ポリマーコンク
リートなどの熱絶縁性の部材で成形された支持体５，１
１，１２を有する。土台部分５はダンパー１３ａ〜ｄを
介して床面に支承されている。支持体５，１１，１２の
中央には、たとえば、測定テーブルの形態をとる測定台
６があり、図１には詳細に示されていないが、測定すべ
き工作物をこの測定台６の上に固定することができる。
支持体５，１１，１２の側面部分１１，１２には支持部
材（図１には図示せず）が配設され、それらの支持部材
にガイド部７，８が固定されている。その詳細について
は、構造をさらに詳細に示す図２以降を参照して以下に
説明する。ガイド部７，８に沿って、測定台６の上に掛
け渡されたブリッジ２が移動自在に案内される。この目
的のために、ブリッジ２は空気軸受１０を介してガイド
部７の上に載っている。その反対側にはホルダ３３が設
けられており、ホルダ３３の前部領域は図示した３つの
空気軸受９ａ〜ｃを介してガイド部８上に載置又は当接
され、後部領域も３つの空気軸受（図示せず）を介して
ガイド部８上に載置又は当接されている。さらに、摩擦
円板駆動装置１４がホルダ３３と結合している。摩擦円
板駆動装置１４は、一般に、対応する摩擦円板を駆動す
る電動機を有する。摩擦円板は、支持体５，１１，１２
に掛け渡されたベルトから形成される走行面１５に直接
に当接し、電動機が動作すると、この摩擦円板の動きに
よってブリッジ２が動く。また、ガイド部８の下方に
は、光学的に走査可能な目盛（図示せず）が設けられて
おり、ホルダ３３に固定された光学走査ヘッド（同様に
図示せず）によりこの目盛を走査して、ガイド部８の方
向のブリッジ２の正確な位置を継続的に検出し、評価す
ることができる。以上説明したメカニズムを介して、ブ
リッジ２は矢印（Ｙ）に沿った第１の水平座標方向に走
行でき、該当する方向のブリッジ２の実際の位置を絶え
ず走査することができる。
１から図８を参照して以下にさらに説明する。図１は、
単なる一例として、ブリッジ構造の本発明による座標測
定装置の実施形態を示す。この実施形態では、座標測定
装置１は下部構造４２を有する。下部構造４２の外面
は、一般に、３つの領域、すなわち、側面部分１１、１
２と、土台部分５とを含む、たとえば、ポリマーコンク
リートなどの熱絶縁性の部材で成形された支持体５，１
１，１２を有する。土台部分５はダンパー１３ａ〜ｄを
介して床面に支承されている。支持体５，１１，１２の
中央には、たとえば、測定テーブルの形態をとる測定台
６があり、図１には詳細に示されていないが、測定すべ
き工作物をこの測定台６の上に固定することができる。
支持体５，１１，１２の側面部分１１，１２には支持部
材（図１には図示せず）が配設され、それらの支持部材
にガイド部７，８が固定されている。その詳細について
は、構造をさらに詳細に示す図２以降を参照して以下に
説明する。ガイド部７，８に沿って、測定台６の上に掛
け渡されたブリッジ２が移動自在に案内される。この目
的のために、ブリッジ２は空気軸受１０を介してガイド
部７の上に載っている。その反対側にはホルダ３３が設
けられており、ホルダ３３の前部領域は図示した３つの
空気軸受９ａ〜ｃを介してガイド部８上に載置又は当接
され、後部領域も３つの空気軸受（図示せず）を介して
ガイド部８上に載置又は当接されている。さらに、摩擦
円板駆動装置１４がホルダ３３と結合している。摩擦円
板駆動装置１４は、一般に、対応する摩擦円板を駆動す
る電動機を有する。摩擦円板は、支持体５，１１，１２
に掛け渡されたベルトから形成される走行面１５に直接
に当接し、電動機が動作すると、この摩擦円板の動きに
よってブリッジ２が動く。また、ガイド部８の下方に
は、光学的に走査可能な目盛（図示せず）が設けられて
おり、ホルダ３３に固定された光学走査ヘッド（同様に
図示せず）によりこの目盛を走査して、ガイド部８の方
向のブリッジ２の正確な位置を継続的に検出し、評価す
ることができる。以上説明したメカニズムを介して、ブ
リッジ２は矢印（Ｙ）に沿った第１の水平座標方向に走
行でき、該当する方向のブリッジ２の実際の位置を絶え
ず走査することができる。
【００１６】これと全く同様に、横方向キャリッジ３４
も空気軸受（図示せず）を介してブリッジ２に移動自在
に支承されており、そのため、横方向キャリッジ３４は
第２の方向、この実施形態では矢印（Ｘ）により指示さ
れる方向に走行できる。また、横方向キャリッジ３４の
実際の位置も、同様にブリッジ２に固定された目盛３７
と、横方向キャリッジ３４に固定された光学走査ヘッド
４０とを介して検出できる。横方向キャリッジ３４は、
ブリッジ２の背面に配設されたベルト駆動装置を介して
走行することができる。この実施形態では正方形の横断
面を有する支柱３も、その４つの外面の全てで、合わせ
て８つの空気軸受３５ａ〜ｄ及び３６ａ〜ｄ（図１に
は、３５ｃ〜ｄ，３６ｃ〜ｄは示されていない）を介し
て移動自在に支承されている。支柱３は摩擦円板駆動装
置４１を介して駆動可能であり、横方向キャリッジ３４
に固定された目盛３８を支柱に固定された光学走査ヘッ
ド３９で走査することによって、支柱の正確な位置を知
ることができる。すなわち、支柱３は（Ｚ）により指示
される方向、従って、垂直の第３の座標方向に走行する
ことができる。
も空気軸受（図示せず）を介してブリッジ２に移動自在
に支承されており、そのため、横方向キャリッジ３４は
第２の方向、この実施形態では矢印（Ｘ）により指示さ
れる方向に走行できる。また、横方向キャリッジ３４の
実際の位置も、同様にブリッジ２に固定された目盛３７
と、横方向キャリッジ３４に固定された光学走査ヘッド
４０とを介して検出できる。横方向キャリッジ３４は、
ブリッジ２の背面に配設されたベルト駆動装置を介して
走行することができる。この実施形態では正方形の横断
面を有する支柱３も、その４つの外面の全てで、合わせ
て８つの空気軸受３５ａ〜ｄ及び３６ａ〜ｄ（図１に
は、３５ｃ〜ｄ，３６ｃ〜ｄは示されていない）を介し
て移動自在に支承されている。支柱３は摩擦円板駆動装
置４１を介して駆動可能であり、横方向キャリッジ３４
に固定された目盛３８を支柱に固定された光学走査ヘッ
ド３９で走査することによって、支柱の正確な位置を知
ることができる。すなわち、支柱３は（Ｚ）により指示
される方向、従って、垂直の第３の座標方向に走行する
ことができる。
【００１７】支柱の下端部には単なる一例としていわゆ
る測定用走査ヘッド４３が装着されており、このヘッド
にスキャナ４を交換自在に取り付けることができる。こ
の場合、測定用走査ヘッド４３は３つの座標方向（Ｘ，
Ｙ，Ｚ）におけるスキャナ４の変位を検出する。工作物
を走査するとき、スキャナ４の休止位置からの変位と、
３つの座標方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）におけるブリッジ機構の
目盛で走査された位置とに基づいて、工作物上の走査す
べき点の正確な位置を測定することができる。
る測定用走査ヘッド４３が装着されており、このヘッド
にスキャナ４を交換自在に取り付けることができる。こ
の場合、測定用走査ヘッド４３は３つの座標方向（Ｘ，
Ｙ，Ｚ）におけるスキャナ４の変位を検出する。工作物
を走査するとき、スキャナ４の休止位置からの変位と、
３つの座標方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）におけるブリッジ機構の
目盛で走査された位置とに基づいて、工作物上の走査す
べき点の正確な位置を測定することができる。
【００１８】図１に示す座標測定装置に関して、ここ
で、これがいうまでもなく単なる一例であるということ
を今一度明示して説明しておくべきであろう。測定用走
査ヘッドの代わりに、たとえば、スキャナ４がその休止
位置から変位するたびに、直ちに走査パルスを発生する
スイッチング走査ヘッドを使用することも可能であるの
はいうまでもない。光学走査ヘッドについても同じこと
がいえるのはもちろんである。たとえば、図示した駆動
装置の代わりに、スピンドル駆動装置など又は滑り軸
受、ころ軸受などを使用できる。
で、これがいうまでもなく単なる一例であるということ
を今一度明示して説明しておくべきであろう。測定用走
査ヘッドの代わりに、たとえば、スキャナ４がその休止
位置から変位するたびに、直ちに走査パルスを発生する
スイッチング走査ヘッドを使用することも可能であるの
はいうまでもない。光学走査ヘッドについても同じこと
がいえるのはもちろんである。たとえば、図示した駆動
装置の代わりに、スピンドル駆動装置など又は滑り軸
受、ころ軸受などを使用できる。
【００１９】次に、図２から図８を参照して、特に下部
構造４２の本発明による構造をさらに詳細に説明する。
図２は、図１に示す座標測定装置の骨組みを最も広い意
味で示す。図２には、一部が図１の支持体５，１１，１
２に全て配置されている本質的な構成要素が示されてい
る。図２からわかるように、ガイド部７，８は支持部材
１７ａ〜ｄの上に載っており、支持部材１７ａ〜ｄの下
端部には支持軸受１９ａ〜ｄがあり、以下にさらに詳細
に説明するように、支持部材１７ａ〜ｄは支持軸受１９
ａ〜ｄを介して傾斜自在にフレーム１６に支承されてい
る。この場合、フレーム１６は、輪郭が適切な矩形とな
るように一体に溶接された４つの二重Ｔ字鋼支持体から
構成されている。冒頭に述べた通り、このようにして製
造されたフレームは支持体５，１１，１２の土台部分５
に直接に埋め込まれており、支持体を補強すると共に、
特に支持部材１７ａ〜ｄの温度による食い違いを迅速に
補正する働きをする。フレーム１６自体は、ここでは例
として挙げた４つの従来通りの振動ダンパ１３ａ〜ｄを
介して床面に支承されている。言うまでもなく、振動ダ
ンパの数を３つ又は５つ以上にしても差し支えない。
構造４２の本発明による構造をさらに詳細に説明する。
図２は、図１に示す座標測定装置の骨組みを最も広い意
味で示す。図２には、一部が図１の支持体５，１１，１
２に全て配置されている本質的な構成要素が示されてい
る。図２からわかるように、ガイド部７，８は支持部材
１７ａ〜ｄの上に載っており、支持部材１７ａ〜ｄの下
端部には支持軸受１９ａ〜ｄがあり、以下にさらに詳細
に説明するように、支持部材１７ａ〜ｄは支持軸受１９
ａ〜ｄを介して傾斜自在にフレーム１６に支承されてい
る。この場合、フレーム１６は、輪郭が適切な矩形とな
るように一体に溶接された４つの二重Ｔ字鋼支持体から
構成されている。冒頭に述べた通り、このようにして製
造されたフレームは支持体５，１１，１２の土台部分５
に直接に埋め込まれており、支持体を補強すると共に、
特に支持部材１７ａ〜ｄの温度による食い違いを迅速に
補正する働きをする。フレーム１６自体は、ここでは例
として挙げた４つの従来通りの振動ダンパ１３ａ〜ｄを
介して床面に支承されている。言うまでもなく、振動ダ
ンパの数を３つ又は５つ以上にしても差し支えない。
【００２０】支持部材１７ａ〜ｄは、以下にさらに詳細
に説明する接続部材２０ａ〜ｄに加えて、支持軸受１９
ａ〜ｄに適切に傾斜自在に支承されているロッド１８ａ
〜ｄを有する。本発明によれば、支持部材１７ａ〜ｄの
熱膨張率は小さいので、支持部材１７ａ〜ｄに温度差が
生じても、線膨張の大きさの差はごくわずかしかなく、
従って、温度差が大きくなった場合でも、ガイド部７，
８はほぼ水平に整列される。先に冒頭に述べた通り、少
なくともロッド１８ａ〜ｄの材料としては、熱膨張率が
約１．５μｍ（℃ｍ）のインバー鋼が特に有利である。
に説明する接続部材２０ａ〜ｄに加えて、支持軸受１９
ａ〜ｄに適切に傾斜自在に支承されているロッド１８ａ
〜ｄを有する。本発明によれば、支持部材１７ａ〜ｄの
熱膨張率は小さいので、支持部材１７ａ〜ｄに温度差が
生じても、線膨張の大きさの差はごくわずかしかなく、
従って、温度差が大きくなった場合でも、ガイド部７，
８はほぼ水平に整列される。先に冒頭に述べた通り、少
なくともロッド１８ａ〜ｄの材料としては、熱膨張率が
約１．５μｍ（℃ｍ）のインバー鋼が特に有利である。
【００２１】先に述べたように、図２に示す骨組みの主
要な部分は支持体５，１１，１２に配設され、フレーム
１６は支持体５，１１，１２の下部の土台部分５に完全
に埋め込まれている。これに対し、支持部材１７ａ〜ｄ
は支持体５，１１，１２に対して垂直方向、すなわち、
図１に矢印（Ｚ）で指示する方向に自在に移動できなけ
ればならないので、支持部材は支持体５，１１，１２に
直接には埋め込まれていない。従って、この場合には一
例としてポリマーコンクリート（先の説明を参照）から
成る支持体に、後に図６から図８に関連してさらに詳細
に説明するように、まず、中空の管２３ａ〜ｄを埋め込
み、支持体５，１１，１２を仕上げた後、その管の中に
支持部材１７ａ〜ｄのロッド１８ａ〜ｄを挿入する。
要な部分は支持体５，１１，１２に配設され、フレーム
１６は支持体５，１１，１２の下部の土台部分５に完全
に埋め込まれている。これに対し、支持部材１７ａ〜ｄ
は支持体５，１１，１２に対して垂直方向、すなわち、
図１に矢印（Ｚ）で指示する方向に自在に移動できなけ
ればならないので、支持部材は支持体５，１１，１２に
直接には埋め込まれていない。従って、この場合には一
例としてポリマーコンクリート（先の説明を参照）から
成る支持体に、後に図６から図８に関連してさらに詳細
に説明するように、まず、中空の管２３ａ〜ｄを埋め込
み、支持体５，１１，１２を仕上げた後、その管の中に
支持部材１７ａ〜ｄのロッド１８ａ〜ｄを挿入する。
【００２２】既に先に説明したように、ブリッジ２及び
横方向キャリッジ３４が動くと（図１を参照）、横方向
の力とモーメントが発生するが、それらは、一般にガイ
ド部８と、いうまでもなくその下方に位置する支持部材
１７ｃ及び１７ｄとによる特別の形態の支承部によって
必ず吸収される。ホルダ３３はＵ字形に形成されてお
り、４つの軸受を介してガイド部８の垂直の側面で支え
られ、その一方で、ガイド部７においては、垂直面に全
く軸受が作用していないので、Ｘ方向及びＹ方向の横方
向力と、Ｚ方向のモーメントとは特にガイド部８に伝達
される。
横方向キャリッジ３４が動くと（図１を参照）、横方向
の力とモーメントが発生するが、それらは、一般にガイ
ド部８と、いうまでもなくその下方に位置する支持部材
１７ｃ及び１７ｄとによる特別の形態の支承部によって
必ず吸収される。ホルダ３３はＵ字形に形成されてお
り、４つの軸受を介してガイド部８の垂直の側面で支え
られ、その一方で、ガイド部７においては、垂直面に全
く軸受が作用していないので、Ｘ方向及びＹ方向の横方
向力と、Ｚ方向のモーメントとは特にガイド部８に伝達
される。
【００２３】しかし、既に先に述べたように、支持部材
１７ａ〜ｄは傾斜自在にフレーム１６に支承されている
ので、Ｘ−Ｙ平面における横方向力とモーメントは支持
部材１７ａ〜ｄにのみ吸収されるため、不都合である。
ところが、支持部材１７ａ〜ｄがフレームと固定結合さ
れていたならば、支持部材１７ａ〜ｄのロッド１８ａ〜
ｄの直径が小さく、ロッドが長いためにロッドは著しく
大きく弾性変形し、その結果、大きな測定誤差が生じる
であろう。
１７ａ〜ｄは傾斜自在にフレーム１６に支承されている
ので、Ｘ−Ｙ平面における横方向力とモーメントは支持
部材１７ａ〜ｄにのみ吸収されるため、不都合である。
ところが、支持部材１７ａ〜ｄがフレームと固定結合さ
れていたならば、支持部材１７ａ〜ｄのロッド１８ａ〜
ｄの直径が小さく、ロッドが長いためにロッドは著しく
大きく弾性変形し、その結果、大きな測定誤差が生じる
であろう。
【００２４】従って、以下に図３及び図４を参照して説
明するように、支持部材はガイド部の領域でコネクタ２
１ａ〜ｄを介して支持体５，１１，１２と結合してお
り、コネクタ２１ａ〜ｄは支持部材を垂直方向、すなわ
ち、図１に矢印（Ｚ）で指示する方向に支持体５，１
１，１２に対し移動自在に結合すると共に、少なくとも
１つの水平方向、すなわち、図１に矢印（Ｘ）及び／又
は（Ｙ）で指示する方向には支持体に対し不動であるよ
うに結合する。
明するように、支持部材はガイド部の領域でコネクタ２
１ａ〜ｄを介して支持体５，１１，１２と結合してお
り、コネクタ２１ａ〜ｄは支持部材を垂直方向、すなわ
ち、図１に矢印（Ｚ）で指示する方向に支持体５，１
１，１２に対し移動自在に結合すると共に、少なくとも
１つの水平方向、すなわち、図１に矢印（Ｘ）及び／又
は（Ｙ）で指示する方向には支持体に対し不動であるよ
うに結合する。
【００２５】図３には、支持体（５，１１，１２）の左
側の側面部分１１を示す。この場合、支持部材１７ａの
接続部材２０ａは、二分割コネクタ２１ａ′及び２１
ａ″を介して、支持部材１７ａの接続部材２０ａが垂直
方向、すなわち、矢印（Ｚ）で指示する方向に支持体
５，１１，１２の側面部分１１に対し移動自在に結合さ
れると同時に、接続部材２０ａが矢印（Ｙ）で指示する
方向にも支持体に対し移動自在に結合されるように、側
面部分１１と結合されている。これに対し、矢印（Ｘ）
で指示する水平方向には、支持部材１７ａから見えるべ
き接続部材２０ａは支持体５，１１，１２に対し不動で
ある。
側の側面部分１１を示す。この場合、支持部材１７ａの
接続部材２０ａは、二分割コネクタ２１ａ′及び２１
ａ″を介して、支持部材１７ａの接続部材２０ａが垂直
方向、すなわち、矢印（Ｚ）で指示する方向に支持体
５，１１，１２の側面部分１１に対し移動自在に結合さ
れると同時に、接続部材２０ａが矢印（Ｙ）で指示する
方向にも支持体に対し移動自在に結合されるように、側
面部分１１と結合されている。これに対し、矢印（Ｘ）
で指示する水平方向には、支持部材１７ａから見えるべ
き接続部材２０ａは支持体５，１１，１２に対し不動で
ある。
【００２６】二分割コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の製
造について、二分割コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の２
つの同一の構造の部品の一方を図５ａを参照して説明す
る。図５ａは、二分割コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の
一方の部品２１ａ′の斜視図である。まず最初に、金属
板に溝穴４７、穴４８及び溝穴４６を押し抜く。その
後、溝穴４６の領域で金属板を直角に曲げる。
造について、二分割コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の２
つの同一の構造の部品の一方を図５ａを参照して説明す
る。図５ａは、二分割コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の
一方の部品２１ａ′の斜視図である。まず最初に、金属
板に溝穴４７、穴４８及び溝穴４６を押し抜く。その
後、溝穴４６の領域で金属板を直角に曲げる。
【００２７】図３からわかるように、コネクタ２１ａ′
及び２１ａ″の取付けは、二分割コネクタ２１ａ′及び
２１ａ″の各部品の溝穴４７にねじ５５を通して、部品
を接続部材２０ａにねじ留めすることにより行われる。
ここで、コネクタの部品は、支持体に対してコネクタ２
１ａ′及び２１ａ″の部品の水平面がmm範囲で離間する
ように調整される。その後、穴４８にねじ５６を通し
て、コネクタの各部品を支持体５，１１，１２にそれぞ
れねじ留めし、固定する。この間隔があるために、コネ
クタ２１ａ′及び２１ａ″の各部品は板ばね状に付勢さ
れることになる。これにより、支持部材１７ａは支持軸
受１９ａの方向に押圧される。さらに、支持部材１７ａ
は支持体５，１１，１２の側面部分１１に対して矢印
（Ｚ）で指示する方向には解放されるので、支持体５，
１１，１２と支持部材１７ａとの温度差に起因する長さ
の差の増減は許容される。これにより、コネクタ２１
ａ′及び２１ａ″は支持部材１７ａを垂直方向に支持体
５，１１，１２に対し移動自在に支承する。コネクタ２
１ａ′及び２１ａ″の２つの部品には溝穴４６が打ち抜
かれているので、コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の垂直
面と、コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の水平面との間の
接続部材２０ａの領域には切り欠きが存在することにな
り、そのため、接続部材２０ａは、Ｙ方向に摺動すると
き、コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の垂直方向にアライ
メントされた部分に対して反り曲がるので、接続部材２
０ａは水平方向、すなわち、ここでは矢印（Ｙ）により
指示する方向に、支持体５，１１，１２に対し移動自在
に支承されることになる。ここでは矢印（Ｘ）により指
示する水平方向にのみ、接続部材２０ａ、従って、支持
部材１７ａは支持体５，１１，１２と固定結合されてい
る。
及び２１ａ″の取付けは、二分割コネクタ２１ａ′及び
２１ａ″の各部品の溝穴４７にねじ５５を通して、部品
を接続部材２０ａにねじ留めすることにより行われる。
ここで、コネクタの部品は、支持体に対してコネクタ２
１ａ′及び２１ａ″の部品の水平面がmm範囲で離間する
ように調整される。その後、穴４８にねじ５６を通し
て、コネクタの各部品を支持体５，１１，１２にそれぞ
れねじ留めし、固定する。この間隔があるために、コネ
クタ２１ａ′及び２１ａ″の各部品は板ばね状に付勢さ
れることになる。これにより、支持部材１７ａは支持軸
受１９ａの方向に押圧される。さらに、支持部材１７ａ
は支持体５，１１，１２の側面部分１１に対して矢印
（Ｚ）で指示する方向には解放されるので、支持体５，
１１，１２と支持部材１７ａとの温度差に起因する長さ
の差の増減は許容される。これにより、コネクタ２１
ａ′及び２１ａ″は支持部材１７ａを垂直方向に支持体
５，１１，１２に対し移動自在に支承する。コネクタ２
１ａ′及び２１ａ″の２つの部品には溝穴４６が打ち抜
かれているので、コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の垂直
面と、コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の水平面との間の
接続部材２０ａの領域には切り欠きが存在することにな
り、そのため、接続部材２０ａは、Ｙ方向に摺動すると
き、コネクタ２１ａ′及び２１ａ″の垂直方向にアライ
メントされた部分に対して反り曲がるので、接続部材２
０ａは水平方向、すなわち、ここでは矢印（Ｙ）により
指示する方向に、支持体５，１１，１２に対し移動自在
に支承されることになる。ここでは矢印（Ｘ）により指
示する水平方向にのみ、接続部材２０ａ、従って、支持
部材１７ａは支持体５，１１，１２と固定結合されてい
る。
【００２８】これに対し、コネクタ２１ｂはコネクタの
第２の変形例を示す。この例では接続部材２０ｂは矢印
（Ｘ及びＹ）で指示する方向にも支持体５，１１，１２
の側面部分１２と固定結合されている。特に、コネクタ
２１ｂの平面図を示す図５ｂから明らかであるように、
コネクタ２１ｂは、２つの長手方向溝穴４４，４５と、
４つの穴４８と、１つの溝穴４９が押し抜かれている金
属板のみを含む。金属板の外側の角部は、穴４８にねじ
５３を通してねじ留めすることにより、支持体５，１
１，１２の側面部分１１に固定されており、コネクタ
は、２つの溝穴の内側では、ロッド１７ｂと接続部材２
０ｂの下部２４ｂとの間でねじ２５ｂ及び２６ｂにより
クランプされている（図７を参照）。穴４９は、ねじ２
５ｂ，２６ｂを通すためのものである。支持部材１７ｂ
と支持体５，１１，１２も、同様に、ねじ５３を締め付
けた後（コネクタ２１ｂを支持部材１７ｂに固定した
後）にコネクタ２１ｂが板ばね状に付勢されるように、
互いに離間すべく寸法を定められている。接続部材２０
ｃが支持体５，１１，１２の側面部分１２に対して動く
と、コネクタ２１ｂは溝穴４４，４５によって反り曲が
るので、接続部材２０ｂは垂直方向、すなわち、矢印
（Ｚ）で指示する方向に、支持体５，１１，１２に対し
て移動自在である。水平面では、すなわち、（Ｘ）で指
示する方向並びに（Ｙ）で指示する方向には、接続部材
２０ｃ、従って、支持部材１７ｃは支持体５，１１，１
２と固定結合されている。
第２の変形例を示す。この例では接続部材２０ｂは矢印
（Ｘ及びＹ）で指示する方向にも支持体５，１１，１２
の側面部分１２と固定結合されている。特に、コネクタ
２１ｂの平面図を示す図５ｂから明らかであるように、
コネクタ２１ｂは、２つの長手方向溝穴４４，４５と、
４つの穴４８と、１つの溝穴４９が押し抜かれている金
属板のみを含む。金属板の外側の角部は、穴４８にねじ
５３を通してねじ留めすることにより、支持体５，１
１，１２の側面部分１１に固定されており、コネクタ
は、２つの溝穴の内側では、ロッド１７ｂと接続部材２
０ｂの下部２４ｂとの間でねじ２５ｂ及び２６ｂにより
クランプされている（図７を参照）。穴４９は、ねじ２
５ｂ，２６ｂを通すためのものである。支持部材１７ｂ
と支持体５，１１，１２も、同様に、ねじ５３を締め付
けた後（コネクタ２１ｂを支持部材１７ｂに固定した
後）にコネクタ２１ｂが板ばね状に付勢されるように、
互いに離間すべく寸法を定められている。接続部材２０
ｃが支持体５，１１，１２の側面部分１２に対して動く
と、コネクタ２１ｂは溝穴４４，４５によって反り曲が
るので、接続部材２０ｂは垂直方向、すなわち、矢印
（Ｚ）で指示する方向に、支持体５，１１，１２に対し
て移動自在である。水平面では、すなわち、（Ｘ）で指
示する方向並びに（Ｙ）で指示する方向には、接続部材
２０ｃ、従って、支持部材１７ｃは支持体５，１１，１
２と固定結合されている。
【００２９】図４は、支持体５，１１，１２の右側の側
面部分１２を示す。図４からわかるように、図示した支
持部材１７ｄの接続部材２０ｄはコネクタ２１ａ′及び
２１ａ″と同形のコネクタ２１ｄ′及び２１ｄ″と結合
しており、支持部材１７ｃの接続部材２０ｃはコネクタ
２１ｃと同形のコネクタ２１ａと結合している。従っ
て、これにより、接続部材２０ｄ、ひいては支持部材１
７ｄは矢印（Ｙ及びＺ）で指示する方向に移動自在に支
持体と結合しており、支持部材１７ｄは（Ｘ）で指示す
る方向に支持体５，１１，１２の側面部分１２と固定結
合されている。さらに、接続部材２０ｃ、従って、支持
部材１７ｃは矢印（Ｚ）で指示する方向に支持体と移動
自在に結合しており、指示部材１７ｃは（Ｘ及びＹ）で
指示される方向に支持体５，１１，１２の側面部分１２
と固定結合されている。
面部分１２を示す。図４からわかるように、図示した支
持部材１７ｄの接続部材２０ｄはコネクタ２１ａ′及び
２１ａ″と同形のコネクタ２１ｄ′及び２１ｄ″と結合
しており、支持部材１７ｃの接続部材２０ｃはコネクタ
２１ｃと同形のコネクタ２１ａと結合している。従っ
て、これにより、接続部材２０ｄ、ひいては支持部材１
７ｄは矢印（Ｙ及びＺ）で指示する方向に移動自在に支
持体と結合しており、支持部材１７ｄは（Ｘ）で指示す
る方向に支持体５，１１，１２の側面部分１２と固定結
合されている。さらに、接続部材２０ｃ、従って、支持
部材１７ｃは矢印（Ｚ）で指示する方向に支持体と移動
自在に結合しており、指示部材１７ｃは（Ｘ及びＹ）で
指示される方向に支持体５，１１，１２の側面部分１２
と固定結合されている。
【００３０】支持軸受１９ａ〜ｄ（図２を参照）の詳細
な構造を図６を参照してさらに詳細に説明する。図６に
は、図２の骨組みの一部が断面図で示されており、図６
に示す部分は支持軸受１９ｂを含む。図６からわかるよ
うに、支持軸受はフレーム１６の上に載っており、ねじ
５１ａ，５１ｂを介してフレーム１６に固定されてい
る。支持軸受の内部には、支持部材１７ｂ又はロッド１
８ｂの面取り端部が当接する円錐形の受け台が設けられ
ている。そのように構成された支持受けを介して支持部
材１７ｂは傾斜自在にフレーム１６に支承されており、
そのため、座標測定装置を取り付けるときに、支持部材
１７ｂが厳密に垂直に立つまで、支持部材１７ｂを問題
なくアライメントすることができる。さらに、 図６に
は、図２には示されていない管２３ｂも明示されてお
り、支持体５，１１，１２を成形した後に、支持部材１
７ｂのロッド１８ｂを管２３ｂの中に挿入する。図６か
ら明らかであるように、支持体を成形するためには、少
なくともフレーム１６、ダンパ１３ａ〜ｄ、支持軸受１
９ａ〜ｄ並びに管２３ａ〜ｄ（図６には管２３ｂのみを
示す）をポリマーコンクリート型の中に配置して、そこ
で支持体を成形しなければならない。
な構造を図６を参照してさらに詳細に説明する。図６に
は、図２の骨組みの一部が断面図で示されており、図６
に示す部分は支持軸受１９ｂを含む。図６からわかるよ
うに、支持軸受はフレーム１６の上に載っており、ねじ
５１ａ，５１ｂを介してフレーム１６に固定されてい
る。支持軸受の内部には、支持部材１７ｂ又はロッド１
８ｂの面取り端部が当接する円錐形の受け台が設けられ
ている。そのように構成された支持受けを介して支持部
材１７ｂは傾斜自在にフレーム１６に支承されており、
そのため、座標測定装置を取り付けるときに、支持部材
１７ｂが厳密に垂直に立つまで、支持部材１７ｂを問題
なくアライメントすることができる。さらに、 図６に
は、図２には示されていない管２３ｂも明示されてお
り、支持体５，１１，１２を成形した後に、支持部材１
７ｂのロッド１８ｂを管２３ｂの中に挿入する。図６か
ら明らかであるように、支持体を成形するためには、少
なくともフレーム１６、ダンパ１３ａ〜ｄ、支持軸受１
９ａ〜ｄ並びに管２３ａ〜ｄ（図６には管２３ｂのみを
示す）をポリマーコンクリート型の中に配置して、そこ
で支持体を成形しなければならない。
【００３１】次に、支持部材１７ｂの接続部材２０ｂを
図７を参照してさらに詳細に説明する。図７は、図１の
座標測定装置１の一部の断面図を示し、接続部材２０ｂ
が切り取られている。図７から明らかであるように、接
続部材２０ｂは下部２４ｂと、上部２９ｂと、下部２４
ｂと上部２９ｂとの間に位置するリング３０ｂとを有す
る。リング３０ｂと下部２４ｂの双方には、互いに当接
する傾斜面が設けられている。リング３０ｂには２つの
ねじ山もさらに形成されており、それらのねじ山にねじ
２７ｂ及び２８ｂをそれぞれ係合させることができる。
ねじ２７ｂ，２８ｂの調整によって、リング３０ｂを水
平方向にねじの軸に沿って調整することができる。リン
グ３０ｂがねじ２７ｂの方向にあれば、傾斜面に従って
上部２９ｂは下部２４ｂに対して下がる。これに対し、
リング３０ｂがねじ２８ｂの方向に摺動すると、傾斜面
に従って上部２９ｂは下部２４ｂに対して持ち上がる。
この機構を備えているのは支持部材１７ｂ、すなわち、
その接続部材２０ｂのみであるので、少なくとも１つの
支持部材は高さ調整手段２４ｂ，２７ｂ，２８ｂ，３０
ｂを介して高さ調整可能であり、高さ調整手段としては
調整自在のウェッジが使用されている。ここで、下部は
ねじ２５ｂ，２６ｂを介してロッド１８ｂに固定されて
おり、先に既に述べたように、下部とロッド１８ｂとの
間にはコネクタ２１ｂがクランプされている。
図７を参照してさらに詳細に説明する。図７は、図１の
座標測定装置１の一部の断面図を示し、接続部材２０ｂ
が切り取られている。図７から明らかであるように、接
続部材２０ｂは下部２４ｂと、上部２９ｂと、下部２４
ｂと上部２９ｂとの間に位置するリング３０ｂとを有す
る。リング３０ｂと下部２４ｂの双方には、互いに当接
する傾斜面が設けられている。リング３０ｂには２つの
ねじ山もさらに形成されており、それらのねじ山にねじ
２７ｂ及び２８ｂをそれぞれ係合させることができる。
ねじ２７ｂ，２８ｂの調整によって、リング３０ｂを水
平方向にねじの軸に沿って調整することができる。リン
グ３０ｂがねじ２７ｂの方向にあれば、傾斜面に従って
上部２９ｂは下部２４ｂに対して下がる。これに対し、
リング３０ｂがねじ２８ｂの方向に摺動すると、傾斜面
に従って上部２９ｂは下部２４ｂに対して持ち上がる。
この機構を備えているのは支持部材１７ｂ、すなわち、
その接続部材２０ｂのみであるので、少なくとも１つの
支持部材は高さ調整手段２４ｂ，２７ｂ，２８ｂ，３０
ｂを介して高さ調整可能であり、高さ調整手段としては
調整自在のウェッジが使用されている。ここで、下部は
ねじ２５ｂ，２６ｂを介してロッド１８ｂに固定されて
おり、先に既に述べたように、下部とロッド１８ｂとの
間にはコネクタ２１ｂがクランプされている。
【００３２】図８も、同様に、図１に示す座標測定装置
１の一部の断面図であり、接続部分２０ｂが切り取られ
ている。図８に示す部分は、図７に対して９０°回転さ
れた状態にある。図８から明らかであるように、リング
３０ｂは実質的に下部２４ｂに当接しており、下部２４
ｂは中央部にのみ、ねじ２５ｂ，２６ｂを受け入れるた
めの溝穴を有しているので、その領域ではリング３０ｂ
は下部２４ｂに当接しない。ねじ２５ｂ，２６ｂを締め
付けることにより、リング３０ｂを固定できる。あるい
は、接続部材２０ｂに残っている空隙に、リング３０ｂ
を適切に調整した後に、注入口５２から接着剤を満たす
こともでき、それにより、選択された調整位置が固定さ
れる。
１の一部の断面図であり、接続部分２０ｂが切り取られ
ている。図８に示す部分は、図７に対して９０°回転さ
れた状態にある。図８から明らかであるように、リング
３０ｂは実質的に下部２４ｂに当接しており、下部２４
ｂは中央部にのみ、ねじ２５ｂ，２６ｂを受け入れるた
めの溝穴を有しているので、その領域ではリング３０ｂ
は下部２４ｂに当接しない。ねじ２５ｂ，２６ｂを締め
付けることにより、リング３０ｂを固定できる。あるい
は、接続部材２０ｂに残っている空隙に、リング３０ｂ
を適切に調整した後に、注入口５２から接着剤を満たす
こともでき、それにより、選択された調整位置が固定さ
れる。
【図１】 本発明による座標測定装置を示す。
【図２】 図１に示す座標測定装置の支持体（５，１
１，１２）に大部分が配置されている図１に示す座標測
定装置の主な構成要素を示す図。
１，１２）に大部分が配置されている図１に示す座標測
定装置の主な構成要素を示す図。
【図３】 図１に示す座標測定装置の支持体（５，１
１，１２）の左側の側面部分（１１）を詳細に示す図。
１，１２）の左側の側面部分（１１）を詳細に示す図。
【図４】 図１に示す座標測定装置の支持体（５，１
１，１２）の右側の側面部分（１２）を詳細に示す図。
１，１２）の右側の側面部分（１２）を詳細に示す図。
【図５】 コネクタを詳細に示す図。
【図６】 図１に示す座標測定装置の支持軸受（１９
ｂ）の断面図。
ｂ）の断面図。
【図７】 図１に示す座標測定装置の接続部材（２０
ｂ）の断面図。
ｂ）の断面図。
【図８】 図１に示す座標測定装置の接続部材（２０
ｂ）の、図７の断面図に対して９０°回転させた状態の
断面図。
ｂ）の、図７の断面図に対して９０°回転させた状態の
断面図。
１…座標測定装置、２…ブリッジ、５…土台部分、６…
測定台、７，８…ガイド部、１１，１２…側面部分、１
３ａ〜１３ｄ…ダンパー、１６…フレーム、１７ａ〜ｄ
…支持部材、１８ａ〜ｄ…ロッド、１９ａ〜ｄ…支持軸
受、２０ａ〜ｄ…接続部材、２１ａ′，２１ａ″，２１
ｃ，２１ｄ′，２１ｄ″…コネクタ、２３ａ〜ｄ…管。
測定台、７，８…ガイド部、１１，１２…側面部分、１
３ａ〜１３ｄ…ダンパー、１６…フレーム、１７ａ〜ｄ
…支持部材、１８ａ〜ｄ…ロッド、１９ａ〜ｄ…支持軸
受、２０ａ〜ｄ…接続部材、２１ａ′，２１ａ″，２１
ｃ，２１ｄ′，２１ｄ″…コネクタ、２３ａ〜ｄ…管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴォレツ・フランツ ドイツ連邦共和国・73457・エッシンゲ ン・レーメルシュトラーセ・６ (72)発明者 ヤコブ・クラウス ドイツ連邦共和国・89551・ケーニヒスブ ロン−オクセンベルク・ラングヴァイトシ ュトラーセ・24 (72)発明者 ライテンベルガー・ヴェルナー ドイツ連邦共和国・89520・ハイデンハイ ム・ヴィダーホルトシュトラーセ・35
Claims (14)
- 【請求項１】 測定台（６）の上に掛け渡されたブリッ
ジ（２）が測定台の両側にある２つのガイド部（７，
８）に沿って案内されるブリッジ構造の座標測定装置
（１）において、ガイド部（７，８）は、小さな熱膨張
率を有する支持部材（１７ａ〜ｄ）の上に載っており、
支持部材は少なくとも１つの熱絶縁支持体（５，１１，
１２）に配設されていることを特徴とする座標測定装
置。 - 【請求項２】 支持部材の少なくとも１つはガイド部の
領域でコネクタ（２１ａ′及び２１ａ″，２１ｃ，２１
ｄ′及び２１ｄ″）を介して支持体（５，１１，１２）
と結合されており、コネクタ（２１ａ′及び２１ａ″，
２１ｃ，２１ｄ′及び２１ｄ″）は支持部材を支持体に
対して垂直方向（Ｚ）に移動自在に結合すると共に、支
持体に対して少なくとも水平方向（Ｘ）には移動しない
ように結合することを特徴とする請求項１記載の座標測
定装置。 - 【請求項３】 少なくとも１つの支持部材は下端部でフ
レーム（１６）に支承されていることを特徴とする請求
項１記載の座標測定装置。 - 【請求項４】 少なくとも１つの支持部材は支持軸受
（１９ａ〜ｄ）を介して傾斜自在に支承されていること
を特徴とする請求項１又は３記載の座標測定装置。 - 【請求項５】 支持軸受は、支持部材の面取り端部を支
承している円錐形の受け台を有することを特徴とする請
求項４記載の座標測定装置。 - 【請求項６】 フレーム（１６）は金属、特に鋼から製
造されていることを特徴とする請求項３から５記載の座
標測定装置。 - 【請求項７】 支持部材の少なくとも一部はインバー鋼
から製造されていることを特徴とする請求項１記載の座
標測定装置。 - 【請求項８】 結合部材は押し抜き金属板又は酸素アセ
チレン切断金属板であることを特徴とする請求項２記載
の座標測定装置。 - 【請求項９】 フレーム（１６）はダンパ（１３ａ〜
ｄ）を介して床面に支承されていることを特徴とする請
求項３記載の座標測定装置。 - 【請求項１０】 少なくとも１つの支持部材は高さ調整
装置（２７ｂ，２８ｂ，３０ｂ）を介して高さ調整自在
であることを特徴とする請求項１記載の座標測定装置。 - 【請求項１１】 高さ調整装置は調整自在のウェッジを
有することを特徴とする請求項１０記載の座標測定装
置。 - 【請求項１２】 支持部材は支持体の管（２３ａ〜ｄ）
の中にそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項
１記載の座標測定装置。 - 【請求項１３】 支持体（５，１１，１２）は鉱物型枠
成形物、特にポリマーコンクリートから製造されている
ことを特徴とする請求項１から１２に記載の座標測定装
置。 - 【請求項１４】 フレーム（１６）は支持体（５，１
１，１２）に埋め込まれていることを特徴とする請求項
１３記載の座標測定装置。
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|---|---|---|---|
| DE19821274.7 | 1998-05-13 | ||
| DE19821274A DE19821274A1 (de) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | Koordinatenmeßgerät in Brückenbauweise |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11351806A true JPH11351806A (ja) | 1999-12-24 |
| JP4383580B2 JP4383580B2 (ja) | 2009-12-16 |
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ID=7867532
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP13117499A Expired - Fee Related JP4383580B2 (ja) | 1998-05-13 | 1999-05-12 | ブリッジ構造の座標測定装置 |
Country Status (4)
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|---|---|
| US (1) | US6161298A (ja) |
| EP (1) | EP0957332B1 (ja) |
| JP (1) | JP4383580B2 (ja) |
| DE (2) | DE19821274A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2010038808A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sokkia Topcon Co Ltd | 二次元測定機 |
| KR20180078526A (ko) * | 2016-12-30 | 2018-07-10 | 탑테크주식회사 | 셀프센터링 유니트를 이용하는 액츄에이터 구동 방식의 3축 치수 측정장치 |
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| DE19857132A1 (de) * | 1998-12-11 | 2000-06-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Anordnung zur Verringerung temperaturbedingter Maßabweichungen bei parallel angeordneten Meßsystemen |
| DE29904767U1 (de) | 1999-03-16 | 1999-06-02 | Fa. Carl Zeiss, 89518 Heidenheim | Koordinatenmeßgerät mit einem biegesteifen Meßtisch |
| DE10147614A1 (de) * | 2000-09-27 | 2002-04-11 | Zeiss Carl | Koordinatenmessgerät |
| DE10122200A1 (de) | 2001-05-08 | 2002-11-14 | Zeiss Carl | Tastkopf für ein Koordinatenmeßgerät. Koordinatenmeßgerät, Kalibrierkörper für ein Koordinatenmeßgerät und Verfahren zum Kalibrieren eines Koordinatenmeßgerätes |
| DE10205681C2 (de) * | 2002-02-12 | 2003-12-11 | Zeiss Carl | Meßgerät |
| DE20219108U1 (de) | 2002-12-09 | 2003-02-27 | Brown & Sharpe GmbH, 35578 Wetzlar | Koordinatenmessgerät |
| DE20307042U1 (de) * | 2003-05-07 | 2003-09-11 | Fagus-GreCon Greten GmbH & Co. KG, 31061 Alfeld | Vorrichtung zum Zuordnen von Meßsensoren zu einer an den Sensoren vorbeigeführten Materialmenge |
| US6829838B1 (en) * | 2003-09-09 | 2004-12-14 | Hexagon Metrology Ab | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine |
| SE527421C2 (sv) * | 2004-04-27 | 2006-02-28 | Hexagon Metrology Ab | Koordinatmätmaskin som är sammansatt av var för sig kalibrerade enheter |
| US7191541B1 (en) | 2005-12-06 | 2007-03-20 | Hexagon Metrology Ab | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine |
| US7249421B2 (en) | 2005-12-22 | 2007-07-31 | Hexagon Metrology Ab | Hysteresis compensation in a coordinate measurement machine |
| ITTO20060803A1 (it) | 2006-11-10 | 2008-05-11 | Hexagon Metrology Spa | Trave per una macchina di misura a coordinate, metodo per la sua fabbricazione e macchina di misura provvista di tale trave |
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| DE102009039353B4 (de) | 2009-08-29 | 2011-06-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Koordinatenmessgerät mit magnetischer Raste für den vertikalen Messschlitten |
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| JP7144920B2 (ja) * | 2017-01-06 | 2022-09-30 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置および移動機構 |
| US11035658B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-06-15 | Renishaw Plc | Positioning apparatus |
| WO2018193227A1 (en) | 2017-04-19 | 2018-10-25 | Renishaw Plc | Bearing arrangement |
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| EP3392610B1 (en) | 2017-04-19 | 2022-02-23 | Renishaw PLC | Bearing mount |
| EP3393023A1 (en) | 2017-04-19 | 2018-10-24 | Renishaw PLC | Linear motor mounts |
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| DE3150977A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern |
| DE3542766C2 (de) * | 1985-12-04 | 1994-08-11 | Mauser Werke Oberndorf | Meßmaschine |
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1999
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- 1999-04-16 EP EP99107602A patent/EP0957332B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-12 JP JP13117499A patent/JP4383580B2/ja not_active Expired - Fee Related
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