JPH11355669A - 高速cmos画像列相関二重サンプリング回路 - Google Patents

高速cmos画像列相関二重サンプリング回路

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JPH11355669A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 CMOS撮像素子における相関二重サンプリ
ング回路を提供する。 【解決手段】 相関二重サンプリング回路10は、画素
アレイ1の各列に割当てられる第1サンプリング回路6
と、各列に対する第1サンプリング回路6に各列を作動
的に接続する転送回路と、その各々が第1サンプリング
回路6のサブセットに接続される複数の第2サンプリン
グ回路7とを備える。相関二重サンプリング回路10
は、第1サンプリング回路6は各列毎に有するが、第2
サンプリング回路7は複数の列間で共有することが可能
であるため、面積が小さく製造コストが安価な相関二重
サンプリング回路を提供することが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CMS画像に関
し、特にCMS画像において用いられる相関二重サンプ
リング回路に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、固体画像センサは、自己走査ダイ
オードアレイ、電荷注入デバイス(ID)アレイ、電荷
結合デバイス(CCD)アレイの実質的に3つの異なる
技術から形成される。これらの3つの技術はどれも半導
体プロセスによるのであるが、これには集積度の向上を
制限するような固有の制限がある。固体画像センサの技
術は、その製造にCMS処理を使用できるところまで発
展している。CMS技術を使用することによって集積度
を高くでき、アナログおよびデジタル回路の双方を同じ
シリコンチップ内にセンサアレイとして組み込むことが
できる。さらに、集積度が高くなることにより、解像度
を高くでき、高速化できる。通常の使用中は、個々のチ
ャネルを表す何百という異なる信号がセンサアレイの出
力に同時に存在する。これらの信号は処理を行ってデジ
タル信号に変換する必要がある。しかし、プロセスのば
らつき(これらのデバイスの製造に使用するどのプロセ
スにも存在し、排除することができない)により、各列
専用の種々の回路間でオフセットが生じ、「列パターン
ノイズ」や「固定パターンノイズ」といわれるものが生
じてしまう。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】10ビット解像度、毎
秒24フレームといった高解像度および高速度が望まれ
る撮像システムでは、どの大型画像アレイについてもア
ナログ−デジタル変換を行う前に「固定パターンノイ
ズ」を除去する必要がある。一般に、従来の装置では、
固定パターンノイズを除去するのにセンサ内の各列につ
いて二重サンプリング回路を使用する。これらの従来の
相関二重サンプリング回路では、すべての列について二
重サンプリング回路を割当てるため、電力の損失が大き
くなり、速度は遅く、固定パターンノイズは部分的にし
か除去されず、各列について二重サンプリングを与える
ために必要なシリコン面積が大きくなり、付加的な回路
を形成するのにプロセスが複雑になり、コストが高くな
るといった欠点がある。
【0004】上述のことより、シリコンおよび電力を大
量に必要とすることなく、CMS環境においてCDSを
行うのに使用できる方法および装置が当該分野で必要と
されていることが明らかであろう。以下に説明するよう
に、本発明によってこれらのおよび他の問題が解決され
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、新規な列相関
二重サンプリング(CDS)回路であって、第1のサン
プリング回路を各列に配置して第2のサンプリング回路
は種々の列間で共有することにより二重サンプリングを
行い、それによって従来の装置に比べて、必要なシリコ
ン空間がはるかに小さく、製造が安価で、電力の損失が
小さく、高速で動作し、固定パターンノイズの除去を向
上し、必要な製造工程が少ない回路に関する。
【0006】本発明のCDS回路は、従来の装置と比べ
て、種々の設計パラメータ、例えば、小型、70%の速
度上昇、電力損失の低減、そしてより重要なことには固
定パターンノイズの大幅な除去といった設計パラメータ
を満足させることを意図したものである。リセットクロ
ック、信号クロック、および列選択クロックを含む標準
制御クロック以外の制御クロックは必要としない。これ
らの標準クロックは、半導体ベースの撮像素子を使用す
るどの撮像アレイの応用でも一般に必要とされるもので
あり、比較的単純なデジタル制御回路で供給できる。本
発明で実現するCDS回路は、毎秒3000万サンプル
と速い速度で動作でき、電力の損失は(1200列アレ
イで)13mW未満である。本発明は、固定パターンノ
イズをほぼ100%まで除去する能力を備える。
【0007】本発明のこれらのおよび他の特徴および利
点は、以下を備える相関二重サンプリングユニットによ
って提供される。すなわち、前記ユニットは、一連の行
および列に配置された複数の光検出器を有する画像セン
サと、行アドレス回路と、列アドレス回路と、各列に割
当てられる第1サンプルホールド回路と、各列に割当て
られたサンプルホールド回路にその列を作用するように
接続する転送回路と、第1サンプルホールド回路のサブ
セットにその各々が作用するように接続される複数の第
2サンプルホールド回路とを備える。
【0008】
【発明の実施の形態】図1は、信号シリコンチップ上の
CMOSベースの画像センサ5である本発明の好適な実
施形態を示している。画像センサ5は、複数の行および
列に配置された画素アレイ1を有し、その行および列は
行選択回路2および列選択回路3によって個々に選択可
能である。各列の画素は、相関二重サンプリング回路
(CDS)10によって二重サンプリングされる。包括
的に、第1サンプリング回路6および第2サンプリング
回路7が相関二重サンプリングユニット10を構成す
る。列の画素は、まず、各列について第1サンプリング
回路が1つという割合で配置された複数の第1サンプリ
ング回路によってサンプリングされる。第1サンプリン
グ回路によって初期サンプリングが行われてから、第2
サンプリング回路によって各列出力の第2サンプリング
が行われる。
【0009】図2は、相関二重サンプリング回路(以
下、CDSとする)10の概略図であり、各奇数および
偶数列のための第1サンプリング回路6及び第2サンプ
リング回路7の1つを示す。奇数列用第1クランプ回路
11および偶数列用第1クランプ回路12は同一のもの
であり、それぞれ奇数列用第2クランプ回路21および
偶数列用第2クランプ回路22と動作する。図2は、図
示の目的のために奇数および偶数第1クランプ回路1
1,12を1つずつしか示していない。第1サンプリン
グ回路6は、各列について第1クランプ回路11が1つ
の割合で設けられる。好適な実施形態では、奇数列に対
して第2クランプ回路21を1つだけ、偶数列に対して
第2クランプ回路22を1つだけ使用しているが、第1
クランプ回路と第2クランプ回路の数の組合わせは数多
く可能であり、図2は好適な実施形態を図示するのにす
ぎないことに留意されたい。奇数および偶数列に対して
第2クランプ回路21,22をこのように選択する理由
についてはさらに後述する。
【0010】ここで図1と図2を合わせて参照して、ア
ドレスされた各列の行を行選択回路2により特定する
と、画像センサ1からの信号がCDS10に供給され
る。アドレス指定された画素行全体が、その蓄積された
光発生電荷を第1サンプリング回路6に転送させ、ここ
でそのそれぞれの電荷に対して列ごとにアドレスでき
る。各列は第1クランプ回路を有しており、第1クラン
プ回路が1,2,3,…,n−1,n個(nは画像セン
サ1における列の数)あるように、第1クランプ回路と
関連付けされている。図2の第1クランプ回路11,1
2は第1サンプリング回路6を表しており、第1クラン
プ回路11,12のみが図示されているが、上述のよう
に、列の数と同じ数の第1クランプ回路が存在する。画
素に蓄積された電荷を表す電気信号が、選択された行か
らCDS10の第1クランプ回路11,12内のノード
VinnおよびVinn-1に出力され、これらの信号をサ
ンプリングして保持(サンプルホールド)する。
【0011】ここで図3のタイミング図を参照すると、
図2に示されるCDS10と関連して使用されるクロッ
ク信号が示される。これらのクロック信号は、ノードV
innおよびVinn-1にある信号に対して約3ボルトの
CMOSクロックレベルを使用してCDS10に対する
サンプリング基準を与える。CDS10で使用する基準
とは、(1)その画素の基準値となる各画素のリセット
値と、(2)その同じ画素の実際の信号レベル、であ
る。第1クランプ回路11,12の各々にはコンデンサ
sが設けられて、それぞれノードVinnおよびVin
n-1の信号を表す電荷を蓄積する。リセット値は、サン
プルホールドリセット信号Φshrがその行のすべての画
素に与えられた後、各画素の基準として得られる。サン
プルホールドリセット信号Φshrはまた、アクティブハ
イクロックとしてスイッチS1,S2の各々に与えられ
て、スイッチS1,S2を閉じる。n個の第1クランプ
回路(2つの第1クランプユニット11,12のみが図
示されている)の各々でスイッチS1を閉じると、現在
Vinノードにある信号がコンデンサCsのVinノー
ドに隣接した側に与えられる。スイッチS2を閉じる
と、コンデンサCsの反対側がそれに印加される基準電
圧Vrefを有することとなり、コンデンサCsにかか
る電圧が、任意の画素のリセット後、Vref‐Vinに等
しくなる。図2において、スイッチS1,S2,S3,
S4,SaおよびSbは従来のトランジスタの構成であ
ることを理解されたい。
【0012】引き続き図2と図3をあわせて参照する
と、第1クランプ回路11,12の各々に対してスイッ
チS3が設けられる。S3は、そのそれぞれの列が選択
されたときのみに閉じるものである。例えば、Φcol_n
(好適な実施形態においてはアクティブハイクロック信
号)がS3に与えられると、n番目の列のS3スイッチ
が閉じ、n番目の列が選択されたことを示す。その列が
選択されていなければ、S3は開いたままであって、基
準信号Vrefが線形利得増幅器41の入力に達すること
がないようにする。第1クランプ回路11,12は、そ
れぞれ信号Vinn,Vinn-1の初期サンプリングを行
う。信号Vinn,Vinn-1は、サンプリングされてか
ら、PMOSソースフォロワを含む線形利得回路の第1
段の入力に供給される。線形利得増幅器の第2段は、N
MOSソースフォロワである。
【0013】どの画素のリセット電圧レベルも以下のよ
うにしてまずコンデンサCsに蓄積される。すなわち、
リセット信号、クロックΦshrをスイッチS1およびS
2に与えて、これらのスイッチを閉じ、リセット電圧レ
ベルがコンデンサCsの一方側に与えられ、コンデンサ
sのPMOSソースフォロワ入力と同じノードの側を
Vrefの直流電圧にクランプする。すると、Csにか
かる電圧はVref−Vsh rとなる。クロックΦshrはロー
となり、スイッチS1およびS2が開き、コンデンサC
sは、それにかかる電圧はVref−Vshrのままで、フロ
ーティング(浮動)状態となる。信号クロックΦshs
スイッチS4に与えられて(図3参照)スイッチS4を
閉じ、その画素の信号電圧レベルがコンデンサCsの入
力ノードに与えられる。
【0014】通常の動作においては、列N−1が読み出
されているとき、第1クランプユニット12は、いわゆ
る「出力」段階とされ、第1クランプユニット12と関
連する第2クランプユニット22に出力する。列N−1
が出力段階にあるとき、スイッチS3を閉じることによ
って、VrefがPMOSソースフォロワ52の入力に与
えられる。また、第2クランプ回路22の出力側のスイ
ッチSdを開くことにより、Vrefが出力バッファ75に
与えられるのを阻止する。これにより、すでに第2クラ
ンプ回路に蓄積されている電荷を出力バッファ75に与
えることが可能となる。
【0015】次に読み出すべき列は列Nであり、いわゆ
る「確定」段階に入る。確定段階では、第1クランプ回
路11のS2は開いたままとされ、第1クランプ回路1
1のコンデンサCsの出力がその蓄積した電荷をPMO
Sソースフォロワ51の入力に与えることが可能とな
る。列Nの線形利得増幅器41におけるNMOSソース
フォロワ61は、列バス60、即ち出力1で使用される
金属線をプリチャージして、金属線に固有の寄生容量C
pを克服する。本発明においてより重要なのは、確定段
階においてスイッチSaは開いたままとされ、第2クラ
ンプ回路21を出力バッファ75から分離し、スイッチ
cは閉じられて、Vrefを第2クランプ回路21の出力
側に与えることである。このように、線形利得増幅器4
1のNMOSソースフォロワ61が出力バス出力701
をプリチャージするとき、第2クランプ回路21のコン
デンサはその出力側においてVrefに関してプリチャー
ジされる。これらの設計パラメータを簡単にするため
に、デジタル論理回路31,32は現在読み出している
列および次に読み出す列の両方の線形利得増幅器を可能
化(イネーブル)する。したがって、列N−1が出力段
階にあり、列Nが確定段階にあるとき、NORゲート3
1,32を介して(列N−1およびNの)列選択信号Φ
col_n-1,Φcol_nをデコードすることにより、列N−1
およびNの線形利得増幅器41,42が可能化される。
デジタル論理回路は、現在読み出されている列と次に読
み出すべき列の状態を使用して、現在読み出されている
列と次に読み出されるべき列の線形利得増幅器がイネー
ブルされている状態にする。各列についてこの基本機構
を繰り返し、CDSのスループットを増大する。
【0016】上述のように、Φshrクロックが発生した
後、コンデンサCsにかかる電圧はVref−Vshrであ
る。スイッチS1,S2,S3,およびS4は開いたま
まであり、コンデンサCsはフローティング状態、つま
り、コンデンサに蓄積された電荷には損失経路がないた
め、Q1=Cs *(Vref−Vshr)と変化のない状態であ
る。従って、クロックΦshsがスイッチS4に与えられ
た後、コンデンサCsの出力側での電圧の値をVxで表す
とし、Vinノードで受ける信号電位がVsigとする
と、電荷Q2=Cs*(Vx−Vsig)は、Q1=Cs *(V
ref−Vshr)の電荷と等しくなる。これは、フローティ
ングコンデンサCsに蓄積された電荷が、コンデンサCs
のPMOS入力側のノードがフローティング状態である
ために、一定のままであるからである。したがって、各
PMOSソースフォロワの入力に存在する電位レベル
は、Vx=Vref−Vshr+VsigまたはVref−(Vshr
sig)である。
【0017】線形利得回路41,42は、少なくとも1
つのPMOSソースフォロワ回路51,52と、少なく
とも1つのNMOSソースフォロワ61,62を備え、
レベルシフトおよび電圧利得補償を与える。好適な実施
形態では、線形利得増幅器41,42が使用するPMO
Sソースフォロワ51,52は、トランジスタゲート容
量によって起こる信号エラーを低減する小型P型トラン
ジスタを備え、NMOSソースフォロワ61,62は、
大型N型トランジスタを備えて、列出力70,71の大
きな容量性負荷を駆動するバッファとして機能し、これ
らの出力70,71と第2クランプ回路21,22をプ
リチャージ、駆動する。CDS10の構成を変える場合
には、設計パラメータが様々であるため、これとは異な
る設計を使用してもよいことを理解されたい。例えば、
本発明の好適な実施形態では、奇数および偶数列に対し
てそれぞれ第2クランプ回路21,22を1つずつしか
使用していないが、第2クランプ回路の数を多くするよ
うな構成とした場合には、駆動する必要のある容量性負
荷が小さくなり、設計上考慮すべき点も異なる。このよ
うな設計上の変更等は当業者には明らかであろう。本発
明では線形利得増幅器を使用しているが、線形利得増幅
器だけでなく、別の増幅器の使用も考えられ、好適な実
施形態の一部はその不可欠な要素ではないことを理解さ
れたい。
【0018】上述のように、Φcol(N-1)がハイである
間、列N−1が出力段階にあり、列Nは確定段階にあっ
て、列N−1および列Nの双方の線形利得増幅器41,
42が可能化される。しかし、スイッチS3は、出力段
階にある列である列N−1のみについて可能化され、P
MOSソースフォロワ52の入力をVref電位レベルと
し、出力62バスへの電圧出力が以下の式のようにな
る。
【0019】
【数1】 V(出力62)=β・γ・Vref+γ・Δp+△N・・・(1) ここで、βはPMOSソースフォロワの電圧利得、γは
NMOSソースフォロワの電圧利得、ΔpおよびΔN
は、それぞれPMOSおよびNMOSソースフォロワに
関するオフセットである。オフセットΔpおよびΔN
は、プロセスに依存するDC値であって、トランジスタ
によって最大20%変動し、このことが、コンデンサC
Sを用いてリセット値に対する電圧差を蓄積する主な理
由である。
【0020】Φcol(N-1)がハイであり、列N−1が出力
段階にあって、上記(1)式で表される電位が出力62
バスに与えられる間、スイッチSbは、列アドレスバス
の最下位ビットであるDec_0によって閉じられ、第
2クランプ回路22で蓄積された電荷が、第2クランプ
回路22内のコンデンサから出力バッファ75に読み出
されており、以下の式によって表される出力をもたら
す。
【0021】
【数2】 V(出力)=Vref+β・γ・[Vshr(N−1)−Vsig(N−1)]・・・ (2) 列N−1が上式(1)及び(2)における関係によって
表されるような出力段階にある時、同時に、列Nは確定
段階にあって、列出力62バスのバスラインにおける固
有寄生容量CPをプリチャージするとともに、選択され
る準備のできているN−1列画素信号で蓄積された電荷
を表す、コンデンサCSに蓄積された初期クランプ信号
で容量性第2クランプ回路21をプリチャージする。第
2クランプ回路21内のクランプコンデンサに蓄積され
た電荷は次式によって表される。
【0022】
【数3】 Q=C・{Vref−β・γ・Vref+β・γ・[Vshr(N)−Vsig(N)]− γ・△p−△N}・・・(3) 確定段階において、列Nの第1クランプ回路11のスイ
ッチS2およびS3は開いたままであり、PMOSソー
スフォロワ51の入力ノードがコンデンサCSにかかる
電圧降下のレベルでフローティングする状態とする。こ
れは、Vref−Vshr+Vsigであって、上述のように、
これはクロックΦshrおよびΦshsの発生後にセットされ
る電位レベルである。NMOSソースフォロワ61は、
チャネル出力70バスを次式で表される電圧レベルに駆
動する。
【0023】
【数4】 V(出力)=βγ・[Vrefー(Vrst(N)−Vsig(N)]+γ・△p+△ N・・・(4) ここで、上述の列Nの場合と同様に、βおよびγはNM
OSおよびPMOSソースフォロワの電圧利得、Δp,
ΔNは、NMOSおよびPMOSソースフォロワのオフ
セットである。
【0024】次のサイクルで、列Nが出力段階となり、
Φcol_Nが「ハイ」となって、列Nおよび列(N+1)が選
択される。N番目の列が出力段階となり、(N+1)番
目の列が確定段階となる。Saスイッチが第2クランプ
回路21を選択し、第2クランプ回路21内の内部コン
デンサに蓄積された電荷を出力バッファ75に与え、次
式によって表されるCDS10の出力電圧を生成する。
【0025】
【数5】 V(出力)=Vref+β・γ・[Vshr(N)−Vsig(N)]・・・(5) 上記(5)式によって表される出力を与えるのと同時
に、列N+1の第2クランプ回路22のコンデンサは、
次式に従って充電される。
【0026】
【数6】 Q=C・{Vref−β・γ・[Vshr(N+1)−Vsig(N+1)]−γ・△ p−△N}・・・(6) 上述のように、各列の各画素が出力バッファ75を介し
て単一のアナログ−デジタルコンバータに出力する。従
来のCMOSベースの画像形成装置は、アナログ−デジ
タルコンバータに大きなシリコン空間を使用していた。
従来装置では、一般に各列ごとに設けられる第2クラン
プ回路に対してさらに空間が必要であった。本発明は第
2クランプ回路の数を大きく減らすだけでなく、設けら
れるアナログ−デジタルコンバータを1つだけにするこ
とを可能にする。ある行のすべての列の画素が出力され
ると、次の行が選択され、その列の画素が上述のように
出力される。
【0027】上述のように、好適な実施形態では線形利
得増幅器41,42は大型トランジスタNMOSソース
フォロワ61,62と小型トランジスタベースのPMO
Sソースフォロワ51,52を使用する。好適な実施形
態では出力バッファ75もまた、大型トランジスタNM
OSソースフォロワであって、第2クランプ回路21,
22内で蓄積された電荷から生成された電圧で1mAの
電流を発生することができる。CDS10のタイミング
は、PMOSソースフォロワ51,52の入力に与えら
れる初期クランプ電荷がそのそれぞれの第2クランプ回
路21,22に20ナノ秒以内に達するようにされる。
第2クランプ回路21,22内に保持される電荷は、
(出力段階において)5ナノ秒以内に出力バッファの出力
に達する。出力バッファ75で得られる信号ベースの電
流は、好適な実施形態では25ナノ秒の間有効である。
この結果、選択された第2クランプ回路(21または2
2)から出力バッファ75を介した合計遅延が30ナノ
秒となり、好適な実施形態で考慮している3000万サ
ンプルのサンプリング周波数と一致する。コンデンサC
Sおよび容量性第2クランプ回路21,22には、漏れ
電流をのぞいて放電経路がなく、これらの回路に蓄積さ
れた電荷はすべて、基準電圧Vrefが与えられてコンデ
ンサにかかる電圧をリセットしない限り、保持されるこ
とが当業者には理解されるであろう。従って、好適な実
施形態では上述のようなタイミングとしているが、当業
者には数多くのタイミング構成が容易に明らかになるで
あろう。
【0028】ここで詳細に説明した好適な実施形態で
は、CMOS電源電圧は3−3.3ボルトのオーダであ
り、Vrefは、約1.8ボルトとしている。Vrefのこの
値は、ここで開示したように、線形利得増幅器内のPM
OSソースフォロワの入力に適切な量のレベルシフトを
与えるように考えられている。従来の他のCMOS装置
は5ボルトの電源を備え、将来のCMOS装置の電源電
圧は1.5−1.6ボルトのオーダであり、本発明の実
施形態によるとCMOS装置においてVrefは0.8−
0.9ボルトであって、PMOSソースフォロワを構成
するのに使用するトランジスタのサイズはそれによって
変動することが容易に理解されるであろう。
【0029】これまで、発明者がもっとも好適と考える
実施形態を詳細に説明してきたが、当業者には数々の変
形が明らかであり、本発明の範囲は前掲の特許請求の範
囲によるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好適な実施形態による画像センサの
図である。
【図2】 本発明のCDSの概略図である。
【図3】 本発明で使用する制御クロックの図である。
【図4】 本発明による出力波形の図である。
【符号の説明】
1 画素、2 行選択回路、3 列選択回路、5 画像
センサ、6 第1サンプリング回路、7 第2サンプリ
ング回路、10 相関二重サンプリング回路(CD
S)、11,12 第1クランプ回路、21,22 第
2クランプ回路、31,32 デジタル論理回路、4
1,42 線形利得増幅器、51,52 PMOSソー
スフォロワ、60 列バス、61,62 NMOS ソ
ースフォロワ、75 出力バッファ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 相関二重サンプリングユニットを有する
    CMOS撮像素子であって、 一連の行および列に配置された複数の光検出器を有する
    画像センサと、 行アドレス回路と、 列アドレス回路と、 列の各々に割当てられる第1サンプルホールド回路と、 前記各列を各列に対する前記第1サンプルホールド回路
    に作用するように接続する転送回路と、 各々が前記第1サンプルホールド回路のサブセットに作
    用されるように接続される複数の第2サンプルホールド
    回路と、を備えることを特徴とするCMOS撮像素子。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の相関二重サンプリング
    ユニットであって、前記第2サンプルホールド回路をプ
    リチャージするプリチャージ回路をさらに備えることを
    特徴とする相関二重サンプリングユニット。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の相関二重サンプリング
    ユニットであって、前記プリチャージ回路が前記第2サ
    ンプルホールド回路に電荷を与えると共に、前記第2ク
    ランプ回路に蓄積された電荷を読み出す読み出し回路を
    さらに備えることを特徴とする相関二重サンプリングユ
    ニット。
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