JPH11500558A - ディスクドライブ装置等用の磁気ヘッド用亜大気圧スライダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 回転しているディスクの近傍に磁気読み取り/ 書き込みヘッドを位置させるための亜大気圧空気軸受スライダが開示されている。前記スライダは先行縁から該スライダの後行縁まで、回転しているディスクに面する該スライダの側に沿って延びている第１と第２のレールを含む。各レールはスライダの先行縁からスライダの横側まである角度で延びているもも部分と、スライダの横側から該スライダの後行縁に向かってある角度で延びている脚部分と、前記脚部分ともも部分との間で結合され、前記スライダの横側にあるひざ部分とを有する。第１と第２のレールを形成するためにくぼみが設けられている。中央のくぼみは亜大気圧のための容積部を提供する。スライダの一方の側に圧力が完全にシフトしないように中央部分に１個以上の尾部を設けることが出来る。第１と第２のレールの設計によりディスクの全てのトラックに亘ってスライダと磁気ヘッドとに対してより均一な浮動高さをもたらす。

Description

【発明の詳細な説明】 ディスクドライブ装置等用の磁気ヘッド用亜大気圧スライダ 発明の分野 本発明は磁気記憶装置あるいはディスクドライブ装置の要素に関し、特に、デ ィスクの各種のトラックに亘り、一定の浮動高さを提供する磁気空気軸受スライ ダに関する。発明の背景 ディスクドライブは一般に、ユーザが直ちに利用しうる大量のデータを記憶す るために、ワークステーション、パーソナルコンピュータ、ラップトップ、およ びその他のコンピュータシステムにおいて使用される。一般に、ディスクドライ ブはスピンドルモータによって回転される磁気ディスクからなる。ディスクの面 はディスクの周りで円周方向に延びる一連のデータトラックに分割される。各デ ータトラックはディスクの面での磁気転移の形態でデータを記憶し得る。 データを読み取るために磁気転移を検出したり、あるいは、データを書き込む ためにディスクの面で磁気転移を起こす電流を発生させるために、例えば、磁気 変換器のような対話式要素が用いられる。磁気変換器はヘッド内に装着され、デ ィスクの磁気面と対話するのに適した位置において、変換器の能動要素を含む読 み取り／書き込みギャップを含む。 ヘッドは回転アクチュエータによって装着され、ディスクが変換器の下方で回 転するにつれて、変換器がデータをディスクの所定のデータトラックから読み取 り、あるいはそこへ書き込む事が出来るようにするためにディスクの所定のデー タトラック上でアクチュエータによって選択的に位置づけられる。 近代的なディスクドライブにおいては、磁気媒体として比較的剛性すなわち硬 質のディスクが用いられている。ヘッドはディスクの回転により発生する流体の 流れにより、変換器がディスクのデータトラックの上方で浮動するようにさせる 空気軸受面を形成するスライダを含む。このため変換器はディスクドライブの通 常の作動の間物理的にディスクの面と接触しない。ディスクの面の上方を変換器 が浮動する距離の大きさは『浮動高さ』と称される。ディスクの面の上方の浮動 高さで作動するヘッドの有利な一形式は正面圧力形状（ＴＲＣ）ヘッドである。 ＴＲＣヘッドを用いた現在のディスクドライブ設計はディスク面上方約２ミクロ ンインチまでに浮動高さを限定している。ヘッドとディスクドライブの面との間 で何らかの接触があってもディスクあるいはヘッドを損傷させることになる。従 って、アクチュエータが、ディスクが回転している間に変換器をデータトラック 上に位置させるときはいつでも、十分な浮動高さを保つことが重要である。 全体的には、変換器の読み取り／書き込みギャップを出来るだけ、ディスク面 に近づけるように持ってきて、かつアクチュエータの半径方向位置とは無関係に 浮動高さを均一レベルに保つ全体的な浮動高さを達成することが本発明の目的で ある。変換器の使用中の読み取り/ 書き込みギャップがディスクの面により近く 持って来られれば来られるほど、データを表示するディスク面の磁気転移により 、変換器によって発生する電気信号は強くなる。一般的に、ディスクドライブの 安定した電気性能を保証するために、出来るだけ強いデータ信号を発生させるこ とが有利である。 スライダに対して一般に経験される問題は浮動高さがアクチュエータの半径方 向位置の関数としてディスクの各種トラック上で変動することである。このよう に、あるデータトラックにおける浮動高さが他のデータトラックにおけるよりも 大きくなることがある。従って、データ信号は全てのデータトラックにおいて同 様に強くない。スライダの浮動高さの安定性を改善するための数種の設計が提案 されている。 例えば、前述のスライダは『双銅船〈ｃａｔａｍａｒａｎ〉』型においては２ 個のレールを有している。空気軸受面の一方の側縁部に沿って正面圧力形状が提 供される。各空気軸受面に対して、スライダの斜角（すなわちアクチュエータの 半径方向位置によって決まる）スライダの軸線と磁気ディスクの接線速度と間の 角度）がスライダからの空気の流れに対して衝突する空気軸受面の輪郭における 加圧と前記空気の流れから離れる方向の空気軸受面近傍で膨張を発生させる。 その他の周知のあるスライダ設計に於いてはスライダの部分とディスクとの間 で亜大気圧（すなわち、１気圧以下）を発生させ、スライダが作動の間回転して いるディスクに向かって引張られるようにするため、回転しているディスクに面 したくぼみがスライダの面に設けられる。亜大気圧はある程度、スライダがヘッ ドをディスクの面からヘッドを持ち上げようとするのに反作用する。その結果の 正味の効果は浮動高さの変動に理想的に抵抗する浮動高さに対する緊密でしっか りした制御が得られる。 別のスライダ設計においては、亜大気圧の中央くぼみとスライダに対しては外 部の領域との間で空気が流れ得るようにしたシェブロンすなわち溝が空気軸受面 に設けられている。そのようにすることによって、スライダのロールの改良が達 成される。別の双銅船型のスライダ設計においては、各空気軸受面はディスクの 面に亘って各斜角に対して出来るだけ一定の空気軸受面面積を保つためにスライ ダの中央部に向かってより狭くされている。 アクチュエータの半径方向位置に関わらず、磁気ディスクのデータトラック上 の浮動高さの変動に対して改良された制御を提供するスライダ設計に対する要求 がある。また、スライダのロール角を低減するスライダ設計に対する要求がある 。発明の要約 これら、およびその他の要求は本発明の亜大気圧スライダによって満たされる 。スライダは該スライダの先行縁から該スライダの後行縁まで、該スライダの底 側に沿って延びる第１と第２のレールを含む。前記スライダの底側とは回転して いるディスクに面する側である。当該技術分野の専門家は本発明のスライダの底 側は、回転しているディスクの下方でアームに装着される場合、上を向くし、回 転しているディスクの上方でアームに装着される場合、下を向くことを認識する 。 第１と第２のレールの各々は、スライダの先行縁から横側まである角度をつけ て延びるもも部分と、スライダの横側からスライダの後行縁部に向かってある角 度を付けて延びる脚部分と、スライダの横側において前記脚部分をもも部分に結 合するひざ部分とを含む。第１と第２のもものくぼみは第１と第２のレールの各 もも部分の横側に向かって位置している。第１と第２の脚のくぼみは第１と第２ のレールの各脚部分の横側に向かって、スライダの底側に位置している。中央の くぼみが第１と第２のレールのもも、ひざ、および脚部分の底側に位置している 。 第１と第２のレールは概ね均等で、均一な高さを有し、一方第１と第２のもも のくぼみと、第１と第２の脚のくぼみと、中央のくぼみとは概ね、均等で、均一 な深さを有し得る。 本発明の代替的な実施例においては、スライダの先行縁から後行縁に向かって 延びる少なくとも１個の尾部が設けられ、中央のくぼみをを少なくとも２個の部 分に分割する。そうすることによって、スライダの一方の横側への圧力シフトが 排除される。 従来のスライダと同様、スライダの底側へ空気の流れを通すようにスライダの 先行縁にテーパを設けることが出来る。また、スライダの一方の横側から、反対 側のスライダの横側まで延びる前方部分を設けることが出来る。前記前方部分と １個以上の尾部は第１と第２のレールのそれらと均一で均等の高さにし得る。 本発明の別の実施例においては、概ね均一な深さを有するスライダ中央くぼみ が作られる。回転するディスクのトラック上でのスライダの浮動高さが選定され た均一深さの変動に対して最も影響を受けないような仕方で中央くぼみの均一深 さが選定される。この均一深さはくぼみの深さの関数としての浮動高さが回転す るディスクの全てのトラックに対して概ね最小になるように選定することが出来 る。 本発明のスライダ構成はディスクのトラックに亘ってより均一な浮動高さを提 供する。１個以上の尾部を追加することによりスライダのロールをより良好に制 御することが出来る。図面の簡単な説明 第１図は本発明によるスライダの一実施例の上面図、 第１ａ図と第１ｂ図は、浮動高さとロール角とを制御する尾部を有する、第１ 図に示すスライダの別の実施例の上面図、 第１ｃ図は本発明の実施例により、浮動高さとロール角を制御するための１個 および２個の尾部をそれぞれ有する従来の双銅船型スライダの上面図、 第２図は第１図のａ−ａ線に沿った側面図、 第３図はディスクの最内側トラック上でスライダを位置ずけるための組立体を 上から見た図、 第４図はディスクの中間トラック上にスライダを位置させるための組立体を上 から見た図、 第５図はディスクの最外側トラック上にスライダを位置させるための組立体を 上から見た図、 第６図はスライダの浮動高さ対くぼみ深さのグラフである。詳細説明 第１図と第２図を参照すると、本発明の亜大気圧スライダの実施例が示されて いる。スライダ１はその先行縁において、該スライダ１の下方で空気の流れを導 くテーパ３を含む。この実施例においては、スライダ１とテーパ３との幅は６０ ミル（すなわち、０．０６インチ）であり、一方テーパ３の長さと深さは８ミル である。テーパ３は前方部分の中へ達することが出来る。スライダの長さにわた って、当該技術分野で周知の双銅船型とは著しく変わっている２個のレール５、 ７が設けられている。各レール５、７は３個の主要部分、すなわち、もも部分５ ａ，７ａ、ひざ部分５ｂ、７ｂ，および脚部分５ｃ，７ｃを含む。本実施例にお いては、前方部分４とスライダ１のレール５、７の全ての部分５ａ〜ｃ，７ａ〜 ｃは同じ高さである（本実施例においては、スライダの高さは１７ミルである） 。 スライダは数個のくぼみ１１〜１５を設けられている。本実施例においては、す べてのくぼみ１１〜１５は同じ深さである（くぼみ領域の深さは、例えば、第１ と第２のレール５、７の頂部から測定して約１５０ミクロンインチである）。中 央のくぼみ１１はレールのもも部分と脚部分のため若干ダイアモンド状の形をし ている。もも部分のくぼみ１２、１３はもも部分５ａ，７ａの外側に位置してい る。脚部分のくぼみ１４、１５は脚部分５ｃ，７ｃ，の外側に位置している。 当該技術分野において従来からのことではあるが、（特に第１図と第２図には 示していないが）磁気ヘッドが（第１図において『使用中のレール』として示す ）脚部分５ｃに近接して、スライダ１の後方部分に結合されている。 本発明によるスライダの作動について第３図〜第５図を参照して示す。ディス ク１７が回転するにつれて、スライダ１のテーパ３により空気がスライダの下方 を流れるように導かれる。テーパ３は、またディスク１７の回転開始時スライダ １の急速な立ち上がりを促進することを注目すべきである。スライダのレール５ 、 ７の下方で空気が加圧されるにつれて、スライダ１を、（従って、磁気ヘッドも ）ディスク１７の面から持ち上げられるようにする。くぼみ領域１１〜１５にお いては、空気は亜大気圧まで「膨張」し、吸引圧を発生させ、これがスライダを （従って、磁気ヘッドを）運動しているディスクに向かって引張られるようにす る。 第３図〜第５図においては、スライダ１はアーム１９と、スライダ１と磁気ヘ ッドとを所望のトラック上に位置させるアクチュエータ２１に装着されたものと して示されている。第３図においては、スライダ１はディスク１７の最内側のト ラックに近接して位置している。再び、第１図を参照すれば、第１と第２のレー ル５、７のもも部分５ａ，７ａはスライダ１の前方の中間部分からスライダの両 側に向かって外方に延び、そこでひざ部分５ｂ，７ｂがスライダの側部と合流す る。もも部分５ａ，７ａが前方部分４に対して作る角度はスライダが最内側のト ラックに位置するときのスライダの斜角と概ね同じであるように設計される。最 内側のトラックはまた、接触開始―停止（ＣＳＳ）ゾーンとして知られている。 最内側トラック（以下、内径あるいは「ＩＤ」と称す）において、ディスクの表 面速度は最低である。もも部分５ａ，７ａの方向性により、第１と第２のレール ５、７の下方の圧力がスライダ１の側部へ漏れないように阻止し（従って、スラ イダが所望の高さ以下のところで浮動するようにする）。 第４図を参照すれば、スライダ１は概ね中間のトラック（すなわち、内側と外 側のトラックの間の平均距離にあるトラック）に位置している。中間トラックに おける斜角は概ね零である。スライダ１のもも部分５ａ，７ａの構造では、これ らの領域の側部への圧力の漏れはより大きい。もも部分５ａ，７ａでの漏れによ る圧力損失はディスク１７の表面速度の増加により補償される。スライダ１の浮 動高さは、スライダ１の加圧面積を減少させるように作用する脚部分のくぼみ１ ４、１５の作用を除いて中間トラックにおいて最大であり、第１と第２のレール ５、７の前方部分において発生した持ち上げ力を低減させる。 第５図を参照すれば、スライダ１と磁気ヘッドは最外側のトラック（以下外径 あるいは「ＯＤ」と称する）上に位置している。ＯＤにおける斜角が大きいため 、より大量の圧力がレール５、７の側部へ漏れるようになる。スライダ１のもも 部 分５ａ，７ａの構造により、パッドの長さが比較的小さいため、これらの領域で 発生する圧力が極めて小さい。スライダの下方の圧力の殆どはスライダ１のひざ 部分５ｂ，７ｂ，の下方で発生する。ひざ部分のパッド面積は小さいが、ＯＤに おけるディスクの表面速度が大きいため、一定の浮動高さを保つのに十分な圧力 をスライダ１のレール５、７の下方で発生させる。 前述のように、くぼみ部分１１〜１５はスライダをディスクの表面に向かって 引張る亜大気圧を発生させる。亜大気圧の大部分は中央のくぼみ１１において形 成される。もも部分のくぼみはスライダ１に対して余分のロール剛性を提供する 。脚部分のくぼみ１４、１５は略零の斜角においてディスク面の上方あまり高く 浮動しないように、スライダ１の脚部分の有効加圧面積を減少させる。また、脚 部分１４、１５は脚部分がスライダ１が外側のトラックにあるとき、送入されて くる空気と平行になるようにレール５、７の脚部分５ｃ、７ｃを再形成する。こ の点までは、外側レール（すなわち、レール５）の浮動高さはスライダの設計に より、調整済みである。スライダロール（最内側レール７と最外側レール５との 浮動高さの差）を調整するためには、最内側レール（すなわち、レール７）の形 状を内側レールの浮動高さを調整するように調整することが出来る。 本発明の別の実施例が第１ａ図と第１ｂ図に示されている。スライダ１の中央 のくぼみ１１はスライダにおける亜大気圧の最大の受容体である。中央のくぼみ １１はスライダ１の浮動高さ並びにスライダ１に対するロールの量がディスク１ ７の面に亘っていかに一定であるかに関して大きな影響を有する。スライダ１に 対する浮動高さおよびロールを調整する更に別の手段として、１個以上の尾部２ が中央のくぼみ１１に「追加」されている。スライダの製作時、尾部領域は中央 のくぼみ１１が形成されるにつれて、その周りの材料をエッチングあるいは除去 することにより形成される。 スライダ１が大きな斜角を有する場合、スライダ１の下を空気が流れる角度も 大きい。このため、レール５、７の側部へ圧力が漏れ、レールの下での圧力を減 少させ、圧力の中心をシフトさせる。圧力の減少は浮動高さを低くさせ、圧力の 中心のシフトはロール角度を増加させる。また、中央のくぼみ１１は一方のレー ルの浮動高さを他方のレール寸法のずれに結び付けるように作用する。尾部２は 、 比較的狭幅の形状のため、目立って顕著な空気軸受面を形成しない。むしろ、尾 部２は中央のくぼみ１１を２個以上の容積部分に分割し、中央のくぼみ１１内で の亜大気圧の分布がスライダ１の一方の側へシフトするのを阻止する。尾部２の 長さと方向性とを最適化することにより、スライダ１のロール角に対する吸引力 の作用を調整することが出来る。第１ａ図と第１ｂ図における点線は尾部の方向 と長さの可能性を示す。また、尾部２の使用は、一方のレールの浮動高さの他方 のレールの寸法変化に対する結びつきを阻止する。 第１ｃ図を参照すれば、従来の双銅船型のスライダが示されている。 中央のくぼみ１１の深さはディスクの全てのトラックに対して著しい影響を有 し得る。高地での使用環境においては圧力と空気の平均自由行程の変化も浮動高 さに対して影響し得る。中央のくぼみ１１に対して適当な深さを選択することに より、浮動高さの量の範囲（ディスクの全てのトラックにおけるヘッドの最大と 最小の浮動高さの差）は典型的な双銅船型のスライダを用いる場合よりも著しく 小さくすることが出来る。Ｙ軸に沿った浮動高さとＩＤ，中間径（「ＭＤ」）、 ＯＤに対するＸ軸に沿ったくぼみの深さとを有するグラフが示されている（すな わち、浮動高さがくぼみの深さの関数として示されている）。２００マイクロイ ンチの典型的なくぼみ深さであれば、スライダの浮動高さはＩＤ，ＭＤ，および ＯＤの曲線の鋭いスロープに沿って低下する。このため、選定されたくぼみ深さ と当該スライダが使用されている高度とによって、浮動高さの敏感性がより大き くなる。もしＩＤ，ＭＤ，およびＯＤ曲線のスロープが最小であるとき、（すな わち、くぼみ深さの関数が回転しているディスクの全てのトラックに対して概ね 最小であるようにくぼみ深さが１１０〜１５０マイクロインチの範囲で選定され るとすれば）、公差や高度によるくぼみ深さの変動に対するスライダの敏感性は 最小とされる。前述の技術を用いて、くぼみを選択することの別の利点は空気軸 受剛性が最大となることであり、これは、浮動高さの敏感性を更に低減しやすく する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．磁気読み取り／書き取りヘッドを回転しているディスクの近傍に位置づけ るための亜大気圧の空気軸受スライダにおいて、 前記スライダの先行縁から該スライダの後行縁まで該スライダの底側に沿って 延びる第１と第２のレールであって、前記スライダの底側は回転するディスクに 面するレールであって、 前記先行縁から前記スライダの横側まである角度で延びるもも部分と、 前記スライダの前記スライダの横側から前記スライダの後行縁に向かっ て、ある角度で延びる脚部分と、 前記脚部分を前記もも部分に結合し、前記スライダの前記横側にあるひ ざ部分を含む第１と第２のレールと、 前記第１と第２のレールの前記各もも部分の前記横側に向かって位置する第１ と第２のもも部分のくぼみと、 前記第１と第２の前記の各脚部分の横側に向かって、前記スライダの底側に位 置する第１と第２の脚部分のくぼみと、 前記第１と第２のレールの前記もも部分、ひざ部分、および脚部分との間で、 前記スライダの底側に位置した中央のくぼみとを含むことを特徴とするスライダ 。 ２．前記第１と第２のレールが概ね均等で、均一な高さを有することを特徴と する請求の範囲第１項に記載のスライダ。 ３．前記第１と第２のもも部分のくぼみと、第１と第２の脚部分のくぼみと、 前記中央のくぼみとが概ね均等で均一な深さを有することを特徴とする請求の範 囲第１項に記載のスライダ。 ４．前記第１と第２のもも部分のくぼみと、第１と第２の脚部分のくぼみと、 前中央のくぼみとが、概ね均等で均一な深さを有することを特徴とする請求の範 囲第２項に記載のスライダ。 ５．前記スライダの先行縁から前記スライダの後行縁まで延び、前記中央のく ぼみを少なくとも２個の部分に分割する少なくとも１個の尾部を更に含むことを 特徴とする請求の範囲第１項に記載のスライダ。 ６．前記尾部と、第１と第２のレールが概ね均等で均一な高さを有することを 特徴とする請求の範囲第５項に記載のスライダ。 ７．各尾部が前記スライダの先行縁からある角度で延びていることを特徴とす る請求の範囲第５項に記載のスライダ。 ８．各尾部が前記第１と第２のレールの各々の幅より著しく狭い幅を有するこ とを特徴とする請求の範囲第５項に記載のスライダ。 ９．前記もも部分が前記スライダの先行縁から延びる角度は前記スライダが回 転しているディスクの最内側トラックにあるときの該スライダの斜角と概ね等し いことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のスライダ。 10．磁気読み取り／書き込みヘッドを回転しているディスクの近傍に位置させ るための、亜大気圧の空気軸受スライダにおいて、 前記スライダの先行縁に形成され、回転するディスクと面する前記スライダの 底側まで空気を導くテーパと、 前記スライダの第１の横側から前記スライダの反対側の第２の横側まで延びる 前方部分と、 前記スライダの前方部分から、前記スライダの底側に沿って、前記スライダの 後行縁まで延びる、第１と第２のレールであって、各レールが、 前記スライダの前記先行縁から前記スライダの横側の一方へある角度で延びる もも部分と、 前記スライダの前記横側の一方へある角度で延びる脚部分と、 脚部を前記もも部分に結合し前記スライダの前記横側に位置するひざ部分を含 む第１と第２のレールと、 前記第１と第２のレールの前記各もも部分の横側に向かって位置している第１ と第２のもも部分のくぼみと、 前記第１と第２のレールの前記各脚部分の横側の一方に向かって前記スライダ の底側に位置した第１と第２の脚部分のくぼみと、 前記第１と第２のレールの前記もも、ひざ、および脚部分の間で前記スライダ の底側に位置した中央くぼみとを含むことを特徴とするスライダ。 11．前記前方部分と前記第１と第２のレールが概ね均等で、均一な高さを有す ることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載のスライダ。 12．前記第１と、第２のもも部分と、第１と第２の脚部分と、前記中央のくぼ みとが、概ね均等で均一な深さを有していることを特徴とする請求の範囲第１０ 項に記載のスライダ。 13．前記第１と第２のもも部分のくぼみと、第１と第２の脚部分のくぼみと、 前記中央のくぼみとが概ね均等で均一な深さを有することを特徴とする請求の範 囲第１１項に記載のスライダ。 14．前記スライダの先行縁から前記スライダの後行縁まで延び、前記中央くぼ みを少なくとも２個の部分に分割している少なくとも１個の尾部をさらに含むこ とを特徴とする請求の範囲第１０項に記載のスライダ。 15．尾部と、前記第１と第２のレールの各々が概ね均等で均一な高さを有して いることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載のスライダ。 16．各尾部が前記スライダの先行縁からある角度で延びていることを特徴とす る請求の範囲第１０項に記載のスライダ。 17．各尾部が前記第１と第２のレールの幅より著しく狭い幅を有していること を特徴とする請求の範囲第１０項に記載のスライダ。 18．もも部分が前記スライダの先行縁から延びる角度が前記スライダが回転し ているディスクの最内側トラックにあるときのスライダの斜角に概ね等しいこと を特徴とする請求の範囲第１０項に記載のスライダ。 19．磁気読み取り／書き取りヘッドを回転しているディスクの近傍に位置させ るための亜大気圧の空気軸受スライダにおいて、 前記スライダの先行縁に形成され、回転するディスクに面する前記スライダの 底側まで空気の流れを導くテーパと、 前記スライダの第１の横側から前記スライダの反対側の第２の横側まで延びる 前方部分と、 前記スライダの前方部分から前記スライダの後行縁まで前記スライダの底側に 沿って延びている第１と第２のレールと、 前記第１と第２のレールとの間で前記スライダの底側に位置した中央のくぼみ と、 前記スライダの前方部分から前記スライダの後行縁まで延び、前記中央くぼみ を少なくとも２個の部分に分割している少なくとも１個の尾部とを含むことを特 徴とするスライダ。 20．前記前方部分と、各尾部と、前記第１と第２のレールとが概ね均等で、均 一な高さを有していることを特徴とする請求の範囲第１９項に記載のスライダ。 21．前記中央のくぼみが概ね均等で均一な深さを有していることを特徴とする 請求の範囲第１９項に記載のスライダ。 22．各尾部が前記スライダからある角度で延びていることを特徴とする請求の 範囲第１９項に記載のスライダ。 23．各尾部が前記第一と第２のレールの幅より著しく狭い幅を有していること を特徴とする請求の範囲第１９項に記載のスライダ。 24．磁気読み取り／書き込みヘッドを回転しているディスクの近傍に位置させ るための亜大気圧の空気軸受スライダを作る方法において、 前記スライダの先行縁から前記スライダの後行縁まで前記スライダの底側に沿 って第１と第２のレールを形成し、 前記第１と第２のレールの間に位置した中央のくぼみであって、概ね均一な深 さを有し、前記の均一な深さが、前記回転しているディスク上での前記スライダ の浮動高さが前記の均一な深さの変動に対して最も敏感でないように選択される 中央くぼみを前記スライダの底側で形成することを含むことを特徴とするスライ ダを作る方法。 25．前記均一な深さが、くぼみの関数としての浮動高さが回転しているディス クの全てのトラックに対して概ね最小であるように選択されることを特徴とする 請求の範囲第２４項に記載の方法。