JPH11506402A - 液滴デポジット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ドロップ・オン・デマンドのピエソ電気プリントヘッドは、その長さに沿う電極（２６）を有するピエゾ電気物質（１０）により画成されるチャンネル壁を有する。インク供給導管に開いたチャンネルの部分では、ピエゾ物質は、例えば電極の幅を減少させることにより、又は電極とピエゾ物質との間に低い比誘電率の物質（４０）をはさむことにより、局所的に作動不能にされる。低い容量性負荷が生ずる。

Description

【発明の詳細な説明】 液滴デポジット装置 技術分野 本発明は、ピエゾ電気物質からなりさらにチャンネルの長さに垂直な配列方向 で互いに間隔を置いて配置された多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより 形成された底部シートを含む液滴デポジット装置、特にインクジェットプリント ヘッドに関しており、各チャンネルは、相対する側壁によりそして該側壁の間を 延在する底面により少なくとも一部画成され、そして少なくとも側壁は該ピエゾ 電気物質からなる。本発明は、またこの装置を製造する方法を含む。 背景技術 これらのプリントヘッドは、（例えばヨーロッパ特許Ａ第０２７７７０３、２ ７８５９０及び０３６４１３６号から）当業者に周知であり、そしてその剪断モ ードで作動するピエゾ電気物質を使用してインク室の体積を変化させそれにより インクの滴を放出させる。ヨーロッパ特許Ａ第０３４１９２９号は、これらの作 動器を駆動する方法を記載し、そして作動器がそれぞれ容量性負荷を有すること を明らかにしている。一般に理解されるように、この容量性負荷は、駆動回路の サイズ及びコストの両者に影響する電流及び電力を必要とする。その上、プリン トヘッド自体の回路及び電極を流れる電流は、また熱を発生させ、それは、次に インクの粘度に影響し、多くのタイプのインクジェット装置の場合のように、イ ンク粘度における変動は、放出されるインクの液滴の粘度の変動を引き起こし、 それは、次に印刷されたイメージの液滴の配置の誤りとしてそれ自体明らかにな ることが、本発明者らにより認められている。 ピエゾ電気的活性が実際に必要とされる領域（即ちチャンネルの「活性］（閉 じた）部分のチャンネルの壁において）にプリントヘッドのピエゾ電気物質の使 用を制限し、そしてプリントヘッドの残りの部分にさらに低い比誘電率を有する 物質を使用することにより、プリントヘッドの容量性負荷を低下させることが提 案されている。これは、さらに低い誘電性のベース中へピエゾ電気物質の挿入物 を「入れこみ（ｌｅｔｔｉｎｇ ｉｎ）」、挿入物及びベースの両方を通るチャ ンネルを形成しそして各チャンネルの長さに沿って電極をデポジットすることに より、実際には達成できる。ピエソ電気物質からなる各チャンネル壁の部分のみ が、電極を経て適用される電場に応じてひずみ、各壁の残りの部分及び組み合わ されたすべての接続領域は、低い容量性負荷を示すに過ぎない。ピエゾ電気挿入 物の「入れこみ」は、しかし、複雑な工程であり、それ故この技術を高価なもの にする。 発明の開示 本発明は、周知の構造物より低い容量性負荷を有ししかも製造するのに複雑で はないプリントヘッドを目的とする。これらのプリントヘッドの製造方法も、本 発明に含まれる。 従って、本発明は、 ピエゾ電気物質からなりさらにチャンネルの長さに垂直な配列方向で互いに間隔 を置いて配置された多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成された底 部シートであって、各チャンネルは、相対する側壁によりそして該側壁の間を延 在する底面により少なくとも一部画成され； 該ピエゾ電気物質に電場を適用しそれにより該側壁の横方向の変位を行うための 該ピエゾ電気物質及び電極からなる少なくとも側壁； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを 閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡している チャンネルであって、各チャンネルは液滴流体供給手段と連絡するためにチャン ネル軸と平行な側面で開いた一方の部分並びにチャンネル軸に平行なすべての側 面で閉じた他方の部分を有する 液滴デポジット装置において、 各チャンネルの前記の一方の部分の該ピエゾ電気物質からなるそれぞれの側壁が 各チャンネルの前記の一方の部分の該側壁の横方向の変位が生じないように作動 不能である ことを特徴とする液滴デポジット装置からなる。 チャンネルの「開いた」部分の壁の横方向の変位が不必要であるばかりでなく 、これら「開いた」部分の壁を作動不能にすることにより、全体の容量性負荷の 低下が、ピエゾ電気物質の均一な層からなるベースにチャンネルを形成する実質 的に従来の技術に従って製造されたプリントヘッドにおいて達成できることが、 本発明者により認められた。上記の複雑な製造方法は、それ故、避けることがで きる。 第一の好ましい態様では、本発明は、その層に垂直な方向に極性を有する（ｐ ｏｌｅｄ）ピエゾ電気物質の層を有しそしてチャンネルの長さに垂直な配列方向 に互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成された 底部シートであって、各チャンネルは相対する側壁によりそして該側壁の間に延 在する底面により少なくとも一部画成され、少なくとも側壁は該ピエゾ電気物質 からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを 閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡している チャンネル； 液滴流体供給手段と連絡するためにチャンネル軸と平行な側面で開いた一方の部 分並びにチャンネル軸に平行なすべての側面で閉じた他方の部分を有する各チャ ンネル； 該側壁の相対する側面に設けられ、それにより該作動器と組み合わされたチャン ネルから液滴の排除を行うための剪断モード作動器を形成する電極であって、各 電極はチャンネルの長さに実質的に延在している ことからなる液滴デポジット装置において、 該チャンネルの前記の一方の部分において、ピエゾ電気物質のそれより低い比誘 電率を有する物質の層が、該側壁の相対する側面に設けられた該電極の少なくと も一つと該ピエゾ電気物質との間にはさまれている ことを特徴とする液滴デポジット装置からなる。 この装置は、上述のような「入れこみ」ピエゾ電気挿入物に伴う複雑さなしに 、従来のデザインよりも低い静電容量を達成する。インク供給手段に対して開い たチャンネルの前記の一方の部分では、壁は変位が可能である必要はない。その 結果、この部分の電極は、ピエゾ電気物質より低い比誘電率を有しそれによりピ エゾ電気物質のその部分を作動不能にする物質の層によりチャンネルの壁のピエ ゾ電気物質から分離できる。この一方の部分のチャンネルの壁の相対する側面の 電極間の得られる容量性負荷は、ピエゾ電気物質単独（チャンネルの前記の他の「 閉じた」部分の場合のように）で得られるのよりも低く、それによりプリントヘ ッドの全体の容量性負荷の低下に寄与する。 特別な態様によれば、前記の一方及び他方の部分は、それぞれ、同一平面上の 頂部表面を有しそして実質的に一定の高さである側壁により少なくとも一部画成 され、それにより前記の一方及び他方の部分のそれぞれの側壁の高さは実質的に 等しい。この態様は、特に製造が容易であり、少なくともチャンネルの前方部分 に必要なチャンネルの機械加工の深さに変動がない。この態様では、チャンネル の前記の他方の部分は、ノズルまで一定の深さで延在できる。これとは無関係に 、前記の一方及び他方の部分は、隣接する。 好ましくは、側壁の相対する側面に設けられる電極は、該底面から離れて各チ ャンネルの側壁の頂部に位置する。この配置は、周知の「角度のついたメッキ（ ａｎｇｌｅｄ ｐｌａｔｉｎｇ）」の原理を使用してデポジットするのに特に適 している。特に、電極は、有利には、前記の他方の部分においてそれぞれのチャ ンネルの深さのほぼ半分にわたって延在し、一方前記の一方の部分では、電極は 、好ましくは、それぞれのチャンネルの壁の高さの１０％以下で延在する。 該チャンネルのそれぞれが、前記の一方又は他方の部分の何れかのチャンネル 壁より低い高さのチャンネル壁を有するさらなる部分を含み、そして電極が、相 対するチャンネル壁並びに該チャンネルのそれぞれの前記のさらなる部分の底部 に設けられる場合、該電極及び各チャンネルの前記の相対する壁及び底部の間に はさまれるピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質の層が設けられ る。このさらなる部分の電極は、チャンネルの電極と外部のドライバチップとの 間の接続点として働く。これらの電極と高さの低いチャンネル壁との間の低い誘 電性物質の層は、これらの領域の容量性負荷を低下させる。 本発明のこの態様は、また液滴デポジット装置を製造する方法からなり、それ は、（ａ）ピエゾ電気物質の層からなる底部シートに多数の平行なチャンネルを 形成する段階；（ｂ）該チャンネルのそれぞれの第一の部分の相対する側壁の少 なくとも一つに物質の層をデポジットし、その物質はピエゾ電気物質のそれより 低い比誘電率を有し、該チャンネルのそれぞれの第二の部分の相対する側壁は該 物質を有しないままである段階；（ｃ）該チャンネルの前記の第一及び第二の部 分の相対する側壁に電極物質をデポジットする段階を含む。また、この方法は、 それ自体周知であるデポジット方法を本発明により使用することによって、複雑 さなしに低静電容量プリントヘッドを製造できる。 有利には、方法は、該チャンネルのそれぞれの前記の第一の部分の相対する側 壁の少なくとも一つに物質の該層をデポジットする前に該チャンネルのそれぞれ の前記の第二の部分をマスクし、次に該チャンネルの前記の第一及び第二の部分 の相対する側壁に電極物質をデポジットする前に前記の第二の部分のマスクを取 ることを含む。 電極物質は、有利には、該側壁に向けられそしてそのチャンネルの相対する表 面へ傾斜した金属蒸気のビームによりデポジットされる。 本発明のこの第一の態様は、また、その層に垂直な方向に極性を有しそしてチ ャンネルの長さに垂直な配列方向で互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開 いたチャンネルにより形成されたピエゾ電気物質の層からなる底部のシートであ り、各チャンネルは該側壁間を延在する底面及び高所を有する相対する側壁によ り少なくとも一部画成され、少なくとも側壁はピエゾ電気物質からなり；該チャ ンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを閉じる 頂部シート；液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと 連絡しているチャンネル；チャンネル軸に平行なすべての側面で閉じた部分を有 する各チャンネル；該側壁の少なくとも相対する側面に設けられそれにより該作 動器と組み合わされたチャンネルから液滴排除を行うための剪断モード作動器を 形成する電極；各電極はチャンネルの長さを実質的に延在することからなる液滴 デポジット装置において、ピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質 の層が、各チャンネルの該部分以外の領域の該電極の少なくとも一つと該ピエゾ 電気物質との間にはさまれることを特徴とする液滴デポジット装置をカバーする 。 本発明の第一の態様は、また、ピエゾ電気物質からなりそしてチャンネルの長 さに垂直な配列方向に互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部のあいたチャンネ ルにより形成された底部シートを有し、各チャンネルは該側壁間に延在する高所 及び底面を有する相対する側壁により少なくとも一部画成され、少なくとも側壁 は該ピエゾ電気物質からなり；該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合 してその頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート；液滴流体を供給されそしてそ れからの液滴の放出のためのノズルと連絡しているチャンネル；チャンネル軸に 平行なすべての側面で閉じた部分を有する各チャンネル；該側壁で該ピエゾ電気 物質に電場を適用するための電極を有する液滴デポジット装置において、各チャ ンネルの該部分以外の領域で、ピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する 物質の層が、該側壁の該ピエゾ電気物質と該電極の少なくとも一つとの間にはさ まれることを特徴とする液滴デポジッド装置を含む。 同様な有利さは、本発明の第二の好ましい態様により達成される。これは、そ の層に垂直な方向に極性を有するピエゾ電気物質の層からなりそしてチャンネル の長さに垂直な配列方向に互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いたチャ ンネルにより形成された底部シートであって、各チャンネルは同一平面上の頂部 の表面を有する相対する側壁によりさらに該側壁間に延在する底面により少なく とも一部画成され、少なくとも側壁は該ピエゾ電気物質からなり；該チャンネル の該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを閉じる頂部シ ート；液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡し ているチャンネル；液滴流体供給手段と連絡するためのチャンネル軸に平行な側 面で開いている一方の部分、並びにチャンネル軸に平行なすべての側面で閉じら れた他方の部分を有する各チャンネル；該側壁の相対する側面に設けられそれに より作動器と組み合わされたチャンネルからの液滴の排除を行うための剪断モー ド作動器を形成する電極であって、各電極はチャンネルの長さに実質的に延在す る液澗デポジット装置において、各チャンネルの前記の一方の部分に設けられた 電極は、各チャンネルの前記の他方の部分に設けられた電極よりそれぞれの側壁 の高さのより少ない割合にわたって延在することを特徴とする液滴デポジット装 置からなる。 この装置は、また、簡単なやり方で従来のデザインより低い静電容量を達成す る。インク供給手段に開いたチャンネルの前記の一方の部分において、壁は変位 可能である必要はなく、その結果、この部分の電極は、チャンネルの閉じた部分 の電極に作動電圧を送るのに十分であるが、従って局所的に作動不能である開い た部分のピエゾ電気物質を駆動するには不十分であるチャンネル壁の高所の（よ り少ない）部分にわたって延在することのみを要する。閉じた部分では、電極は 、チャンネル壁を移動させるのに十分な大きな割合で壁を下方に延在させる。こ のやり方で、少なくとも前記の一方（開いた）の部分のチャンネル壁の容量性負 荷は、従来のデザインに比べて低下し、仝体としてプリントヘッドの静電容量を 低下させる。 特別な態様では、前記の一方及び他方の部分は、それぞれ、実質的に一定の高 さの側壁により少なくとも一部画成され、それにより前記の一方及び他方の部分 のそれぞれの側壁は実質的に等しい。この態様は、製造するのに特に容易であり 、少なくともチャンネルの前方の部分に要求されるチャンネルの機械加工の深さ に変動は存在しない。この態様では、チャンネルの前記の他方の部分は、ノズル まで一定の深さで延在できる。これとは無関係に、前記の一方及び他方の部分は 隣接できる。 好ましくは、側壁の相対する側面に設けられた電極は、該底面から離れた各チ ャンネルの側壁の頂部に配置される。この配置は、周知の「角度のついたメッキ 」の原理を使用してデポジットするのに特に適している。特に、前記の一方の部 分では、電極は、好ましくは、それぞれのチャンネルの壁の高所の１０％以下に わたって延在する。 この第二の態様による本発明は、前記の一方及び他方のチャンネルの部分の長 さの比が約２以上である態様において特に有利である。 本発明は、また、この態様に対応する製造方法を含み、それは、（ａ）ピエゾ 電気物質の層からなる底部シートに同一平面上の頂部の表面を有するチャンネル 壁により分離された多数の平行なチャンネルを形成する段階；（ｂ）それぞれの 側壁の高所の第一の範囲（ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎ）にわたって該チャンネルのそ れぞれの第一の部分の相対する側壁上に電極物質をデポジットする段階；（ｃ） それぞれの側壁の高所の第二の範囲にわたって該チャンネルのそれぞれの第二の 部分の相対する側壁上に電極物質をデポジットし、前記の第一及び第二の範囲は 異なる段階を含む。 再び、この方法は、それ自体周知であるようなデポジット方法を本発明により 使用することによって、複雑さなしに低静電容量プリントヘッドを製造できる。 好ましい態様によれば、方法は、それぞれの側壁の高所の第一の範囲にわたっ て該チャンネルのそれぞれの前記の第一の部分の相対する壁に電極物質をデポジ ットする前に該チャンネルのそれぞれの前記の第二の部分をマスクし、次に該チ ャンネルのそれぞれの前記の第一及び第二の部分の相対する側壁に電極物質をデ ポジットする前に前記の第二の部分のマスクを取ることを含む。このやり方は、 実行するのに簡単でありそしてデポジット段階間の真空を止めることを要しない 。有利には、第一の範囲は、前記の第二の範囲より大きく、第二の範囲は好まし くは壁の高さの１０％以下である。これは、該壁に向けられそしてそのチャンネ ルの相対する表面に傾斜した金属蒸気のビームによる物質デポジットの従来の技 術を本発明で使用することにより達成でき、前記の第一の部分のデポジットの角 度は、前記の第二の部分のデポジットの角度より鋭い。 図面の簡単な説明 本発明は、図に関して例により記述されるだろう。 図１は、本発明が適用できる従来のインクジェットプリントヘッドの一つの形 の透視図である。 図２は、図１のＡ−Ａの線に沿ってとられた図１のプリントヘッドの断面図で ある。 図３（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ線Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃ及びＤ−Ｄに沿 ってとられた図１のプリントヘッドの部分の断面図である。 図４は、図２のそれに対応しそして本発明の第一の態様を組み込んだ断面図で ある。 図５（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、図４の線Ｂ´−Ｂ´、Ｃ´−Ｃ´及びＤ´ −Ｄ´に沿ってとられそして図３（ａ）−（ｃ）の断面に対応する断面図である 。 図６は、図２のそれに対応しそして本発明の第二の態様を組み込んだ断面図で ある。 図７（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、図６の線Ｂ´´−Ｂ´´、Ｃ´´−Ｃ´´ 及びＤ´´−Ｄ´´に沿ってとられそして図３（ａ）−（ｃ）の断面に対応する 断面図である。 図８は、本発明の第二の態様によるチャンネル壁を通る断面の概略図である。 図９は、図６に対応する断面図でありそして本発明の第二の態様による方法の 段階を説明する。 図１０は、本発明を組み込んだ他のプリントヘッドのチャンネルの縦の軸に沿 ってとられた断面図である。 発明を実施するための最良の形態 図１−３は、例えば米国特許Ａ第５０１６０２８号から知られしかも剪断モー ドで操作するピエゾ電気壁作動器を組み込んだ代表的なインクジェットプリント ヘッド８を示す（それぞれ透視及び断面の図で）。それは、その接続トラック１ ４を示す部分のみが画かれている回路板１２上に設けられたピエゾ電気物質のベ ース１０からなる。 多数の平行な溝が、例えば米国特許Ａ第５０１６０２８号に記載されているよ うに、ピエゾ電気物質の層中に延在するベース１０に形成される。各溝は、比較 的深くて均一に同一平面上の頂部表面を有する相対する作動器の壁２２により分 離されたインクチャンネル２０を設ける前方部分、並びに比較的浅くて接続トラ ックのための配置を提供する後方部分からなる。前方及び後方の部分は、チャン ネルの［ランアウト（ｒｕｎｏｕｔ）］部分Ｒにより接続され、その半径は、チ ャンネルを形成するために使用される切断ディスクの半径により決定され（そし て例えば前記のヨーロッパ特許Ａ第０３６４１３６号に論じられている）。 図３に画かれているように、溝の形成後、金属メッキがそのなかにデポジット されて、それが壁の頂部からチャンネルの高さの約半分に延在している、インク チャンネル２０の相対する面上に電極２６が前方部分で設けられ（図３（ａ）及 び（ｂ））、そして後方部分ではデポジットされて各チャンネル２０の電極に接 続する接続トラック２４を提供する（図３（ｃ））。壁の頂部は、トラック２４ 及び電極２６が各チャンネルについて絶縁された作動器電極を形成するようにメ ッキ金属がないようにする。このメッキ技術は、例えば前記のヨーロッパ特許Ａ 第０３６４１３６号から当業者に周知である。 デポジットそして（任意に）インクからの電極パーツの電気的な絶縁のための 不動態層によるベース１０の被覆後、ベース１０は、図１に示されるように、回 路板１２上に設けられそして結合されたワイヤ接続２８は、回路板１２上の接続 トラック１４へベース部分１０上の接続トラック２４を接続する。 カバー１６が作動器壁２２の頂部に結合されそれにより多数の「閉じた」チャ ンネル２０を形成することにより確保される。一端では、各チャンネルは、補充 インクの供給を受けることができる（示された例では、これはカバー１６の窓２ ７を経てなされる）。各チャンネルの他端では、プリントヘッドに結合したノズ ル板１７に（有利にはＵＶエキシマーレーザーアブレーションにより）形成でき るノズル３０が配置される。 例では、プリントヘッドは、窓２７を経てインク供給からインクを伝達するこ とにより操作され、それからそれはインクチャンネル２０に送られてノズル３０ に達する。例えばヨーロッパ特許Ａ第０２７７７０３号から知られているように 、チャンネル壁の何れかの側面上の電極への電圧波形の適切な適用は、壁間に生 ずる電位差を生じ、それは次にチャンネル壁の極性を有するピエゾ電気物質を剪 断モードで変形させ、そして壁をそれぞれのチャンネルに関して横方向に偏向さ せる。インクチャンネルと界接している壁の一方又は両者は、従って偏向できる 。 チャンネル中への壁の運動は、チャンネルの体積を減少させそしてそれぞれベ ース及びカバーにより頂部及び底部で閉じられさらにそれぞれのチャンネルの壁 により両方の側面で閉じられたチャンネルの長さに沿ってインクの圧力を確立す る。この長さは、チャンネルの「活性」長さとして知られており、図１及び２で は「Ｌ」により表示される。圧力の消滅は、インクの液滴をノズルから排除する 。 上記のように、記述された種類のプリントヘッドは、容量性負荷を提供し、前 方の部分（図３（ａ）及び３（ｂ）に対応する）では、コンデンサがチャンネル の壁及び何れかの側面に位置する電極により形成され、一方チャンネルの後方部 分では、それは、（非常に低下した）壁ばかりか接続トラック２４と組合わさっ て容量性効果に寄与するピエゾ電気ベースであることを理解するだろう。 図４は、図２に対応しそして本発明の第一の態様によるプリントヘッドを画い ている断面図である。図５は、対応する断面図を示す。図４のプリントヘッドの 「活性」長さの構造が従来のヘッドのそれと同じままであり、電極２６´は壁の ほぼ半分下方に延在することが分かるだろう。 しかし、インク供給窓２７へ一面で開いておりそのためチャンネルの「活性」 長さの一部ではない十分の深さのチャンネルのその部分（Ｎ´により示される） では、電極２６´´は壁の頂部そのものの部分に沿ってのみ延在する。これは、 活性チャンネル部分の電極２６´へ接続トラック２４から作動信号を運ぶのに十 分であり、しかも（図５（ｂ）から明らかなように）チャンネルの電極の間に位 置するピエゾ電気物質の領域を減少することによりチャンネルのこの部分の容量 性負荷をかなり低下させる（これは、相対比誘電率Ｋを有する物質の厚さＬによ り分離される面積Ａの板を有する平行な板のコンデンサの静電容量ＣがＣ＝Ｋ． ｅｏ．Ａ／Ｌ（但し、ｅｏは自由空間の誘電率である）により与えられる確立さ れた原理から導かれる）。 減少された深さの電極２６´´は、また、それが従来のやり方で形成される接 続トラック２４と連絡する「ランアウト」部分Ｒで有利に使用される。 上述の異なる高さのトラック２６´、２６´´の製造に関して、これは金属蒸 気デポジットにより有利に（しかしそればかりでなく）達成される。この技術の 原理は、ヨーロッパ特許Ａ第０３６４１３６号に十分に記載され、そのため本明 細書では論じない。チャンネル状のピエゾ電気ボディは、最初に、遮蔽された溝 の後方の部分Ｃ´を除くすべてのボディの平面に垂直に向けられた即ちチャンネ ルの側壁に実質的に平行な金属蒸気ビームに曝される。図５（ｃ）で点線６０に より示されるように、金属はそれによりデポジットされてワイヤ結合工程に抵抗 するのに十分な厚さ、概して２−４μｍの接続トラック２４を形成する。 プリントヘッドの活性長さＬを形成するためのチャンネルのこれらの部分の遮 蔽は、次に除かれ、そしてチャンネル状ボディ及び金属蒸気ビームは、電極が、 壁のほぼ半分の高さ（１２５μｍという代表的なメッキ深さを生ずる）でしかも 金属蒸気ビームに垂直に整えられた表面上１μｍのデポジットに概して等しい厚 さで、部分Ｌのチャンネル壁上にデポジットされるように、図５（ａ）に示され る位置に相互に回転する。相対的な回転は、各チャンネルの両方の側壁を被覆す るために２回行う必要があることを理解するだろう。工程のこの部分は、ヨーロ ッパ特許Ａ第０３６４１３６号に開示された電極デポジット方法に対応する。 最後に、チャンネルの残り即ち部分Ｎ及びＲの遮蔽は除かれ、そしてチャンネ ル状のボディ及び金属蒸気ビームは、図５（ｂ）に示されるより浅い角度で再び 相互に回転し、それにより以前の段階で活性領域にデポジットした電極２６´の 頂部に沿ってまた部分Ｒ、Ｎでより浅い電極２６´´（概して深さ２５μｍ）を デポジットする。チャンネルの活性領域では、浅い電極は、活性領域の長さに沿 って伝導を助ける（これは、高い抵抗を有する電極物質が使用される場合特に有 利である）。再び、さらなる回転が、他の壁の頂部に沿ってデポジットをするの に必要とされる。 上記の方法は、デポジットの各段階で、デポジットのパラメータが、メッキさ れる特別な領域で最適の電極特性を達成するように調整できるという、付随する 有利さを有する。従って、デポジットの最初の段階は、ワイヤ結合工程中セラミ ック基体に付着したままの接続トラックを単に形成するのに十分な品質の金属の 層を（最小の時間で）生成するように、デポジットをさらに早い速度で実行でき る。一方、チャンネルの活性長さにおける電極のデポジットの第二の段階は、チ ャンネルの活性部分の壁上にデポジットされた電極が電気的な連続性を示すこと を確実にするように、さらに遅いデポジット速度で実施できる。浅い電極２６´ ´がデポジットされる最後の段階は、この電極が垂直に近い角度でデポジットさ れるという事実を示すさらに早いデポジット速度で再び実施できる。 遮蔽は、メッキの良好なエッジの画成を達成するように、好ましくはチャンネ ル状部品１０に近く、チャンネル状ベース１０と金属蒸気源との間に置かれる物 理的なマスクにより達成できる。マスクは、理想的には、真空系で使用するのに 好適な物質（例えばポリイミド又は金属）から構築される。各マスクは、メッキ されるべき領域に対応してそれに形成される孔を有し、そして上記の方法に従っ て、それぞれが次にデポジットの適切な段階後開けるように、引張により、又は チャンネル状ベースからそれらを静かに動かすことにより、又はそれらを蝶番式 に動かすことによりの何れかで除くことができる。好ましくは、各マスクは、さ もなければ連続的に形成される電極層間の酸化物層の形成を生ずるかもしれない 真空室を開けることなく除かれる。 電極デポジット方法の別法は、最初に、チャンネルの全長さに沿って浅い電極 をデポジットすることを含む。チャンネルの不活性部分「Ｎ」を遮蔽するマスク は、次にヨーロッパ特許Ａ第０３６４１３６号から周知の従来のやり方で、チャ ンネルの浅い後方の部分「Ｃ」の接続トラック及びチャンネルの活性成分「Ｌ」 の壁の半分の深さの電極をデポジットする前に、室中に導入される。 壁の頂部上の望まない金属のデポジットは、例えばヨーロッパ特許Ａ第０３９ ７４４１号から周知のように、熱可塑性の「持ち上げるだけで取り外せる（ｌｉ ｆｔ ｏｆｆ）」フィルムにより、又はヨーロッパ特許Ａ第０３６４１３６号に おけるようにデポジット後ラッピングすることにより避けることができる。例え ば電極２６´又は２６´´の次のデポジットにおける接続トラックのような領域 のさらなるデポジットは、有利には、接続トラックの必要な最初のデポジット厚 さを計算するとき、考慮に入れることになる（例えば、２μｍに過ぎない電極物 質が溝の後方の部分「Ｃ」に最初にデポジットされる必要があり、次のデポジッ ト段階における後方の部分でデポジットされる電極物質は、３−４μｍの最終の 目標とする接続トラックの厚さを生ずる）。 図４及び５は、ピエゾ電気物質の層に垂直にそして単一の方向に極性を有する ピエゾ電気物質の壁を有するプリントヘッド（ヨーロッパ特許Ａ第０３５４１３ ６号に開示されているいわゆる「カンチレバ構造」）に適用されるときの本発明 の前記の態様を画いている。しかし、本発明は決してこれらの構造に制限されず 、そしてヨーロッパ特許Ａ第０２７７７０３号から知られるように、二つの相対 する方向に極性を有するピエゾ電気物質による「山形（ｃｈｅｖｒｏｎ）」構造 を有するプリントヘッドに等しく適用される。この後者の構造は、「カンチレバ 」構造より低い操作電圧を要する利点を有するが、容量性負荷がより高い不利を 有する。本発明の使用は、そのため、非常に適切なことになる。例えばヨーロッ パ特許Ａ第０２７７７０３号から理解できるように、これらの構造は、壁の全高 さに延在するようにチャンネルの活性部分（Ｌ）に電極を必要とする。不活性部 分では、浅い電極の高さは、カンチレバ構造に使用されるそれと同じ、即ち概し て２５μｍ及び／又は壁の高さの２０％以下である。ＷＯ９２／０９４３６号は 、それから「山形」構造が「カンチレバ」デザインに関して上述したのと本質的 に同じ製造技術を使用して製造できるラミネートを記述している。 図６は、図２に対応しそして本発明の他の態様によるプリントヘッドを画いた 断面図であり、図７は、それに対応する断面図を示す。先の態様によるように、 プリントヘッドの「活性」長さの構造は、従来のヘッドのそれと同じままである が、電極２６は、示された「カンチレバ」作動器の場合では、ピエゾ電気物質の 壁をほぼ半分下方に延在する（そして「山形」スタイルの作動器の場合にはピエ ゾ電気物質の壁を全部下方に延在する）。 対照的に、インク供給窓２７に一面で開いておりそしてそのためチャンネルの 「活性」長さの一部ではない深さ全部に及ぶ（ｆｕｌｌ−ｄｅｐｔｈ）チャンネ ルの部分（Ｎ）は、ピエゾ電気物質のそれよりも低い比誘電率を有する物質４０ の層が電極２６及びチャンネル壁２２のピエゾ電気物質の間にはさまれる点で従 来の構造とは異なる。これは、図７（ｂ）の断面図で画かれている。 チャンネルのこの部分のチャンネル壁の容量性負荷は、従来のデザインの単一 のコンデンサよりむしろ直列の３個のコンデンサにより代表できる。図８で概略 的に画かれているように、コンデンサＣ₁は、それ自体壁２２のピエゾ電気物質 により形成されるコンデンサＣ₂に加えて壁の何れかの側面上で層４０にわたっ て形成される。ピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質を選ぶこと により、直列のコンデンサＣ₁及びＣ₂の得られる合計の静電容量は、ピエゾ電気 物質単独のそれより低いように製造できる。（第一の近似に、Ｃ₁の低い値が、 Ｃ_totalの低い値を与えるだろうことが分かることから、合計の静電容量は、１ ／Ｃ_total＝１／Ｃ₂＋２／Ｃ₁により与えられる）。 図７（ｃ）から明らかなように、この技術は、有利に、ランアウト領域Ｒにお けると同様に接続トラックの領域Ｃに適用できる。 本発明の先の態様におけるように、この態様は、それ自体周知のデポジット技 術を本発明で使用することにより行うことができる。ピエゾ電気物質より低い比 誘電率を有する物質として、窒化珪素が有利に使用できる。これは、約８の比較 比誘電率を有し（鉛ジルコニウムチタネート（ＰＺＴ）のようなピエゾ電気物質 に関する約３６００の値と比較したとき）、そしてチャンネル電極用の保護的不 動態被覆としてインクジェットプリントヘッドで好都合に使用される。 この物質は、マスクされたチャンネルの目的とする活性部分Ｌを保持しつつ、 例えばＷＯ９５／０７８２０号により周知の技術を使用してチャンネル壁にわた ってデポジットできる。得られる窒化珪素の層は、概して、０．３−０．５μｍ の範囲内の厚さを有する。デポジット工程は、導入される低い誘電性物質がチャ ンネルの活性長さをカバーすることを防ぐように整えられた単一のマスクのみを 必要とする。図９に示されるように、マスク７０は、活性領域Ｌの壁２２の頂部 と密に接触しなければならず、そして活性部分Ｌのわずか上（概してほぼチャン ネルの深さ）に延在しなければならない。それは、使用されるデポジット技術が 、導入する低い誘電性物質（矢印８０により示される）を突き出す部分７２の下 に浸透させる（事実、デポジット方法は、ピエゾ電気物質の不規則な表面を満た すためにこの性質を意識的に選択する）からである。その上、マスク７０は、デ ポジット工程中加熱及び歪みを避けるために、実質的な厚さを有しそして熱的に 伝導性である必要がある。従って、それは概して２−３ｍｍの厚さのアルミニウ ムから製造される。 電極は、次に上記の従来のやり方でチャンネルの全長さの上にデポジットされ る。事実、不動態物は、チャンネル壁ののこでひかれた表面よりも電極のデポジ ットによりさらに滑らかな表面をもたらすものと考えられ、その結果、チャンネ ルの不活性部分の電極はより疲労しない。 本発明の先の態様によるように、熱可塑性の「持ち上げるだけで取り外せる」 フィルム又はラッピングの使用は、チャンネル壁の頂部の上にデポジットした電 極及び低い誘電性物質を除くのに満足しうることが明らかになっている。また、 本発明は、ピエゾ電気物質がピエゾ電気物質の層に垂直な方向に極性を有してい る場合、「カンチレバ」、「山形」又は任意の他のプリントヘッド構造に等しく 適用可能である。 多くの別の絶縁物質及び／又は別のデポジット技術が、低い誘電性層について 窒化珪素の代わりに使用でき、酸化物特に酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化ア ルミニウム及びダイアモンド様炭素がある。物質を適切に選択すると、低い誘電 性層及びチャンネル電極をデポジット装置の単一の部品を使用してデポジットさ せることができ、製造時間（一方の機械から他の機械にチャンネル状の部品を移 動させる必要がない）及び設備する装置の明らかな経済性をもたらす。例えば、 窒化アルミニウムの低い誘電性層を、窒素イオン又はフリーラジカルにより部品 に衝撃を与えている間、アルミニウムを蒸発することにより室中のチャンネル状 の部品上にデポジットさせる。室の次の排気は、蒸発するアルミニウムを、前記 のヨーロッパ特許Ａ第０３６４１３６号から周知のやり方で同じ室中でチャンネ ル壁上の電極としてデポジットさせるだろう。 上記の態様の変動が、本発明の範囲内で可能であることは、理解されるだろう 。例えば、前記の態様は、電極とチャンネル側壁との間にはさまれた低い誘電性 物質の層と浅い電極とをともに有するチャンネルの不活性部分「Ｎ」と組み合わ せて使用できる。別に、本発明の前記の態様の何れか又は両者は、他の静電容量 低下の手段と組合わさって使用できる。 チャンネルの活性及び不活性の長さの相対的なディメンジョンは、また図に示 されたものから変化でき、ヨーロッパ特許Ａ第０４２２８７０号に記載されたも の（そして低い容量性負荷が高い駆動周波数からみて特に重要である場合）の高 い周波数の操作は、１０−１ｍｍ例えば４ｍｍの範囲の低い末端における活性チ ャンネル長さ（Ｌ）を必要とし、一方チャンネルの縦の方向に開いたマニホール ドのディメンジョンは、現存のインク供給構造などに適合するために、過剰の圧 力低下なしに十分なインクの流れを行わせるのに実質的に一定（例えば１０ｍ ｍ）のままであることを必要とする。従って、要するに、本発明は、約２以上の 不活性の深さ全部に及ぶ長さ対活性の深さ全部に及ぶ長さの比を有するプリント ヘッドにおいて特に有利である。 このプリントヘッドの他の重要なディメンジョンは、概して、以下の通りであ る。全チャンネル深さ３００μｍ、チャンネルの活性部分の電極深さ１５０μｍ 、深さ全部に及ぶ部分のチャンネル壁幅（Ｌ、Ｎ）６２μｍ、接続トラック部分 の長さ（Ｃ）７．４ｍｍ、接続トラック部分のチャンネル壁幅４７μｍ、作動器 の全長さ（Ｃ＋Ｒ＋Ｎ＋Ｌ）１１．５ｍｍ、活性長さ（Ｌ）１．５ｍｍ。 これらのデザインにおいて、本発明の使用は、図で示された種類のプリントヘ ッドにおけるよりもプリントヘッドの容量性負荷が比例して大きく低下すること は理解されるだろう。例えば、本発明の一つの態様によれぱ、上記のディメンジ ョンを有する単一のチャンネル壁の不活性部分における深さ２５μｍの浅い電極 を使用することは、一定の高さ１５０μｍの電極を使用して同じ壁に関する５４ ０ｐＦの値と比較して、３５４ｐＦの壁に関する全静電容量を生ずる。本発明の 他の態様による低い誘電性不動態フィルムの使用は、１９０ｐＦの合計の壁の静 電容量を与えるが、一方組み合わせた両方の態様の使用は、１４０ｐＦの壁の静 電容量の植を与えるだろう。この値は、壁の活性部分のみにより表示されるそれ に極めて近い（１２９ｐＦ）。 本発明は、図に示されたプリントヘッド構造に制限されない。特に、液滴流体 は、チャンネル軸に平行な任意のチャンネルの側面を経て、例えばヨーロッパ特 許Ａ第０３６４１３６号に示されるようなチャンネルのベースの開口を経て供給 できる。同様に、ノズルは、図に示されるようなチャンネル軸上に配置される必 要はなく、カバー又はベース（いわゆる「トップ・シューター」及び「ボトム・ シューター」のデザイン）又は当業者に知られているような他の場所に配置でき る。そして、本発明による装置は、本明細書で示された方法により製造すること に必ずしも制限される必要はない。例えば、電極及び／又は低い誘電性層の選択 的適用は、チャンネル状のベースへの頂部カバーの結合後考慮することができる 。別に、チャンネル状ベース及び頂部層は、別々のアセンブリに組み込まれ、そ のそれぞれは別々に製造段階にかけられる。 本発明は、例えばＷＯ９５／１８７１７号に記載された「ウェーハー・スケー ル」製造技術及び構造に適用可能である。不動態化及び電極デポジットマスクは 、従って必ず適合されるだろう。インクがチャンネルの側面からよりむしろ末端 から（例えば、図１０に示されるようなチャンネルの縦の軸に垂直に走るマニホ ールドトラフから）供給される構造では、低い誘電性物質は、チャンネルの閉じ た（「活性」）部分１３０の外側にある領域１２０のチャンネル状の部品１１０ と電極物質１０５との間にはさまれているに過ぎない。 本発明は、また上記の構造に異なるやり方で極性をあたえるピエゾ電気物質を 含みそしてそれに応じて作動電極の異なる配置を有する構造に適用可能である。 この構造の例は、米国特許Ａ第５２３５３５２号に示され、それは、チャンネル の配列方向に平行に極性を与えるピエゾ電気物質を含み、そしてそれら自体壁に 位置する電極によって極性の方向に垂直な電場にかけられるチャンネル分離壁を 有する。低い誘電性層は、チャンネルの不活性且つ閉じていない部分に対応する 壁の部分のピエゾ電気物質と電極との間に適用される。本明細書（請求の範囲を 含む）に開示されたそれぞれの特徴及び／又は図に示されたそれぞれの特徴は、 他の開示及び／又は画かれた特徴に無関係に、本発明に組み込まれる。 要約書のテキストは、明細書の一部として以下に繰り返される。 ドロップ・オン・デマンドのピエゾ電気プリントヘッドは、その長さに沿う電 極（２６）を有するピエゾ電気物質（１０）により画成されるチャンネル壁を有 する。インク供給導管に開いたチャンネルの部分では、ピエゾ物質は、例えば電 極の幅を減少させることにより、又は電極とピエゾ物質との間に低い比誘電率の 物質（４０）をはさむことにより、局所的に作動不能にされる。低い容量性負荷 が生ずる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＢＲ，ＣＡ，ＣＮ，Ｃ Ｚ，ＩＬ，ＪＰ，ＫＲ，ＭＸ，ＲＵ，ＵＳ (72)発明者 テンプル，ステフェン イギリス国ケンブリッジ シービー３ ０ エルエヌ ガートン ロード 66

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ピエゾ電気物質を有しさらにチャンネルの長さに垂直な配列方向で互いに間 隔を置いて配置された多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成された 底部シートであって、各チャンネルは、相対する側壁によりそして該側壁の間を 延在する底面により少なくとも一部画成され； 該ピエゾ電気物質に電場を適用しそれにより該側壁の横方向の変位を行うための 該ピエゾ電気物質及び電極からなる少なくとも側壁； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを 閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡している チャンネルであって、各チャンネルは液滴流体供給手段と連絡するためにチャン ネル軸と平行な側面で開いた一方の部分並びにチャンネル軸に平行なすべての側 面で閉じた他方の部分を有する 液滴デポジット装置において、 各チャンネルの前記の一方の部分の該ピエゾ電気物質からなるそれぞれの側壁が 、各チャンネルの前記の一方の部分の該側壁の横方向の変位が生じないように作 動不能である ことを特徴とする液滴デポジット装置。 ２．チャンネルの一方の部分において、ピエゾ電気物質のそれよりも低い比誘電 率を有する物質の層が、ピエゾ電気物質を作動不能にするために該壁の相対する 側面上に設けられた電極の少なくとも一つとピエゾ電気物質との間にはさまれる 請求項１の液滴デポジット装置。 ３．各チャンネルの前記の一方の部分に設けられる電極が、ピエゾ物質を前記の 一方の部分で駆動しそれによりそれが作動不能にされるように、各チャンネルの 前記の他方の部分に設けられる電極よりもそれぞれの側壁の高所のより少ない割 合にわたって延在する請求項１の液滴デポジット装置。 ４．その層に垂直な方向に極性を有するピエゾ電気物質の層を有しそしてチャン ネルの長さに垂直な配列方向で互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いた チャンネルにより形成された底部シートであって、各チャンネルは相対する側壁 によりそして該側壁の間に延在する底面により少なくとも一部画成され、少なく とも側壁は該ピエゾ電気物質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを 閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡している チャンネル； 液滴流体供給手段と連絡するためにチャンネル軸と平行な側面で開いた一方の部 分並びにチャンネル軸に平行なすべての側面で閉じた他方の部分を有する各チャ ンネル； 該側壁の相対する側面に設けられ、それにより該作動器と組み合わされたチャン ネルから液滴の排除を行うための剪断モード作動器を形成する電極であって、各 電極はチャンネルの長さに実質的に延在している ことからなる液滴デポジット装置において、 該チャンネルの前記の一方の部分において、ピエゾ電気物質のそれより低い比誘 電率を有する物質の層が、該側壁の相対する側面に設けられた該電極の少なくと も一つと該ピエゾ電気物質との間にはさまれている ことを特徴とする液滴デポジット装置。 ５．前記の一方及び他方の部分が、それぞれ、同一平面上の頂部表面を有しそし て実質的に一定の高さである側壁により少なくとも一部画成され、それにより前 記の一方及び他方の部分のそれぞれの側壁の高さが実質的に等しい請求項４の液 滴デポジット装置。 ６．各チャンネルについて、ノズルがチャンネルの前記の他方の部分に隣接して いる請求項４又は５の液滴デポジット装置。 ７．各チャンネルについて、前記の一方及び他方の部分が隣接する請求項４−６ の何れか一つの項の液滴デポジット装置。 ８．前記の他方の部分において、電極がそれぞれのチャンネル壁のピエゾ電気物 質の表面上に設けられる請求項４−７の何れか一つの項の液滴デポジット装置。 ９．各チャンネルの少なくとも前記の一方の部分の該側壁の相対する側面に設け られた該電極が、該底面から離れた各チャンネル側壁の頂部に位置する請求項８ の液滴デポジット装置。 １０．該チャンネルのそれぞれが、前記の一方又は他方の部分の何れかのチャン ネル壁より低い高さのチャンネル壁を有するさらなる部分を含み、そして電極が 、相対するチャンネル壁並びに該チャンネルのそれぞれの前記のさらなる部分の 底部に設けられ、該電極及び各チャンネルの前記の相対する壁及び底部の間には さまれるピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質の層が存在する請 求項４−９の何れか一つの項の液滴デポジット装置。 １１．（ａ）ピエゾ電気物質の層からなる底部シートに多数の平行なチャンネル を形成する段階；（ｂ）該チャンネルのそれぞれの第一の部分の相対する側壁の 少なくとも一つに物質の層をデポジットし、物質はピエゾ電気物質のそれより低 い比誘電率を有し、該チャンネルのそれぞれの第二の部分の相対する側壁は該物 質を有しないままである段階；（ｃ）該チャンネルの前記の第一及び第二の部分 の相対する側壁に電極物質をデポジットする段階を含む請求項４の液滴デポジッ ト装置を製造する方法。 １２．（ｄ）該チャンネルのそれぞれの前記の第一の部分の相対する側壁の少な くとも一つに物質の該層をデポジットする前に該チャンネルのそれぞれの前記の 第二の部分をマスクする段階、（ｅ）該チャンネルの前記の第一及び第二の部分 の相対する側壁上に電極物質をデポジットする前に前記の第二の部分のマスクを 取る段階を含む請求項１１の方法。 １３．電極物質が、該側壁に向けられそしてそのチャンネルの相対する表面に傾 斜した金属蒸気のビームによりデポジットされる請求項１１又は１２の方法。 １４．その層に垂直な方向に極性を有しそしてチャンネルの長さに垂直な配列方 向で互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成され たピエゾ電気物質の層からなる底部のシートであり、各チャンネルは該側壁間を 延在する底面及び高所を有する相対する側壁により少なくとも一部画成され、少 なくとも側壁はピエゾ電気物質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを 閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡している チャンネル； チャンネル軸に平行なすべての側面で閉じた部分を有する各チャンネル； 該側壁の少なくとも相対する側面に設けられそれにより作動器と組み合わされた チャンネルから液滴排除を行うための剪断モード作動器を形成する電極であって 各電極はチャンネルの長さに実質的に延在することからなる液滴デポジット装置 において、 各チャンネルの前記の一方の部分に設けられた電極が、各チャンネルの前記の他 方の部分に設けられた電極より少ない割合の高さのそれぞれの側壁にわたって延 在することを特徴とする液滴デポジット装置。 １５．前記の一方及び他方の部分は、それぞれ、実質的に一定の高さの側壁によ り少なくとも一部画成され、それにより前記の一方及び他方の部分のそれぞれの 側壁は実質的に等しい請求項１４の液滴デポジット装置。 １６．各チャンネルについて、ノズルがチャンネルの前記の他方の部分に隣接す る請求項１５の液滴デポジット装置。 １７．各チャンネルについて、前記の一方及び他方の部分が隣接する請求項１４ −１６の何れか一つの項の液滴デポジット装置。 １８．各チャンネルの少なくとも前記の一方の部分の該側壁の相対する側面に設 けられた該電極が、該底面から離れた各チャンネル側壁の頂部に位置する請求項 １４−１７の何れか一つの項の液滴デポジット装置。 １９．電極が好ましくは前記の一方の部分のそれぞれのチャンネル壁の高さの１ ０％以下に延在する請求項１４−１８の何れか一つの項の液滴デポジット装置。 ２０．前記の他方の部分の電極が、それぞれのチャンネル壁の約半分の深さ又は 実質的に全部の深さにわたって延在する請求項１４−１９の何れか一つの項の液 滴デポジット装置。 ２１．前記の一方及び他方のチャンネル部分の長さの比が約２以上である請求項 １４−２０の何れか一つの項の液滴デポジット装置。 ２２．（ａ）ピエゾ電気物質の層からなる底部シートに同一平面上の頂部の表面 を有するチャンネル壁により分離された多数の平行なチャンネルを形成する段 階；（ｂ）それぞれの側壁の高さの第一の範囲にわたって該チャンネルのそれぞ れの第一の部分の相対する側壁上に電極物質をデポジットする段階；（ｃ）それ ぞれの側壁の高さの第二の範囲にわたって該チャンネルのそれぞれの第二の部分 の相対する側壁上に電極物質をデポジットし、前記の第一及び第二の範囲は異な る段階を含む請求項１４の液滴デポジット装置を製造する方法。 ２３．（ｄ）それぞれの側壁の高さの第一の範囲にわたって該チャンネルのそれ ぞれの前記の第一の部分の相対する壁上に電極物質をデポジットする前に該チャ ンネルのそれぞれの前記の第二の部分をマスクする段階； （ｅ）該チャンネルのそれぞれの前記の第一及び第二の部分の相対する側壁上に 電極物質をデポジットする前に前記の第二の部分からマスクを取る段階 を含む請求項２２の方法。 ２４．前記の第一の範囲が前記の第二の範囲より大きい請求項２２又は２３の方 法。 ２５．前記の第二の範囲が壁の高さの１０％以下である請求項２４の方法。 ２６．電極物質が、該側壁に向けられそしてそのチャンネルの相対する表面へ傾 斜した金属蒸気のビームによりデポジットされ、前記の第一の部分のデポジット のための角度が前記の第二の部分のデポジットのための角度より鋭い請求項２２ −２５の何れか一つの項の方法。 ２７．その層に垂直な方向に極性を有しそしてチャンネルの長さに垂直な配列方 向で互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成され たピエゾ電気物質の層からなる底部のシートであり、各チャンネルは該側壁間を 延在する底面及び高所を有する相対する側壁により少なくとも一部画成され、少 なくとも側壁はピエゾ電気物質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを 閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡している チャンネル； チャンネル軸に平行なすべての側面で閉じた部分を有する各チャンネル； 該側壁の少なくとも相対する側面に設けられそれにより作動器と組み合わされた チャンネルから液滴排除を行うための剪断モード作動器を形成する電極であって 各電極はチャンネルの長さに実質的に延在することからなる液滴デポジット装置 において、 ピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質の層が、各チャンネルの該 部分以外の領域で該電極の少なくとも一つと該ピエゾ電気物質との間にはさまれ る ことを特徴とする液滴デポジット装置。 ２８．ピエゾ電気物質からなりそしてチャンネルの長さに垂直な配列方向に互い に間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成された底部シ ートであって、各チャンネルは該側壁の間に延在している高所及び底面を有する 相対する側壁により少なくとも一部画成され、少なくとも側壁は該ピエゾ電気物 質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してその頂部に該チャンネルを 閉じる頂部のシート； 液滴流体により供給されそしてそれからの液滴の放出のためのノズルと連絡して いるチャンネル； チャンネル軸に平行なすべての側面で閉じられた部分を有する各チャンネル； 該側壁で該ピエゾ電気物質に電場を適用する電極 を有する液滴デポジット装置において、 各チャンネルの該部分以外の領域で、ピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を 有する物質の層が該側壁の該ピエゾ電気物質と該電極の少なくとも一つとの間に はさまれる ことを特徴とする液滴デポジット装置。 ２９．部品を室に置く段階、表面を金属蒸気ビームに曝す段階、並びに室が真空 である状態と部品の表面がイオン又はフリーラジカルにより衝撃を与えられる状 態との間を転換する段階を含む部品の表面を被覆する方法。 ３０．該イオン又はフリーラジカルが酸素又は窒素のものである請求項２９の方 法。 ３１．該金属蒸気ビームが蒸発されたアルミニウムからなる請求項３０の方法。 ３２．該部品が、二つの相対する側壁及びそれらの間のベース表面をそれぞれ有 するチャンネルをその中に形成されており、被覆が該側壁上にデポジットされる 請求項２９−３１の何れか一つの項の方法。 ３３．室が前記の真空である状態において、金属蒸気ビームが該チャンネル壁に 零ではない角度で向けられる請求項３２の方法。