JPH11509595A - オイルポンプを備えたオイルシール式回転スプール真空ポンプ - Google Patents
オイルポンプを備えたオイルシール式回転スプール真空ポンプInfo
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.ロータ(3)とオイルポンプ(45,46)とを備えたオイルシール式回 転スプール真空ポンプ(1)であって、オイルポンプのポンプ室がガスのための 供給部(64)とオイルのための供給部(65)とを備えている形式のものにお いて、オイルポンプ(45,46)の循環する吐出容積室内へまず最初にオイル だけが、次いでオイルと空気とが吸込まれるように、ガスのための供給部(64 )とオイルのための供給部(65)との配置が選択されていることを特徴とする オイルポンプを備えたオイルシール式回転スプール真空ポンプ。 2.オイルポンプ(45,46)がロータ(46)と、このロータに当接した 遮断スプール(47)とを有していることを特徴とする請求項1記載の回転スプ ール真空ポンプ。 3.ロータ(46)が楕円の形状を有していることを特徴とする請求項2記載 の回転スプール真空ポンプ。 4.オイルポンプ(45,46)が回転スプールポンプ内に統合されており、 かつ、オイルポンプがロータ(3)のための駆動軸(36)に連結されているこ とを特徴とする請求項1,2又は3記載の回転スプール真空ポンプ。 5.オイルポンプ(45,46)のポンプ室(45)が駆動側で軸受部材(1 3)内に設けられており、かつ、軸受部材(13)に当接したディスク(59) が一方のポンプ室壁を形成していることを特徴とする請求項4記載の回転スプー ル真空ポンプ。 6.軸受部材(13)及び/又はディスク(59)が溝(81〜84)を備え ており、これらの溝がオイルポンプ(45,46)のポンプ室(45)内に開口 していることを特徴とする請求項5記載の回転スプール真空ポンプ。 7.オイルを案内する溝(81)が分岐(82)を介して遮断スプールスリッ トに連通していることを特徴とする請求項2又は6記載の回転スプール真空ポン プ。 8.オイルポンプ(45,46)の出口(84)がハウジング内及び軸受部材 (23)内の通路(66,68,69)を介してスプール中間室(28)に連通 していることを特徴とする請求項1から7までのいずれか1項記載の回転スプー ル真空ポンプ。
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