JPH1158057A - レーザ加工ヘッド - Google Patents
レーザ加工ヘッドInfo
- Publication number
- JPH1158057A JPH1158057A JP9222505A JP22250597A JPH1158057A JP H1158057 A JPH1158057 A JP H1158057A JP 9222505 A JP9222505 A JP 9222505A JP 22250597 A JP22250597 A JP 22250597A JP H1158057 A JPH1158057 A JP H1158057A
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- dimensional convex
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工位置ＴにおけるＹ方向の加工範囲を拡大
することにより加工のための走査回数を減らして作業性
を向上させると共に、熱効率を改良することができるレ
ーザ加工ヘッドを提供すること。 【解決手段】 矩形あるいは矩形に整形したレーザビー
ム１を、２次元凸形シリンドリカルレンズ３によりＸ方
向に収束させ、Ｘ方向に収束させたレーザビーム１を２
次元凹形シリンドリカルレンズ４によりＹ方向に拡散さ
せ、Ｙ方向に拡散させたレーザビーム１を３次元凸形シ
リンドリカルレンズ５によりＸ、Ｙ方向に収束させて線
状のレーザビーム１に形成するようにしたレーザ加工ヘ
ッドにおいて、反射面を互いに向き合わせた２個の鏡８
をＹ方向に隔てて２次元凹形シリンドリカルレンズ４と
３次元凸形シリンドリカルレンズ５との間に配置し、Ｙ
方向に拡散するレーザビームの一部を鏡８にはさまれる
加工位置Ｔに反射させる。
することにより加工のための走査回数を減らして作業性
を向上させると共に、熱効率を改良することができるレ
ーザ加工ヘッドを提供すること。 【解決手段】 矩形あるいは矩形に整形したレーザビー
ム１を、２次元凸形シリンドリカルレンズ３によりＸ方
向に収束させ、Ｘ方向に収束させたレーザビーム１を２
次元凹形シリンドリカルレンズ４によりＹ方向に拡散さ
せ、Ｙ方向に拡散させたレーザビーム１を３次元凸形シ
リンドリカルレンズ５によりＸ、Ｙ方向に収束させて線
状のレーザビーム１に形成するようにしたレーザ加工ヘ
ッドにおいて、反射面を互いに向き合わせた２個の鏡８
をＹ方向に隔てて２次元凹形シリンドリカルレンズ４と
３次元凸形シリンドリカルレンズ５との間に配置し、Ｙ
方向に拡散するレーザビームの一部を鏡８にはさまれる
加工位置Ｔに反射させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプリント基板を加工
するためのレ−ザ加工ヘッドに関する。
するためのレ−ザ加工ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】表面の絶縁層を除去しプリント基板の内
側の銅箔層を露出させる方法として、本願出願人は、特
願平６−１２３８９３号において、目的とする銅箔層の
直前までの絶縁層を工具で除去してから残った絶縁層を
レーザで除去する、工具とレーザを組合せた加工方法を
提案した。また、同時にレーザビームを線状に成形する
ことを提案した。
側の銅箔層を露出させる方法として、本願出願人は、特
願平６−１２３８９３号において、目的とする銅箔層の
直前までの絶縁層を工具で除去してから残った絶縁層を
レーザで除去する、工具とレーザを組合せた加工方法を
提案した。また、同時にレーザビームを線状に成形する
ことを提案した。
【０００３】図３は上記技術におけるレーザ加工ヘッド
の光学系の構成図である。１はエキシマレーザのレーザ
ビームで、図示しないレーザ発振器から発振された後、
図示しないエキスパンダにより拡大され、断面形状は矩
形である。２はコーナーミラー、３は長焦点の２次元凸
形シリンドリカルレンズ、４は２次元凹形シリンドリカ
ルレンズ、５は３次元の凸形シリンドリカルレンズであ
る。６はプリント基板の絶縁層である。
の光学系の構成図である。１はエキシマレーザのレーザ
ビームで、図示しないレーザ発振器から発振された後、
図示しないエキスパンダにより拡大され、断面形状は矩
形である。２はコーナーミラー、３は長焦点の２次元凸
形シリンドリカルレンズ、４は２次元凹形シリンドリカ
ルレンズ、５は３次元の凸形シリンドリカルレンズであ
る。６はプリント基板の絶縁層である。
【０００４】以下、動作を説明する。コーナーミラー２
によりレーザビーム１の進行方向を垂直方向にする。そ
して、２次元凸形シリンドリカルレンズ３（以下、２次
元凸形レンズ３という。）により先ずＸ方向に収束させ
る。次に２次元凹形シリンドリカルレンズ４（以下、２
次元凹形レンズ４という。）によりＹ方向に拡大させ
る。さらに、３次元凸形シリンドリカルレンズ５（以
下、３次元凸形レンズ５という。）によりＸおよびＹ方
向にそれぞれ収束させる。この結果、３次元の凸形レン
ズ５から出るレーザビームは、Ｘ方向は収束する方向
に、またＹ方向は垂直方向になる。そして、３次元凸形
レンズ５から距離ｈの加工位置Ｔの絶縁層６に照射され
るレーザビーム１の形状は、コーナーミラー２に入射す
るレーザビーム１に対し、Ｙ方向に５〜７倍に拡大さ
れ、Ｘ方向に１／５〜１／７に縮小された略線状の形状
になる。そして、略線状のレーザビーム１により絶縁層
６を線の幅方向に走査させると、供給された熱はＸ方向
に速やかに拡散・放熱される。この結果、絶縁層６に加
える供給熱量が同一であっても、加工部の温度上昇を抑
制でき、銅箔の酸化や樹脂の炭化を大巾に改善すること
ができた。
によりレーザビーム１の進行方向を垂直方向にする。そ
して、２次元凸形シリンドリカルレンズ３（以下、２次
元凸形レンズ３という。）により先ずＸ方向に収束させ
る。次に２次元凹形シリンドリカルレンズ４（以下、２
次元凹形レンズ４という。）によりＹ方向に拡大させ
る。さらに、３次元凸形シリンドリカルレンズ５（以
下、３次元凸形レンズ５という。）によりＸおよびＹ方
向にそれぞれ収束させる。この結果、３次元の凸形レン
ズ５から出るレーザビームは、Ｘ方向は収束する方向
に、またＹ方向は垂直方向になる。そして、３次元凸形
レンズ５から距離ｈの加工位置Ｔの絶縁層６に照射され
るレーザビーム１の形状は、コーナーミラー２に入射す
るレーザビーム１に対し、Ｙ方向に５〜７倍に拡大さ
れ、Ｘ方向に１／５〜１／７に縮小された略線状の形状
になる。そして、略線状のレーザビーム１により絶縁層
６を線の幅方向に走査させると、供給された熱はＸ方向
に速やかに拡散・放熱される。この結果、絶縁層６に加
える供給熱量が同一であっても、加工部の温度上昇を抑
制でき、銅箔の酸化や樹脂の炭化を大巾に改善すること
ができた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に点線で
示すように、加工位置Ｔに供給されるＹ方向のエネルギ
密度の大きさは、中央部が高く周辺部にかけて減少する
略凸形になった。なお、図では理解を容易にするため、
誇張して表示してある。そして、絶縁層６を除去できる
エネルギ密度値は上限値Ｒと下限値Ｋとの間であり、エ
ネルギ密度Ｋ未満では絶縁層を除去できず、上限値Ｒを
超えると銅箔の酸化や樹脂の炭化が発生する。このた
め、３次元凸形レンズ５の長さＬＭに対して加工可能な
範囲ＡＢが狭かった。この場合、ＬＡ、ＭＢの範囲も加
工ができるように走査速度を遅くすると、エネルギ密度
が全体に増加して、中央部付近が上限値Ｒを超えた。そ
こで、２次元凹形レンズ４の拡大率を広げることによ
り、中央部と周辺部の差を小さくして（エネルギ密度の
分布曲線の傾斜を緩やかにして）、エネルギ密度を図４
の実線で示すものにすることにより、ａＡ、ｂＢの範囲
も加工できるようにしていた。しかし、３次元凸形レン
ズ５の長さＬＭに近付けることができなかった。また、
Ｙ方向の拡大率を広げたことにより、加工に寄与しない
レーザビームの割合が増加して熱効率が低下した。
示すように、加工位置Ｔに供給されるＹ方向のエネルギ
密度の大きさは、中央部が高く周辺部にかけて減少する
略凸形になった。なお、図では理解を容易にするため、
誇張して表示してある。そして、絶縁層６を除去できる
エネルギ密度値は上限値Ｒと下限値Ｋとの間であり、エ
ネルギ密度Ｋ未満では絶縁層を除去できず、上限値Ｒを
超えると銅箔の酸化や樹脂の炭化が発生する。このた
め、３次元凸形レンズ５の長さＬＭに対して加工可能な
範囲ＡＢが狭かった。この場合、ＬＡ、ＭＢの範囲も加
工ができるように走査速度を遅くすると、エネルギ密度
が全体に増加して、中央部付近が上限値Ｒを超えた。そ
こで、２次元凹形レンズ４の拡大率を広げることによ
り、中央部と周辺部の差を小さくして（エネルギ密度の
分布曲線の傾斜を緩やかにして）、エネルギ密度を図４
の実線で示すものにすることにより、ａＡ、ｂＢの範囲
も加工できるようにしていた。しかし、３次元凸形レン
ズ５の長さＬＭに近付けることができなかった。また、
Ｙ方向の拡大率を広げたことにより、加工に寄与しない
レーザビームの割合が増加して熱効率が低下した。
【０００６】本発明の目的は、上記した課題を解決し、
加工位置ＴにおけるＹ方向の加工範囲を拡大することに
より加工のための走査回数を減らして作業性を向上させ
ると共に、熱効率を改良することができるレーザ加工ヘ
ッドを提供するにある。
加工位置ＴにおけるＹ方向の加工範囲を拡大することに
より加工のための走査回数を減らして作業性を向上させ
ると共に、熱効率を改良することができるレーザ加工ヘ
ッドを提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記した課題は、２次元
凸形シリンドリカルレンズと、２次元凹形シリンドリカ
ルレンズと、３次元凸形シリンドリカルレンズとを備
え、矩形あるいは矩形に整形したレーザビームを、前記
２次元凸形シリンドリカルレンズによりＸ方向に収束さ
せ、Ｘ方向に収束させたレーザビームを前記２次元凹形
シリンドリカルレンズによりＹ方向に拡散させ、Ｙ方向
に拡散させたレーザビームを前記３次元凸形シリンドリ
カルレンズによりＸ、Ｙ方向に収束させて線状のレーザ
ビームに形成するようにしたレーザ加工ヘッドにおい
て、２個の鏡を設け、反射面を互いに向き合わせた前記
鏡をＹ方向に隔てて前記２次元凹形シリンドリカルレン
ズと前記３次元凸形シリンドリカルレンズとの間に配置
し、Ｙ方向に拡散するレーザビームの一部を前記鏡には
さまれる加工区間に反射させることにより解決される。
凸形シリンドリカルレンズと、２次元凹形シリンドリカ
ルレンズと、３次元凸形シリンドリカルレンズとを備
え、矩形あるいは矩形に整形したレーザビームを、前記
２次元凸形シリンドリカルレンズによりＸ方向に収束さ
せ、Ｘ方向に収束させたレーザビームを前記２次元凹形
シリンドリカルレンズによりＹ方向に拡散させ、Ｙ方向
に拡散させたレーザビームを前記３次元凸形シリンドリ
カルレンズによりＸ、Ｙ方向に収束させて線状のレーザ
ビームに形成するようにしたレーザ加工ヘッドにおい
て、２個の鏡を設け、反射面を互いに向き合わせた前記
鏡をＹ方向に隔てて前記２次元凹形シリンドリカルレン
ズと前記３次元凸形シリンドリカルレンズとの間に配置
し、Ｙ方向に拡散するレーザビームの一部を前記鏡には
さまれる加工区間に反射させることにより解決される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を説
明する。図１は本発明の一実施の形態に係るレーザ加工
ヘッドの光学系の構成図で、図３と同じものは同一の符
号を付してある。８は平板状の全反射ミラーで、３次元
凸形シリンドリカルレンズ５の両端に配置されている。
そして、全反射ミラー８は３次元凸形レンズ５の中央端
部を支点にして回転自在であり、図示しない手段により
固定できるように構成されている。
明する。図１は本発明の一実施の形態に係るレーザ加工
ヘッドの光学系の構成図で、図３と同じものは同一の符
号を付してある。８は平板状の全反射ミラーで、３次元
凸形シリンドリカルレンズ５の両端に配置されている。
そして、全反射ミラー８は３次元凸形レンズ５の中央端
部を支点にして回転自在であり、図示しない手段により
固定できるように構成されている。
【０００９】以下、動作を説明する。図２は全反射ミラ
ー８配置部の拡大図で、加工位置Ｔにおけるエネルギ密
度を併記してある。いま、Ｙ方向に拡散するレーザビー
ム１のうち端部のレーザビーム１ｒに着目する。なお、
以下の説明は、図２における左右で同一であるから、添
字Ｒを付して示す右側部分について説明し、添字Ｌを付
して示す左側部分については説明を省略する。点ＦRに
おいてサイドミラー８に全反射されたレーザビーム１ｒ
Rは、３次元凸形レンズ５上の点ＧR、ＨRおよび加工位
置Ｔ上の点ＪRを結ぶ経路を通る。また、３次元凸形レ
ンズ５の上側端部ＵRにおいてサイドミラー８に全反射
されたレーザビーム１ｐRは、３次元凸形レンズ５上の
点ＶRおよび加工位置Ｔ上の点ＷRを結ぶ経路を通る。す
なわち、直接供給されるレーザビーム１のエネルギに、
レーザビーム１ｐRとレーザビーム１ｒRに挾まれるレー
ザビーム１のエネルギが加算される。
ー８配置部の拡大図で、加工位置Ｔにおけるエネルギ密
度を併記してある。いま、Ｙ方向に拡散するレーザビー
ム１のうち端部のレーザビーム１ｒに着目する。なお、
以下の説明は、図２における左右で同一であるから、添
字Ｒを付して示す右側部分について説明し、添字Ｌを付
して示す左側部分については説明を省略する。点ＦRに
おいてサイドミラー８に全反射されたレーザビーム１ｒ
Rは、３次元凸形レンズ５上の点ＧR、ＨRおよび加工位
置Ｔ上の点ＪRを結ぶ経路を通る。また、３次元凸形レ
ンズ５の上側端部ＵRにおいてサイドミラー８に全反射
されたレーザビーム１ｐRは、３次元凸形レンズ５上の
点ＶRおよび加工位置Ｔ上の点ＷRを結ぶ経路を通る。す
なわち、直接供給されるレーザビーム１のエネルギに、
レーザビーム１ｐRとレーザビーム１ｒRに挾まれるレー
ザビーム１のエネルギが加算される。
【００１０】この結果、実線で示す加工位置Ｔにおける
エネルギ密度分布は、周辺部が中央部付近と同等または
それ以上になり、２点鎖線で示す従来のエネルギ密度分
布（図４により説明したものである。）に比べ、下限値
Ｋ以上のエネルギ密度の範囲が拡大する。したがって、
走査回数を減らすことができる。また、周辺部が中央部
より大きくなるから、中央部すなわち、レーザビーム１
のエネルギを減らすことができる。なお、サイドミラー
８の角度θを調整することにより、加工に適するエネル
ギ分布が最も広くなるようにすれば、より効果を上げる
ことができる。
エネルギ密度分布は、周辺部が中央部付近と同等または
それ以上になり、２点鎖線で示す従来のエネルギ密度分
布（図４により説明したものである。）に比べ、下限値
Ｋ以上のエネルギ密度の範囲が拡大する。したがって、
走査回数を減らすことができる。また、周辺部が中央部
より大きくなるから、中央部すなわち、レーザビーム１
のエネルギを減らすことができる。なお、サイドミラー
８の角度θを調整することにより、加工に適するエネル
ギ分布が最も広くなるようにすれば、より効果を上げる
ことができる。
【００１１】なお、上記ではサイドミラー８を平板状の
ものとしたが、凸形あるいは凹形にしてもよい。また、
サイドミラー８の角度を調整可能に構成したが、固定で
あってもよい。
ものとしたが、凸形あるいは凹形にしてもよい。また、
サイドミラー８の角度を調整可能に構成したが、固定で
あってもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
２個の鏡を設け、反射面を互いに向き合わせた前記鏡を
Ｙ方向に隔てて前記２次元凹形シリンドリカルレンズと
前記３次元凸形シリンドリカルレンズとの間に配置し、
Ｙ方向に拡散するレーザビームの一部を前記鏡にはさま
れる区間に反射させるようにしたから、レーザビームの
強さが従来と同一であっても、加工範囲を広げることが
できる。したがって、走査回数を減らすことができ、作
業性が向上する。また、従来利用していなかった、エネ
ルギを使うから、熱効率が向上する。
２個の鏡を設け、反射面を互いに向き合わせた前記鏡を
Ｙ方向に隔てて前記２次元凹形シリンドリカルレンズと
前記３次元凸形シリンドリカルレンズとの間に配置し、
Ｙ方向に拡散するレーザビームの一部を前記鏡にはさま
れる区間に反射させるようにしたから、レーザビームの
強さが従来と同一であっても、加工範囲を広げることが
できる。したがって、走査回数を減らすことができ、作
業性が向上する。また、従来利用していなかった、エネ
ルギを使うから、熱効率が向上する。
【図１】本発明の一実施の形態に係るレーザ加工ヘッド
の光学系の構成図。
の光学系の構成図。
【図２】全反射ミラー８配置部の拡大図。
【図３】従来のレーザ加工ヘッドの光学系の構成図。
【図４】従来の加工位置Ｔに供給されるＹ方向のエネル
ギ密度の大きさを示す図。
ギ密度の大きさを示す図。
１ レーザビーム ３ ２次元凸形シリンドリカルレンズ ４ ２次元凹形シリンドリカルレンズ ５ ３次元凸形シリンドリカルレンズ ８ 鏡 Ｔ 加工位置
Claims (1)
- 【請求項１】 ２次元凸形シリンドリカルレンズと、２
次元凹形シリンドリカルレンズと、３次元凸形シリンド
リカルレンズとを備え、矩形あるいは矩形に整形したレ
ーザビームを、前記２次元凸形シリンドリカルレンズに
よりＸ方向に収束させ、Ｘ方向に収束させたレーザビー
ムを前記２次元凹形シリンドリカルレンズによりＹ方向
に拡散させ、Ｙ方向に拡散させたレーザビームを前記３
次元凸形シリンドリカルレンズによりＸ、Ｙ方向に収束
させて線状のレーザビームに形成するようにしたレーザ
加工ヘッドにおいて、２個の鏡を設け、反射面を互いに
向き合わせた前記鏡をＹ方向に隔てて前記２次元凹形シ
リンドリカルレンズと前記３次元凸形シリンドリカルレ
ンズとの間に配置し、Ｙ方向に拡散するレーザビームの
一部を前記鏡にはさまれる加工区間に反射させるように
したことを特徴とするレーザ加工ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9222505A JPH1158057A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | レーザ加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9222505A JPH1158057A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | レーザ加工ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1158057A true JPH1158057A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16783488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9222505A Withdrawn JPH1158057A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | レーザ加工ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1158057A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102879908A (zh) * | 2012-10-24 | 2013-01-16 | 北京凯普林光电科技有限公司 | 补偿光源系统及列车运行故障动态图像检测设备 |
| CN111047798A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-04-21 | 东莞市万德光电科技有限公司 | 线型光斑透镜、线型光学装置及pos机光学扫描系统 |
-
1997
- 1997-08-19 JP JP9222505A patent/JPH1158057A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102879908A (zh) * | 2012-10-24 | 2013-01-16 | 北京凯普林光电科技有限公司 | 补偿光源系统及列车运行故障动态图像检测设备 |
| CN102879908B (zh) * | 2012-10-24 | 2015-01-21 | 北京凯普林光电科技有限公司 | 补偿光源系统及列车运行故障动态图像检测设备 |
| CN111047798A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-04-21 | 东莞市万德光电科技有限公司 | 线型光斑透镜、线型光学装置及pos机光学扫描系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041102 |