JPH1158224A

JPH1158224A - 研磨治具及びその製造方法

Info

Publication number: JPH1158224A
Application number: JP25403397A
Authority: JP
Inventors: Tadakatsu Mori; 忠勝毛利; Yoshiaki Murakami; 吉昭村上; Akira Tateishi; 皓立石; Noriji Muraoka; 教治村岡
Original assignee: Mitsui Chemicals Inc; Nitto Shinko Corp
Current assignee: Mitsui Chemicals Inc; Nitto Shinko Corp
Priority date: 1997-08-12
Filing date: 1997-08-12
Publication date: 1999-03-02

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、研磨治具において、その表面には
超高分子量ポリエチレン層が形成されてなることによ
り、この超高分子量ポリエチレン層によって表面の滑り
性が向上し、その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平
滑性が長期間にわたって維持されるので、チッピングの
発生を長期間にわたって防止することができるのであ
り、又、耐用期間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度
が高く、研磨効率が良好な研磨治具及びその製造方法と
を提供することを目的とする。【構成】本発明は、シリコンウェハ、液晶用ガラスな
どの薄板状のワークを研磨する際に用いられる研磨治具
において、その表面には超高分子量ポリエチレン層が形
成されてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばシリコンウ
ェハ、液晶表示装置用ガラス等を、ラップ盤、ホーニン
グ盤、バフ盤（バフレース）、ポリッシング盤などの平
面精密研磨機を用いて加工する際に使用される研磨治具
及びその製造方法に関し、特に耐摩耗性に優れ、耐用期
間が長い上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効果が良好
な研磨治具及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シリコンウェハ、液晶用ガラス
などの薄板状のワークをラップ盤、ホーニング盤、バフ
盤（バフレース）、ポリッシング盤などの平面精密研磨
機を用いて加工する際にワークを所定の位置に保持する
には、薄板状のキャリア、或いはテンプレートと呼ばれ
る研磨治具が用いられる。

【０００３】この研磨治具としては、１つ又は複数のワ
ークを保持するワーク保持孔が形成された金属板、樹脂
コーティングした金属板、繊維補強樹脂積層板などが用
いられており、特に金属微粉の付着が嫌われるシリコン
ウェハ、液晶用ガラスなどの電子部品を研磨する場合に
は、繊維補強樹脂繊維板が用いられている。

【０００４】この研磨治具１０は、図４に示すように、
補強繊維層２０に樹脂３０を含浸させてプリプレグ４０
を形成し、このプリプレグ４０の複数枚を積層した後、
加熱、硬化させて接着する。

【０００５】この場合、使用される樹脂としては、エポ
キシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、
メラミン樹脂、ジアクリレート樹脂などの熱硬化性樹
脂、或いはポリエステル樹脂やポリプロピレン等の熱可
塑性樹脂が用いられる。

【０００６】又、補強繊維としては、ガラス繊維、炭素
繊維、セラミック繊維、ボロン繊維などの無機質繊維、
熱硬化性又は熱可塑性の樹脂製繊維や天然有機繊維など
が用いられる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この研磨治
具を用いて研磨を行う場合、必然的にこの研磨治具が面
方向に摩耗するが、これと共にワーク保持孔も摩耗し、
ワークの加工精度が低下したり、ワークが欠けるチッピ
ングが発生したりして、生産性が低下するという問題が
ある。

【０００８】耐摩耗性を高めるためには、使用する樹脂
及び補強繊維の材質として耐摩耗性の優れたものが選択
されるが、特に、エポキシ樹脂をガラス繊維層に含浸さ
せ、加熱乾燥してＢステージ状に形成したプリプレグを
積層、接着したガラス・エポキシ積層板が耐摩耗性や耐
久性等の観点から極めて優れている。

【０００９】そこで、耐摩耗性を高めるために、補強繊
維量を増大させることを試みたが、この場合には研磨治
具に反りが発生し易く、却って、加工精度が低下する虞
れがあることが判明した。

【００１０】本発明は、前記従来の研磨治具の技術的課
題を解消するために完成されたものであって、この種、
研磨治具において、その表面には超高分子量ポリエチレ
ン層が形成されてなることにより、この超高分子量ポリ
エチレン層によって表面の滑り性が向上し、その結果、
摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間にわたって
維持されるので、チッピングの発生を長期間にわたって
防止することができるのであり、又、耐用期間が至極長
くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効率が良好な
研磨治具及びその製造方法とを提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係る第１の研磨
治具（以下、本発明第１品という。）は、シリコンウェ
ハ、液晶用ガラスなどの薄板状のワークを研磨する際に
用いられる研磨治具において、前記目的を達成するため
に、当該研磨治具の表面には超高分子量ポリエチレン層
が形成されてなることを特徴とする。

【００１２】以下、まず本発明第１品について詳細に説
明する。本発明第１品において、研磨治具としてはシリ
コンウェハ、ディスク、セラミックス、液晶用ガラス、
金属などの薄板状のワークをラップ盤、ホーニング盤、
バフ盤（バフレース）、ポリッシング盤などの平面精密
研磨機を用いて加工する際にワークを所定の位置に保持
するために用いられるものが挙げられるのであり、薄板
状のキャリア、或いはテンプレートと呼ばれる研磨治具
が挙げられる。

【００１３】この研磨治具としては、１つ又は複数のワ
ークを保持するワーク保持孔が形成された金属板、樹脂
コーティングした金属板、繊維補強樹脂積層板などが挙
げられるのであり、特に金属微粉の付着が嫌われるシリ
コンウェハ、セラミックス、液晶用ガラスなどの電子部
品を研磨する場合には、繊維補強樹脂繊維板が用いられ
ている。

【００１４】そして、本発明第１品においては、前記研
磨治具の表面には超高分子量ポリエチレン層が形成され
てなる点、に特徴を有する。

【００１５】本発明において、超高分子量ポリエチレン
層としては、粘度平均分子量が１００万〜９００万、好
ましくは粘度平均分子量が３００万〜５００万の超高分
子量ポリエチレン樹脂で形成された層が挙げられるので
あり、粘度平均分子量が、１００万未満と小さくなる
と、所要の機械的強度や耐摩耗性の向上が得られない虞
れがあり、一方、９００万を超えると樹脂の溶融粘度が
高くフィルム化が困難になるので好ましくない。

【００１６】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好になるのである。

【００１７】ここにおいて、この分子量の測定方法とし
てはデカリン溶液、１３５℃での極限粘度［η］から、
ＡＳＴＭＤ４０２０に規定される粘度平均分子量換算
式５．３７×１０^４×［η］^１．３７により計算した値
である。

【００１８】又、この超高分子量ポリエチレン層の厚さ
は、５μｍ〜５００μｍ、好ましくは厚さ１０μｍ〜３
００μｍ、特に好ましくは１５μｍ〜１５０μｍのフィ
ルム状とするのが望ましく、この層厚が、５μｍ未満と
薄くなると、フィルム化が困難となる上、均質なフィル
ムを得難く、接着強度にバラツキが生じる虞れがあるの
で好ましくなく、一方、５００μｍを超えると、研磨治
具としての厚さの設計の自由度が低下するので好ましく
ない。従って、フィルム化の容易性と研磨治具としての
厚さ設計の自由度等の観点から、超高分子量ポリエチレ
ン層の厚さは、好ましくは厚さ１０μｍ〜３００μｍ、
特に好ましくは１５μｍ〜１５０μｍとするのが一層望
ましい。

【００１９】本発明において、研磨治具が、補強繊維層
と樹脂層とからなる場合、当該研磨治具の表面、或いは
補強繊維層と樹脂層との間及び樹脂層と樹脂層との間等
の層間には超高分子量ポリエチレン層が溶融、接着され
てなるものが優れている。

【００２０】即ち、本発明に係る第２の研磨治具（以
下、本発明第２品という。）は、シリコンウェハ、液晶
用ガラスなどの薄板状のワークを研磨する際に用いられ
る研磨治具において、前記目的を達成するために、この
研磨治具が、補強繊維層と樹脂層とからなり、その表面
及び層間には超高分子量ポリエチレン層が溶融、接着さ
れてなることを特徴とする。

【００２１】本発明第２品で用いられる補強繊維層を構
成する繊維としては特に限定されるものではなく、具体
的には、例えばガラス繊維、炭素繊維、ボロン繊維など
の無機質繊維、又は天然繊維、再生繊維、半合成繊維又
は合成繊維から選ばれた少なくとも一種、或いはこれら
の混合繊維等、従来よりこの種の研磨治具に用いられて
いるものが挙げられるが、これらの中では、最も耐用性
が高く、かつ、合理的な価格で入手できるガラス繊維を
用いるのが望ましい。

【００２２】この補強繊維の用い方は特に限定されるも
のではなく、具体的には、例えば織布、不織布、マッ
ト、クロス又は編み物などの布、繊維束、長繊維、短繊
維、フィラメントなど任意の組織を採用することができ
るが、取扱いの容易性、強度的無方向性などの観点から
織布や不織布等の布を用いることが好ましい。

【００２３】又、この補強繊維層としては、取扱性及び
補強信頼性等の理由より、その坪量が５０〜３００ｇ／
ｍ^２の範囲、特に８０〜２５０ｇ／ｍ^２の範囲とするの
が望ましい。

【００２４】更に、本発明品で用いられる樹脂層を構成
する樹脂としては特に限定されるものではなく、熱硬化
性樹脂であっても熱可塑性樹脂であってもよい。

【００２５】この熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹
脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレ
タン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、アルキッ
ド樹脂、ジアクリレート樹脂等が挙げられる。

【００２６】一方、熱可塑性樹脂としては、例えばポリ
アミド系樹脂、ポリサルファイド樹脂、ポリアセタール
樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル樹脂、ポリ
ウレタン樹脂等が挙げられる。

【００２７】しかしながら、熱可塑性樹脂は、機械的強
度が不充分で、しかも加工熱により一層機械的強度が低
下するので、加工熱が放散されにくい乾式研磨には適さ
ず、本発明第２品に用いることは適当ではないが、研磨
液の循環によりワーク及び研磨治具が十分に冷却される
湿式研磨に適している。

【００２８】研磨治具用の樹脂としては、耐熱性、機械
的強度、耐久性及び研磨精度等の観点から、熱硬化性樹
脂が望ましく、特に、耐熱性、機械的強度、耐湿特性、
寸法安定性、接着性、耐久性、研磨精度、取扱性、研磨
治具の生産性及びコスト等の観点からエポキシ樹脂を用
いることが望ましい。

【００２９】本発明第２品においては、必要により、前
記樹脂に硬化剤、硬化促進剤或いは各種安定剤更に溶剤
等の添加剤が配合される。

【００３０】本発明第２品においては、エポキシ樹脂に
硬化剤や硬化促進剤等を配合したエポキシ樹脂組成物で
形成されたものが好ましいが、特に、耐熱性、機械的強
度、耐湿特性、寸法安定性、接着性、耐久性、研磨精
度、取扱性、研磨治具の生産性及びコスト等の観点か
ら、例えば（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、
（Ｂ）シアノグアニジン、（Ｃ）イミダゾール或いはそ
の誘導体及び（Ｄ）３級アミンを必須成分とするものが
望ましい。

【００３１】ここで好適に用いられる（Ａ）ビスフェノ
ールＡ型エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡとエ
ピクロルヒドリンとをアルカリの存在下で反応させて得
られるものであれば特に限定されるものではない。

【００３２】前記（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂の市販品の例としては、例えばシェル化学社製のＥｐ
ｏｎ８２５、Ｅｐｏｎ８２８、Ｅｐｏｎ１００１、Ｅｐ
ｏｎ１００２、Ｅｐｏｎ１００４、Ｅｐｏｎ１００７、
又はＥｐｏｎ１００９、油化シェルエポキシ社製のエピ
コート８１５、エピコート８２７、エピコート８２８、
エピコート８３４、エピコート１０５５、エピコート８
２７−Ｘ−７５、エピコート１００１−Ｂ−８０、エピ
コート１００１−Ｘ−７０、エピコート１００１−Ｘ−
７５、エピコート１００１、エピコート１００２、エピ
コート１００４、エピコート１００７又はエピコート１
００９、旭化成社製のＡＥＲ３３４、ＡＥＲ３３０、Ａ
ＥＲ３３１、ＡＥＲ３３７、ＡＥＲ６６１、ＡＥＲ６６
４、ＡＥＲ６６７又はＡＥＲ６６９、旭電化社製のアデ
カレジンＥＰ−４２００、アデカレジンＥＰ−４３０
０、アデカレジンＥＰ−４１００、アデカレジンＥＰ−
４３４０、アデカレジンＥＰ−５１００、アデカレジン
ＥＰ−５２００、アデカレジンＥＰ−５４００、アデカ
レジンＥＰ−５７００又はアデカレジンＥＰ−５９０
０、住友化学社製のスミエポキシＥＬＡ−１１５、スミ
エポキシＥＬＡ−１２７、スミエポキシＥＬＡ−１２
８、スミエポキシＥＬＡ−１３４、スミエポキシＥＳＡ
−０１１、スミエポキシＥＳＡ−０１２、スミエポキシ
ＥＳＡ−０１４、スミエポキシＥＳＡ−０１７又はスミ
エポキシＥＳＡ−０１９、大日本インキ社製のエピクロ
ン８５５、エピクロン８４０、エピクロン８６０、エピ
クロン１０５０、エピクロン２０５０、エピクロン４０
５０、エピクロン７０５０又はエピクロン９０５０、ダ
ウ・ケミカル（日本）社製のＤＥＲ３３０、ＤＥＲ３３
１、ＤＥＲ６６１、ＤＥＲ６６２、ＤＥＲ６６４、ＤＥ
Ｒ６６７又はＤＥＲ６６９、大日本色材社製のプリエポ
ーＰＥ−１０、プリエポーＰＥ−２５、プリエポーＰＥ
−７０、プリエポーＰＥ−８０、プリエポーＰＥ−１０
０、プリエポーＰＥ−１２０又はプリエポーＰＥ−１５
０、東都化成社のエポトートＹＤ−１１５、エポトート
ＹＤ−１２７、エポトートＹＤ−１２８、エポトートＹ
Ｄ−１３４、エポトートＹＤ−０１１、エポトートＹＤ
−０１２、エポトートＹＤ−０１４、エポトートＹＤ−
０１７又はエポトートＹＤ−０１９、日本チバガイギー
社製のアラルダイトＧＹ−２５０、アラルダイトＧＹ−
２６１、アラルダイトＧＹ−３０、アラルダイト６０７
１、アラルダイト６０８４、アラルダイト６０９７又は
アラルダイト６０９９、三井化学エポキシ社製のエポミ
ックＲ−１３０、エポミックＲ−１３９、エポミックＲ
−１４０、エポミックＲ−１４４、エポミックＲ−３０
１、エポミックＲ−３０２、エポミックＲ−３０４、エ
ポミックＲ−３０７又はエポミックＲ−３０９等が挙げ
られる。

【００３３】前記（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂としては、所望により複数種のものを混合して用いて
もよく、又、耐熱性、機械的強度、耐湿特性、寸法安定
性、接着性、耐久性、研磨精度、取扱性、研磨治具の生
産性、ポットライフやシートライフなどに悪影響を与え
ない範囲で、他のエポキシ樹脂、例えばウレタン変性エ
ポキシ樹脂やニトリルゴム変性エポキシ樹脂などを混合
してもよいのである。

【００３４】又、前記（Ｂ）シアノグアニジンは、下記
構造式

【００３５】

【化１】

【００３６】を有する化合物である。

【００３７】この（Ｂ）シアノグアニジンの市販品とし
ては、例えばエイ・シー・アイ・ジャパン・リミテッド
社製のＤＩＣＹＣＧシリーズであるＣＧ−ＮＡ、Ｃ
Ｇ、ＣＧ−３２５、ＣＧ−１２００、ＣＧ−１４００、
ＤＩＣＩＡＮＥＸ−２００、ＤＩＣＩＡＮＥＸ−３２５
及びＤＩＣＩＡＮＥＸ−１２００等が挙げられる。

【００３８】更に、前記（Ｃ）イミダゾール或いはその
誘導体としては液状のもの或いは固形状のものであれば
特に限定されるものではなく、その市販品の例として
は、例えば四国化成社製のキュアゾールＯＲシリーズで
ある２Ｅ４ＮＺ、１Ｂ２ＭＺ、同社製のキュアゾールＣ
Ｎシリーズである２ＭＺ：ＣＮ、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ、同
社製のキュアゾールＨＺシリーズである２ＰＨＺ−ＣＮ
の他、同社製の１Ｍ２ＥＺ、１Ｂ２ＥＺ、Ｃ_１１Ｚ、２
ＭＡ−ＯＫ等が挙げられる。

【００３９】加えて、前記（Ｄ）３級アミンとしては液
状或いは固形状のいずれのものでも良く特に限定される
ものではなく、その市販品の例としては、例えばエアー
プロダクツ社製のアンカミンシリーズであるＫ−５４、
Ｋ−１１１０、Ｋ−６１Ｂ、ＣｕｒｉｎｇＡｇｅｎｔ
Ｄ（シェル社製）、２−エチルヘキサノイン酸塩（Ｄ
ＭＰ−３０）等が挙げられる。

【００４０】前記（Ａ）〜（Ｄ）を必須成分とするエポ
キシ樹脂を用いる場合、これらの配合量は、所要のポッ
トライフ、耐熱性、機械的強度、耐湿特性、寸法安定
性、接着性、耐久性、耐研磨度、取扱性、研磨治具の生
産性、ポットライフやシートライフ等の観点から、
（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂１００重量部に
対し、（Ｂ）シアノグアニジン３〜２５重量部、（Ｃ）
イミダゾール或いはその誘導体０．１〜３重量部及び
（Ｄ）３級アミン０．１〜２重量部とするのが好まし
く、特に、（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂１０
０重量部に対し、（Ｂ）シアノグアニジン５〜２０重量
部、（Ｃ）イミダゾール或いはその誘導体０．２〜２重
量部及び（Ｄ）３級アミン０．１５〜１．５重量部とす
るのが一層好ましい。

【００４１】前記（Ａ）〜（Ｄ）を必須成分とするエポ
キシ樹脂には、これら（Ａ）〜（Ｄ）の成分の他に、
（Ｅ）ビスフェノールＡ型弾性エポキシ樹脂、（Ｆ）フ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂及び（Ｇ）芳香族ポ
リアミンを配合して、ポットライフ及び耐熱性を一層高
め、又、強靭性や接着性を一層高めても良いのである。

【００４２】この場合、その配合割合は、（Ａ）ビスフ
ェノールＡ型エポキシ樹脂１０〜５０重量部と、（Ｆ）
フェノールノボラック型エポキシ樹脂５０〜９０重量部
とし、この（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂と
（Ｆ）フェノールノボラック型エポキシ樹脂との合計重
量を１００重量部とし、この１００重量部に対して
（Ｂ）シアノグアニジン３〜２５重量部、（Ｃ）イミダ
ゾール或いはその誘導体０．１〜３重量部、（Ｄ）３級
アミン０．１〜２重量部、（Ｅ）ビスフェノールＡ型弾
性エポキシ樹脂１〜２０重量部、（Ｇ）芳香族ポリアミ
ン０．５〜２０重量部とすることが好ましく、特に、
（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂と（Ｆ）フェノ
ールノボラック型エポキシ樹脂との合計重の１００重量
部に対して、（Ｂ）シアノグアニジン５〜２０重量部、
（Ｃ）イミダゾール或いはその誘導体０．２〜２重量
部、（Ｄ）３級アミン０．１５〜１．５重量部、（Ｅ）
ビスフェノールＡ型弾性エポキシ樹脂３．５〜１５重量
部、（Ｇ）芳香族ポリアミン５〜１５重量部とすること
が一層好ましい。

【００４３】前記（Ｅ）ビスフェノールＡ型弾性エポキ
シ樹脂としては、ビスフェノールＡ型骨格を有し、か
つ、硬化物が弾性を有するエポキシ樹脂であり、その市
販品の例としては、例えば新日本理化社製のリカレジン
ＢＥＯ−６０Ｅ、旭電化社製のアデカレジンＥＰ４００
０、油化シェルエポキシ社製のエピコート８７１、東都
化成社製のエポトートＹＤ−１７１等が挙げられる。

【００４４】前記（Ｆ）フェノールノボラック型エポキ
シ樹脂は、ノボラック樹脂とエピクロルヒドリンとを反
応させてグリシジルエーテル化させた樹脂をいい、下記
一般式で示されるものである。

【００４５】

【化２】

【００４６】前記（Ｆ）フェノールノボラック型エポキ
シ樹脂の市販品の例としては、油化シェルエポキシ社製
のエピコート１５７Ｓ９５、大日本インキ社製のエピク
ロンＮ−８００、ダウ化学社製のＤＥＮ４３８、油化シ
ェル社製エピコート１５２、エピコート１５４、ダウケ
ミカル社製ＤＥＮ−４３１、ＤＥＮ−４３８、ＤＥＮ−
４３９、ＤＥＮ−４８５、チバガイギー社製のアラルダ
イトＥＰＮ−１１３８、アラルダイトＥＰＮ−１１３
９、ＤＩＣ社製のエピクロンＮ−７３０、エピクロンＮ
−７３８、エピクロンＮ−７４０等が挙げられる。

【００４７】前記（Ｇ）芳香族ポリアミンとしては特に
限定されるものではないが、具体的には例えばジアミの
ジフェニルメタン、メタフェニレンジアミン、ジアミノ
ジフェニルスルホン及びトルエンジアミン等が挙げられ
る。

【００４８】加えて、前記（Ａ）〜（Ｇ）の成分に、更
に（Ｈ）シランカップリング剤を含有させて、特に機械
的強度、耐湿接着性、耐湿強度、接着力、耐熱性及び強
靭性を一層向上させてもよい。

【００４９】この場合の配合割合は、（Ａ）ビスフェノ
ールＡ型エポキシ樹脂１０〜５０重量部と、（Ｆ）フェ
ノールノボラック型エポキシ樹脂５０〜９０重量部と
し、この（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂と
（Ｆ）フェノールノボラック型エポキシ樹脂との合計重
量１００重量部に対し、（Ｂ）シアノグアニジン３〜２
５重量部、（Ｃ）イミダゾール或いはその誘導体０．１
〜３重量部、（Ｄ）３級アミン０．１〜２重量部、
（Ｅ）ビスフェノールＡ型弾性エポキシ樹脂１〜２０重
量部、（Ｇ）芳香族ポリアミン０．５〜２０重量部、
（Ｈ）シランカップリング剤０．０５〜５重量部とする
ことが好ましく、特に、（Ａ）ビスフェノールＡ型エポ
キシ樹脂と（Ｆ）フェノールノボラック型エポキシ樹脂
との合計重量１００重量部に対して、（Ｂ）シアノグア
ニジン５〜２０重量部、（Ｃ）イミダゾール或いはその
誘導体０．２〜２重量部、（Ｄ）３級アミン０．１５〜
１．５重量部、（Ｅ）ビスフェノールＡ型弾性エポキシ
樹脂３．５〜１５重量部、（Ｇ）芳香族ポリアミン５〜
１５重量部、（Ｈ）シランカップリング剤０．１〜３重
量部とすることが一層好ましい。シランカップリング剤
の配合割合が、０．０５重量部未満であると効果が乏し
く配合する意味がなく、一方、５重量部を超えると効果
に限界が生じる上、不経済であり、しかも、成分全体の
バランスが崩れ、逆に特性が悪化する虞れがあるので好
ましくない。

【００５０】前記シランカップリング剤としてはシラン
系のカップリング剤であれば特に限定されるものではな
く、例えばビニルトリス（β−メトキシ−エトキシ）シ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、β−（３，４エポキシシクロヘキシル）エチル
トリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメ
トキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエト
キシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピ
ルトリメトキシシランＮ−β（アミノエチル）、γ−ア
ミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロ
ピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−γ−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン、又はγ−クロロプロピルトリメトキ
シシラン等が挙げられる。

【００５１】又、前記（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキ
シ樹脂と酸無水物を組み合せたものも好ましいが、その
配合割合としては（Ａ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂１００重量部に対して、酸無水物１０〜６０重量部の
範囲、好ましくは２０〜４０重量部の範囲とするのが望
ましい。

【００５２】この場合、酸無水物としては無水フタル酸
（日本チバガイギー社製、ハードナーＨＴ９０１７）、
無水トリメリット酸（日本触媒化学社製）、シクロペン
タン・テトラカルボン酸二無水物（日立化成社製）、エ
ンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸（日立化成社
製）及びメチルヘキサヒドロ無水フタル酸（新日本理化
社製リカシッドＨＭ−７００）等が挙げられる。

【００５３】本発明第２品で用いられるエポキシ樹脂組
成物には、所望により、有機溶媒が配合されるが、この
有機溶媒としては、有機溶媒として代表的なケトン系有
機溶媒の他に、ベンゼン、トルエン、パラキシレン等が
挙げられる。

【００５４】ケトン系有機溶媒はケトン基を有する有機
溶媒であり、例えばアセトン、メチルエチルケトン、メ
チルプロピルケトン、イソプロピルメチルケトン、ブチ
ルメチルケトン、メチルイソブチルケトン、ピナコロ
ン、ジエチルケトン（プロピオン）、ジイソブチルケト
ンなどの脂肪族飽和ケトン、メチルビニルケトン、メシ
チルオキシド又はメチルヘプテノン等の不飽和ケトン、
シクロブタノン、シクロペンタノン又はシクロヘキサノ
ン等の脂環式ケトン、アセトフェノン、プロピオフェノ
ン、ブチロフェノン、バレロフェノン、ベンゾフェノ
ン、ジベンジルケトン又は２−アセトナフトン等の芳香
族ケトン、アセトチエノン又は２−アセトフロンなどの
複素環式ケトン等が挙げられる。

【００５５】ところで、補強繊維層に樹脂液を塗布又は
含浸させるにあたり、補強繊維層と樹脂液（固形分）の
割合は、補強繊維層１００重量部に対し、樹脂液中の固
形成分が、２０〜１５０重量部の範囲、特に３０〜１２
０重量部の範囲とするのが望ましく、樹脂液中の固形分
が２０重量部未満と少な過ぎると樹脂のカケや減少が発
生しやすくなり、この為に成形圧力を高くする必要があ
る結果、成形品にひずみが発生し易くなりソリ、ネジレ
が発生して研磨治具材として使用出来なくなるので好ま
しくなく、一方、樹脂液中の固形成分が１５０重量部を
超えると成形品の樹脂分が多くなり耐摩耗性が低下した
り、成形工程にて樹脂の流れが多くなり易く成形し難く
なったり、成形品の厚みのバラツキが大きくなり易いの
で好ましくない。かくして補強繊維層の片面或いは両面
に樹脂層が形成される。

【００５６】本発明第２品においては、研磨治具におい
て、補強繊維層と樹脂層とからなり、その表面及び層間
には超高分子量ポリエチレン層が溶融、接着されてなる
点、に特徴を有する。

【００５７】本発明第２品において、超高分子量ポリエ
チレン層としては、本発明第１品と同様のものが挙げら
れるが、ここでは重複説明を避けるために省略する。

【００５８】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好になるのである。

【００５９】次に、本発明の研磨治具の製造方法につい
て説明する。本発明に係る研磨治具の第１の製造方法
（以下、本発明第１方法という。）においては、補強繊
維層に樹脂液を含浸させ、これを加熱乾燥してＢステー
ジのプリプレグを形成し、次いで、この複数枚のプリプ
レグを積層する際、その表面に超高分子量ポリエチレン
製のフィルムないしシートを積層した後、加熱、加圧し
て接着、硬化することを特徴とするものである。

【００６０】本発明第１方法において、補強繊維層及び
これに用いられる繊維、樹脂層更にこれに用いられる樹
脂、並びに超高分子量ポリエチレンについての詳細な説
明は上述した本発明品におけるそれらの詳細な説明と重
複するので、ここでは省略する。

【００６１】本発明第１方法においては、まず、プリプ
レグを作るために、樹脂層を構成する樹脂を配合する。
そして、この配合物液（樹脂液）を補強繊維層に含浸さ
せ、加熱、乾燥させることによりＢステージのプリプレ
グが形成される。

【００６２】前記配合物液（樹脂液）を補強繊維層に含
浸させる方法としては特に限定されるものではなく、具
体的には、例えば前記配合物液（樹脂液）の溶液ないし
分散液を補強繊維層に塗布したり、前記配合物の溶液な
いし分散液中に補強繊維層を浸漬したり、樹脂の溶融液
を補強繊維層に流し込んだりすればよい。

【００６３】前記樹脂液を補強繊維層に塗布する方法は
特に限定されず、例えばフローコート、ヘッドコート、
ローラーブラシ、ナイフコート、ロールコート、スピン
コート、パイプドクターノズル方式（ＰＤＮ方式）、キ
スコート、アプリケート又はコーティングなどの方法を
採用すればよい。

【００６４】又、前記補強繊維層に樹脂液を含浸する方
法としては、樹脂液内に補強繊維層の原反を連続的に供
給するとともに連続的に引き上げる連続処理法と、所定
の寸法あるいは形状に裁断した補強繊維層を樹脂液内に
漬けて引き上げるバッチ処理法とがある。

【００６５】本発明第１方法においては、樹脂液を補強
繊維層に含浸させた後、加熱して表面がべとつかない程
度に乾燥させることにより、いわゆる、Ｂステージのプ
リプレグが得られるが、このＢステージのプリプレグの
製造方法としては特に限定されるものではない。

【００６６】樹脂液を補強繊維層に含浸させ、加熱、乾
燥させてＢステージ状のプリプレグを製造する条件はそ
の樹脂の種類や成分によって異なるが、例えばエポキシ
樹脂組成物を用いてＢステージ状のプリプレグを製造す
る場合、一般には、温度１００〜１５０℃で、１５秒〜
３０秒間程度加熱すればよいのである。

【００６７】又、Ｂステージのプリプレグの他の製造方
法としては、例えば所定の輪郭形状を有する金型に補強
繊維層をセットし、これに樹脂液を流し込み、加熱、乾
燥させた後、離型させて所定の輪郭形状のプリプレグを
製造する、いわゆる、型流し法や、ベルトなどの離型性
を有する支持体上に補強繊維層をセットし、これに樹脂
液を例えばフローコート、ヘッドコート、ローラーブラ
シ、ナイフコート、ロールコート、スピンコート、パイ
プドクターノズル方式（ＰＤＮ方式）、キスコート、吹
き付け、アプリケート又はコーティングなどの方法によ
り一定の厚さに塗布し、加熱、乾燥させてＢステージの
プリプレグを製造する方法などをその例として挙げるこ
とができる。

【００６８】ところで、補強繊維層に樹脂液を塗布又は
含浸させるにあたり、補強繊維層と樹脂液（固形分）の
割合は、補強繊維層１００重量部に対し、樹脂液中の固
形成分が、２０〜１５０重量部の範囲、特に３０〜１２
０重量部の範囲とするのが望ましく、樹脂液中の固形分
が２０重量部未満と少な過ぎると樹脂のカケや減少が発
生しやすくなり、この為に成形圧力を高くする必要があ
る結果、成形品にひずみが発生し易くなりソリ、ネジレ
が発生して研磨治具材として使用出来なくなるので好ま
しくなく、一方、樹脂液中の固形成分が１５０重量部を
超えると成形品の樹脂分が多くなり耐摩耗性が低下した
り、成形工程にて樹脂の流れが多くなり易く成形し難く
なったり、成形品の厚みのバラツキが大きくなり易いの
で好ましくない。

【００６９】この場合、補強繊維層の片面に樹脂層を形
成するには当該補強繊維層の片面に樹脂液を塗工し、前
述の条件下、加熱、乾燥させてＢステージ状のプリプレ
グを製造すれば良いのである。

【００７０】そして、本発明第１方法においては、前述
のプリプレグを複数枚積層する際、その外側の表面に超
高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層
した後、加熱、加圧して接着、硬化される点、に特徴を
有する。

【００７１】このようにして得たプリプレグを積層する
際、超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシート
をその少なくとも表層に積層して接着、硬化する方法は
常法によればよく、例えば、所定数のプリプレグと超高
分子量ポリエチレンシートを積み重ね、加熱、加圧して
接着、硬化するにあたり、所定の輪郭形状に成形し、ま
た、所要数のワーク保持孔を形成することにより、本発
明品、つまり研磨治具が得られる。

【００７２】この加熱、硬化の条件は、プリプレグや超
高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートの種類
によって異なり、一般には、１０〜５０ｋｇ／ｃｍ^２の
圧力を加えて、しかも温度１４０〜３００℃で１０〜９
０分間の加熱、好ましくは１５〜３０ｋｇ／ｃｍ^２の圧
力を加えて、しかも温度１５０〜２５０℃で３０〜６０
分間の加熱を行えば良いのである。

【００７３】この輪郭形状及びワーク保持孔の形成は、
研磨治具に適した加工方法を採用すればよく、例えば抜
打ち加工ができないガラス・エポキシプリプレグを用い
た研磨治具の場合には、レーザ加工等によって輪郭形状
及びワーク保持孔を形成すればよいのである。

【００７４】本発明において、超高分子量ポリエチレン
製のフィルムないしシートとしては、粘度平均分子量が
１００万〜９００万、好ましくは粘度平均分子量が３０
０万〜５００万の超高分子量ポリエチレン樹脂で形成さ
れた層が挙げられるのであり、粘度平均分子量が、１０
０万未満と小さくなると、所要の機械的強度や耐摩耗性
の向上が得られない虞れがあり、一方、９００万を超え
ると樹脂の溶融粘度が高くフィルム化が困難になるので
好ましくない。

【００７５】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好になるのである。

【００７６】ここにおいて、この粘度平均分子量の測定
方法としては、前述の方法が挙げられるが、重複説明を
避けるために、ここでは省略する。

【００７７】本発明第１方法において、超高分子量ポリ
エチレン樹脂をフィルム化ないしシート化する方法とし
ては特に限定されるものではないが、具体的には、例え
ばインフレーション法（特開昭６２−１２２７３６号公
報）、Ｔダイ法、又はスカイブ法等、厚さが５μｍ〜５
００μｍのフィルムないしシートを形成できる公知の方
法が挙げられる。

【００７８】又、この超高分子量ポリエチレン製のフィ
ルムないしシートの厚さは、５μｍ〜５００μｍ、好ま
しくは厚さ１０μｍ〜３００μｍ、特に好ましくは１５
μｍ〜１５０μｍとするのが望ましく、このフィルムな
いしシートの厚が、５μｍ未満と薄くなると、フィルム
化ないしシート化が困難となる上、均質なフィルムを得
難く、接着強度にバラツキが生じる虞れがあるので好ま
しくなく、一方、５００μｍを超えると、研磨治具とし
ての厚さの設計の自由度が低下するので好ましくない。
従って、フィルム化ないしシート化の容易性と研磨治具
としての厚さ設計の自由度等の観点から、超高分子量ポ
リエチレン製のフィルムないしシートの厚さは、好まし
くは厚さ１０μｍ〜３００μｍ、特に好ましくは１５μ
ｍ〜１５０μｍとするのが一層望ましい。

【００７９】この場合、このフィルムないしシートの表
面は、金属や樹脂層等との接着性を高めるために、粗荒
化することが好ましい。このフィルムないしシートの表
面処理方法としては、具体的には、例えばコロナ処理、
プラズマ処理、スパッタエッチング処理などによって表
面処理することが好ましい。

【００８０】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好になるのである。

【００８１】又、本発明に係る研磨治具の第２の製造方
法（以下、本発明第２方法という。）においては、補強
繊維層に樹脂液を含浸させ、これを加熱乾燥してＢステ
ージのプリプレグを形成し、次いで、この複数枚のプリ
プレグを積層する際、その各層間及び表面に超高分子量
ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層した後、
加熱、加圧して接着、硬化することを特徴とするもので
ある。

【００８２】即ち、前記本発明第１方法では、研磨治具
の表面に超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシ
ートを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化した点、
に特徴を有するものであるが、本発明第２方法では、表
面だけでなく、各層間にも超高分子量ポリエチレン製の
フィルムないしシートを積層した後、加熱、加圧して接
着、硬化させた点、特徴を有するものである。

【００８３】本発明第２方法については、本発明第１方
法の場合と同様に、プリプレグを形成し、このようにし
て得たプリプレグを複数枚積層する際、超高分子量ポリ
エチレン製のフィルムないしシートをその表面及び各層
間に積層して接着、硬化する方法は常法によればよく、
例えば、所定枚数のプリプレグと超高分子量ポリエチレ
ン製のフィルムないしシートを積み重ね、加熱、加圧し
て接着、硬化し、所定の輪郭形状に成形し、また、所要
数のワーク保持孔を形成することにより、本発明品、つ
まり研磨治具が得られる。

【００８４】この加熱、硬化の条件は、プリプレグや超
高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートの種類
によって異なるが、一般には、１０〜５０ｋｇ／ｃｍ^２
の圧力を加え、しかも温度１４０〜３００℃で１０〜９
０分間の加熱、好ましくは１５〜３０ｋｇ／ｃｍ^２の圧
力を加え、しかも温度１５０〜２５０℃で３０〜６０分
間の加熱を行えば良いのである。

【００８５】この輪郭形状及びワーク保持孔の形成は、
研磨治具に適した加工方法を採用すればよく、例えば抜
打ち加工ができないガラス・エポキシプリプレグを用い
た研磨治具の場合には、レーザ加工等によって輪郭形状
及びワーク保持孔を形成すればよいのである。

【００８６】ところで、本発明第２方法では、外側の表
面だけでなく、各層間にも超高分子量ポリエチレン製の
フィルムないしシートを積層した後、加熱、加圧して接
着、硬化させるものであり、従って、本発明第２方法で
用いられる補強繊維層、樹脂液、プリプレグ及び超高分
子量ポリエチレン製のフィルムないしシート或いはその
製造方法などは、本発明品（本発明第１品と本発明第２
品を含む。）及び本発明第１方法の場合と同様なので重
複説明を避けるために省略する。

【００８７】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好になるのである。

【００８８】又、本発明第２方法のように、研磨治具の
表面だけでなく、複数枚のプリプレグにおける個々の層
間にも超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシー
トを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化させると、
この超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシート
が内部応力を吸収し、成形品の歪みやソリ更にネジレの
発生を防止したり、使用による歪みやソリ更にネジレ等
の発生が防止されるので好ましい。

【００８９】更に、本発明に係る研磨治具の第３の製造
方法（以下、本発明第３方法という。）においては、複
数枚のプリプレグを積層し、これを加熱、加圧して接
着、硬化させて積層成形体を得た後、この複数枚の積層
成形体を積層する際、その表面に超高分子量ポリエチレ
ン製のフィルムないしシートを積層した後、加熱、加圧
して接着、硬化することを特徴とするものである。

【００９０】即ち、前記本発明第２方法では、研磨治具
の表面だけでなく、複数枚のプリプレグにおける個々の
層間にも超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシ
ートを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化させた
点、特徴を有するものであるが、本発明第３方法は、本
発明第１方法の場合と同様に、プリプレグを形成し、予
め、この複数枚のプリプレグを積層し、これを加熱、加
圧して接着、硬化させて積層成形体を得た後、この複数
枚の積層成形体を積層する際、その表面に超高分子量ポ
リエチレン製のフィルムないしシートを積層した後、加
熱、加圧して接着、硬化する点、に特徴を有するもので
ある。

【００９１】つまり、本発明第３方法については、予
め、複数枚のプリプレグを積層し、これを加熱、加圧し
て接着、硬化させて積層成形体を得た後、この複数枚の
積層成形体を積層する際、その外側の表面に超高分子量
ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層した後、
加熱、加圧して接着、硬化する方法は常法によればよ
く、例えば、所定枚数の積層成形体とその外側表面に超
高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートを積み
重ね、加熱、加圧して接着、硬化し、所定の輪郭形状に
成形し、また、所要数のワーク保持孔を形成することに
より、本発明品、つまり研磨治具が得られる。

【００９２】この加熱、硬化の条件は、積層成形体や超
高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートの種類
によって異なるが、一般には、１０〜５０ｋｇ／ｃｍ^２
の圧力を加え、しかも温度１４０〜３００℃で１０〜９
０分間の加熱、好ましくは１５〜３０ｋｇ／ｃｍ^２の圧
力を加え、しかも温度１５０〜２５０℃で３０〜６０分
間の加熱を行えば良いのである。

【００９３】この輪郭形状及びワーク保持孔の形成は、
研磨治具に適した加工方法を採用すればよく、例えば抜
打ち加工ができないガラス・エポキシプリプレグを用い
た研磨治具の場合には、レーザ加工等によって輪郭形状
及びワーク保持孔を形成すればよいのである。

【００９４】ところで、本発明第３方法で用いられる補
強繊維層、樹脂液、プリプレグ及び超高分子量ポリエチ
レン製のフィルムないしシート或いはその製造方法など
は、本発明品（本発明第１品と本発明第２品を含む。）
及び本発明第１方法の場合と同様なので重複説明を避け
るために省略する。

【００９５】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好になるのである。

【００９６】加えて、本発明に係る研磨治具の第４の製
造方法（以下、本発明第４方法という。）においては、
複数枚のプリプレグを積層し、これを加熱、加圧して接
着、硬化させて積層成形体を得た後、この複数枚の積層
成形体を積層する際、その各層間及び表面に超高分子量
ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層した後、
加熱、加圧して接着、硬化することを特徴とするもので
ある。

【００９７】即ち、前記本発明第３方法は、本発明第１
方法の場合と同様にプリプレグを形成し、予め、この複
数枚のプリプレグを積層し、これを加熱、加圧して接
着、硬化させて積層成形体を得た後、この複数枚の積層
成形体を積層する際、その表面に超高分子量ポリエチレ
ン製のフィルムないしシートを積層した後、加熱、加圧
して接着、硬化する点、に特徴を有するものであるが、
本発明第４方法では、研磨治具の表面だけでなく、予め
得た複数枚の積層成形体における個々の層間にも超高分
子量ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層した
後、加熱、加圧して接着、硬化させた点、特徴を有する
ものである。

【００９８】本発明第４方法については、本発明第３方
法の場合と同様に積層成形体を形成し、このようにして
得た積層成形体を複数枚積層する際、超高分子量ポリエ
チレン製のフィルムないしシートをその表面及び各層間
に積層して接着、硬化する方法は常法によればよく、例
えば、所定枚数の積層成形体と超高分子量ポリエチレン
製のフィルムないしシートを積み重ね、加熱、加圧して
接着、硬化し、所定の輪郭形状に成形し、また、所要数
のワーク保持孔を形成することにより、本発明品、つま
り研磨治具が得られる。

【００９９】この加熱、硬化の条件は、積層成形体や超
高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートの種類
によって異なり、一般には、１０〜５０ｋｇ／ｃｍ^２の
圧力を加え、しかも温度１４０〜３００℃で１０〜９０
分間の加熱、好ましくは１５〜３０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力
を加え、しかも温度１５０〜２５０℃で３０〜６０分間
の加熱を行えば良いのである。

【０１００】この輪郭形状及びワーク保持孔の形成は、
研磨治具に適した加工方法を採用すればよく、例えば抜
打ち加工ができないガラス・エポキシプリプレグを用い
た研磨治具の場合には、レーザ加工等によって輪郭形状
及びワーク保持孔を形成すればよいのである。

【０１０１】ところで、本発明第４方法で用いられる補
強繊維層、樹脂液、プリプレグ及び超高分子量ポリエチ
レン製のフィルムないしシート或いはその製造方法など
は、本発明品（本発明第１品と本発明第２品を含む。）
及び本発明第１方法の場合と同様なので重複説明を避け
るために省略する。

【０１０２】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好になるのである。

【０１０３】又、本発明第４方法においては、研磨治具
の表面だけでなく、複数枚の積層成形体における個々の
層間にも超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシ
ートを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化させる
と、この超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシ
ートが内部応力を吸収し、成形品の歪みやソリ更にネジ
レの発生を防止したり、使用による歪みやソリ更にネジ
レ等の発生が防止されるので好ましい。

【０１０４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例に係る研磨
治具及びその製造方法を図面に基づき具体的に説明する
が、本発明はこれに限定されるものではない。

【０１０５】実施例図１の断面模式図に示す研磨治具１は、見掛けの厚さが
０．１８ｍｍのガラス織布（旭シューベル社製、品番Ａ
Ｓ７６２８／４５０）からなる補強繊維層２とエポキシ
樹脂組成物からなる樹脂層３と超高分子量ポリエチレン
層（超高分子量ポリエチレンフィルム）４とを積層した
積層体からなる。

【０１０６】この場合、この積層体の表面及びその層間
には超高分子量ポリエチレンフィルム４が積層され、こ
れが溶融、接着されて超高分子量ポリエチレン層４が形
成されている。

【０１０７】この研磨治具１は、図２の工程図に示す本
発明の一実施例に係る研磨治具の製造方法により、製造
されたものである。

【０１０８】この方法では、まず、樹脂配合工程で、エ
ポキシ樹脂（油化シェルエポキシ社製、商品名：エピコ
ート１００１）１００重量部に対し、硬化剤であるジシ
アンアミド（日本カーバイト社製、商品名：ＤＩＣＹ）
５重量部及び硬化促進剤であるイミダゾール（四国化成
社製、商品名：２ＰＨＺ−ＣＮ）０．１重量部に、溶剤
としてメチルエチルケトン７０重量部を配合して均一に
混合し、固形分濃度６０重量％のエポキシ樹脂組成物の
溶液を得た。

【０１０９】次に、プリプレグ製造工程で、このエポキ
シ樹脂組成物の溶液をその固形分重量比で１：１になる
ように前記補強繊維層２に含浸させた後、温度１２０℃
で１０分間にわたり乾燥してＢステージのガラス・エポ
キシプリプレグを形成した。

【０１１０】この後、積層工程において、このガラス・
エポキシプリプレグの４枚と超高分子量ポリエチレンフ
ィルムを積み重ね、２０ｋｇ／ｃｍ^２の加圧下、温度１
５０℃で９０分間にわたって加熱、硬化して、積層体を
得た。

【０１１１】ところで、前記超高分子量ポリエチレンフ
ィルムとしては、予め平均分子量３００万の超高分子量
ポリエチレン樹脂（三井石油化学社製ハイゼックス、ミ
リオン２４０Ｓ）を、インフレーション法で厚さ２５μ
ｍのフィルムを得た後、更に、このフィルムの表面にコ
ロナ処理を施したものを用いた。

【０１１２】実際の研磨治具の製造方法では、この後、
機械加工やレーザ加工などの加工工程、この場合、レー
ザ加工工程で輪郭とワーク保持孔が形成されるが、ここ
では、比較試験を行うために、前記積層体を適当な平面
形状に裁断して試験片を作成した。かくして得られた試
験片を実施例とした。

【０１１３】比較例前記実施例において、超高分子量ポリエチレンフィルム
を使用していない以外は、前記実施例と同様にして試験
片を作成した。かくして得られた試験片を比較例とし
た。

【０１１４】実施例及び比較例の各試験片を用い、摩耗
輪によるプラスチックの摩耗試験法（ＪＩＳ−Ｋ−７２
０４）により摩耗比較試験を行った。その結果、図３に
示す、摩耗特性図が得られた。

【０１１５】１００，０００回テストの結果、従来品
（比較例）では４０μｍもの厚さ減少が認められたが、
実施例のものは１０μｍ程度の厚さ減少しか認められ
ず、又、図３に示す、摩耗特性図からも実施例のものは
耐摩耗性が著しく優れていることが認められる。

【０１１６】又、実施例及び比較例のものを用い、シリ
コンウェハの研磨治具をレーザ加工によって作成し、使
用したところ、実施例のものは、比較例のものと比較し
て、摩耗量が著しく低く、表面平滑性が長期間にわたっ
て維持されるので、チッピングの発生を長期間にわたっ
て防止することができるのであり、又、耐用期間が至極
長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効率が良好
になることが認められた。

【０１１７】この理由としては、表面の超高分子量ポリ
エチレン層によって表面の滑り性、つまり自己潤滑性が
発生ないし向上し、その結果、耐摩耗性が著しく向上し
たためと解される。

【０１１８】この場合、実施例のものは、比較例のもの
と比較して、成形品の歪みやソリ更にネジレの発生がな
く、又、使用による歪みやソリ更にネジレ等の発生が防
止されることが認められた。

【０１１９】この理由として、実施例のものには、研磨
治具の表面だけでなく、複数枚のプリプレグにおける個
々の層間にも超高分子量ポリエチレン層が形成され、こ
の超高分子量ポリエチレン層が内部応力を吸収したため
と解される。

【０１２０】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明に係る第
１の研磨治具においては、前記構成を有し、研磨治具の
表面には超高分子量ポリエチレン層が形成されているこ
とにより、この超高分子量ポリエチレン層によって表面
の滑り性が向上し、その結果、摩耗量が著しく低下し、
表面平滑性が長期間にわたって維持されるので、チッピ
ングの発生を長期間にわたって防止することができるの
であり、又、耐用期間が至極長くなる上、研磨品の研磨
精度が高く、研磨効率が良好になる効果を有するのであ
る。

【０１２１】本発明に係る第２の研磨治具においては、
この研磨治具が、補強繊維層と樹脂層とからなり、その
表面及び層間には超高分子量ポリエチレン層が溶融、接
着されてなるから、表面の超高分子量ポリエチレン層に
よって表面の滑り性が向上し、その結果、摩耗量が著し
く低下し、表面平滑性が長期間にわたって維持されるの
で、チッピングの発生を長期間にわたって防止すること
ができるのであり、又、耐用期間が至極長くなる上、研
磨品の研磨精度が高く、研磨効率が良好になる効果を奏
するのである。

【０１２２】又、この第２の研磨治具においては、研磨
治具の表面だけでなく、複数枚のプリプレグにおける個
々の層間にも超高分子量ポリエチレン層が形成されてい
ると、この超高分子量ポリエチレン層が内部応力を吸収
し、成形品の歪みやソリ更にネジレの発生を防止した
り、使用による歪みやソリ更にネジレ等の発生が防止さ
れる効果を奏するのである。

【０１２３】本発明に係る研磨治具の第１の製造方法に
おいては、補強繊維層に樹脂液を含浸させ、これを加熱
乾燥してＢステージのプリプレグを形成し、次いで、こ
の複数枚のプリプレグを積層する際、その表面に超高分
子量ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層した
後、加熱、加圧して接着、硬化するものであり、このよ
うに、超高分子量ポリエチレン層が研磨治具の表面に形
成されていることによって、研磨治具の表面における滑
り性が向上し、その結果、摩耗量が著しく低下し、表面
平滑性が長期間にわたって維持される結果、チッピング
の発生を長期間にわたって防止することができるのであ
り、又、耐用期間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度
が高く、研磨効率が良好な本発明に係る研磨治具を得る
ことができる。

【０１２４】又、本発明に係る研磨治具の第２の製造方
法においては、補強繊維層に樹脂液を含浸させ、これを
加熱乾燥してＢステージのプリプレグを形成し、次い
で、この複数枚のプリプレグを積層する際、その各層間
及び表面に超高分子量ポリエチレン製のフィルムないし
シートを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化するも
のである。

【０１２５】そして、このように、超高分子量ポリエチ
レン層が研磨治具の表面に形成されていることにより、
この超高分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が
向上し、その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性
が長期間にわたって維持されるので、チッピングの発生
を長期間にわたって防止することができるのであり、
又、耐用期間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高
く、研磨効率が良好な本発明に係る研磨治具を得ること
ができる。

【０１２６】又、本発明第２方法のように、研磨治具の
表面だけでなく、複数枚のプリプレグにおける個々の層
間にも超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシー
トを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化させると、
この超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシート
が内部応力を吸収し、成形品の歪みやソリ更にネジレの
発生を防止したり、使用による歪みやソリ更にネジレ等
の発生が無い、本発明に係る研磨治具を得ることができ
る。

【０１２７】更に、本発明に係る研磨治具の第３の製造
方法においては、複数枚のプリプレグを積層し、これを
加熱、加圧して接着、硬化させて積層成形体を得た後、
この複数枚の積層成形体を積層する際、その表面に超高
分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層し
た後、加熱、加圧して接着、硬化するものである。

【０１２８】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好な本発明に係る研磨治具を得ることができる。

【０１２９】加えて、本発明に係る研磨治具の第４の製
造方法においては、複数枚のプリプレグを積層し、これ
を加熱、加圧して接着、硬化させて積層成形体を得た
後、この複数枚の積層成形体を積層する際、その各層間
及び表面に超高分子量ポリエチレン製のフィルムないし
シートを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化するも
のである。

【０１３０】このように、超高分子量ポリエチレン層が
研磨治具の表面に形成されていることにより、この超高
分子量ポリエチレン層によって表面の滑り性が向上し、
その結果、摩耗量が著しく低下し、表面平滑性が長期間
にわたって維持されるので、チッピングの発生を長期間
にわたって防止することができるのであり、又、耐用期
間が至極長くなる上、研磨品の研磨精度が高く、研磨効
率が良好な本発明に係る研磨治具を得ることができる。

【０１３１】又、本発明第４方法においては、研磨治具
の表面だけでなく、複数枚の積層成形体における個々の
層間にも超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシ
ートを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化させる
と、この超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシ
ートが内部応力を吸収し、成形品の歪みやソリ更にネジ
レの発生を防止したり、使用による歪みやソリ更にネジ
レ等の発生が無い、本発明に係る研磨治具を得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施例に係る研磨治具の断面
模式図である。

【図２】図２は本発明の一実施例に係る研磨治具の製造
方法の工程図である。

【図３】図３は研磨治具の摩耗試験の特性を示す特性図
である。

【図４】図４は従来例の断面模式図である。

【符号の説明】

１研磨治具２補強繊維層３樹脂層４超高分子量ポリエチリン層（超高分子量ポリエチリ
ン製のフィルムないしシート）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者立石皓福井市二の宮２丁目７番１号新興化学工業株式会社内 (72)発明者村岡教治山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号三井石油化学工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリコンウェハ、液晶用ガラスなどの薄
板状のワークを研磨する際に用いられる研磨治具におい
て、その表面には超高分子量ポリエチレン層が形成され
てなることを特徴とする研磨治具。
【請求項２】シリコンウェハ、液晶用ガラスなどの薄
板状のワークを研磨する際に用いられる研磨治具におい
て、この研磨治具が、補強繊維層と樹脂層とからなり、
その表面及び層間には超高分子量ポリエチレン層が溶
融、接着されてなることを特徴とする研磨治具。
【請求項３】超高分子量ポリエチレン層の厚さが５μ
ｍ〜５００μｍである請求項１または２に記載の研磨治
具。
【請求項４】補強繊維層に樹脂液を含浸させ、これを
加熱乾燥してＢステージのプリプレグを形成し、次い
で、この複数枚のプリプレグを積層する際、その表面に
超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシートを積
層した後、加熱、加圧して接着、硬化することを特徴と
する研磨治具の製造方法。
【請求項５】補強繊維層に樹脂液を含浸させ、これを
加熱乾燥してＢステージのプリプレグを形成し、次い
で、この複数枚のプリプレグを積層する際、その各層間
及び表面に超高分子量ポリエチレン製のフィルムないし
シートを積層した後、加熱、加圧して接着、硬化するこ
とを特徴とする研磨治具の製造方法。
【請求項６】複数枚のプリプレグを積層し、これを加
熱、加圧して接着、硬化させて積層成形体を得た後、こ
の複数枚の積層成形体を積層する際、その表面に超高分
子量ポリエチレン製のフィルムないしシートを積層した
後、加熱、加圧して接着、硬化することを特徴とする研
磨治具の製造方法。
【請求項７】複数枚のプリプレグを積層し、これを加
熱、加圧して接着、硬化させて積層成形体を得た後、こ
の複数枚の積層成形体を積層する際、その各層間及び表
面に超高分子量ポリエチレン製のフィルムないしシート
を積層した後、加熱、加圧して接着、硬化することを特
徴とする研磨治具の製造方法。
【請求項８】超高分子量ポリエチレン製のフィルムな
いしシートの厚さが５μｍ〜５００μｍである請求項４
ないし７のいずれか１項に記載の研磨治具の製造方法。