JPH1159338A - ヒーターミラー - Google Patents
ヒーターミラーInfo
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- JPH1159338A JPH1159338A JP9225211A JP22521197A JPH1159338A JP H1159338 A JPH1159338 A JP H1159338A JP 9225211 A JP9225211 A JP 9225211A JP 22521197 A JP22521197 A JP 22521197A JP H1159338 A JPH1159338 A JP H1159338A
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- oxide thin
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コストが安価なヒーターミラーを提供するこ
と。 【解決手段】 ミラー基板１１の一面に、反射率が約４
０％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□で
ある１層の金属酸化薄膜１２を形成し、その１層の金属
酸化薄膜１２に電極１４を接続する。この結果、本発明
のヒーターミラーは、反射率が約４０％以上でありかつ
シート抵抗値が約２〜２０Ω／□である１層の金属酸化
薄膜１２により、反射膜を形成したものであるから、反
射膜が２層から形成されている従来のヒーターミラーと
比較して、コストが安価である。
と。 【解決手段】 ミラー基板１１の一面に、反射率が約４
０％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□で
ある１層の金属酸化薄膜１２を形成し、その１層の金属
酸化薄膜１２に電極１４を接続する。この結果、本発明
のヒーターミラーは、反射率が約４０％以上でありかつ
シート抵抗値が約２〜２０Ω／□である１層の金属酸化
薄膜１２により、反射膜を形成したものであるから、反
射膜が２層から形成されている従来のヒーターミラーと
比較して、コストが安価である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車のド
アーミラーやフェンダーミラー等の車両用後写鏡に使用
されるヒーターミラーに係り、特に、コストが安いヒー
ターミラーに関している。
アーミラーやフェンダーミラー等の車両用後写鏡に使用
されるヒーターミラーに係り、特に、コストが安いヒー
ターミラーに関している。
【０００２】
【従来の技術】反射機能のみならず、表面に付着する水
滴、雨滴、露、雪、氷などの水系付着物を除去するヒー
ターとしての機能をもっているヒーターミラーは、例え
ば、特開平７−２２３５１４号公報において記載されて
いる。このヒーターミラーは、ミラー基板と、このミラ
ー基板上に形成された反射率が４０％以上である第１層
と、この第１層の上に形成された比抵抗値が２０μΩ・
ｃｍ以上である第２層と、この第２層に接続された電極
とから構成されている。上述の第１層はアルミニウム、
ニッケル、ニッケル−クロム合金、ニッケル−燐合金か
らなっており、第２層はチタン、チタンシリサイド、ク
ロムシリサイド、窒化タンタル、炭化チタン、炭化タン
グステン、ホウ化ニオブ、鉄−クロム−アルミニウム合
金からなっており、成膜はスパッタリング、真空蒸着、
めっきなどによってなされている。
滴、雨滴、露、雪、氷などの水系付着物を除去するヒー
ターとしての機能をもっているヒーターミラーは、例え
ば、特開平７−２２３５１４号公報において記載されて
いる。このヒーターミラーは、ミラー基板と、このミラ
ー基板上に形成された反射率が４０％以上である第１層
と、この第１層の上に形成された比抵抗値が２０μΩ・
ｃｍ以上である第２層と、この第２層に接続された電極
とから構成されている。上述の第１層はアルミニウム、
ニッケル、ニッケル−クロム合金、ニッケル−燐合金か
らなっており、第２層はチタン、チタンシリサイド、ク
ロムシリサイド、窒化タンタル、炭化チタン、炭化タン
グステン、ホウ化ニオブ、鉄−クロム−アルミニウム合
金からなっており、成膜はスパッタリング、真空蒸着、
めっきなどによってなされている。
【０００３】そして、例えば、車両用後写鏡として使用
されるヒーターミラーにおいては、充分な後方視認性が
得られるために、約４０％以上の反射率（ＪＩＳ Ｄ５
７０５に基づいて測定された値）が要求されている。ま
た、迅速な水除去のヒーター能力（すなわち、電流が小
さいとヒーター能力が小さく、かつ電流が大きいと温度
制御が困難となり、約１〜５Ａの電流が最適である）が
得られると共に、均一な加温が可能とするために、約２
〜２０Ω／□のシート抵抗値が要求されている。
されるヒーターミラーにおいては、充分な後方視認性が
得られるために、約４０％以上の反射率（ＪＩＳ Ｄ５
７０５に基づいて測定された値）が要求されている。ま
た、迅速な水除去のヒーター能力（すなわち、電流が小
さいとヒーター能力が小さく、かつ電流が大きいと温度
制御が困難となり、約１〜５Ａの電流が最適である）が
得られると共に、均一な加温が可能とするために、約２
〜２０Ω／□のシート抵抗値が要求されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、上述の従来の
ヒーターミラーは、反射率が約４０％以上でありかつシ
ート抵抗値が約２〜２０Ω／□である条件を満たすため
に、２層から形成されている反射膜を使用している。こ
のために、上述の従来のヒーターミラーは、２層から形
成されている反射膜を使用するために、形成時間や工程
数や材料費が嵩み、その分、コストが高いと言う課題が
ある。
ヒーターミラーは、反射率が約４０％以上でありかつシ
ート抵抗値が約２〜２０Ω／□である条件を満たすため
に、２層から形成されている反射膜を使用している。こ
のために、上述の従来のヒーターミラーは、２層から形
成されている反射膜を使用するために、形成時間や工程
数や材料費が嵩み、その分、コストが高いと言う課題が
ある。
【０００５】本発明の目的は、コストが安いヒーターミ
ラーを提供することにある。
ラーを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、ミラー基板の一面に、反射率が約４０
％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□であ
る１層の金属酸化薄膜を形成し、その１層の金属酸化薄
膜に電極を接続したことを特徴とする。
達成するために、ミラー基板の一面に、反射率が約４０
％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□であ
る１層の金属酸化薄膜を形成し、その１層の金属酸化薄
膜に電極を接続したことを特徴とする。
【０００７】この結果、本発明のヒーターミラーは、反
射率が約４０％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２
０Ω／□である１層の金属酸化薄膜により、反射膜を形
成したものであるから、反射膜が２層から形成されてい
る従来のヒーターミラーと比較して、コストが安価であ
る。
射率が約４０％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２
０Ω／□である１層の金属酸化薄膜により、反射膜を形
成したものであるから、反射膜が２層から形成されてい
る従来のヒーターミラーと比較して、コストが安価であ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明のヒーターミラーの
実施の形態のうちの３例を添付図面を参照して説明す
る。図１は本発明のヒーターミラーの一使用例を示す概
略斜視図である。図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図で
ある。
実施の形態のうちの３例を添付図面を参照して説明す
る。図１は本発明のヒーターミラーの一使用例を示す概
略斜視図である。図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図で
ある。
【０００９】この使用例における本発明のヒーターミラ
ーは、光透過性のガラス板（例えば、ソーダガラス板
等）や合成樹脂板等からなるミラー基板（例えば、厚み
が約２ｍｍ、巾が約８０ｍｍおよび長さが約１５０ｍｍ
のガラス板）１１と、前記ミラー基板１１の一面に形成
された、反射率が約４０％以上でありかつシート抵抗値
が約２〜２０Ω／□である１層の金属酸化薄膜（すなわ
ち、反射膜）１２と、前記１層の金属酸化薄膜１２の上
下両端に接続された電極１４、１４とを備える。上述の
電極１４、１４はリード線１３及びスイッチ１５を介し
て電源１６に電気的に接続されている。
ーは、光透過性のガラス板（例えば、ソーダガラス板
等）や合成樹脂板等からなるミラー基板（例えば、厚み
が約２ｍｍ、巾が約８０ｍｍおよび長さが約１５０ｍｍ
のガラス板）１１と、前記ミラー基板１１の一面に形成
された、反射率が約４０％以上でありかつシート抵抗値
が約２〜２０Ω／□である１層の金属酸化薄膜（すなわ
ち、反射膜）１２と、前記１層の金属酸化薄膜１２の上
下両端に接続された電極１４、１４とを備える。上述の
電極１４、１４はリード線１３及びスイッチ１５を介し
て電源１６に電気的に接続されている。
【００１０】上述の１層の金属酸化薄膜１２の形成方法
（成膜工法）としては、例えば、真空蒸着法、あるい
は、スパッタリング法等がある。この使用例における本
発明のヒーターミラーは、上述のミラー基板１１の一面
及び１層の金属酸化薄膜１２及び電極１４、１４が絶縁
性材料（図示せず）により、コーティングされている場
合がある。この使用例における本発明のヒーターミラー
は、例えば自動車のドアーミラーやフェンダーミラー等
の車両用後写鏡に使用される。
（成膜工法）としては、例えば、真空蒸着法、あるい
は、スパッタリング法等がある。この使用例における本
発明のヒーターミラーは、上述のミラー基板１１の一面
及び１層の金属酸化薄膜１２及び電極１４、１４が絶縁
性材料（図示せず）により、コーティングされている場
合がある。この使用例における本発明のヒーターミラー
は、例えば自動車のドアーミラーやフェンダーミラー等
の車両用後写鏡に使用される。
【００１１】図３及び図４は本発明のヒーターミラーの
第１の実施の形態、すなわち１層の金属酸化薄膜１２が
ニッケル酸化薄膜から形成されている例を示し、図３は
膜厚が約６００オングストーロムの１層のニッケル酸化
薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反射率（縦
軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、図４
は同じく膜厚が約６００オングストーロムの１層のニッ
ケル酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）とシ
ート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を
示したグラフである。
第１の実施の形態、すなわち１層の金属酸化薄膜１２が
ニッケル酸化薄膜から形成されている例を示し、図３は
膜厚が約６００オングストーロムの１層のニッケル酸化
薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反射率（縦
軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、図４
は同じく膜厚が約６００オングストーロムの１層のニッ
ケル酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）とシ
ート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を
示したグラフである。
【００１２】この第１の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、酸素分圧１．８×１０-5ｔｏｒｒの雰
囲気（ミラー基板１１の温度は２００°Ｃ）において、
ミラー基板１１の一面に、膜厚が約６００オングストー
ロムであるニッケル酸化薄膜１２を、１層形成してなる
ものである。この第１の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、ミラー基板１１の表面（１層のニッケル酸化薄
膜１２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳ Ｄ
５７０５に基づいて測定された値）は、図３に示すよう
に、約４４％Ｒであり、またシート抵抗値は、図４に示
すように、約６．３Ω／□であるから、反射率が約４０
％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□であ
る条件を満たすことができる。
ーターミラーは、酸素分圧１．８×１０-5ｔｏｒｒの雰
囲気（ミラー基板１１の温度は２００°Ｃ）において、
ミラー基板１１の一面に、膜厚が約６００オングストー
ロムであるニッケル酸化薄膜１２を、１層形成してなる
ものである。この第１の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、ミラー基板１１の表面（１層のニッケル酸化薄
膜１２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳ Ｄ
５７０５に基づいて測定された値）は、図３に示すよう
に、約４４％Ｒであり、またシート抵抗値は、図４に示
すように、約６．３Ω／□であるから、反射率が約４０
％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□であ
る条件を満たすことができる。
【００１３】この第１の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のニッケル酸化薄膜１２は、酸素分圧１．
８×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気で、膜厚が約６００〜
１０００オングストーロムであり、比抵抗値が約２．０
〜７．０×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。す
なわち、酸素分圧１．８×１０-5ｔｏｒｒの雰囲気にお
いては、図３に示すように、反射率が約４４％Ｒ以上で
ある。また、膜厚が約６００〜１０００オングストーロ
ムでありかつ比抵抗値が約２．０〜７．０×１０-5Ω・
ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝比抵抗値÷
膜厚から、シート抵抗値が約２．０〜１１．７Ω／□と
なる。
おいて、１層のニッケル酸化薄膜１２は、酸素分圧１．
８×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気で、膜厚が約６００〜
１０００オングストーロムであり、比抵抗値が約２．０
〜７．０×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。す
なわち、酸素分圧１．８×１０-5ｔｏｒｒの雰囲気にお
いては、図３に示すように、反射率が約４４％Ｒ以上で
ある。また、膜厚が約６００〜１０００オングストーロ
ムでありかつ比抵抗値が約２．０〜７．０×１０-5Ω・
ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝比抵抗値÷
膜厚から、シート抵抗値が約２．０〜１１．７Ω／□と
なる。
【００１４】図５及び図６は本発明のヒーターミラーの
第２の実施の形態、すなわち１層の金属酸化薄膜１２が
コバルト酸化薄膜から形成されている例を示し、図５は
膜厚が約５００オングストーロムの１層のコバルト酸化
薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反射率（縦
軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、図６
は同じく膜厚が約５００オングストーロムの１層のコバ
ルト酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）とシ
ート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を
示したグラフである。
第２の実施の形態、すなわち１層の金属酸化薄膜１２が
コバルト酸化薄膜から形成されている例を示し、図５は
膜厚が約５００オングストーロムの１層のコバルト酸化
薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反射率（縦
軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、図６
は同じく膜厚が約５００オングストーロムの１層のコバ
ルト酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）とシ
ート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を
示したグラフである。
【００１５】この第２の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、酸素分圧１．４×１０-5ｔｏｒｒの雰
囲気（ミラー基板１１の温度は２００°Ｃ）において、
ミラー基板１１の一面に、膜厚が約５００オングストー
ロムであるコバルト酸化薄膜１２を、１層形成してなる
ものである。この第２の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、ミラー基板１１の表面（１層のコバルト酸化薄
膜１２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳ Ｄ
５７０５に基づいて測定された値）は、図５に示すよう
に、約４８％Ｒであり、またシート抵抗値は、図６に示
すように、約７．６Ω／□であるから、反射率が約４０
％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□であ
る条件を満たすことができる。
ーターミラーは、酸素分圧１．４×１０-5ｔｏｒｒの雰
囲気（ミラー基板１１の温度は２００°Ｃ）において、
ミラー基板１１の一面に、膜厚が約５００オングストー
ロムであるコバルト酸化薄膜１２を、１層形成してなる
ものである。この第２の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、ミラー基板１１の表面（１層のコバルト酸化薄
膜１２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳ Ｄ
５７０５に基づいて測定された値）は、図５に示すよう
に、約４８％Ｒであり、またシート抵抗値は、図６に示
すように、約７．６Ω／□であるから、反射率が約４０
％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０Ω／□であ
る条件を満たすことができる。
【００１６】この第２の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のコバルト酸化薄膜１２は、酸素分圧１．
４×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気で、膜厚が約４００〜
７００オングストーロムであり、比抵抗値が約２．０〜
７．０×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すな
わち、酸素分圧１．４×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気に
おいては、図５に示すように、反射率が約４８％Ｒ以上
である。また、膜厚が約４００〜７００オングストーロ
ムでありかつ比抵抗値が約２．０〜７．０×１０-5Ω・
ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝比抵抗値÷
膜厚から、シート抵抗値が約２．９〜１７．５Ω／□と
なる。
おいて、１層のコバルト酸化薄膜１２は、酸素分圧１．
４×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気で、膜厚が約４００〜
７００オングストーロムであり、比抵抗値が約２．０〜
７．０×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すな
わち、酸素分圧１．４×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気に
おいては、図５に示すように、反射率が約４８％Ｒ以上
である。また、膜厚が約４００〜７００オングストーロ
ムでありかつ比抵抗値が約２．０〜７．０×１０-5Ω・
ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝比抵抗値÷
膜厚から、シート抵抗値が約２．９〜１７．５Ω／□と
なる。
【００１７】図７及び図８は本発明のヒーターミラーの
第３の実施の形態、すなわち１層の金属酸化薄膜１２が
アルミニウム酸化薄膜から形成されている例を示し、図
７は膜厚が約６５０オングストーロムの１層のアルミニ
ウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反
射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグラ
フ、図８は同じく膜厚が約６５０オングストーロムの１
層のアルミニウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔ
ｏｒｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測によ
る相対関係を示したグラフである。
第３の実施の形態、すなわち１層の金属酸化薄膜１２が
アルミニウム酸化薄膜から形成されている例を示し、図
７は膜厚が約６５０オングストーロムの１層のアルミニ
ウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反
射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグラ
フ、図８は同じく膜厚が約６５０オングストーロムの１
層のアルミニウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔ
ｏｒｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測によ
る相対関係を示したグラフである。
【００１８】この第３の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、酸素分圧２．４×１０-5ｔｏｒｒの雰
囲気（ミラー基板１１の温度は１００°Ｃ）において、
ミラー基板１１の一面に、膜厚が約６５０オングストー
ロムであるアルミニウム酸化薄膜１２を、１層形成して
なるものである。この第３の実施の形態のヒーターミラ
ーにおいて、ミラー基板１１の表面（１層のアルミニウ
ム酸化薄膜１２と反対側の面）から測定した反射率（Ｊ
ＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定された値）は、図７に
示すように、約５２％Ｒであり、またシート抵抗値は、
図８に示すように、約１２．２Ω／□であるから、反射
率が約４０％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０
Ω／□である条件を満たすことができる。
ーターミラーは、酸素分圧２．４×１０-5ｔｏｒｒの雰
囲気（ミラー基板１１の温度は１００°Ｃ）において、
ミラー基板１１の一面に、膜厚が約６５０オングストー
ロムであるアルミニウム酸化薄膜１２を、１層形成して
なるものである。この第３の実施の形態のヒーターミラ
ーにおいて、ミラー基板１１の表面（１層のアルミニウ
ム酸化薄膜１２と反対側の面）から測定した反射率（Ｊ
ＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定された値）は、図７に
示すように、約５２％Ｒであり、またシート抵抗値は、
図８に示すように、約１２．２Ω／□であるから、反射
率が約４０％以上でありかつシート抵抗値が約２〜２０
Ω／□である条件を満たすことができる。
【００１９】この第３の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のアルミニウム酸化薄膜１２は、酸素分圧
２．４×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気で、膜厚が約６０
０〜１０００オングストーロムであり、比抵抗値が約
４．０〜１０．０×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ま
しい。すなわち、酸素分圧１．４×１０-5ｔｏｒｒ以下
の雰囲気においては、図７に示すように、反射率が約５
２％Ｒ以上である。また、膜厚が約６００〜１０００オ
ングストーロムでありかつ比抵抗値が約４．０〜１０．
０×１０-5Ω・ｃｍである場合においては、シート抵抗
値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約４．０〜１
６．７Ω／□となる。
おいて、１層のアルミニウム酸化薄膜１２は、酸素分圧
２．４×１０-5ｔｏｒｒ以下の雰囲気で、膜厚が約６０
０〜１０００オングストーロムであり、比抵抗値が約
４．０〜１０．０×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ま
しい。すなわち、酸素分圧１．４×１０-5ｔｏｒｒ以下
の雰囲気においては、図７に示すように、反射率が約５
２％Ｒ以上である。また、膜厚が約６００〜１０００オ
ングストーロムでありかつ比抵抗値が約４．０〜１０．
０×１０-5Ω・ｃｍである場合においては、シート抵抗
値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約４．０〜１
６．７Ω／□となる。
【００２０】
【発明の効果】本発明のヒーターミラーは、以上説明し
たように、反射率が約４０％以上でありかつシート抵抗
値が約２〜２０Ω／□である１層の金属酸化薄膜によ
り、反射膜を形成したものであるから、反射膜が２層か
ら形成されている従来のヒーターミラーと比較して、コ
ストが安価である。
たように、反射率が約４０％以上でありかつシート抵抗
値が約２〜２０Ω／□である１層の金属酸化薄膜によ
り、反射膜を形成したものであるから、反射膜が２層か
ら形成されている従来のヒーターミラーと比較して、コ
ストが安価である。
【図１】本発明のヒーターミラーの一使用例を示した概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明のヒーターミラーの第１の実施の形態、
すなわち１層の金属酸化薄膜がニッケル酸化薄膜から形
成されている例を示し、膜厚が約６００オングストーロ
ムの１層のニッケル酸化薄膜における酸素分圧（横軸、
ｔｏｒｒ）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関
係を示したグラフである。
すなわち１層の金属酸化薄膜がニッケル酸化薄膜から形
成されている例を示し、膜厚が約６００オングストーロ
ムの１層のニッケル酸化薄膜における酸素分圧（横軸、
ｔｏｒｒ）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関
係を示したグラフである。
【図４】同じく膜厚が約６００オングストーロムの１層
のニッケル酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒ
ｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。
のニッケル酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒ
ｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。
【図５】本発明のヒーターミラーの第２の実施の形態、
すなわち１層のコバルト酸化薄膜から形成されている例
を示し、膜厚が約５００オングストーロムの１層のコバ
ルト酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反
射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグラ
フである。
すなわち１層のコバルト酸化薄膜から形成されている例
を示し、膜厚が約５００オングストーロムの１層のコバ
ルト酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒｒ）と反
射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグラ
フである。
【図６】同じく膜厚が約５００オングストーロムの１層
のコバルト酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒ
ｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。
のコバルト酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒ
ｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。
【図７】本発明のヒーターミラーの第３の実施の形態、
すなわち１層のアルミニウム酸化薄膜から形成されてい
る例を示し、膜厚が約６５０オングストーロムの１層の
アルミニウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒ
ｒ）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示
したグラフである。
すなわち１層のアルミニウム酸化薄膜から形成されてい
る例を示し、膜厚が約６５０オングストーロムの１層の
アルミニウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏｒ
ｒ）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示
したグラフである。
【図８】同じく膜厚が約６５０オングストーロムの１層
のアルミニウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏ
ｒｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による
相対関係を示したグラフである。
のアルミニウム酸化薄膜における酸素分圧（横軸、ｔｏ
ｒｒ）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による
相対関係を示したグラフである。
１１…ミラー基板、１２…１層の金属酸化薄膜（反射
膜）、１４…電極。
膜）、１４…電極。
Claims (4)
- 【請求項１】 ミラー基板と、前記ミラー基板の一面に
形成された、反射率が約４０％以上でありかつシート抵
抗値が約２〜２０Ω／□である１層の金属酸化薄膜と、
前記１層の金属酸化薄膜に接続された電極とを備えたこ
とを特徴とするヒーターミラー。 - 【請求項２】 前記１層の金属酸化薄膜は、ニッケル酸
化薄膜から形成されており、その膜厚が約６００〜１０
００オングストーロムであり、かつその比抵抗値が約
２．０〜７．０×１０-5Ω・ｃｍであることを特徴とす
る請求項１に記載のヒーターミラー。 - 【請求項３】 前記１層の金属酸化薄膜は、コバルト酸
化薄膜から形成されており、その膜厚が約４００〜７０
０オングストロームであり、かつその比抵抗値が約２．
０〜７．０×１０-5Ω・ｃｍであることを特徴とする請
求項１に記載のヒーターミラー。 - 【請求項４】 前記１層の金属酸化薄膜は、アルミニウ
ム酸化薄膜から形成されており、その膜厚が約６００〜
１０００オングストロームであり、かつその比抵抗値が
約４．０〜１０．０×１０-5Ω・ｃｍであることを特徴
とする請求項１に記載のヒーターミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9225211A JPH1159338A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | ヒーターミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9225211A JPH1159338A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | ヒーターミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1159338A true JPH1159338A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16825735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9225211A Pending JPH1159338A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | ヒーターミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1159338A (ja) |
-
1997
- 1997-08-21 JP JP9225211A patent/JPH1159338A/ja active Pending
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