JPH0790884B2 - 基板の収納・取り出し管理システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板な
どの製造工程中のフォトリソグラフィー工程で使用され
る露光用マスクやレチクル等の薄板状の露光用基板を収
納・保管する収納棚と、この収納棚から取り出された露
光用基板を露光機に搬送するために前記露光用基板を一
時的に収納する基板ホルダとの間で、露光用基板の受け
渡しを管理する基板の収納・取り出し管理システムに関
する。

＜従来の技術＞ 近年、半導体製造ラインのフォトリソグラフィー工程に
おいて、ラインの自動化が急速に進められている。特
に、少量多品種の製造ラインでは、半導体ウエハに回路
パターンを焼き付けるためのマスクやレチクルのような
露光用基板（以下、単に基板という）の数は膨大にな
り、これらの基板群の中から所望の基板を間違いなく取
り出し、迅速に露光機にセッティングして、工程の処理
能率を向上させたいという要請が強い。

このような要請に応えるために、例えば、特開昭63−22
448号公報に開示されたような基板搬送装置がある。

この基板搬送装置は、収納棚から取り出された複数個の
基板を一時的に収納する移動可能なカセットライブラリ
（本発明では、基板ホルダと称する）から、所要の基板
を取り出して露光機に搬送する途中で、基板に付加され
た基板情報を検知し、この基板情報を露光機に伝送して
露光機を予め初期設定しておくことによって、基板の交
換に要する時間を短縮しようとするものである。

＜発明が解決しようとする課題＞ 上述の基板搬送装置は、カセットライブラリと露光機と
の間の基板の受け渡しを自動化することによって工程の
処理能率を向上させようとするものであり、その点では
有効である。

しかし、上記の基板搬送装置を使用しても、多数の基板
が収納された収納棚から所要の基板を取り出してカセッ
トライブラリに収納し、さらには使用済みの基板をカセ
ットライブラリから収納棚に収納するという作業が人手
によって行われているため、基板の取り出し・収納に時
間を要し、しかも間違いが起こりやすいという問題点が
ある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、収納棚からの所要の基板の取り出しや、収納棚への
基板の収納を迅速、かつ正確に行うことができる基板の
収納・取り出し管理システムを提供することを目的とし
ている。

＜課題を解決するための手段＞ 本発明は、このような目的を達成するために、次のよう
な構成をとる。

即ち、本発明は、複数個の露光用基板を収納・保管する
収納棚と、前記収納棚と露光機との間で所要の露光用基
板を受け渡しするために該露光用基板を一時的に収納す
る基板ホルダとを備え、前記収納棚と基板ホルダとの間
の露光用基板の受け渡しを管理する基板の収納・取り出
し管理システムであって、 前記所要の露光用基板を把持して前記収納棚または基板
ホルダの所要箇所に出し入れする基板把持手段と、 前記基板把持手段を収納棚と基板ホルダとの間で搬送す
る搬送手段と、 前記搬送手段による搬送途中において、前記収納棚また
は前記基板ホルダへ露光用基板を収納するときの前記露
光用基板の位置決めを行う位置決め手段と、 前記収納棚の水平および垂直位置情報と、各露光用基板
が載置される奥行き位置に係る情報とを記憶する棚情報
記憶手段と、 取り出し・収納すべき露光用基板の識別情報、および／
または該露光用基板の収納位置情報を指定する指定手段
と、 各露光用基板ごとの識別情報に対応した収納位置情報を
記憶する収納位置記憶手段と、 前記指定手段から与えられた収納位置情報に基づき、あ
るいは前記指定手段から与えられた露光用基板の識別情
報に応じた収納位置情報を前記収納位置記憶手段から読
み出すことに基づいて、前記搬送手段の水平・垂直方向
の動きを制御し、かつ該収納位置情報に基づいて前記棚
情報記憶手段から読み出した奥行き位置情報に基づいて
前記基板把持手段の奥行き方向の動きを制御する制御手
段と、 を備えたものである。

＜作用＞ 本発明の作用は次のとおりである。

露光用基板の取り出し 収納棚から取り出すべき露光用基板の識別情報が指定手
段によって指定されると、収納位置記憶手段から当該識
別情報に対応する収納位置情報が読み出される。制御手
段は、この収納位置情報に基づき、搬送手段の水平・垂
直方向の動きを制御して、基板把持手段を収納棚の指定
位置に搬送する。基板把持手段は、その位置に保管され
ている露光用基板を把持して取り出す。取り出された露
光用基板は、搬送手段によって基板ホルダへ搬送され、
この搬送途中に位置決め手段によって基板ホルダに収納
するときの位置に位置決めされて後、基板ホルダの所要
位置に搬入される。

露光用基板の収納 露光用基板を収納棚の所定位置に収納する態様として
は、次のような態様がある。例えば、指定手段から、そ
の露光用基板の収納位置を直接指定する態様であり、他
の例としては、指定手段から露光用基板の識別情報を指
定する場合である。

指定手段によって露光用基板の収納位置情報が与えられ
た場合はその収納位置情報に基づき、あるいは指定手段
によって露光用基板の識別情報が与えられた場合には、
その識別情報に対応した収納位置情報を収納位置記憶手
段から読み出すことに基づき、制御手段は、搬送手段の
水平・垂直方向の動きを制御して、基板ホルダから取り
出し、位置決めされて基板把持手段に把持された露光用
基板を収納棚の所定位置にまで搬送する。そして、その
収納位置情報に対応する奥行き位置情報を棚情報記憶手
段から読み出し、この情報に基づき基板把持手段の奥行
き方向の動きを制御して、その露光用基板を収納棚内の
所定の奥行き位置に載置する。

＜実施例＞ 以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。

第１図は、実施例に係る基板の収納・取り出し管理シス
テムの概略図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）
は正面図である。

図中、符号１は複数個の露光用基板を水平・垂直方向に
それぞれ区画して収納・保管する収納棚である。この収
納棚１には、露光用基板としての例えばレチクルが収納
される。レチクルは第２図に示すようなレチクルケース
４に収納されている。レチクルケース４には、開閉自在
の前蓋３が設けられており、この前蓋３の前面に、収納
されているレチクル２の機種や属性などを識別するため
の識別情報としてのバーコード５が貼り付けられてい
る。レチクルケース４の両側面には、レチクルケース４
の受渡し時に係止されるツメ６と案内用のガイド７とが
形成されている。

収納棚１の細部構造を第３図に示す。各レチクルケース
４が個別に載置される棚は、左右一対の棚ガイド８から
構成されており、各棚ガイド８の底面にはレチクルケー
ス４を支える支持ピン９と、レチクルケース４の左右方
向の動きを規制するガイドビン10とが立設されている。

第１図に戻って、符号11は収納棚１から取り出されたレ
チクルケース４を、図示しない露光機に移送するため
に、これを一次的に収納する基板ホルダである。この基
板ホルダ11は螺軸12に螺合されたホルダ載置台13に載置
され、前記螺軸12をパルスモータ80で回転駆動すること
により、基板ホルダ11を所定の基板受渡し高さに設定で
きるように構成されている。

符号14は、レチクルケース４を把持して収納棚１に出し
入れする基板把持手段としての基板把持機構である。こ
の基板把持機構14は、搬送機構15によって収納棚１の水
平（図中、Ｘ方向）・垂直方向（図中、Ｙ方向）の任意
の位置に搬送される。搬送機構15は、垂直搬送機構とし
て基板把持機構14に螺合された螺軸16とこれを駆動する
パルスモータ17を含み、また、水平搬送機構としてラッ
ク・ピニオン機構18とこれを駆動するパルスモータ19な
どを含む。

基板把持機構14の構成を第４図に示す。

同図（ａ）は基板把持機構14の平面図、同図（ｂ）はそ
の正面図である。

基板把持機構14のベース板20は、上述した螺軸16と、ガ
イド棒21に沿って昇降し、このベース板20に、基板把持
機構14を収納棚１の奥行き方向（図中、Ｚ方向）に移動
させるための駆動機構として、パルスモータ22と、この
パルスモータ22によって駆動される螺軸23が取付けられ
ている。24は、レチクルケース４を下方から支えるため
の支持プレートであり、この支持プレート24に螺軸23が
螺合されているとともに、ガイド棒23aが挿通されてい
る。支持プレート24には、レチクルケース４の端部を上
方から押さえ込んで、その動きを規制するための押さえ
プレート25と、これにピン結合されたエアーシリンダ26
とが設けられている。押さえプレート25は先端部が
『Ｔ』の字形状をしており、この基部に遊嵌された軸27
の両端が支持プレート28のガイド孔29に挿通・支持され
ている。ガイド穴29は水平の長孔状で、その前方端部
（第４図（ｂ）における左側端部）が傾斜状に下方に屈
曲している。これによりエアーシリンダ26のロッド26a
が縮退したときには、押さえプレート25は上方に位置
し、ロッド26aが伸長したときには、軸27の端部がガイ
ド孔29の前方端部の窪みに落ち込んで、押さえプレート
25が下降し、レチクルケース４を押さえ込むようになっ
ている。

なお、基板把持機構14の支持プレート24には、レチクル
ケース４を検出するための光学センサS1,S2と、レチク
ルケース４に貼着されたバーコード５を読み取るための
バーコードリーダS3が付設されている。バーコードリー
ダS3は、収納棚１に収納すべきレチクル２の識別情報を
指定するための指定手段に相当している。

第１図に戻って、符号30は、基板把持機構14と基板ホル
ダ11との間でレチクルケース４の受渡しを行うための受
渡し機構である。この受渡し機構30の構成を第５図に示
す。同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は（ａ）図のＩ−
Ｉ矢視図、同図（ｃ）は（ａ）図のII−II矢視図であ
る。

第５図において、符号31はレチクルケース４を側面側か
ら把持する一対の把持アームである。各把持アーム31の
先端部内側には、レチクルケース４の側面に形成された
ツメ６に係合する凹部32が形成されている。各把持アー
ム31の基部は、ロータリアクチュエータ33にそれぞれ連
結されており、このロータリアクチュエータ33を駆動す
ることにより、把持アーム31が開閉動作するように構成
されている。

各ロータリアクチュエータ33は、移動ベース34に取付け
られている。移動ベース34には、螺軸35が螺合されてい
るとともに、ガイド棒36が挿通されており、螺軸35に連
結されたパルスモータ37を駆動することにより、把持ア
ーム31が移動ベース34と一体となって前後動（Ｚ方向に
移動）するように構成されている。38は、螺軸35および
ガイド棒36が取付けられているブース板であり、このベ
ース板38に螺軸51が螺合されるとともに、ガイド棒52が
挿通されており、前記螺軸51がパルスモータ53（第１図
（ａ）参照）に回転駆動されることにより、受渡し機構
30がＸ方向に移動するように構成されている。ベース板
38の長手方向側面には側板39がそれぞれ設けられてお
り、各側板39には、レチクルケース４の受渡し時にレチ
クルケース４のガイド７を下方から支持する複数個のガ
イドローラ40と、レチクルケース４の底面を支持する支
持ローラ41とが取付けられている。

また、第５図（ｃ）に示すように、側板39には、Ｌ形リ
ンク43が揺動自在に支持されており、各Ｌ形リンク43の
先端部には、レチクルケース４が基板ホルダ11または基
板把持機構14から受け渡されたときに、レチクルケース
４の側面に当接してこれを位置決めする位置決めローラ
42が取付けられている。このＬ形リンク43の下端は棒状
カム44に当接している。第５図（ｂ）に示すように、移
動ベース34に取付けられたカムホロワ45に当接している
棒状カム44のカム面の原点側（第５図（ｂ）における右
側）には凹部46が形成されている。このカム面に当接し
てカムホロワ45が転動することにより、棒状カム44が上
下動し、位置決めローラ42を開閉動作するように構成さ
れている。

上述した棒状カム44は、ベース板38に上下動自在に支持
されたプッシュロッド47の先端に当接している。プッシ
ュロッド47の下端にはカムホロワ48が取付けられてお
り、このカムホロワ48が固定ベース49上でＸ方向に取付
けられた棒状カム50上を転動することにより、プッシュ
ロッド47の作用によっても棒状カム44を上下動できるよ
うに構成されている。

次に、第６図を参照して、本実施例の制御系の構成を説
明する。

60は、本発明における制御手段に相当するCPUであり、
このCPU60は入出力インターフェイス67を介して、上述
した基板の収納・取り出し装置のパルスモータ17,19,2
2,37,53、エアーシリンダ26、ロータリアクチュエータ3
3、バーコードリーダS3、および装置の各所に設置され
たセンサ群に接続されている。

61は装置の動作プログラムを記憶するROM、62は棚情報
記憶部63と収納位置記憶部64を含むRAMである。棚情報
記憶部63には、収納棚１の各棚の水平および垂直位置情
報と、レチクルケース４が各棚内に配置されるべき奥行
き位置情報とが記憶されている。この奥行き位置情報
は、レチクルケース４が棚における載置位置の基準とし
ての支持ピン９に対して、各棚の奥行き方向の一定の位
置に載置されるよう、各棚ごとに予め作成されて設定さ
れるデータである（第３図参照）。また、収納位置記憶
部64には、各レチクルケース４の識別情報に対応付け
て、各レチクルケース４を収納すべき収納棚１の水平・
垂直の収納位置情報が記憶されている。

65は、レチクル２の識別情報や、そのレチクル２の収納
位置情報を指定するキーボードであり、このキーボード
65は上述したバーコードリーダS3と相まって、本発明に
おける指定手段に対応している。66は入力された情報や
オペレータに対するメッセージなどを表示するCRTであ
る。

68は、複数台のレチクル収納棚を管理する工程コントロ
ーラ70を介してホストコンピュータ71との間で通信する
ための通信インターフェイスである。ホストコンピュー
タ71は、例えば半導体装置製造ラインの全体を管理する
ものである。

次に、上述した構成を備えたシステムの動作について説
明する。

〔Ａ〕レチクル２の取り出し動作 （１） レチクル２の識別情報の入力 収納棚１に収納・保管されている多数のレチクル２の中
から、所望のレチクル２を取り出すために、キーボード
65から取り出したいレチクル２の識別情報をキー入力す
る。あるいは、所望のレチクル２を取り出すべき時刻が
予め決まっているように管理された工程では、そのレチ
クル２の識別情報と取り出し時刻を、ホストコンピュー
タ71から工程コントローラ70および通信インターフェイ
ス68を介して伝送して、RAM62内に記憶させておき、予
め定められた取り出し時刻になったときに、RAM62内に
記憶された所要のレチクル２の識別情報を自動的に読み
出すようにすることもできる。

（２） 搬送機構15の水平・垂直方向移動 上述のようにして取り出すべきレチクル２の識別情報が
与えられると、CPU60はその識別情報に対応したレチク
ル２の水平・垂直位置情報をRAM62の収納位置記憶部64
から読み出し、この水平・垂直位置情報に基づき、搬送
機構15の水平方向駆動用のパルスモータ19と垂直方向駆
動用のパルスモータ17とをそれぞれ駆動制御して、基板
把持機構14を該レチクル２が収納された棚位置に移動さ
せる。

（３） 基板把持機構14の奥行き方向移動 基板把持機構14が収納棚１の所定位置に移動すると、パ
ルスモータ22が駆動されることにより、支持プレート24
が収納棚１の奥行き方向に移動されて、棚内のレチクル
ケース４の下方に挿入される。このとき、エアーシリン
ダ26のロッド26aは縮退して、押さえプレート25は上方
の位置にある。支持プレート24が移動しているときに、
光学センサS1の検出信号により、その棚内にレチクルケ
ース４が収納されているどうかが確認される。レチクル
ケース４が収納されていることが確認されると、基板把
持機構14はさらに奥方向に駆動される。そして、レチク
ルケース４の先端部が支持プレート24の前の光学センサ
S2の位置にまで達したときに、光学センサS2の検出信号
に基づきパルスモータ22が停止される。このとき、基板
把持機構14に設けられたバーコードリーダS3によって、
そのレチクルケース４のバーコード５を読み取り、指定
されたレチクル２の識別情報と比較して、誤りがないか
どうかを確認するようにしてもよい。

（４） レチクルケース４の把持動作 パルスモータ22が停止すると、搬送機構15の垂直方向搬
送用のパルスモータ17が駆動されて、支持プレート24が
僅かに上昇駆動される。これにより、棚ガイド８の支持
ピン９に載置されていたレチクルケース４が支持プレー
ト24に移載される。そして、エアーシリンダ26のロッド
26aが伸長駆動されることにより、押さえプレート25が
前方に押し出される。押さえプレート25の軸27がガイド
孔29に沿って前進して、その先端部窪みに落ち込むと、
押さえプレート25が下降し、支持プレート24と押さえプ
レート25とによってレチクルケース４の端部が把持され
る。

（５） レチクルケース４の搬送動作 レチクルケース４が基板把持機構14に把持されると、パ
ルスモータ22が逆転駆動されることにより、基板把持機
構14に把持されたレチクルケース４が収納棚１から取り
出される。そして、搬送機構15のパルスモータ19とパル
スモータ17とが駆動されることにより、基板把持機構14
はレチクルケース４の受渡し位置（第１図に実線で示す
基板把持機構14の位置）にまで搬送される。

（６） 基板把持機構14から受渡し機構30へのレチクル
ケース４の受渡し動作 基板把持機構14が受渡し位置に搬送されたことが、図示
しないセンサで検出されると、同じく受渡し位置で待機
している受渡し機構30のパルスモータ37が駆動されるこ
とにより、移動ベース34が前方に繰り出される。このと
き、ロータリアクチュエータ33は把持アーム31が開状態
になるように設定されている。移動ベース34が所定位置
にまで繰り出されるとパルスモータ37が停止するととも
に、ロータリアクチュエータ33が駆動されて把持アーム
31が閉状態になり、把持アーム31の凹部32がレチクルケ
ース４のツメ６に係合する。

レチクルケース４が把持アーム31に把持されると、基板
把持機構14の押さえプレート25が上昇駆動される。そし
て、受渡し機構30のパルスモータ37が逆転駆動されるこ
とにより移動ベース34が後退する。基板把持機構14から
受渡し機構30へレチクルケース４が移載されるとき、レ
チクルケース４のガイドローラ40で案内され、続いてレ
チクルケース４の底面が支持ローラ41で支持されて所定
位置にまで移動される。

レチクルケース４が所定位置にまで移動して停止される
と、移動ベース34に取付けられたカムホロワ45が棒状カ
ム44の凹部46に達することにより棒状カム44が下降す
る。こうして、棒状カム44の上面に当接しているＬ形リ
ンク43が内側に変位して、位置決めローラ42がレチクル
ケース４の側面に当接し、レチクルケース４の左右位置
が位置決めされる。

（７） 受渡し機構30から基板ホルダ11へのレチクルケ
ース４の搬入動作 前記（６）のようにしてレチクルケース４が受渡し機構
30に移載されると、受渡し機構30のパルスモータ53が駆
動されることにより、受渡し機構30が基板ホルダ11の待
機位置方向に水平駆動される。受渡し機構30が基板ホル
ダ11に対向する位置に達したことが、図示しないセンサ
で検出されるとパルスモータ53が停止される。受渡し機
構30の停止位置において、固定ベース49上の棒状カム50
は凸面になっている。そのため、受渡し機構30が停止位
置にきたとき、棒状カム50によってプッシュロッド47が
突き上げられて棒状カム44が上昇し、Ｌ形リンク43が外
側に変位することにより、位置決めローラ42とレチクル
ケース４との接触状態が解除される。

レチクルケース４の基板ホルダ11への搬入に際しては、
パルスモータ37が駆動されて移動ベース34が前方に繰り
出されることにより、基板ホルダ11内へレチクルケース
４が挿入される。レチクルケース４が基板ホルダ11内へ
挿入されると、ロータリアクチュエータ33が駆動されて
把持アーム31が開状態に変位される。そして、パルスモ
ータ37が逆転駆動されて移動ベース34が定位置に戻され
ると、さらにパルスモータ53が逆転駆動されて受渡し機
構30が元の受渡し位置（第１図（ａ）の実線で示した受
渡し機構30の位置）に戻される。

以上のような動作が繰り返し行われることにより、指定
されたレチクル２が収納棚１から順次に取り出されて、
基板ホルダ11に搬入される。

必要なレチクル２が基板ホルダ11内に全て搬入される
と、人手あるいは自動搬送によって、基板ホルダ11が露
光機にまで移送される。

〔Ｂ〕次に、基板ホルダ11に入れられた使用済みレチク
ル２を収納棚１に収納するための動作について説明す
る。

（１） 基板ホルダ11からのレチクルケース４の取り出
し動作 基板ホルダ11からレチクルケース４を取り出すときは、
受渡し機構30を基板ホルダ11に対向する位置に設定し、
パルスモータ37を駆動して移動ベース34を前進させ、肥
持アーム31によって基板ホルダ11内のレチクルケース４
を肥持して基板ホルダ11から搬出する。次にパルスモー
タ53が駆動され、レチクルケース４は基板把持機構14へ
の受渡し位置に搬送される。

なお、このとき上記レチクル２の取り出し動作（〔Ａ〕
（６））と逆の動作によってレチクルケース４の左右位
置が位置決めされる。

（２） 受渡し機構30から基板把持機構14へのレチクル
ケース４の受渡し 受渡し機構30が基板把持機構14への受渡し位置に達して
停止すると、パルスモータ37が駆動されて移動ベース34
が繰り出される。このとき、基板把持機構14の押さえプ
レート25が開状態で待機しており、受渡し機構30から繰
り出されたレチクルケース４がセンサS2で検出されるこ
とにより、押さえプレート25が閉状態に駆動される。レ
チクルケース４が基板把持機構14に肥持されると、肥持
アーム31は開状態に駆動され、続いて移動ベース34が後
退した後、基板ホルダ11への受渡し位置にまで駆動され
て、次のレチクルケース４を搬出する。

（３） レチクルケース４の識別情報の読み取り レチクルケース４が基板把持機構14に受け取られると、
基板把持機構14に設けられたバーコードリーダS3によっ
て、レチクルケース４の貼り付けられたバーコード５が
読み取られる。バーコード５を読み取ることによって得
られたレチクル２の識別情報はCPU60に送られる。CPU60
は、この識別情報に対応するレチクル２の収納位置情報
（収納棚１の水平・垂直位置情報）をRAM62の収納位置
記憶部64から読み出す。

（４） レチクルケース４の搬送動作 CPU60は、収納位置記憶部64から読み出した当該レチク
ル２の水平・垂直位置情報に基づき、搬送機構15のパル
スモータ17,19を駆動して、レチクルケース４を所定の
棚位置にまで搬送する。

（５） レチクルケース４の収納動作 レチクルケース４が所定の棚位置にまで達すると、CPU6
0はそのレチクル２の収納位置情報に基づき、当該棚位
置の奥行き位置情報をRAM62の棚情報記憶部63から読み
出す。CPU60は、この奥行き位置情報に基づき、基板把
持機構14のパルスモータ22を駆動することにより、支持
プレート24と押さえプレート25で肥持されているレチク
ルケース４を前方に繰り出して、その棚内に挿入する。
このとき、支持プレート24の先端部に取付けられた光学
センサS1によって、その棚位置に他のレチクルケース４
が入っていないかどうかが確認される。他のレチクルケ
ース４が入っていなければ、肥持されたレチクルケース
４がさらに繰り出されて所定の奥行き位置にまで移送さ
れる。レチクルケース４が所定位置に達すると、パルス
モータ22が停止されるとともに、押さえプレート25が上
方に駆動されて、レチクルケース４の肥持状態が解除さ
れる。続いて、搬送機構15のパルスモータ17が駆動され
て、支持プレート24が僅かに下降される。これにより支
持プレート24上のレチクルケース４が、棚ガイド８の支
持ピン９上に移載される。

レチクルケース４が収納棚１の所定位置に収納されと、
パルスモータ22が逆転して支持プレート24が後退し、続
いて搬送機構15のパルスモータ17,19が駆動されること
により、基板把持機構14は次のレチクルケース４を受け
るために受渡し機構30との受渡し位置に戻される。

以上の動作が繰り返し行われることにより、基板ホルダ
11内のレチクルケース４が、各々に対応した棚位置に順
に収納される。

なお、上述の動作説明では、レチクルケース４を収納棚
１の所定の棚位置に収納する場合に、レチクルケース４
のバーコード５を読み取ることによって、そのレチクル
２の収納位置情報をRAM62から読み出すようにしたが、
これは収納位置情報をキーボード65から直接に入力する
ようにしてもよい。

また、上述した実施例では基板ホルダ11を前方に引き出
せるようにするために、基板ホルダ11と基板把持機構14
との間のレチクルケース４の受渡しを、受渡し機構30を
介して行った。このようにすることにより、第１図に示
す装置を工程内の壁面に取付けすることができるので、
省スペース化を図ることができる。一方、基板ホルダ11
を後方から引き出すことが許容される場合には、受渡し
機構30を設ける必要はなく、基板ホルダ11と基板把持機
構14との間で、レチクルケース４を直接に受渡しするよ
うに構成してもよい。このような装置によれば、受渡し
機構30を設けない分だけ、装置の構成を簡略化すること
ができる。

さらに、実施例では露光用基板としてレチクルを例にと
って説明したが、露光用マスクの場合も同様であること
はいうまでもない。

また、実施例ではレチクルケース４を収納棚１から取り
出す際に、基板把持機構14の支持プレート24に設けられ
た光学センサS2の検出信号に基づきパルスモータ22の動
きを制御しているが、レチクルケース４の収納時と同様
に棚情報記憶部63に記憶された奥行き位置情報に基づい
てパルスモータ22の動きを制御してレチクルケース４を
取り出すようにしてもよい。

＜発明の効果＞ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、収納
棚からの露光用基板の取り出しや、収納棚への露光用基
板の収納を自動的に行なえるように構成したから、人手
によって行っていた従来と比較して、所要の露光用基板
を迅速、かつ正確に取り出し・収納することができ、フ
ォトリソグラフィー工程の処理効率が向上する。

また、本発明は、収納棚の各棚位置の水平・垂直位置情
報ととともに、各々の棚位置に応じて露光用基板を載置
すべき奥行き位置情報を予め記憶しておき、露光用基板
の収納時には、この奥行き情報に対応した位置に露光用
基板を載置するようにしたから、個々の棚位置にセンサ
を設置して、奥行き位置を決める場合に比較して、装置
の構成が簡単になる。

さらに、本発明では、露光用基板の搬送途中で、収納棚
または基板ホルダへ露光用基板を収納するときの露光用
基板の位置決めを行うように構成したので、露光用基板
を収納棚や基板ホルダの正確な位置に収納することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本発明の一実施例に係り、第１図
は基板の収納・取り出し管理システムを構成する各機構
部を示した概略図、第２図はレチクルケースの外観斜視
図、第３図は収納棚の棚ガイドの斜視図、第４図は基板
把持機構の説明図、第５図は受渡し機構の説明図、第６
図は制御系の概略構成を示したブロック図である。 １……収納棚、２……レチクル ４……レチクルケース、５……バーコード 11……基板ホルダ、14……基板把持機構 15……搬送機構、30……受渡し機構 17,19,22,37,53……パルスモータ 60……CPU、62……RAM 63……棚情報記憶部、64……収納位置記憶部 65……キーボード、S3……バーコードリーダ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数個の露光用基板または露光用基板を収
   納した収納ケース（以下、単に露光用基板と記す）を収
   納・保管する収納棚と、前記収納棚と露光機との間で所
   要の露光用基板を受け渡しするために該露光用基板を一
   時的に収納する基板ホルダとを備え、前記収納棚と基板
   ホルダとの間の露光用基板の受け渡しを管理する基板の
   収納・取り出し管理システムであって、 前記所要の露光用基板を把持して前記収納棚または基板
   ホルダの所要箇所に出し入れする基板把持手段と、 前記基板把持手段を収納棚と基板ホルダとの間で搬送す
   る搬送手段と、 前記搬送手段による搬送途中において、前記収納棚また
   は前記基板ホルダへ露光用基板を収納するときの前記露
   光用基板の位置決めを行う位置決め手段と、 前記収納棚の水平および垂直位置情報と、各露光用基板
   が載置される奥行き位置に係る情報とを記憶する棚情報
   記憶手段と、 取り出し・収納すべき露光用基板の識別情報、および／
   または該露光用基板の収納位置情報を指定する指定手段
   と、 各露光用基板ごとの識別情報に対応した収納位置情報を
   記憶する収納位置記憶手段と、 前記指定手段から与えられた収納位置情報に基づき、あ
   るいは前記指定手段から与えられた露光用基板の識別情
   報に応じた収納位置情報を前記収納位置記憶手段から読
   み出すことに基づいて、前記搬送手段の水平・垂直方向
   の動きを制御し、かつ該収納位置情報に基づいて前記棚
   情報記憶手段から読み出した奥行き位置情報に基づいて
   前記基板把持手段の奥行き方向の動きを制御する制御手
   段と、 を備えたことを特徴とする基板の収納・取り出し管理シ
   ステム。