JPH1167880A - ウエハ回転チャック - Google Patents
ウエハ回転チャックInfo
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- JPH1167880A JPH1167880A JP23654797A JP23654797A JPH1167880A JP H1167880 A JPH1167880 A JP H1167880A JP 23654797 A JP23654797 A JP 23654797A JP 23654797 A JP23654797 A JP 23654797A JP H1167880 A JPH1167880 A JP H1167880A
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- chuck
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- chuck body
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011435 rock Substances 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping On Spindles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が簡単で、安価、かつ小型化でき、確実
な保持、及びチャックの回転中心へのウエハの芯出しを
容易かつ正確に行うことができるようにする。 【解決手段】 鉛直に配置された回転軸８の上端にチャ
ック本体９が取り付けられ、チャック本体９の上部にウ
エハ１０が搭載される。このチャック本体９のウエハ搭
載部の周囲には、ヒンジ１２により保持部材１３が揺動
自在に複数取り付けられている。保持部材１３のヒンジ
１３の下部は第１ウェイト１４となっている。チャック
本体９には、傾斜して半径方向に伸びる穴１５が設けら
れ、この穴１５内に球状の第２ウェイト１６が移動自在
に挿入されている。第１ウェイト１４と第２ウェイト１
６は、チャック本体９の回転による遠心力により保持部
材１３の下部を外方へ揺動させ、上部の保持部１３Ａを
閉じてウエハ１０を保持する。
な保持、及びチャックの回転中心へのウエハの芯出しを
容易かつ正確に行うことができるようにする。 【解決手段】 鉛直に配置された回転軸８の上端にチャ
ック本体９が取り付けられ、チャック本体９の上部にウ
エハ１０が搭載される。このチャック本体９のウエハ搭
載部の周囲には、ヒンジ１２により保持部材１３が揺動
自在に複数取り付けられている。保持部材１３のヒンジ
１３の下部は第１ウェイト１４となっている。チャック
本体９には、傾斜して半径方向に伸びる穴１５が設けら
れ、この穴１５内に球状の第２ウェイト１６が移動自在
に挿入されている。第１ウェイト１４と第２ウェイト１
６は、チャック本体９の回転による遠心力により保持部
材１３の下部を外方へ揺動させ、上部の保持部１３Ａを
閉じてウエハ１０を保持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
用いられるウエハ回転チャックに係り、特にウエハの保
持機構に関する。
用いられるウエハ回転チャックに係り、特にウエハの保
持機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置におけるウエハ回
転チャックには、真空吸着を利用したもの、空圧などの
アクチュエータにより開閉されるクランプ部材を用いた
もの、ウエハの外周に沿うように単なる段差やピンなど
の突起を設けたものなどが用いられていた。
転チャックには、真空吸着を利用したもの、空圧などの
アクチュエータにより開閉されるクランプ部材を用いた
もの、ウエハの外周に沿うように単なる段差やピンなど
の突起を設けたものなどが用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】真空吸着やアクチュエ
ータを利用するものは、構造が複雑であり、コストが高
い欠点があり、さらに真空吸着方式は、ウエハをチャッ
クの回転中心に正確に搭載するための機構を必要とし、
アクチュエータを利用するものは、チャックの内部にア
クチュエータやクランプ部材の開閉機構を組み込む必要
からチャックの小型化に制約があるなどの欠点をも有し
ている。
ータを利用するものは、構造が複雑であり、コストが高
い欠点があり、さらに真空吸着方式は、ウエハをチャッ
クの回転中心に正確に搭載するための機構を必要とし、
アクチュエータを利用するものは、チャックの内部にア
クチュエータやクランプ部材の開閉機構を組み込む必要
からチャックの小型化に制約があるなどの欠点をも有し
ている。
【０００４】また、ウエハの外周に沿うように単なる段
差やピンなどの突起を設けたものは、ウエハの保持が不
完全であり、回転中にウエハが飛び出す危険がある。
差やピンなどの突起を設けたものは、ウエハの保持が不
完全であり、回転中にウエハが飛び出す危険がある。
【０００５】本発明は、上記のような欠点を解決するた
め、構造が簡単で、安価、かつ小型化でき、さらに確実
な保持、及びチャックの回転中心へのウエハの芯出しを
容易かつ正確に行うことのできるウエハ回転チャックを
提供することを目的としている。
め、構造が簡単で、安価、かつ小型化でき、さらに確実
な保持、及びチャックの回転中心へのウエハの芯出しを
容易かつ正確に行うことのできるウエハ回転チャックを
提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、鉛直に配置された回転軸の上端に取り付け
られ、上部にウエハが直接または間接的に搭載されるチ
ャック本体と、このチャック本体のウエハ搭載部の周囲
に揺動自在に配置され、該ウエハ搭載部に置かれたウエ
ハの外周部を係脱可能に保持する複数の保持部材と、こ
の保持部材に関連付けて前記チャック本体内に配置さ
れ、チャック本体の回転によって発生する遠心力が、前
記保持部材に対しウエハを保持する方向へ作用するよう
になされたウェイトと、からなるウエハ回転チャックに
ある。
の本発明は、鉛直に配置された回転軸の上端に取り付け
られ、上部にウエハが直接または間接的に搭載されるチ
ャック本体と、このチャック本体のウエハ搭載部の周囲
に揺動自在に配置され、該ウエハ搭載部に置かれたウエ
ハの外周部を係脱可能に保持する複数の保持部材と、こ
の保持部材に関連付けて前記チャック本体内に配置さ
れ、チャック本体の回転によって発生する遠心力が、前
記保持部材に対しウエハを保持する方向へ作用するよう
になされたウェイトと、からなるウエハ回転チャックに
ある。
【０００７】このウエハ回転チャックは、チャック本体
に揺動自在に取り付けられた保持部材と、これを遠心力
で作動させるウェイトとにより構成されているため、機
構が簡単であり、回転させると遠心力によってウエハは
自動的かつ確実に保持される。このとき搭載されたウエ
ハの中心がチャックの回転中心に対してずれていても、
ウエハは保持部材によって自動的に芯出しされる。
に揺動自在に取り付けられた保持部材と、これを遠心力
で作動させるウェイトとにより構成されているため、機
構が簡単であり、回転させると遠心力によってウエハは
自動的かつ確実に保持される。このとき搭載されたウエ
ハの中心がチャックの回転中心に対してずれていても、
ウエハは保持部材によって自動的に芯出しされる。
【０００８】前記ウェイトは、保持部材に一体的に設け
てもよく、また前記保持部材に当接可能に設けてもよ
い。また、これらのウェイトは、保持力を調整するた
め、重量を調整可能に構成することが好ましい。
てもよく、また前記保持部材に当接可能に設けてもよ
い。また、これらのウェイトは、保持力を調整するた
め、重量を調整可能に構成することが好ましい。
【０００９】前記チャック本体は、その上面にウエハが
搭載されるように形成され、前記保持部材は、前記ウエ
ハをチャック本体の前記上面に向けて押圧するように構
成されていてもよく、このようにすればチャック本体に
よりウエハを接触加熱することなどができる。
搭載されるように形成され、前記保持部材は、前記ウエ
ハをチャック本体の前記上面に向けて押圧するように構
成されていてもよく、このようにすればチャック本体に
よりウエハを接触加熱することなどができる。
【００１０】また、保持部材は、その上部に、前記チャ
ック本体の上面と間隔を置いて、ウエハが搭載されるよ
うに形成されるとともに、搭載されたウエハを前記揺動
により把持するように形成されていてもよく、このよう
にすればウエハを実質的に非接触で保持することができ
る。なお、この場合、前記保持部材の揺動限位置を設定
するためのストッパを設けることにより、ウエハの保持
力を規制しつつ保持位置を正確に保つことができる。
ック本体の上面と間隔を置いて、ウエハが搭載されるよ
うに形成されるとともに、搭載されたウエハを前記揺動
により把持するように形成されていてもよく、このよう
にすればウエハを実質的に非接触で保持することができ
る。なお、この場合、前記保持部材の揺動限位置を設定
するためのストッパを設けることにより、ウエハの保持
力を規制しつつ保持位置を正確に保つことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき図
１ないし図２を参照して説明する。１は、半導体製造装
置の１つであるＣＶＤ装置などを構成するベースであ
り、その上に開閉可能に設置されるカバー２とにより処
理室３を形成するようになっている。４は処理室３内へ
ガスを供給するためのパイプ、５は排気口であり、６は
多数の孔を有する整流板である。
１ないし図２を参照して説明する。１は、半導体製造装
置の１つであるＣＶＤ装置などを構成するベースであ
り、その上に開閉可能に設置されるカバー２とにより処
理室３を形成するようになっている。４は処理室３内へ
ガスを供給するためのパイプ、５は排気口であり、６は
多数の孔を有する整流板である。
【００１２】ベース１の下部には、モータ７が取り付け
られ、その回転軸８がベース１を通して処理室３内へ鉛
直に伸びている。回転軸８の上端には、円板状のチャッ
ク本体９が取り付けられている。チャック本体９の上面
中央には、ウエハ１０が搭載されるようになっている。
られ、その回転軸８がベース１を通して処理室３内へ鉛
直に伸びている。回転軸８の上端には、円板状のチャッ
ク本体９が取り付けられている。チャック本体９の上面
中央には、ウエハ１０が搭載されるようになっている。
【００１３】チャック本体９のウエハ搭載部の周囲に
は、半径方向に伸び、かつ上下に貫通したスリット１１
が複数、好ましくは３つ設けられ、これらのスリット１
１内にヒンジ１２により揺動自在に保持部材１３が取り
付けられている。ヒンジ１２は、ウエハ搭載部の外周す
なわちウエハ１０の外周の接線に平行に配置されてお
り、保持部材１３がスリット１１内でヒンジ１２を中心
に揺動することにより、上部先端がウエハ搭載部に対し
て半径方向へ揺動すなわち開閉するようになっている。
保持部材１３の上部先端には、ウエハ搭載部に置かれた
ウエハ１０を、図２に示すように、チャック本体９の上
面に向けて押圧する保持部１３Ａが設けられている。こ
の保持部１３Ａは、ウエハ１０の上面への接触を極力小
さく抑えるように、ウエハ１０の上面外周端にのみ接触
するように形成されている。
は、半径方向に伸び、かつ上下に貫通したスリット１１
が複数、好ましくは３つ設けられ、これらのスリット１
１内にヒンジ１２により揺動自在に保持部材１３が取り
付けられている。ヒンジ１２は、ウエハ搭載部の外周す
なわちウエハ１０の外周の接線に平行に配置されてお
り、保持部材１３がスリット１１内でヒンジ１２を中心
に揺動することにより、上部先端がウエハ搭載部に対し
て半径方向へ揺動すなわち開閉するようになっている。
保持部材１３の上部先端には、ウエハ搭載部に置かれた
ウエハ１０を、図２に示すように、チャック本体９の上
面に向けて押圧する保持部１３Ａが設けられている。こ
の保持部１３Ａは、ウエハ１０の上面への接触を極力小
さく抑えるように、ウエハ１０の上面外周端にのみ接触
するように形成されている。
【００１４】保持部材１３は、ヒンジ１２を境として上
部の重量より下部の重量の方が大きく形成され、この下
部が第１ウェイト１４を形成するようになっている。
部の重量より下部の重量の方が大きく形成され、この下
部が第１ウェイト１４を形成するようになっている。
【００１５】チャック本体９には、それぞれスリット１
１を中心軸上に位置させるようにして半径方向に向けら
れた穴１５が設けられ、これらの穴１５の保持部材１３
より奥側に付加的なウェイトとしての球状の第２ウェイ
ト１６が転動自在に挿入されている。穴１５は、チャッ
ク本体９の中心側が下がるように斜めに形成されてい
る。
１を中心軸上に位置させるようにして半径方向に向けら
れた穴１５が設けられ、これらの穴１５の保持部材１３
より奥側に付加的なウェイトとしての球状の第２ウェイ
ト１６が転動自在に挿入されている。穴１５は、チャッ
ク本体９の中心側が下がるように斜めに形成されてい
る。
【００１６】次ぎに本装置の作用について説明する。こ
の装置は、チャック本体９の上面中央のウエハ搭載部に
ウエハ１０を保持してチャック本体９を回転させるとと
もに、チャック本体９内に設けた図示しないヒータによ
りウエハ１０を加熱し、パイプ４からガスを供給し、こ
のガスを整流板６を通してウエハ１０の表面に向けて流
すとともに排気口５から排気することにより、ウエハ１
０の表面にＣＶＤ膜を形成するものである。
の装置は、チャック本体９の上面中央のウエハ搭載部に
ウエハ１０を保持してチャック本体９を回転させるとと
もに、チャック本体９内に設けた図示しないヒータによ
りウエハ１０を加熱し、パイプ４からガスを供給し、こ
のガスを整流板６を通してウエハ１０の表面に向けて流
すとともに排気口５から排気することにより、ウエハ１
０の表面にＣＶＤ膜を形成するものである。
【００１７】ところでチャック本体９が停止状態にある
とき、保持部材１３は、下部の第１ウェイト１４によ
り、図１に示すように、下部すなわち第１ウェイト１４
がヒンジ１２の下方に位置し、上部先端の保持部１３Ａ
を、図１に示すように、開いている。この状態でカバー
２を開き、図示しない搬送装置によりウエハ１０をチャ
ック本体９の上面中央のウエハ搭載部に搬入する。
とき、保持部材１３は、下部の第１ウェイト１４によ
り、図１に示すように、下部すなわち第１ウェイト１４
がヒンジ１２の下方に位置し、上部先端の保持部１３Ａ
を、図１に示すように、開いている。この状態でカバー
２を開き、図示しない搬送装置によりウエハ１０をチャ
ック本体９の上面中央のウエハ搭載部に搬入する。
【００１８】次いでモータ７により駆動軸８を介してチ
ャック本体９を回転させると、保持部材１３は、ヒンジ
１２の下方に第１ウェイト１４が設けられているため、
ヒンジ１２を中心として下部が遠心力により外方へ揺動
し、図２に示すように、保持部１３Ａを閉じ、チャック
本体９上に置かれたウエハ１０を保持する。このとき、
ウエハ１０の搭載位置にずれがあれば、保持部材１３は
ウエハ１０をチャック本体９の回転中心上に位置させる
ように移動させてウエハ１０を保持する。
ャック本体９を回転させると、保持部材１３は、ヒンジ
１２の下方に第１ウェイト１４が設けられているため、
ヒンジ１２を中心として下部が遠心力により外方へ揺動
し、図２に示すように、保持部１３Ａを閉じ、チャック
本体９上に置かれたウエハ１０を保持する。このとき、
ウエハ１０の搭載位置にずれがあれば、保持部材１３は
ウエハ１０をチャック本体９の回転中心上に位置させる
ように移動させてウエハ１０を保持する。
【００１９】なお、本装置においては、保持部材１３の
下部に一体的に設けられた第１ウェイト１４による遠心
力とは別に、穴１５内に挿入された球状の第２ウェイト
１６も遠心力によって、図２に示すように、穴１５内を
外方へ移動し、保持部材１３の下部に当接する。そこ
で、保持部材１３は、自身の下部の第１ウェイト１４に
よる遠心力と第２ウェイト１６の遠心力の両方の遠心力
を受けてウエハ１０を保持する。
下部に一体的に設けられた第１ウェイト１４による遠心
力とは別に、穴１５内に挿入された球状の第２ウェイト
１６も遠心力によって、図２に示すように、穴１５内を
外方へ移動し、保持部材１３の下部に当接する。そこ
で、保持部材１３は、自身の下部の第１ウェイト１４に
よる遠心力と第２ウェイト１６の遠心力の両方の遠心力
を受けてウエハ１０を保持する。
【００２０】これによれば、保持部材１３に一体的に設
けられた第１ウェイト１４による遠心力をウエハ１０の
保持に必要な大きさにする必要がなく、このため第１ウ
ェイト１４を含む保持部材１３を小型、軽量、かつより
単純な形状とすることができ、遠心力を付加するための
穴１５及び第２ウェイト１６も単純な形状及び構造であ
るため、総じて単純な構成により十分な保持力を得るこ
とができる利点がある。
けられた第１ウェイト１４による遠心力をウエハ１０の
保持に必要な大きさにする必要がなく、このため第１ウ
ェイト１４を含む保持部材１３を小型、軽量、かつより
単純な形状とすることができ、遠心力を付加するための
穴１５及び第２ウェイト１６も単純な形状及び構造であ
るため、総じて単純な構成により十分な保持力を得るこ
とができる利点がある。
【００２１】なお、第１及び第２ウェイト１４、１６に
よる遠心力は、チャック本体９の回転数により異なるた
め、例えば保持部材１３の下部に着脱可能に図示しない
ウェイトを取り付けることにより第１ウェイト１４の重
量を調整し、第２ウェイト１６については、大きさすな
わち重量の異なるものに交換することなどにより、第１
及び第２ウェイト１４、１６の重量をチャック本体９の
回転数に応じて調整可能に構成し、チャック本体９の回
転数が変更されても保持部１３Ａによるウエハ１０の保
持力を適正な値に設定することができるようにしておく
ことが望ましい。
よる遠心力は、チャック本体９の回転数により異なるた
め、例えば保持部材１３の下部に着脱可能に図示しない
ウェイトを取り付けることにより第１ウェイト１４の重
量を調整し、第２ウェイト１６については、大きさすな
わち重量の異なるものに交換することなどにより、第１
及び第２ウェイト１４、１６の重量をチャック本体９の
回転数に応じて調整可能に構成し、チャック本体９の回
転数が変更されても保持部１３Ａによるウエハ１０の保
持力を適正な値に設定することができるようにしておく
ことが望ましい。
【００２２】ウエハ処理が終了してチャック本体９の回
転を停止させると、第２ウェイト１６は遠心力がなくな
るため、図１に示すように、傾斜した穴１５のチャック
本体９の中心側へ戻り、保持部材１３も第１ウェイト１
４である下部が、図１に示すように、ヒンジ１２の下方
へ戻って保持部１３Ａを開く。これによりウエハ１０
は、チャック本体９上から搬出可能になる。
転を停止させると、第２ウェイト１６は遠心力がなくな
るため、図１に示すように、傾斜した穴１５のチャック
本体９の中心側へ戻り、保持部材１３も第１ウェイト１
４である下部が、図１に示すように、ヒンジ１２の下方
へ戻って保持部１３Ａを開く。これによりウエハ１０
は、チャック本体９上から搬出可能になる。
【００２３】図３ないし図４は、本発明の他の実施の形
態を示すものである。この他の実施の形態においては、
保持部材１３の下部に前述した第２ウェイト１６に相当
するウェイト１６Ａを一体的に設けたものである。ま
た、この他の実施の形態においては、保持部材１３の上
部先端の保持部１３Ａの下にウエハ搭載部１３Ｂを設
け、ここにウエハ１０を搭載することにより、ウエハ１
０をチャック本体９の上面から離し、実質的にウエハ１
０を非接触で保持するようにしたものである。なお、ウ
エハ搭載部１３Ｂの上面は、ヒンジ１２を中心とする円
弧状の曲面に形成され、ウエハ１０の外周部をウエハ搭
載部１３Ｂと保持部１３Ａとの間の奥へ円滑に導いて保
持することができるようになっている。
態を示すものである。この他の実施の形態においては、
保持部材１３の下部に前述した第２ウェイト１６に相当
するウェイト１６Ａを一体的に設けたものである。ま
た、この他の実施の形態においては、保持部材１３の上
部先端の保持部１３Ａの下にウエハ搭載部１３Ｂを設
け、ここにウエハ１０を搭載することにより、ウエハ１
０をチャック本体９の上面から離し、実質的にウエハ１
０を非接触で保持するようにしたものである。なお、ウ
エハ搭載部１３Ｂの上面は、ヒンジ１２を中心とする円
弧状の曲面に形成され、ウエハ１０の外周部をウエハ搭
載部１３Ｂと保持部１３Ａとの間の奥へ円滑に導いて保
持することができるようになっている。
【００２４】チャック本体９には、保持部材１３の揺動
限位置を規制するための止めネジ状のストッパ１７がウ
ェイト１６Ａに対向させて取り付けられている。このス
トッパ１７の位置を調整することにより、ウエハ１０の
保持位置を定めるとともに保持力を規制することができ
るようになっている。
限位置を規制するための止めネジ状のストッパ１７がウ
ェイト１６Ａに対向させて取り付けられている。このス
トッパ１７の位置を調整することにより、ウエハ１０の
保持位置を定めるとともに保持力を規制することができ
るようになっている。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、チャ
ック本体に揺動自在に取り付けられた保持部材と、これ
を遠心力で作動させるウェイトとにより構成されている
ため、構造が簡単で、安価、かつ小型化でき、ウエハを
遠心力によって確実に保持することができ、さらに搭載
されたウエハの中心がチャックの回転中心に対してずれ
ていても、ウエハを保持部材によって自動的かつ正確に
芯出することができるなどの効果を得ることができる。
ック本体に揺動自在に取り付けられた保持部材と、これ
を遠心力で作動させるウェイトとにより構成されている
ため、構造が簡単で、安価、かつ小型化でき、ウエハを
遠心力によって確実に保持することができ、さらに搭載
されたウエハの中心がチャックの回転中心に対してずれ
ていても、ウエハを保持部材によって自動的かつ正確に
芯出することができるなどの効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す概要断面図。
【図２】図１に示す装置を回転させた状態を示す図。
【図３】本発明の他の実施の形態を示す概要断面図。
【図４】図３に示す装置を回転させた状態を示す図。
１ ベース ２ カバー ３ 処理室 ４ パイプ ５ 排気口 ６ 整流板 ７ モータ ８ 回転軸 ９ チャック本体 １０ ウエハ １１ スリット １２ ヒンジ １３ 保持部材 １３Ａ 保持部 １３Ｂ ウエハ搭載部 １４ 第１ウェイト １５ 穴 １６ 第２ウェイト １６Ａ ウェイト
Claims (7)
- 【請求項１】 鉛直に配置された回転軸の上端に取り付
けられ、上部にウエハが直接または間接的に搭載される
チャック本体と、 このチャック本体のウエハ搭載部の周囲に揺動自在に配
置され、該ウエハ搭載部に置かれたウエハの外周部を係
脱可能に保持する複数の保持部材と、 この保持部材に関連付けて前記チャック本体内に配置さ
れ、チャック本体の回転によって発生する遠心力が、前
記保持部材に対しウエハを保持する方向へ作用するよう
になされたウェイトと、 からなるウエハ回転チャック。 - 【請求項２】 前記ウェイトが、保持部材に一体的に設
けられていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ
回転チャック。 - 【請求項３】 前記ウェイトが、前記保持部材に当接可
能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の
ウエハ回転チャック。 - 【請求項４】 前記ウェイトが、重量を調整可能に構成
されていることを特徴とする請求項１、２または３に記
載のウエハ回転チャック。 - 【請求項５】 前記チャック本体は、その上面にウエハ
が搭載されるように形成され、前記保持部材は、前記ウ
エハをチャック本体の前記上面に向けて押圧するように
構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれか１つに記載のウエハ回転チャック。 - 【請求項６】 保持部材は、その上部に、前記チャック
本体の上面と間隔を置いて、ウエハが搭載されるように
形成されるとともに、搭載されたウエハを前記揺動によ
り把持するように形成されていることを特徴とする請求
項１ないし４のいずれか１つに記載のウエハ回転チャッ
ク。 - 【請求項７】 前記保持部材の揺動限位置を設定するた
めのストッパが設けられていることを特徴とする請求項
６に記載のウエハ回転チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23654797A JPH1167880A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | ウエハ回転チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23654797A JPH1167880A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | ウエハ回転チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1167880A true JPH1167880A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=17002282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23654797A Pending JPH1167880A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | ウエハ回転チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1167880A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2018170428A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | トヨタ自動車株式会社 | ウェハ支持装置 |
| CN113990797A (zh) * | 2021-10-27 | 2022-01-28 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备的晶圆承载装置及半导体工艺设备 |
-
1997
- 1997-08-18 JP JP23654797A patent/JPH1167880A/ja active Pending
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