JPH1180927A - 真空成膜方法および装置 - Google Patents
真空成膜方法および装置Info
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- JPH1180927A JPH1180927A JP9237542A JP23754297A JPH1180927A JP H1180927 A JPH1180927 A JP H1180927A JP 9237542 A JP9237542 A JP 9237542A JP 23754297 A JP23754297 A JP 23754297A JP H1180927 A JPH1180927 A JP H1180927A
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- Japan
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- film
- resin substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 チャンバーへの膜の堆積を簡単に防止しなが
ら成膜できる真空成膜方法を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 チャンバー２の内部で樹脂基板１の上に
成膜するに際し、チャンバー２にはチャンバーの壁面と
前記樹脂基板を覆うように一体に樹脂成形された防着体
１４をセットし、この状態で成膜を開始して成膜するの
で、従来のように複数枚の平板をチャンバーの内部でそ
の都度に組み立てて成膜する場合に比べて、作業性が良
好である。さらに、防着体１４の材質を樹脂基板１と同
じ材質にした場合には、樹脂基板の上に特に高品質の薄
膜を形成できる。
ら成膜できる真空成膜方法を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 チャンバー２の内部で樹脂基板１の上に
成膜するに際し、チャンバー２にはチャンバーの壁面と
前記樹脂基板を覆うように一体に樹脂成形された防着体
１４をセットし、この状態で成膜を開始して成膜するの
で、従来のように複数枚の平板をチャンバーの内部でそ
の都度に組み立てて成膜する場合に比べて、作業性が良
好である。さらに、防着体１４の材質を樹脂基板１と同
じ材質にした場合には、樹脂基板の上に特に高品質の薄
膜を形成できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空中で薄膜を形
成する真空成膜装置に関するものである。
成する真空成膜装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ターゲットと対向して配置された基板の
上に薄膜を形成する真空成膜装置は図３と図４に示すよ
うに構成されている。
上に薄膜を形成する真空成膜装置は図３と図４に示すよ
うに構成されている。
【０００３】この真空成膜装置は光ディスクとなる材質
がポリカーボネートの樹脂基板１に成膜する装置で、チ
ャンバー２にはターゲット３と前記の樹脂基板１とを対
向して配置し、ターゲット３の背面側にマグネットユニ
ット４を配置している。マグネットユニット４はモータ
５によって支持軸６の軸芯７の回りに回転駆動されてい
る。８はチャンバーの壁面などを覆う防着板である。
がポリカーボネートの樹脂基板１に成膜する装置で、チ
ャンバー２にはターゲット３と前記の樹脂基板１とを対
向して配置し、ターゲット３の背面側にマグネットユニ
ット４を配置している。マグネットユニット４はモータ
５によって支持軸６の軸芯７の回りに回転駆動されてい
る。８はチャンバーの壁面などを覆う防着板である。
【０００４】このチャンバー２には、希ガス導入バルブ
９を介してアルゴンガス１０が導入され、またチャンバ
ー２の雰囲気は真空排気バルブ１１を介して高真空ポン
プユニット１２に接続されて排気されている。
９を介してアルゴンガス１０が導入され、またチャンバ
ー２の雰囲気は真空排気バルブ１１を介して高真空ポン
プユニット１２に接続されて排気されている。
【０００５】この装置では、ターゲット３の裏面側に配
置したマグネットユニット４により構成される磁界の影
響により、電力印加時にターゲット３の表面上に高密度
プラズマ領域１３が形成され、樹脂基板１の表面に成膜
される。
置したマグネットユニット４により構成される磁界の影
響により、電力印加時にターゲット３の表面上に高密度
プラズマ領域１３が形成され、樹脂基板１の表面に成膜
される。
【０００６】従来の防着板８は、材質がステンレスなど
の複数枚の金属板をチャンバー２の内部に配置してチャ
ンバー２への膜の堆積を防止している。
の複数枚の金属板をチャンバー２の内部に配置してチャ
ンバー２への膜の堆積を防止している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】防着板８は、図４に示
すように１枚の底板８ａと４枚の側板８ｂ〜８ｅとで構
成されており、ターゲット３の交換時などに行う防着板
８の着脱作業が煩わしく、成膜の作業効率の低下の原因
となっている。
すように１枚の底板８ａと４枚の側板８ｂ〜８ｅとで構
成されており、ターゲット３の交換時などに行う防着板
８の着脱作業が煩わしく、成膜の作業効率の低下の原因
となっている。
【０００８】本発明はチャンバーへの膜の堆積を簡単に
防止しながら成膜できる真空成膜方法を提供することを
目的とする。
防止しながら成膜できる真空成膜方法を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の真空成膜方法
は、一体に樹脂成形された防着体をセットし、この状態
で成膜を開始して成膜することを特徴とする。
は、一体に樹脂成形された防着体をセットし、この状態
で成膜を開始して成膜することを特徴とする。
【００１０】この本発明によると、チャンバーの壁面へ
の薄膜の堆積を防止する防着体の着脱が容易で、成膜の
作業効率の改善を実現できる。
の薄膜の堆積を防止する防着体の着脱が容易で、成膜の
作業効率の改善を実現できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】請求項１記載の真空成膜方法は、
チャンバー中で樹脂基板の上に成膜するに際し、前記チ
ャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜
部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆うように
一体に樹脂成形された防着体をセットし、この状態で成
膜を開始して成膜することを特徴とする。
チャンバー中で樹脂基板の上に成膜するに際し、前記チ
ャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜
部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆うように
一体に樹脂成形された防着体をセットし、この状態で成
膜を開始して成膜することを特徴とする。
【００１２】請求項２記載の真空成膜方法は、請求項１
において、防着体の材質を成膜を受ける樹脂基板と同一
材質にすることを特徴とする。請求項３記載の真空成膜
装置は、チャンバー中で樹脂基板の上に成膜する真空成
膜装置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板の非
成膜部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆うよ
うに一体に樹脂成形された防着体を設けたことを特徴と
する。
において、防着体の材質を成膜を受ける樹脂基板と同一
材質にすることを特徴とする。請求項３記載の真空成膜
装置は、チャンバー中で樹脂基板の上に成膜する真空成
膜装置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板の非
成膜部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆うよ
うに一体に樹脂成形された防着体を設けたことを特徴と
する。
【００１３】請求項４記載の真空成膜装置は、請求項３
において、防着体の材質を成膜を受ける樹脂基板と同一
材質にしたことを特徴とする。以下、本発明の真空成膜
方法を図１と図２に示す具体的な実施の形態に基づいて
説明する。
において、防着体の材質を成膜を受ける樹脂基板と同一
材質にしたことを特徴とする。以下、本発明の真空成膜
方法を図１と図２に示す具体的な実施の形態に基づいて
説明する。
【００１４】なお、従来例を示す図３と図４と同様の作
用を成すものには同一の符号を付けて説明する。 （実施の形態）図１と図２は本発明の真空成膜方法を実
現する真空成膜装置を示す。
用を成すものには同一の符号を付けて説明する。 （実施の形態）図１と図２は本発明の真空成膜方法を実
現する真空成膜装置を示す。
【００１５】この真空成膜装置は光ディスクとなる材質
がポリカーボネートの樹脂基板１に成膜する装置で、チ
ャンバー２にはターゲット３と前記の樹脂基板１とを対
向して配置し、ターゲット３の背面側にマグネットユニ
ット４を配置している。マグネットユニット４はモータ
５によって支持軸６の軸芯７の回りに回転駆動されてい
る。１４はチャンバーの壁面などを覆う防着体である。
がポリカーボネートの樹脂基板１に成膜する装置で、チ
ャンバー２にはターゲット３と前記の樹脂基板１とを対
向して配置し、ターゲット３の背面側にマグネットユニ
ット４を配置している。マグネットユニット４はモータ
５によって支持軸６の軸芯７の回りに回転駆動されてい
る。１４はチャンバーの壁面などを覆う防着体である。
【００１６】このチャンバー２には、希ガス導入バルブ
９を介してアルゴンガス１０が導入され、またチャンバ
ー２の雰囲気は真空排気バルブ１１を介して高真空ポン
プユニット１２に接続されて排気されている。
９を介してアルゴンガス１０が導入され、またチャンバ
ー２の雰囲気は真空排気バルブ１１を介して高真空ポン
プユニット１２に接続されて排気されている。
【００１７】防着体１４は、材質が樹脂で、より具体的
には材質が樹脂基板１と同一のポリカーボネートを使用
し、図２に示すように底板の部分と側板の部分とが箱形
に一体に成形されている。
には材質が樹脂基板１と同一のポリカーボネートを使用
し、図２に示すように底板の部分と側板の部分とが箱形
に一体に成形されている。
【００１８】このように構成したため、チャンバー２に
樹脂基板１をセットし、さらにチャンバー２の中に、一
体に成形された前記の防着体１４をセットし、チャンバ
ー２を閉塞し、希ガス導入バルブ９を介してアルゴンガ
ス１０をチャンバーに導入し、またチャンバー２の雰囲
気をは真空排気バルブ１１を介して高真空ポンプユニッ
ト１２によって排気することによって、樹脂基板１の表
面に成膜される。
樹脂基板１をセットし、さらにチャンバー２の中に、一
体に成形された前記の防着体１４をセットし、チャンバ
ー２を閉塞し、希ガス導入バルブ９を介してアルゴンガ
ス１０をチャンバーに導入し、またチャンバー２の雰囲
気をは真空排気バルブ１１を介して高真空ポンプユニッ
ト１２によって排気することによって、樹脂基板１の表
面に成膜される。
【００１９】したがって、一体に成形された防着体１４
をチャンバー２にセットすることによって、従来のよう
に複数枚の平板をチャンバー２の内部でその都度に組み
立てて成膜する場合に比べて、作業性が良好である。
をチャンバー２にセットすることによって、従来のよう
に複数枚の平板をチャンバー２の内部でその都度に組み
立てて成膜する場合に比べて、作業性が良好である。
【００２０】また、防着体１４が樹脂製であるため絶縁
性があり、異常放電を抑えることで高品質の薄膜が得ら
れる。さらに、防着体１４の材質が成膜を受ける樹脂基
板１と同じ材質のポリカーボネートであるため、樹脂基
板１の上に成膜された薄膜の品質が、防着体をチャンバ
ー２に設けたことによって低下するような事態を防止で
き、高品質の薄膜を樹脂基板１の表面に形成することが
できる。
性があり、異常放電を抑えることで高品質の薄膜が得ら
れる。さらに、防着体１４の材質が成膜を受ける樹脂基
板１と同じ材質のポリカーボネートであるため、樹脂基
板１の上に成膜された薄膜の品質が、防着体をチャンバ
ー２に設けたことによって低下するような事態を防止で
き、高品質の薄膜を樹脂基板１の表面に形成することが
できる。
【００２１】なお、この実施の形態では防着体１４の材
質が成膜を受ける樹脂基板１と同じ材質であったが、そ
の他の樹脂材料を使用した場合もほぼ同様の効果が得ら
れる。
質が成膜を受ける樹脂基板１と同じ材質であったが、そ
の他の樹脂材料を使用した場合もほぼ同様の効果が得ら
れる。
【００２２】上記の実施の形態では、チャンバーの壁面
および樹脂基板１の非成膜部を覆うように一体に樹脂成
形された防着体１４を使用したが、防着体１４が樹脂基
板１の非成膜部を覆わない場合も同様である。
および樹脂基板１の非成膜部を覆うように一体に樹脂成
形された防着体１４を使用したが、防着体１４が樹脂基
板１の非成膜部を覆わない場合も同様である。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明の真空成膜方法によ
れば、チャンバー中で樹脂基板の上に成膜するに際し、
前記チャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂基板の
非成膜部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆う
ように一体に樹脂成形された防着体をセットし、この状
態で成膜を開始して成膜するので、従来のように複数枚
の平板をチャンバーの内部でその都度に組み立てて成膜
する場合に比べて、作業性が良好である。
れば、チャンバー中で樹脂基板の上に成膜するに際し、
前記チャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂基板の
非成膜部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆う
ように一体に樹脂成形された防着体をセットし、この状
態で成膜を開始して成膜するので、従来のように複数枚
の平板をチャンバーの内部でその都度に組み立てて成膜
する場合に比べて、作業性が良好である。
【００２４】さらに、防着体の材質が成膜を受ける樹脂
基板と同じ材質にした場合には、樹脂基板の上に特に高
品質の薄膜を形成できる。また、本発明の真空成膜装置
は、チャンバー中で樹脂基板の上に成膜する真空成膜装
置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜
部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆うように
一体に樹脂成形された防着体を設けたことを特徴とし、
上記の真空成膜方法を実現できる。
基板と同じ材質にした場合には、樹脂基板の上に特に高
品質の薄膜を形成できる。また、本発明の真空成膜装置
は、チャンバー中で樹脂基板の上に成膜する真空成膜装
置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜
部とのうちの少なくともチャンバーの内壁を覆うように
一体に樹脂成形された防着体を設けたことを特徴とし、
上記の真空成膜方法を実現できる。
【００２５】さらに、防着体の材質を成膜を受ける樹脂
基板と同一材質にすることによって、この真空成膜装置
を使用すると、樹脂基板の上に特に高品質の薄膜を形成
できる。
基板と同一材質にすることによって、この真空成膜装置
を使用すると、樹脂基板の上に特に高品質の薄膜を形成
できる。
【図１】本発明の（実施の形態）の真空成膜装置の断面
図
図
【図２】同実施の形態のチャンバーと防着体の分解斜視
図
図
【図３】従来の真空成膜装置の断面図
【図４】同従来例のチャンバーと防着板の分解斜視図
１ 樹脂基板 ２ チャンバー ３ ターゲット ４ マグネットユニット ５ モータ ６ 支持軸 ７ 支持軸の軸芯 ９ 希ガス導入バルブ １０ アルゴンガス １１ 真空排気バルブ １２ 高真空ポンプユニット １４ 防着体
Claims (4)
- 【請求項１】チャンバー中で樹脂基板の上に成膜するに
際し、前記チャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂
基板の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を
覆うように一体に樹脂成形された防着体をセットし、こ
の状態で成膜を開始して成膜する真空成膜方法。 - 【請求項２】防着体の材質を成膜を受ける樹脂基板と同
一材質にする請求項１記載の真空成膜方法。 - 【請求項３】チャンバー中で樹脂基板の上に成膜する真
空成膜装置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板
の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を覆う
ように一体に樹脂成形された防着体を設けた真空成膜装
置。 - 【請求項４】防着体の材質を成膜を受ける樹脂基板と同
一材質にした請求項３記載の真空成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23754297A JP4222646B2 (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 真空成膜方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23754297A JP4222646B2 (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 真空成膜方法および装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1180927A true JPH1180927A (ja) | 1999-03-26 |
| JPH1180927A5 JPH1180927A5 (ja) | 2005-06-02 |
| JP4222646B2 JP4222646B2 (ja) | 2009-02-12 |
Family
ID=17016882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23754297A Expired - Fee Related JP4222646B2 (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 真空成膜方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4222646B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009091628A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Fujinon Corp | パーティクル付着防止カバー、このパーティクル付着防止カバーを設けた蒸着装置及び蒸着方法 |
| US9109282B2 (en) | 2011-09-12 | 2015-08-18 | The Japan Steel Works, Ltd. | Method of deposition |
| JP2016006210A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-01-14 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリアー性フィルムの製造方法、製造装置及び膜厚の測定方法 |
-
1997
- 1997-09-03 JP JP23754297A patent/JP4222646B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009091628A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Fujinon Corp | パーティクル付着防止カバー、このパーティクル付着防止カバーを設けた蒸着装置及び蒸着方法 |
| US9109282B2 (en) | 2011-09-12 | 2015-08-18 | The Japan Steel Works, Ltd. | Method of deposition |
| JP2016006210A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-01-14 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリアー性フィルムの製造方法、製造装置及び膜厚の測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4222646B2 (ja) | 2009-02-12 |
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