JPH1183172A - 流体加熱装置 - Google Patents
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Abstract
侵されるのを防止する。 【解決手段】 ハロゲンランプ（３）を収容した内管
（１）の外周面を、光透過性、耐熱性および耐薬品性を
有する被膜（８）で覆い、これによって、被加熱流体が
内管（１）に接触するのを回避している。
Description
熱源とする流体加熱装置に関するものである。
洗浄工程においては、例えば、アンモニア過水による洗
浄によって有機物およびパーティクルが除去され、ま
た、塩酸過水による洗浄によって金属イオンが除去され
る。
記アンモニア過水、塩酸過水等を例えば８０℃前後程度
まで加熱する必要があり、そのため、上記洗浄液を流通
させながら加熱する流体加熱装置が実用されている。
した光透過性材料からなる内管と、該内管の外周面を包
囲する態様で設けた外管とによって被加熱流体の流通空
間を画成し、前記流通空間を流通する被加熱流体を前記
ランプヒータの輻射熱によって加熱するように構成され
ている。
容する内管は、光透過性、耐熱性等を有する必要がある
ため、一般に石英ガラスで形成される。
ＮａＯＨ溶液で代表される強アルカリ薬液や、フッ酸、
リン酸等によって溶解され易く、そのため、この石英ガ
ラスで内管を形成した加熱装置は、上記強アルカリ薬液
やフッ酸、リン酸等の薬液の加熱に適用することができ
なかった。
プヒータを収容する内管が薬液によって侵されるのを防
止することができる流体加熱装置を提供することにあ
る。
を収容した光透過性材料からなる内管と、該内管の外周
面を包囲する態様で設けた外管とによって被加熱流体の
流通空間を画成し、前記流通空間を流通する被加熱流体
を前記ランプヒータの輻射熱によって加熱する流体加熱
装置において、前記内管の外周面を光透過性、耐熱性お
よび耐薬品性を有する被膜で覆い、この被膜によって内
管が薬液によって侵されるのを防止するようにしてい
る。
被せた熱収縮性チューブを熱収縮させて形成される。そ
して、上記熱収縮性チューブとしては、例えば、フッ素
樹脂製のチューブが使用される。
熱装置は、内管１と、該内管１の外周面を包囲する態様
で設けた外管２と、上記内管１に収容したランプヒータ
たるハロゲンランプ３とを備えている。
有する材料、例えば、石英ガラスで形成してあり、ま
た、外管２は耐熱性および耐薬品性を有する材料、例え
ば、フッ素樹脂で形成してある。
で設けてあり、その左右の貫通部を耐圧性、耐熱性およ
び耐薬品性を有したＯリング４もしくはリップシール材
によってシールしてある。
被加熱流体の流通空間５を画成している。そして、外管
２の一端部および他端部には、この流通空間５の入口６
および出口７をそれぞれ設けてある。
び耐薬品性を有した被膜８で覆ってある。この被膜８
は、例えば、内管１の外周面に塗布した液状のフッ素樹
脂を乾燥固化することによって形成することができる。
可能である。すなわち、図２に示すように、内管１の外
周面に例えばフッ素樹脂からなる熱収縮性チューブ９を
被せる。そして、チューブ９を熱風等で加熱すれば、該
チューブ９が収縮して内管１の外周面に接着され、その
結果、上記光透過性、耐熱性および耐薬品性を有した被
膜８が内管１の外周面に形成される。
方法によれば、ピンホールが無くかつ厚さの均一な被膜
８を低コストで容易に形成することができる。
のＡ−Ａ断面図である図３に示すように、隣接する一対
の透明石英ガラス管１０と、これらのガラス管１０内に
それぞれ配したフィラメント１１、各ガラス管１０の一
端部相互を連結するセラミックべース１２と、各ガラス
管１０の他端部相互を連結するセラミックべース１３と
を備えている。
フィラメント１１の一端にそれぞれ接続された一対のリ
ード線１４が導出され、また、セラミックべース１３に
おいては、上記各フィラメント１１の他端相互が接続さ
れている。つまり、このハロゲンランプ３は、一端側に
リード線１４を設けたいわゆるシングルエンド構造を有
する。
には、窒素、アルゴン、クリプトン等の不活性ガスと微
量のハロゲンガスが封入されている。したがって、上記
各リード線１４間に所定の電圧を印加すれば、いわゆる
ハロゲンサイクル作用によって長期間、安定に各フィラ
メント１１が発光および発熱する。なお、このハロゲン
ランプ３には、例えば、３ＫＷのものが使用される。
６と出口７間には、ポンプ１５、被加熱流体たる薬液を
収容した処理槽１６およびフィルタ１７が介在されてお
り、したがって、上記ポンプ１５の運転に伴って処理槽
１６内の薬液が前記入口６を介して前記流通空間５に流
入する。
が、その際、内管１および被膜８を透過した前記ハロゲ
ンランプ３の輻射熱によって加熱される。そして、加熱
処理された薬液は、上記流通空間５の出口７から流出し
た後、フィルタ１７を通って処理槽１６に戻される。
１８によって検出されてコントローラ１９に加えられ
る。そこで、コントローラ１９は、上記温度センサ１８
の出力に基づき、処理槽１６内の薬液の温度が所定の目
標温度に維持されるようにハロゲンランプ３への供給電
力を制御する。
された薬液による所定の処理（例えば、洗浄処理）が実
行される。
被膜８は、上記薬液がこの内管１に接触するのを防止す
るので、上記薬液がＫＯＨ溶液，ＮａＯＨ溶液で代表さ
れる強アルカリ薬液や、フッ酸、リン酸等の薬液であっ
ても、上記石英ガラスからなる内管１が該薬液によって
溶解される虞はない。
装置は、上記強アルカリ薬液や、フッ酸、リン酸等の薬
液の加熱にも適用することができる。
記薬液としては、前記ＲＣＡ洗浄に用いられるアンモニ
ア過水および塩酸過水、窒化膜除去液であるリン酸、レ
ジスト剥離液である硫酸過水等がある。また、他の分野
で使用される薬液としては、メッキ処理液等がある。
外管２の側壁を貫通しているが、図３に示すように、外
管２の側壁の内面に凹部２ａを形成して、この凹部２ａ
に内管１の右端部を嵌合させることも可能である。
薬液が内管１の右端部端面等にに接触する虞れがあるの
で、該内管１の右端部に該内管１と同材質の蓋体１ａを
嵌合溶接して、この蓋体１ａの外面および内管１の右端
部端面にも前記被膜８を形成する。
接触するのを防止すべく、内管の外周面を光透過性、耐
熱性および耐薬品性を有する被膜で覆ってあるので、内
管が被加熱流体に侵されて溶解するという不都合が発生
せず、その結果、例えば内管の材料として石英ガラスが
用いられている場合でも、ＫＯＨ溶液，ＮａＯＨ溶液で
代表される強アルカリ薬液や、フッ酸、リン酸等の薬液
の加熱が可能になる。つまり、加熱可能な被加熱流体の
範囲が大幅に拡大される。
概念図。
Claims (3)
- 【請求項１】 ランプヒータを収容した光透過性材料か
らなる内管と、該内管の外周面を包囲する態様で設けた
外管とによって被加熱流体の流通空間を画成し、前記流
通空間を流通する被加熱流体を前記ランプヒータの輻射
熱によって加熱する流体加熱装置において、 前記内管の外周面を光透過性、耐熱性および耐薬品性を
有する被膜で覆ったことを特徴とする流体加熱装置。 - 【請求項２】 前記被膜は、前記内管の外周面に被せた
熱収縮性チューブを熱収縮させて形成される請求項１に
記載の流体加熱装置。 - 【請求項３】 前記熱収縮性チューブは、フッ素樹脂か
らなることを特徴とする請求項２に記載の流体加熱装
置。
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|---|---|---|---|---|
| JP2008096057A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Toho Kasei Kk | 液体加熱装置 |
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| KR101887582B1 (ko) * | 2017-08-31 | 2018-08-13 | 대한민국(관리청: 특허청장, 승계청: 해양경찰청 해양경찰연구센터장) | 에어벤트 밀봉장치 |
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-
1997
- 1997-08-29 JP JP23483797A patent/JP3917254B2/ja not_active Expired - Fee Related
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