JPH1184287A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成で、複数の光ビームの副走査方向
についての同期位置を各別に独立して検出し、的確に同
期信号を得る。 【解決手段】 コリメートレンズ２は、光源１から射出
された複数の光ビームを平行光にする。シリンドリカル
レンズ３は、前記複数の光ビームを、光偏向器４の偏向
反射面近傍に結像させ、該偏向反射面により反射偏向さ
せる。ｆθレンズ５および長尺トロイダルレンズ６は、
偏向された光ビームを感光体７の被走査面上に結像し、
光偏向器４の回転により、該被走査面を前記光ビームに
より走査させる。同期信号検出装置８は、前記複数の光
ビームを主走査方向に直行する副走査方向に回折させ、
各光ビームの回折光を利用して各光ビームを各ビーム毎
に個別に検出することにより、前記複数の光ビームが被
走査面の必須走査領域の書込を開始する書き出しのタイ
ミングを検知する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザプリンタの
ような画像形成装置等において被走査面を光ビームで走
査する光走査装置に係り、特に複数の光ビームで同時に
走査して被走査面上に複数の走査線を同時に形成するマ
ルチビーム光走査装置において、前記複数の光ビームの
副走査方向の同期位置を検出して同期信号を得る技術に
関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザプリンタ等の画像形成装置におい
ては、レーザビーム等の光ビームを情報信号で変調しつ
つ該光ビームで被走査面を走査して、被走査面に画像を
形成する。光ビームの走査に際し、被走査面上で光ビー
ムスポットが、走査すべき所定の走査領域の走査を開始
するときに、情報信号で変調するタイミングを得る目的
で、前記走査領域の近傍に前記光ビームスポットを検出
する光ビーム検出素子を配置している。すなわち、この
ような光ビーム検出素子の検出信号を変調タイミングの
同期信号とする。ところで、このような画像形成装置に
おいて、高速化あるいは高解像度化を図るために、被走
査面を複数の光ビームで同時走査する手法を用いるマル
チビーム光走査装置が提案されている。

【０００３】このようなマルチビーム走査装置における
同期信号の検出技術の一例が、特開昭５７−１０２６０
９号公報（発明の名称：「複数ビームを用いた走査方法
及び装置」）に示されている。この特開昭５７−１０２
６０９号公報に開示された構成は、シリンドリカルレン
ズ光学素子を用い、複数の走査線を描く光ビームスポッ
トを一つの走査線上に集光して、１つの光ビームスポッ
ト検出素子で複数の光ビームの各光ビームスポットを受
光し、同期信号を検出する。すなわち、シリンドリカル
レンズは、光ビーム検出素子を複数の光ビームの光ビー
ムスポットが通過する際、光ビームスポットが走査され
る主走査方向については、各光ビームスポットの間隔お
よび位置は変化を受けず、副走査方向については各光ビ
ームスポットが通る位置を略等しくする。

【０００４】また、マルチビーム走査装置における同期
信号の検出技術の他の例としては、特開平８−７６０３
９号公報（発明の名称：「マルチビームレーザ記録装
置」）に示されたものがある。この特開平８−７６０３
９号公報に開示された構成は、光ビーム検出素子として
一次元のＣＣＤ（電荷結合素子）を用い、光ビームが走
査する主走査方向と直交する副走査方向に沿って該ＣＣ
Ｄセンサを配設し該ＣＣＤセンサの走査を副走査に対応
させ、あるいは光ビーム検出素子として前記主走査方向
に対して斜めの開口部を有するフォトセンサを設けてな
る走査線間隔検出手段に、同期信号検出手段を兼用させ
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記特開昭５７−１０
２６０９号公報に示された構成では、主走査方向につい
て各光ビームの光ビームスポットが近接している場合に
は、各光ビームスポットが光ビーム検出素子を短い時間
間隔で通過することになり、一つの光ビーム検出素子に
２個またはそれ以上の光ビームスポットが同時に入射す
る位置関係になるおそれがある。すなわち、この構成で
は、主走査方向に各光ビームがある程度離れていなけれ
ばならない。しかしながら、出力画像の形成ということ
を考えた場合、各光ビームはなるべく主走査方向につい
て重なっていることが望ましい。

【０００６】この意味で、特開平８−７６０３９号公報
の構成では主走査方向について各光ビームスポットが重
なっていても、各光ビームの同期信号を検出することが
可能である。しかしながら、画像形成装置が高解像度化
するにつれて、隣接する走査線の間隔は狭くなり、それ
に伴ってＣＣＤセンサの画素ピッチを細かくする必要が
生じてくる。これは技術的な困難を伴うだけでなく、コ
ストの増大化を招くおそれがある。

【０００７】本発明は、上述した事情に鑑みてなされた
もので、簡単な構成で、複数の光ビームの副走査方向に
ついての同期位置を各別に独立して検出し、的確に同期
信号を得ることを可能とする光走査装置を提供すること
を目的としている。本発明の第１の目的は、特に、複数
の光ビームを有効に分離して各独立に検出して、同期信
号を得ることが可能な光走査装置を提供することにあ
る。本発明の第２の目的は、特に、同期信号を得るため
の複数の光ビームをより正確に検出することが可能な光
走査装置を提供することにある。

【０００８】本発明の第３の目的は、特に、同期信号を
得るために光ビームを検出する構成を容易に製造するこ
とが可能な光走査装置を提供することにある。本発明の
第４の目的は、特に、複数の光ビームを各独立に検出し
て、独立した同期信号を得ることが可能な光走査装置を
提供することにある。本発明の第５の目的は、特に、光
ビームを検出して同期信号を得る構成を容易に製造する
ことが可能な光走査装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載した本発
明に係る光走査装置は、上述した目的、特に第１の目的
を達成するために、複数の光ビームによって、被走査面
上の主走査方向に平行で且つ該被走査面上に副走査方向
に並んだ複数の走査線にて、該被走査面を同時に走査す
るマルチビーム光走査装置において、前記複数の各光ビ
ームが被走査面の必須走査領域の書込を開始する書き出
しのタイミングを検知するための同期信号検出装置は、
前記各光ビームを前記副走査方向に回折させる回折光学
素子と、前記回折光学素子で回折された各光ビームを回
折光を利用して各ビーム毎に個別に検出する光ビーム検
出素子とを具備することを特徴としている。

【００１０】請求項２に記載した本発明に係る光走査装
置は、上記第２の目的を達成するために、前記回折光学
素子が、前記主走査方向に平行な格子を有するブレーズ
ド格子を含むことを特徴としている。請求項３に記載し
た本発明に係る光走査装置は、上記第３の目的を達成す
るために、前記ブレーズド格子が、格子溝のブレーズド
角をなすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイナリ
型ブレーズド格子を含むことを特徴としている。

【００１１】請求項４に記載した本発明に係る光走査装
置は、上記第４の目的を達成するために、前記光ビーム
検出素子が、単一の半導体片上にモノリシックに一体化
されて配列された複数の半導体受光部を含むことを特徴
としている。請求項５に記載した本発明に係る光走査装
置は、上記第５の目的を達成するために、前記光ビーム
検出素子が、各別の半導体片上に個別に形成されてハイ
ブリッドに一体化されて配列された複数の半導体光受光
部を含むことを特徴としている。

【００１２】

【作用】すなわち、本発明の請求項１による光走査装置
は、複数の光ビームによって、被走査面上の主走査方向
に平行で且つ該被走査面上に副走査方向に並んだ複数の
走査線にて、該被走査面を同時に走査するマルチビーム
光走査装置において、前記複数の各光ビームを回折光学
素子を用いて前記副走査方向に回折させ、その回折光を
利用して前記各ビームを光ビーム検出素子で個別に検出
するようにして、同期信号検出装置を構成して、前記各
光ビームが被走査面の必須走査領域の書込を開始する書
き出しのタイミングを検知する。このような構成によ
り、簡単な構成であるにもかかわらず、複数の光ビーム
の光ビーム間隔よりも広いピッチで各光ビームを有効に
分離して受光検出することができ、複数の光ビームの副
走査方向についての同期位置を各別に検出し、的確に同
期信号を得ることができる。

【００１３】また、本発明の請求項２による光走査装置
は、前記回折光学素子を、前記主走査方向に平行な格子
を有するブレーズド格子で構成する。このような構成に
より、特に、各光ビームの特定の回折光を強調すること
ができ、同期信号を得るための複数の光ビームをより正
確に検出することができる。本発明の請求項３による光
走査装置は、前記ブレーズド格子を、格子溝のブレーズ
ド角をなすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイナ
リ型ブレーズド格子で構成する。このような構成によ
り、特に、同期信号を得るために光ビームを検出するた
めのブレーズド格子を容易に製造することができる。

【００１４】本発明の請求項４による光走査装置は、前
記光ビーム検出素子を、単一の半導体片上にモノリシッ
クに一体化されて配列された複数の半導体受光部で構成
する。このような構成により、特に、複数の光ビームを
各独立に検出して、光ビーム毎に独立した適切な同期信
号を得ることができる。本発明の請求項５による光走査
装置は、前記光ビーム検出素子を、各別の半導体片上に
個別に形成されてハイブリッドに一体化されて配列され
た複数の半導体光受光部で構成する。このような構成に
より、特に、光ビームを検出して同期信号を得る光ビー
ム検出素子を半導体を用いて容易に製造することができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、実施の形態に基づき、図面
を参照して本発明の光走査装置を詳細に説明する。 〔第１の実施の形態〕（請求項１に対応） 図１および図２は、本発明の第１の実施の形態に係るマ
ルチビーム光走査装置の要部の構成を示している。図１
は、マルチビーム光走査装置の全体の構成を模式的に示
しており、図２は、図１における同期信号検出装置の詳
細な構成を模式的に示している。図１に示すマルチビー
ム光走査装置は、光源１、コリメートレンズ２、シリン
ドリカルレンズ３、光偏向器４、ｆθレンズ５、長尺ト
ロイダルレンズ６、感光体７および同期信号検出装置８
を具備している。

【００１６】光源１は、複数の光ビームを放射する。コ
リメートレンズ２は、光源１から射出された前記複数の
光ビームをコリメートして平行光にする。シリンドリカ
ルレンズ３は、コリメートレンズ２で平行光とされた前
記複数の光ビームを光偏向器４の偏向反射面近傍に主走
査方向に長い線像として結像させる。光偏向器４は、複
数の偏向反射面を有する多角形の多面鏡（ポリゴンミラ
ー）からなり、回転駆動されて、前記複数の光ビームを
偏向反射面により反射偏向する。ｆθレンズ５および長
尺トロイダルレンズ６は、光偏向器４で偏向された光ビ
ームを感光体７の被走査面上に結像し、光偏向器４の回
転によって該被走査面を前記光ビームにより走査させ
る。同期信号検出装置８は、前記複数の光ビームを前記
主走査方向に直行する副走査方向に回折させ、各光ビー
ムの回折光を利用して各光ビームを各ビーム毎に個別に
検出することにより、前記複数の光ビームが被走査面の
必須走査領域の書込を開始する書き出しのタイミングを
検知する。

【００１７】図２は、図１に示す同期信号検出装置８の
詳細な構成を示しており、同期信号検出装置８は、透過
型位相格子８１および受光素子８２を有する。この例で
は、同期信号検出装置８を構成する回折光学素子とし
て、例えば主走査方向に平行な複数の回折溝が形成され
ている透過型位相格子８１を用いている。すなわち、該
透過型位相格子８１は、透明な平行平板に、前記主走査
方向と平行な回折溝が周期的に形成されたものである。
回折光学素子としての透過型位相格子８１を用いて、例
えば平行な４本の光ビーム（例えば各ビームのピッチは
４２．３３μｍとし、６００ｄｐｉに対応するプリンタ
に用いるものとする）の同期検知の手法について具体的
に説明する。

【００１８】図３に示すように、光ビームＢ１１、Ｂ１
２、Ｂ１３およびＢ１４が回折光学素子としての透過型
位相格子８１に入射すると、該透過型位相格子８１を通
過する際の回折により、各光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ
１３およびＢ１４の０次回折光（非回折光）、±１次回
折光、±２次回折光、…のような回折光ビームが、透過
型位相格子８１から射出される。すなわち、透過型位相
格子８１により、各光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３お
よびＢ１４が、各光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およ
びＢ１４の０次回折光（透過光）、±１次回折光、±２
次回折光、…のような回折光ビームに分岐される。

【００１９】これらの回折光のうち、光ビームＢ１１に
対応する同期光ビームとしては、その２次回折光ビー
ム、光ビームＢ１２に対応する同期光ビームとしては、
その１次回折光ビーム、光ビームＢ１３に対応する同期
光ビームとしては、その０次回折光ビーム、そして光ビ
ームＢ１４に対応する同期光ビームとしては、その−１
次回折光ビームをそれぞれ用い、図４に示すように、こ
れら各回折光ビームが充分分離された位置に、受光素子
８２を配置して、各光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３お
よびＢ１４の同期タイミングを個別に検知することがで
きる。このとき、受光素子８２は、他の回折光が検出さ
れないような位置に配置されることはいうまでもない。

【００２０】このようにして、複数の光ビームＢ１１、
Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４の同期信号を各独立に検出
することができる。なお、回折によって分割された光ビ
ームのうちの、どの回折次数の回折光ビームを選択して
同期光ビームとして用いるかは、ここでは特に限定され
る訳ではない。また、この実施の形態においては、同期
信号検出装置８に入射する光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ
１３およびＢ１４は、互いに平行であるとしたが、これ
も特に限定される条件ではない。

【００２１】さらに、この実施の形態においては、回折
光学素子としての透過型位相格子８１を用いる場合につ
いて説明したが、透過型位相格子８１に代えて、例えば
透過型振幅格子、反射型位相格子および反射型振幅格子
等を回折光学素子として用いるようにしてもよい。この
ように、透過型位相格子に代えて、多数の代替物を選択
的に使用し、あるいは適宜なる修正および変更を施して
実施することが可能である。

【００２２】〔第２の実施の形態〕（請求項２に対応） 図５は、本発明の第２の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置の構成を示し
ている。図５に示す同期信号検出装置は、回折光学素子
として、図２に示した透過型位相格子８１に代えて、主
走査方向に平行な複数の回折溝が形成された透過型ブレ
ーズド格子８３を用いて構成している。透過型ブレーズ
ド格子８３は、主走査方向に平行に形成される回折溝
を、溝面がブレーズド角θをなして傾斜するＶ字溝とし
て周期的に形成し、断面をほぼ鋸歯状に形成している。
このような透過型ブレーズド格子８３は、所定のブレー
ズド角θで溝面を傾斜させることによって、特定の波長
の光に対し、特定の次数の回折光を他の次数の回折光に
比して特に強くすることができる。

【００２３】回折光学素子としての透過型ブレーズド格
子８３を用いて、例えば平行な４本の光ビームの同期検
知の手法について具体的に説明する。図３に示した透過
型位相格子８１の場合と同様に、光ビームＢ１１、Ｂ１
２、Ｂ１３およびＢ１４が回折光学素子としての透過型
ブレーズド格子８３に入射すると、該透過型ブレーズド
格子８３を通過する際の回折により、各光ビームＢ１
１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４の０次回折光（非回折
光）、±１次回折光、±２次回折光、…のような回折光
ビームが、透過型ブレーズド格子８３から射出される。
すなわち、透過型ブレーズド格子８３により、各光ビー
ムＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４が、各光ビーム
Ｂ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４の０次回折光（透
過光）、±１次回折光、±２次回折光、…のような回折
光ビームに分岐される。

【００２４】周知のように、ブレーズド格子は、格子溝
の溝面にブレーズド角θに従った傾斜角を持たせること
で、特定の波長の光ビームに対して特定の次数の回折光
ビームを特に強くすることができる。そこで、これらの
回折光のうち、光ビームＢ１１に対応する同期光ビーム
としては、その２次回折光ビーム、光ビームＢ１２に対
応する同期光ビームとしては、その１次回折光ビーム、
光ビームＢ１３に対応する同期光ビームとしては、その
０次回折光ビーム、そして光ビームＢ１４に対応する同
期光ビームとしては、その−１次回折光ビームをそれぞ
れ用いるため、透過型ブレーズド格子８３のブレーズド
角θを、各光ビームＢ１１〜Ｂ１４のこれら同期光ビー
ムに対応する次数の回折光が強くなるように設定する。

【００２５】このようにして、これら各回折光ビームが
充分分離された位置に配置した受光素子８２で、各光ビ
ームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４の同期タイミ
ングを個別に検知する。すなわち、図６に示すように、
透過型ブレーズド格子８３において、光ビームＢ１１が
入射する領域は２次回折光が特に強くなるようにブレー
ズド角θ１１を設定し、光ビームＢ１２が入射する領域
は１次回折光が特に強くなるようにブレーズド角θ１２
を決め設定し、光ビームＢ１３が入射する領域は０次回
折光が特に強くなるようにブレーズド角θ１３を設定
し、そして光ビームＢ１４が入射する領域は−１次回折
光が特に強くなるようにブレーズド角θ１４を設定す
る。このとき、受光素子８２は、他の回折光が検出され
ないような位置に配置されることはいうまでもない。

【００２６】したがって、複数の光ビームＢ１１、Ｂ１
２、Ｂ１３およびＢ１４の同期信号を、各独立に、しか
もより正確に検出することができる。なお、回折によっ
て分割された光ビームのうちの、どの回折次数の回折光
ビームを選択し、それに応じてブレーズド角θを設定し
て、同期光ビームとして用いるかは、ここでは特に限定
される訳ではない。また、この実施の形態においても、
同期信号検出装置（８）の透過型ブレーズド格子８３に
入射する光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４
は互いに平行であるとしたが、これも特に限定される条
件ではない。

【００２７】さらに、この実施の形態においては、回折
光学素子として透過型ブレーズド格子８３を用いる場合
について説明したが、例えば反射型ブレーズド格子等を
回折光学素子として用いるようにしてもよい。このよう
に、透過型ブレーズド格子に代えて、種々の代替物を選
択的に使用し、あるいは適宜なる修正および変更を施し
て実施することが可能である。

【００２８】〔第３の実施の形態〕（請求項３に対応） 図７は、本発明の第３の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置に用いる回折
光学素子の構成を示している。図５および図６で説明し
た透過型ブレーズド格子８３は、格子溝の溝面に所望の
ブレーズド角θを与えた傾斜面としたが、回折光学素子
を、図７に示すようにバイナリ型ブレーズド格子８４と
すると加工が容易である。

【００２９】ここで、「バイナリ型」とは、図７に示す
ように、回折溝の溝面を形成する傾斜面に代えて、ブレ
ーズド角θに従って階段状に加工することを意味してお
り、その階段面のなす角度が所要のブレーズド角θとな
るように加工される。このようなバイナリ型ブレーズド
格子８４を用いても、上述した図５および図６の場合と
同様に同期信号を個別に検出することができる。したが
って、複数の光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ
１４の同期信号を、各独立に、より正確に検出すること
ができ、しかも同期信号検出装置の回折光学素子を容易
に製造することができる。

【００３０】〔第４の実施の形態〕（請求項４に対応） 図８は、本発明の第４の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置に用いる受光
素子の構成を示している。図８は、上述した第１〜第３
の実施の形態に示された同期信号検出装置の構成におい
て回折光学素子で分割された同期光ビームを受光する受
光素子として用いられるフォトダイオードの構成を示し
たものである。図８に示すフォトダイオード８５は、複
数の受光部８５１、８５２、８５３および８５４が単一
の半導体片８５０上に形成された、いわゆるモノリシッ
クな構成を有している。

【００３１】各受光部８５１〜８５４の受光面の間隔
は、回折光学素子と受光素子との配置距離、および各光
ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４に対して何
次の回折光ビームを同期光ビームとして選択するかに基
づいて、一意的に決定される。各受光部８５１〜８５４
間は、実質的に絶縁されており、従って個別の同期光ビ
ームを各独立に検知することが可能である。したがっ
て、複数の光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１
４の同期信号を、各独立に且つ正確に検出することがで
きる。

【００３２】また、フォトダイオードに代えて、フォト
トランジスタを用いるなどしてもよい。

【００３３】〔第５の実施の形態〕（請求項５に対応） 図９は、本発明の第５の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置に用いる受光
素子の構成を示している。図９は、上述した第１〜第３
の実施の形態に示された同期信号検出装置の構成におい
て回折光学素子で分割された同期光ビームを受光する受
光素子として用いられるフォトダイオードの構成を示し
たものである。図９に示すフォトダイオード８６は、複
数の受光部８６１、８６２、８６３および８６４が、そ
れぞれ個別の半導体片ＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３およびＳ
Ｔ４上に形成されたものを複合させた、いわゆるハイブ
リッドな構成を有している。

【００３４】各受光部８６１〜８６４の受光面の間隔
は、回折光学素子と受光素子との配置距離、および各光
ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３およびＢ１４に対して何
次の回折光ビームを同期光ビームとして選択するかに基
づいて、一意的に決定される。各受光部８６１〜８６４
は、個別の半導体であるので、加工も容易であり、個別
の同期光ビームを各独立に検知することが可能である。
したがって、複数の光ビームＢ１１、Ｂ１２、Ｂ１３お
よびＢ１４の同期信号を、各独立に且つ正確に検出する
ことができ、しかも容易に同期信号検出装置の受光素子
を製造することができる。この場合も、フォトダイオー
ドに代えて、フォトトランジスタを用いるなどしてもよ
い。さらに、受光素子としては、ＣＣＤイメージセンサ
を用いるなどしてもよい。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、複
数の光ビームによって、被走査面上の主走査方向に平行
で且つ該被走査面上に副走査方向に並んだ複数の走査線
にて、該被走査面を同時に走査するマルチビーム光走査
装置において、前記複数の各光ビームを回折光学素子を
用いて前記副走査方向に回折させ、その回折光を利用し
て前記各ビームを光ビーム検出素子で個別に検出するよ
うにして、同期信号検出装置を構成して、前記各光ビー
ムが被走査面の必須走査領域の書込を開始する書き出し
のタイミングを検知することにより、簡単な構成である
にもかかわらず、複数の光ビームの光ビーム間隔よりも
広いピッチで各光ビームを有効に分離して受光検出する
ことができ、複数の光ビームの副走査方向についての同
期位置を各別に検出し、的確に同期信号を得ることが可
能な光走査装置を提供することができる。

【００３６】また、本発明の請求項２の光走査装置によ
れば、前記回折光学素子を、前記主走査方向に平行な格
子を有するブレーズド格子で構成することにより、特
に、各光ビームの特定の回折光を強調することができ、
同期信号を得るための複数の光ビームをより正確に検出
することができる。本発明の請求項３の光走査装置によ
れば、前記ブレーズド格子を、格子溝のブレーズド角を
なすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイナリ型ブ
レーズド格子で構成することにより、特に、同期信号を
得るために光ビームを検出するためのブレーズド格子を
容易に製造することができる。

【００３７】本発明の請求項４の光走査装置によれば、
前記光ビーム検出素子を、単一の半導体片上にモノリシ
ックに一体化されて配列された複数の半導体受光部で構
成することにより、特に、複数の光ビームを各独立に検
出して、光ビーム毎に独立した適切な同期信号を得るこ
とができる。本発明の請求項５の光走査装置によれば、
前記光ビーム検出素子を、各別の半導体片上に個別に形
成されてハイブリッドに一体化されて配列された複数の
半導体光受光部で構成することにより、特に、光ビーム
を検出して同期信号を得る光ビーム検出素子を半導体を
用いて容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部の構成を模式的に示す斜視図である。

【図２】図１のマルチビーム光走査装置の同期信号検出
装置の詳細な構成を模式的に示す側面図である。

【図３】図２の同期信号検出装置の回折光学素子として
の透過型位相格子の作用を説明するための模式的側面図
である。

【図４】図２の同期信号検出装置の動作を説明するため
の模式的側面図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の回折光学素子として透過型ブレーズド格子
を用いた同期信号検出装置の要部の構成を模式的に示す
側面図である。

【図６】図５の同期信号検出装置の動作を説明するため
の模式的側面図である。

【図７】本発明の第３の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の同期信号検出装置に回折光学素子として用
いるバイナリ型ブレーズド格子の要部の詳細な構成を模
式的に示す側面図である。

【図８】本発明の第４の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の同期信号検出装置に受光素子として用いる
モノリシック型フォトダイオードの要部の詳細な構成を
模式的に示す斜視図である。

【図９】本発明の第５の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の同期信号検出装置に受光素子として用いる
ハイブリッド型フォトダイオードの要部の詳細な構成を
模式的に示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 光源 ２ コリメートレンズ ３ シリンドリカルレンズ ４ 光偏向器 ５ ｆθレンズ ６ 長尺トロイダルレンズ ７ 感光体 ８ 同期信号検出装置 ８１ 透過型位相格子 ８２ 受光素子 ８３ 透過型ブレーズド格子 ８４ バイナリ型ブレーズド格子 ８５ モノリシック型フォトダイオード ８６ ハイブリッド型フォトダイオード ８５０，ＳＴ１〜ＳＴ４ 半導体片 ８５１〜８５４，８６１〜８６４ 受光部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の光ビームによって、被走査面上の
   主走査方向に平行で且つ該被走査面上に副走査方向に並
   んだ複数の走査線にて、該被走査面を同時に走査するマ
   ルチビーム光走査装置において、 前記複数の各光ビームが被走査面の必須走査領域の書込
   を開始する書き出しのタイミングを検知するための同期
   信号検出装置は、 前記各光ビームを前記副走査方向に回折させる回折光学
   素子と、 前記回折光学素子で回折された各光ビームを回折光を利
   用して各ビーム毎に個別に検出する光ビーム検出素子と
   を具備することを特徴とする光走査装置。
2. 【請求項２】 前記回折光学素子は、前記主走査方向に
   平行な格子を有するブレーズド格子を含むことを特徴と
   する請求項１に記載の光走査装置。
3. 【請求項３】 前記ブレーズド格子は、格子溝のブレー
   ズド角をなすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイ
   ナリ型ブレーズド格子を含むことを特徴とする請求項２
   に記載の光走査装置。
4. 【請求項４】 前記光ビーム検出素子は、単一の半導体
   片上にモノリシックに一体化されて配列された複数の半
   導体受光部を含むことを特徴とする請求項１に記載の光
   走査装置。
5. 【請求項５】 前記光ビーム検出素子は、各別の半導体
   片上に個別に形成されてハイブリッドに一体化されて配
   列された複数の半導体光受光部を含むことを特徴とする
   請求項１に記載の光走査装置。