JPH1192963A - シャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト - Google Patents
シャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジストInfo
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- JPH1192963A JPH1192963A JP25032097A JP25032097A JPH1192963A JP H1192963 A JPH1192963 A JP H1192963A JP 25032097 A JP25032097 A JP 25032097A JP 25032097 A JP25032097 A JP 25032097A JP H1192963 A JPH1192963 A JP H1192963A
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- acrylate
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- etching
- resist
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】アルカリ溶解・剥離性と耐エッチング液性とを
併せ持つシャドーマスク用エッチングレジストの提供。 【解決手段】（ａ）カルボキシル基と、アクリロイル基
またはメタクリロイル基とを有する脂環式化合物、およ
び（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリレート化合物
を含むことを特徴とするシャドーマスク用活性エネルギ
ー線硬化性エッチングレジスト。
併せ持つシャドーマスク用エッチングレジストの提供。 【解決手段】（ａ）カルボキシル基と、アクリロイル基
またはメタクリロイル基とを有する脂環式化合物、およ
び（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリレート化合物
を含むことを特徴とするシャドーマスク用活性エネルギ
ー線硬化性エッチングレジスト。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微細な凹凸を有す
る材料表面に気泡を生じることなく塗布され、活性エネ
ルギー線を照射することにより硬化させることが可能で
あり、硬化後のレジスト被膜が酸処理に対しては耐蝕性
を有し、アルカリ処理に対しては溶解ないしは剥離性
（以下、「溶解・剥離性」と略称する）を有するシャド
ーマスク用エッチングレジストに関する。
る材料表面に気泡を生じることなく塗布され、活性エネ
ルギー線を照射することにより硬化させることが可能で
あり、硬化後のレジスト被膜が酸処理に対しては耐蝕性
を有し、アルカリ処理に対しては溶解ないしは剥離性
（以下、「溶解・剥離性」と略称する）を有するシャド
ーマスク用エッチングレジストに関する。
【０００２】
【従来の技術】シャドーマスクはその面内に多数の微細
な電子の透過孔を有し、その各々の孔の開口部の大きさ
は一方の面では大きく、その反対の面では小さくなって
いる。これら大孔及び小孔を形成する工程は、以下の工
程から成る。まず、鉄などからなる薄いシャドーマスク
用金属基材の両面に感光性樹脂膜を形成し、大孔を形成
する面には大孔用の、その面と反対の小孔を形成する面
には小孔用のネガ原版を密着させた後、露光、現像を行
い未露光部を除去する。次いで、エッチング液をスプレ
ーなどにより吹き付け、表裏両面より目的とする深さま
でエッチングを行い、互いに貫通しない凹部を形成す
る。この工程を一次エッチング工程と呼ぶ。次いで、一
次エッチング後の基材の小孔部側の感光膜上及び小孔部
内に、エッチングレジストによる被膜を形成した後、大
孔部が小孔部のレジスト被膜の層に達し、かつ大孔部の
開口部径が所定の大きさになるまで再度エッチングを行
う。この工程を二次エッチング工程と呼ぶ。この後、パ
ターン形成用感光性樹脂及びレジスト被膜をアルカリ処
理することにより除去してシャドーマスクを得る。
な電子の透過孔を有し、その各々の孔の開口部の大きさ
は一方の面では大きく、その反対の面では小さくなって
いる。これら大孔及び小孔を形成する工程は、以下の工
程から成る。まず、鉄などからなる薄いシャドーマスク
用金属基材の両面に感光性樹脂膜を形成し、大孔を形成
する面には大孔用の、その面と反対の小孔を形成する面
には小孔用のネガ原版を密着させた後、露光、現像を行
い未露光部を除去する。次いで、エッチング液をスプレ
ーなどにより吹き付け、表裏両面より目的とする深さま
でエッチングを行い、互いに貫通しない凹部を形成す
る。この工程を一次エッチング工程と呼ぶ。次いで、一
次エッチング後の基材の小孔部側の感光膜上及び小孔部
内に、エッチングレジストによる被膜を形成した後、大
孔部が小孔部のレジスト被膜の層に達し、かつ大孔部の
開口部径が所定の大きさになるまで再度エッチングを行
う。この工程を二次エッチング工程と呼ぶ。この後、パ
ターン形成用感光性樹脂及びレジスト被膜をアルカリ処
理することにより除去してシャドーマスクを得る。
【０００３】従来、二次エッチング工程で使用されるエ
ッチングレジストは、難燃性とするためのハロゲン系溶
剤や稀釈のためのその他の有機溶剤を多量に使用する溶
剤型が主流であった。しかしながら、溶剤型レジスト
は、有機溶剤の環境に対する影響や、乾燥に多大のエネ
ルギーを消費すること等の問題を有している。このため
現在では、無溶剤型で紫外線等の活性エネルギー線を照
射することにより硬化されるレジストが検討されてい
る。
ッチングレジストは、難燃性とするためのハロゲン系溶
剤や稀釈のためのその他の有機溶剤を多量に使用する溶
剤型が主流であった。しかしながら、溶剤型レジスト
は、有機溶剤の環境に対する影響や、乾燥に多大のエネ
ルギーを消費すること等の問題を有している。このため
現在では、無溶剤型で紫外線等の活性エネルギー線を照
射することにより硬化されるレジストが検討されてい
る。
【０００４】エッチングレジストに要求される特性の中
で特に重要なものとしては、アルカリ溶解・剥離性およ
び耐エッチング液性が挙げられる。アルカリ溶解・剥離
性は、硬化レジスト被膜がアルカリ溶液処理により容易
に溶解または剥離する性質であり、耐エッチング液性
は、硬化レジスト被膜の、二次エッチング時の過塩化鉄
等の酸性エッチング液による劣化やエッチング液への溶
解等がなく、被覆した材料表面を保護する性質である。
で特に重要なものとしては、アルカリ溶解・剥離性およ
び耐エッチング液性が挙げられる。アルカリ溶解・剥離
性は、硬化レジスト被膜がアルカリ溶液処理により容易
に溶解または剥離する性質であり、耐エッチング液性
は、硬化レジスト被膜の、二次エッチング時の過塩化鉄
等の酸性エッチング液による劣化やエッチング液への溶
解等がなく、被覆した材料表面を保護する性質である。
【０００５】上記性能を満足させるため、特開平５−９
８１１２号公報には、分子中にカルボキシル基及びアク
リロイル基またはメタクリロイル基を持つ化合物と、２
個以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基を持つ
多官能の化合物とを併用した硬化性樹脂組成物が開示さ
れている。上記硬化性樹脂組成物では、アルカリ溶解・
剥離性を付与するためにカルボキシル基含有モノマーを
用い、耐エッチング液性を付与するためには硬化密度の
高い多官能モノマーを用いている。しかしながら、アル
カリ溶解・剥離性を付与すべくカルボキシル基含有モノ
マーの含有量を増加させると耐エッチング液性が低下す
る。また、多官能モノマーの増加は耐エッチング液性の
向上には寄与するが、アルカリ溶解・剥離性は低下させ
る結果となる。このため、両者の性能を満足させるもの
は得られていない。
８１１２号公報には、分子中にカルボキシル基及びアク
リロイル基またはメタクリロイル基を持つ化合物と、２
個以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基を持つ
多官能の化合物とを併用した硬化性樹脂組成物が開示さ
れている。上記硬化性樹脂組成物では、アルカリ溶解・
剥離性を付与するためにカルボキシル基含有モノマーを
用い、耐エッチング液性を付与するためには硬化密度の
高い多官能モノマーを用いている。しかしながら、アル
カリ溶解・剥離性を付与すべくカルボキシル基含有モノ
マーの含有量を増加させると耐エッチング液性が低下す
る。また、多官能モノマーの増加は耐エッチング液性の
向上には寄与するが、アルカリ溶解・剥離性は低下させ
る結果となる。このため、両者の性能を満足させるもの
は得られていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の活性
エネルギー線硬化性樹脂組成物が有する上記問題を解決
し、アルカリ溶解・剥離性と耐エッチング液性とを併せ
持つシャドーマスク用エッチングレジストを提供するこ
とを目的とする。
エネルギー線硬化性樹脂組成物が有する上記問題を解決
し、アルカリ溶解・剥離性と耐エッチング液性とを併せ
持つシャドーマスク用エッチングレジストを提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記問題
点を解決すべく鋭意検討を行った結果、（ａ）カルボキ
シル基と、アクリロイル基またはメタクリロイル基とを
有する脂環式化合物はアルカリ液に対する溶解・剥離性
を有しており、（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリ
レート化合物と併用することにより、アルカリ溶解・剥
離性と耐エッチング液性とを併せ持ち、シャドーマスク
製造に最適なエッチングレジストが得られることを見い
出し、本発明を完成するに至った。
点を解決すべく鋭意検討を行った結果、（ａ）カルボキ
シル基と、アクリロイル基またはメタクリロイル基とを
有する脂環式化合物はアルカリ液に対する溶解・剥離性
を有しており、（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリ
レート化合物と併用することにより、アルカリ溶解・剥
離性と耐エッチング液性とを併せ持ち、シャドーマスク
製造に最適なエッチングレジストが得られることを見い
出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】すなわち、本発明は、（ａ）カルボキシル
基と、アクリロイル基またはメタクリロイル基とを有す
る脂環式化合物、および（ｂ）他のアクリレートまたは
メタクリレート化合物を含むことを特徴とするシャドー
マスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジストに
関する。また、本発明は、さらに、（ｃ）光重合開始剤
を含むことを特徴とする上記エッチングレジストに関す
る。また、本発明は、酸価が５０〜２００ｍｇＫＯＨ／
ｇであることを特徴とする上記エッチングレジストに関
する。また、本発明は、（ａ）脂環式化合物３０〜８０
重量％および（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリレ
ート化合物７０〜２０重量％を含むことを特徴とする上
記エッチングレジストに関する。
基と、アクリロイル基またはメタクリロイル基とを有す
る脂環式化合物、および（ｂ）他のアクリレートまたは
メタクリレート化合物を含むことを特徴とするシャドー
マスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジストに
関する。また、本発明は、さらに、（ｃ）光重合開始剤
を含むことを特徴とする上記エッチングレジストに関す
る。また、本発明は、酸価が５０〜２００ｍｇＫＯＨ／
ｇであることを特徴とする上記エッチングレジストに関
する。また、本発明は、（ａ）脂環式化合物３０〜８０
重量％および（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリレ
ート化合物７０〜２０重量％を含むことを特徴とする上
記エッチングレジストに関する。
【０００９】
【発明の実施の形態】（ａ）カルボキシル基と、アクリ
ロイル基またはメタクリロイル基とを有する脂環式化合
物は、本発明のエッチングレジストに、アルカリ液に対
する溶解・剥離性を付与するための成分である。上記脂
環式化合物としては、例えば、脂環式構造部を有する二
塩基酸またはその無水物と、水酸基を有するアクリレー
トまたはメタアクリレート（以下（メタ）アクリレート
と略称する）との反応生成物が挙げられ、１種または２
種以上を組み合わせて用いられる。
ロイル基またはメタクリロイル基とを有する脂環式化合
物は、本発明のエッチングレジストに、アルカリ液に対
する溶解・剥離性を付与するための成分である。上記脂
環式化合物としては、例えば、脂環式構造部を有する二
塩基酸またはその無水物と、水酸基を有するアクリレー
トまたはメタアクリレート（以下（メタ）アクリレート
と略称する）との反応生成物が挙げられ、１種または２
種以上を組み合わせて用いられる。
【００１０】カルボキシル基を２個有する脂環式化合物
またはその無水物としては、テトラヒドロフタル酸、ヘ
キサヒドロフタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキ
サヒドロ無水フタル酸、４−メチルヘキサヒドロ無水フ
タル酸、３−メチルテトラヒドロ無水フタル酸等を用い
ることができる。また、水酸基を有する（メタ）アクリ
レートとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリ
レート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、エ
チレングリコールモノ（メタ）アクリレート、２−ヒド
ロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート
等の単官能（メタ）アクリレート類、ペンタエリスリト
ールモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール
ジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリ
レート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエ
リスリトールジ（メタ）アクリレートモノステアレート
等の多官能（メタ）アクリレート類等が用いられる。
またはその無水物としては、テトラヒドロフタル酸、ヘ
キサヒドロフタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキ
サヒドロ無水フタル酸、４−メチルヘキサヒドロ無水フ
タル酸、３−メチルテトラヒドロ無水フタル酸等を用い
ることができる。また、水酸基を有する（メタ）アクリ
レートとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリ
レート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、エ
チレングリコールモノ（メタ）アクリレート、２−ヒド
ロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート
等の単官能（メタ）アクリレート類、ペンタエリスリト
ールモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール
ジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリ
レート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエ
リスリトールジ（メタ）アクリレートモノステアレート
等の多官能（メタ）アクリレート類等が用いられる。
【００１１】化合物（ａ）として具体的には、２−メタ
クリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸（共栄社
油脂化学工業株式会社製「ライトエステルＨＯ−ＨＨ」
等）、２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタ
ル酸（共栄社油脂化学工業株式会社製「ライトエステル
ＨＯＡ−ＨＨ」等）、２−アクリロイルオキシプロピル
ヘキサヒドロフタレート（大阪有機化学工業株式会社製
「ビスコート＃２１５０」等）、２−アクリロイルオキ
シプロピルテトラヒドロフタレート（大阪有機化学工業
株式会社製「ビスコート＃２１８０」等）等が挙げられ
る。
クリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸（共栄社
油脂化学工業株式会社製「ライトエステルＨＯ−ＨＨ」
等）、２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタ
ル酸（共栄社油脂化学工業株式会社製「ライトエステル
ＨＯＡ−ＨＨ」等）、２−アクリロイルオキシプロピル
ヘキサヒドロフタレート（大阪有機化学工業株式会社製
「ビスコート＃２１５０」等）、２−アクリロイルオキ
シプロピルテトラヒドロフタレート（大阪有機化学工業
株式会社製「ビスコート＃２１８０」等）等が挙げられ
る。
【００１２】（ｂ）他の（メタ）アクリレート化合物
は、本発明のエッチングレジストに、耐エッチング液性
を付与するための成分であり、反応性の面から多官能
（メタ）アクリレート化合物が好適に用いられる。
（ｂ）他の（メタ）アクリレート化合物のうち、単官能
（メタ）アクリレート類としては、メチル（メタ）アク
リレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メ
タ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ポ
リエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリエチ
レングリコール（メタ）アクリレートメチルエーテル、
フェニルエチル（メタ）アクリレート、イソボニル（メ
タ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレー
ト、ベンジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフル
フリル（メタ）アクリレート、メトキシトリプロピレン
グリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチ
レングリコール（メタ）アクリレート、ジメチルアミノ
エチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルモ
ルホリン、（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
は、本発明のエッチングレジストに、耐エッチング液性
を付与するための成分であり、反応性の面から多官能
（メタ）アクリレート化合物が好適に用いられる。
（ｂ）他の（メタ）アクリレート化合物のうち、単官能
（メタ）アクリレート類としては、メチル（メタ）アク
リレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メ
タ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ポ
リエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリエチ
レングリコール（メタ）アクリレートメチルエーテル、
フェニルエチル（メタ）アクリレート、イソボニル（メ
タ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレー
ト、ベンジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフル
フリル（メタ）アクリレート、メトキシトリプロピレン
グリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチ
レングリコール（メタ）アクリレート、ジメチルアミノ
エチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルモ
ルホリン、（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００１３】また、多官能（メタ）アクリレート類とし
ては、ブタンジオール（メタ）アクリレート、ヘキサン
ジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ノナンジオールジ（メ
タ）アクリレート、グリコールジ（メタ）アクリレー
ト、ジエチレンジ（メタ）アクリレート、ポリエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、トリスアクリロイ
ルオキシエチルイソシアヌレート、ジプロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、アジピン酸エポキシ（メタ）
アクリレート、水素化ビスフェノールエチレンオキサイ
ドジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールグリセ
ロールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パントリ（メタ）アクリレート、トリエチロールトリプ
ロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド
付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エ
チレングリコール化ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート、プロピレングリコール化ペンタエリスリ
トールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールトリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
ては、ブタンジオール（メタ）アクリレート、ヘキサン
ジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ノナンジオールジ（メ
タ）アクリレート、グリコールジ（メタ）アクリレー
ト、ジエチレンジ（メタ）アクリレート、ポリエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、トリスアクリロイ
ルオキシエチルイソシアヌレート、ジプロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、アジピン酸エポキシ（メタ）
アクリレート、水素化ビスフェノールエチレンオキサイ
ドジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールグリセ
ロールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パントリ（メタ）アクリレート、トリエチロールトリプ
ロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド
付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エ
チレングリコール化ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート、プロピレングリコール化ペンタエリスリ
トールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールトリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００１４】本発明のエッチングレジストは、上記
（ａ）脂環式化合物と（ｂ）他の（メタ）アクリレート
化合物とを、３０〜８０重量％：７０〜２０重量％、さ
らには４０〜７０重量％：６０〜３０重量％の割合で含
むことが好ましい。（ａ）の含有量が３０重量％より少
ない場合にはアルカリ溶解・剥離性が十分ではなく、ま
た８０重量％より多い場合には耐エッチング液性が悪く
なる恐れがある。また、本発明のエッチングレジスト
は、酸価が５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇ、さらには８０
〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇになるように組成を調整するこ
とが好ましい。酸価が５０未満の場合にはアルカリ溶解
・剥離性が十分ではなく、また２００を越える場合には
耐エッチング液性が悪くなる恐れがある。
（ａ）脂環式化合物と（ｂ）他の（メタ）アクリレート
化合物とを、３０〜８０重量％：７０〜２０重量％、さ
らには４０〜７０重量％：６０〜３０重量％の割合で含
むことが好ましい。（ａ）の含有量が３０重量％より少
ない場合にはアルカリ溶解・剥離性が十分ではなく、ま
た８０重量％より多い場合には耐エッチング液性が悪く
なる恐れがある。また、本発明のエッチングレジスト
は、酸価が５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇ、さらには８０
〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇになるように組成を調整するこ
とが好ましい。酸価が５０未満の場合にはアルカリ溶解
・剥離性が十分ではなく、また２００を越える場合には
耐エッチング液性が悪くなる恐れがある。
【００１５】本発明のエッチングレジストには、塗装時
のレベリング性を付与するために、一般的な界面活性剤
を含有させることができる。本発明のエッチングレジス
トは、紫外線、電子線等の活性エネルギー線により硬化
させることができる。また、紫外線照射と電子線照射を
組み合わせたり、加熱工程を組み合わせたりすることも
有効である
のレベリング性を付与するために、一般的な界面活性剤
を含有させることができる。本発明のエッチングレジス
トは、紫外線、電子線等の活性エネルギー線により硬化
させることができる。また、紫外線照射と電子線照射を
組み合わせたり、加熱工程を組み合わせたりすることも
有効である
【００１６】紫外線で硬化させる場合には、本発明のエ
ッチングレジストに、光重合開始剤を含有させることが
好ましい。光重合開始剤としては、例えば、１−ヒドロ
キシ−シクロヘキシル−フェニルケトン（チバガイギー
株式会社製「イルガキュアー１８４」等）、２−メチル
−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォ
リノ−１−プロパノン（チバガイギー株式会社製「イル
ガキュアー９０７」等）及び２−ベンジル−２−ジメチ
ルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノ
ン−１−オン（チバガイギー株式会社製「イルガキュア
ー３６９」等）等が挙げられる。
ッチングレジストに、光重合開始剤を含有させることが
好ましい。光重合開始剤としては、例えば、１−ヒドロ
キシ−シクロヘキシル−フェニルケトン（チバガイギー
株式会社製「イルガキュアー１８４」等）、２−メチル
−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォ
リノ−１−プロパノン（チバガイギー株式会社製「イル
ガキュアー９０７」等）及び２−ベンジル−２−ジメチ
ルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノ
ン−１−オン（チバガイギー株式会社製「イルガキュア
ー３６９」等）等が挙げられる。
【００１７】本発明のエッチングレジストは、通常の混
合方法で上記各成分を混合することにより製造すること
ができ、各成分を混合する順序、混合装置等に特別の制
限はない。また、室温において固体の成分を混合する場
合には、その成分が融解する温度まで加熱して混合を行
うこともできる。
合方法で上記各成分を混合することにより製造すること
ができ、各成分を混合する順序、混合装置等に特別の制
限はない。また、室温において固体の成分を混合する場
合には、その成分が融解する温度まで加熱して混合を行
うこともできる。
【００１８】
【実施例】本発明を実施例及び比較例に基づいてさらに
詳しく説明する。例中、「部」および「％」は、「重量
部」および「重量％」をそれぞれ表す。なお、硬化レジ
スト被膜の特性評価は以下の方法により行った。 （１）耐エッチング液性 一次エッチング済みシャドーマスク用基材の小孔面に、
バーコーター＃１２を用いてエッチングレジストを塗工
したのち、５００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線または５Ｍｒａ
ｄの電子線を照射して硬化させた。得られた基板を６０
℃のエッチング液に３０分間浸漬した後、硬化レジスト
被膜の表面状態を目視にて観察した。 ○：変化なし。 △：着色あり。 ×：膨れ剥がれ等が
発生。
詳しく説明する。例中、「部」および「％」は、「重量
部」および「重量％」をそれぞれ表す。なお、硬化レジ
スト被膜の特性評価は以下の方法により行った。 （１）耐エッチング液性 一次エッチング済みシャドーマスク用基材の小孔面に、
バーコーター＃１２を用いてエッチングレジストを塗工
したのち、５００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線または５Ｍｒａ
ｄの電子線を照射して硬化させた。得られた基板を６０
℃のエッチング液に３０分間浸漬した後、硬化レジスト
被膜の表面状態を目視にて観察した。 ○：変化なし。 △：着色あり。 ×：膨れ剥がれ等が
発生。
【００１９】（２）レジスト被膜のエッチング液溶出性 厚さ２００μｍのＰＥＴフィルムに、アプリケーター２
ｍｉｌ．にてエッチングレジストを塗工し、５００ｍＪ
／ｃｍ2 の紫外線または５Ｍｒａｄの電子線を照射して
硬化させた。ＰＥＴフィルムから剥離した硬化レジスト
被膜０．５ｍｇを８０℃のエッチング液２０ｍｌ中に３
時間浸漬した後、被膜の重量減少率を測定した。
ｍｉｌ．にてエッチングレジストを塗工し、５００ｍＪ
／ｃｍ2 の紫外線または５Ｍｒａｄの電子線を照射して
硬化させた。ＰＥＴフィルムから剥離した硬化レジスト
被膜０．５ｍｇを８０℃のエッチング液２０ｍｌ中に３
時間浸漬した後、被膜の重量減少率を測定した。
【００２０】（３）アルカリ溶解・剥離性 耐エッチング液性評価を行った基板を９０℃の１０％水
酸化ナトリウム水溶液に３分間浸漬し、硬化レジスト被
膜の溶解性および剥離性を目視にて評価した。 ○：完全に溶解して剥離した。 △：溶解しないが剥離した。 ×：溶解も剥離もしなかった。
酸化ナトリウム水溶液に３分間浸漬し、硬化レジスト被
膜の溶解性および剥離性を目視にて評価した。 ○：完全に溶解して剥離した。 △：溶解しないが剥離した。 ×：溶解も剥離もしなかった。
【００２１】（４）酸価 １ｇのエッチングレジストを中和するのに必要な水酸化
カリウムの重量（ｍｇ）を次式により算出した。
カリウムの重量（ｍｇ）を次式により算出した。
【００２２】〔実施例１〜６及び比較例１〜５〕表１及
び表２に示す各成分を高速攪拌機にて混合しながら溶解
することにより活性エネルギー線硬化性エッチングレジ
ストを得た。
び表２に示す各成分を高速攪拌機にて混合しながら溶解
することにより活性エネルギー線硬化性エッチングレジ
ストを得た。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】＊１ 大阪有機化学工業（株）製 ２−ア
クリロイルオキシプロピルテトラヒドロフタレート ＊２ 大阪有機化学工業（株）製 ２−アクリロイルオ
キシプロピルヘキサヒドロフタレート ＊３ 共栄社油脂化学工業（株）製 ２−メタクリロイ
ロキシエチルヘキサヒドロキシフタル酸 ＊４ 日本化薬工業（株）製 トリメチロールプロパン
トリアクリレート ＊５ 日本化薬工業（株）製 ジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート ＊６ チバガイギー（株）製 １−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン ＊７ 東亞合成化学工業（株）製 ２−アクリロイロキ
シエチルフタル酸 ＊８ 東亞合成化学工業（株）製 ω−カルボキシ−ポ
リカプロラクトン（ｎ＝２）モノアクリレート ＊９ 共栄社油脂化学工業（株）製 ２−アクリロイル
オキシエチルコハク酸
クリロイルオキシプロピルテトラヒドロフタレート ＊２ 大阪有機化学工業（株）製 ２−アクリロイルオ
キシプロピルヘキサヒドロフタレート ＊３ 共栄社油脂化学工業（株）製 ２−メタクリロイ
ロキシエチルヘキサヒドロキシフタル酸 ＊４ 日本化薬工業（株）製 トリメチロールプロパン
トリアクリレート ＊５ 日本化薬工業（株）製 ジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート ＊６ チバガイギー（株）製 １−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン ＊７ 東亞合成化学工業（株）製 ２−アクリロイロキ
シエチルフタル酸 ＊８ 東亞合成化学工業（株）製 ω−カルボキシ−ポ
リカプロラクトン（ｎ＝２）モノアクリレート ＊９ 共栄社油脂化学工業（株）製 ２−アクリロイル
オキシエチルコハク酸
【００２６】
【発明の効果】本発明のエッチングレジストは、活性エ
ネルギー線の照射により容易かつ速やかに硬化し、アル
カリ溶解・剥離性を有する硬化物を形成するため、本発
明のエッチングレジストを用いることにより、良好なシ
ャドーマスクを得ることができるようになった。
ネルギー線の照射により容易かつ速やかに硬化し、アル
カリ溶解・剥離性を有する硬化物を形成するため、本発
明のエッチングレジストを用いることにより、良好なシ
ャドーマスクを得ることができるようになった。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｆ 7/028 Ｇ０３Ｆ 7/028 7/40 ５２１ 7/40 ５２１
Claims (4)
- 【請求項１】（ａ）カルボキシル基と、アクリロイル基
またはメタクリロイル基とを有する脂環式化合物、およ
び（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリレート化合物
を含むことを特徴とするシャドーマスク用活性エネルギ
ー線硬化性エッチングレジスト。 - 【請求項２】さらに、（ｃ）光重合開始剤を含むことを
特徴とする請求項１記載のエッチングレジスト。 - 【請求項３】酸価が５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇである
ことを特徴とする請求項１または２記載のエッチングレ
ジスト。 - 【請求項４】（ａ）脂環式化合物３０〜８０重量％およ
び（ｂ）他のアクリレートまたはメタクリレート化合物
７０〜２０重量％を含むことを特徴とする請求項１ない
し３いずれか１項に記載のエッチングレジスト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25032097A JPH1192963A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | シャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25032097A JPH1192963A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | シャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1192963A true JPH1192963A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=17206161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25032097A Pending JPH1192963A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | シャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1192963A (ja) |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP25032097A patent/JPH1192963A/ja active Pending
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