JPH0655794B2 - 紫外線硬化樹脂組成物 - Google Patents
紫外線硬化樹脂組成物Info
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- JPH0655794B2 JPH0655794B2 JP63067274A JP6727488A JPH0655794B2 JP H0655794 B2 JPH0655794 B2 JP H0655794B2 JP 63067274 A JP63067274 A JP 63067274A JP 6727488 A JP6727488 A JP 6727488A JP H0655794 B2 JPH0655794 B2 JP H0655794B2
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- JP
- Japan
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- acrylate
- meth
- resin composition
- curable resin
- etching
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は紫外線硬化樹脂組成物に関する。特に、硬化
性、皮膜硬度および耐エッチング液性に優れ、かつアル
カリ水溶液による剥離除去性に優れている紫外線硬化樹
脂組成物に関し、プリント配線板製造のためのエッチン
グレジストインキ用として好適のものである。
性、皮膜硬度および耐エッチング液性に優れ、かつアル
カリ水溶液による剥離除去性に優れている紫外線硬化樹
脂組成物に関し、プリント配線板製造のためのエッチン
グレジストインキ用として好適のものである。
[従来の技術] 最近の電子工業における進歩は材料の小型化、長寿命を
含めた高信頼性が要求されている。そのため、回路の配
線はパターン幅の細線化、高密度化を一層強く要求され
つつある。
含めた高信頼性が要求されている。そのため、回路の配
線はパターン幅の細線化、高密度化を一層強く要求され
つつある。
この様な分野の部品として銅張積層板も例外でない。こ
の銅張積層板は積層板の銅箔上にエッチングレジストイ
ンキを所望のパターン状に印刷した後、乾燥硬化あるい
は紫外線硬化させ、ついでこれをエッチング液に浸漬
し、不要部の銅箔を溶解除去してパターン形成させ、さ
らにそのレジスト皮膜をアルカリ水溶液または溶剤にて
剥離除去し、レジストパターンに対応した銅回路を形成
させたものである。
の銅張積層板は積層板の銅箔上にエッチングレジストイ
ンキを所望のパターン状に印刷した後、乾燥硬化あるい
は紫外線硬化させ、ついでこれをエッチング液に浸漬
し、不要部の銅箔を溶解除去してパターン形成させ、さ
らにそのレジスト皮膜をアルカリ水溶液または溶剤にて
剥離除去し、レジストパターンに対応した銅回路を形成
させたものである。
上記において、エッチングレジストインキを印刷する方
法としては、一般にスクリーン印刷またはオフセット印
刷などがあり、またエッチング液として塩化第二鉄水溶
液、塩化第二銅水溶液、過酸化水素と硫酸の混合水溶
液、過硫酸塩水溶液などが多用されている。
法としては、一般にスクリーン印刷またはオフセット印
刷などがあり、またエッチング液として塩化第二鉄水溶
液、塩化第二銅水溶液、過酸化水素と硫酸の混合水溶
液、過硫酸塩水溶液などが多用されている。
従来、溶剤型エッチングレジストインキをプリント配線
板の製造に使用する場合は、それを銅張積層板の銅箔上
にパターン状に印刷し、ついで加熱してレジストパター
ン皮膜を形成させ、続いて不要部の銅箔をエッチング液
にて除去し、さらにアルカリ水溶液にてレジスト皮膜を
剥離除去することによって銅回路を形成させ、プリント
配線板を製造している。
板の製造に使用する場合は、それを銅張積層板の銅箔上
にパターン状に印刷し、ついで加熱してレジストパター
ン皮膜を形成させ、続いて不要部の銅箔をエッチング液
にて除去し、さらにアルカリ水溶液にてレジスト皮膜を
剥離除去することによって銅回路を形成させ、プリント
配線板を製造している。
しかし、そのような溶剤型エッチングレジストインキは
スクリーン印刷版の目詰まりによるトラブルを起こしや
すく、また加熱乾燥にかなりの時間と多量の熱エネルギ
ーを必要とし、さらに環境汚染や引火の危険性などの問
題を含んでいる。
スクリーン印刷版の目詰まりによるトラブルを起こしや
すく、また加熱乾燥にかなりの時間と多量の熱エネルギ
ーを必要とし、さらに環境汚染や引火の危険性などの問
題を含んでいる。
上記のような溶剤型エッチングレジストインキにみられ
る欠点を改良するために、種々のレイジストインキが提
案されている。すなわち、紫外線硬化型エッチングレジ
ストインキを使用する場合は、それを用いて銅張積層板
の銅箔上に所定のパターンを印刷し、ついで加熱乾燥す
ることなく紫外線を照射し、レイジストパターン皮膜を
形成させ、続いてエッチング液にて銅箔を除去し、レジ
ストパターンに対応した銅回路を形成させ、更にアルカ
リ水溶液にてレジスト皮膜を剥離除去することによって
プリント配線板を得ている。
る欠点を改良するために、種々のレイジストインキが提
案されている。すなわち、紫外線硬化型エッチングレジ
ストインキを使用する場合は、それを用いて銅張積層板
の銅箔上に所定のパターンを印刷し、ついで加熱乾燥す
ることなく紫外線を照射し、レイジストパターン皮膜を
形成させ、続いてエッチング液にて銅箔を除去し、レジ
ストパターンに対応した銅回路を形成させ、更にアルカ
リ水溶液にてレジスト皮膜を剥離除去することによって
プリント配線板を得ている。
紫外線硬化型エッチングレジストインキとしては、例え
ば特開昭51−2503号公報に記載のように、ポリエ
ステル結合剤、ヒドロキシアルキルアクリレート、光重
合性単量体、カルボン酸、および光重合開始剤を含む組
成物でのインキ化がある。しかし、この組成物の場合ア
ルカリ剥離に要する時間は、従来の溶剤型エッチングレ
ジストインキの場合に比較して5〜10倍も長くかか
る。また、その剥離時間を短縮するためにカルボン酸の
添加量を増加させると塗膜の硬度が低下するなど実用上
の難点があった。
ば特開昭51−2503号公報に記載のように、ポリエ
ステル結合剤、ヒドロキシアルキルアクリレート、光重
合性単量体、カルボン酸、および光重合開始剤を含む組
成物でのインキ化がある。しかし、この組成物の場合ア
ルカリ剥離に要する時間は、従来の溶剤型エッチングレ
ジストインキの場合に比較して5〜10倍も長くかか
る。また、その剥離時間を短縮するためにカルボン酸の
添加量を増加させると塗膜の硬度が低下するなど実用上
の難点があった。
また、特開昭56−8417号公報には、カルボキシル
基またはカルボン酸無水物を有するバインダー用重合
体、光重合性単量体、光重合増感剤からなる、紫外線硬
化膜が水性アルカリ液に可溶な組成物が開示されてい
る。しかし、この組成物を使用してエッチングを行なう
と、廃液処理がきわめて困難であり、溶解した硬化膜の
回収を行なわねば廃棄できない問題があった。
基またはカルボン酸無水物を有するバインダー用重合
体、光重合性単量体、光重合増感剤からなる、紫外線硬
化膜が水性アルカリ液に可溶な組成物が開示されてい
る。しかし、この組成物を使用してエッチングを行なう
と、廃液処理がきわめて困難であり、溶解した硬化膜の
回収を行なわねば廃棄できない問題があった。
さらに、特開昭57−13444号では、ポリエステ
ル、多塩基酸(またはその無水物)のヒドロキシアルキ
ルアクリレート(またはメタクリレート)半エステル化
物、エチレン性不飽和結合を有するビニルモノマー、お
よび光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物が開示されて
いる。しかし、この組成物の場合は、塗膜の硬度が十分
でなく、エッチング液中での塗膜の軟化を生じ、工程中
の移送ロールとの接触によるレジスト面の損傷が予想さ
れ、これも実用上の問題を残していた。
ル、多塩基酸(またはその無水物)のヒドロキシアルキ
ルアクリレート(またはメタクリレート)半エステル化
物、エチレン性不飽和結合を有するビニルモノマー、お
よび光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物が開示されて
いる。しかし、この組成物の場合は、塗膜の硬度が十分
でなく、エッチング液中での塗膜の軟化を生じ、工程中
の移送ロールとの接触によるレジスト面の損傷が予想さ
れ、これも実用上の問題を残していた。
[発明が解決しようとする課題] 従来公知の紫外線硬化樹脂組成物は、既述のように、重
要な物性であるレジスト皮膜の紫外線硬化性、硬度、耐
エッチング液性、あるいはその剥離除去性などについて
実用上の難点を有していたが、本発明は従来問題となっ
ていたこれらの点をすべて刈除した優れた紫外線硬化樹
脂組成物を提供することにある。
要な物性であるレジスト皮膜の紫外線硬化性、硬度、耐
エッチング液性、あるいはその剥離除去性などについて
実用上の難点を有していたが、本発明は従来問題となっ
ていたこれらの点をすべて刈除した優れた紫外線硬化樹
脂組成物を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記の技術的課題を解決するために、本発明者らは次の
ような組成物が有効であることを見出し本発明を完成す
るに至った。
ような組成物が有効であることを見出し本発明を完成す
るに至った。
すなわち、本発明は(i)二塩基酸無水物とエポキシ樹
脂の(メタ)アクリル酸エステルとを反応させて得られ
るカルボキシエポキシアクリレート、(ii)二塩基酸無
水物とヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとの半
エステル化物、(iii)光重合性モノマーおよび、(i
v)光重合開始剤からなる樹脂組成物であって、該樹脂
組成物が紫外線照射によって硬化しかつ硬化皮膜が水性
アルカリ液による剥離除去性に優れていることを特徴と
する紫外線硬化樹脂組成物である。
脂の(メタ)アクリル酸エステルとを反応させて得られ
るカルボキシエポキシアクリレート、(ii)二塩基酸無
水物とヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとの半
エステル化物、(iii)光重合性モノマーおよび、(i
v)光重合開始剤からなる樹脂組成物であって、該樹脂
組成物が紫外線照射によって硬化しかつ硬化皮膜が水性
アルカリ液による剥離除去性に優れていることを特徴と
する紫外線硬化樹脂組成物である。
[発明の具体的な説明] ここで本発明の第1の成分(i)について説明する。エ
ポキシ樹脂の(メタ)アクリル酸エステルとは、例えば
ビスフェノールAにエピクロルヒドリンを作用させて得
たエポキシ樹脂(オリゴマー)に(メタ)アクリル酸を
反応させてエポキシ環を開いてアクリル酸エステルとし
た物であり、これに更に二塩基酸無水物を作用させて、
エポキシアクリレートの遊離の水酸基を半エステル化す
れば(i)の成分が得られる。
ポキシ樹脂の(メタ)アクリル酸エステルとは、例えば
ビスフェノールAにエピクロルヒドリンを作用させて得
たエポキシ樹脂(オリゴマー)に(メタ)アクリル酸を
反応させてエポキシ環を開いてアクリル酸エステルとし
た物であり、これに更に二塩基酸無水物を作用させて、
エポキシアクリレートの遊離の水酸基を半エステル化す
れば(i)の成分が得られる。
ここでエポキシ樹脂は上述の物の他、エピビスタイプ液
状エポキシ、例えばエピコート828、ビスFタイプ、
例えばエピクロン830、液状エポキシ、ダイマー酸変
性エポキシ、例えばエピコート872、871、ビスA
タイプ側鎖性エポキシ、例えば旭電化EP−4000、
ポリグリコール型ジグリシジルエーテル(DER−73
6)などがあげられる。また、(i)で言う二塩基酸無
水物としては、無水フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸無
水物、テトラヒドロフタル酸無水物、無水メチルナジツ
ク酸、無水コハク酸、無水マレイン酸などがあげられ
る。
状エポキシ、例えばエピコート828、ビスFタイプ、
例えばエピクロン830、液状エポキシ、ダイマー酸変
性エポキシ、例えばエピコート872、871、ビスA
タイプ側鎖性エポキシ、例えば旭電化EP−4000、
ポリグリコール型ジグリシジルエーテル(DER−73
6)などがあげられる。また、(i)で言う二塩基酸無
水物としては、無水フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸無
水物、テトラヒドロフタル酸無水物、無水メチルナジツ
ク酸、無水コハク酸、無水マレイン酸などがあげられ
る。
次に本発明の第2の成分の(ii)について説明する。こ
こで二塩基酸無水物は、(i)の多塩基酸無水物と同じ
である。
こで二塩基酸無水物は、(i)の多塩基酸無水物と同じ
である。
ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートは、2−ヒド
ロキシエチルアクリレートおよびメタクリレート[アク
リレートおよびメタクリレートの両者を(メタ)アクリ
レートと称する。]、2−ヒドロキシプロピル(メタ)
アクリレートなどであり、これらのアルコール基により
二塩基酸をモノエステルとしたものを半エステルと称
し、第2成分の(ii)の化合物である。
ロキシエチルアクリレートおよびメタクリレート[アク
リレートおよびメタクリレートの両者を(メタ)アクリ
レートと称する。]、2−ヒドロキシプロピル(メタ)
アクリレートなどであり、これらのアルコール基により
二塩基酸をモノエステルとしたものを半エステルと称
し、第2成分の(ii)の化合物である。
さらに本発明の第3成分の(iii)光重合性モノマーと
は、(メタ)アクリル酸、メチル(メタ)アクリレー
ト、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メ
タ)アクリレート、iso−プロピル(メタ)アクリレ
ート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘ
キシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリ
レート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキ
シル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)
アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、グリシ
ジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)ア
クリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒド
ロキシエチル(メタ)アクリロイルフォスフェート、テ
トラヒドロキシフルフリル(メタ)アクリレート、エチ
レングリコールモノ(メタ)アクリレート、エチルカル
ビトール(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、1,4−ブタンジオ−ルジ(メタ)
アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)ア
クリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリ
レート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレ
ート、o−ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチル
グリコールジ(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリ
ドンなどがあげられる。
は、(メタ)アクリル酸、メチル(メタ)アクリレー
ト、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メ
タ)アクリレート、iso−プロピル(メタ)アクリレ
ート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘ
キシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリ
レート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキ
シル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)
アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、グリシ
ジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)ア
クリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒド
ロキシエチル(メタ)アクリロイルフォスフェート、テ
トラヒドロキシフルフリル(メタ)アクリレート、エチ
レングリコールモノ(メタ)アクリレート、エチルカル
ビトール(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、1,4−ブタンジオ−ルジ(メタ)
アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)ア
クリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリ
レート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレ
ート、o−ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチル
グリコールジ(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリ
ドンなどがあげられる。
このような光重合性モノマー(iii)は、1種または2
種以上を任意の割合で混合して使用することができる。
種以上を任意の割合で混合して使用することができる。
さらに、本発明に使用される光重合開始剤(iv)として
は、公知の光重合開始剤を使用することができるが、紫
外線としての貯蔵安定性のよいものが望ましい。それら
の例として、ベンゾイン、ケンジル、ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイン−n
−プロピルエーテル、ベンゾイン−iso−プロピルエ
ーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾイン
−iso−ブチルエーテル、ベンゾフェノン、ジアセチ
ル、アセトフェノン、アントラキノン、2−エチルアン
トラキノン、2−クロロアントラキノン、ベンジルジメ
チルケタール、チオキサントン、2−クロロチオキサン
トン、2−メチルチオキサントン、1,4−iso−プ
ロピルフェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン
−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニ
ルプロパン−1−オンなどがあげられ、単独または併用
で使用される。
は、公知の光重合開始剤を使用することができるが、紫
外線としての貯蔵安定性のよいものが望ましい。それら
の例として、ベンゾイン、ケンジル、ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイン−n
−プロピルエーテル、ベンゾイン−iso−プロピルエ
ーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾイン
−iso−ブチルエーテル、ベンゾフェノン、ジアセチ
ル、アセトフェノン、アントラキノン、2−エチルアン
トラキノン、2−クロロアントラキノン、ベンジルジメ
チルケタール、チオキサントン、2−クロロチオキサン
トン、2−メチルチオキサントン、1,4−iso−プ
ロピルフェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン
−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニ
ルプロパン−1−オンなどがあげられ、単独または併用
で使用される。
なお、必要に応じでn−ブチルアミン、iso−ブチル
アミン、トリエチルアミン、ジエチルアミノエチルメタ
クリレート、ミヒラーケトン、ナトリウムジエチルチオ
フォスフェートなどを有効な増感剤として併用すること
が出来る。
アミン、トリエチルアミン、ジエチルアミノエチルメタ
クリレート、ミヒラーケトン、ナトリウムジエチルチオ
フォスフェートなどを有効な増感剤として併用すること
が出来る。
そして、これらの成分の使用割合は相当広範囲に変更で
きるが、例えば(i)成分30〜60wt%、好ましくは
35〜45wt%、(ii)成分20〜60wt%、好ましく
は25〜35wt%、(iii)成分10〜40wt%、好ま
しくは25〜35wt%、程度の組成が良い。
きるが、例えば(i)成分30〜60wt%、好ましくは
35〜45wt%、(ii)成分20〜60wt%、好ましく
は25〜35wt%、(iii)成分10〜40wt%、好ま
しくは25〜35wt%、程度の組成が良い。
さらに、この樹脂組成物に光重合開始剤を混合すれば本
願の紫外線硬化樹脂組成物となる。光重合開始剤は、
0.1〜10wt%の範囲で好適に使用される。
願の紫外線硬化樹脂組成物となる。光重合開始剤は、
0.1〜10wt%の範囲で好適に使用される。
本発明の紫外線硬化樹脂組成物をエッチングレジスト用
インキとして使用する場合は、印刷適性、画像の解像性
などをより向上させるため、本発明の樹脂組成物の特徴
を損なわない程度に、例えば消泡剤、粘度調節剤、熱重
合防止剤、着色剤といった物質をさらに加えることがで
きる。
インキとして使用する場合は、印刷適性、画像の解像性
などをより向上させるため、本発明の樹脂組成物の特徴
を損なわない程度に、例えば消泡剤、粘度調節剤、熱重
合防止剤、着色剤といった物質をさらに加えることがで
きる。
消泡剤としては、各種のシリコン系化合物など一般にス
クリーン印刷用インキで使用されている消泡剤が適宜使
用できる。これらの使用量は、通常0.005〜1重量
%の範囲で使われる。具体的に例示すれば信越シリコー
ン製オイル型消泡剤(KF96、K867)などがあ
り、また特にスクリーン印刷用に調整されたシリコン系
消泡剤(例えば村上スクリーン製)などがある。
クリーン印刷用インキで使用されている消泡剤が適宜使
用できる。これらの使用量は、通常0.005〜1重量
%の範囲で使われる。具体的に例示すれば信越シリコー
ン製オイル型消泡剤(KF96、K867)などがあ
り、また特にスクリーン印刷用に調整されたシリコン系
消泡剤(例えば村上スクリーン製)などがある。
また粘度調節剤としては、インキにチクソトロピー性を
付与するための例えばシリカ系化合物などが使用でき、
通常0.3〜10重量%の量が使われる。例えば日本ア
エロジル製アエロジル♯200などがある。
付与するための例えばシリカ系化合物などが使用でき、
通常0.3〜10重量%の量が使われる。例えば日本ア
エロジル製アエロジル♯200などがある。
熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシ
フェノール、2.6−ジ−tert−ブチル−p−クレ
ゾール、2.2−メチレンビス(4−エチル−6−te
rt−ブチルフェノール)、tert−プチルカテコー
ル、ピロガロール、β−ナフチルアミン、p−トルキノ
ン、トリフェニルフオスファイトなどが使用できる。
フェノール、2.6−ジ−tert−ブチル−p−クレ
ゾール、2.2−メチレンビス(4−エチル−6−te
rt−ブチルフェノール)、tert−プチルカテコー
ル、ピロガロール、β−ナフチルアミン、p−トルキノ
ン、トリフェニルフオスファイトなどが使用できる。
また着色剤としては、染料や有機、無機の各種顔料が適
宜使用できる。
宜使用できる。
本発明に係る紫外線硬化樹脂組成物を硬化させるさいに
使用される紫外線は、150〜500nmの波長、特に
300〜450nmの波長領域のものが有効であり、使
用される光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高
圧水銀灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプな
どが望ましい。
使用される紫外線は、150〜500nmの波長、特に
300〜450nmの波長領域のものが有効であり、使
用される光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高
圧水銀灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプな
どが望ましい。
また、本発明に係る、エッチングレジストインキとして
の紫外線硬化樹脂組成物は、それを構成する上記各成分
を三本ロールなどを用いて均一に混練して作成すれば良
い。
の紫外線硬化樹脂組成物は、それを構成する上記各成分
を三本ロールなどを用いて均一に混練して作成すれば良
い。
なお、各物質を混合するに当たってアセトン、メチルエ
チルケトン、塩化メチレン、二塩化エチレンなどの、低
沸点有機溶剤で、かつ樹脂組成物を溶解するような溶剤
を使用して、均一な溶液となし、しかる後、加熱や減圧
といった適当な方法で使用した溶剤を除去することによ
って本発明の樹脂組成物を調整することも可能である。
チルケトン、塩化メチレン、二塩化エチレンなどの、低
沸点有機溶剤で、かつ樹脂組成物を溶解するような溶剤
を使用して、均一な溶液となし、しかる後、加熱や減圧
といった適当な方法で使用した溶剤を除去することによ
って本発明の樹脂組成物を調整することも可能である。
[実施例] 以下実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
カルボキシエポキシアクリレートの合成(i) ビスフェノール型エポキシ樹脂(エピコート828)1
497部、アクリル酸576部、トリス(ジメチルアミ
ノメチル)フェノール10.4部、メチルハイドロキノ
ン1.28部を仕込、空気を吹き込みながら120〜1
30℃で2〜3時間反応すると酸価7のエポキシアクリ
レートが得られた。ついで無水マレイン酸784部を加
えて120℃で2時間反応を続けると赤外線吸収スペク
トルで1775cm-1および1840cm-1の酸無水物のピ
ークが消失した。これにより酸価136のカルボキシエ
ポキシアクリレートを得た。
497部、アクリル酸576部、トリス(ジメチルアミ
ノメチル)フェノール10.4部、メチルハイドロキノ
ン1.28部を仕込、空気を吹き込みながら120〜1
30℃で2〜3時間反応すると酸価7のエポキシアクリ
レートが得られた。ついで無水マレイン酸784部を加
えて120℃で2時間反応を続けると赤外線吸収スペク
トルで1775cm-1および1840cm-1の酸無水物のピ
ークが消失した。これにより酸価136のカルボキシエ
ポキシアクリレートを得た。
二塩基酸無水物のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレ
ート、との半エステル化物の合成(ii) 2ヒドロキシエチルアクリレート348部、テトラヒド
ロキシ無水フタール酸456部、ハイドロキノンモノメ
チルエーテル0.80部、トリス(ジメチルアミノメチ
ル)フェノール1.60部を仕込、空気を吹き込みなが
ら110〜130℃で2〜3時間反応することにより酸
価210のテトラヒドロキシフタール酸モノアクリロイ
ルヒドロキシエチルエステルを得た。
ート、との半エステル化物の合成(ii) 2ヒドロキシエチルアクリレート348部、テトラヒド
ロキシ無水フタール酸456部、ハイドロキノンモノメ
チルエーテル0.80部、トリス(ジメチルアミノメチ
ル)フェノール1.60部を仕込、空気を吹き込みなが
ら110〜130℃で2〜3時間反応することにより酸
価210のテトラヒドロキシフタール酸モノアクリロイ
ルヒドロキシエチルエステルを得た。
上記合成カルボキシエポキシアクリレート40部、テト
ラヒドロキシフタール酸モノアクリロイルヒドロキシエ
チルエステル30部、トリプロピレングリコールジアク
リレート20部、トリメチロールプロパントリアクリレ
ート10部および光硬化剤として2−ヒドロキシ−2−
メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン4部を配合
してエッチングレジストインキ用の樹脂組成物を得た。
ラヒドロキシフタール酸モノアクリロイルヒドロキシエ
チルエステル30部、トリプロピレングリコールジアク
リレート20部、トリメチロールプロパントリアクリレ
ート10部および光硬化剤として2−ヒドロキシ−2−
メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン4部を配合
してエッチングレジストインキ用の樹脂組成物を得た。
上記エッチングレジストインキ用樹脂組成物をバーコー
ターを用い銅板の表面に15μの厚さに塗布し、2KW
(80W/cm)高圧水銀灯を3秒照射した。得られたレ
ジスト皮膜は鉛筆硬度3H、密着性100/100であ
った。
ターを用い銅板の表面に15μの厚さに塗布し、2KW
(80W/cm)高圧水銀灯を3秒照射した。得られたレ
ジスト皮膜は鉛筆硬度3H、密着性100/100であ
った。
上記銅板を40℃の40%塩化第二鉄で3分間エッチン
グしたが、レジスト皮膜のはがれは生じなかった。その
後、その銅板を40℃の3%水酸化ナトリウム水溶液で
処理したところ、紫外線硬化皮膜は10秒で完全に剥離
した。
グしたが、レジスト皮膜のはがれは生じなかった。その
後、その銅板を40℃の3%水酸化ナトリウム水溶液で
処理したところ、紫外線硬化皮膜は10秒で完全に剥離
した。
[発明の効果] 本発明の樹脂組成物は、紫外線によって迅速な硬化、そ
れによって得られた硬度の高い皮膜、塩化第二鉄または
塩化第二銅等のエッチング液に対する耐久性も高く、そ
れにも拘らずアルカリ水溶液による速やかな剥離除去が
可能であるなど優れたフォトレジストとなる紫外線硬化
樹脂組成物を提供するものである。
れによって得られた硬度の高い皮膜、塩化第二鉄または
塩化第二銅等のエッチング液に対する耐久性も高く、そ
れにも拘らずアルカリ水溶液による速やかな剥離除去が
可能であるなど優れたフォトレジストとなる紫外線硬化
樹脂組成物を提供するものである。
Claims (4)
- 【請求項1】二塩基酸無水物とエポキシ樹脂の(メタ)
アクリル酸エステルとを反応させて得られるカルボキシ
エポキシアクリレート、 - 【請求項2】二塩基酸無水物とヒドロキシアルキル(メ
タ)アクリレートとの半エステル、 - 【請求項3】光重合性モノマーおよび
- 【請求項4】光重合開始剤 を含むことを特徴とする紫外線硬化樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067274A JPH0655794B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 紫外線硬化樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067274A JPH0655794B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 紫外線硬化樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01242609A JPH01242609A (ja) | 1989-09-27 |
| JPH0655794B2 true JPH0655794B2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=13340224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63067274A Expired - Lifetime JPH0655794B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 紫外線硬化樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0655794B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5070002A (en) * | 1988-09-13 | 1991-12-03 | Amp-Akzo Corporation | Photoimageable permanent resist |
| KR100417086B1 (ko) * | 1995-12-30 | 2004-06-23 | 고려화학 주식회사 | 열및자외선동시경화형수지를이용한도막조성물 |
| KR19980061682A (ko) * | 1996-12-31 | 1998-10-07 | 김충세 | 열 및 자외선 동시경화형 수지를 이용한 도막 조성물 |
| KR101215459B1 (ko) | 2008-03-27 | 2012-12-26 | 도쿄 프린팅 잉크 엠에프지. 캄파니 리미티드 | 에칭 레지스트용 잉크젯 잉크 조성물 |
| JP5255307B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2013-08-07 | 日新製鋼株式会社 | エッチングレジスト用インクジェットインキ組成物 |
| CN102617416A (zh) * | 2012-03-14 | 2012-08-01 | 北京化工大学 | 高折光率耐热双酚s环氧(甲基)丙烯酸酯及其合成方法 |
| CN104293116B (zh) * | 2014-09-22 | 2016-08-10 | 南京航空航天大学 | 一种光固化三维打印材料及其制备方法与应用 |
| WO2022133680A1 (zh) * | 2020-12-21 | 2022-06-30 | 张佩嫦 | 一种uv固化低粘度聚酯及其制备方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5930809A (ja) * | 1982-08-11 | 1984-02-18 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光硬化性材料 |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP63067274A patent/JPH0655794B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01242609A (ja) | 1989-09-27 |
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