JPS58102152A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS58102152A JPS58102152A JP56200819A JP20081981A JPS58102152A JP S58102152 A JPS58102152 A JP S58102152A JP 56200819 A JP56200819 A JP 56200819A JP 20081981 A JP20081981 A JP 20081981A JP S58102152 A JPS58102152 A JP S58102152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- rotary drum
- ultrasonic
- parallel
- sample stand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02854—Length, thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波顕微−に関する−ので、特にその走査繭
重の改良に関するものである・従来の超音波−微鏡の走
査は、ボイスコイルによる往復移動と、モータによるＩ
［線移動との組合わせにより、試料上を１ＩｊｉｉＦ波
の微小スｌットが第１図に一例を示すようにラスター状
に走査するものである。第１図において、試料ｌの上方
にトランスジューサおよび音響レンズより成る超音波送
受素子邸を配置し、駆動軸δを介してラウドスピーカと
同じ機構より成るボイスコイル曇すなわちＸ方向駆動装
置と連結し、超音波送受素子畠をＸ方向に高速往復移動
をさせるようにする。また、試料ｌを保持する試料台６
に設けたｙ方向移動機構Ｃ例えばリード・スクリュー等
による４１ＩＩＩＩ）によりＸ方向に低速移動させて超
音波による二次元走査を行なっている。
重の改良に関するものである・従来の超音波−微鏡の走
査は、ボイスコイルによる往復移動と、モータによるＩ
［線移動との組合わせにより、試料上を１ＩｊｉｉＦ波
の微小スｌットが第１図に一例を示すようにラスター状
に走査するものである。第１図において、試料ｌの上方
にトランスジューサおよび音響レンズより成る超音波送
受素子邸を配置し、駆動軸δを介してラウドスピーカと
同じ機構より成るボイスコイル曇すなわちＸ方向駆動装
置と連結し、超音波送受素子畠をＸ方向に高速往復移動
をさせるようにする。また、試料ｌを保持する試料台６
に設けたｙ方向移動機構Ｃ例えばリード・スクリュー等
による４１ＩＩＩＩ）によりＸ方向に低速移動させて超
音波による二次元走査を行なっている。
走査においては、超音波ビームが最小に絞られる位置に
試料が配置されねばならない。すなわち、面の走査にお
いて、最小の超音波ビー＾が作る平面と、試料の試料面
が平行にならなければならない。そのため試料台６とし
ては、Ｘ、ｙｆ）ｊ方向に間して面の平行度を出すこと
が可能な部材が用いられている。そして最小の超音波ビ
ームの作る面と、試料１を平行にするためには、滝壷を
繰返し、層像に表われる干渉縞を減少さすように、試料
台６を調整し、干渉縞が表われなくなった時点で、はじ
めて試料１の平面性がとれることになっていた。この試
料台６のｌＩｌｌｍｌは非常に手間がかかり、試料ｌが
傾自をもっている場合は、仁の平面性を出すための調整
に大中の観察時間を使うと一つ欠点があった。
試料が配置されねばならない。すなわち、面の走査にお
いて、最小の超音波ビー＾が作る平面と、試料の試料面
が平行にならなければならない。そのため試料台６とし
ては、Ｘ、ｙｆ）ｊ方向に間して面の平行度を出すこと
が可能な部材が用いられている。そして最小の超音波ビ
ームの作る面と、試料１を平行にするためには、滝壷を
繰返し、層像に表われる干渉縞を減少さすように、試料
台６を調整し、干渉縞が表われなくなった時点で、はじ
めて試料１の平面性がとれることになっていた。この試
料台６のｌＩｌｌｍｌは非常に手間がかかり、試料ｌが
傾自をもっている場合は、仁の平面性を出すための調整
に大中の観察時間を使うと一つ欠点があった。
本発明は上記の欠点を解消し、超音波−微鏡に関して、
超音波が最小に絞られる面と、試料平面とｅ容易に平行
にする装置を提供することを目的とするものである０ 本発明は第１の方向に延在する軸１ｍおよびこれとほば
直交する第８の方向に延在する軸線を制心として揺動ａ
Ｉ能な試料台と、仁の試料台を前記第１および＠Ｓの方
向にそれぞれ変位させる駆動手段と、前記試料台に増肉
して互いにｌ１１関して配置した少く共８個のギャップ
センサとな具見、これらギャップセンサの出力に基いて
前記試料台が平行となるように前記駆動手段を制御する
ようＷ成したことｆ：検値とするものである。
超音波が最小に絞られる面と、試料平面とｅ容易に平行
にする装置を提供することを目的とするものである０ 本発明は第１の方向に延在する軸１ｍおよびこれとほば
直交する第８の方向に延在する軸線を制心として揺動ａ
Ｉ能な試料台と、仁の試料台を前記第１および＠Ｓの方
向にそれぞれ変位させる駆動手段と、前記試料台に増肉
して互いにｌ１１関して配置した少く共８個のギャップ
センサとな具見、これらギャップセンサの出力に基いて
前記試料台が平行となるように前記駆動手段を制御する
ようＷ成したことｆ：検値とするものである。
以下図−をＪｌ照して不発明をＩｌ＃細に説明する。
第ｉｖ！Ｊは本発明の超音波顕微鏡の走査装置の−・実
施例を示すＭＡ図的斜視図である。この走査装置では、
モータ１１を駆動軸１！ｌを介して回転ドラム１８に連
結し、回転ドラム１８の内には図示しない超音波送受素
子の直線往復移動部材があり、この部材の直線往復移動
と回転ドラム１８の回転移動の組会わせにより、試料１
４の平面上を超音波ビームがスパイラル状に走査するも
のである。
施例を示すＭＡ図的斜視図である。この走査装置では、
モータ１１を駆動軸１！ｌを介して回転ドラム１８に連
結し、回転ドラム１８の内には図示しない超音波送受素
子の直線往復移動部材があり、この部材の直線往復移動
と回転ドラム１８の回転移動の組会わせにより、試料１
４の平面上を超音波ビームがスパイラル状に走査するも
のである。
この走査装置において、回転ドラム１８の底面は、超音
波送受素子からの超音波ビームの最小スポットが走査の
際に作るであろう平面と平行である。従って、この回転
ドラム１δの底面と、観察しようとする試料１４の面、
あるーは試料１４に傾禽が無い場合には、試料台１５の
面とを平行にすれば、走査において、超音波ビームの最
小スポットが試料１４の面に平行な面を走査することに
なる。試料１４を載置する試料台ＩＩは、Ｘ方向に延在
する軸線を中心として揺動する第１部材と、ｙ方向に延
在する軸線を中心として揺動する第２部材と、固定部に
取付けられたＩＩＩＩａ部材とを以って構成する。
波送受素子からの超音波ビームの最小スポットが走査の
際に作るであろう平面と平行である。従って、この回転
ドラム１δの底面と、観察しようとする試料１４の面、
あるーは試料１４に傾禽が無い場合には、試料台１５の
面とを平行にすれば、走査において、超音波ビームの最
小スポットが試料１４の面に平行な面を走査することに
なる。試料１４を載置する試料台ＩＩは、Ｘ方向に延在
する軸線を中心として揺動する第１部材と、ｙ方向に延
在する軸線を中心として揺動する第２部材と、固定部に
取付けられたＩＩＩＩａ部材とを以って構成する。
・ 回転ドラム１８の底面と試料台１５上に保持された
試料１４の面を平行にするため、回転ドラム１８の底面
にその回転の中心に関して４個のギャップセンサ１６，
１丁、１１１．１９が対称の位置に配設されている。こ
のうちギャップセンサ１６１’ＦはＸ方向に関する平面
性を、ギャップセンサ１８．１９はｙ方向に関する平面
性を検出するものである。比較器ｇｏはギャップセンサ
１６゜１７に接続されその出力を比較し、比較＃１ｇ１
はギャップセンサ１８．１９に接＆ｅされその出力を比
較するもので、比較器ｉｌＯは試料台１ｓの第３部材１
５０に取付けられ、第８部材Ｉｌｂを揺動させる駆［！
ｉ装ｇｇに、同様に比較＃２１は試料台ｉｓのｇｇｇ材
１１ｓｂに取付けられ、ｊ１１部材１５ａをｌ１ｉＩＩ
Ｉさせる駆動装＠ｇａに接続されている。回転ドラム１
８内の超音波送受素子からの超音波ビームの最小スポッ
トが走査の際つくるであろう平面と回転ドラム１８の底
面の平行は、Ｘ方向については、ギャップセンサ１６．
１１により回転ドラム１８の底面と試料１４ｔでの距−
に関する一出力を、比較器ｇｏで比較し、出力が同一に
なる、すなわち用層が２点において等しくなるようＸ方
向に関する駆動装置ｇ２を制御する。また、同様にｙ方
向についてはギャップセンナ１８゜１９、比較器２１に
よりｙ方向に関する駆動装置８８を制御する。
試料１４の面を平行にするため、回転ドラム１８の底面
にその回転の中心に関して４個のギャップセンサ１６，
１丁、１１１．１９が対称の位置に配設されている。こ
のうちギャップセンサ１６１’ＦはＸ方向に関する平面
性を、ギャップセンサ１８．１９はｙ方向に関する平面
性を検出するものである。比較器ｇｏはギャップセンサ
１６゜１７に接続されその出力を比較し、比較＃１ｇ１
はギャップセンサ１８．１９に接＆ｅされその出力を比
較するもので、比較器ｉｌＯは試料台１ｓの第３部材１
５０に取付けられ、第８部材Ｉｌｂを揺動させる駆［！
ｉ装ｇｇに、同様に比較＃２１は試料台ｉｓのｇｇｇ材
１１ｓｂに取付けられ、ｊ１１部材１５ａをｌ１ｉＩＩ
Ｉさせる駆動装＠ｇａに接続されている。回転ドラム１
８内の超音波送受素子からの超音波ビームの最小スポッ
トが走査の際つくるであろう平面と回転ドラム１８の底
面の平行は、Ｘ方向については、ギャップセンサ１６．
１１により回転ドラム１８の底面と試料１４ｔでの距−
に関する一出力を、比較器ｇｏで比較し、出力が同一に
なる、すなわち用層が２点において等しくなるようＸ方
向に関する駆動装置ｇ２を制御する。また、同様にｙ方
向についてはギャップセンナ１８゜１９、比較器２１に
よりｙ方向に関する駆動装置８８を制御する。
以上説明したように４発明によれば、走査する以前にお
いて、超音波ビームの最小スーットが走査の際に作るで
あろう走査平面と、試料面と【平行にすることが可能と
なり、従来のように、何度−走査を行なって試料面を平
行にする観察調整等のＩＩＩＩａな手間を省略できる。
いて、超音波ビームの最小スーットが走査の際に作るで
あろう走査平面と、試料面と【平行にすることが可能と
なり、従来のように、何度−走査を行なって試料面を平
行にする観察調整等のＩＩＩＩａな手間を省略できる。
なお、本発明は前述の実施例にＩｉＩ定されるもつでな
く幾多の変形や変更がＩＩＩＴ Ｉ！である。例えばス
パイラル状の走査によらないボイスコイルによるラスタ
走査装置の場合でも用いることがで自る。
く幾多の変形や変更がＩＩＩＴ Ｉ！である。例えばス
パイラル状の走査によらないボイスコイルによるラスタ
走査装置の場合でも用いることがで自る。
第１鴎は一来の超音波Ｓｔ＊鏡の走査ｆＩＩ置の一例の
４１図的！Ｉｌ視図、 第２図は本発明の超音波ｇｉ徽鏡の走査装置の−実施例
の線図的斜視図である。 １１・・・モータ、 ｌｓ・・・駆動軸、１８・
・・回転ドラム、 １４・・・試料、１６・・・試料
台、 ｉｉａ・・・試料台の第１部材、 １１ｉｂ・・・試料台の第８部材、 １６０・・・試料台の第８部材、 １８．１１．１８．１９・・・ギャップセンサ、１０．
１１・・・比較−５”ａｓ、ｓａ・・・駆動装置。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第璽図 ／
４１図的！Ｉｌ視図、 第２図は本発明の超音波ｇｉ徽鏡の走査装置の−実施例
の線図的斜視図である。 １１・・・モータ、 ｌｓ・・・駆動軸、１８・
・・回転ドラム、 １４・・・試料、１６・・・試料
台、 ｉｉａ・・・試料台の第１部材、 １１ｉｂ・・・試料台の第８部材、 １６０・・・試料台の第８部材、 １８．１１．１８．１９・・・ギャップセンサ、１０．
１１・・・比較−５”ａｓ、ｓａ・・・駆動装置。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第璽図 ／
Claims (1)
- Ｌ 第１の方向に延在する軸纏およびこれとはげ直交す
る嬉８の方向に延在する軸線を中心として揺動ＦｉＩｗ
ｉｔな試料台と、この試料台を前記第１および第１の方
向にそれぞれ変位させる駆動手段と、前配賦科白に対向
して互いに１関して配置した少く共８個のギャップセン
ナとを具え、これらギャップセンサの出力に基−で前記
試料台が平行となるように前記駆動手段を１ＩｌＩ−す
るよう簿成したことを９Ｉ黴とする超音波ｍ＊鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200819A JPS58102152A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200819A JPS58102152A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58102152A true JPS58102152A (ja) | 1983-06-17 |
| JPH0140952B2 JPH0140952B2 (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=16430723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56200819A Granted JPS58102152A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58102152A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62255864A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-07 | Olympus Optical Co Ltd | 自動傾斜調整試料台 |
| JP2007212387A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Seiko Instruments Inc | 薄切片作製装置及び薄切片作製方法 |
| JP2009271049A (ja) * | 2004-01-22 | 2009-11-19 | Sakura Finetex Usa Inc | マルチ軸ワークピースチャック |
| DE102016211126A1 (de) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Messeinrichtung für flächige Proben und Verfahren zum Messen |
-
1981
- 1981-12-15 JP JP56200819A patent/JPS58102152A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62255864A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-07 | Olympus Optical Co Ltd | 自動傾斜調整試料台 |
| JP2009271049A (ja) * | 2004-01-22 | 2009-11-19 | Sakura Finetex Usa Inc | マルチ軸ワークピースチャック |
| JP2007212387A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Seiko Instruments Inc | 薄切片作製装置及び薄切片作製方法 |
| DE102016211126A1 (de) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Messeinrichtung für flächige Proben und Verfahren zum Messen |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0140952B2 (ja) | 1989-09-01 |
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