JPH0140952B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0140952B2 JPH0140952B2 JP56200819A JP20081981A JPH0140952B2 JP H0140952 B2 JPH0140952 B2 JP H0140952B2 JP 56200819 A JP56200819 A JP 56200819A JP 20081981 A JP20081981 A JP 20081981A JP H0140952 B2 JPH0140952 B2 JP H0140952B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- scanning
- ultrasonic
- parallel
- ultrasonic beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 3
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02854—Length, thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波顕微鏡に関するもので、特にそ
の走査装置の改良に関するものである。
の走査装置の改良に関するものである。
従来の超音波顕微鏡の走査は、ボイスコイルに
よる往復移動と、モータによる直線移動との組合
わせにより、試料上を超音波の微小スポツトが第
１図に一例を示すようにラスター状に走査するも
のである。第１図において、試料１の上方にトラ
ンスジユーサおよび音響レンズより成る超音波送
受素子２を配置し、駆動軸３を介してラウドスピ
ーカと同じ機構より成るボイスコイル４すなわち
ｘ方向駆動装置と連結し、超音波送受素子２をＸ
方向に高速往復移動をさせるようにする。また、
試料１を保持する試料台５に設けたｙ方向移動機
構（例えばリード・スクリユー等による機構）に
よりｙ方向に低速移動させて超音波によ二次元走
査を行なつている。
よる往復移動と、モータによる直線移動との組合
わせにより、試料上を超音波の微小スポツトが第
１図に一例を示すようにラスター状に走査するも
のである。第１図において、試料１の上方にトラ
ンスジユーサおよび音響レンズより成る超音波送
受素子２を配置し、駆動軸３を介してラウドスピ
ーカと同じ機構より成るボイスコイル４すなわち
ｘ方向駆動装置と連結し、超音波送受素子２をＸ
方向に高速往復移動をさせるようにする。また、
試料１を保持する試料台５に設けたｙ方向移動機
構（例えばリード・スクリユー等による機構）に
よりｙ方向に低速移動させて超音波によ二次元走
査を行なつている。
走査においては、超音波ビームが最小に絞られ
る位置に試料が配置されねばならない。すなわ
ち、面の走査において、最小の超音波ビームが作
る平面と、試料の試料面が平行にならなければな
らない。そのため試料台５としては、ｘ，ｙの２
方向に関して面の平行度を出すことが可能な部材
が用いられている。そして最小の超音波ビームの
作る面と、試料１を平行にするためには、走査を
繰返し、画像に表われる干渉縞を減少さすよう
に、試料台５を調整し、干渉縞が表われなくなつ
た時点で、はじめて試料１の平面性がとれること
になつていた。この試料台５の調整は非常に手間
がかかり、試料１が傾きをもつている場合は、こ
の平面性を出すための調整に大半の観察時間を使
うという欠点があつた。
る位置に試料が配置されねばならない。すなわ
ち、面の走査において、最小の超音波ビームが作
る平面と、試料の試料面が平行にならなければな
らない。そのため試料台５としては、ｘ，ｙの２
方向に関して面の平行度を出すことが可能な部材
が用いられている。そして最小の超音波ビームの
作る面と、試料１を平行にするためには、走査を
繰返し、画像に表われる干渉縞を減少さすよう
に、試料台５を調整し、干渉縞が表われなくなつ
た時点で、はじめて試料１の平面性がとれること
になつていた。この試料台５の調整は非常に手間
がかかり、試料１が傾きをもつている場合は、こ
の平面性を出すための調整に大半の観察時間を使
うという欠点があつた。
本発明は上記の欠点を解消し、超音波顕微鏡に
関して、超音波が最小に絞られる面と、試料平面
とを容易に平行にする装置を提供することを目的
とするものである。
関して、超音波が最小に絞られる面と、試料平面
とを容易に平行にする装置を提供することを目的
とするものである。
本発明は第１の方向に延在する軸線およびこれ
とほぼ直交する第２の方向に延在する軸線を中心
として揺動可能な試料台と、この試料台を前記第
１および第２の方向をそれぞれ軸として揺動させ
る駆動手段と、前記試料台表面に対向し、互いに
離間するとともに超音波ビームの走査面に対して
固定的に配置した少く共３個のギヤツプセンサと
を具え、これらギヤツプセンサの出力に基いて超
音波ビームの走査面に対して試料台が平行となる
ように前記駆動手段を制御するよう構成したこと
を特徴とするものである。
とほぼ直交する第２の方向に延在する軸線を中心
として揺動可能な試料台と、この試料台を前記第
１および第２の方向をそれぞれ軸として揺動させ
る駆動手段と、前記試料台表面に対向し、互いに
離間するとともに超音波ビームの走査面に対して
固定的に配置した少く共３個のギヤツプセンサと
を具え、これらギヤツプセンサの出力に基いて超
音波ビームの走査面に対して試料台が平行となる
ように前記駆動手段を制御するよう構成したこと
を特徴とするものである。
以下図面を参照して本発明を詳細に説明する。
第２図は本発明の超音波顕微鏡の走査装置の一
実施例を示す線図的斜視図である。この走査装置
では、モータ１１を駆動軸１２を介して回転ドラ
ム１３に連結し、回転ドラム１３の内には図示し
ない超音波送受素子の直線往復移動部材があり、
この部材の直線往復移動と回転ドラム１３の回転
移動の組合わせにより、試料１４の平面上を超音
波ビームがスパイラル状に走査するものである。
実施例を示す線図的斜視図である。この走査装置
では、モータ１１を駆動軸１２を介して回転ドラ
ム１３に連結し、回転ドラム１３の内には図示し
ない超音波送受素子の直線往復移動部材があり、
この部材の直線往復移動と回転ドラム１３の回転
移動の組合わせにより、試料１４の平面上を超音
波ビームがスパイラル状に走査するものである。
この走査装置において、回転ドラム１３の底面
は、超音波送受素子からの超音波ビームの最小ス
ポツトが走査の際に作るであろう平面と平行であ
る。従つて、この回転ドラム１３の底面と、観察
しようとする試料１４の面、あるいは試料１４に
傾きが無い場合には、試料台１５の表面とを平行
にすれば。、走査において、超音波ビームの最小
スポツトが試料１４の面に平行な面を走査するこ
とになる。試料１４を載置する試料台１５は、ｘ
方向に延在する軸線を中心として揺動する第１部
材と、ｙ方向に延在する軸線を中心として揺動す
る第２部材と、固定部に取付けられた第３部材と
を以つて構成する。
は、超音波送受素子からの超音波ビームの最小ス
ポツトが走査の際に作るであろう平面と平行であ
る。従つて、この回転ドラム１３の底面と、観察
しようとする試料１４の面、あるいは試料１４に
傾きが無い場合には、試料台１５の表面とを平行
にすれば。、走査において、超音波ビームの最小
スポツトが試料１４の面に平行な面を走査するこ
とになる。試料１４を載置する試料台１５は、ｘ
方向に延在する軸線を中心として揺動する第１部
材と、ｙ方向に延在する軸線を中心として揺動す
る第２部材と、固定部に取付けられた第３部材と
を以つて構成する。
回転ドラム１３の底面と試料１５上に保持され
た試料１４の面を平行にするため、回転ドラム１
３の底面にその回転の中心に関して４個のギヤツ
プセンサ１６，１７，１８，１９が対称の位置に
配設されている。このうちギヤツプセンサ１６，
１７はｘ方向に関する平面性を、ギヤツプセンサ
１８，１９はｙ方向に関する平面性を検出するも
のである。比較器２０はギヤツプセンサ１６，１
７に接続されその出力を比較し、比較器２１はギ
ヤツプセンサ１８，１９に接続されその出力を比
較するもので、比較器２０は試料台１５の第３部
材１５ｃに取付けられ、第２部材１５ｂを揺動さ
せる駆動装置２２に、同様に比較器２１は試料台
１５の第２部材１５ｂに取付けられ、第１部材１
５ａを揺動させる駆動装置２３に接続されてい
る。回転ドラム１３内の超音波送受素子からの超
音波ビームの最小スポツトが走査の際つくるであ
ろう走査面と試料台１５上に載置された試料１４
の表面とは、ｘ方向については、ギヤツプセンサ
１６，１７により、回転ドラム１３の底面と試料
１４までの距離に関する出力を、比較器２０で比
較し、出力が同一になる、すなわち距離が２点に
おいて等しくなるようｘ方向に関する駆動装置２
２を制御することにより平行とすることができ、
また、同様にｙ方向についてはギヤツプセンサ１
８，１９、比較器２１によりｙ方向に関する駆動
装置２３を制御することにより平行とすることが
できる。
た試料１４の面を平行にするため、回転ドラム１
３の底面にその回転の中心に関して４個のギヤツ
プセンサ１６，１７，１８，１９が対称の位置に
配設されている。このうちギヤツプセンサ１６，
１７はｘ方向に関する平面性を、ギヤツプセンサ
１８，１９はｙ方向に関する平面性を検出するも
のである。比較器２０はギヤツプセンサ１６，１
７に接続されその出力を比較し、比較器２１はギ
ヤツプセンサ１８，１９に接続されその出力を比
較するもので、比較器２０は試料台１５の第３部
材１５ｃに取付けられ、第２部材１５ｂを揺動さ
せる駆動装置２２に、同様に比較器２１は試料台
１５の第２部材１５ｂに取付けられ、第１部材１
５ａを揺動させる駆動装置２３に接続されてい
る。回転ドラム１３内の超音波送受素子からの超
音波ビームの最小スポツトが走査の際つくるであ
ろう走査面と試料台１５上に載置された試料１４
の表面とは、ｘ方向については、ギヤツプセンサ
１６，１７により、回転ドラム１３の底面と試料
１４までの距離に関する出力を、比較器２０で比
較し、出力が同一になる、すなわち距離が２点に
おいて等しくなるようｘ方向に関する駆動装置２
２を制御することにより平行とすることができ、
また、同様にｙ方向についてはギヤツプセンサ１
８，１９、比較器２１によりｙ方向に関する駆動
装置２３を制御することにより平行とすることが
できる。
以上説明したように本発明によれば、走査する
以前において、超音波ビームの最小スポツトが走
査の際に作るであろう走査平面と、試料面とを平
行にすることが可能となり、従来のように、何度
も走査を行なつて試料面を平行にする観察調整等
の繁雑な手間を省略できる。
以前において、超音波ビームの最小スポツトが走
査の際に作るであろう走査平面と、試料面とを平
行にすることが可能となり、従来のように、何度
も走査を行なつて試料面を平行にする観察調整等
の繁雑な手間を省略できる。
なお、本発明は前述の実施例に限定されるもの
でなく幾多の変形や変更が可能である。例えばス
パイラル状の走査によらないボイスコイルによる
ラスタ走査装置の場合でも用いることができる。
でなく幾多の変形や変更が可能である。例えばス
パイラル状の走査によらないボイスコイルによる
ラスタ走査装置の場合でも用いることができる。
第１図は従来の超音波顕微鏡の走査装置の一例
の線図的斜視図、第２図は本発明の超音波顕微鏡
の走査装置の一実施例の線図的斜視図である。 １１…モータ、１２…駆動軸、１３…回転ドラ
ム、１４…試料、１５…試料台、１５ａ…試料台
の第１部材、１５ｂ…試料台の第２部材、１５ｃ
…試料台の第３部材、１６，１７，１８，１９…
ギヤツプセンサ、２０，２１…比較器、２２，２
３…駆動装置。
の線図的斜視図、第２図は本発明の超音波顕微鏡
の走査装置の一実施例の線図的斜視図である。 １１…モータ、１２…駆動軸、１３…回転ドラ
ム、１４…試料、１５…試料台、１５ａ…試料台
の第１部材、１５ｂ…試料台の第２部材、１５ｃ
…試料台の第３部材、１６，１７，１８，１９…
ギヤツプセンサ、２０，２１…比較器、２２，２
３…駆動装置。
Claims (1)
- １ 第１の方向に延在する軸線およびこれとほぼ
直交する第２の方向に延在する軸線を中心として
揺動可能な試料台と、この試料台を前記第１およ
び第２の方向をそれぞれ軸として揺動させる駆動
手段と、前記試料台の表面に対向し、互いに離間
するとともに超音波ビームの走査面に対して固定
的に配置した少く共３個のギヤツプセンサとを具
え、これらギヤツプセンサの出力に基いて超音波
ビームの走査面に対して前記試料台表面に載置さ
れた試料の表面が平行となるように前記駆動手段
を制御するよう構成したことを特徴とする超音波
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200819A JPS58102152A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200819A JPS58102152A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58102152A JPS58102152A (ja) | 1983-06-17 |
| JPH0140952B2 true JPH0140952B2 (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=16430723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56200819A Granted JPS58102152A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58102152A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0711511B2 (ja) * | 1986-04-28 | 1995-02-08 | オリンパス光学工業株式会社 | 自動傾斜調整試料台 |
| US7168694B2 (en) * | 2004-01-22 | 2007-01-30 | Sakura Finetek U.S.A., Inc. | Multi-axis workpiece chuck |
| JP4789111B2 (ja) * | 2006-02-13 | 2011-10-12 | セイコーインスツル株式会社 | 薄切片作製装置及び薄切片作製方法 |
| DE102016211126A1 (de) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Messeinrichtung für flächige Proben und Verfahren zum Messen |
-
1981
- 1981-12-15 JP JP56200819A patent/JPS58102152A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58102152A (ja) | 1983-06-17 |
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