JPS58103751A - 電子ビ−ム集束レンズ装置 - Google Patents
電子ビ−ム集束レンズ装置Info
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- JPS58103751A JPS58103751A JP56201614A JP20161481A JPS58103751A JP S58103751 A JPS58103751 A JP S58103751A JP 56201614 A JP56201614 A JP 56201614A JP 20161481 A JP20161481 A JP 20161481A JP S58103751 A JPS58103751 A JP S58103751A
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- approximately
- electron beam
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
- H01J29/58—Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
- H01J29/62—Electrostatic lenses
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J29/48—Electron guns
- H01J29/488—Schematic arrangements of the electrodes for beam forming; Place and form of the elecrodes
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- H01J29/62—Electrostatic lenses
- H01J29/622—Electrostatic lenses producing fields exhibiting symmetry of revolution
Landscapes
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子ビームを集束するための静電集束電界を
形成する電子ビーム集束レンズ装置、特に撮像管やブラ
ウン管等に用いて好適な静電集束レンズ装置に関する。
形成する電子ビーム集束レンズ装置、特に撮像管やブラ
ウン管等に用いて好適な静電集束レンズ装置に関する。
電子ビーム集束レンズ装置の理解を容易ならしめるため
に、従来のこの種装置を静電集束型撮像管を例と［２て
とりあげ、第１図を用いて説明する。
に、従来のこの種装置を静電集束型撮像管を例と［２て
とりあげ、第１図を用いて説明する。
静電集束型撮像管においては、集束レンズによって細く
しぼりこんだ電子ビームで光導電膜を走査することによ
り光信号を電気信号に変換している。したがって、撮像
管の解像度は主に細くしばりこんだ電子ビームのスポッ
ト径で決まる。
しぼりこんだ電子ビームで光導電膜を走査することによ
り光信号を電気信号に変換している。したがって、撮像
管の解像度は主に細くしばりこんだ電子ビームのスポッ
ト径で決まる。
静電集束型撮像管の電子銃は一般に２つの基本的部分、
すなわち電子ビーム発生部と、電子ビーム集束レンズ（
主レンズ）をそなえている。第１図は静電集束型撮像管
の断面図である。図において、１は真空容器、２は陰極
、３はグリッドＧ１１４は加速用グリッドＧ２であり、
陰極２、グリッド３及び加速用グリッド４により電子ビ
ーム発生部である３極部１４を構成している。５，６．
７は電子ビーム集束レンズ（主レンズ）を形成する円筒
状電極、９はメツシュ電極であり、電極５゜６．７及び
メツシュ電極９により主レンズ部１５を構成している。
すなわち電子ビーム発生部と、電子ビーム集束レンズ（
主レンズ）をそなえている。第１図は静電集束型撮像管
の断面図である。図において、１は真空容器、２は陰極
、３はグリッドＧ１１４は加速用グリッドＧ２であり、
陰極２、グリッド３及び加速用グリッド４により電子ビ
ーム発生部である３極部１４を構成している。５，６．
７は電子ビーム集束レンズ（主レンズ）を形成する円筒
状電極、９はメツシュ電極であり、電極５゜６．７及び
メツシュ電極９により主レンズ部１５を構成している。
１０は光導電膜であり、１３は撮像管外部に配置された
偏向コイルである。陰極２より出た電子ビームは３極部
１４で形成されるレンズによす集束し、一度クロスオー
バーを作った後、加速グリッド４に設けられたビーム制
限孔８を通過Ｌ、１１で示した軌道のごとく電極５゜６
．７により形成される集束レンズ（主レンズ）で集束す
る。同時に外部に設けた偏向コイル１３の磁場で１２で
示した軌道のごとく偏向し光導電膜１０を走査する。さ
らに電極７とメツシュ電極９とで形成されるコリメーシ
ョンレンズによりｉ向した電子ビームを光導電膜１０へ
垂直にランディングするようにしている。通常 撮像管
においては、電極５とメツシュ電極９は電気的に接続さ
れ、両電極に例えば１４００Ｖ程度の高電位が与えられ
る。電極６には例えば２５０ｖ程度の低電位が、電極７
には電極６と電極９の電位の間の電位例えば７７０ｖ程
度の電位が与えられる。しだがって、一般の静電集束型
撮像管においては、電極５，６，７．９でユニポテンシ
ャル型レンズを形成しているが、ビーム制限孔８を通過
した電子ビームは主に電極５，６．７で形成される集束
レンズによって集束され、光導電膜１０上でほぼ最小ス
ポットになる。
偏向コイルである。陰極２より出た電子ビームは３極部
１４で形成されるレンズによす集束し、一度クロスオー
バーを作った後、加速グリッド４に設けられたビーム制
限孔８を通過Ｌ、１１で示した軌道のごとく電極５゜６
．７により形成される集束レンズ（主レンズ）で集束す
る。同時に外部に設けた偏向コイル１３の磁場で１２で
示した軌道のごとく偏向し光導電膜１０を走査する。さ
らに電極７とメツシュ電極９とで形成されるコリメーシ
ョンレンズによりｉ向した電子ビームを光導電膜１０へ
垂直にランディングするようにしている。通常 撮像管
においては、電極５とメツシュ電極９は電気的に接続さ
れ、両電極に例えば１４００Ｖ程度の高電位が与えられ
る。電極６には例えば２５０ｖ程度の低電位が、電極７
には電極６と電極９の電位の間の電位例えば７７０ｖ程
度の電位が与えられる。しだがって、一般の静電集束型
撮像管においては、電極５，６，７．９でユニポテンシ
ャル型レンズを形成しているが、ビーム制限孔８を通過
した電子ビームは主に電極５，６．７で形成される集束
レンズによって集束され、光導電膜１０上でほぼ最小ス
ポットになる。
従来、この種の電子ビーム集束レンズとしてよく使われ
るものに、ユニポテンシャル型レンズやパイポテンシャ
ル型レンズがある。第２図（イ）、（ロ）に代表的ユニ
ポテンシャル型レンズ及び代表的パイポテンシャル型レ
ンズの断面構造と軸方向の軸上電位分布φ 及びレンズ
の集束作用に関係する軸上電位の軸方向に関する２階微
分分布φ″を示した。撮像管やブラウン管などの解像度
は、主に集束した電子ビームのスポット径で決まる。ビ
ームスポット径を小さくするには、集束レンズ（主レン
ズ）の球面収差をできるだけ抑える必要がある。
るものに、ユニポテンシャル型レンズやパイポテンシャ
ル型レンズがある。第２図（イ）、（ロ）に代表的ユニ
ポテンシャル型レンズ及び代表的パイポテンシャル型レ
ンズの断面構造と軸方向の軸上電位分布φ 及びレンズ
の集束作用に関係する軸上電位の軸方向に関する２階微
分分布φ″を示した。撮像管やブラウン管などの解像度
は、主に集束した電子ビームのスポット径で決まる。ビ
ームスポット径を小さくするには、集束レンズ（主レン
ズ）の球面収差をできるだけ抑える必要がある。
しかし、電子銃集束レンズとして用いられる従来の静電
レンズでは球面収差が大きいという欠点があった。この
球面収差を低減するために、ブラッカーは１９７６年に
、軸上電位分布の変化をなめらかにして、軸上電位が小
さい領域でその２階微分値をできるだけ小さく保持すれ
ば球面収差を抑圧することができるという思想に基づき
、ＥＦＬ（Ｅｘｔｅｎｄｅｄ Ｆｉｅｌｄ Ｌｅｎｓ）
を発表している（詳細は特開昭５１−７６０７２を参照
のこと）。第３図にＥＦＬの断面構造と軸上電位分布φ
及びその２階微分分布φ“を示した。ＥＦＬは第３図に
示したごとく、少くとも３つの円筒電極（図では４つの
円筒電極）をつき合わせた構造をしている。
レンズでは球面収差が大きいという欠点があった。この
球面収差を低減するために、ブラッカーは１９７６年に
、軸上電位分布の変化をなめらかにして、軸上電位が小
さい領域でその２階微分値をできるだけ小さく保持すれ
ば球面収差を抑圧することができるという思想に基づき
、ＥＦＬ（Ｅｘｔｅｎｄｅｄ Ｆｉｅｌｄ Ｌｅｎｓ）
を発表している（詳細は特開昭５１−７６０７２を参照
のこと）。第３図にＥＦＬの断面構造と軸上電位分布φ
及びその２階微分分布φ“を示した。ＥＦＬは第３図に
示したごとく、少くとも３つの円筒電極（図では４つの
円筒電極）をつき合わせた構造をしている。
本発明の目的は、球面収差を低減し、ビームスポット特
性を向上し得る電子ビーム集束レンズ装置を提供するこ
とにある。
性を向上し得る電子ビーム集束レンズ装置を提供するこ
とにある。
集束した電子ビームの最小スポットはレンズの球面収差
によって有限な径（以下これを最小錯乱円径とよぶ）を
もつ。ビーム最小スポットの半径は、「電子光学」（裏
克己者、井守全書、１９７９年）の６２ページに記さ
れているようにＬＭ ＣｓαＳで表わされる。ここで、
Ｍは像倍率、ＣＢは球面収差係数、αはビーム入射角で
ある。
によって有限な径（以下これを最小錯乱円径とよぶ）を
もつ。ビーム最小スポットの半径は、「電子光学」（裏
克己者、井守全書、１９７９年）の６２ページに記さ
れているようにＬＭ ＣｓαＳで表わされる。ここで、
Ｍは像倍率、ＣＢは球面収差係数、αはビーム入射角で
ある。
したがって、最小錯乱円径Ｄｃは、
である。よって、（１）式から０８を小さくすればビー
ムスポット径を小さくできることが分る。また、球面収
差係数Ｃｓは同書の７８ページに記されているように次
式で表される。
ムスポット径を小さくできることが分る。また、球面収
差係数Ｃｓは同書の７８ページに記されているように次
式で表される。
−ＳＳ“）Ｈ’ （Ｚ） ｄＺ ・・・（２）φ（
Ｚ）：軸上電位 Ｚ ：軸方向座標 Ｚｏ ＝レンズ入口位置 Ｚｌ ：レンズ出口位置 φ。 ：Ｚ＝ｚｏにおける軸上電位 ［’ｌ：Ｚによる微分 を表わし、Ｈ（Ｚ）は電子の軌道としてＺに対する＋１
ｌｌＩ＋からの距離を示すもののうち、初期条件Ｈ（Ｚ
Ｏ）−〇、ｌ−１’ （Ｚ、 ） ＝ １を満たすもの
である。本発明者らは、静電集束レンズの軸上電位分布
について低電、位置では軸上の電位変化をゆるやかに、
高電位側では軸上の電位変化を急峻にすれば球面収差を
低減できることに着目し、第４図に示すように静電集束
レンズを構成する電極のうち、高電位側電極の低電位側
電極と対向する端面に平円板電極を設けることにより電
位変化を高電位側において急峻にした。第４図において
１６は低電位側円筒状電極、１７は高電位側円筒状電極
、１８は平円板電極である。この構造において（１）式
を使って球面収差係数Ｃｓを求めたところ、高電位側電
極１７の内径ａに対する平円板電極１８の開孔径すの比
が０．８以下であれば、第２図（ロ）に示したような同
一内径をもつ２つの円筒をつき合わせた従来のパイポテ
ンシャル型レンズに比べて０８を小さくできた。さらに
本発明者らは第５図に示したごとく、高電位側型、極１
７の円板構造１９について周までの間でふくらみを設け
、ふくらみのピークを外周と開孔の間のほぼ中間におき
、徐々にふくらみを低電位側電極の方向へ向けて増加し
ていったとき、それぞれについて（１）式を使って球面
収差係数Ｃｓを求めた。第５図においてｌけふくらみの
ピークにおける軸方向の最大ふくらみ長、ｄけ円板構造
１９の外周から開孔縁までの半径方向距離であり、第６
図にそのときのｔ／ｄとＣｓの関係を示した。第６図に
示したごとく、最大ふくらみ長ｔと外周開孔間距離ｄの
比が０．２〜０．３で球面収差係数ＣＢは極小になり、
そのときの値は、第４図に示した平円板電極構造（最大
ふくらみ長１＝０の状態）に比して約１６％小さくなる
ことが分った。したがって、第６図より外周開孔間距離
に対する比が０５以下であれば、従来の平円板電極構造
より球面収差を小さくすることができる。
Ｚ）：軸上電位 Ｚ ：軸方向座標 Ｚｏ ＝レンズ入口位置 Ｚｌ ：レンズ出口位置 φ。 ：Ｚ＝ｚｏにおける軸上電位 ［’ｌ：Ｚによる微分 を表わし、Ｈ（Ｚ）は電子の軌道としてＺに対する＋１
ｌｌＩ＋からの距離を示すもののうち、初期条件Ｈ（Ｚ
Ｏ）−〇、ｌ−１’ （Ｚ、 ） ＝ １を満たすもの
である。本発明者らは、静電集束レンズの軸上電位分布
について低電、位置では軸上の電位変化をゆるやかに、
高電位側では軸上の電位変化を急峻にすれば球面収差を
低減できることに着目し、第４図に示すように静電集束
レンズを構成する電極のうち、高電位側電極の低電位側
電極と対向する端面に平円板電極を設けることにより電
位変化を高電位側において急峻にした。第４図において
１６は低電位側円筒状電極、１７は高電位側円筒状電極
、１８は平円板電極である。この構造において（１）式
を使って球面収差係数Ｃｓを求めたところ、高電位側電
極１７の内径ａに対する平円板電極１８の開孔径すの比
が０．８以下であれば、第２図（ロ）に示したような同
一内径をもつ２つの円筒をつき合わせた従来のパイポテ
ンシャル型レンズに比べて０８を小さくできた。さらに
本発明者らは第５図に示したごとく、高電位側型、極１
７の円板構造１９について周までの間でふくらみを設け
、ふくらみのピークを外周と開孔の間のほぼ中間におき
、徐々にふくらみを低電位側電極の方向へ向けて増加し
ていったとき、それぞれについて（１）式を使って球面
収差係数Ｃｓを求めた。第５図においてｌけふくらみの
ピークにおける軸方向の最大ふくらみ長、ｄけ円板構造
１９の外周から開孔縁までの半径方向距離であり、第６
図にそのときのｔ／ｄとＣｓの関係を示した。第６図に
示したごとく、最大ふくらみ長ｔと外周開孔間距離ｄの
比が０．２〜０．３で球面収差係数ＣＢは極小になり、
そのときの値は、第４図に示した平円板電極構造（最大
ふくらみ長１＝０の状態）に比して約１６％小さくなる
ことが分った。したがって、第６図より外周開孔間距離
に対する比が０５以下であれば、従来の平円板電極構造
より球面収差を小さくすることができる。
以下、本発明を実施例にしたがい詳細に説明する。
第７図は一般の電子銃集束レンズとして用いられる本発
明による集束レンズ装置の一実施例の要部の断面を示ｊ
〜、少くとも２つの軸対称な円筒状電極すなわち低電位
（Ｖｔ、ｏ）側電極２０、高電位（ＶＨ＋ ）側電極２
１より構成される。電極２１は低電位側型Ｗ１２０との
対向面に低電位側電極に向かってふくらみをもった円板
構造２２を有し、その中心には市、子ビームの通り道で
ある開孔を設けである。第７図の２３は本発明による新
規な電停構造をもつ集束レンズの等電位線分布を示］２
、第８図に上記集束レンズの軸上電位分布φ及びその軸
方向に関する２階微分φ″の分布を示した。箇８図から
本発明の集束レンズによる軸上電位分布φは、低電位（
ＶＬＱ）から、２階微分φ″が正の傾きをもっている範
囲ではゆるやかに変化し、２階微分φ″が負の傾きをも
つ範囲では１＠、峻に変化し、単調に高電位（Ｖ旧）に
上昇していることが分る。
明による集束レンズ装置の一実施例の要部の断面を示ｊ
〜、少くとも２つの軸対称な円筒状電極すなわち低電位
（Ｖｔ、ｏ）側電極２０、高電位（ＶＨ＋ ）側電極２
１より構成される。電極２１は低電位側型Ｗ１２０との
対向面に低電位側電極に向かってふくらみをもった円板
構造２２を有し、その中心には市、子ビームの通り道で
ある開孔を設けである。第７図の２３は本発明による新
規な電停構造をもつ集束レンズの等電位線分布を示］２
、第８図に上記集束レンズの軸上電位分布φ及びその軸
方向に関する２階微分φ″の分布を示した。箇８図から
本発明の集束レンズによる軸上電位分布φは、低電位（
ＶＬＱ）から、２階微分φ″が正の傾きをもっている範
囲ではゆるやかに変化し、２階微分φ″が負の傾きをも
つ範囲では１＠、峻に変化し、単調に高電位（Ｖ旧）に
上昇していることが分る。
第７図において、各電極の具体的寸法の一例は電極２０
の円筒形部分の内径約１１ｍｍ、円錐台形部分の軸方向
の長さ約２＃、電極最大内径約１２關であり、電極２１
の円筒形部分の内径約１２ｍｍ。
の円筒形部分の内径約１１ｍｍ、円錐台形部分の軸方向
の長さ約２＃、電極最大内径約１２關であり、電極２１
の円筒形部分の内径約１２ｍｍ。
（９）
円板構造２２の軸方向のふくらみのピークは中心軸上よ
り約４朋の位置にあり、最大ふくらみ長は約１ｗｎであ
る。したがって、円板構造２２の軸方向のふくらみのピ
ークは、高電位側Ｎ極２１の内側の半径に対し、中心軸
上より約６５％の位置にあり、上記ふくらみのピークに
おける庵大ふくらみ長は円板構造２２の外周開孔間の半
径方向距離の約２５％、開孔径は高電位側電極２１の内
径の約３３％である。本電極構造において電極２１の電
位に対する電極２０の電１位の比を約０．１にしたとき
、中心軸上の物点（電子の出発点）を軸方向に移動して
像倍率Ｍを変化して軌道計算を行い、（２）式を使って
ＤｃＯ値から０８を求めた。第９図はこのときの像倍率
Ｍと球面収差係数Ｃｓの関係を示したものである。第９
図には、比較のため従来の代表的集束レンズとして同一
内径をもつ２つの円筒をつき合わせた従来のパイポテン
シャル型レンズについての同一動作条件での値も示した
。
り約４朋の位置にあり、最大ふくらみ長は約１ｗｎであ
る。したがって、円板構造２２の軸方向のふくらみのピ
ークは、高電位側Ｎ極２１の内側の半径に対し、中心軸
上より約６５％の位置にあり、上記ふくらみのピークに
おける庵大ふくらみ長は円板構造２２の外周開孔間の半
径方向距離の約２５％、開孔径は高電位側電極２１の内
径の約３３％である。本電極構造において電極２１の電
位に対する電極２０の電１位の比を約０．１にしたとき
、中心軸上の物点（電子の出発点）を軸方向に移動して
像倍率Ｍを変化して軌道計算を行い、（２）式を使って
ＤｃＯ値から０８を求めた。第９図はこのときの像倍率
Ｍと球面収差係数Ｃｓの関係を示したものである。第９
図には、比較のため従来の代表的集束レンズとして同一
内径をもつ２つの円筒をつき合わせた従来のパイポテン
シャル型レンズについての同一動作条件での値も示した
。
図において、９１が本発明の場合、９２が従来例の場合
を示す。図から、本発明による集束レンズ（１０） は、従来の円筒つき合わせパイポテンシャル型レンズに
比べて、球面収差を大幅に抑えられることが分る。
を示す。図から、本発明による集束レンズ（１０） は、従来の円筒つき合わせパイポテンシャル型レンズに
比べて、球面収差を大幅に抑えられることが分る。
さらに、本発明のその他の実施例として、３つの電極２
４，２５．２６を用いた例を第１０図に示す。本実施例
は、撮像管主レンズ部に本発明集束レンズ装置を適用し
たものである。第１０図は本発明による撮像管のメツシ
ュ電極までの電極構造の断面図であり、第１図と同一の
符号は同一部分を表わす。撮像管の動作説明は第１図を
使って行ったのでここでは省略する。図の構造の好まし
い実施例では、電極２４の電位は電極２６の電位の約１
０％であり、電極２５には、電極２４と電極２６の電位
の中間の電位が与えられる。
４，２５．２６を用いた例を第１０図に示す。本実施例
は、撮像管主レンズ部に本発明集束レンズ装置を適用し
たものである。第１０図は本発明による撮像管のメツシ
ュ電極までの電極構造の断面図であり、第１図と同一の
符号は同一部分を表わす。撮像管の動作説明は第１図を
使って行ったのでここでは省略する。図の構造の好まし
い実施例では、電極２４の電位は電極２６の電位の約１
０％であり、電極２５には、電極２４と電極２６の電位
の中間の電位が与えられる。
第１０図に示した集束レンズの構造をさらに詳しく説明
する。電極２４の内径約１０脳、軸方向の長さ約２７胴
、電極２５の内径約１２調、軸方向の長さ約５聴、電極
２６の内径約１２ｍｍ、軸方向の長さ約２６朋であり、
円板構造２７の軸方向のふくらみ約０．５ ｍｍでふく
らみのピークは中心軸（１１） 上から約５閣のところにあり、開孔径は電子ビームの偏
向軌道をしゃ断しないように４ｍｍ開けである。主レン
ズ部全長は約６３朋であり、従来の約７６麿に比べ約１
７％短くなり、従来管と比較して管全長を短くできるこ
とがもう一つの特徴である。
する。電極２４の内径約１０脳、軸方向の長さ約２７胴
、電極２５の内径約１２調、軸方向の長さ約５聴、電極
２６の内径約１２ｍｍ、軸方向の長さ約２６朋であり、
円板構造２７の軸方向のふくらみ約０．５ ｍｍでふく
らみのピークは中心軸（１１） 上から約５閣のところにあり、開孔径は電子ビームの偏
向軌道をしゃ断しないように４ｍｍ開けである。主レン
ズ部全長は約６３朋であり、従来の約７６麿に比べ約１
７％短くなり、従来管と比較して管全長を短くできるこ
とがもう一つの特徴である。
本実施例の撮像管では従来管と比較するための条件とし
て像倍率及び電子ビームの角度倍率を従来管と同一にな
るようにしている。これは、熱陰極から放出される電子
の熱エネルギーによるビームスポットの拡がりを従来管
と同一にするためである。また、ビーム偏向時のスポッ
ト径も従来管と同一になるように偏向コイルの位置を規
定した。
て像倍率及び電子ビームの角度倍率を従来管と同一にな
るようにしている。これは、熱陰極から放出される電子
の熱エネルギーによるビームスポットの拡がりを従来管
と同一にするためである。また、ビーム偏向時のスポッ
ト径も従来管と同一になるように偏向コイルの位置を規
定した。
第１１図にこの構造について軌道計算を行い、最小錯乱
円径を求め、従来管と比較して示した。図において、９
３が本発明を適用した撮像管の場合を示し、９４が従来
管の場合を示す。ビーム制限孔８からのビームの入射角
が１度のとき、本発明の構造を用いた撮像管では、球面
収差によるスポット径、すなわち最小錯乱円径は１．３
μｍであり、（１２） 従来の２３μｍに比べ約１／２になっている。さらに、
第１２図には本発明を適用した撮像管について実測した
画面中心の解像度（４００ＴＶ本の縦縞パターンに対す
る振幅変調度）を従来管と比較して示した。図において
、９５が本発明を適用した撮像管の場合を示し、９６が
従来管の場合を示す。この図に示したように、ビーム電
流が０４μＡ（２倍ビーム設定）のとき、画面中心にお
ける振幅変調度は、従来の４７％から５２％と約１割向
上できることを確認した。
円径を求め、従来管と比較して示した。図において、９
３が本発明を適用した撮像管の場合を示し、９４が従来
管の場合を示す。ビーム制限孔８からのビームの入射角
が１度のとき、本発明の構造を用いた撮像管では、球面
収差によるスポット径、すなわち最小錯乱円径は１．３
μｍであり、（１２） 従来の２３μｍに比べ約１／２になっている。さらに、
第１２図には本発明を適用した撮像管について実測した
画面中心の解像度（４００ＴＶ本の縦縞パターンに対す
る振幅変調度）を従来管と比較して示した。図において
、９５が本発明を適用した撮像管の場合を示し、９６が
従来管の場合を示す。この図に示したように、ビーム電
流が０４μＡ（２倍ビーム設定）のとき、画面中心にお
ける振幅変調度は、従来の４７％から５２％と約１割向
上できることを確認した。
以、ト、本発明の集束レンズ電極構造によれば、従来の
代表的円筒つき合わせＢＰＦ型レンズに比べ球面収差を
大幅に低減でき、さらに撮像管主レンズに適用した場合
の例では、球面収差を従来の約１／２に抑えることがで
き、解像度を向上させることができる。
代表的円筒つき合わせＢＰＦ型レンズに比べ球面収差を
大幅に低減でき、さらに撮像管主レンズに適用した場合
の例では、球面収差を従来の約１／２に抑えることがで
き、解像度を向上させることができる。
以上、説明した本発明の集束レンズ装置は、撮像管に限
らずその他の電子銃の低球面収差を与えるレンズとして
その効果は絶大である。
らずその他の電子銃の低球面収差を与えるレンズとして
その効果は絶大である。
（１３）
第１図は従来の静電集束型撮像管の断面図、第２図（イ
）、（ロ）はユニポテンシャル及びパイポテンシャル型
レンズの構造を示す断面図とそれぞれの軸上電位分布及
びその軸方向に対する２階微分分布を示す図、第３図は
ＥＦ”Ｌの構造を示す断面図と軸上電位分布及びその軸
方向に対する２階微分分布を示す図、第４図は平円板電
極構造を示す断面図、第５図はふくらみを有した円板構
造を示す断面図、第６図は円板構造の外周開孔間距離に
対する最大ふくらみ長の比と球面収差係数の関係を示す
図、第７図は本発明の一実施例の断面図とその等電位線
分布を示す図、第８図は本発明集束レンズによる軸上電
位分布及びその軸方向に対する２階微分分布を示す図、
第９図は本発明集束レンズにおける像倍率と球面収差係
数との関係を従来の円筒つき合わせパイポテンシャル型
レンズと比較して示す図、第１０図は本発明の集束レン
ズを用いた撮像管の電極構造を示す断面図、第１１図は
本発明を適用した撮像管についてビーム入射角に対する
最小錯乱円径の関係を従来管と比較して示（１４） した図、第１２図は本発明を適用した撮像管についてビ
ーム電流に対する４００ＴＶ本の縦縞パターンにおける
振幅変調度の関係を従来管と比較して示した図である。 １・・・真空容器、２・・・陰極、３・・・グリッドＧ
４．４・・・グリッドＧ２、ピ・・・ビーム制限孔、９
・・・メツシュ電極、１０・・・光導電膜、１１・・・
電子ビーム軌道、１２・・・偏向した電子ビーム軌道、
１３・・・偏向コイル、１６・・・低電位側電極、１７
・・・高電位側電極、１８・・・平円板電極、２４・・
・低電位側電極、２５・・・中間電位電極、２６・・・
高電位側電極、１９，２２゜２７・・・円板構造。 代理人 弁理士 薄田利幸 （１５） １２図 （イ） （ロ） 葛３図 ■ ４ 図 η ５ 図 ％ ６ 図 カ人シ、く５み長！りＬ周へｉ子ＬＩ”、’１７鴎庄ｊ
第 ７ 図 蕉３図 佃方Ｉ？；′Ｉ伎置− 爾 １１ 図 ヒ″−４入射角皮Ｇ饗ノ 葛 ＩＺ 図 こ’−ｃ ＦＩｉＪ：糺（）Ａ）
）、（ロ）はユニポテンシャル及びパイポテンシャル型
レンズの構造を示す断面図とそれぞれの軸上電位分布及
びその軸方向に対する２階微分分布を示す図、第３図は
ＥＦ”Ｌの構造を示す断面図と軸上電位分布及びその軸
方向に対する２階微分分布を示す図、第４図は平円板電
極構造を示す断面図、第５図はふくらみを有した円板構
造を示す断面図、第６図は円板構造の外周開孔間距離に
対する最大ふくらみ長の比と球面収差係数の関係を示す
図、第７図は本発明の一実施例の断面図とその等電位線
分布を示す図、第８図は本発明集束レンズによる軸上電
位分布及びその軸方向に対する２階微分分布を示す図、
第９図は本発明集束レンズにおける像倍率と球面収差係
数との関係を従来の円筒つき合わせパイポテンシャル型
レンズと比較して示す図、第１０図は本発明の集束レン
ズを用いた撮像管の電極構造を示す断面図、第１１図は
本発明を適用した撮像管についてビーム入射角に対する
最小錯乱円径の関係を従来管と比較して示（１４） した図、第１２図は本発明を適用した撮像管についてビ
ーム電流に対する４００ＴＶ本の縦縞パターンにおける
振幅変調度の関係を従来管と比較して示した図である。 １・・・真空容器、２・・・陰極、３・・・グリッドＧ
４．４・・・グリッドＧ２、ピ・・・ビーム制限孔、９
・・・メツシュ電極、１０・・・光導電膜、１１・・・
電子ビーム軌道、１２・・・偏向した電子ビーム軌道、
１３・・・偏向コイル、１６・・・低電位側電極、１７
・・・高電位側電極、１８・・・平円板電極、２４・・
・低電位側電極、２５・・・中間電位電極、２６・・・
高電位側電極、１９，２２゜２７・・・円板構造。 代理人 弁理士 薄田利幸 （１５） １２図 （イ） （ロ） 葛３図 ■ ４ 図 η ５ 図 ％ ６ 図 カ人シ、く５み長！りＬ周へｉ子ＬＩ”、’１７鴎庄ｊ
第 ７ 図 蕉３図 佃方Ｉ？；′Ｉ伎置− 爾 １１ 図 ヒ″−４入射角皮Ｇ饗ノ 葛 ＩＺ 図 こ’−ｃ ＦＩｉＪ：糺（）Ａ）
Claims (1)
- ■、静電集束電界を形成するだめの電子ビーム集束レン
ズ装置において、少くとも２つ以−トの電極からなり、
上記電極のうち少くとも、最も高電位である電極が低電
位の電極に対向する端面に開孔をもった円板構造を具備
し、上記円板構造は低電位の電極の方向に向かってその
中心軸から外周までの間でふくらみを有していることを
特徴とする電子ビーム集束レンズ装置１．２、上記円板
構造の開孔径ば、上記高電位電極の内径に対する比が０
．８以下であり、上記ふくらみのピークは、上記円板構
造の外周から上記開孔の縁までの間のほぼ中間に位置す
ると共に上記ふくらみのピークにおける軸方向の最大ふ
くらみ長は、上記円板構造の外周から上記開孔の縁まで
の半径方向の距離に対する比が０．５以下であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子ビーム集束
レンズ装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56201614A JPS58103751A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 電子ビ−ム集束レンズ装置 |
| KR8205409A KR860000938B1 (ko) | 1981-12-16 | 1982-12-02 | 전자비임 집속 렌즈 장치 |
| US06/449,198 US4560899A (en) | 1981-12-16 | 1982-12-13 | Electron beam focusing lens |
| EP82111575A EP0081839B1 (en) | 1981-12-16 | 1982-12-14 | Electron beam focusing lens |
| DE8282111575T DE3279258D1 (en) | 1981-12-16 | 1982-12-14 | Electron beam focusing lens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56201614A JPS58103751A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 電子ビ−ム集束レンズ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58103751A true JPS58103751A (ja) | 1983-06-20 |
Family
ID=16443973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56201614A Pending JPS58103751A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 電子ビ−ム集束レンズ装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4560899A (ja) |
| EP (1) | EP0081839B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58103751A (ja) |
| KR (1) | KR860000938B1 (ja) |
| DE (1) | DE3279258D1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148242A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-24 | Matsushita Electronics Corp | 受像管装置 |
| US6270390B1 (en) * | 1996-04-11 | 2001-08-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for making electron gun |
| KR20000063278A (ko) * | 2000-06-16 | 2000-11-06 | 최병조 | 수처리 방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3090882A (en) * | 1960-04-13 | 1963-05-21 | Rca Corp | Electron gun |
| FR1309662A (fr) * | 1961-01-04 | 1962-11-16 | Thomson Houston Comp Francaise | Perfectionnements apportés aux canons à électrons |
| US3193721A (en) * | 1961-08-15 | 1965-07-06 | Tokyo Shibaura Electric Co | Image magnification varying means for photoelectronic image devices |
| NL7809345A (nl) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | Philips Nv | Kathodestraalbuis. |
| JPS55121254A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | Focusing lens of electron gun for cathode-ray tube |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP56201614A patent/JPS58103751A/ja active Pending
-
1982
- 1982-12-02 KR KR8205409A patent/KR860000938B1/ko not_active Expired
- 1982-12-13 US US06/449,198 patent/US4560899A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-12-14 EP EP82111575A patent/EP0081839B1/en not_active Expired
- 1982-12-14 DE DE8282111575T patent/DE3279258D1/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4560899A (en) | 1985-12-24 |
| KR860000938B1 (ko) | 1986-07-19 |
| KR840003142A (ko) | 1984-08-13 |
| EP0081839A3 (en) | 1984-04-25 |
| EP0081839A2 (en) | 1983-06-22 |
| DE3279258D1 (en) | 1989-01-05 |
| EP0081839B1 (en) | 1988-11-30 |
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