JPS58111182U - レ−ザ−光を用いた刻線装置 - Google Patents
レ−ザ−光を用いた刻線装置Info
- Publication number
- JPS58111182U JPS58111182U JP1982008861U JP886182U JPS58111182U JP S58111182 U JPS58111182 U JP S58111182U JP 1982008861 U JP1982008861 U JP 1982008861U JP 886182 U JP886182 U JP 886182U JP S58111182 U JPS58111182 U JP S58111182U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- current coil
- magnet
- plate
- photoresist film
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の正面図。
・１・・・・・・感光面、２・・・・・・板、３・・・
・・・移動台、４゜１４・・・・・・コーイル、５，１
５・・・・・・磁石、６・・・・・・固定台、７・・・
・・・ベアリング、８・・・・・・コイル枠、１ｏ・・
・・・・Ｌ／−ｆ−１１１，１２・・・・・・ビームエ
キスパンダーレンズ、１３・・・・・・集光レンズ。
・・・移動台、４゜１４・・・・・・コーイル、５，１
５・・・・・・磁石、６・・・・・・固定台、７・・・
・・・ベアリング、８・・・・・・コイル枠、１ｏ・・
・・・・Ｌ／−ｆ−１１１，１２・・・・・・ビームエ
キスパンダーレンズ、１３・・・・・・集光レンズ。
Claims (1)
- レーザー光を集光して感光膜を有する板上に照射し、該
感光膜を有する板を運動させて刻線を行なう刻線装置に
おいて、前記板を保持する移動台の一端あるいは両端に
電流コイルあるいは磁石を固定すると共に前記移動台の
移動の極限を含む位置に磁石あるいは電流コイルを前記
移動台に固定された電流コイルあるいは磁石を十分長い
移動距離にわたって電磁的に結合するごとく固定台に固
定し、移動台に等速運動の期間のあるごとく、前記電流
コイルに電流を通せしめ、前記等速運動の期間において
前記感光膜に受光感光せしめ刻線を行なうことを特徴と
する先刻線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982008861U JPS58111182U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | レ−ザ−光を用いた刻線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982008861U JPS58111182U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | レ−ザ−光を用いた刻線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111182U true JPS58111182U (ja) | 1983-07-29 |
Family
ID=30021534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982008861U Pending JPS58111182U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | レ−ザ−光を用いた刻線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111182U (ja) |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP1982008861U patent/JPS58111182U/ja active Pending
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