JPS58128441U - 現像装置 - Google Patents

現像装置

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JPS58128441U
JPS58128441U JP1982025113U JP2511382U JPS58128441U JP S58128441 U JPS58128441 U JP S58128441U JP 1982025113 U JP1982025113 U JP 1982025113U JP 2511382 U JP2511382 U JP 2511382U JP S58128441 U JPS58128441 U JP S58128441U
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JP
Japan
Prior art keywords
wafer
developing device
developer
heat insulator
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1982025113U
Other languages
English (en)
Inventor
石芳　敏精
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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  • Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の現像装置を示す図、第２図は本考案の一
実施例である現像装置の構成を説明するための図である
。図において１，１１はチャンバー、２，１２は現像液
用ノズル、３．１３は洗浄用ノズル、４．１４は真空チ
ャック、５．１５はウェハ、８．１８は排液口、９は保
温器、１０は、　温調機、１９は液面、２０はポンプを
示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 表面にレジスト膜を塗布したウェハをチャンバ内に設置
    し、現像液を供給して所定のパターンを再生する現像処
    置において、温調機により一定温度に制御される保温器
    を設け、該保温器内に備えた螺旋状をなすガラス管に前
    記現像液を通過させて保温させると共に前記ウェハ周辺
    部を一定温度で保温させる温度機構としたことを特徴と
    する現像装置。
JP1982025113U 1982-02-24 1982-02-24 現像装置 Pending JPS58128441U (ja)

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JP1982025113U JPS58128441U (ja) 1982-02-24 1982-02-24 現像装置

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JPS58128441U true JPS58128441U (ja) 1983-08-31

Family

ID=30037086

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6083240U (ja) * 1983-11-15 1985-06-08 富士通株式会社 スピン現像機
JPS6178123A (ja) * 1984-09-26 1986-04-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の表面処理装置
JPS61251135A (ja) * 1985-04-30 1986-11-08 Toshiba Corp 自動現像装置
JPH0286826A (ja) * 1989-07-07 1990-03-27 Hitachi Ltd 被加工物の処理方法

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