JPS58132232A - 着色型投影用円盤の製造法 - Google Patents

着色型投影用円盤の製造法

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JPS58132232A
JPS58132232A JP57013397A JP1339782A JPS58132232A JP S58132232 A JPS58132232 A JP S58132232A JP 57013397 A JP57013397 A JP 57013397A JP 1339782 A JP1339782 A JP 1339782A JP S58132232 A JPS58132232 A JP S58132232A
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photosensitive resin
film
colored
chromium
resin layer
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Yoichi Fukushima
洋一 福島
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G03F1/56Organic absorbers, e.g. of photo-resists

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はテイーチングディスプレイにおける着色型投影
用円盤の製造法に関するものである。
従来、工場や金融機関において作業上の複雑な工程やデ
ータ等の事項を人間の頭脳に細目に記憶することは、間
違い等の発生の原因となるために、該事項を一目で判明
することを目的としてテイーチングディスプレイが用い
られている。しかし、従来のテイーチングディスプレイ
の投影用の円盤はガラス基板にクロム蒸着した後、所望
の文字や図形をエッチングしたものを被投影体として用
いているために投影像はモノクロに映写され不明瞭にな
り細部の判明が困難であった。然るに、このようなモノ
クロ型の投影像の注意項目、重要事項等を赤、緑、青等
に着色すると一目瞭然に所望事項を確認することが出来
、又美感を生じ目の疲労を防止することが出来るために
着色型投影用円盤が需要者から要望されている。
このような需要に対応して投影用円盤の着色方法として
、従来、下記の方法が行われている。
第1の方法としてガラス基板にクロム蒸着した後、文字
や図形等をエッチングしたモノクロ型の投影用円盤にス
クリーン印刷により着色したものがあるが、この方法は
着色を簡便に行うことができるが、表面にスクリーンイ
ンキが盛り上がるので外観が不良となり、又スクリーン
印刷の精度上の限界から見当合わせが困難になる欠点が
ある。
第2の方法はクロマリン等のゾレゾルー7技術を応用し
て着色を行うものであるが、この方法は着色に顔料を使
用しているために透光性、色相の鮮明度等に劣り、かつ
量産が困難である。第6の方法として所望個所に透光性
の着色型粘着テープを貼着する方法があるが、細部の加
工、位置合わせの精度に問題があり、又量産性に欠ける
問題点があった。
本発明はこれらの従来技術の問題点を解決するために鋭
意研究を行った結果、フォトリソグラフィーの技術を改
良して応用することにより、モノクロ型の投影用円盤に
高精度で極めて容易に着色を施し、必要事項の判別性の
良好な着色投影用円盤を提供することを目的としてなさ
れたものである。
即ち、本発明はテイーチングディスプレイにおけるクロ
ム蒸着した基板に、 (5)ネガ型感光性樹脂を塗布し、基板を通して紫外線
を露光後現像する第1工程 (ハ)ネガ型感光性樹脂層にポジ型感光性樹脂を塗布し
、基板面上に密着したマスクを通して紫外線を露光後現
像する第2工程 0ネガ型感光性樹脂層を染料で着色した後、ポジ型感光
性樹脂を剥離する第6工程 からなることを特徴とする着色型投影用円盤の製造法で
ある。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
第1図は従来の基板にクロム蒸着をして所望の文字や図
形等をエッチングした投影用円盤の部分拡大断面図、第
2図乃至第7俤は第1図の投影用円盤から本発明の1方
法により着色型投影用円盤を製造する工程を示す説明図
、第8図及ひ第9図は本発明の他の方法を示す説明図、
第10図及び第11図はさらに本発明の別の方法を示す
説明図である。
第1図において、基板1に従来の方法によりクロム蒸着
した後所望の文字や図形等をエッチングスルト、クロム
蒸着層2とエッチングされた間隙部7が基板1の片面に
凹凸状に形成される。基板1は透光性の材質であるガラ
ス、プラスチック等が用いられる。第1図の投影用円盤
の下方から透過照明すると光線はクロム蒸着層2で遮蔽
され間隙7を通過して文字や図形等がスクリーンに映写
されクロム蒸着層が黒色のモノクロ型に投影される。
本発明の第1工程は第2図に示す様に第1図の基板1の
クロム蒸着層2及び間隙部7にネガ型感光性樹脂を・均
一に塗布してネガ型感光性樹脂層6を形成する。塗布は
スビンナー、ロールコーターを用いるか又は浸漬により
行う。次いで基板面1を通して紫外線を露光し、クロム
蒸着層のない間隙部7に充填されたネガ型感光性樹脂を
硬化させるが、この場合、必要に応じてクロム蒸着層上
にも硬化した樹脂が残るように拡散シート等を用いる。
ネガ型感光性樹脂が硬化後、現像して未硬化のクロム蒸
着層2上のネガ型感光性樹脂を溶出すると第6図に示す
ように間隙部7にネガ型感光性樹脂層6が形成される。
第2工程において第4図に示す様にネガ型感光性樹脂層
6上にポジ型感光性樹脂を塗布して被覆しポジ型感光性
樹脂層5を積層する。所望の着色される部分のみ光を透
過する様に成形したマスク4を基板1面上に密着し、該
マスク4を通して紫外線を露光し上記の所望の着色され
る部分のポノ型感光性樹脂層5を露光して分解した後現
像すると、第5図に示す様に露光部が溶解して非露光部
のポジ型感光性樹脂層5が付着して残留する。
第6工程において、第5図の基板をネガ型感光性樹脂層
を着色する染料溶液中に浸漬するか、又は染料溶液を噴
霧又は塗布することにより第6図に示す様に外面に露出
しているネガ型感光性耐脂層を着色し着色ネガ型感光性
樹脂層6を形成した後、ポジ型感光性樹脂層5を剥離し
て第7図に示す着色型投影用円盤を得ることが出来る。
上記の方法により単色の着色型投影用円盤を得ることか
出来るが、さらに多色の色相のものを得るためには該単
色の着色型投影用円盤に第2工程及び第3工程を適用す
ることにより容易に製造することができる。具体的に説
明すると第7図の単色の着色型投影用円盤に第8図に示
丈様にポジ型感光性樹脂をネガ型感光性樹脂層3と着色
ネガ型感光性樹脂層6に塗布しボジ型感光性樹脂層5′
を積層し、光が透過する部分が第4図のマスク4と異る
様に形成したマスク4lを基板1に密着し該マスク4′
を通して紫外線を露光してポジ型感光性樹脂層5lの一
部を分解した後現像して露光部分のポジ型感光性樹脂層
を除去して着色し着色ネガ型感光性樹脂層6Iを形成し
、ボジ型感光性樹脂を剥離して第9図に示す様な2色の
着色部分を有する着色型投影用円盤を得ることが出来る
又、本発明の第1工程において第10図に示す様にネガ
型感光性樹脂を基板1のクロム蒸着面2側に塗布してネ
ガ型感光性樹脂層6を形成し、第3図と反対方向のネガ
型感光性樹脂層側から紫外線を露光して樹脂を硬化させ
現像すること無く第4図乃至第7図の第2工程及び第6
工程を行うことにより第11図に示す様な着色ネガ型感
光性楡脂層6とネガ型感光性樹脂層6が基板1の片面を
被覆した状態の着色型投影用円盤を得ることが出来る。
本発明に用いられる基板は透光性、透電性の硬質材質の
ものであれば如何なるものでもよいが、具体的にはガラ
ス、硬質プラスチック等であり、マスクを通して所望の
位一番こ紫外線、又は電子線等を露光又は照射すること
によりネガ型又はポジ型感光性樹脂を反応させ硬化又は
分解作用を行う。
又、本発明はマスクを基板側に密着して使用し、露光を
基板を通して行う点Gこ特徴があり、マスクを基板に密
着すること番こより当然露光は基板を通して行われ、基
板上に着色する所望形状のずれが減少し見当合せが良好
になり着色工程が容易に行われ、精度の低いマスクでも
充分に高精度の着色造形を行うことができる。さらに基
板を通して露光を行うことにより、第1工程においては
クロム蒸着層をマスクの代りに使用することが出来るの
でマスクを一枚省略できる利点がある。
本発明に用いられるネガ型感光性樹脂は紫外線、,電子
線等により硬化反応を行う天然高分子、合成高分子等の
ネガ型の樹脂が用いられ、その具体例を示すと、PVA
一重クロム酸アンモニウム、力ぜインー重クロム酸アン
モニウム、ゼラチンー重クロム酸アンモニウム、TPR
(東京応化(ヘ)製造)の様なPVA一桂皮酸ビニル系
SEPPR(東京応化(ヘ)製造)、KMBR(コダッ
ク(ヘ)製造)、OMR(東京応化物製造)、ウエイコ
ートICレジスト(ハントン社製造)等の環化ザム系、
EPB(エボキシ化1,4−ポリプタジエン)等が挙げ
られ、又樹脂層の厚さは通常0.5〜5.0μであり特
に1.5〜3.0μのものが好ましい。ネガ型感光性樹
脂の現像液は水、又はキシレン、トリクレン等の有機溶
剤が用いられる。ポジ型感光性樹脂としては紫外線、電
子線等により分解さh現像液に溶解する天然高分子、合
成高分子等のポジ型の樹脂が用いられ、その具体例を示
すと、ノーラック樹脂一キノンジアジド系一シュゾレー
、AZ1350、OFPR■(東京応化■製造)等が挙
げられ、又樹脂層Q〕厚さは通常0,5〜2.0μであ
り、特に1.0μのもσ〕が好ましい。ポジ型感光性樹
脂の現像液としては弱アルカリ水溶液、有機溶剤(メチ
ルエチルケトン、エタノール等)が用いられる。紫外線
、電子線等の露光又は照射時間は樹脂を反応させ分解又
は硬化させるのに必要な時間を要する力{、光源の強さ
、樹脂の種類、厚さ等により異るが、例えば通常紫外線
では20〜40秒である。
本発明のネガ型感光性樹脂の着色に用いられる染料は、
該樹脂を鮮明に着色し透光性に優ぐれたものが良く、顔
料等の透光性の劣るものは不適当であり、具体例を示す
と、KayanoIシリーズ([1本化薬株製造)等の
酸性染粍Kayarusシリーズ等の直接染料、Kay
alouシリーズ等の分散染料等である。
以上説明した様に本発明の方法により、テイーチンメ<
ゾレーの着色型投影用円盤を極めて容易に提供すること
が出来、該円盤を通して透過照明すると、スクリーン上
に着色された拡大像が鮮明に映写され必要事項を極めて
明確に認識することが出来る。
次に本発明の効果を列挙すると下記の通りである0 1)本発明の方法により従来作成が困難であった層色型
投影用円盤を高精度で極めて容易に作成することができ
る。
2)撤産あるいは単品の製造も可能である。即ち従来の
スクリーン印刷方式では製版化、印刷上の問題等があり
、ある程度の数量以上でないと製造が鑓しいが、本発明
に於いてはマスクを適宜作成するのみで単品の生産も可
能である。マスクも通常の印刷に用いる程度の精度のも
ので充分であり、又ガラスハードマスクの必要はなくフ
イルムマスクで良い。
6)本発明はクロム蒸着板を用いて基板、例えばガラス
面を通して感光剤と反対側から露光して行うために表面
性、見当合せ性の優ぐれた着色層を得ることができる。
次に実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。
実施例1 片面にクロム蒸着し文字・図形をエッチングしたガラス
基板のクロム蒸着層側にネガ型感光性樹脂として12重
量%の力ぜイン水溶液(東京応化(ヘ)製:Q−908
)10−に10重量%の屯クロム敞アンモニウム1−を
添加した浴液を500r.p.mのスピンナーで厚さ2
.2μになる様に均−に塗布した。ネガ型感光性樹脂層
の反対側からガラス基板面を通して250Wの水銀灯で
5Qcm離れた位置から6分間露光した後、現像液とし
て濡湯を用いて40゜Cで60秒間現像を行いPost
Backを120゜Cで60分間行った。
次いでポジ型感光性樹脂として東京応化■製:OFPR
−[=粘度25Cpを3000r.p.mのスピンナー
を用いて厚さ2.0μになる様にネガ型感光性樹11m
層の上に塗布した。水銀灯を用いて上記と同一条件下で
40秒間露光した後、25゜Cで40秒間現像を行いP
oetBakeを100゜Cで60分間行った。
次にKayanolRedNBO.59、永酢酸3.0
−、水100−からなる水溶液中に65゜Cで5分間浸
漬してネガ型感光性樹脂層を着色した後、アセトンに6
0秒間浸漬し、ポジ型感光性樹脂を剥離し赤色の着色型
投影用円盤を得た。看色度はマクベスGフィルター濃度
で1.55であった。
実施例2 片面にクロム蒸着し図形をエッチングしたガラス基板の
クロム蒸着層側に、PVA樹脂に対し重クロム酸アンモ
ニウム7重量を付与したネガ型感光性樹脂を100Or
.p.mのスビンナーで均一に塗布し、40℃のプレベ
ータを5分間行った。次いでガラス基板面を通して25
0Wの高圧水銀灯でsocmの距離から2分間露光し1
,5μの染色層を得た。現像液として40℃の温水で4
0秒間現像し、PostBakeを80゜Cで60分間
行った。
次いでポノ型感光性樹脂としてシュプレ−社製造のAZ
−1350(粘度4.5cp)を600Or.p.mの
スビンナーを用いて厚さ0.7〜0.8μになる様にネ
ガ型感光性樹脂層の上に塗布した。プレ4−クを80゜
Cで20分行った。、、水銀灯で20秒間雛光した後、
現像液MF312で30秒間現像し、水洗、乾燥後、1
20゜Cで60分間のポストペークを行った。
次に、アシツドミーリーンググリーンB(住友化学(ヘ
)製造酸性染料)1.0g、酢酸6.0−、水100t
ntからなる水溶液に70゜Cで3分間浸漬し、ネガ型
感光性樹脂層を緑色に染色した後、80’Cで60分間
乾燥し、メチルエチルケトン:アセトン=1:1(容量
比)の溶液に浸漬し、ボジ型感光性樹脂を剥離し、緑色
の着色型投影用円盤を得た。着色度はマクKスRフィル
ター濃度は167であった。
実施例6 東京応化(ヘ)製造G−90810重量部、10重量%
の重クロム酸アンモニウム水溶液1重1部、水1重量部
からなるネガ型感光性樹脂をスビンナーにて1300r
.p.mにてガラス基板のクロム蒸着層側に塗布し、5
00Wの高圧水銀灯で20cmの距離より基板側より2
0秒間露光後、40゜Cの渇水で40秒間現像し1.0
μの染色層を得た。
120゜Cで30分のポストペーク後、コダック社のマ
イクロポジティブレジスト809、粘度25センチスト
ークス(約34重量%)を5000r.p.mにて途布
し、10秒間露光後、専用現像液(コダックポジティブ
デイペロツパ−809)にて30秒間現像した。
次いで,KayanolYellowF5G1.09、
酢酸3−、水100−の染色液中に68℃で4分間浸漬
し、レジストのない部位を黄色に染色した。アセトンに
てポジ型レジストを除去後、ポストペークとして160
゜Cで30分間の加熱を行ない黄色層を得た。マクペス
Bvyイルターにて0.89であった。
次いで第2色としてブルー着色層を作った。第2色用の
マスク、即ちブルーに着色したい部分のみ光を透過する
マスクを用いる以外は上記の第1色と同じレジスト条件
で行った。染色はKayanolブルーNRO.59、
酢酸3.0−、水100−の染色液に71゜C,2分間
浸漬して染色した。マクベスRフィルターにて1.08
であった。
実施例4 クロムをエッチングしたガラス基板上にコダック社製K
PR(ポリ桂皮酸ビニル、ネガ型感光性樹脂)粘度55
cpを1000r.p.mで塗布した。
裏面より高圧水銀灯250Wを距離40cmで60秒間
露光し、1.1μの染色層を得た。25゜C160秒間
にて現像を行った。80゜Cで30分間のポストペーク
後、実施例1と同様に東京応化■製造OFPR[を塗布
し、露光、現像後、ダイアセリトンファーストスカーレ
ットBP4重量部、水100重量部の分散液中に80゜
Cで5分間浸漬し、赤色に染色した像を得た。Gフィル
ターにて1.01であった。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のクロム蒸着をしたモノクロ型の投影用円
盤の部分拡大断面図、第2図乃至第7図は本発明の方法
の一例を示す製造工程の説明図、第8図及び第9図は本
発明の他の方法を示す説明図、第10図及び第11図は
本発明のさらに別の方法を示す説明図である。 1・・・基板、2・・・クロム蒸着層、6・・・ネガ型
感光性樹脂層、4゛・4′・・・4スク、5,5/・・
・ポジ型感光性樹脂層、6,6′・・・着色ネガ型感光
性樹脂層、7・・・間隙部 20〇一

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)テイーチングディスプレイにおけるクロム蒸着した
    基板に、 (ヘ)ネガ型感光性樹脂を塗布し、基板を通して紫外線
    を露光後現像する第1工程 (ハ)ネガ型感光性樹脂層にポジ型感光性樹脂を塗布し
    、基板面上に密着したマスクを通して紫外線を露光後現
    像する第2工程 0ネが型感光性樹脂層を染料で着色した後、ポク型感光
    性樹脂を剥離する第6工程 からなることを特徴とする着色型投影用円盤の製造法。 2)第1工程において、ネガ型感光性樹脂上に拡散シー
    トを載置して紫外線を露光する特許請求の範囲第1項記
    載の着色型投影用円盤の製造法。
JP57013397A 1982-02-01 1982-02-01 着色型投影用円盤の製造法 Granted JPS58132232A (ja)

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