JPS58143545A - 試験回路を備えた集積回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、試験回路を備えた集積回路１％に各種データ
処理装置において使用される集積回路であって、その試
験を容易にするための試験回路を備えた集積回路に関す
る０ 従来、各種データ処理装置において使用される集積回路
は、その請求される機能を実現するための機能ａｍのみ
を含むように設計され製造されていた。その機能回路と
しては、論理演算回路、記憶回路、シーケンス制御回路
などがある。このような必要とする機能回路のみを含む
集積回路は、回路基板すなわち半導体ウエーノ・上に多
数個同時に形成される。第１図（ａ）は、このような集
積回路を多数含むウェーハの平面図である。同一機能を
有する多数の集積回路１０１がモザイタ状に数十個ウェ
ーハ１００上に形成されている。ウェーハＯナイズおよ
び集積回路のナイスにより、一枚のウェーハ上に数Ｎ１
ｆｉ以七もの集積回路を形成することもできる。４１図
（ｂ）は、従来Ｏこのような集積回路の内部の構成を説
明する丸めのプロアク図である。集積−路１０１はｌｌ
ｌｆｔｌ８回路１１Ｇを備えてお炒、機能回路１１Ｇは
外部岑ら供給される入力信号により入力端子１２Ｇ　−
１、１１Ｇ−１、・・・−１２０−ｍから入力信号線１
２１−１．１２１−１．　”−・−・ＩＨ−ｍを通して
駆動され、　６ｍ１１回絡１１Ｑの出力信号は出力信号
線１３１７１　、１３１−１、−・・−・・１３１−ｎ
を通して出力端子１１０−１　、ｌ５Ｏ−１、・−・・
・１３Ｇ　−ｆｌＫ提供される。機能回路１１０は、論
壇演ＪＥｔｇｌ路、記憶回路、シーケンス制御回路など
であるが、その種類およびその内部の詳細は特に問わな
い。

さて、このように一枚のウェーハ上に多数の集積回路を
製造した場合、側々の集積回路について一々選別試験（
一般に、このような選別試験ＦｉＰ／Ｗ試験と呼ばれる
）を行なう。この選別試験は、ウェーハ上の被試験集積
回路の入力層子および出力端子Ｋ１１ｌ定用のプローブ
・ビンすなわちプローパを立て、外部の測定器よシミ流
、電圧を印加し、集積回路の動作、特性などをＩＮ測し
て行なう。この試験は、ウェーハ上の　−すべての集積
回路について逐次同様に行なっていく必要があり１時間
と手間を要するものである。

この選別試験によシある集積回路が不良と判定された場
合に＃′ｉ、その不！Ｌ原因を究明して。

そのような不良が生じないように方策をたてる必要が生
ずる。しかしながら、一般的（この１集積回路１０１に
含まれる機能回路１イ０の構造は大規模かつＩＩ雑なも
のであり、その不良原因を機能回路１１０の試験結果か
らのみ追求することは非常圧困Ｓなこととなってきてい
る。

そζで、本発明の目的は、ウェー７１上に製造されて選
別試験時に不良と判定された場合に、その不良原因を簡
檗に究明することのできるようにした集積回路を提供す
ることにある。

上記目的を達成するために１本発明による集積回路は、
入力端子および出力端子を備え所定の機能を有する機能
回路と、前記機能回路の入力端子および出力端子とは独
立の入力端子および出力端子を備え前記機能回路とは独
立に作用する試験回路とを一体化して含むように構成し
たものである。

したがって、試験回路のみを試験、測定するととＫより
、機能回路の不良判定の原因を簡単に究明することがで
きる。

以下、図面を参照して、本発明による集積回路をさらに
詳細に説明する。

第２図は、本発明の実施料の集積回路のブロック図であ
る。図において、集積回路１０１は所定の機能を有する
機能回路１１Ｇのほかに試験回路１４０を含んでいる。

機能回路１１０は、そこに入力信号を供給するための入
力層子１２Ｇ−１゜１２０−２　、・・・・・・１２０
−ｍとそれＫ１１続する入力信号線１２１−１　、１２
１−２、−−−−−−１２１−ｍおよび出力信号を提供
する出力端子１３０−１．１３０−２゜・・・・・・１
３０−ｎとそれに接続する出力信４ＩｉＩｉ！１３１−
１　、１３１−２　、・・・・・・１３１−ｎを備えて
いる。試験回路１４ｕＦｉ、そこに入力信号を供給する
ための入力層子ｔｓｏ　−１、１８０−２、−”４５０
−４とそれらに！Ｉ続すゐ入力信号１１ｉ１１５１−１
　、１８１−２　。

・・・・・・１５１−ｊおよび試験回路の出方信号を提
□供するための出力端子１６０−１．１６０−２　、卯
・・１６０−ｊおよびそれらに接続する出力信号線１６
１−１．１６１−２．・・・・・・１６１−　ｊを備え
ている。

このような試験回路１４０をもつ集積回路ｌｏｌの試験
方法について説明する。まず、プローパを介して機能回
路１１０を試験するための試験データを機能回路１１０
０入力端子１２０−１　、１２０−２、・・・・・・１
２０−ｍ　Ｔｆ：、供給する。その試験結果は。

機能回路１１Ｇの出力端子１３０−１，１３０−２゜・
・・・・・１３０−　ｎをプローパを介して測定すると
とにより判定される。その結果、集積回路１０１の機能
回路１１Ｇが不良と判定された場合、同じ集積回路１０
１内に設けられた試験回路１４０を試験することＫより
その不実判定の原因を追求することができる。

試験回路１４０の試験は、試験データを試験回路１４Ｇ
の入力端子１５Ｇ−１、１５０−２、・川＝１５０−．
に供給して行なう。試験結果は、出力端子１６０−１．
１１０−２．・・団・１６０−ｊｔ６１１Ｊ定すること
Ｋよ抄判定される。

試験回路１４０としては、−製造プロセスモニタ用の試
験回路、ＤＣ特性用の試験回路、ＡＣ％性用の試験回路
など種々の４のがあり、試験目的に応じて、を友試験回
路１４Ｇの入方信号数、出力信号数の許容範囲内で種々
の試験回路を組み込んでおく。

３１１３図は、このような試験回路１４０の一列のプロ
ッタ図である＊　Ｅｃシいで、試験回路１４０には、製
造プロセスモニタ用試験回路１４１．ＤＯ特性試験回路
１４２．ＡＯ特性試験回路１４３が各々独立に設けられ
ている。これら各試験回路は、集積回路１０１の機能回
路１１０を製造するための製造プロセスで形成され、機
能回路１１０で使用される基本トランジスタを含んでい
る。製造プロセスモニタ試験回路１４１は入力信号線１
５１−１，１５１−２　を通して供給される入力信号に
よって駆動され、その結果は出力信号線１６１−１　、
１６１−１　を通して提供される。Ｄ。

特性試験回路１４２は、入力信号線１５１−３゜１５１
−４を通して供給される入力信号によって駆−され、そ
の結果は出力信号線１６１−２を通して提供される。Ａ
Ｃ４Ｉ性試験回路１４３は、入力信号ｌ５１５１−（＊
−１）、１５１−ｊを通して供給される入力信号によっ
て駆動され、その結果は出力信号線１＠１−　Ｊを通し
て提供される。

したがって、集積回路１０１の機能回路１１Ｇを試験し
てその結果が不良であった場合、機能回路１１Ｇに並置
して設けられ友機能回路とは各々とによね、機能回路１
１０の試験結果の不良が、製造プロセスの不良によるの
か、ＤＣ特性セＡＯ４１１性などの種々の特性の不良に
よるのか、その原因が簡単に判別して仕分けることがで
きる。

なお、試験回路１４Ｇ内の構成は上記実施列のものに限
定されるものではなく、信号線数の制約範囲で、機能回
路１１０に応じ試験目的に応じて種々変夏が可能である
。

装置ＱｌｉｌＫよる集積回路は、以上のように構成され
ているので、複雑な機能回路を含む集積回路の選別試験
において不良判定された場合、その原因究明を直ちにか
つ簡単に行なうことができ、その原因除去の方策を適切
に行なうことがで自る。

【図面の簡単な説明】

第１図（１）は多数の集積回路を含むウエーノ・の平面
図、第１図（ｂ）は、従来の集積回路のブロック図、第
２図は本尭明の実施例による集積回路のブロック図、お
よび第３図は第２図の集積回路内の試験回路部分の一例
を示すブロック図である。 １０１・・・集積回路　　　１１０・・・機能回路１４
０・・・試験回路 １２０−１　、　ｉ２ｏ　−２、・−・１２０−ｍ・・
・機能回路の入力１子 １３０−１　、１３０−２　、・−・・・−１３０−ｎ
・・・機能回路の出力端子 １５０−１　　、　１５０−２　　、　”・４ｓＯ−ｊ
・・・試験回路の入力趨子 １６０−１　、１６０−２　、・・・・・・１６Ｇ−ｊ
・・・試噴回路の出力端子 特許出−人　　日本電気株式会社 代理人　升珊士　井　ノ　ロ　　壽 １７ 第２図 −１８０− ′：Ｊ３閣 Ｌ　　　　　　　　＝Ｊ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 入力端子および出力端子を備え所定の機能を有する機能
   回路と、前記機能回路の入力端子および出力端子とは独
   立の入力端子および出力端子を備え前記機能回路とは独
   立に作用する試験回路とを一体化して含むことを特徴と
   する集積回路。