JPS58145643A - 電極ガラス板の製造方法 - Google Patents
電極ガラス板の製造方法Info
- Publication number
- JPS58145643A JPS58145643A JP2954982A JP2954982A JPS58145643A JP S58145643 A JPS58145643 A JP S58145643A JP 2954982 A JP2954982 A JP 2954982A JP 2954982 A JP2954982 A JP 2954982A JP S58145643 A JPS58145643 A JP S58145643A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- cleaning
- film
- metallic film
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｉｎ−５ｎ系金属膜の酸化膜か透明電極とし
て形成されてなるガラス板の洗浄方法に関するものであ
る。
て形成されてなるガラス板の洗浄方法に関するものであ
る。
液晶表示装置は２枚のガラス基板を利用して、これらガ
ラス基板の間隙に液晶組成物を充填して構成されている
。液晶組成物を挾持しているガラス基板面には、液晶組
成物に電界を印加するため電極が表示内容に対応した形
状で形成されている。
ラス基板の間隙に液晶組成物を充填して構成されている
。液晶組成物を挾持しているガラス基板面には、液晶組
成物に電界を印加するため電極が表示内容に対応した形
状で形成されている。
該電極は少なくとも表示を観察する側が透明電極で形成
され、通常はＩｎ−５ｎ系金属の酸化膜（以下ＩＴＯ膜
と称す）が用いられる。
され、通常はＩｎ−５ｎ系金属の酸化膜（以下ＩＴＯ膜
と称す）が用いられる。
」１記のようなＩＴＯ膜はまずガラス板面にＩｎ−５ｎ
金属膜が蒸着され、この蒸着膜が焼成によって酸化され
透明導電膜にされる。
金属膜が蒸着され、この蒸着膜が焼成によって酸化され
透明導電膜にされる。
処で上記ＩＴＯ膜を備えたガラス板を製造するにあたっ
て、ガラス板面は清浄な状態に保たれていなけれは、液
晶組成物を挟持した場合に液晶を変質させたり、表示に
欠損部分が生じる等の不都合を生じる惧れがある。従っ
て製造工程の適宜の段階でガラス板の洗浄が実行される
。ガラス基板の洗浄は従来から高温加熱する方法が広く
採用されている。このような高温加熱は水分や油分を除
去するのに効果がある。しかし上記のようにＩｎ−５ｎ
金属が蒸着されたガラス板を洗浄する場合、高温加熱の
雰囲気に晒すことによりＩｎ−５ｎ金属膜は酸化され、
金属状態で黒色を呈していた膜は酸化により透明膜に変
化する。透明膜の状態は、出来上った液晶表示装置のガ
ラス板としては同等支障を生じるものではないが、金属
膜を表示内容に対応した形状にパターニングする際、黒
色の金属膜に比べて作業を著しく困難にするという欠点
があった。
て、ガラス板面は清浄な状態に保たれていなけれは、液
晶組成物を挟持した場合に液晶を変質させたり、表示に
欠損部分が生じる等の不都合を生じる惧れがある。従っ
て製造工程の適宜の段階でガラス板の洗浄が実行される
。ガラス基板の洗浄は従来から高温加熱する方法が広く
採用されている。このような高温加熱は水分や油分を除
去するのに効果がある。しかし上記のようにＩｎ−５ｎ
金属が蒸着されたガラス板を洗浄する場合、高温加熱の
雰囲気に晒すことによりＩｎ−５ｎ金属膜は酸化され、
金属状態で黒色を呈していた膜は酸化により透明膜に変
化する。透明膜の状態は、出来上った液晶表示装置のガ
ラス板としては同等支障を生じるものではないが、金属
膜を表示内容に対応した形状にパターニングする際、黒
色の金属膜に比べて作業を著しく困難にするという欠点
があった。
本発明は上記従来のＩＴＯ膜を備えたガラス板の製造方
法がもつ欠点に鑑みてなされたもので、洗浄によって黒
色ＩＴ金属膜が透明化されるのを抑制し、電極のパター
ニングが容易なＩＴガラス板の洗浄方法を提供するもの
である。
法がもつ欠点に鑑みてなされたもので、洗浄によって黒
色ＩＴ金属膜が透明化されるのを抑制し、電極のパター
ニングが容易なＩＴガラス板の洗浄方法を提供するもの
である。
即ち本発明はＩＴ金属膜が蒸着されたガラス板を紫外線
光に晒して洗浄する。紫外線光はガラス板表面に付着し
たゴミや水分等を除去する作用がある。一方照射された
ガラス板面の温度上昇は約１３０℃程度に抑えることが
でき、洗浄中のＩＴ金属膜の焼成による透明膜化は防く
ことができる。
光に晒して洗浄する。紫外線光はガラス板表面に付着し
たゴミや水分等を除去する作用がある。一方照射された
ガラス板面の温度上昇は約１３０℃程度に抑えることが
でき、洗浄中のＩＴ金属膜の焼成による透明膜化は防く
ことができる。
また洗浄に要する時間も水銀灯の下で約６０〜２４０ｓ
ｅｃ程度の極めて短い洗浄で充分な効果を得ることがで
きる。
ｅｃ程度の極めて短い洗浄で充分な効果を得ることがで
きる。
第１図は、ＩＴ金属膜が蒸着されたガラス板１に紫外線
光を照射するための装置を示し、コンベア２で搬送され
てくるガラス板１面を被う集光型反射板３が設けられて
いる。該集光型反射板３で囲まれた空間内に高圧水銀灯
４が紫外線光源として設置されている。水銀灯４から放
射された紫外線は直接或いは反射板３に反射されてガラ
ス板１面に方向付けられ、ＩＴ金属膜を備えたガラス板
１而を速やかに洗浄する。ライン状に集光された紫外線
４により第３図に示す如く、コンベア２で運ばれるガラ
ス板１が一端から他端に向って洗浄される。
光を照射するための装置を示し、コンベア２で搬送され
てくるガラス板１面を被う集光型反射板３が設けられて
いる。該集光型反射板３で囲まれた空間内に高圧水銀灯
４が紫外線光源として設置されている。水銀灯４から放
射された紫外線は直接或いは反射板３に反射されてガラ
ス板１面に方向付けられ、ＩＴ金属膜を備えたガラス板
１而を速やかに洗浄する。ライン状に集光された紫外線
４により第３図に示す如く、コンベア２で運ばれるガラ
ス板１が一端から他端に向って洗浄される。
上記洗浄処理中、点灯した水銀灯４は同時に発熱するた
めこれを冷却することと、放射された紫外線によってオ
ゾンを発生するためこれを除去することを兼ねて、反射
板３で囲まれた空間を外部に通じさせるための排気孔５
が設けられ、次に説明する第２図（ａ） 、 （１））
に示す如く排気ファン６が取付けられている。
めこれを冷却することと、放射された紫外線によってオ
ゾンを発生するためこれを除去することを兼ねて、反射
板３で囲まれた空間を外部に通じさせるための排気孔５
が設けられ、次に説明する第２図（ａ） 、 （１））
に示す如く排気ファン６が取付けられている。
第２図（ａ） 、 （＋））は上記紫外線照射部を備え
た洗浄装置の全体の概観を示す側面図及び正面図で、外
側カバー７内に上記第１図に示した紫外線照射部が収納
されている。
た洗浄装置の全体の概観を示す側面図及び正面図で、外
側カバー７内に上記第１図に示した紫外線照射部が収納
されている。
紫外線照射によって洗浄されたガラス板は、高温に晒さ
れていないためＩＴ膜は金属膜のままに保存されており
、従って黒色を呈している。次に従来公知の工程により
電極パターンに対応する形状にパターニングされ、パタ
ーンエツチング後高温に焼成されて金属を酸化し、ＩＴ
Ｏの透明導電膜を作成する。上記ＩＴＯ膜を備えたガラ
ス板は液晶表示装置だけではなく、ＥＣＤ等の電極基板
としても利用することができる。
れていないためＩＴ膜は金属膜のままに保存されており
、従って黒色を呈している。次に従来公知の工程により
電極パターンに対応する形状にパターニングされ、パタ
ーンエツチング後高温に焼成されて金属を酸化し、ＩＴ
Ｏの透明導電膜を作成する。上記ＩＴＯ膜を備えたガラ
ス板は液晶表示装置だけではなく、ＥＣＤ等の電極基板
としても利用することができる。
以上本発明のように、ＩＴ膜が形成されたガラス板の洗
浄を紫外線光によって行うことにより、低い温度で洗浄
することができ、ＩＴ膜を金属膜の状態で維持させるこ
とができ、金属膜が黒色であるため観察が容易になりそ
の後に行われる電極パターニングの作業が著しく容易に
なる。
浄を紫外線光によって行うことにより、低い温度で洗浄
することができ、ＩＴ膜を金属膜の状態で維持させるこ
とができ、金属膜が黒色であるため観察が容易になりそ
の後に行われる電極パターニングの作業が著しく容易に
なる。
第１図は本発明を実施するための洗浄装置の要部拡大図
、第２図（ａ） 、 （ｂ）は同洗浄装置の側面図及び
平面図、第３図は紫外線照射状態を示す図である。 １：ＩＴ膜被着ガラス板、４：水銀灯。
、第２図（ａ） 、 （ｂ）は同洗浄装置の側面図及び
平面図、第３図は紫外線照射状態を示す図である。 １：ＩＴ膜被着ガラス板、４：水銀灯。
Claims (1)
- １ 透明ガラス板面にＩｎ−５ｒＪ４：尿膜を作成し、
該Ｉｎ−５ｎ系金属膜が被着されたガラス板面を紫外線
光に晒して洗浄することを特徴とするＩＴガラス板の洗
浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2954982A JPS58145643A (ja) | 1982-02-24 | 1982-02-24 | 電極ガラス板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2954982A JPS58145643A (ja) | 1982-02-24 | 1982-02-24 | 電極ガラス板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58145643A true JPS58145643A (ja) | 1983-08-30 |
| JPH0147414B2 JPH0147414B2 (ja) | 1989-10-13 |
Family
ID=12279213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2954982A Granted JPS58145643A (ja) | 1982-02-24 | 1982-02-24 | 電極ガラス板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58145643A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6361224A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Minolta Camera Co Ltd | 集束性光伝送体アレイの色補正コ−テイング方法 |
| JPS63237605A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-04 | Asahi Glass Co Ltd | 超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法 |
| JP2007153679A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Fujikura Ltd | 石英ガラス母材の製造方法 |
-
1982
- 1982-02-24 JP JP2954982A patent/JPS58145643A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6361224A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Minolta Camera Co Ltd | 集束性光伝送体アレイの色補正コ−テイング方法 |
| JPS63237605A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-04 | Asahi Glass Co Ltd | 超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法 |
| JP2007153679A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Fujikura Ltd | 石英ガラス母材の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0147414B2 (ja) | 1989-10-13 |
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