JPS5814667U - 荷電粒子線装置 - Google Patents

荷電粒子線装置

Info

Publication number
JPS5814667U
JPS5814667U JP10777181U JP10777181U JPS5814667U JP S5814667 U JPS5814667 U JP S5814667U JP 10777181 U JP10777181 U JP 10777181U JP 10777181 U JP10777181 U JP 10777181U JP S5814667 U JPS5814667 U JP S5814667U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particle beam
sample
charged particle
detecting
difference
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10777181U
Other languages
English (en)
Inventor
正秀 奥村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP10777181U priority Critical patent/JPS5814667U/ja
Publication of JPS5814667U publication Critical patent/JPS5814667U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はＳＥＭ像の一例を示す図、第２図は視野制限し
た時、ＣＲＴで観察される試料像を示す図、第３図は線
走査をした結果の試料像信号波形の一例を示す図、第４
図は試料を傾けた場合に視野位置がずれることを説明す
る図、第５図は本考案をＳＥＭに実施した場合の一実施
例を示す図である。 １・・・本考案の全体ブ菊ツク図、２・・・偏向信号発
生器、３，１０・・・偏向器、４・・・電子ビーム、５
・・・試料、６・・・二次電子、７・・・検出器、８・
・・増幅器、９・・・ＣＲＴ、１１・・・偏向制御部、
１２・・・発振器、１３・・・カウンタ、１４・・・２
値化回路、１６・・・試料微動台、１７．１８・・・減
算器、１９．２０・・・ディジタル−アナログコンバー
タ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料に荷電粒子線を照射する手段、該粒子線を該試料上
    で偏向する手段、上記照射の結果の試料情報信号を検出
    する手段、該情報信号にもとづいて映像表示する表示手
    段、および上記試料の微動装置からなる荷電粒子線装置
    において、映像として表示されている試料像の中の、少
    なくとも明るさの変化が生じている部分が含まれる一部
    分を選定し、選定された一部分までの走査の開始点から
    の荷電粒子線の移動量を検出し、保持する手段と、上記
    保持した後において生じた走査の開始点からの上記一部
    分迄の移動量を検出し、上記保持された移動量に対する
    差分を求める手段と、該差分に対応して荷電粒子との相
    対的位置関係を補正する・　手段とを具備したことを特
    徴とする荷電粒子線装置。
JP10777181U 1981-07-22 1981-07-22 荷電粒子線装置 Pending JPS5814667U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10777181U JPS5814667U (ja) 1981-07-22 1981-07-22 荷電粒子線装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10777181U JPS5814667U (ja) 1981-07-22 1981-07-22 荷電粒子線装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5814667U true JPS5814667U (ja) 1983-01-29

Family

ID=29902199

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10777181U Pending JPS5814667U (ja) 1981-07-22 1981-07-22 荷電粒子線装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5814667U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0737997A3 (en) Scanning electron microscope
US4222106A (en) Functional curve displaying process and apparatus
JP2775928B2 (ja) 表面分析装置
JPH0658221B2 (ja) 走査電子顕微鏡
JPH0219682Y2 (ja)
JPH0877958A (ja) 走査電子顕微鏡
JPS5985570U (ja) 電子線走査型分析装置
JPH024440Y2 (ja)
JPS64259U (ja)
JPS6119781U (ja) 磁力分布検査装置
JPS6362142A (ja) 表面分析装置
JPS6124606U (ja) 寸法測定装置
JPS60185350A (ja) 試料像表示装置
JPH01103992U (ja)
JPS6177544U (ja)
JPS59129159U (ja) 荷電粒子線装置
JPS59134366U (ja) 走査電子顕微鏡
JPH0344374U (ja)
JPS59181572U (ja) 走査電子顕微鏡等における試料移動装置
JPS60109061U (ja) Ｃｒｔオシロスコ−プ
JPS60202352A (ja) 質量分析装置
JPS59138162U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS631911A (ja) 電子線装置
JPS616252U (ja) 電子線装置
JPS59170215U (ja) 電子線測長装置