JPS5814939A - 真空処理装置 - Google Patents
真空処理装置Info
- Publication number
- JPS5814939A JPS5814939A JP56110784A JP11078481A JPS5814939A JP S5814939 A JPS5814939 A JP S5814939A JP 56110784 A JP56110784 A JP 56110784A JP 11078481 A JP11078481 A JP 11078481A JP S5814939 A JPS5814939 A JP S5814939A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gear
- shaft
- turntable
- vacuum
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、蒸着装置、ス・ぐツタリング装置、ドライエ
ツチング装置、プラズマＣＶＤ装置、電子ビーム溶接機
等、高真空、するいは低真空中における基板などの被処
理物体の主として表面加工を行なう真空処理装置に而す
る。
ツチング装置、プラズマＣＶＤ装置、電子ビーム溶接機
等、高真空、するいは低真空中における基板などの被処
理物体の主として表面加工を行なう真空処理装置に而す
る。
この種の真空処理装置においては、被処理物体を載せる
ターンテーブルを真空容器外から回転させ、かつ上下位
置を移動させるために９通常はターンテーブルの軸を真
空シール状態のもとに真空容器外に取り出し、この軸を
回転させたり、あるいは上下運動させるようにつくられ
ている。そのため、２種類の異なる運動の相互の干渉を
避けるための機構が必要となるが、従来の装置では、こ
の２種の動作を行なわせるための動力源としてそれぞれ
別箇のモータを使用するなど複雑な構成になシ、かつ設
備費も高くなるという欠点があった。
ターンテーブルを真空容器外から回転させ、かつ上下位
置を移動させるために９通常はターンテーブルの軸を真
空シール状態のもとに真空容器外に取り出し、この軸を
回転させたり、あるいは上下運動させるようにつくられ
ている。そのため、２種類の異なる運動の相互の干渉を
避けるための機構が必要となるが、従来の装置では、こ
の２種の動作を行なわせるための動力源としてそれぞれ
別箇のモータを使用するなど複雑な構成になシ、かつ設
備費も高くなるという欠点があった。
本発明の目的は、１個のモータを使用した簡単な構成に
よりターンテーブルを回転および上下移動することので
きる経済的な真空処理装置を提供するにある。
□ 本発明によれば、真空容器中にほぼ水平におかれた被処
理物を保持するターンテーブルと、該夕 。
よりターンテーブルを回転および上下移動することので
きる経済的な真空処理装置を提供するにある。
□ 本発明によれば、真空容器中にほぼ水平におかれた被処
理物を保持するターンテーブルと、該夕 。
−ンテーブルに固着され、真空シール部を経て前記真空
容器外に引き延ばされた部分に螺旋状のネジ部を有する
回転′軸と、軸孔に゛切られたメネジの部分が前記回転
軸のネジ部にかみ合うように取付けられた第１の歯車と
、前記回転軸の他の部分に軸方向にのみ相対５的に摺動
゛するように取付けられた第２の歯車とり前記第１の歯
車゛と第２の歯車との結合を蟹いて該第２の歯車を停止
させたシする歯車結合手段とを備え、１つのモータによ
り前記第１の歯車を駆動し、前記歯車結合手段を制御し
わけることによって前記ターンテーブルを上下に移動、
または回転するようにしたことを特徴とする真空処理装
置が得られる。
容器外に引き延ばされた部分に螺旋状のネジ部を有する
回転′軸と、軸孔に゛切られたメネジの部分が前記回転
軸のネジ部にかみ合うように取付けられた第１の歯車と
、前記回転軸の他の部分に軸方向にのみ相対５的に摺動
゛するように取付けられた第２の歯車とり前記第１の歯
車゛と第２の歯車との結合を蟹いて該第２の歯車を停止
させたシする歯車結合手段とを備え、１つのモータによ
り前記第１の歯車を駆動し、前記歯車結合手段を制御し
わけることによって前記ターンテーブルを上下に移動、
または回転するようにしたことを特徴とする真空処理装
置が得られる。
ここで２本発明、との比較を容易にするために。
ス・ぐツタリング装置に適用した真空処理装置の従来例
について第１図の側断面図を参照して説明する。図にお
いて、真空容器１内の上部にス・ぐツタリングターｒ２
ト２があり、これに基板３を載せたターンテーブル４が
対向している。ターンテーブル４の中心には軸５が固定
されており、真空シール６を経て下部から大気中に伸び
ている。この軸５の中央部分を囲み、外面に螺旋状にネ
ジ７を切った円筒状の金具８が取り付けられている。こ
の金具８は一軸５と同心関係において固定されているが
、相互の回゛転は自由であり、全く固定さｉていない。
について第１図の側断面図を参照して説明する。図にお
いて、真空容器１内の上部にス・ぐツタリングターｒ２
ト２があり、これに基板３を載せたターンテーブル４が
対向している。ターンテーブル４の中心には軸５が固定
されており、真空シール６を経て下部から大気中に伸び
ている。この軸５の中央部分を囲み、外面に螺旋状にネ
ジ７を切った円筒状の金具８が取り付けられている。こ
の金具８は一軸５と同心関係において固定されているが
、相互の回゛転は自由であり、全く固定さｉていない。
なお２図からは明らかではないが２円筒金具８自体は装
置本体お固定系から見れば２回転に対しては固定されて
おり、上下動に対しては自由である。歯車９は、中央部
にネジ７とかみ合うメネジと有する孔が開けられていて
２円筒金具８に低合金れている。更に、歯車９は歯車１
０を介シてモータ１１に結合されている。このモータ１
１の駆動によって２円筒金具８はターンテーブル４を上
下に移動させることができる。軸５のさらに下方にはｐ
縦方向に長い歯車１２が同心的に取シ付けられ、歯車１
３を介してモータ１４に結合されている＠このモータ１
４の駆動によって。
置本体お固定系から見れば２回転に対しては固定されて
おり、上下動に対しては自由である。歯車９は、中央部
にネジ７とかみ合うメネジと有する孔が開けられていて
２円筒金具８に低合金れている。更に、歯車９は歯車１
０を介シてモータ１１に結合されている。このモータ１
１の駆動によって２円筒金具８はターンテーブル４を上
下に移動させることができる。軸５のさらに下方にはｐ
縦方向に長い歯車１２が同心的に取シ付けられ、歯車１
３を介してモータ１４に結合されている＠このモータ１
４の駆動によって。
歯車１２に固定されている軸５を回転させることができ
る。
る。
しかし、このような構成によると９円筒金具８のような
複雑・な機構を要するのみでなく、モータも２個必要と
なり、結局、大きなスペースを占めることになって種々
の部品の配置等にも影響を与えす調整を面倒にしている
。このような例以外にも２種々の試みはあるが、ターン
テーブルを回転させ、か２上下移動させるためには、な
んらかの形で金具８に類似する機構を用いるとか２回転
時には上下移動の機構を外すなどの操作が必要である。
複雑・な機構を要するのみでなく、モータも２個必要と
なり、結局、大きなスペースを占めることになって種々
の部品の配置等にも影響を与えす調整を面倒にしている
。このような例以外にも２種々の試みはあるが、ターン
テーブルを回転させ、か２上下移動させるためには、な
んらかの形で金具８に類似する機構を用いるとか２回転
時には上下移動の機構を外すなどの操作が必要である。
いずれの場合でもモータ２個が使用されることに変わシ
はない０強いて切替えにより１個のモータで駆動しよう
とすれば２機構的にも操作上にもか □えって複雑に
なってしまう。
はない０強いて切替えにより１個のモータで駆動しよう
とすれば２機構的にも操作上にもか □えって複雑に
なってしまう。
次に１本発明による真空処理装置について実施例を挙げ
９図面を参照して説明する。
９図面を参照して説明する。
第２図は、ス・母ツタリング装置に適用した場合の本発
明による実施例の構成を側断面図により示したものであ
る。この例は、ターンテーブルの軸に回転運動と上下運
動とをそれぞれ与える２枚の歯車を直接結合させ２回転
運動を行なわぜる場合には９本来は上下運動を行なわせ
る歯車もチー−プルの回転と同一の回転速度を与えるこ
とで見かけ上その作用を除去しておシ、その反対に上下
運動を行なわせる時には１回転運動を受持つ歯車がテー
ブルの回転（止めるため、上下運動を受持つ歯車の作用
が現われるように機能する。
明による実施例の構成を側断面図により示したものであ
る。この例は、ターンテーブルの軸に回転運動と上下運
動とをそれぞれ与える２枚の歯車を直接結合させ２回転
運動を行なわぜる場合には９本来は上下運動を行なわせ
る歯車もチー−プルの回転と同一の回転速度を与えるこ
とで見かけ上その作用を除去しておシ、その反対に上下
運動を行なわせる時には１回転運動を受持つ歯車がテー
ブルの回転（止めるため、上下運動を受持つ歯車の作用
が現われるように機能する。
第２図において、ターンテーブル４から真空シール６を
介して大気中に伸ばされた軸５′の一部には、面一螺旋
状のネジ１５が切られておシ、この部分には中央部に孔
を空はメネジを切った歯車９′が嵌合されている。歯車
９′と結合されている歯車１０’には、該歯車の一方の
軸を介′してモータ１１′が結合され、他方の軸を介し
てクラッチブレーキユニット１８が接続されている。ク
ラッチブレーキユニット１８の他端は歯車１９に結合さ
れ、更にターンテーブル４の軸５′に嵌合されている歯
車２ｏＶｃ連結される０なおｔ軸５パの一部にはキー溝
２１が設け、られ、また歯車２０の中央の孔の一部には
中心に向けて突起したコロ２２が付加されている。そし
て、とのコロ２２はキー溝２１に入り込んでいるため、
軸５′は。
介して大気中に伸ばされた軸５′の一部には、面一螺旋
状のネジ１５が切られておシ、この部分には中央部に孔
を空はメネジを切った歯車９′が嵌合されている。歯車
９′と結合されている歯車１０’には、該歯車の一方の
軸を介′してモータ１１′が結合され、他方の軸を介し
てクラッチブレーキユニット１８が接続されている。ク
ラッチブレーキユニット１８の他端は歯車１９に結合さ
れ、更にターンテーブル４の軸５′に嵌合されている歯
車２ｏＶｃ連結される０なおｔ軸５パの一部にはキー溝
２１が設け、られ、また歯車２０の中央の孔の一部には
中心に向けて突起したコロ２２が付加されている。そし
て、とのコロ２２はキー溝２１に入り込んでいるため、
軸５′は。
歯車２０に対して相対的に回転はできないが−１下方向
の移動が可能である。勿論、軸５′に直線的な突起を設
け、歯車２０の中央の孔に凹みを設けてもよい・なお、
クラッチブレーキユニット１８中のブレーキは歯車１９
側に作用するように□設置されている。
の移動が可能である。勿論、軸５′に直線的な突起を設
け、歯車２０の中央の孔に凹みを設けてもよい・なお、
クラッチブレーキユニット１８中のブレーキは歯車１９
側に作用するように□設置されている。
いま、クラッチブレーキユニット１８がクラッチＯＮ
ｔブレーキＯＦＦの状態におかれると、モータｌｆの回
転によって歯車１０′、クラッチ、歯車１９、歯車２０
を通じて、軸ρ′、すなわちターンテーブル４を回転さ
せる。この時、歯車９′は歯車２０と同一速度で回転し
ておシ、従って軸５′とは相対的に固定されているから
、軸５パに対する作用は全くない。ついで、クラッチＯ
ＦＦ 、ブレーキＯＮの条件におかれると、ブレーキの
作用により歯車１９および歯車２０は固定されるため、
軸５゛。
ｔブレーキＯＦＦの状態におかれると、モータｌｆの回
転によって歯車１０′、クラッチ、歯車１９、歯車２０
を通じて、軸ρ′、すなわちターンテーブル４を回転さ
せる。この時、歯車９′は歯車２０と同一速度で回転し
ておシ、従って軸５′とは相対的に固定されているから
、軸５パに対する作用は全くない。ついで、クラッチＯ
ＦＦ 、ブレーキＯＮの条件におかれると、ブレーキの
作用により歯車１９および歯車２０は固定されるため、
軸５゛。
すなわちターンテーブル４は回転しない。従って。
歯車９′の回転はターンテーブル４の上下方向の移動に
対して作用する。なお、この例においては。
対して作用する。なお、この例においては。
回転時と上下方向移動時においてモ・−夕の回転速度を
変えることが要求されるが、その場合は、モータとして
２段スピードモータを用い、スピードツ 切換えをクラ２チブレーキユニツトト同シスイツチで連
動させることによって容易に達成される。
変えることが要求されるが、その場合は、モータとして
２段スピードモータを用い、スピードツ 切換えをクラ２チブレーキユニツトト同シスイツチで連
動させることによって容易に達成される。
又、配置に関係して、必要なれば、モーター１′の代り
に歯車１０” ’！を介してモーター１“を使用するこ
ともできる。 ″ 上記の実施例においては、ス・ぐツタリング装置への適
用例を挙げたが、蒸着装置、ドライエ、チング装置、プ
ラズマＣＶＤ装置などの真空処理装着ム 一般に対しても全く同様にｉ用できることは言うまでも
ない。又、この例では、ターンテーブルが′上向きであ
り、その上面に被処理物体が載っているが、必要なれば
、下面に被処理物体を保持することも可能であり、又、
ターンテーブルが上方から吊シ下げられるような構造も
成立する。これらの場合にも９本発明による構成が可能
であることは明らかである。さらに、と・の例では、電
気的なりラッチφブレーキ機構を採用しているが、これ
を機械的に行なうことも可能であることは容易に理解で
きよう。
に歯車１０” ’！を介してモーター１“を使用するこ
ともできる。 ″ 上記の実施例においては、ス・ぐツタリング装置への適
用例を挙げたが、蒸着装置、ドライエ、チング装置、プ
ラズマＣＶＤ装置などの真空処理装着ム 一般に対しても全く同様にｉ用できることは言うまでも
ない。又、この例では、ターンテーブルが′上向きであ
り、その上面に被処理物体が載っているが、必要なれば
、下面に被処理物体を保持することも可能であり、又、
ターンテーブルが上方から吊シ下げられるような構造も
成立する。これらの場合にも９本発明による構成が可能
であることは明らかである。さらに、と・の例では、電
気的なりラッチφブレーキ機構を採用しているが、これ
を機械的に行なうことも可能であることは容易に理解で
きよう。
以上の説明により明らかなように９本発、明によればｅ
１個のモータを使用した簡単な構成によりターンテーブ
ルの回転および上下移動が可能となることは勿論２部品
等の取り付けの自由度も増し。
１個のモータを使用した簡単な構成によりターンテーブ
ルの回転および上下移動が可能となることは勿論２部品
等の取り付けの自由度も増し。
操作も容易となり、さらにブレーキの作用は停止の際の
精度を増すことになって、結果的（装置の操作性能およ
び設備の経済性を内妻すべ、く得られる効果は大なるも
のがある。
精度を増すことになって、結果的（装置の操作性能およ
び設備の経済性を内妻すべ、く得られる効果は大なるも
のがある。
第１図は真空処理装置の従来例の構成を示す側断面図、
第２図は本発明による実施例の構成を示す側断面図であ
る。 図において、１は真空容器、４はターンテーブルｙ 、
５ 、５’はターンテーブルの回転軸、６は真空シー
ル＃ ９ ＊ ９’＊ １０ ｙ １０’ｅ １０“、
１９．２０は歯車、１１．１１’、１１“はモータ、１
５は螺旋状のネジ、１８はクラッチブレーキユニット。 ２１はキー溝、？２はコロである。 第２図
第２図は本発明による実施例の構成を示す側断面図であ
る。 図において、１は真空容器、４はターンテーブルｙ 、
５ 、５’はターンテーブルの回転軸、６は真空シー
ル＃ ９ ＊ ９’＊ １０ ｙ １０’ｅ １０“、
１９．２０は歯車、１１．１１’、１１“はモータ、１
５は螺旋状のネジ、１８はクラッチブレーキユニット。 ２１はキー溝、？２はコロである。 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 真空容器中にほぼ水平におかれた被処理物ヲ保持
スるターンテーブルと、該ターンテーブルに固着され、
真空シール部を経て前記真空容器外に引き延ばされた部
分゛に螺旋状？ネジ部を有する回転軸と、軸孔に切られ
たメネジの部分が前記回転軸のネジ部にかみ合うように
取付けられた第１の歯車と、前記回転軸の他の部分に軸
方向にのみ相対的に摺動す、るように取付けられた第２
の歯車と一前記第１の歯車と第２の歯車とを結合させた
シー前記第１の歯車と第２の歯車との結合全解いて該第
２の歯車を停止させたシする歯車結合手段とを備え、１
つのモータによシ前記第１の歯車を駆動しり前記歯車結
合手段を制御しわけることによって前“記ターンテーブ
ルを上下に移動、または回転するようにしたことを特徴
とする真空処理装置Ｏ ２、特許請求の範囲第１項に記載の真空処理装置におい
て、前記歯車結合手段がクラッチブレーキユニットで構
成されたことを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110784A JPS5814939A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110784A JPS5814939A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814939A true JPS5814939A (ja) | 1983-01-28 |
| JPS6236735B2 JPS6236735B2 (ja) | 1987-08-08 |
Family
ID=14544529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56110784A Granted JPS5814939A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814939A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60139608U (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-14 | 日野自動車株式会社 | トラクタのシヨツクアブソ−バ |
| JPS61119684A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-06 | Ulvac Corp | スパツタエツチング装置 |
| JP2015185757A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| CN112095069A (zh) * | 2020-09-09 | 2020-12-18 | 安徽鼎恒实业集团有限公司 | 等离子喷涂式再制造轨道机车轮对轮柄的装备 |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP56110784A patent/JPS5814939A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60139608U (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-14 | 日野自動車株式会社 | トラクタのシヨツクアブソ−バ |
| JPS61119684A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-06 | Ulvac Corp | スパツタエツチング装置 |
| JP2015185757A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| CN112095069A (zh) * | 2020-09-09 | 2020-12-18 | 安徽鼎恒实业集团有限公司 | 等离子喷涂式再制造轨道机车轮对轮柄的装备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6236735B2 (ja) | 1987-08-08 |
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